JPH10105699A - ピーク状ノイズの除去方法 - Google Patents

ピーク状ノイズの除去方法

Info

Publication number
JPH10105699A
JPH10105699A JP8259378A JP25937896A JPH10105699A JP H10105699 A JPH10105699 A JP H10105699A JP 8259378 A JP8259378 A JP 8259378A JP 25937896 A JP25937896 A JP 25937896A JP H10105699 A JPH10105699 A JP H10105699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
noise
peak
image
data
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8259378A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Oba
雅宏 大場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP8259378A priority Critical patent/JPH10105699A/ja
Publication of JPH10105699A publication Critical patent/JPH10105699A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Facsimile Image Signal Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、ピーク状ノイズを確実に除去でき、
良質な画像を生成できるピーク状ノイズの除去方法を提
供する。 【解決手段】対象画像と該対象画像に対して1画素分ず
らした画像との差画像を求め、この差画像のデータの絶
対値が所定の基準値を越えた位置をピーク状ノイズ位置
と判断し、このピーク状ノイズ位置を除いた対象画像の
データを参照してピーク状ノイズ位置のデータを補正す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば走査型レー
ザ顕微鏡や走査型プローブ顕微鏡などより得られる画像
からピーク状ノイズを除去するためのピーク状ノイズの
除去方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光源から
のレーザビームをX、Y方向に走査しながら対物レンズ
を介して被検体上に照射し、被検体上で反射された検出
ビームを、元の光路を通して戻すとともに、ピンホール
を介して光検出器で検出することにより観察画像を得る
ようにしている。
【0003】このように走査型レーザ顕微鏡では、被検
体面上にレーザビームが走査されるが、仮に、被検体面
に段差があると、この段差部分でレーザビームの非反射
や乱反射が生じることから、検出ビームの光量変動と、
光検出器での光検出特性により、図10に示すように段
差のエッヂ部分において、光検出器での検出値が飽和
(saturate) 状態(図示例では0側)まで急激に変化す
るようなピーク状ノイズAが発生することがある。
【0004】一方、走査型プローブ顕微鏡についても、
標本観察より得られる画像には、走査型という動作原理
から、画像の水平方向に垂直方向の相関の小さいピーク
状ノイズが存在することがある。
【0005】このような画像上のピーク状ノイズは、そ
れぞれ顕微鏡の動作原理に起因するものであるが、本来
の観察画像と異なる状態で画像中に現れるため、観察画
像が不自然なものになるばかりか、場合によっては、画
像観察の際に誤った判断を下す原因になることもあっ
た。
【0006】そこで、従来、ピーク状ノイズを除去する
方法として、スパイク除去フィルタを用いることが考え
られている。ここで、スパイク除去フィルタとは、画像
中の対象画素のデータを、この対象画素周囲の比較対象
画素のデータと比較をしながら補正を行うもので、例え
ば、対象画素を含む一定範囲内(例えば3×3)を比較
対象画素として、これら画素データの平均値と対象画素
のデータを比較し、その差が所定の基準値より大きい場
合、比較対象画素データの平均値に置き換える方法や、
対象画素のデータと、この対象画素データ周囲の一定範
囲内にある任意の画素のデータを比較し、これらの差が
所定の基準値以上である場合、対象画素データを比較画
素データを参照して補正するような方法である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの方
法は、突出した不連続なノイズに対しては有利である
