JPH0992958A - Manufacture of copper-clad lamination board for printed wiring board - Google Patents

Manufacture of copper-clad lamination board for printed wiring board

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JPH0992958A
JPH0992958A JP27209595A JP27209595A JPH0992958A JP H0992958 A JPH0992958 A JP H0992958A JP 27209595 A JP27209595 A JP 27209595A JP 27209595 A JP27209595 A JP 27209595A JP H0992958 A JPH0992958 A JP H0992958A
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JP
Japan
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copper
etching
clad laminate
copper foil
board
Prior art date
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Application number
JP27209595A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiko Hirose
康彦 広瀬
Masashi Kimura
昌志 木村
Nobuhiro Yamazaki
宣広 山崎
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Ebara Densan Ltd
Original Assignee
Ebara Densan Ltd
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Publication date
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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To respond to high density and fining of a wiring pattern by providing a manufacturing method whereby a copper-clad board of an extremely thin copper foil of a uniform thickness used for manufacturing of a printed wiring board by a subtractive method can be manufactured. SOLUTION: A copper-clad board P wherein a copper foil both sides is held in a horizontal position and is carried by a conveyor 60. After the entire surface of a copper foil is etched (pre-etched) by an etching device 10, cleaned by water, drained and dried, the copper foil board P is reversed by a board reversing device 50 and a copper foil is thinned uniformly by etching the entire surface of a copper foil again by the etching device 10 in a horizontal position. Then, water cleaning, draining and drying are carried out and the dried copper-clad board P is transferred to a board cutting and through-hole formation process. A printed wiring board is prepared by using the copper-clad board P whose copper foil is thinned.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用の銅張積層板の製造方法、詳しくは、サブトラクティ
ブ法によるプリント配線基板の製造に用いられる銅張積
層板の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board, and more particularly to a method for manufacturing a copper clad laminate used for manufacturing a printed wiring board by a subtractive method.

【0002】[0002]

【従来の技術】サブトラクティブ法によるプリント配線
基板の製造においては、一般に、両面に銅箔が張り付け
られた銅張積層板を用い、基板裁断・スルーホールの形
成、孔内洗浄、無電解銅めっき、電解銅セミパネルめっ
き、パターンめっきレジスト、電解銅・はんだめっき、
めっきレジスト除去、エッチング、フュージングおよび
ソルダーレジスト・シンボル印刷等を施してプリント配
線基板を製造する。
2. Description of the Related Art In the manufacture of a printed wiring board by the subtractive method, a copper clad laminate having copper foils adhered on both sides is generally used to cut the substrate, form through holes, clean the inside of holes, and electroless copper plating. , Electrolytic copper semi-panel plating, pattern plating resist, electrolytic copper / solder plating,
A printed wiring board is manufactured by removing plating resist, etching, fusing, and solder resist / symbol printing.

