JPH10111132A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- JPH10111132A JPH10111132A JP8282986A JP28298696A JPH10111132A JP H10111132 A JPH10111132 A JP H10111132A JP 8282986 A JP8282986 A JP 8282986A JP 28298696 A JP28298696 A JP 28298696A JP H10111132 A JPH10111132 A JP H10111132A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造が簡単で、励振効率および検出効率の高
い振動ジャイロを得る。 【解決手段】 振動ジャイロ１０は、２つの圧電体基板
１４，１６を接合層１８で接合した音叉形の振動体１２
を含む。２つの圧電体基板１４，１６を、互いに逆向き
に分極する。圧電体基板１４の外側主面に、音叉形状に
沿って、２つの駆動用電極２０，２２を形成する。圧電
体基板１６の外側主面において、振動体１２の２つの脚
部のそれぞれに、検出用電極２４，２６を形成する。駆
動用電極２０，２２間に発振回路３０を接続し、振動体
１２の２つの脚部が開閉するように振動させる。検出用
電極２４，２６の出力信号を差動回路３２に入力し、差
動回路３２に、同期検波回路３４，積分回路３６，直流
増幅回路３８を順次接続する。
い振動ジャイロを得る。 【解決手段】 振動ジャイロ１０は、２つの圧電体基板
１４，１６を接合層１８で接合した音叉形の振動体１２
を含む。２つの圧電体基板１４，１６を、互いに逆向き
に分極する。圧電体基板１４の外側主面に、音叉形状に
沿って、２つの駆動用電極２０，２２を形成する。圧電
体基板１６の外側主面において、振動体１２の２つの脚
部のそれぞれに、検出用電極２４，２６を形成する。駆
動用電極２０，２２間に発振回路３０を接続し、振動体
１２の２つの脚部が開閉するように振動させる。検出用
電極２４，２６の出力信号を差動回路３２に入力し、差
動回路３２に、同期検波回路３４，積分回路３６，直流
増幅回路３８を順次接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステム、ポインティングデバイスなどに使用さ
れる振動ジャイロに関する。
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステム、ポインティングデバイスなどに使用さ
れる振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図であり、図７はその平面図である。振動ジャイロ
１は、音叉形の振動体２を含む。振動体２は、たとえば
ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶を音叉形に切りだすことによっ
て形成されており、太い実線矢印で示す方向に分極され
ている。振動体２の一方の脚部の対向面には、それぞれ
脚部の長手方向に延びる駆動用電極３ａ，３ｂ，４ａ，
４ｂが形成される。ここで、駆動用電極３ａ，４ａは互
いに対向するように形成され、駆動用電極３ｂ，４ｂも
互いに対向するように形成される。さらに、振動体２の
４つの側面には、それぞれ１つずつ検出用電極５ａ，５
ｂ，５ｃ，５ｄが形成される。
斜視図であり、図７はその平面図である。振動ジャイロ
１は、音叉形の振動体２を含む。振動体２は、たとえば
ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶を音叉形に切りだすことによっ
て形成されており、太い実線矢印で示す方向に分極され
ている。振動体２の一方の脚部の対向面には、それぞれ
脚部の長手方向に延びる駆動用電極３ａ，３ｂ，４ａ，
４ｂが形成される。ここで、駆動用電極３ａ，４ａは互
いに対向するように形成され、駆動用電極３ｂ，４ｂも
互いに対向するように形成される。さらに、振動体２の
４つの側面には、それぞれ１つずつ検出用電極５ａ，５
ｂ，５ｃ，５ｄが形成される。
【０００３】この振動ジャイロ１では、たとえば駆動用
電極３ａ，３ｂ間に駆動信号が与えられる。それによっ
て、破線矢印で示すように、駆動用電極３ａ，４ａ間お
よび駆動用電極３ｂ，４ｂ間に、逆向きの電界が印加さ
れる。それによって、振動体２は、２つの脚部が開いた
り閉じたりするように振動する。この状態で、振動体２
の軸を中心として回転角速度が加わると、振動体２の振
動方向と直交する向きにコリオリ力が働く。このコリオ
リ力によって、振動体２の振動方向が変わり、たとえば
検出用電極５ａ，５ｂ間から、コリオリ力に対応した信
号が出力される。したがって、検出用電極５ａ，５ｂ間
の出力信号を測定すれば、振動ジャイロ１に加わった回
転角速度を検出することができる。
電極３ａ，３ｂ間に駆動信号が与えられる。それによっ
て、破線矢印で示すように、駆動用電極３ａ，４ａ間お
