JPH10114549A - ガラス内で銀の拡散を防ぐための窒化物障壁の使用 - Google Patents

ガラス内で銀の拡散を防ぐための窒化物障壁の使用

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JPH10114549A
JPH10114549A JP9131651A JP13165197A JPH10114549A JP H10114549 A JPH10114549 A JP H10114549A JP 9131651 A JP9131651 A JP 9131651A JP 13165197 A JP13165197 A JP 13165197A JP H10114549 A JPH10114549 A JP H10114549A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス内で銀の拡散を防ぐため窒化物障壁の
使用を開示する。 【解決手段】 ガラス内で銀の拡散により促進されるガ
ラスの黄色化を防ぐため、ガラス基板と銀ベース堆積の
間に挿入された窒化物ベース障壁を使用することを特徴
としており、該障壁を有した銀ベース堆積で覆われたガ
ラス基板に関している。応用分野は銀パネルである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はフラットディスプレ
イスクリーンを製造するためのガラス基板のメタリゼー
ションの分野に関する。このメタリゼーションは電極ア
レイを形成するため使用されている。これらの電極は不
透明である。これらの電極は一般に銀で作られている。
【0002】
【従来の技術】現在まで、ピッチの値が500マイクロ
メーター未満である高密度アレイ用の電極に設計された
ガラス基板のメタリゼーションは真空下で陰極吹き付け
又は蒸着により作られている。該堆積された層は1マイ
クロメーターから数マイクロメーターの範囲で比較的厚
く、真空チャンバー内で堆積が行われる時間は比較的長
い。このようにメタリゼーションが行われた基板の価格
は比較的高く、更にこの価格は基板の表面面積と共に非
常に急速に高くなる。
【0003】より低価格のメタリゼーションの新奇な方
法が調査されている。この方法には特に感光性、又は非
感光性の銀の混合物をホトエッチングすることが含まれ
ている。この方法はガラス基板内に黄色化が生ずるので
ディスプレイパネルの全面では使用に適さない。
【0004】これは、電極の下に位置し約30マイクロ
メーターから50マイクロメーターだけ電極の両側に広
がる黄色領域があるからである。この領域は該ガラス内
の銀の拡散のため黄色になる。
【0005】観測者が受ける光は、一方ではガラス基板
により伝えられパネル内で放電により生ずる光から生
じ、他方では電極から反射される光から生ずる。観測者
が気づく光の殆どが出ているのは拡散領域においてであ
る。
【0006】黄色フィルター内の様に、この着色化によ
りカラーディスプレイパネルの測色が非常に劣化する。
それゆえ感知された光が黄色の漏れを受けることは好ま
しくない。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は銀コーティング
の付着及び化学的安定性の質をあらゆる点で低下するこ
となくガラス内の銀の拡散を防ぐ際にこの黄色化を取り
除く様に設計されている。
【0008】この目的のため、本発明ではガラス基板内
で銀の拡散を防ぐため窒化物ベースの障壁を使用するこ
とに関している。
【0009】窒化物は例えば、窒化チタン、窒化ホウ
素、窒化シリコンである。窒化チタンにより透明性の点
で非常に良い結果が与えられている。
【0010】窒化物ベースの障壁は例えば陰極吹き付
け、真空化での蒸着、又はPECVD(プラズマ強化化
学気相成長法)により堆積されている。
【0011】約50ナノメーターを越える障壁の厚さは
銀の拡散を止めるのに十分である。
【0012】
【発明の実施の形態】黄色化を引き起こす銀電極のホト
エッチングによる堆積の既知の方法は次の段階を備えて
いる。
【0013】感光性又は非感光性の銀ベースの構成物は
シルクスクリーン工程とその後に乾燥させることにより
ガラス基板に堆積される。銀ベース構成物が感光性で無
い時は、感光性の樹脂の層で覆われている。
【0014】該ケースの場合の様に樹脂で覆われている
銀ベース堆積はマスクを通して紫外線光にさらされ、ユ
ニットができる。銀処理された基板は次に約540℃か
ら600℃までの範囲の温度で熱処理を受ける。熱処理
のこの操作により基板のガラス内に銀の拡散が生じ、更
に該ガラス基板がディスプレイパネルの全面である時、
非常に不都合な黄色化が生ずる。この着色は銀の濃度が
低い場合も生ずる。
【0015】黄色ガラス基板は赤の発光の54%を、緑
の発光の59%を、更に青の発光の12%を伝える。
【0016】本発明はガラス内で銀の拡散により生ずる
ガラスの黄色化を防ぐため、ガラス基板1と銀ベース堆
積3の間に挿入された窒化物ベース障壁2を使用するこ
とからなる。図はガラス基板1の上の層の配置の断面図
を示している。
【0017】この窒化物ベース障壁2は銀ベース堆積3
が580℃を越える温度で熱処理を受けた後でも有効で
ある。
【0018】窒化ベース堆積2は、例えば真空下で陰極
吹き付け又は蒸着によりガラス基板1の上に堆積されて
いる。PECVD(プラズマ強化化学気相成長法)とし
て知られているプラズマにより促進された化学的な方法
による堆積も可能である。該PECVD技術により均一
な堆積を得ることが可能となる。
【0019】窒化物チタンにより非常に良好な結果が得
られている。実際に、銀がある時、灰色に成る窒化物チ
タンはより透明になる。これにより、ディスプレイパネ
ルの前面を通り非常に透明な領域を得ることが応用とし
て可能になる。
【0020】あらゆる他の金属も勿論使用でき、特にシ
リコン又はホウ素を使用することができる。窒化物の混
合物も使用することができる。
【0021】約50ナノメーターを越える厚さの障壁2
も黄色化を防ぐため使用することができる。
【0022】ガラス基板1は例えば浮遊ガラスタイプで
作ることができる。この基板1は必要があれば、焼きな
まされ、研磨され、又は整形される。他のタイプのフラ
ットガラスも使用でき、例えばホウケイ酸又はアルミノ
ケイ酸塩タイプのガラスも使用することができる。
【0023】銀ベース堆積3は標準的な方法でシルクス
クリーン法又はホトエッチングで作ることができ、更に
前述の様に400℃を越える温度で熱処理を受ける。
【0024】銀ベース堆積3の厚さは約7マイクロメー
ターにすることができる。通常、銀ベース堆積の厚さは
約3マイクロメーターから12マイクロメーターの範囲
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】ガラス基板、障壁及び銀ベース堆積の断面
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 窒化物ベース障壁 3 銀ベース堆積

