JPH0982256A - 電子ビーム装置 - Google Patents
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- JPH0982256A JPH0982256A JP7233774A JP23377495A JPH0982256A JP H0982256 A JPH0982256 A JP H0982256A JP 7233774 A JP7233774 A JP 7233774A JP 23377495 A JP23377495 A JP 23377495A JP H0982256 A JPH0982256 A JP H0982256A
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対物レンズの強度のステップ状の変化に伴う
走査像を見やすく表示することができる電子ビーム装置
を実現する。 【解決手段】 試料４への電子ビームの照射によって発
生した２次電子は、検出器８によって検出される。検出
器８の検出信号は、メモリー１１に供給されるが、メモ
リー１１に記憶された信号は、読み出されて乗算器１
２，加算器１３，減算器１４，表示メモリー１５から構
成される積算回路によって積算処理される。表示メモリ
ー１５に記憶された信号は、読み出されて陰極線管１６
に供給される。同期制御回路１７は対物レンズ３の励磁
電源１８、偏向コイル５に走査信号を供給する走査信号
発生回路１９、メモリー１１の制御を行い、それらを同
期して動作させる。
走査像を見やすく表示することができる電子ビーム装置
を実現する。 【解決手段】 試料４への電子ビームの照射によって発
生した２次電子は、検出器８によって検出される。検出
器８の検出信号は、メモリー１１に供給されるが、メモ
リー１１に記憶された信号は、読み出されて乗算器１
２，加算器１３，減算器１４，表示メモリー１５から構
成される積算回路によって積算処理される。表示メモリ
ー１５に記憶された信号は、読み出されて陰極線管１６
に供給される。同期制御回路１７は対物レンズ３の励磁
電源１８、偏向コイル５に走査信号を供給する走査信号
発生回路１９、メモリー１１の制御を行い、それらを同
期して動作させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査電子顕微鏡等
における対物レンズの絞りの位置調整などに用いて好適
な電子ビーム装置に関する。
における対物レンズの絞りの位置調整などに用いて好適
な電子ビーム装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームを試料に照射すると共に、試料上
の電子ビームの位置を２次元的に走査している。この
時、対物レンズ絞りの位置を光軸に一致させる必要があ
り、そのため、絞りの位置調整が必須の操作となってい
る。
加速された電子ビームを試料に照射すると共に、試料上
の電子ビームの位置を２次元的に走査している。この
時、対物レンズ絞りの位置を光軸に一致させる必要があ
り、そのため、絞りの位置調整が必須の操作となってい
る。
【０００３】絞りの位置調整は、対物レンズの励磁強度
をステップ状に変化させ、その際に得られた走査像を観
察し、対物レンズの励磁強度を変化させても走査像が移
動しない位置に絞りの位置を設定する。なお、対物レン
ズの励磁強度のステップ状の変化は、例えば、アンダー
フォーカス、ジャストフォーカス、オーバーフォーカス
の３つの状態に変えられる。
をステップ状に変化させ、その際に得られた走査像を観
察し、対物レンズの励磁強度を変化させても走査像が移
動しない位置に絞りの位置を設定する。なお、対物レン
ズの励磁強度のステップ状の変化は、例えば、アンダー
フォーカス、ジャストフォーカス、オーバーフォーカス
の３つの状態に変えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した対物レンズの
励磁強度のステップ状の変化により、絞りの位置が正確
に光軸に一致していないと、陰極線管に表示された走査
像は変化するが、この際、陰極線管上の走査像はだらだ
らと流れるようにして変化し、大変見にくい画面状態と
なる。これは、対物レンズの強度のステップ状の変化と
走査像の観察系とが非同期であることが原因と判明し
た。
励磁強度のステップ状の変化により、絞りの位置が正確
に光軸に一致していないと、陰極線管に表示された走査
像は変化するが、この際、陰極線管上の走査像はだらだ
らと流れるようにして変化し、大変見にくい画面状態と
なる。これは、対物レンズの強度のステップ状の変化と
走査像の観察系とが非同期であることが原因と判明し
た。
【０００５】また、対物レンズの強度のステップ状の変
化に伴う走査像の変化を陰極線管画面で確認するわけで
あるが、陰極線管の残像で像の変化量を確認しており、
必ずしも十分に像の変化量を確認することはできない。