よび駆動用電極３ｂ，４ｂ間に、逆向きの電界が印加さ
れる。それによって、振動体２は、２つの脚部が開いた
り閉じたりするように振動する。この状態で、振動体２
の軸を中心として回転角速度が加わると、振動体２の振
動方向と直交する向きにコリオリ力が働く。このコリオ
リ力によって、振動体２の振動方向が変わり、たとえば
検出用電極５ａ，５ｂ間から、コリオリ力に対応した信
号が出力される。したがって、検出用電極５ａ，５ｂ間
の出力信号を測定すれば、振動ジャイロ１に加わった回
転角速度を検出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の振動ジャイロでは、検出用電極を振動体の脚
部の４つの面に形成する必要があり、特に２つの脚部間
の電極の製造が面倒である。また、振動体の２つの脚部
に、駆動用電極および検出用電極が個別に形成されてい
る。そのため、コリオリ力によって生じる一方の脚部の
振動方向の変化のみが検出され、検出効率が悪い。さら
に、駆動用電極に駆動信号を与えることによって、片方
の脚部が励振されるため、振動体の振幅が小さく、低電
圧駆動が困難である。
うな従来の振動ジャイロでは、検出用電極を振動体の脚
部の４つの面に形成する必要があり、特に２つの脚部間
の電極の製造が面倒である。また、振動体の２つの脚部
に、駆動用電極および検出用電極が個別に形成されてい
る。そのため、コリオリ力によって生じる一方の脚部の
振動方向の変化のみが検出され、検出効率が悪い。さら
に、駆動用電極に駆動信号を与えることによって、片方
の脚部が励振されるため、振動体の振幅が小さく、低電
圧駆動が困難である。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、製
造が簡単で、励振効率および検出効率の高い振動ジャイ
ロを提供することである。
造が簡単で、励振効率および検出効率の高い振動ジャイ
ロを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、音叉形の２
つの圧電体基板を接合して形成された振動体と、一方の
圧電体基板の外側主面において音叉形に沿って形成され
る２つの駆動用電極と、他方の圧電体基板の外側主面に
おいてそれぞれの脚部に形成される２つの検出用電極と
を含み、２つの圧電体基板は互いに逆向きに分極され
た、振動ジャイロである。この振動ジャイロにおいて、
振動体は、２つの圧電体基板を接着することによって形
成することができる。また、振動体は、圧電体セラミッ
クグリーンシートを積層したのち一体焼成することによ
って形成してもよい。さらに、この発明は、単結晶基板
の熱分極反転現象を利用することによって形成される互
いに逆向きに分極された音叉形の振動体と、振動体の対
向主面の一方側において音叉形に沿って形成される２つ
の駆動用電極と、振動体の対向主面の他方側においてそ
れぞれの脚部に形成される２つの検出用電極とを含む、
振動ジャイロである。
つの圧電体基板を接合して形成された振動体と、一方の
圧電体基板の外側主面において音叉形に沿って形成され
る２つの駆動用電極と、他方の圧電体基板の外側主面に
おいてそれぞれの脚部に形成される２つの検出用電極と
を含み、２つの圧電体基板は互いに逆向きに分極され
た、振動ジャイロである。この振動ジャイロにおいて、
振動体は、２つの圧電体基板を接着することによって形
成することができる。また、振動体は、圧電体セラミッ
クグリーンシートを積層したのち一体焼成することによ
って形成してもよい。さらに、この発明は、単結晶基板
の熱分極反転現象を利用することによって形成される互
いに逆向きに分極された音叉形の振動体と、振動体の対
向主面の一方側において音叉形に沿って形成される２つ
の駆動用電極と、振動体の対向主面の他方側においてそ
れぞれの脚部に形成される２つの検出用電極とを含む、
振動ジャイロである。
【０００７】互いに逆向きに分極された２つの圧電体基
板を接合することにより、バイモルフ型の振動体とな
る。駆動用電極が振動体の音叉形に沿って形成されてお
り、駆動用電極に駆動信号を与えることによって、振動
体の両脚部が励振される。このときの振動は、両脚部が
開いたり閉じたりするような振動であり、回転角速度が
加わると、２つの脚部には逆向きのコリオリ力が働く。
そのため、２つの脚部に形成された検出用電極からは逆
位相の信号が出力され、これらの出力信号の差をとるこ
とにより、コリオリ力に対応した大きい信号を得ること
ができる。
板を接合することにより、バイモルフ型の振動体とな
る。駆動用電極が振動体の音叉形に沿って形成されてお
り、駆動用電極に駆動信号を与えることによって、振動
体の両脚部が励振される。このときの振動は、両脚部が
開いたり閉じたりするような振動であり、回転角速度が
加わると、２つの脚部には逆向きのコリオリ力が働く。
そのため、２つの脚部に形成された検出用電極からは逆
位相の信号が出力され、これらの出力信号の差をとるこ
とにより、コリオリ力に対応した大きい信号を得ること
ができる。
【０００８】