が、突出したノイズが連続していて所定の幅または領域
を持っているようなものについては、対象とする画素を
特定するのが難しいことから、ノイズに相当する部分を
確実に除去できないことがあった。
【0008】例えば、図11(a)に示すような所定の
幅を有する画素データの立上がり立下がりで、それぞれ
1画素分のピーク状ノイズが2個ずつ発生したような場
合、仮に、一方のピーク状ノイズを対象画素データとす
ると、これの周囲の比較対象画素の平均値との比較結果
から、これらデータの平均値に置き換えられるので、同
図(b)に示すように対象とするピーク状ノイズは除去
されるが、他のピーク状ノイズが、そのまま残ってしま
うことがある。
【0009】また、図12(a)に示すように所定の幅
を有する画素データの立上がり立下がりでそれぞれ2画
素分のピーク状ノイズが発生したような場合でも、仮に
画素データの立上がりエッヂの2画素分を対象画素デー
タとすると、これの周囲の比較対象画素の平均値との比
較結果から、これらデータの平均値に置き換えられるの
で、同図(b)に示すように対象とするピーク状ノイズ
は除去されるが、ピーク状ノイズの一部がそのまま残っ
てしまうことがある。
【0010】このような所定の幅または領域を有するノ
イズは、上述した走査型レーザ顕微鏡や走査型プローブ
顕微鏡より得られる画像中に多く存在しているが、上述
したようにピーク状ノイズの全ての除去は難しいことか
らも、ピーク状ノイズの除去処理を行った後も、ピーク
状ノイズが存在して観察画像が不自然なものになってし
まい、画像観察の際に誤った判断を下すおそれがあっ
た。
【0011】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ピーク状ノイズを確実に除去でき、良質な画像を生
成できるピーク状ノイズの除去方法を提供することを目
的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
対象画像と、該対象画像に対して少なくとも1画素分ず
らした画像との差画像を求め、この差画像のデータの絶
対値が所定の基準値を越えた位置をピーク状ノイズ位置
と判断し、このピーク状ノイズ位置を除いた前記対象画
像のデータを参照して前記ピーク状ノイズ位置のデータ
を補正するようにしている。
【0013】請求項2記載の発明は、請求項1記載にお
いて、前記差画像のデータの絶対値が所定の基準値を越
えた位置をピーク状ノイズ位置と判断するとともに、こ
れらピーク状ノイズ位置の間について解像度を参照して
さらにピーク状ノイズ位置を判断するようにしている。
【0014】請求項3記載の発明は、対象画像のデータ
値が所定の飽和値に達している位置をピーク状ノイズ位
置と判断し、このピーク状ノイズ位置を除いた前記対象
画像のデータを参照して前記ピーク状ノイズ位置のデー
タを補正するようにしている。
【0015】この結果、請求項1記載の発明によれば、
ピーク状ノイズを確実に検出して除去することができ
る。また、請求項2記載の発明によれば、領域を持った
ピーク状ノイズでも、これらを確実に検出して除去する
ことができる。さらに、請求項3記載の発明によれば、
所定の飽和値に達している状態をピーク状ノイズと判断
して、これを除去することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 (第1の実施の形態)図1は、本発明が適用される走査
型レーザ顕微鏡の概略構成を示している。図において、
1はレーザ光源で、このレーザ光源1からのレーザビー
ムをビームスプリッタ2を介して対物レンズ9と共役な
位置に設けられたガルバノメータミラー3に入射するよ
うにしている。このガルバノメータミラー3は、Yガル
バノドライバ13により駆動され、レーザビームをY方
向に走査する光偏向器として作用するものである。
【0017】ガルバノメータミラー3で反射したレーザ
ビームは、瞳伝送レンズ4、5を介して対物レンズ9と
共役な位置に設けられたもう一つのガルバノメータミラ
ー6に入射するようにしている。このガルバノメータミ
ラー6は、Xガルバノドライバ14により駆動され、レ
ーザビームをX方向に走査する光偏向器として作用する
ものである。
【0018】そして、ガルバノメータミラー6で反射し
たレーザビームを瞳投影レンズ7、結像レンズ8を通過
させて対物レンズ9の瞳に入射し、被検体S上に回析に
よって制限されるレーザスポットとして照射するように
している。
【0019】一方、被検体S上で反射されたレーザビー
ム(以下、検出ビーム)を、再び元の光路を通ってビー
ムスプリッタ2まで戻し、このビームスプリッタ2を介
して集光レンズ10で点状に集光し、この集光レンズ1
0の集光位置に配置された光検出器12で検出するよう
にしている。そして、この光検出器12で検出した検出
