JPH10104629A - 微細溝形成装置 - Google Patents
微細溝形成装置Info
- Publication number
- JPH10104629A JPH10104629A JP26051396A JP26051396A JPH10104629A JP H10104629 A JPH10104629 A JP H10104629A JP 26051396 A JP26051396 A JP 26051396A JP 26051396 A JP26051396 A JP 26051396A JP H10104629 A JPH10104629 A JP H10104629A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine
- rubbing roll
- magnet
- substrate
- forming apparatus
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- Withdrawn
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- Liquid Crystal (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 均一な微細溝を容易に形成することができる
微細溝形成装置を提供する。 【解決手段】 外周面に微細繊維２を有するラビングロ
ール１を回転させながら基板１０の表面のポリイミド膜
１３に接触させることにより、ポリイミド膜１３に微細
溝１３ａを形成する微細溝形成装置であって、上記微細
繊維２が微細粉状の磁性体を内部に含有したポリアミド
樹脂からなると共に、上記基板１０を挟んで上記ラビン
グロール１と対向するように磁石３を配設することによ
り、ポリイミド樹脂１３に対する微細繊維２の接触力を
磁石３の磁力で加えるようにした。
微細溝形成装置を提供する。 【解決手段】 外周面に微細繊維２を有するラビングロ
ール１を回転させながら基板１０の表面のポリイミド膜
１３に接触させることにより、ポリイミド膜１３に微細
溝１３ａを形成する微細溝形成装置であって、上記微細
繊維２が微細粉状の磁性体を内部に含有したポリアミド
樹脂からなると共に、上記基板１０を挟んで上記ラビン
グロール１と対向するように磁石３を配設することによ
り、ポリイミド樹脂１３に対する微細繊維２の接触力を
磁石３の磁力で加えるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微細溝形成装置に
関し、特に、液晶ディスプレイなどの液晶配向膜の微細
溝を形成する際に適用すると有効なものである。
関し、特に、液晶ディスプレイなどの液晶配向膜の微細
溝を形成する際に適用すると有効なものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイなどの液晶封入ギャッ
プの上下端には、液晶分子の配向を規制するため、表面
に一様な方向の微細溝を形成したポリイミド膜からなる
液晶配向膜が設けられている。この液晶配向膜の上記微
細溝は、液晶表示の性能を向上させる目的から、液晶分
子鎖の両端を傾斜させるプレチルト角を有している。こ
のような液晶配向膜の微細溝の形成は、表面に微細繊維
を起毛させるように設けたラビングロールを備えた微細
溝形成装置を用い、当該ラビングロールを基板表面の前
記ポリイミド膜に押し付け、当該ラビングロールの押付
力を周期的に変えながら当該ラビングロールを回転させ
ると共に上記基板を移動させることにより行っている。
プの上下端には、液晶分子の配向を規制するため、表面
に一様な方向の微細溝を形成したポリイミド膜からなる
液晶配向膜が設けられている。この液晶配向膜の上記微
細溝は、液晶表示の性能を向上させる目的から、液晶分
子鎖の両端を傾斜させるプレチルト角を有している。こ
のような液晶配向膜の微細溝の形成は、表面に微細繊維
を起毛させるように設けたラビングロールを備えた微細
溝形成装置を用い、当該ラビングロールを基板表面の前
記ポリイミド膜に押し付け、当該ラビングロールの押付
力を周期的に変えながら当該ラビングロールを回転させ
ると共に上記基板を移動させることにより行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の微細溝形成装置では、ラビングロールの
回転振れや真直度のわずかな誤差や軸のわずかな曲げ変
形などでも、ラビングロールの微細繊維のポリイミド膜
表面に対する接触圧がバラツキやすいため、微細溝の深
さやプレチルト角の大きさが不均一となりやすく、品質
の安定した液晶配向膜を得るのに多大な手間を要してし
まう。
たような従来の微細溝形成装置では、ラビングロールの