【発明の効果】この発明によれば、振動体の対向する主
面にのみ電極を形成すればよく、２つの脚部間に電極を
形成する必要がないため、振動ジャイロの製造が簡単で
ある。また、駆動信号を与えることによって、振動体の
両方の脚部が励振されるので、励振効率がよく、低電圧
で振幅の大きい振動をさせることができる。さらに、２
つの検出用電極からの出力信号の差をとることによっ
て、コリオリ力に対応した大きい信号を得ることができ
るため、検出効率をよくすることができる。
面にのみ電極を形成すればよく、２つの脚部間に電極を
形成する必要がないため、振動ジャイロの製造が簡単で
ある。また、駆動信号を与えることによって、振動体の
両方の脚部が励振されるので、励振効率がよく、低電圧
で振幅の大きい振動をさせることができる。さらに、２
つの検出用電極からの出力信号の差をとることによっ
て、コリオリ力に対応した大きい信号を得ることができ
るため、検出効率をよくすることができる。
【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１および図２はこの発明の振動
ジャイロの一例を示す斜視図である。ここで、図１は振
動ジャイロを一方側からみた斜視図であり、図２は振動
ジャイロを他方側からみた斜視図である。振動ジャイロ
１０は、音叉形の振動体１２を含む。振動体１２は、図
３に示すように、たとえば音叉形の第１の圧電体基板１
４および第２の圧電体基板１６を接合することによって
形成される。これらの第１の圧電体基板１４および第２
の圧電体基板１６は、エポキシ樹脂などの接合層１８で
接合される。第１の圧電体基板１４および第２の圧電体
基板１６は、太い実線矢印で示すように、互いに逆向き
の厚み方向に分極される。第１の圧電体基板１４の外側
主面には、振動体１２の音叉形に沿って、２つの駆動用
電極２０，２２が形成される。また、第２の圧電体基板
１６の外側主面には、それぞれの脚部に検出用電極２
４，２６が形成される。
ジャイロの一例を示す斜視図である。ここで、図１は振
動ジャイロを一方側からみた斜視図であり、図２は振動
ジャイロを他方側からみた斜視図である。振動ジャイロ
１０は、音叉形の振動体１２を含む。振動体１２は、図
３に示すように、たとえば音叉形の第１の圧電体基板１
４および第２の圧電体基板１６を接合することによって
形成される。これらの第１の圧電体基板１４および第２
の圧電体基板１６は、エポキシ樹脂などの接合層１８で
接合される。第１の圧電体基板１４および第２の圧電体
基板１６は、太い実線矢印で示すように、互いに逆向き
の厚み方向に分極される。第１の圧電体基板１４の外側
主面には、振動体１２の音叉形に沿って、２つの駆動用
電極２０，２２が形成される。また、第２の圧電体基板
１６の外側主面には、それぞれの脚部に検出用電極２
４，２６が形成される。
【００１１】この振動ジャイロ１０では、図４に示すよ
うに、外側の駆動用電極２２が、電源電圧の中間点に接
続されるとともに、２つの駆動用電極２０，２２間に発
振回路３０が接続される。発振回路３０は、たとえば増
幅回路と位相補正回路とを含み、駆動用電極２２から出
力される信号を増幅し、位相補正して駆動用電極２０に
与えられる。これにより、振動体１２の分極方向と直交
する向きに電界が印加され、音叉状の振動体１２が開い
たり閉じたりするようにして振動する。
うに、外側の駆動用電極２２が、電源電圧の中間点に接
続されるとともに、２つの駆動用電極２０，２２間に発
振回路３０が接続される。発振回路３０は、たとえば増
幅回路と位相補正回路とを含み、駆動用電極２２から出
力される信号を増幅し、位相補正して駆動用電極２０に
与えられる。これにより、振動体１２の分極方向と直交
する向きに電界が印加され、音叉状の振動体１２が開い
たり閉じたりするようにして振動する。
【００１２】また、検出用電極２４，２６は、差動回路
３２に接続される。差動回路３２は、たとえばオペアン
プや抵抗などによって構成される。さらに、差動回路３
２の出力端は、同期検波回路３４に接続される。同期検
波回路３４では、たとえば発振回路３０の信号に同期し
て、差動回路３０の出力信号が検波される。同期検波回
路３４の出力信号は、積分回路３６で直流信号に変換さ
れる。さらに、積分回路３６の出力信号は、直流増幅回
路３８で増幅される。
３２に接続される。差動回路３２は、たとえばオペアン
プや抵抗などによって構成される。さらに、差動回路３
２の出力端は、同期検波回路３４に接続される。同期検
波回路３４では、たとえば発振回路３０の信号に同期し
て、差動回路３０の出力信号が検波される。同期検波回
路３４の出力信号は、積分回路３６で直流信号に変換さ
れる。さらに、積分回路３６の出力信号は、直流増幅回
路３８で増幅される。
【００１３】この振動ジャイロ１０では、駆動用電極２
０，２２間に信号を与えることにより、振動体１２の脚
部が開いたり閉じたりするように振動する。このとき、
振動体１２の２つの脚部は、分極方向に対して同じ状態
で振動するため、検出用電極２４，２６から出力される
信号は同じである。そのため、差動回路３２からは、信
