JPH10100002A - エアスピンドル - Google Patents
エアスピンドルInfo
- Publication number
- JPH10100002A JPH10100002A JP25569196A JP25569196A JPH10100002A JP H10100002 A JPH10100002 A JP H10100002A JP 25569196 A JP25569196 A JP 25569196A JP 25569196 A JP25569196 A JP 25569196A JP H10100002 A JPH10100002 A JP H10100002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- rotating shaft
- spindle
- air bearing
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Turning (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低速から高速まで十分な主軸剛性を実現でき
る工作機械用のエアスピンドルを提供することを目的と
する。 【解決手段】 回転軸１を空気軸受３ａ，３ｂにより半
径方向に拘束し、該空気軸受３ａ，３ｂから圧縮空気を
噴出して、前記回転軸１を非接触状態で保持するエアス
ピンドルにおいて、上記回転軸１の外周に上記回転軸１
と同心で、且つ、隙間を隔てた円筒部１ａを設けて当該
回転軸１と結合し、上記回転軸１と前記円筒部１ａとの
隙間にこれらと隙間を隔てて円筒状をなす前記空気軸受
３ａ，３ｂを配し、且つ、上記空気軸受３ａ，３ｂの内
外周両面に圧縮空気を吹き出す手段を設けたことを特徴
とする。
る工作機械用のエアスピンドルを提供することを目的と
する。 【解決手段】 回転軸１を空気軸受３ａ，３ｂにより半
径方向に拘束し、該空気軸受３ａ，３ｂから圧縮空気を
噴出して、前記回転軸１を非接触状態で保持するエアス
ピンドルにおいて、上記回転軸１の外周に上記回転軸１
と同心で、且つ、隙間を隔てた円筒部１ａを設けて当該
回転軸１と結合し、上記回転軸１と前記円筒部１ａとの
隙間にこれらと隙間を隔てて円筒状をなす前記空気軸受
３ａ，３ｂを配し、且つ、上記空気軸受３ａ，３ｂの内
外周両面に圧縮空気を吹き出す手段を設けたことを特徴
とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械に用いら
れるエアスピンドルに関する。
れるエアスピンドルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のエアスピンドルの構造例を図３に
示す。同図に示すように、回転軸０１はラジアル空気軸
受０３ａ，０３ｂにより半径方向の位置を拘束され、ス
ラストカラー０５が回転軸０１に組み込まれスラストプ
レート０４及びハウジング０２の端部に挟まれてスラス
ト軸受構造を構成し、軸方向の位置が拘束されている。
示す。同図に示すように、回転軸０１はラジアル空気軸
受０３ａ，０３ｂにより半径方向の位置を拘束され、ス
ラストカラー０５が回転軸０１に組み込まれスラストプ
レート０４及びハウジング０２の端部に挟まれてスラス
ト軸受構造を構成し、軸方向の位置が拘束されている。
【０００３】ハウジング０２は二つ割りになっておりス
ラストカラー０５を取り付ける前にラジアル空気軸受０
３ａ，０３ｂを挿入後、基準座０２９を治具に取り付け
て一体に組み上げられる。ラジアル空気軸受０３ａ，０
３ｂには回転軸０１に向けて給気孔０１２ａ，０１２
ｂ，０１２ｃ，０１２ｄが設けられ、これら給気孔０１
２ａ〜０１２ｄから高圧の空気が回転軸０１に向かって
噴出し、回転軸０１と各軸受０３ａ，０３ｂとを非接触
に保っている。
ラストカラー０５を取り付ける前にラジアル空気軸受０
３ａ，０３ｂを挿入後、基準座０２９を治具に取り付け
て一体に組み上げられる。ラジアル空気軸受０３ａ，０
３ｂには回転軸０１に向けて給気孔０１２ａ，０１２
ｂ，０１２ｃ，０１２ｄが設けられ、これら給気孔０１
２ａ〜０１２ｄから高圧の空気が回転軸０１に向かって
噴出し、回転軸０１と各軸受０３ａ，０３ｂとを非接触
に保っている。