【0003】そして、上述した銅張積層板は樹脂絶縁板
の表裏に電解銅箔を張り付けて製造され、電解銅箔の厚
さが5μm、9μm、12μm、18μm、35μm、
70μmの銅張積層板が市販されている。ところが、銅
箔の厚さが5μm、9μm、12μmと極薄の銅張積層
板は高価であり、製造が極めて困難であるのみならず、
また、その厚さのバラツキに規格もなく信頼性に欠ける
という欠点があった。そこで、従来、一般には、銅箔の
厚さが18μmや35μmの銅張積層板を用いてプリン
ト回路基板を製造している。
The above-mentioned copper clad laminate is manufactured by pasting electrolytic copper foil on the front and back of the resin insulating plate, and the thickness of the electrolytic copper foil is 5 μm, 9 μm, 12 μm, 18 μm, 35 μm,
70 μm copper clad laminates are commercially available. However, an ultrathin copper-clad laminate having a copper foil thickness of 5 μm, 9 μm, and 12 μm is expensive and not only extremely difficult to manufacture,
Further, there is a defect that the variation in the thickness has no standard and lacks reliability. Therefore, conventionally, a printed circuit board is generally manufactured using a copper clad laminate having a copper foil thickness of 18 μm or 35 μm.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
機器の小型化、高機能化に伴いプリント配線基板の高密
度化が進み、また、プリント配線基板の配線パターンの
細密化が求められ、これらの要求に上述した銅箔の厚さ
が18μmや35μmの銅張積層板では対処することが
困難であり、均一な厚さの極薄銅箔の銅張積層板が強く
求められていた。この発明は、上記事情に鑑みてなされ
たもので、サブトラクティブ法によるプリント配線基板
の製造に用いる均一な厚さの極薄銅箔の銅張積層板の製
造方法を提供し、高密度化や配線パターンの細密化に対
応することを目的とする。
However, with the recent miniaturization and higher functionality of equipment, the density of printed wiring boards has increased, and the wiring patterns of printed wiring boards have to be made finer. It is difficult to meet the requirement with a copper clad laminate having a copper foil thickness of 18 μm or 35 μm as described above, and there has been a strong demand for a copper clad laminate having an ultrathin copper foil having a uniform thickness. The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method for manufacturing a copper clad laminate of an ultrathin copper foil having a uniform thickness, which is used for manufacturing a printed wiring board by a subtractive method. The purpose is to cope with the miniaturization of wiring patterns.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明は、少なくとも片面に銅箔を有するプリン
ト配線板用の銅張積層板の製造方法において、前記銅張
積層板を水平あるいは垂直姿勢に保持して前記銅箔全面
をエッチングする前エッチング工程と、前記銅張積層板
を反転し、該銅張積層板を反転姿勢に保持して前記銅箔
全面をエッチングする後エッチング工程とを備えた。
In order to achieve the above object, the present invention is a method for producing a copper clad laminate for a printed wiring board having a copper foil on at least one side thereof, wherein the copper clad laminate is either horizontal or vertical. A pre-etching step of holding the posture and etching the entire surface of the copper foil, and a post-etching step of inverting the copper-clad laminate and holding the copper-clad laminate in the inverted posture to etch the entire surface of the copper foil. Prepared

【0006】そして、請求項2記載の発明は、請求項1
記載の発明のプリント配線板用の銅張積層板の製造方法
において、前記前エッチング工程および前記後エッチン
グ工程を、エッチング液中でエッチング液の噴流を前記
銅箔に衝当させることで、または、気中でエッチング液
のスプレーを前記銅箔に衝当させて行うようにした。ま
た、請求項3記載の発明は、請求項1または請求項2記
載の発明のプリント配線板用の銅張積層板の製造方法に
おいて、前記前エッチング工程と前記後エッチング工程
とを前記銅張積層板を循環搬送して同一のエッチング装
置で行うようにした。
[0006] The invention according to claim 2 is based on claim 1.
In the method for producing a copper-clad laminate for a printed wiring board according to the invention described above, the pre-etching step and the post-etching step, by impinging a jet of an etching solution on the copper foil in an etching solution, or The etching solution was sprayed against the copper foil in air. The invention according to claim 3 is the method for producing a copper-clad laminate for a printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the pre-etching step and the post-etching step are the copper-clad laminate. The plate was circulated and conveyed in the same etching apparatus.

【0007】[0007]

【作用】請求項1記載の発明によれば、銅張積層板を水
平あるいは垂直姿勢に保持して銅箔全面をエッチングし
た後、銅張積層板を反転して反転姿勢で銅箔全面をエッ
チングするため、銅箔を均一に薄くできる。また、請求
項2記載の発明によれば、エッチング液の噴流を銅箔に
衝当させて、あるいは、エッチング液のスプレーを銅箔
に衝当させて前エッチング工程および/または後エッチ
ング工程を行うため、エッチングに要する時間を短縮で
き、さらに、銅箔をより均一にエッチングすることがで
きる。さらに、請求項3記載の発明によれば、前エッチ
ング工程と後エッチング工程とを同一のエッチング装置
を用いて行うため、複数のエッチング装置が不要で、設
備の小型化、低コスト化が図れる。
According to the present invention, the copper clad laminate is held in a horizontal or vertical posture to etch the entire surface of the copper foil, and then the copper clad laminate is inverted to etch the entire surface of the copper foil in a reversed posture. Therefore, the copper foil can be uniformly thinned. According to the second aspect of the present invention, the pre-etching step and / or the post-etching step is performed by causing the jet stream of the etching solution to strike the copper foil or spraying the etching solution onto the copper foil. Therefore, the time required for etching can be shortened, and the copper foil can be etched more uniformly. Further, according to the third aspect of the invention, since the pre-etching step and the post-etching step are performed by using the same etching apparatus, a plurality of etching apparatuses are unnecessary, and the equipment can be downsized and the cost can be reduced.