号が出力されない。
０，２２間に信号を与えることにより、振動体１２の脚
部が開いたり閉じたりするように振動する。このとき、
振動体１２の２つの脚部は、分極方向に対して同じ状態
で振動するため、検出用電極２４，２６から出力される
信号は同じである。そのため、差動回路３２からは、信
号が出力されない。
【００１４】この状態で、図５に示すように、振動体１
２の２つの脚部に平行な軸を中心として回転角速度ωが
加わると、無回転時の振動と直交する向きにコリオリ力
が働く。このコリオリ力によって、振動体１２の２つの
脚部の振動方向が変わる。そのため、検出用電極２４，
２６からは、コリオリ力に対応した信号が出力される。
このとき、コリオリ力は、２つの脚部に対して互いに逆
向きに働くため、振動体１２の２つの脚部は互いに逆向
きに変位する。そのため、検出用電極２４，２６から出
力される信号は、互いに逆位相の信号となる。したがっ
て、差動回路３２で検出用電極２４，２６の出力信号の
差をとれば、コリオリ力に対応した大きい信号を得るこ
とができる。
２の２つの脚部に平行な軸を中心として回転角速度ωが
加わると、無回転時の振動と直交する向きにコリオリ力
が働く。このコリオリ力によって、振動体１２の２つの
脚部の振動方向が変わる。そのため、検出用電極２４，
２６からは、コリオリ力に対応した信号が出力される。
このとき、コリオリ力は、２つの脚部に対して互いに逆
向きに働くため、振動体１２の２つの脚部は互いに逆向
きに変位する。そのため、検出用電極２４，２６から出
力される信号は、互いに逆位相の信号となる。したがっ
て、差動回路３２で検出用電極２４，２６の出力信号の
差をとれば、コリオリ力に対応した大きい信号を得るこ
とができる。
【００１５】差動回路３２の出力信号は、同期検波回路
３４で、発振回路３０の信号に同期して検波される。そ
れにより、差動回路３２の出力信号の正部分のみまたは
負部分のみが検波される。同期検波回路３４の出力信号
は積分回路３６で直流信号に変換され、さらに直流増幅
回路３８で増幅される。検出用電極２４，２６からの出
力信号のレベルは、振動体１２の脚部の変位の大きさに
よって決まるため、大きいコリオリ力が働くと、主力信
号のレベルは大きくなる。したがって、直流増幅回路３
８の出力信号のレベルから、回転角速度の大きさを検出
することができる。
３４で、発振回路３０の信号に同期して検波される。そ
れにより、差動回路３２の出力信号の正部分のみまたは
負部分のみが検波される。同期検波回路３４の出力信号
は積分回路３６で直流信号に変換され、さらに直流増幅
回路３８で増幅される。検出用電極２４，２６からの出
力信号のレベルは、振動体１２の脚部の変位の大きさに
よって決まるため、大きいコリオリ力が働くと、主力信
号のレベルは大きくなる。したがって、直流増幅回路３
８の出力信号のレベルから、回転角速度の大きさを検出
することができる。
【００１６】また、回転角速度が加わる方向によって、
振動体１２の２つの脚部にかかるコリオリ力の方向が変
わる。そのため、２つの検出用電極２４，２６から出力
される信号の位相も変わり、差動回路３２からは、回転
角速度の方向によって、逆位相の信号が出力される。し
たがって、同期検波回路３４では、一方向に回転角速度
が加わったとき信号の正部分が検波されるとすると、他
方向に回転角速度が加わったとき信号の負部分が検波さ
れる。そのため、回転角速度の加わる方向によって、直
流増幅回路３８の出力信号の極性が変わる。つまり、直
流増幅回路３８の出力信号の極性から、回転角速度の加
わった方向を知ることができる。
振動体１２の２つの脚部にかかるコリオリ力の方向が変
わる。そのため、２つの検出用電極２４，２６から出力
される信号の位相も変わり、差動回路３２からは、回転
角速度の方向によって、逆位相の信号が出力される。し
たがって、同期検波回路３４では、一方向に回転角速度
が加わったとき信号の正部分が検波されるとすると、他
方向に回転角速度が加わったとき信号の負部分が検波さ
れる。そのため、回転角速度の加わる方向によって、直
流増幅回路３８の出力信号の極性が変わる。つまり、直
流増幅回路３８の出力信号の極性から、回転角速度の加
わった方向を知ることができる。
【００１７】この振動ジャイロ１０では、駆動用電極２
０，２２が、音叉形の振動体１２に沿って形成されてい
る。したがって、これらの駆動用電極２０，２２に駆動
信号を与えることにより、２つの脚部が駆動される。そ
のため、一方の脚部に形成された駆動用電極に駆動信号
を与える従来の振動ジャイロに比べて、振動体１２に振
動を発生させるための励振効率を高くすることができ、
低電圧で振幅の大きい振動をさせることができる。ま
た、振動体１２の２つの脚部に形成された検出用電極か
らの出力信号の差をとることにより、コリオリ力に対応
した大きい信号を出力させることができる。そのため、
回転角速度の検出感度を高めることができる。さらに、
振動体１２の対向主面に駆動用電極２０，２２および検
出用電極２４，２６が形成され、２つの脚部の間に電極
