JP2903789B2 - Printed wiring board etching method and etching apparatus - Google Patents

Printed wiring board etching method and etching apparatus

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種電子機器などに使
用されるプリント配線板の製造方法、特にエッチング方
法とそのエッチング装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board used for various electronic devices and the like, and more particularly to an etching method and an etching apparatus therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、各種電子機器などに数多く使用さ
れているプリント配線板は、電子機器の小型化や多機能
化に伴い、配線の高密度化や高精度化とともに高信頼性
が要求されるようになってきている。プリント配線板製
造工程の中でも配線の高密度化や高精度化の実現に直接
対応するエッチング工程および使用される装置はとりわ
け重要である。
2. Description of the Related Art In recent years, printed wiring boards, which are widely used in various electronic devices and the like, are required to have high reliability and high density wiring with the miniaturization and multifunctionality of electronic devices. It is becoming. Among the printed wiring board manufacturing processes, an etching process and a device to be used which directly correspond to realization of higher density and higher accuracy of wiring are particularly important.

【0003】以下に、従来のプリント配線板のエッチン
グ方法とエッチング装置について説明する。
A conventional method and an apparatus for etching a printed wiring board will be described below.

【0004】図2は従来のプリント配線板のエッチング
装置の概略を示すものである。図2において、21はス
プレーノズル、22は上面用ノズルパイプ、23は下面
用ノズルパイプ、24は上面用圧力計、25は下面用圧
力計、26は上面用圧力調整バルブ、27は下面用圧力
調整バルブ、28は上面用スプレーポンプ、29は下面
用スプレーポンプ、30は送りローラー、31はエッチ
ングブース、32はプリント配線板である。
FIG. 2 schematically shows a conventional etching apparatus for a printed wiring board. In FIG. 2, 21 is a spray nozzle, 22 is a nozzle pipe for the upper surface, 23 is a nozzle pipe for the lower surface, 24 is a pressure gauge for the upper surface, 25 is a pressure gauge for the lower surface, 26 is a pressure adjustment valve for the upper surface, and 27 is a pressure for the lower surface. An adjustment valve, 28 is an upper surface spray pump, 29 is a lower surface spray pump, 30 is a feed roller, 31 is an etching booth, and 32 is a printed wiring board.

【0005】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
[0005] A method of etching a printed wiring board in the etching apparatus configured as described above will be described below.

【0006】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板(図示せず)にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板32をエ
ッチングブース31内に進行方向に平行または所定の角
度に配管された上面用ノズルパイプ22および下面用ノ
ズルパイプ23の間を送りローラー30上で所定の速度
で搬送させ、プリント配線板32上下面に塩化第2銅な
どのエッチング液をスプレーノズル1から吹きつけてエ
ッチングを行う。この際、上面用ノズルパイプ22およ
び下面用ノズルパイプ23は、プリント配線板32の進
行方向に対して45〜60°の角度で揺動(オシレーシ
ョン)させる場合もある。その後、水洗およびエッチン
グレジスト剥離処理などを行い、プリント配線板の回路
パターンを形成している。
First, a printed wiring board 32 in which an etching resist is formed on a copper-clad laminate (not shown) cut to a predetermined size by a screen printing method, a photographic method, or the like, is placed in an etching booth 31 in a traveling direction. Alternatively, the substrate is conveyed at a predetermined speed on the feed roller 30 between the upper surface nozzle pipe 22 and the lower surface nozzle pipe 23 piped at a predetermined angle, and an etching solution such as cupric chloride is applied to the upper and lower surfaces of the printed wiring board 32. Etching is performed by spraying from a spray nozzle 1. At this time, the upper surface nozzle pipe 22 and the lower surface nozzle pipe 23 may be oscillated (oscillated) at an angle of 45 to 60 ° with respect to the traveling direction of the printed wiring board 32. After that, a circuit pattern of the printed wiring board is formed by performing water washing, etching resist stripping, and the like.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、プリント配線板の上面と下面のエッチン
グスピードに大きな差があり、プリント配線板の上面に
おいてはプリント配線板中央部にエッチング液が滞留し
やすく、プリント配線板外周辺部においてエッチング液
は直ちに流れ落ちるため滞留することがなく、上面のプ
リント配線板中央部と上面のプリント配線板外周辺部で
は回路パターン仕上がり精度に大きな差が生じ、プリン
ト配線板の上下面とも高精度、かつ均一なエッチングを
実施することは困難であり、プリント配線板製造工程歩
留りを著しく悪化させるという問題点を有していた。
However, in the above-mentioned conventional structure, there is a large difference in the etching speed between the upper surface and the lower surface of the printed wiring board, and the etching liquid stays at the center of the printed wiring board on the upper surface of the printed wiring board. The etchant immediately flows down in the outer peripheral portion of the printed wiring board and does not stay, so there is a large difference in circuit pattern finish accuracy between the central portion of the upper printed wiring board and the outer peripheral portion of the printed wiring board. It is difficult to perform high-precision and uniform etching on the upper and lower surfaces of the wiring board, and there is a problem that the yield of the printed wiring board manufacturing process is significantly deteriorated.