ビームを画像信号に変換して、画像処理装置15に入力
している。
【0020】画像処理装置15は、画像信号を可視化し
てテレビモニタ16に被検体像を表示させるとともに、
CPU17からの要求に応じて被検体像の画像データを
CPU17に送り出すようにしている。CPU17に
は、キーボード18やマウス19より各種の指示入力が
与えられるようになっている。
【0021】しかして、このように構成した走査型レー
ザ顕微鏡により被検体の観察画像を得るような場合、上
述したように被検体面に段差があると、この段差部分で
のレーザビームの非反射や乱反射により検出ビームの光
量の変動と、光検出器12での光検出特性により、段差
のエッヂ部分において、光検出器12での検出値が、あ
る幅をもって飽和することによるピーク状ノイズが測定
されることがある。
【0022】そして、このようなピーク状ノイズが測定
されると、CPU17により図2に示すフローによりピ
ーク状ノイズの検出が実行される。この場合、まず、ス
テップ201で、対象画像とこの対象画像に対して1画
素分ずらした画像との間の差画像を求め、この差画像の
データの絶対値が所定の基準値を越えているかを判断す
る。ここで、差画像のデータの絶対値が所定の基準値を
越えていてYESならば、この位置をピーク状ノイズ位
置として検出する。そして、ステップ202に進み、こ
のピーク状ノイズ位置の近隣のノイズ領域までの距離が
解像度より長いかを判断する。この場合の解像度は、対
象画像に対して、予め所定の値が設定されている。
【0023】ここで、近隣のノイズ領域までの距離が解
像度より長くYESならば、ステップ203で、このピ
ーク状ノイズ位置は、近隣のノイズ領域とは別の新しい
ノイズ領域と判断し、また、近隣のノイズ領域までの距
離が解像度より短くNOならば、ステップ204で、近
隣のノイズ領域の一部と判断する。
【0024】そして、ステップ205で、対象画像の全
領域に対して検出が終了したかを判断し、NOならば、
ステップ201に戻って、上述したと同様な動作を繰り
返すようになる。
【0025】一方、ステップ201で、差画像のデータ
の絶対値が所定の基準値を越えておらずNOならば、今
度は、ステップ206に進む。ステップ206では、対
象画像のデータ値が飽和値以上または以下であるか判断
する。ここで、対象画像のデータ値が飽和値以上または
以下でYESならば、改めて、この位置をピーク状ノイ
ズ位置として検出する。そして、ステップ207に進
み、このピーク状ノイズ位置の近隣のノイズ領域までの
距離が解像度より長いかを判断する。
【0026】ここでも、近隣のノイズ領域までの距離が
解像度より長くYESならば、ステップ208で、この
ピーク状ノイズ位置は、近隣のノイズ領域とは別の新し
いノイズ領域と判断し、また、近隣のノイズ領域までの
距離が解像度より短くNOならば、ステップ209で、
近隣のノイズ領域の一部と判断する。
【0027】そして、ステップ205で、対象画像の全
領域に対して検出が終了したかを判断し、NOならば、
ステップ201に戻って、上述したと同様な動作を繰り
返すようになる。
【0028】一方、ステップ206で、対象画像のデー
タ値が飽和値以上または以下でなくNOならば、ピーク
状ノイズ位置でないと断定して直ちにステップ205に
進み、対象画像の全領域に対して検出が終了したかを判
断し、NOならば、ステップ201に戻って、上述した
と同様な動作を繰り返すようになる。
【0029】そして、このようにしてピーク状ノイズ位
置が検出されると、この後、検出されたピーク状ノイズ
位置の補正を行うが、この時の補正は、多項式近似方法
が用いられ、この補正に用いられる参照データの位置
を、検出されたピーク状ノイズ位置を除いて設定する。
この場合、参照データの点数は、任意に選択され、画像
の縁まで範囲を広げて取り出すようにする。
【0030】例えば、図3(a)に示すようにピーク状
ノイズ位置Nが検出された場合、参照データ点数を3と
すると、参照データ位置S1 は、同図に示すようにな
り、参照データ点数を6とすると、参照データ位置S2
は、同図(b)に示すようになる。
【0031】次に、このようなフローに沿って実際にピ
ーク状ノイズを検出する場合を説明する。まず、図4
(a)に示すように所定の幅を有する画素データの立上
がり立下がりで、それぞれ1画素分のピーク状ノイズが
発生するような場合、このような対象画像に対して、同
図(b)に示すように1画素分ずらした画像との差画像
を求め、この差画像のデータ値が正または負方向の所定
の基準値+L、−Lを越えているかを判断する。そし
て、これら基準値+L、−Lを越えているものをピーク
状ノイズとして検出する。同図(c)は、各画素ごとの
比較結果を示すもので、○は通常データ、×はピーク状
ノイズである。
【0032】次いで、これら×で表すピーク状ノイズ位