回転振れや真直度のわずかな誤差や軸のわずかな曲げ変
形などでも、ラビングロールの微細繊維のポリイミド膜
表面に対する接触圧がバラツキやすいため、微細溝の深
さやプレチルト角の大きさが不均一となりやすく、品質
の安定した液晶配向膜を得るのに多大な手間を要してし
まう。
【０００４】このようなことから、本発明は、均一な微
細溝を容易に形成することができる微細溝形成装置を提
供することを目的とした。
細溝を容易に形成することができる微細溝形成装置を提
供することを目的とした。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、本発明による微細溝形成装置は、外周面に微細
繊維を有するラビングロールを回転させながら基板の表
面に接触させることにより当該基板の表面に微細溝を形
成する微細溝形成装置において、前記微細繊維が磁性を
有すると共に、前記基板を挟んで前記ラビングロールと
対向するように磁石を配設したことを特徴とする。
ための、本発明による微細溝形成装置は、外周面に微細
繊維を有するラビングロールを回転させながら基板の表
面に接触させることにより当該基板の表面に微細溝を形
成する微細溝形成装置において、前記微細繊維が磁性を
有すると共に、前記基板を挟んで前記ラビングロールと
対向するように磁石を配設したことを特徴とする。
【０００６】上述した微細溝形成装置においては、前記
磁石の中心と前記ラビングロールの中心とを結ぶ線と当
該ラビングロールの中心を通る前記基板の法線とが所定
の角度をなすように前記磁石を配設したことを特徴とす
る。
磁石の中心と前記ラビングロールの中心とを結ぶ線と当
該ラビングロールの中心を通る前記基板の法線とが所定
の角度をなすように前記磁石を配設したことを特徴とす
る。
【０００７】上述した微細溝形成装置においては、前記
微細繊維が微細粉状の磁性体を内部に含有した樹脂から
なることを特徴とする。
微細繊維が微細粉状の磁性体を内部に含有した樹脂から
なることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明による微細溝形成装置の実
施の形態を図１を用いて説明する。なお、図１は、その
要部の概略構成図である。
施の形態を図１を用いて説明する。なお、図１は、その
要部の概略構成図である。
【０００９】図１において、１はラビングロールであ
り、その両端が図示しない軸受で回転可能に支持され、
図示しない駆動装置により、図中、矢線Ａ方向に回転す
るようになっている。２は微細繊維であり、ラビングロ
ール１の外周面に起毛するように全体にわたって設けら
れ、微細粉状の磁性体（磁気テープなどに用いられてい
るもの）を内部に含有したナイロンなどのポリアミド樹
脂からなる複合磁性材料となっている。この微細繊維２
は、溶融させたポリアミド樹脂に微細粉状の磁性体を混
合して冷却成形することにより容易に得ることができ
る。
り、その両端が図示しない軸受で回転可能に支持され、
図示しない駆動装置により、図中、矢線Ａ方向に回転す
るようになっている。２は微細繊維であり、ラビングロ
ール１の外周面に起毛するように全体にわたって設けら
れ、微細粉状の磁性体（磁気テープなどに用いられてい
るもの）を内部に含有したナイロンなどのポリアミド樹
脂からなる複合磁性材料となっている。この微細繊維２
は、溶融させたポリアミド樹脂に微細粉状の磁性体を混
合して冷却成形することにより容易に得ることができ
る。
【００１０】１０は基板であり、ガラス板１１上に透明
電極膜１２を介してポリイミド膜１３が成膜されたもの
である。この基板１０は、図示しないＸＹテーブル上に
載置され、図中、矢線Ｂ方向へ移動させられるようにな
っている。
電極膜１２を介してポリイミド膜１３が成膜されたもの
である。この基板１０は、図示しないＸＹテーブル上に
載置され、図中、矢線Ｂ方向へ移動させられるようにな
っている。
【００１１】３は磁石であり、上記基板１０を挟んで前
記ラビングロール１と対向するようにして配設されてお
り、その中心Ｏ2 と上記ラビングロール１の中心Ｏ1 と
を結ぶ線Ｌ1 と当該ラビングロール１の中心Ｏ1 を通る
上記基板１０の法線Ｌ2 とが所定の角度θ1 をなし、上
記線Ｌ1 に沿った方向で磁束密度が最大となるように配
向されている。
記ラビングロール１と対向するようにして配設されてお
り、その中心Ｏ2 と上記ラビングロール１の中心Ｏ1 と
を結ぶ線Ｌ1 と当該ラビングロール１の中心Ｏ1 を通る
上記基板１０の法線Ｌ2 とが所定の角度θ1 をなし、上
記線Ｌ1 に沿った方向で磁束密度が最大となるように配
向されている。
【００１２】このような微細溝形成装置の作用を以下に
説明する。前記ＸＹテーブル上に基板１０を載置し、ラ
ビングロール１の微細繊維２を当該基板１０のポリイミ