【0008】これらの問題点の解決のために、エッチン
グ工程においてプリント配線板を傾斜または垂直にし、
側面方向のスプレーノズルからエッチング液を噴出さ
せ、エッチング液の滞留をなくす方法が考案・実施され
ている例があるが、このような方法においてはプリント
配線板の搬送や駆動装置が極めて困難・煩雑となり、プ
リント配線板製造の生産性を著しく悪化させ、製造コス
トを引上げるという問題点を有している。
In order to solve these problems, the printed wiring board is inclined or vertical in the etching step,
In some cases, a method has been devised and implemented in which the etchant is spouted from a spray nozzle in the side direction to eliminate the stagnation of the etchant. Therefore, there is a problem that productivity of printed wiring board manufacturing is remarkably deteriorated and manufacturing cost is increased.

【0009】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、プリント配線板のエッチング工程における生産性を
低下させることなく、プリント配線板上下面の回路パタ
ーンの仕上がり精度を高精度かつ均一にし、高密度・高
精度なプリント配線板を歩留りよく生産することを目的
とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and makes the finishing accuracy of the circuit pattern on the upper and lower surfaces of the printed wiring board high and uniform without reducing the productivity in the etching step of the printed wiring board. The purpose is to produce high-density and high-precision printed wiring boards with good yield.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、所望の回路パターン部が凸型で非回路パタ
ーン部が凹型の形状でかつ非回路パターン部にエッチン
グ液の新液供給溝とエッチング液の廃液溝を少なくとも
それぞれ1つ以上有するエッチング型とこのエッチング
型の新液供給溝及び廃液溝にパイプを介して連結された
エッチング液貯蔵槽とで構成したプリント配線板のエッ
チング装置を用い、凸型の回路パターン部を銅張積層板
に圧着し、凹型の非回路パターン部の新液、供給溝から
供給されるエッチング液の供給圧力および供給量を調整
して銅張積層板の銅はくをエッチングする構成を有して
いる。
SUMMARY OF THE INVENTION To achieve this object, the present invention provides a method for supplying a new etchant to a non-circuit pattern portion, wherein the desired circuit pattern portion is convex and the non-circuit pattern portion is concave. An etching apparatus for a printed wiring board, comprising: an etching type having at least one groove and at least one waste liquid groove for an etching liquid; and an etching liquid storage tank connected to the new liquid supply groove and the waste liquid groove of the etching type via a pipe. The copper-clad laminate is pressed by pressing the convex circuit pattern portion onto the copper-clad laminate, and adjusting the supply pressure and supply amount of the new solution for the concave non-circuit pattern portion and the etching solution supplied from the supply groove. Of copper foil is etched.

【0011】[0011]

【作用】この構成によって、プリント配線板上の異なる
位置において、エッチングされる銅はく面積やエッチン
グ量に応じてエッチング液の供給溝における圧力および
量を調整することができ、エッチング速度を均一に調整
することが可能となり、プリント配線板上下面および中
央部と外周辺部の回路パターン仕上がりを高精度かつ均
一に形成することができる。
With this configuration, the pressure and amount in the supply groove of the etchant can be adjusted at different positions on the printed wiring board in accordance with the area of the copper foil to be etched and the amount of etching, and the etching rate can be made uniform. It is possible to make adjustments, and it is possible to form the circuit pattern finish on the upper and lower surfaces of the printed wiring board, the central portion, and the outer peripheral portion with high accuracy and uniformity.