置について、近隣のノイズ領域までの距離が解像度より
長いかを判断してノイズ領域を決定する。この場合、3
個のピーク状ノイズにより1つのノイズ領域が形成され
ている。
【0033】そして、これらノイズ領域のピーク状ノイ
ズに対して、補正のための参照データ位置を設定する。
この場合、参照データ点数を3とすると、同図(c)に
示すようにピーク状ノイズ位置を除いた位置に設定し、
これら参照位置のデータを参照画像から取り出すととも
に、これら参照データを用いて、ピーク状ノイズ位置
(図4(c)の×部分)のデータを補正することによ
り、同図(d)に示すようにピーク状ノイズが除去され
た画像データが再生される。
【0034】次に、図5(a)に示すように所定の幅を
有する画像データの立上がり立下がりで、それぞれ2画
素分のピーク状ノイズが発生するような対象画像の場
合、このような対象画像に対して、1画素分ずらした画
像との差画像を求め、この差画像のデータ値が正または
負方向の所定の基準値を越えているかを判断する。ここ
で、仮に基準値を越えていない場合、今度は、対象画像
のデータ値を同図(a)に示す、所定の飽和値+H、−
Hと比較し、これら飽和値+H、−Hに達しているもの
をピーク状ノイズ位置として検出する。同図(b)は、
対象画像のデータ値と飽和値との比較結果を示すもの
で、○は通常データ、×はピーク状ノイズである。
【0035】次いで、これら×で表すピーク状ノイズ位
置について、近隣のノイズ領域までの距離が解像度より
長いかを判断してノイズ領域を決定する。この場合、2
個のピーク状ノイズにより1つのノイズ領域が形成され
る。
【0036】そして、これらノイズ領域のピーク状ノイ
ズに対して、補正のための参照データ位置を設定し、こ
れら参照位置のデータを参照画像から取り出すととも
に、これら参照データを用いて、ピーク状ノイズ位置
(図4(b)の×部分)を補正することにより、同図
(c)に示すようにピーク状ノイズが除去された画像デ
ータが再生される。
【0037】次に、画像データのエッヂとピーク状ノイ
ズを識別する場合を説明する。まず、図6に示すように
所定の幅を有する画像データの場合、このような対象画
像に対して、同図(b)に示すように1画素分ずらした
画像との差画像を求め、この差画像のデータ値が正また
は負方向の所定の基準値+L、−Lを越えているかを判
断する。そして、これら基準値+L、−Lを越えている
ものをピーク状ノイズとして検出すると、同図(c)に
示すように、通常データ○、ピーク状ノイズ×として得
られる。
【0038】この場合、×で表すピーク状ノイズ位置
は、7画素分離れている。そして、これらのピーク状ノ
イズ位置について、近隣するのノイズ領域までの距離が
解像度の値より長いか判断するが、ここで仮に解像度の
値を1とすると、これらピーク状ノイズ位置は同一ノイ
ズ領域のものでないと判断される。
【0039】そして、このような1点ずつのピーク状ノ
イズ位置の場合は、ピーク状ノイズでなくエッヂと判断
して処理される。次に、図7に示すように1画素分の画
像データの場合、このような対象画像についても、同図
(b)に示すように1画素分ずらした画像との差画像を
求め、この差画像のデータ値が正または負方向の所定の
基準値+L、−Lを越えているかを判断する。そして、
これら基準値+L、−Lを越えているものをピーク状ノ
イズとして検出すると、同図(c)に示すように、通常
データ○、ピーク状ノイズ×として得られる。
【0040】ここでの各ピーク状ノイズ位置は、2点ず
つの同一ノイズ領域のものとして得られるので、この場
合は、ピーク状ノイズと判断して処理される。つまり、
これら図6と図7の場合は、ピーク状ノイズ位置の検出
が1点の時はエッヂ、2点以上の場合はピーク状ノイズ
と判断すれば対応できることになる。
【0041】次に、図8に示すように2画素分の画像デ
ータの場合、このような対象画像についても、同図
(b)に示すように1画素分ずらした画像との差画像を
求め、この差画像のデータ値が正または負方向の所定の
基準値+L、−Lを越えているかを判断する。そして、
これら基準値+L、−Lを越えているものをピーク状ノ
イズとして検出すると、同図(c)に示すように、通常
データ○、ピーク状ノイズ×として得られる。
【0042】この場合、×で表すピーク状ノイズ位置が
1画素分おいて現れるが、これらピーク状ノイズ位置に
ついて、近隣するノイズ位置までの距離が解像度より長
いか判断するが、ここで仮に解像度の値を1とすると、
同図(c)の×と×の間に位置される○の部分は、ピー
ク状ノイズと見做され、×○×は、×××として同一ノ
イズ領域として判断される。
【0043】そして、これらノイズ領域のピーク状ノイ
ズについても、補正のための参照データ位置を設定し、
これら参照位置のデータを参照画像から取り出すととも
に、これら参照データを用いて、ピーク状ノイズ位置