を形成する必要がないため、振動ジャイロ１０の製造が
簡単である。
０，２２が、音叉形の振動体１２に沿って形成されてい
る。したがって、これらの駆動用電極２０，２２に駆動
信号を与えることにより、２つの脚部が駆動される。そ
のため、一方の脚部に形成された駆動用電極に駆動信号
を与える従来の振動ジャイロに比べて、振動体１２に振
動を発生させるための励振効率を高くすることができ、
低電圧で振幅の大きい振動をさせることができる。ま
た、振動体１２の２つの脚部に形成された検出用電極か
らの出力信号の差をとることにより、コリオリ力に対応
した大きい信号を出力させることができる。そのため、
回転角速度の検出感度を高めることができる。さらに、
振動体１２の対向主面に駆動用電極２０，２２および検
出用電極２４，２６が形成され、２つの脚部の間に電極
を形成する必要がないため、振動ジャイロ１０の製造が
簡単である。
【００１８】なお、上述の振動ジャイロ１０では、２つ
の圧電体基板１４，１６を接合してバイモルフ構造とし
たが、２つの圧電体セラミックグリーンシートを電極ペ
ーストなどで積層し、一体焼成することによって振動体
１２を形成してもよい。この場合、焼成されてできた２
つの基板の間に接合層としての電極が形成される。した
がって、振動体１２の対向主面に外部電極を形成し、接
合層と外部電極との間に電界を印加することにより、２
つの基板が互いに逆向きに分極される。そして、エッチ
ングなどによって外部電極を加工し、駆動用電極２０，
２２および検出用電極２４，２６を形成すればよい。
の圧電体基板１４，１６を接合してバイモルフ構造とし
たが、２つの圧電体セラミックグリーンシートを電極ペ
ーストなどで積層し、一体焼成することによって振動体
１２を形成してもよい。この場合、焼成されてできた２
つの基板の間に接合層としての電極が形成される。した
がって、振動体１２の対向主面に外部電極を形成し、接
合層と外部電極との間に電界を印加することにより、２
つの基板が互いに逆向きに分極される。そして、エッチ
ングなどによって外部電極を加工し、駆動用電極２０，
２２および検出用電極２４，２６を形成すればよい。
【００１９】また、たとえばＬｉＮｂＯ3 やＬｉＴａＯ
3 などの単結晶基板を音叉形に形成し、熱分極反転現象
を用いて部分的に逆向きの分極とし、疑似バイモルフ構
造としてもよい。この場合、振動体１２全体が同一材料
で形成されているため、熱などの影響により振動体に歪
みが生じることを防ぐことができる。
3 などの単結晶基板を音叉形に形成し、熱分極反転現象
を用いて部分的に逆向きの分極とし、疑似バイモルフ構
造としてもよい。この場合、振動体１２全体が同一材料
で形成されているため、熱などの影響により振動体に歪
みが生じることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の振動ジャイロの一例を一方側からみ
た斜視図である。
た斜視図である。
【図２】図１に示す振動ジャイロを他方側からみた斜視
図である。
図である。
【図３】図１および図２に示す振動ジャイロの平面図解
図である。
図である。
【図４】図１ないし図３に示す振動ジャイロを使用する
ための回路を示す図解図である。
ための回路を示す図解図である。
【図５】この発明の振動ジャイロに回転角速度が加わっ
たときに振動体に働く力を示す図解図である。
たときに振動体に働く力を示す図解図である。
【図６】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図７】図６に示す従来の振動ジャイロの平面図解図で
ある。
ある。
１０ 振動ジャイロ １２ 振動体 １４ 第１の圧電体基板 １６ 第２の圧電体基板 １８ 接合層 ２０，２２ 駆動用電極 ２４，２６ 検出用電極
Claims (4)
- 【請求項１】 音叉形の２つの圧電体基板を接合して形
成された振動体、 一方の前記圧電体基板の外側主面において音叉形に沿っ
て形成される２つの駆動用電極、および他方の前記圧電
体基板の外側主面においてそれぞれの脚部に形成される
２つの検出用電極を含み、 ２つの前記圧電体基板は互いに逆向きに分極された、振
動ジャイロ。 - 【請求項２】 前記振動体は、２つの圧電体基板を接着
することによって形成された、請求項１に記載の振動ジ
ャイロ。 - 【請求項３】 前記振動体は、圧電体セラミックグリー
ンシートを積層したのち一体焼成することによって形成
された、請求項１に記載の振動ジャイロ。 - 【請求項４】 単結晶基板の熱分極反転現象を利用する
ことによって形成される互いに逆向きに分極された音叉
形の振動体、 前記振動体の対向主面の一方側において音叉形に沿って
形成される２つの駆動用電極、および前記振動体の対向
主面の他方側においてそれぞれの脚部に形成される２つ