【0012】[0012]

【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図1(a)、(b)は、本発明の第
1の実施例におけるプリント配線板のエッチング装置の
概略図である。図1において、1は塩化第2銅エッチン
グ液に耐性を有する材料、例えば、塩化ビニル、ブチル
ゴム、ポリエチレン、またはチタンなどで構成されたエ
ッチング装置、2は所望する回路パターンを凸型の形状
に形成した回路パターン部、3は凹型の形状に形成した
非回路パターン部、4は非回路パターン部に形成されて
いるエッチング液の新液供給溝、5は非回路パターン部
に形成されているエッチング液の廃液溝、6はエッチン
グ液貯蔵槽、7はエッチング液の供給ポンプ、8はエッ
チング液貯蔵槽6と供給ポンプ7および新液供給溝4を
連結した供給管、9はエッチング液貯蔵槽と廃液溝を連
結した廃液管、10はエッチングブース、11は供給管
8に設置されている圧力・流量調整用バルブ、12は銅
張積層板、13は銅はく、14はプリント配線板に形成
されたスルーホールである。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIGS. 1A and 1B are schematic views of a printed wiring board etching apparatus according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an etching apparatus made of a material having resistance to a cupric chloride etchant, for example, vinyl chloride, butyl rubber, polyethylene, titanium, or the like; and 2, a desired circuit pattern is formed in a convex shape. 3 is a non-circuit pattern portion formed in a concave shape, 4 is a new liquid supply groove for an etching solution formed in the non-circuit pattern portion, and 5 is an etching solution formed in the non-circuit pattern portion. 6, an etchant storage tank, 7 a supply pump for the etchant, 8 a supply pipe connecting the etchant storage tank 6 with the supply pump 7 and the new solution supply groove 4, 9 an etchant storage tank and a waste liquid A waste liquid pipe connecting the grooves, 10 is an etching booth, 11 is a pressure / flow control valve installed on the supply pipe 8, 12 is a copper-clad laminate, 13 is copper foil, and 14 is copper foil. A through hole formed in the printed wiring board.

【0013】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
A method for etching a printed wiring board in the etching apparatus configured as described above will be described below.

【0014】まず、所定の大きさに切断され、穴加工及
びスルーホールめっきを施した銅張積層板12をエッチ
ングブース1内に設置し、上下方向からエッチング装置
1の凸型の回路パターン部2で圧着する。次に、圧着し
た状態で凹型の非回路パターン部3に形成されている新
液供給溝4から塩化第2銅のエッチング液を供給ポンプ
7および供給管8を介して供給し、銅張積層板12上の
非回路パターン部3の凹部に流出させ、非回路パターン
部3の銅はく13をエッチングする。この際、エッチン
グされる銅はく面積に応じて圧力・流量調整用バルブ1
1によりエッチング液の供給圧力および供給流量を調整
する。すなわち凹型の非回路パターン部3の銅はくエッ
チング面積が大きい場合はエッチング液の流量を大と
し、エッチング面積が小さい場合にはエッチング液の流
量を小とする。銅はく13をエッチングした後、劣化し
たエッチング液は非回路パターン部3に形成された廃液
溝5に流入し、廃液管9を介してエッチング液貯蔵層6
に入る。
First, a copper-clad laminate 12 cut into a predetermined size and subjected to hole processing and through-hole plating is placed in an etching booth 1, and a convex circuit pattern portion 2 of an etching apparatus 1 is placed from above and below. Crimping with. Next, an etching solution of cupric chloride is supplied from a new liquid supply groove 4 formed in the concave non-circuit pattern portion 3 through the supply pump 7 and the supply pipe 8 in a state of being pressed, and the copper-clad laminate is formed. The copper foil 13 of the non-circuit pattern portion 3 is etched by flowing out into the concave portion of the non-circuit pattern portion 3 on the substrate 12. At this time, the pressure / flow rate adjusting valve 1 depends on the copper foil area to be etched.
Step 1 adjusts the supply pressure and supply flow rate of the etching solution. That is, when the copper foil of the concave non-circuit pattern portion 3 has a large etching area, the flow rate of the etching liquid is large, and when the etching area is small, the flow rate of the etching liquid is small. After etching the copper foil 13, the deteriorated etching solution flows into the waste solution groove 5 formed in the non-circuit pattern portion 3, and passes through the waste solution pipe 9 to the etching solution storage layer 6.
to go into.