【０００４】一方、スラスト軸受部分には給気孔０８，
０９が設けられ、これら給気孔０８，０９から高圧の空
気がスラストカラー０５に向かって噴出し、スラストカ
ラー０５とスラスト軸受構造とを非接触に保っている。
更に、高圧の空気は給気孔０６からエアスピンドル内部
に導入され、円周溝０７、供給管０１０を介して各給気
孔へ分配される。ハウジング０２とスラストプレート０
４との間の円周溝０７の周囲にはＯ−リング０２５，０
２６が配置されており、高圧空気の漏れを防いでいる。
０９が設けられ、これら給気孔０８，０９から高圧の空
気がスラストカラー０５に向かって噴出し、スラストカ
ラー０５とスラスト軸受構造とを非接触に保っている。
更に、高圧の空気は給気孔０６からエアスピンドル内部
に導入され、円周溝０７、供給管０１０を介して各給気
孔へ分配される。ハウジング０２とスラストプレート０
４との間の円周溝０７の周囲にはＯ−リング０２５，０
２６が配置されており、高圧空気の漏れを防いでいる。
【０００５】ハウジング０２には随所に排気孔０１５，
０１６，０１７，０１８が設けられると共に回転軸０１
には連通孔０１４ａ，０１４ｂが設けられ、供給された
高圧空気が内部で閉塞しないように配慮され、これによ
り、内部の冷却効率が高められる。回転軸０１の先端部
近傍には供給管から分岐してシールガス供給部０１３が
設けられ、回転軸先端部から軸受側へのダストや切削油
の侵入を防いでいる。
０１６，０１７，０１８が設けられると共に回転軸０１
には連通孔０１４ａ，０１４ｂが設けられ、供給された
高圧空気が内部で閉塞しないように配慮され、これによ
り、内部の冷却効率が高められる。回転軸０１の先端部
近傍には供給管から分岐してシールガス供給部０１３が
設けられ、回転軸先端部から軸受側へのダストや切削油
の侵入を防いでいる。
【０００６】一方、回転軸０１の他端には回転子０１９
がスペーサ０２０ａ，０２０ｂとナット０２４により固
定され、また、この回転子０１９に対して一定間隙とな
るように静止極０２１が電動機ハウジング０２２を介し
てスラストプレート０４に固定されている。電動機ハウ
ジング０２２は、スラストプレート０４との間で同心状
態を保って直結されている。電動機ハウジング０２２の
他端には電動機端部蓋０２３があり、排気口０２８が設
けられている。
がスペーサ０２０ａ，０２０ｂとナット０２４により固
定され、また、この回転子０１９に対して一定間隙とな
るように静止極０２１が電動機ハウジング０２２を介し
てスラストプレート０４に固定されている。電動機ハウ
ジング０２２は、スラストプレート０４との間で同心状
態を保って直結されている。電動機ハウジング０２２の
他端には電動機端部蓋０２３があり、排気口０２８が設
けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】エアスピンドルを高速
で用いる場合には、回転軸０１と軸受０３ａ，０３ｂと
の隙間で発生する発熱による熱変形と、回転軸０１の遠
心膨張に配慮する必要がある。通常、高速のエアスピン
ドルにおいても軸受隙間は低線膨張材の利用や強制冷却
の手段が講じられる。
で用いる場合には、回転軸０１と軸受０３ａ，０３ｂと
の隙間で発生する発熱による熱変形と、回転軸０１の遠
心膨張に配慮する必要がある。通常、高速のエアスピン
ドルにおいても軸受隙間は低線膨張材の利用や強制冷却
の手段が講じられる。
【０００８】しかし、更に高速のスピンドルを考えた場
合、遠心膨張のオーダーがこの隙間相当となり、これを
コントロールすることは困難であり、予め遠心膨張を考
慮した大きめの隙間設計を行ったとしても、低回転時の
剛性が不足し、使用範囲が限られてしまう欠点があっ
た。
合、遠心膨張のオーダーがこの隙間相当となり、これを
コントロールすることは困難であり、予め遠心膨張を考
慮した大きめの隙間設計を行ったとしても、低回転時の
剛性が不足し、使用範囲が限られてしまう欠点があっ
た。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の請求項１に係るエアスピンドルは、回転軸を空気軸
受により半径方向に拘束し、該空気軸受から圧縮空気を
噴出して、前記回転軸を非接触状態で保持するエアスピ
ンドルにおいて、上記回転軸の外周に上記回転軸と同心