(図8(c)の×部分)を補正することにより、これら
ピーク状ノイズは、全て除去されることになる。 (第2の実施の形態)一般に、走査型顕微鏡により得ら
れる画像は、その走査型という測定原理から操作ライン
ごとの測定条件の微妙な差やノイズ量の差などが影響し
て、画像の水平方向に、垂直方向の相関小さい線状のピ
ーク状ノイズが存在することがある。この線状のピーク
状ノイズは、走査型プローブ顕微鏡により得られる画像
によく見られる(図9(a)(b))。
【0044】このような場合は、画像の垂直方向に対し
て本発明を適用する。つまり、この場合も、まず画像デ
ータを読み込み、上方向に1画素分ずらしたデータとの
差を取り、その値の大きさと基準値を比較し、基準値以
上であれば、その位置をピーク状ノイズ位置として検出
する。また、元のデータそのものがある値(通常、その
画像の最大値)以上である場合、または元のデータその
ものがある値(通常、その画像の最小値)以下である場
合も同時に検出していく。
【0045】このようにしてピーク状ノイズ位置を検出
した後、上述したと同様に参照データを取り出し、検出
したピーク状ノイズ位置の補正を行う。このようにして
も、上述した第1の実施の形態と同様な効果を期待でき
る。
【0046】なお、上述の実施の形態では、対象画像に
対して1画素分ずらした画像との差画像を求めるように
したが、2画素以上ずらした画像との差画像を求めるよ
うにしてもよい。また、上述の実施の形態では、ピーク
状ノイズ位置の補正方法として、多項式近似を用いてい
るが、スムージング近似やスプライン近似などを用いて
もよい。また、基準値、参照データ点数、実行回数など
は任意であり、対象画像に要求される解像度によって設
定することもできる。さらに、上述では、CPU17を
用いて一連の処理を行っているが、画像処理装置15に
より行ってもよい。
【0047】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、1画
素分のピーク状ノイズは勿論、領域を持ったピーク状ノ
イズでも、これらを確実に検出して除去することができ
るので、画像の輪郭のぼけなどを防止して、良質な観察
画像を得られ、画像観察の際に誤った判断を下すような
おそれを確実に回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態が適用される走査型
レーザ顕微鏡の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態におけるピーク状ノイズの検
出を説明するためのフローチャート。
【図3】第1の実施の形態での参照データの設定の仕方
を説明するための図。
【図4】第1の実施の形態でのピーク状ノイズの検出を
説明するための図。
【図5】第1の実施の形態での他のピーク状ノイズの検
出を説明するための図。
【図6】第1の実施の形態での他のピーク状ノイズの検
出を説明するための図。
【図7】第1の実施の形態での他のピーク状ノイズの検
出を説明するための図。
【図8】第1の実施の形態での他のピーク状ノイズの検
出を説明するための図。
【図9】本発明の第2の実施の形態を説明するための走
査型プローブ顕微鏡より得られる画像中のピーク状ノイ
ズを示す図。
【図10】従来の走査型レーザ顕微鏡でのピーク状ノイ
ズの発生状態を説明する図。
【図11】従来のピーク状ノイズの検出方法を説明する
ための図。
【図12】従来のピーク状ノイズの他の検出方法を説明
するための図。
【符号の説明】
1…レーザ光源、 2…ビームスプリッタ、 3…ガルバノメータミラー、 4、5…瞳伝送レンズ、 6…ガルバノメータミラー、 7…瞳投影レンズ、 8…結像レンズ、 9…対物レンズ、 10…集光レンズ、 12…光検出器、 13…Yガルバノドライバ、 14…Xガルバノドライバ、 15…画像処理装置、 16…テレビモニタ、 17…CPU、 18…キーボード、 19…マウス。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対象画像と、該対象画像に対して少なく
    とも1画素分ずらした画像との差画像を求め、 この差画像のデータの絶対値が所定の基準値を越えた位
    置をピーク状ノイズ位置と判断し、 このピーク状ノイズ位置を除いた前記対象画像のデータ
    を参照して前記ピーク状ノイズ位置のデータを補正する
    ことを特徴とするピーク状ノイズの除去方法。
  2. 【請求項2】 前記差画像のデータの絶対値が所定の基
    準値を越えた位置をピーク状ノイズ位置と判断するとと
    もに、これらピーク状ノイズ位置の間について解像度を
    参照してさらにピーク状ノイズ位置を判断することを特
    徴とする請求項1記載のピーク状ノイズの除去方法。