ド膜１３に所定の力で接触させるように当該ラビングロ
ール１をセットしたら、当該ラビングロール１を前記矢
線Ａ方向へ回転させると共に、前記ＸＹテーブルを前記
矢線Ｂ方向へ移動させる。
説明する。前記ＸＹテーブル上に基板１０を載置し、ラ
ビングロール１の微細繊維２を当該基板１０のポリイミ
ド膜１３に所定の力で接触させるように当該ラビングロ
ール１をセットしたら、当該ラビングロール１を前記矢
線Ａ方向へ回転させると共に、前記ＸＹテーブルを前記
矢線Ｂ方向へ移動させる。
【００１３】このようにして作動させると、微細繊維２
は、磁石３の磁力により、以下のような挙動を示す。
は、磁石３の磁力により、以下のような挙動を示す。
【００１４】ラビングロール１の回転に伴って、基板１
０のポリイミド膜１３に接触した微細繊維２ａは、磁石
３の磁力が弱い位置であるので、当該ポリイミド膜１３
に対する接触力が小さく、すなわち、加工力が小さいこ
とから、弾性変形して撓んだ状態で当該ポリイミド膜１
３上を滑るようにして移動する。
０のポリイミド膜１３に接触した微細繊維２ａは、磁石
３の磁力が弱い位置であるので、当該ポリイミド膜１３
に対する接触力が小さく、すなわち、加工力が小さいこ
とから、弾性変形して撓んだ状態で当該ポリイミド膜１
３上を滑るようにして移動する。
【００１５】続いて、前記線Ｌ1 に近接するように移動
した微細繊維２ｂ，２ｃは、磁石３による磁力が強い範
囲内に位置するようになるので、上記ポリイミド膜１３
に対する接触力が徐々に大きくなり、すなわち、加工力
が徐々に大きくなり、当該ポリイミド膜１３に微細溝１
３ａを形成し始めるようになる。
した微細繊維２ｂ，２ｃは、磁石３による磁力が強い範
囲内に位置するようになるので、上記ポリイミド膜１３
に対する接触力が徐々に大きくなり、すなわち、加工力
が徐々に大きくなり、当該ポリイミド膜１３に微細溝１
３ａを形成し始めるようになる。
【００１６】ラビングロール１のさらなる回転により、
上記線Ｌ1 に沿うように長手方向を向けた微細繊維２ｄ
は、磁石３による磁力が最も強い範囲内に位置するよう
になるので、上記ポリイミド膜１３に対する加工力が最
大となる、いわゆるケバ立ち状態となる一方、当該ポリ
イミド膜１３から徐々に離れるようになることから、プ
レチルト角θ2 （θ2 ＝θ1 ）を有するように微細溝１
３ａを形成するようになる。
上記線Ｌ1 に沿うように長手方向を向けた微細繊維２ｄ
は、磁石３による磁力が最も強い範囲内に位置するよう
になるので、上記ポリイミド膜１３に対する加工力が最
大となる、いわゆるケバ立ち状態となる一方、当該ポリ
イミド膜１３から徐々に離れるようになることから、プ
レチルト角θ2 （θ2 ＝θ1 ）を有するように微細溝１
３ａを形成するようになる。
【００１７】続いて、上記線Ｌ1 から離れるように移動
した微細繊維２ｅは、磁石３による磁力が強い範囲内に
位置しているものの、前記ポリイミド膜１３から離れて
しまうので、当該ポリイミド膜１３への上記微細溝１３
ａの形成から開放される。
した微細繊維２ｅは、磁石３による磁力が強い範囲内に
位置しているものの、前記ポリイミド膜１３から離れて
しまうので、当該ポリイミド膜１３への上記微細溝１３
ａの形成から開放される。
【００１８】つまり、磁石３で微細繊維２を基板１０の
表面に引き寄せることにより、ポリイミド膜１３への微
細繊維２の接触力、すなわち、ポリイミド膜１３への微
細溝１３ａの加工力を得るようにしたのである。
表面に引き寄せることにより、ポリイミド膜１３への微
細繊維２の接触力、すなわち、ポリイミド膜１３への微
細溝１３ａの加工力を得るようにしたのである。
【００１９】このため、ラビングロール１の回転振れや
真直度のわずかな誤差や軸のわずかな曲げ変形などによ
る微細繊維２のポリイミド膜１３への接触圧に対する影
響を小さくすることができると共に、微細繊維２のポリ
イミド膜１３への接触圧を磁石３の磁力の調節により容
易に調整することができるので、微細溝１３ａを均一に
加工することが容易にできる。
真直度のわずかな誤差や軸のわずかな曲げ変形などによ
る微細繊維２のポリイミド膜１３への接触圧に対する影
響を小さくすることができると共に、微細繊維２のポリ
イミド膜１３への接触圧を磁石３の磁力の調節により容
易に調整することができるので、微細溝１３ａを均一に
加工することが容易にできる。
【００２０】また、磁石３の中心Ｏ2 とラビングロール
１の中心Ｏ1 とを結ぶ線Ｌ1 と当該ラビングロール１の
中心Ｏ1 を通る基板１０の法線Ｌ2 とが所定の角度θ1
をなすように磁石３を配向したので、プレチルト角θ2
を有するように微細溝１３ａを形成することが容易にで
きる。
１の中心Ｏ1 とを結ぶ線Ｌ1 と当該ラビングロール１の
中心Ｏ1 を通る基板１０の法線Ｌ2 とが所定の角度θ1