【0008】そして、本願発明のプリント配線板用の銅
張積層板の製造方法においては、エッチング液として、
塩化第2銅溶液、塩化第2鉄溶液、アルカリエッチング
液、過酸化水素水/硫酸系溶液、過硫酸系溶液等の銅を
溶解しうる化学薬品が用いられる。また、エッチングに
際してはコンベア等により銅張積層板を水平あるいは垂
直姿勢で搬送しつつ行い、前エッチング工程と後エッチ
ング工程はそれぞれ少なくとも周知の水洗処理を含み、
最後の後エッチング工程の後にはさらに液切りおよび乾
燥の処理が施される。さらに、前エッチング工程と後エ
ッチング工程はそれぞれ複数回行うことが可能であり、
この場合、前エッチング工程と後エッチング工程とを同
一の回数行うことが望ましい。
In the method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to the present invention, the etching solution is
A chemical capable of dissolving copper, such as a cupric chloride solution, a ferric chloride solution, an alkaline etching solution, a hydrogen peroxide solution / sulfuric acid-based solution, and a persulfate-based solution, is used. Further, during etching, while carrying the copper clad laminate in a horizontal or vertical posture by a conveyor or the like, the pre-etching step and the post-etching step each include at least a well-known water washing treatment,
After the last post-etching step, further draining and drying processes are performed. Furthermore, the pre-etching step and the post-etching step can each be performed multiple times,
In this case, it is desirable to perform the pre-etching step and the post-etching step the same number of times.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図1から図3はこの発明の一の
実施の形態にかかるプリント配線板用の銅張積層板の製
造方法を説明する図であり、図1がエッチング装置の概
要を示す模式図、図2a,bが銅張積層板のエッチング
時の姿勢を示す図、図3が工程流れ図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 are views for explaining a method of manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a schematic diagram showing an outline of an etching apparatus, FIG. FIG. 3b is a view showing the posture of the copper clad laminate during etching, and FIG. 3 is a process flow chart.

【0010】図1において、10はエッチング装置、3
0は水洗装置、40は乾燥機、50は基板反転機であ
り、これらの間を銅張積層板Pが搬送コンベア60によ
り搬送される。後に詳述するが、搬送コンベア60は、
エッチング装置10と水洗装置30とに連続して配置さ
れたローラコンベア61を有し、このローラコンベア6
1が銅張積層板Pを水平姿勢で搬送する。図示を省略す
るが、銅張積層板Pは樹脂絶縁板の表裏両面にそれぞれ
電解銅箔を張り付けて構成される。
In FIG. 1, 10 is an etching device, 3
Reference numeral 0 is a water washing device, 40 is a dryer, and 50 is a substrate reversing device, and the copper clad laminate P is conveyed by a conveyer 60 between them. As will be described in detail later, the transfer conveyor 60 is
The roller conveyor 61 is provided continuously with the etching apparatus 10 and the water washing apparatus 30.
1 conveys the copper clad laminate P in a horizontal posture. Although illustration is omitted, the copper clad laminate P is formed by attaching electrolytic copper foils on both front and back surfaces of a resin insulating plate.

【0011】エッチング装置10は、処理槽11を有
し、この処理槽11内部に上述したローラコンベア61
が水平に配置される。ローラコンベア61は、複数のロ
ーラ61aを上下に対設して構成され、銅張積層板Pを
図2aに示す水平姿勢で搬送する。なお、コンベア6
0、すなわち、ローラコンベア61は図2bに示すよう
な銅張積層板Pを垂直姿勢で搬送するコンベアで置換す
ることも可能である。図2a,bにおいて、X,Yは水
平方向でYが搬送方向を、Zが鉛直上方を示す。
The etching apparatus 10 has a processing tank 11, and inside the processing tank 11, the above-mentioned roller conveyor 61 is provided.
Are arranged horizontally. The roller conveyor 61 is configured by vertically arranging a plurality of rollers 61a and conveys the copper clad laminate P in a horizontal posture shown in FIG. 2a. The conveyor 6
0, that is, the roller conveyor 61 can be replaced with a conveyor that conveys the copper clad laminate P as shown in FIG. 2b in a vertical posture. In FIGS. 2a and 2b, X and Y are horizontal directions, Y is the transport direction, and Z is the vertically upper direction.