【0015】劣化したエッチング液は、エッチング液貯
蔵層6で温度、比重、塩酸濃度などをコントローラなど
に設置されたセンサーにより検出・分析し、必要に応じ
て、水、塩酸、過酸化水素水を補充し、設定された所定
の塩化第2銅のエッチング液状態を維持させている。所
定の状態に調整されたエッチング液を供給ポンプ7およ
び供給管8を介して、常に一定の調整された新液を凹型
の非回路パターン部3に供給することができる。また、
凹型の非回路パターン部3への供給管8および廃液管9
の本数をあらかじめ増減させてエッチング装置1を構成
することも可能である。この場合、圧力・流量調整用バ
ルブ11は不要としてもよい。
The deteriorated etching solution is detected and analyzed for temperature, specific gravity, hydrochloric acid concentration, and the like in the etching solution storage layer 6 by a sensor installed in a controller or the like, and water, hydrochloric acid, and hydrogen peroxide are removed as necessary. Replenishment is performed to maintain the predetermined state of the cupric chloride etching solution. The etching liquid adjusted to a predetermined state can be constantly supplied to the concave non-circuit pattern section 3 through the supply pump 7 and the supply pipe 8 to constantly supply a constant adjusted new liquid. Also,
Supply pipe 8 and waste liquid pipe 9 to concave non-circuit pattern portion 3
It is also possible to configure the etching apparatus 1 by increasing or decreasing the number in advance. In this case, the pressure / flow rate adjusting valve 11 may not be necessary.

【0016】以上のように本実施例によれば、従来例と
の比較においてプリント配線板の上下面、プリント配線
板中央部と外周辺部およびエッチング面積など無関係に
回路パターンを形成でき、従来のエッチング方法でのエ
ッチング後の回路パターン幅は、プリント配線板上下面
およびプリント配線板の中央部と外周辺部においてバラ
ツキは50〜100μmであったが、本実施例において
は10〜20μmと著しく縮小する結果が得られた。さ
らに、両面プリント配線板や多層プリント配線板の製造
に用いられるスルーホール部の穴埋めやエッチングレジ
ストの形成および剥離工程が不要となるなど、エッチン
グレジストの形成工程に起因する回路パターンのショー
トや断線の不具合を抑制することが可能となる。
As described above, according to this embodiment, a circuit pattern can be formed irrespective of the upper and lower surfaces of the printed wiring board, the center and outer peripheral portions of the printed wiring board, the etching area, and the like, as compared with the conventional example. The width of the circuit pattern after etching by the etching method was 50 to 100 μm, which varied between the upper and lower surfaces of the printed wiring board and the central part and the outer peripheral part of the printed wiring board, but was significantly reduced to 10 to 20 μm in this embodiment. Results were obtained. Furthermore, short-circuiting or disconnection of the circuit pattern due to the etching resist forming process becomes unnecessary, such as eliminating the need for filling the through holes and forming and removing the etching resist used in the production of double-sided printed wiring boards and multilayer printed wiring boards. Defects can be suppressed.