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 銀ベース堆積でコーティングされたガラ
    ス基板の上で、障壁の無い銀でコーティングされたガラ
    スの熱処理後に現れ、該ガラス内でガラスの拡散により
    促進される該ガラスの黄色化を防ぐため該ガラス基板と
    銀ベース堆積の間に挿入された窒化物ベース障壁の使
    用。
  2. 【請求項2】 窒化物が窒化チタン、窒化シリコン、窒
    化ホウ素、又はこれらの窒化物の混合物から選択される
    ことを特徴とする請求項1に記載の使用。
  3. 【請求項3】 障壁が陰極吹き付け、真空下での蒸着、
    又はプラズマ強化化学気相成長法により堆積されている
    ことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の使
    用。
  4. 【請求項4】 障壁が約50ナノメーター以上の厚さを
    有していることを特徴とする請求項1から3のいずれか
    1つに記載の使用。
  5. 【請求項5】 銀ベース堆積がホトエッチングにより行
    われていることを特徴とする請求項1から4のいずれか
    1つに記載の使用。
  6. 【請求項6】 銀が堆積後400℃を越える温度で熱処
    理を受けることを特徴とする請求項1から5のいずれか
    1つに記載の使用。
  7. 【請求項7】 銀ベース堆積が約3マイクロメーターか
    ら12マイクロメーターの範囲の厚さを有していること
    を特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の使
    用。
  8. 【請求項8】 基板ガラスにガラスが浮遊していること
    を特徴とする請求項1から7のいずれか1つに記載の使
    用。
  9. 【請求項9】 ガラス基板がガラスパネルの形成用に設
    計されていることを特徴とする請求項1から8のいずれ
    か1つに記載の使用。
JP9131651A 1996-05-07 1997-05-07 ガラス内で銀の拡散を防ぐための窒化物障壁の使用 Withdrawn JPH10114549A (ja)

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