をなすように磁石３を配向したので、プレチルト角θ2
を有するように微細溝１３ａを形成することが容易にで
きる。
【００２１】したがって、このような微細溝形成装置に
よれば、微細溝１３ａの深さやプレチルト角θ2 の大き
さなどを均一に加工することが容易にできるので、品質
の安定した液晶配向膜を簡単に製造することができる。
よれば、微細溝１３ａの深さやプレチルト角θ2 の大き
さなどを均一に加工することが容易にできるので、品質
の安定した液晶配向膜を簡単に製造することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の微細溝形成装置によれば、微細
溝を均一に加工することが容易にできるので、例えば、
液晶ディスプレイなどの液晶配向膜の微細溝の形成に適
用すれば、品質の安定した液晶配向膜を簡単に製造する
ことができる。
溝を均一に加工することが容易にできるので、例えば、
液晶ディスプレイなどの液晶配向膜の微細溝の形成に適
用すれば、品質の安定した液晶配向膜を簡単に製造する
ことができる。
【図１】本発明による微細溝形成装置の実施の形態の要
部の概略構成図である。
部の概略構成図である。
１ ラビングロール ２ 微細繊維 ３ 磁石 １０ 基板 １１ ガラス板 １２ 透明電極膜 １３ ポリイミド膜 Ｏ1 ラビングロールの中心 Ｏ2 磁石の中心 Ｌ1 Ｏ1 とＯ2 とを結ぶ線 Ｌ2 Ｏ1 を通る基板の法線 θ1 Ｌ1 とＬ2 とがなす角度 θ2 プレチルト角
Claims (3)
- 【請求項１】 外周面に微細繊維を有するラビングロー
ルを回転させながら基板の表面に接触させることにより
当該基板の表面に微細溝を形成する微細溝形成装置にお
いて、前記微細繊維が磁性を有すると共に、前記基板を
挟んで前記ラビングロールと対向するように磁石を配設
したことを特徴とする微細溝形成装置。 - 【請求項２】 前記磁石の中心と前記ラビングロールの
中心とを結ぶ線と当該ラビングロールの中心を通る前記
基板の法線とが所定の角度をなすように前記磁石を配設
したことを特徴とする請求項１に記載の微細溝形成装
置。 - 【請求項３】 前記微細繊維が微細粉状の磁性体を内部
に含有した樹脂からなることを特徴とする請求項１また
は２に記載の微細溝形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26051396A JPH10104629A (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | 微細溝形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26051396A JPH10104629A (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | 微細溝形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10104629A true JPH10104629A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17349016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26051396A Withdrawn JPH10104629A (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | 微細溝形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10104629A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100394279C (zh) * | 2003-07-16 | 2008-06-11 | 常阳工学株式会社 | 摩擦装置及使用该摩擦装置制造的液晶显示元件 |
-
1996
- 1996-10-01 JP JP26051396A patent/JPH10104629A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100394279C (zh) * | 2003-07-16 | 2008-06-11 | 常阳工学株式会社 | 摩擦装置及使用该摩擦装置制造的液晶显示元件 |
| KR101026273B1 (ko) | 2003-07-16 | 2011-03-31 | 조요고가쿠 가부시키가이샤 | 러빙 장치 및 이것을 사용하여 제조한 액정 표시 소자 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031202 |