【0012】処理槽11は、ローラコンベア61の上下
に複数のノズル11aが搬送方向に所定間隔を隔て設け
られ、下部が塩化第2銅溶液等のエッチング液を貯留し
た処理貯槽13と連通する。ノズル11aはそれぞれ
が、処理貯槽13内のエッチング液を圧送するスプレー
ポンプ14と並列に連絡され、このスプレーポンプ14
から圧送されるエッチング液をローラコンベア61によ
り搬送される銅張積層板Pの上下面(銅箔)に向けて噴
射する。なお、15はノズル11aに供給されるエッチ
ング液の圧力を検出する圧力計である。
The processing tank 11 is provided with a plurality of nozzles 11a at the upper and lower sides of the roller conveyor 61 at predetermined intervals in the carrying direction, and the lower portion communicates with the processing storage tank 13 which stores an etching solution such as cupric chloride solution. Each of the nozzles 11 a is connected in parallel with a spray pump 14 that pressure-feeds the etching liquid in the processing storage tank 13.
The etching liquid pressure-fed from is sprayed toward the upper and lower surfaces (copper foil) of the copper-clad laminate P conveyed by the roller conveyor 61. Reference numeral 15 is a pressure gauge for detecting the pressure of the etching liquid supplied to the nozzle 11a.

【0013】処理貯槽13には、エッチング液を加温す
るヒータ16、エッチング液の温度を検出する温度計1
7およびエッチング液の貯留量を検出する液面計20が
設けられ、また、循環ポンプ18と濾過機19が直列に
接続される。ヒータ16、温度計17、液面計20およ
び上述したスプレーポンプ14は図示しないコントロー
ラに接続され、ヒータ16とスプレーポンプ14が温度
計17や液面計20の出力に基づき制御される。具体的
には、ヒータ16は温度計17の検知出力に基づき制御
されてエッチング液の温度を適正温度に維持し、また、
液面計20によりエッチング液の液面が所定レベル以下
であることが検出されるとヒータ16とスプレーポンプ
14を停止する。
A heater 16 for heating the etching liquid and a thermometer 1 for detecting the temperature of the etching liquid are provided in the processing storage tank 13.
7 and a liquid level gauge 20 for detecting the storage amount of the etching liquid are provided, and a circulation pump 18 and a filter 19 are connected in series. The heater 16, the thermometer 17, the liquid level gauge 20, and the spray pump 14 described above are connected to a controller (not shown), and the heater 16 and the spray pump 14 are controlled based on the outputs of the thermometer 17 and the liquid level gauge 20. Specifically, the heater 16 is controlled based on the detection output of the thermometer 17 to maintain the temperature of the etching solution at an appropriate temperature, and
When the liquid level gauge 20 detects that the liquid level of the etching liquid is below a predetermined level, the heater 16 and the spray pump 14 are stopped.

【0014】水洗装置30は、水洗槽31内に上述した
ローラコンベア61がエッチング装置10から連続して
配置され、このローラコンベア61の上下に複数のシャ
ワーノズル32が配設される。この水洗装置30は、ロ
ーラコンベア61により水平姿勢で搬送される銅張積層
板Pの上下面にシャワーノズル32から洗浄水を吹き付
け、銅張積層板Pを洗浄する。
In the water washing apparatus 30, the above-mentioned roller conveyor 61 is continuously arranged in the water washing tank 31 from the etching apparatus 10, and a plurality of shower nozzles 32 are arranged above and below the roller conveyor 61. The water washing device 30 sprays washing water from the shower nozzle 32 onto the upper and lower surfaces of the copper clad laminate P conveyed in a horizontal posture by the roller conveyor 61 to wash the copper clad laminate P.