【0017】なお、本発明の実施例においてプリント配
線板は両面プリント配線板としたが、プリント配線板は
片面プリント配線板や多層プリント配線板であってもよ
く、またエッチング液は塩化第2銅としたがエッチング
液は塩化第二鉄やアンモニア等のアルカリエッチャント
としてもよいことは言うまでもない。
Although the printed wiring board is a double-sided printed wiring board in the embodiment of the present invention, the printed wiring board may be a single-sided printed wiring board or a multilayer printed wiring board, and the etching solution is cupric chloride. However, it goes without saying that the etchant may be an alkaline etchant such as ferric chloride or ammonia.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上のように本発明は、プリント配線板
上下面およびプリント配線板中央部と外周辺部および銅
はくエッチング面積の差により、エッチング装置の凹型
の非回路パターン部から流入するエッチング液の圧力・
流量を調整することによって、回路パターン仕上がりを
高精度かつ均一にし、高密度・高精度なプリント配線板
を歩留りよく生産することができ、凸型の回路パターン
部が従来の方法におけるエッチングレジストの機能を果
たしているため、スルーホールの穴埋めやエッチングレ
ジストの形成および剥離工程が不要となり、エッチング
レジストの形成工程に起因する回路パターンのショート
や断線などの不具合の解消による工程歩留りの向上、プ
リント配線板製造リードタイムの短縮、穴埋めインキ、
エッチングレジストインキなど材料削減をすることもで
きる優れたプリント配線板のエッチング方法とその装置
を実現できるものである。
As described above, the present invention flows from the concave non-circuit pattern portion of the etching apparatus due to the difference between the upper and lower surfaces of the printed wiring board, the center portion and the outer peripheral portion of the printed wiring board, and the copper foil etching area. Etching solution pressure
By adjusting the flow rate, the circuit pattern finish can be made highly accurate and uniform, and high-density, high-precision printed wiring boards can be produced with good yield. This eliminates the need for filling through holes and forming and stripping etching resists, improving the process yield by eliminating defects such as short-circuits and breaks in circuit patterns caused by the etching resist formation process, and manufacturing printed wiring boards. Reduction of lead time, filling ink,
An excellent method and apparatus for etching a printed wiring board, which can reduce materials such as an etching resist ink, can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)、(b)は本発明の一実施例におけるプ
リント配線板のエッチング装置の概略図及び要部の斜視
FIGS. 1A and 1B are a schematic view of a printed wiring board etching apparatus and a perspective view of a main part according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のプリント配線板のエッチング装置の概略
FIG. 2 is a schematic view of a conventional printed wiring board etching apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 エッチング装置 2 回路パターン部 3 非回路パターン部 4 新液供給溝 5 廃液溝 6 エッチング液貯蔵槽 7 供給ポンプ 8 供給管 9 廃液管 10 エッチングブース 11 圧力・流量調整用バルブ 12 銅張積層板 13 銅はく 14 スルーホール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Etching apparatus 2 Circuit pattern part 3 Non-circuit pattern part 4 New liquid supply groove 5 Waste liquid groove 6 Etching liquid storage tank 7 Supply pump 8 Supply pipe 9 Waste liquid pipe 10 Etching booth 11 Pressure / flow control valve 12 Copper clad laminate 13 Copper foil 14 Through hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05K 3/06 C23F 1/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H05K 3/06 C23F 1/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】所望の回路パターン部が凸型で非回路パタ
ーンが凹型の形状のエッチング型を用い、凸型の回路パ
ターン部を銅張積層板に圧着し、凹型の非回路パターン
部の新液供給溝から供給されるエッチング液の供給圧力
および供給量を調整して銅張積層板の銅はくをエッチン
グするプリント配線板のエッチング方法。
1. An etching method in which a desired circuit pattern portion is convex and a non-circuit pattern is concave, and a convex circuit pattern portion is press-bonded to a copper-clad laminate to form a new concave non-circuit pattern portion. A method for etching a printed wiring board, wherein a copper foil of a copper-clad laminate is etched by adjusting a supply pressure and a supply amount of an etchant supplied from a liquid supply groove.
【請求項2】所望の回路パターン部が凸型で非回路パタ
ーン部が凹型の形状でかつ非回路パターン部にエッチン
グ液の新液供給溝とエッチング液の廃液溝を少なくとも
それぞれ1つ以上有するエッチング型と、このエッチン
グ型の上記新液供給溝及び廃液溝にパイプを介して連結
されたエッチング液貯蔵槽とで構成したプリント配線板
のエッチング装置。
2. An etching method in which a desired circuit pattern portion has a convex shape and a non-circuit pattern portion has a concave shape, and the non-circuit pattern portion has at least one new liquid supply groove for an etching solution and at least one waste liquid groove for an etching solution. An apparatus for etching a printed wiring board, comprising: a mold; and an etching solution storage tank connected to the new solution supply groove and the waste solution groove of the etching type via a pipe.
【請求項3】エッチング液貯蔵槽と新液供給溝との間の
流路にエッチング液の供給圧力および供給流量の調整可
能な手段を備えた請求項2記載のプリント配線板のエッ
チング装置。
3. The apparatus for etching a printed wiring board according to claim 2, further comprising means for adjusting a supply pressure and a supply flow rate of the etching solution in a flow path between the etching solution storage tank and the new solution supply groove.
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