で、且つ、隙間を隔てた円筒部を設けて当該回転軸と結
合し、上記回転軸と前記円筒部との隙間にこれらと隙間
を隔てて円筒状をなす前記空気軸受を配し、且つ、上記
空気軸受の内外周両面に圧縮空気を吹き出す手段を設け
たことを特徴とする。
明の請求項１に係るエアスピンドルは、回転軸を空気軸
受により半径方向に拘束し、該空気軸受から圧縮空気を
噴出して、前記回転軸を非接触状態で保持するエアスピ
ンドルにおいて、上記回転軸の外周に上記回転軸と同心
で、且つ、隙間を隔てた円筒部を設けて当該回転軸と結
合し、上記回転軸と前記円筒部との隙間にこれらと隙間
を隔てて円筒状をなす前記空気軸受を配し、且つ、上記
空気軸受の内外周両面に圧縮空気を吹き出す手段を設け
たことを特徴とする。
【００１０】上記課題を解決する本発明の請求項２に係
るエアスピンドルは、請求項１において、前記回転軸の
低速回転時において、前記円筒部と前記空気軸受との隙
間に、前記空気軸受の外周面から圧縮空気を吹き出すこ
とにより、当該空気軸受としての作用を発揮することを
特徴とする。
るエアスピンドルは、請求項１において、前記回転軸の
低速回転時において、前記円筒部と前記空気軸受との隙
間に、前記空気軸受の外周面から圧縮空気を吹き出すこ
とにより、当該空気軸受としての作用を発揮することを
特徴とする。
【００１１】上記課題を解決する本発明の請求項３に係
るエアスピンドルは、請求項１において、前記回転軸の
高速回転時において、前記回転軸と前記空気軸受との隙
間に、前記空気軸受の内周面から圧縮空気を吹き出すこ
とにより、当該空気軸受としての作用を発揮することを
特徴とする。
るエアスピンドルは、請求項１において、前記回転軸の
高速回転時において、前記回転軸と前記空気軸受との隙
間に、前記空気軸受の内周面から圧縮空気を吹き出すこ
とにより、当該空気軸受としての作用を発揮することを
特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１に示す。
同図に示すように、回転軸１はラジアル空気軸受３ａ，
３ｂにより半径方向の位置を拘束され、スラストカラー
５が回転軸１に組み込まれスラストプレート４及びハウ
ジング２の端部に挟まれてスラスト軸受構造を構成し、
軸方向の位置が拘束されている。ハウジング２は二つ割
りになっておりスラストカラー５を取り付ける前にラジ
アル空気軸受３ａ，３ｂを挿入後、基準座２９を治具に
取り付けて一体に組み上げられる。
同図に示すように、回転軸１はラジアル空気軸受３ａ，
３ｂにより半径方向の位置を拘束され、スラストカラー
５が回転軸１に組み込まれスラストプレート４及びハウ
ジング２の端部に挟まれてスラスト軸受構造を構成し、
軸方向の位置が拘束されている。ハウジング２は二つ割
りになっておりスラストカラー５を取り付ける前にラジ
アル空気軸受３ａ，３ｂを挿入後、基準座２９を治具に
取り付けて一体に組み上げられる。
【００１３】回転軸１の外周にはこの回転軸１と同心
で、且つ、隙間を隔てた円筒部１ａが設けられると共に
この円筒部１ａは回転軸１に直結されている。ラジアル
空気軸受３ａ，３ｂは、回転軸１と円筒部１ａとの間に
挿入されて存在する円筒状のものであり、その外周面に
は円筒部１ａに向けて給気孔１１ａ，１１ｂ，１１ｃが
設けられると共にその内周面には回転軸１に向けて給気
孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが設けられている。
で、且つ、隙間を隔てた円筒部１ａが設けられると共に
この円筒部１ａは回転軸１に直結されている。ラジアル
空気軸受３ａ，３ｂは、回転軸１と円筒部１ａとの間に
挿入されて存在する円筒状のものであり、その外周面に
は円筒部１ａに向けて給気孔１１ａ，１１ｂ，１１ｃが
設けられると共にその内周面には回転軸１に向けて給気
孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが設けられている。
【００１４】従って、これら給気孔１１ａ〜１１ｃ，１
２ａ〜１２ｄから高圧の空気が回転軸１及び円筒部１ａ
に向かって噴出し、回転軸１，円筒部１ａと各軸受３
ａ，３ｂとを非接触に保っている。一方、スラスト軸受
部分には給気孔８，９が設けられ、これら給気孔８，９
から高圧の空気がスラストカラー５に向かって噴出し、