【0015】乾燥機40および基板反転機50には上述
したローラコンベア61と連続したコンベア63が配置
される。乾燥機40は周知のようにコンベア63により
搬送される銅張積層板Pを乾燥し、基板反転機50はコ
ンベア63により搬送される銅張積層板Pを反転してコ
ンベア63に受け渡す。この基板反転機50は、銅張積
層板Pの搬送姿勢(エッチング姿勢)を反転、すなわ
ち、図2a中のX、YあるいはZ軸廻りに180°回動
させる。なお、この実施の形態では銅張積層板Pが両面
に銅箔を有するためX軸あるいはY軸廻りに回動させる
ことが望ましいが、片面にのみ銅箔を有する銅張積層板
PであればZ軸廻りに回動させるのみで足りる。
The dryer 40 and the substrate reversing machine 50 are provided with a conveyor 63 continuous with the roller conveyor 61 described above. As is well known, the dryer 40 dries the copper-clad laminate P conveyed by the conveyor 63, and the substrate reversing machine 50 reverses the copper-clad laminate P conveyed by the conveyor 63 and transfers it to the conveyor 63. The substrate reversing machine 50 reverses the carrying posture (etching posture) of the copper clad laminate P, that is, rotates 180 degrees around the X, Y or Z axis in FIG. 2a. In this embodiment, since the copper-clad laminate P has copper foils on both sides, it is desirable to rotate the copper-clad laminate P about the X-axis or the Y-axis. It only needs to rotate around the Z axis.

【0016】コンベア60は、コンベア63に乾燥機4
0と基板反転機50との間で切換機構67を、また、ロ
ーラコンベア61の始端に切換機構68を有し、コンベ
ア63に切換機構67を介して移送用コンベア65が切
換可能に、また、ローラコンベア61の始端に切換機構
68を介してコンベア63と投入用コンベア69が切換
可能に接続する。このコンベア60は、上記切換機構6
7,68等が図示しないコントローラにより制御され、
この切換機構67,68の1の切換位置でコンベア6
1,63により銅張積層板Pを水平姿勢で搬送してエッ
チング装置10、水洗装置30、乾燥機40および基板
反転機50の間を循環させ、また、切換機構67,68
の他の1の切換位置で乾燥機40から出た銅張積層板P
をコンベア65により基板裁断・スルホール形成工程に
移送する。
The conveyor 60 has a dryer 63 on the conveyor 63.
0 and the substrate reversing machine 50, and also has a switching mechanism 68 at the start end of the roller conveyor 61 so that the conveyor 63 can be switched to the conveyor 63 via the switching mechanism 67. A conveyor 63 and a loading conveyor 69 are switchably connected to the starting end of the roller conveyor 61 via a switching mechanism 68. The conveyor 60 is the switching mechanism 6 described above.
7, 68, etc. are controlled by a controller (not shown),
At the switching position 1 of the switching mechanisms 67 and 68, the conveyor 6
1, 63, the copper clad laminate P is conveyed in a horizontal posture and circulated between the etching device 10, the water washing device 30, the dryer 40 and the substrate reversing device 50, and the switching mechanisms 67, 68.
Copper-clad laminate P that came out of the dryer 40 at the other switching position of 1
Is transferred to the substrate cutting / through hole forming process by the conveyor 65.

【0017】次に、図3を参照して製造方法を説明す
る。この実施の形態にあっては、コンベア60の切換機
構68を切換操作して投入用コンベア69により銅張積
層板Pをエッチング装置10に投入し、各切換機構を循
環側の切換位置に操作し、銅張積層板Pがエッチング装
置10を2回通った時に切換機構67を切換操作してコ
ンベア63とコンベア65を接続する。したがって、銅
張積層板Pはコンベア60により搬送され、図3に示す
ように、エッチング、水洗、液切り、乾燥、基板反転、
エッチング、水洗、液切りおよび乾燥が順次行われ、こ
の後、コンベア65により基板裁断・スルーホール形成
工程へ移送される。
Next, the manufacturing method will be described with reference to FIG. In this embodiment, the switching mechanism 68 of the conveyor 60 is switched to load the copper clad laminate P into the etching apparatus 10 by the loading conveyor 69, and each switching mechanism is operated to the switching position on the circulation side. When the copper-clad laminate P passes through the etching apparatus 10 twice, the switching mechanism 67 is switched to connect the conveyor 63 and the conveyor 65. Therefore, the copper clad laminate P is conveyed by the conveyor 60, and as shown in FIG. 3, etching, washing with water, draining, drying, substrate inversion,
Etching, washing with water, draining and drying are sequentially carried out, and thereafter, the substrate is transferred by a conveyor 65 to a substrate cutting / through hole forming step.

