JPH10116866A - 半導体装置及び、この半導体装置とプローブカードとの位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップサイズが大きく全体が顕微鏡適正倍率
視野内に入らない場合でも、パッドと探針の位置合わせ
を確実に行うことが出来る半導体装置を提供する。 【解決手段】 配線１５が接続された電極である真正パ
ッド１４と、配線１５が接続されていない電極ではない
ダミーパッド１６とを設け、該ダミーパッド１６同士、
又は該ダミーパッド１６と真正パッド１４とが、顕微鏡
による視認時に、適正倍率視野Ａ内に入ると共に、該ダ
ミーパッド１６同士、又は該ダミーパッド１６と真正パ
ッド１４との位置関係が、前記真正パッド１４同士の位
置関係とは異なるように設定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置の測
定時における、この半導体装置とプローブカードとの位
置決めを容易にする半導体装置及びその位置決め方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体装置においては、製造
された半導体装置が所定の特性を具備するか否かを、プ
ローバーと呼ばれる測定装置で検査するようにしてい
る。

【０００３】すなわち、図３に示すように、図示省略の
プローバーにプローブカード１及びその下側に半導体装
置２をセットし、このプローブカード１の開口１ａの周
縁部に設けられた多数の探針１ｂを、半導体装置２の電
極としてのパッド２ａに接触させて、半導体装置２とプ
ローバーとをプローブカード１を介して電気的に接続
し、このプローバーで半導体装置２を検査するようにし
ている。

【０００４】そのパッド２ａはパッケージへの組立の都
合上、半導体装置２の外周部に配置されることが多く、
又、通常、そのパッド２ａの大きさは、１００〜２００
μｍ口であり、小さいことから、上述の探針１ｂをパッ
ド２ａに接触させる作業は顕微鏡を見ながら行われる。

【０００５】かかる半導体装置２には、大きさや形状
等、種々のものが混在するため、これら各半導体装置２
とプローバーとの電気的接続を取るのに、プローバー自
体の構造を半導体装置２に応じて変更するのは困難であ
る。そこで、各半導体装置２に対応するプローブカード
１を用意することにより、このプローブカード１のみを
交換して、各種の半導体装置２とプローバーとの接続が
出来るようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のものにあっては、パッド２ａの大きさが小さ
く顕微鏡で見ながらパッド２ａと探針１ｂとの位置合わ
せを行っているが、半導体装置２のチップサイズが大き
い場合、顕微鏡の適正倍率の視野Ａにチップ全体が入ら
ない場合があり、各パッド２ａが半導体装置２の外周部
に等間隔で配設されていると、合わせるべきパッド２ａ
と探針１ｂを誤る可能性がある。

【０００７】すなわち、パッド２ａは組立の都合上、パ
ッケージのインナーリードに合わせた位置に配設するこ
とが多く、等間隔になることが多く、且つ、チップの大
型化により、顕微鏡の適正倍率の視野Ａにチップ全体が
入らない場合があり、この視野Ａ内だけ見れば一見、探
針１ｂとパッド２ａとが合っているように見える。しか
し、全体的には、パッド２ａと探針１ｂが横方向に１つ
ズレており、パッド２ａと探針１ｂの接続が誤っている
ものである。なお、チップ全体が視野に入る大きさに倍
率を設定すると、パッド２ａが小さく見えるため、パッ
ド２ａと探針１ｂの位置合わせは極めて困難な作業とな
る。

【０００８】そこで、この発明は、チップサイズが大き
く全体が顕微鏡適正倍率視野内に入らない場合でも、パ
ッドと探針の位置合わせを確実に行うことが出来る半導
体装置及び、半導体装置とプローブカードとの位置決め
方法を提供することを課題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる課題を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、配線が接続された電極
である真正パッドと、配線が接続されていない電極では
ないダミーパッドとを設け、該ダミーパッド同士、又は
該ダミーパッドと真正パッドとが、顕微鏡による視認時
に、適正倍率視野内に入ると共に、該ダミーパッド同
士、又は該ダミーパッドと真正パッドとの位置関係が、
前記真正パッド同士の位置関係とは異なるように設定し
た半導体装置としたことを特徴とする。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１の構成
に加え、前記複数の真正パッド同士は等間隔に形成さ
れ、前記複数のダミーパッド同士の間隔は、前記真正パ
ッド同士の間隔と異なる間隔に形成されていることを特
徴とする。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の半導体装置の真正パッド及びダミーパッドに対
応した位置関係で、プローブカードに探針を形成し、該
探針を前記各パッドに接触させて位置決めした半導体装
置とプローブカードとの位置決め方法としたことを特徴
とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明する。

【００１３】［発明の実施の形態１］図１には、この発
明の実施の形態１を示す。

【００１４】まず構成について説明すると、図中符号１
１は、４分割されたフォトダイオード１２を有する四角
形の半導体装置で、この半導体装置１１の大きさは、比
較的大きく、一辺の長さＬ１が３４ｍｍに、又、他辺の
長さＬ２が２９ｍｍに設定されている。

【００１５】そして、この半導体装置１１の四角形の各
角部には、出力電極である真正パッド１４が配設され、
これら真正パッド１４は配線１５を介して各フォトダイ
オード１２と接続されている。

【００１６】また、この半導体装置１１の、周縁部に
は、２つのダミーパッド１６が設けられている。これら
ダミーパッド１６は、顕微鏡の適正倍率時の視野Ａ内に
入り、且つ、この両ダミーパッド１６の間隔（位置関
係）が、他の真正パッド１４の間隔（位置関係）にはな
い特定の間隔（位置関係）に設定されている。ここで、
「適正倍率時の視野Ａ」とは、図示省略のプローブカー
ドの探針と各パッド１４，１６とを位置合わせするとき
に両者が良く見える倍率における視野であり、倍率は２
０倍である。また、これらダミーパッド１６は、位置合
わせ用であるため、フォトダイオード１２には接続され
ていない。つまり、ダミーパッド１６には、配線１５が
接続されていない。