スラストカラー５とスラスト軸受構造とを非接触に保っ
ている。
２ａ〜１２ｄから高圧の空気が回転軸１及び円筒部１ａ
に向かって噴出し、回転軸１，円筒部１ａと各軸受３
ａ，３ｂとを非接触に保っている。一方、スラスト軸受
部分には給気孔８，９が設けられ、これら給気孔８，９
から高圧の空気がスラストカラー５に向かって噴出し、
スラストカラー５とスラスト軸受構造とを非接触に保っ
ている。
【００１５】本実施例では、高圧の空気は給気孔６から
エアスピンドル内部に導入され、円周溝７、供給管１０
を介して各給気孔へ分配される。ハウジング２とスラス
トプレート４との間の円周溝７の周囲にはＯ−リング２
５，２６が配置されており、高圧空気の漏れを防いでい
る。
エアスピンドル内部に導入され、円周溝７、供給管１０
を介して各給気孔へ分配される。ハウジング２とスラス
トプレート４との間の円周溝７の周囲にはＯ−リング２
５，２６が配置されており、高圧空気の漏れを防いでい
る。
【００１６】ハウジング２には随所に排気孔１５，１
６，１７，１８が設けられると共に回転軸１には連通孔
１４ａ，１４ｂが設けられ、供給された高圧空気が内部
で閉塞しないように配慮され、これにより、内部の冷却
効率が高められる。回転軸１の先端部近傍には供給管か
ら分岐してシールガス供給部１３が設けられ、回転軸先
端部から軸受側へのダストや切削油の侵入を防いでい
る。
６，１７，１８が設けられると共に回転軸１には連通孔
１４ａ，１４ｂが設けられ、供給された高圧空気が内部
で閉塞しないように配慮され、これにより、内部の冷却
効率が高められる。回転軸１の先端部近傍には供給管か
ら分岐してシールガス供給部１３が設けられ、回転軸先
端部から軸受側へのダストや切削油の侵入を防いでい
る。
【００１７】一方、回転軸１の他端には回転子１９がス
ペーサ２０ａ，２０ｂとナット２４により固定され、ま
た、この回転子１９に対して一定間隙となるように静止
極２１が電動機ハウジング２２を介してスラストプレー
ト４に固定されている。電動機ハウジング２２は、スラ
ストプレート４との間で同心状態を保って直結されてい
る。電動機ハウジング２２の他端には電動機端部蓋２３
があり、排気口２８が設けられている。
ペーサ２０ａ，２０ｂとナット２４により固定され、ま
た、この回転子１９に対して一定間隙となるように静止
極２１が電動機ハウジング２２を介してスラストプレー
ト４に固定されている。電動機ハウジング２２は、スラ
ストプレート４との間で同心状態を保って直結されてい
る。電動機ハウジング２２の他端には電動機端部蓋２３
があり、排気口２８が設けられている。
【００１８】上記構成を有する本実施例のエアスピンド
ルは、図２に示すように、回転軸１と円筒部１ａとの間
に空気軸受３ａが挿入されており、給気孔１１ａ〜１１
ｄ，１２ａ〜１２ｄから供給管１０を介して高圧空気が
空気軸受３ａと回転軸１及び円筒部１ａの各々との隙間
に供給され非接触を保っている。ここで、回転軸１と空
気軸受３ａとの隙間は、円筒部１ａと空気軸受３ａとの
隙間より大きく設定されている。
ルは、図２に示すように、回転軸１と円筒部１ａとの間
に空気軸受３ａが挿入されており、給気孔１１ａ〜１１
ｄ，１２ａ〜１２ｄから供給管１０を介して高圧空気が
空気軸受３ａと回転軸１及び円筒部１ａの各々との隙間
に供給され非接触を保っている。ここで、回転軸１と空
気軸受３ａとの隙間は、円筒部１ａと空気軸受３ａとの
隙間より大きく設定されている。
【００１９】これは、静止時から低速状態までは、空気
軸受３ａが円筒部１ａに対して空気軸受として十分に作
用するように小さく設計したものである。更に、低速状
態では空気軸受３ａが回転軸１に対して空気軸受として
十分に作用しないものの、高速状態に至って回転軸１が
遠心膨張した場合に空気軸受として十分な隙間を保てる
程度に大きく設計したものである。
軸受３ａが円筒部１ａに対して空気軸受として十分に作
用するように小さく設計したものである。更に、低速状
態では空気軸受３ａが回転軸１に対して空気軸受として
十分に作用しないものの、高速状態に至って回転軸１が
遠心膨張した場合に空気軸受として十分な隙間を保てる
程度に大きく設計したものである。
【００２０】従って、回転が上昇すると、回転軸１及び