【0018】すなわち、銅張積層板Pは、エッチング装
置10においてエッチング液のスプレーが銅箔に衝当し
て銅箔が均一に薄くエッチングされ(前エッチング工
程)、続いて、水洗装置30で洗浄された後に液切りが
行われ、次に、基板反転機50により反転され、この後
に再度エッチング装置10により銅箔がより薄くエッチ
ング(後エッチング工程)され、続いて、水洗、液切り
および乾燥が行われて基板裁断・スルーホール形成工程
へ移送される。
That is, in the copper clad laminate P, the spray of the etching solution collides with the copper foil in the etching apparatus 10 to uniformly and thinly etch the copper foil (pre-etching step), and subsequently, is washed by the water washing apparatus 30. After that, the substrate is turned over by the substrate reversing machine 50, and then the etching apparatus 10 again etches the copper foil thinner (post-etching step), followed by washing with water, draining and drying. After that, it is transferred to the substrate cutting / through hole forming process.

【0019】上述したように、この実施の形態にあって
は、銅張積層板Pを水平姿勢で搬送して両面の銅箔をエ
ッチングした後、銅張積層板Pを反転し、銅張積層板P
を反転した水平姿勢で両面の銅箔を再度エッチングする
ため、銅張積層板Pの両面の銅箔を均一に薄くすること
ができる。したがって、この銅張積層板Pを用い、基板
裁断・スルーホール形成等の工程を順次行って、すなわ
ち、サブトラクティブ法によりプリント配線基板を作製
する。そして、このプリント配線基板は、銅箔が薄化さ
れた銅張積層板Pを基に作製されるため、高密度実装が
可能であり、また、配線パターンの細密化も可能であ
る。
As described above, in this embodiment, the copper-clad laminate P is conveyed in a horizontal posture to etch the copper foils on both sides, and then the copper-clad laminate P is inverted to form a copper-clad laminate. Board P
Since the copper foils on both sides are etched again in the horizontal posture in which the above is reversed, the copper foils on both sides of the copper clad laminate P can be uniformly thinned. Therefore, using this copper-clad laminate P, steps such as substrate cutting and through hole formation are sequentially performed, that is, a printed wiring board is manufactured by the subtractive method. Since this printed wiring board is manufactured based on the copper clad laminate P in which the copper foil is thinned, high density mounting is possible and the wiring pattern can be made fine.

【0020】なお、上述した実施の形態では、前エッチ
ングをした後に反転して後エッチングを行う、すなわ
ち、姿勢を変えて2度のエッチングを行うが、より多く
の回数のエッチングを行うことも可能である。この場
合、エッチングの回数は偶数回、すなわち、姿勢を反転
する回数が奇数回で前エッチング工程と後エッチング工
程の回数が等しくなるように定めることが望ましい。ま
た、上述した実施の形態では、気中でエッチング液のス
プレーを銅張積層板Pに衝当させてエッチングを行う
が、銅張積層板Pをエッチング液中に浸漬させてエッチ
ング液の噴流を銅張積層板Pに衝当させてエッチングを
行うことも可能である。
In the above-described embodiment, the pre-etching is performed and then the reversal is performed to perform the post-etching, that is, the etching is performed twice by changing the posture, but the etching can be performed more times. Is. In this case, it is desirable that the number of times of etching is set to an even number, that is, the number of times the posture is inverted is set to an odd number, and the number of times of the pre-etching step and the post-etching step is equal. Further, in the above-described embodiment, etching is performed by hitting the copper-clad laminate P with a spray of the etching liquid in the air, but the copper-clad laminate P is immersed in the etching liquid to jet the etching liquid. It is also possible to hit the copper clad laminate P to perform etching.

【0021】図4はこの発明にかかるプリント配線板用
の銅張積層板の製造方法の他の実施の形態を示す工程流
れ図である。なお、この実施の形態および後述する実施
の形態においては、上述した実施の形態と同一の構成に
は同一の番号を付して、その図示と説明を割愛する。こ
の実施の形態にあっては、2台のエッチング装置10、
2台の水洗装置30および基板反転機50を用い、これ
らを直列に配置して銅張積層板Pに前エッチングと後エ
ッチングを行う。すなわち、図4に示すように、コンベ
ア60により銅張積層板Pを水平あるいは垂直姿勢で搬
送し、前エッチングを行った後に水洗して反転し、反転
された水平あるいは垂直姿勢で後エッチングを行い、続
いて、液切りと乾燥とを行う。
FIG. 4 is a process flow chart showing another embodiment of the method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to the present invention. In addition, in this embodiment and the embodiments described later, the same components as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals, and the illustration and description thereof will be omitted. In this embodiment, two etching devices 10,
Using two water washing devices 30 and a substrate reversing machine 50, these are arranged in series to perform pre-etching and post-etching on the copper clad laminate P. That is, as shown in FIG. 4, the copper-clad laminate P is conveyed by a conveyor 60 in a horizontal or vertical posture, pre-etched, washed with water and inverted, and post-etched in an inverted horizontal or vertical posture. Then, draining and drying are performed.