【００１７】これら各パッド１４，１６は、１００〜２
００μｍ口程度の大きさである。

【００１８】一方、図示していないが、プローブカード
には、前記各パッド１４，１６に対応した位置に探針が
設けられている。

【００１９】次に、かかる半導体装置１１の検査を行う
ため、プローバーに以下のようにセットする。

【００２０】すなわち、この半導体装置１１と図示省略
のプローブカードとをプローバーにセットし、この半導
体装置１１の各パッド１４，１６と、プローブカードの
探針とを位置合わせして接触させることにより、半導体
装置１１をプローブカードを介してプローバーに電気的
に接続する。

【００２１】そのプローブカードには、予め、この半導
体装置１１の各パッド１４，１６に対応して探針が設け
られており、この半導体装置１１の各パッド１４，１６
と、プローブカードの探針との位置合わせは、２つのダ
ミーパッド１６を適正倍率の視野Ａ内に納め、この両ダ
ミーパッド１６に探針を合わせる。ダミーパッド１６、
か真正パッド１４かの判断は、配線１５が接続されてい
るか否かで簡単に判断できる。

【００２２】これにより、この両ダミーパッド１６の位
置関係は、他の各真正パッド１４にはない特定の位置関
係であるため、この両ダミーパッド１６に、これに対応
した探針を合わせて接触することにより、他の各パッド
１４にも、それらに対応した探針が的確に接触し、半導
体装置１１がプローブカードを介してプローバーに電気
的に接続されることとなる。

【００２３】このようにダミーパッド１６を設けること
により、半導体装置１１が大きく視野Ａ内に半導体装置
１１全体が入らないような場合でも、半導体装置１１の
各パッド１４，１６とプローブカードの探針との位置決
めが簡単、且つ確実に行われ両者を導通させることがで
きる。

【００２４】［発明の実施の形態２］また、図２には、
この発明の実施の形態２を示す。

【００２５】この実施の形態２は、２つのダミーパッド
１６の形成位置が、実施の形態１と異なっている。

【００２６】すなわち、この２つのダミーパッド１６
は、半導体装置１１の周縁部で、視野Ａ内に入るよう
に、フォトダイオード１２の角部に跨るように形成され
ている。ここでは、２つのダミーパッド１６，１６同士
が、適正倍率視野Ａ内に入ると共に、ダミーパッド１
６，１６同士の位置関係が、真正パッド１４…同士の位
置関係とは異なるように設定されている。また、ダミー
パッド１６とこれに隣接する真正パッド１４も、適正倍
率視野Ａ内に入ると共に、このダミーパッド１６とこれ
に隣接する真正パッド１４との位置関係も、真正パッド
１４…同士の位置関係とは異なるように設定されてい
る。

【００２７】これら各ダミーパッド１６に対応した位置
関係にある探針を、顕微鏡を見ながら、そのダミーパッ
ド１６に接触させることにより、他のすべての真正パッ
ド１４にプローブカードの探針を簡単、且つ確実に接触
させて位置決めすることができる。しかも、このように
フォトダイオード１２の角部に跨るようにダミーパッド
１６を配置することにより、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置決め
も確実に行うことができる。

【００２８】なお、上記実施の形態では、２つのダミー
パッド１６を設けているが、これに限らず、一つでも良
い。但し、この場合には、ある特定の真正パッドの近傍
にダミーパッドを配設し、この真正パッドとダミーパッ
ドとが、適正倍率時の視野Ａ内に納まる距離で、且つ、
この両者の位置関係が他のパッドの位置関係にはない特
定の位置関係で有れば良い。また、上記各実施の形態の
半導体装置１１は、４分割されたフォトダイオード１２
を有しているが、これに限らず、複数に分割されている
必要はなく、又、分割数も４分割に限るものではない。

【００２９】

【発明の効果】請求項１，２又は３に記載の発明によれ
ば、ダミーパッドを設けることにより、半導体装置が大
きく適正倍率視野内に半導体装置全体が入らないような
場合でも、半導体装置の各パッドとプローブカードの探
針とを的確に導通させることができる、という実用上有
益な効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に係る半導体装置の平
面図である。

【図２】この発明の実施の形態２に係る半導体装置の平
面図である。

【図３】従来例を示す半導体装置とプローブカードとの
平面図である。

【符号の説明】 11 半導体装置 12 フォトダイオード 14 真正パッド 15 配線 16 ダミーパッド Ａ 適正倍率視野

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 配線が接続された電極である真正パッド
   と、配線が接続されていない電極ではないダミーパッド
   とを設け、該ダミーパッド同士、又は該ダミーパッドと
   真正パッドとが、顕微鏡による視認時に、適正倍率視野
   内に入ると共に、該ダミーパッド同士、又は該ダミーパ
   ッドと真正パッドとの位置関係が、前記真正パッド同士
   の位置関係とは異なるように設定したことを特徴とする
   半導体装置。
2. 【請求項２】 前記複数の真正パッド同士は等間隔に形
   成され、前記複数のダミーパッド同士の間隔は、前記真
   正パッド同士の間隔と異なる間隔に形成されていること
   を特徴とする請求項１記載の半導体装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の半導体装置の真
   正パッド及びダミーパッドに対応した位置関係で、プロ
   ーブカードに探針を形成し、該探針を前記各パッドに接
   触させて位置決めしたことを特徴とする半導体装置とプ
   ローブカードとの位置決め方法。