化に伴う走査像の変化を陰極線管画面で確認するわけで
あるが、陰極線管の残像で像の変化量を確認しており、
必ずしも十分に像の変化量を確認することはできない。
【０００６】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、対物レンズの強度のステップ状の
変化に伴う走査像を見やすく表示することができる電子
ビーム装置を実現するにある。
もので、その目的は、対物レンズの強度のステップ状の
変化に伴う走査像を見やすく表示することができる電子
ビーム装置を実現するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
電子ビーム装置は、電子ビームを試料上に集束するため
の対物レンズの強度をステップ状に変化させ、その変化
の都度、試料上の所定領域を電子ビームによって走査
し、この走査に伴って得られた信号に基づき、走査像を
表示する電子ビーム装置において、対物レンズの強度の
変化に同期して、走査像の表示を行うようにしたことを
特徴としている。
電子ビーム装置は、電子ビームを試料上に集束するため
の対物レンズの強度をステップ状に変化させ、その変化
の都度、試料上の所定領域を電子ビームによって走査
し、この走査に伴って得られた信号に基づき、走査像を
表示する電子ビーム装置において、対物レンズの強度の
変化に同期して、走査像の表示を行うようにしたことを
特徴としている。
【０００８】請求項１の発明では、対物レンズの励磁の
変化と同期して走査像の表示が行われる。この結果、対
物レンズの励磁のステップ状の変化による像が陰極線管
上で流れるように観察されることはなくなり、対物レン
ズの励磁に応じた像を明確に確認することができる。
変化と同期して走査像の表示が行われる。この結果、対
物レンズの励磁のステップ状の変化による像が陰極線管
上で流れるように観察されることはなくなり、対物レン
ズの励磁に応じた像を明確に確認することができる。
【０００９】請求項２の発明に基づく電子ビーム装置
は、電子ビームを試料上に集束するための対物レンズの
強度をステップ状に変化させ、その変化の都度、試料上
の所定領域を電子ビームによって走査し、この走査に伴
って得られた信号に基づき、走査像を表示する電子ビー
ム装置において、対物レンズの強度の変化に同期して、
走査像の表示を行うと共に、対物レンズの強度のステッ
プ状の変化に基づく複数の像を重ね合わせて表示するよ
うにしたことを特徴としている。
は、電子ビームを試料上に集束するための対物レンズの
強度をステップ状に変化させ、その変化の都度、試料上
の所定領域を電子ビームによって走査し、この走査に伴
って得られた信号に基づき、走査像を表示する電子ビー
ム装置において、対物レンズの強度の変化に同期して、
走査像の表示を行うと共に、対物レンズの強度のステッ
プ状の変化に基づく複数の像を重ね合わせて表示するよ
うにしたことを特徴としている。
【００１０】請求項２の発明では、対物レンズの励磁の
変化と同期して走査像の表示が行われると共に、対物レ
ンズの強度のステップ状の変化に基づく複数の像を重ね
合わせて表示する。この結果、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化による像が陰極線管上で流れるように観察
されることはなくなると共に、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化に伴う複数の画像を重ねて観察することが
できるので、対物レンズの励磁変化に伴う像の変化の状
態を明確に確認することができる。
変化と同期して走査像の表示が行われると共に、対物レ
ンズの強度のステップ状の変化に基づく複数の像を重ね
合わせて表示する。この結果、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化による像が陰極線管上で流れるように観察
されることはなくなると共に、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化に伴う複数の画像を重ねて観察することが
できるので、対物レンズの励磁変化に伴う像の変化の状
態を明確に確認することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡を示しており、１は電子銃である。電子銃１
から発生した電子ビームＥＢは、集束レンズ２と対物レ
ンズ３によって試料４上に細く集束される。また、電子
ビームＥＢは、偏向コイル５によって偏向され、試料４
上の電子ビームの照射位置は走査される。なお、対物レ
ンズ３の上部には対物レンズ絞り６が配置されている
が、この対物レンズ絞り６の光軸Ｏに対する位置は、駆
動機構７によって調整可能である。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡を示しており、１は電子銃である。電子銃１