【0022】この実施の形態にあっても、銅張積層板P
の両面の銅箔を均等に薄くできるため、この銅張積層板
Pを基にサブトラクティブ法により製作されるプリント
配線基板は高密度実装が可能で、また、配線パターンの
細密化も可能である。そして、この実施の形態は、上述
した実施の形態と比較して、前エッチングと後エッチン
グとの間の液切り工程と乾燥工程とを省略できるため、
工程の短縮化が図れ、また、全体設備の小型化も図れ
る。
Also in this embodiment, the copper clad laminate P
Since the copper foils on both sides can be uniformly thinned, the printed wiring board manufactured by the subtractive method based on the copper clad laminate P can be mounted at high density and the wiring pattern can be made fine. . And, in this embodiment, as compared with the above-described embodiment, the liquid draining step and the drying step between the pre-etching and the post-etching can be omitted,
The process can be shortened, and the entire facility can be downsized.

【0023】図5はこの発明にかかるプリント配線板用
の銅張積層板の製造方法のまた他の実施の形態を示す工
程流れ図である。この実施の形態は、基板反転機50、
エッチング装置10および水洗装置30を直列に配置
し、銅張積層板Pをエッチング装置10に投入して前エ
ッチングを行って水洗装置30で水洗した後、基板反転
機50で反転し、再度水洗装置30を経由してエッチン
グ装置10に導いて後エッチングを行う。そして、この
後、銅張積層板Pは、上述した図4と同様に、水洗、液
切りおよび乾燥を行って基板裁断・スルーホール形成工
程へ移送される。
FIG. 5 is a process flow chart showing another embodiment of the method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to the present invention. In this embodiment, the substrate reversing machine 50,
The etching apparatus 10 and the water washing apparatus 30 are arranged in series, the copper clad laminate P is put into the etching apparatus 10, pre-etched, washed with the water washing apparatus 30, and then reversed with the substrate reversing machine 50, and again the water washing apparatus. The post-etching is carried out by guiding to the etching apparatus 10 via 30. Then, after this, the copper clad laminate P is washed with water, drained and dried, and transferred to the substrate cutting / through hole forming step, as in the case of FIG. 4 described above.

【0024】この実施の形態にあっても、銅張積層板P
の両面の銅箔を均等に薄くでき、この銅張積層板Pを基
に、高密度実装が可能で、かつ、配線パターンの細密化
も可能なプリント配線基板をサブトラクティブ法により
製作することができる。そして、上述した図4の実施の
形態と比較しては、エッチング装置10が1台で足りる
ため、全体設備の小型化と設置コストの低減が図れる。
Also in this embodiment, the copper clad laminate P
It is possible to manufacture a printed wiring board capable of thinning the copper foils on both sides of the sheet evenly, and capable of high-density mounting and fine wiring patterns based on the copper-clad laminate P by the subtractive method. it can. As compared with the above-described embodiment shown in FIG. 4, only one etching apparatus 10 is sufficient, so that the overall equipment can be downsized and the installation cost can be reduced.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
プリント配線板用の銅張積層板の製造方法によれば、銅
張積層板を水平あるいは垂直姿勢に保持して銅箔全面を
エッチング(前エッチング)した後、銅張積層板を反転
して反転した水平あるいは垂直姿勢で銅箔全面を再度エ
ッチング(後エッチング)するため、銅張積層板の銅箔
を均一に薄くでき、この銅張積層板を基にサブトラクテ
ィブ法により高密度実装が可能で、かつ、配線パターン
の細密化も可能なプリント配線基板を製作できる。
As described above, according to the method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to the present invention, the copper clad laminate is held in a horizontal or vertical posture and the entire surface of the copper foil is etched ( After pre-etching), the copper clad laminate is inverted and the entire surface of the copper foil is etched again (post-etched) in the inverted horizontal or vertical posture, so that the copper foil of the copper clad laminate can be made evenly thin. It is possible to manufacture a printed wiring board that can be mounted at a high density by a subtractive method based on a laminated board and can have a fine wiring pattern.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に一の実施の形態にかかるプリント配
線板用の銅張積層板の製造方法に用いる装置の模式図で
ある。
FIG. 1 is a schematic view of an apparatus used in a method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to an embodiment of the present invention.