  3. 【請求項3】 対象画像のデータ値が所定の飽和値に達
    している位置をピーク状ノイズ位置と判断し、 このピーク状ノイズ位置を除いた前記対象画像のデータ
    を参照して前記ピーク状ノイズ位置のデータを補正する
    ことを特徴とするピーク状ノイズの除去方法。
JP8259378A 1996-09-30 1996-09-30 ピーク状ノイズの除去方法 Withdrawn JPH10105699A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8259378A JPH10105699A (ja) 1996-09-30 1996-09-30 ピーク状ノイズの除去方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8259378A JPH10105699A (ja) 1996-09-30 1996-09-30 ピーク状ノイズの除去方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10105699A true JPH10105699A (ja) 1998-04-24

Family

ID=17333305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8259378A Withdrawn JPH10105699A (ja) 1996-09-30 1996-09-30 ピーク状ノイズの除去方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10105699A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010176128A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Sony Corp 2画像マッチングに基づく深度推定のための2次元多項式モデル

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010176128A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Sony Corp 2画像マッチングに基づく深度推定のための2次元多項式モデル

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4215454B2 (ja) 試料の凹凸判定方法、及び荷電粒子線装置
JP6675433B2 (ja) 欠陥分類方法、フォトマスクブランクの選別方法、およびマスクブランクの製造方法
KR20070098603A (ko) 패턴 측정 장치 및 패턴 측정 방법
JP3647416B2 (ja) パターン検査装置及びその方法
JP2003303564A (ja) 走査型荷電粒子顕微鏡における自動焦点システム
JP2007285754A (ja) 欠陥検出方法および欠陥検出装置
JP2833908B2 (ja) 露光装置における位置決め装置
JP4538421B2 (ja) 荷電粒子線装置
JP4244046B2 (ja) 画像処理方法および画像処理装置
JP4270229B2 (ja) 荷電粒子線装置
JPH0689687A (ja) 走査電子顕微鏡における自動焦点合わせ装置
JP2008249413A (ja) 欠陥検出方法および装置
JPH09159622A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH10105699A (ja) ピーク状ノイズの除去方法
JP2018060141A (ja) 参照画像確認方法、マスク検査方法およびマスク検査装置
KR20060052459A (ko) 화상 검사 장치, 화상 검사 방법, 제어 프로그램 및 컴퓨터판독가능한 기억 매체
JP4447464B2 (ja) 皮膚紋様の画像中の関心のある領域の決定方法
JP2000182555A (ja) 自動焦点合わせ装置
JP2001091844A (ja) 共焦点走査型顕微鏡
JP2005291720A (ja) 蛍光検出装置、濃淡情報補正方法および濃淡情報補正プログラム
JPH11166900A (ja) 検査装置、検査方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
JP4585109B2 (ja) 鋼板の表面疵検出装置、検出方法及び記憶媒体
JP3943739B2 (ja) イメージスキャナ
JPH10154479A (ja) 合焦位置算出装置及びその方法
JPH0921761A (ja) 表面欠陥検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20031202