円筒部１ａは外形線２７で示すように遠心膨張し、円筒
部１ａと空気軸受３ａとの隙間は大きくなり空気軸受と
しての作用は弱まり、逆に、回転軸１と空気軸受３ａと
の隙間は小さくなり空気軸受としての作用が十分に効き
始める。
円筒部１ａは外形線２７で示すように遠心膨張し、円筒
部１ａと空気軸受３ａとの隙間は大きくなり空気軸受と
しての作用は弱まり、逆に、回転軸１と空気軸受３ａと
の隙間は小さくなり空気軸受としての作用が十分に効き
始める。
【００２１】更に、回転軸１の遠心膨張は円筒部１ａの
結合のため一様でないことが予想されるので、高速回転
時に主として作用する空気軸受３ａの内側、つまり、回
転軸１に向かい会う側に設けられる給気孔１２ａ〜１２
ｄは、図２に示すように、軸方向で給気孔の径を変化さ
せて最適な給気条件を与える工夫により、主軸剛性を安
定化している。
結合のため一様でないことが予想されるので、高速回転
時に主として作用する空気軸受３ａの内側、つまり、回
転軸１に向かい会う側に設けられる給気孔１２ａ〜１２
ｄは、図２に示すように、軸方向で給気孔の径を変化さ
せて最適な給気条件を与える工夫により、主軸剛性を安
定化している。
【００２２】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明では、低速から高速まで十分な主軸剛
性を実現できる工作機械用のエアスピンドルを提供する
ことが出来ると共に従来にない高速主軸を提供すること
ができる。
たように、本発明では、低速から高速まで十分な主軸剛
性を実現できる工作機械用のエアスピンドルを提供する
ことが出来ると共に従来にない高速主軸を提供すること
ができる。
【図１】本発明の一実施例に係るエアスピンドルの縦断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の作用を説明する空気軸受の拡大図であ
る。
る。
【図３】従来のエアスピンドルの縦断面図である。
１ 回転軸 １ａ 回転軸の円筒部 ２ ハウジング ３ａ，３ｂ ラジアル空気軸受 ４ スラストプレート ５ スラストカラー ６ 空気供給孔 ７ 円周溝 ８，９ 給気孔 １０ 給気管 １１ａ〜１１ｄ，１２ａ〜１２ｄ 給気孔 １３ シールガス供給部 １４ａ，１４ｂ 連通孔 １５，１８ 排気孔 １９ 回転子 ２０ａ，２０ｂ スペーサ ２１ 静止極 ２２ 電動機ハウジング ２３ 電動機端部蓋 ２４ ナット ２５，２６ Ｏ−リング ２８ 排気口 ２９ 基準座
Claims (3)
- 【請求項１】 回転軸を空気軸受により半径方向に拘束
し、該空気軸受から圧縮空気を噴出して、前記回転軸を
非接触状態で保持するエアスピンドルにおいて、上記回
転軸の外周に上記回転軸と同心で、且つ、隙間を隔てた
円筒部を設けて当該回転軸と結合し、上記回転軸と前記
円筒部との隙間にこれらと隙間を隔てて円筒状をなす前
記空気軸受を配し、且つ、上記空気軸受の内外周両面に
圧縮空気を吹き出す手段を設けたことを特徴とするエア
スピンドル。 - 【請求項２】 前記回転軸の低速回転時において、前記
円筒部と前記空気軸受との隙間に、前記空気軸受の外周
面から圧縮空気を吹き出すことにより、当該空気軸受と
しての作用を発揮することを特徴とする請求項１記載の
エアスピンドル。 - 【請求項３】 前記回転軸の高速回転時において、前記
回転軸と前記空気軸受との隙間に、前記空気軸受の内周
面から圧縮空気を吹き出すことにより、当該空気軸受と
しての作用を発揮することを特徴とする請求項１記載の
エアスピンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25569196A JPH10100002A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | エアスピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25569196A JPH10100002A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | エアスピンドル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10100002A true