【図2】a,bがそれぞれ同製造方法における銅張積層
板のエッチング時の姿勢を示す模式斜視図であり、aが
1の態様を、bが他の態様を示す。
2A and 2B are schematic perspective views showing a posture of a copper clad laminate at the time of etching in the manufacturing method, wherein a is a mode 1 and b is another mode.

【図3】同製造方法の工程流れ図である。FIG. 3 is a process flow chart of the manufacturing method.

【図4】この発明の他の実施の形態にかかるプリント配
線板用の銅張積層板の製造方法の工程流れ図である。
FIG. 4 is a process flow chart of a method for manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board according to another embodiment of the present invention.

【図5】この発明のまた他の実施の形態にかかるプリン
ト配線板用の銅張積層板の製造方法の工程流れ図であ
る。
FIG. 5 is a process flow chart of a method for manufacturing a copper clad laminate for printed wiring boards according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 エッチング装置 11 処理槽 11a ノズル 13 処理貯槽 14 スプレーポンプ 15 圧力計 16 ヒーター 17 温度計 18 循環ポンプ 19 濾過機 20 液面計 30 洗浄装置 31 水洗槽 32 ノズル 40 乾燥機 50 基板反転機 60 コンベア 61 ローラコンベア 61a ローラー 63 コンベア 65 コンベア 67 切換機構 68 切換機構 69 コンベア P 銅張積層板 10 Etching Device 11 Processing Tank 11a Nozzle 13 Processing Storage Tank 14 Spray Pump 15 Pressure Gauge 16 Heater 17 Thermometer 18 Circulation Pump 19 Filtration Machine 20 Liquid Level Gauge 30 Cleaning Device 31 Rinsing Tank 32 Nozzle 40 Dryer 50 Substrate Reversing Machine 60 Conveyor 61 Roller conveyor 61a Roller 63 Conveyor 65 Conveyor 67 Switching mechanism 68 Switching mechanism 69 Conveyor P Copper clad laminate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも片面に銅箔を有するプリント
配線板用の銅張積層板の製造方法において、 前記銅張積層板を水平あるいは垂直姿勢に保持して前記
銅箔全面をエッチングする前エッチング工程と、前記銅
張積層板を反転し、該銅張積層板を反転姿勢に保持して
前記銅箔全面をエッチングする後エッチング工程とを備
えたことを特徴とするプリント配線板用の銅張積層板の
製造方法。
1. A method of manufacturing a copper clad laminate for a printed wiring board, which has a copper foil on at least one surface thereof, wherein a pre-etching step of holding the copper clad laminate in a horizontal or vertical posture and etching the entire surface of the copper foil. And a post-etching step of reversing the copper-clad laminate, holding the copper-clad laminate in an inverted posture and etching the entire surface of the copper foil, the copper-clad laminate for a printed wiring board. Method of manufacturing a plate.
【請求項2】 前記前エッチング工程および前記後エッ
チング工程は、エッチング液中でエッチング液の噴流を
前記銅箔に衝当させて、または、気中でエッチング液の
スプレーを前記銅箔に衝当させて行うようにした請求項
1記載のプリント配線板用の銅張積層板の製造方法。
2. In the pre-etching step and the post-etching step, a jet of an etching solution is applied to the copper foil in an etching solution, or a spray of the etching solution is applied to the copper foil in the air. The method for producing a copper-clad laminate for a printed wiring board according to claim 1, wherein the method is carried out.
【請求項3】 前記前エッチング工程と前記後エッチン
グ工程とを前記銅張積層板を循環搬送して同一のエッチ
ング装置で行うようにした請求項1または請求項2記載
のプリント配線板用の銅張積層板の製造方法。
3. The copper for printed wiring board according to claim 1, wherein the pre-etching step and the post-etching step are carried out by circulating the copper clad laminate in the same etching apparatus. Method for manufacturing a laminated laminate.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015088963A (en) * 2013-10-31 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 Manufacturing method of vibration piece, vibrator, electronic apparatus, and mobile body

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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