の検出用電極を含む、振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28298696A JP3646759B2 (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28298696A JP3646759B2 (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10111132A true JPH10111132A (ja) | 1998-04-28 |
| JP3646759B2 JP3646759B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=17659731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28298696A Expired - Lifetime JP3646759B2 (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3646759B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6532817B1 (en) | 1998-05-06 | 2003-03-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor and process for manufacturing the same |
| EP1369666A3 (en) * | 2002-06-04 | 2004-02-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator, vibrating gyroscope using the same, electronic apparatus using the same, and manufacturing method of the same |
| US7832272B2 (en) | 2006-07-21 | 2010-11-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator and vibratory gyroscope using the same |
-
1996
- 1996-10-03 JP JP28298696A patent/JP3646759B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6532817B1 (en) | 1998-05-06 | 2003-03-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor and process for manufacturing the same |
| EP1369666A3 (en) * | 2002-06-04 | 2004-02-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator, vibrating gyroscope using the same, electronic apparatus using the same, and manufacturing method of the same |
| US6799461B2 (en) | 2002-06-04 | 2004-10-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator, vibrating gyroscope using the same, electronic apparatus using the same, and manufacturing method of the same |
| US6904802B2 (en) | 2002-06-04 | 2005-06-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope using a tuning fork vibrator |
| CN100397040C (zh) * | 2002-06-04 | 2008-06-25 | 株式会社村田制作所 | 音叉型振子、使用该音叉型振子的振动陀螺、使用该振动陀螺的电子装置及音叉型振子的制造方法 |
| US7526852B2 (en) | 2002-06-04 | 2009-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing a tuning fork vibrator |
| US7832272B2 (en) | 2006-07-21 | 2010-11-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator and vibratory gyroscope using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3646759B2 (ja) | 2005-05-11 |
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