JPH10100002A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17282299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25569196A Pending JPH10100002A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | エアスピンドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10100002A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006336826A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
| CN105436528A (zh) * | 2014-09-15 | 2016-03-30 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 一种立式空气静压主轴 |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP25569196A patent/JPH10100002A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006336826A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
| CN105436528A (zh) * | 2014-09-15 | 2016-03-30 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 一种立式空气静压主轴 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPWO2006001243A1 (ja) | ターボ分子ポンプの軸受支持構造 | |
| JP4152553B2 (ja) | タービンロータを備えたスピンドル装置 | |
| CN110380569B (zh) | 磁悬浮电机及鼓风机 | |
| JP4172957B2 (ja) | 動圧軸受を用いたスピンドル装置 | |
| JP3636746B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH10100002A (ja) | エアスピンドル | |
| JPH0382356A (ja) | モータの冷却構造 | |
| JP3494419B2 (ja) | モータビルトインスピンドル | |
| JPH0735682Y2 (ja) | モータ内蔵形スピンドル | |
| JPH06313428A (ja) | 静圧気体軸受スピンドル | |
| JP5402002B2 (ja) | 回転軸のシール装置およびシール方法 | |
| JP4360659B2 (ja) | エアースピンドルユニット | |
| JPH1071505A (ja) | スピンドル | |
| KR100868896B1 (ko) | 포일베어링과 이를 이용한 모터 | |
| JP2004106091A (ja) | 工作機械の主軸装置 | |
| JPH0613370U (ja) | 高速回転電機の冷却装置 | |
| JPH06173952A (ja) | 静圧流体軸受 | |
| JP4192534B2 (ja) | 回転軸装置 | |
| KR200384238Y1 (ko) | 베어링 캡을 포함하는 분쇄기 | |
| JPH08121482A (ja) | 空気軸受 | |
| KR20040026453A (ko) | 축관통 냉각구조를 갖는 고속 회전 테이블 | |
| JPH09295238A (ja) | エアースピンドル | |
| JP2003056362A (ja) | ガスタービンエンジン | |
| JPH081479A (ja) | 冷却機能付き主軸装置 | |
| JP3459661B2 (ja) | 動圧空気軸受 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030318 |