から発生した電子ビームＥＢは、集束レンズ２と対物レ
ンズ３によって試料４上に細く集束される。また、電子
ビームＥＢは、偏向コイル５によって偏向され、試料４
上の電子ビームの照射位置は走査される。なお、対物レ
ンズ３の上部には対物レンズ絞り６が配置されている
が、この対物レンズ絞り６の光軸Ｏに対する位置は、駆
動機構７によって調整可能である。
【００１２】試料４への電子ビームの照射によって発生
した２次電子は、２次電子検出器８によって検出され
る。検出器８の検出信号は、増幅器９によって増幅され
た後、ＡＤ変換器１０によってディジタル信号に変換さ
れメモリー１１に供給される。メモリー１１に記憶され
た信号は読み出されて乗算器１２に供給され、係数αと
乗算される。
した２次電子は、２次電子検出器８によって検出され
る。検出器８の検出信号は、増幅器９によって増幅され
た後、ＡＤ変換器１０によってディジタル信号に変換さ
れメモリー１１に供給される。メモリー１１に記憶され
た信号は読み出されて乗算器１２に供給され、係数αと
乗算される。
【００１３】乗算器１２の出力信号は加算器１３によっ
て、減算器１４からの信号と加算され、加算信号は表示
メモリー１５に供給されて記憶される。なお、減算器１
４は、表示メモリー１５の信号に対して（１−α）の減
算を行っている。表示メモリー１５に記憶された信号
は、読み出されて陰極線管１６に供給される。
て、減算器１４からの信号と加算され、加算信号は表示
メモリー１５に供給されて記憶される。なお、減算器１
４は、表示メモリー１５の信号に対して（１−α）の減
算を行っている。表示メモリー１５に記憶された信号
は、読み出されて陰極線管１６に供給される。
【００１４】１７は同期制御回路であり、同期制御回路
１７は対物レンズ３の励磁電源１８、偏向コイル５に走
査信号を供給する偏向制御回路１９、メモリー１１の制
御を行っている。このような構成の動作を次に説明す
る。
１７は対物レンズ３の励磁電源１８、偏向コイル５に走
査信号を供給する偏向制御回路１９、メモリー１１の制
御を行っている。このような構成の動作を次に説明す
る。
【００１５】通常の２次電子像を観察する場合、事前に
対物レンズ３のフォーカス合わせが行われ、励磁電源１
８からジャストフォーカス時の励磁電流が対物レンズ３
に供給される。更に、偏向制御回路１９から所定の走査
信号が偏向コイル５に供給され、試料４上の任意の２次
元領域が電子ビームＥＢによってラスター走査される。
試料４への電子ビームの照射によって発生した２次電子
は、検出器６によって検出される。
対物レンズ３のフォーカス合わせが行われ、励磁電源１
８からジャストフォーカス時の励磁電流が対物レンズ３
に供給される。更に、偏向制御回路１９から所定の走査
信号が偏向コイル５に供給され、試料４上の任意の２次
元領域が電子ビームＥＢによってラスター走査される。
試料４への電子ビームの照射によって発生した２次電子
は、検出器６によって検出される。
【００１６】その検出信号は、増幅器９，ＡＤ変換器１
０を介してメモリー１１に供給されて記憶される。メモ
リー１１の信号は、乗算器１２、加算器１３、表示メモ
リー１５、減算器１４より成る積算回路により積算され
る。積算された信号は表示メリー１５に記憶される。表
示メモリー１５に記憶された信号は読み出されて陰極線
管１６に供給され、陰極線管上には試料４の走査２次電
子像が表示される。
０を介してメモリー１１に供給されて記憶される。メモ
リー１１の信号は、乗算器１２、加算器１３、表示メモ
リー１５、減算器１４より成る積算回路により積算され
る。積算された信号は表示メリー１５に記憶される。表
示メモリー１５に記憶された信号は読み出されて陰極線
管１６に供給され、陰極線管上には試料４の走査２次電
子像が表示される。
【００１７】次に、対物レンズ絞り６の光軸Ｏに対する
位置合わせ動作について説明する。オペレータは駆動機
構７を操作し、対物レンズ絞り６を任意の位置に固定す
る。その後、同期制御回路１７により絞り位置調整のた
めの対物レンズ３のウォーブリングを行う。このウォー
ブリングは、対物レンズ３の励磁強度を変化させるもの
で、例えば、ジャストフォーカス、アンダーフォーカ
ス、オーバーフォーカスの３つの状態に対物レンズの励
磁は変えられる。
位置合わせ動作について説明する。オペレータは駆動機
構７を操作し、対物レンズ絞り６を任意の位置に固定す
る。その後、同期制御回路１７により絞り位置調整のた
めの対物レンズ３のウォーブリングを行う。このウォー
ブリングは、対物レンズ３の励磁強度を変化させるもの
で、例えば、ジャストフォーカス、アンダーフォーカ
ス、オーバーフォーカスの３つの状態に対物レンズの励
磁は変えられる。
【００１８】この対物レンズ３の励磁の変化は、同期制
御回路１７により励磁電源１８をステップ状に３段階に
制御することにより実行される。この時、同期制御回路
１７は、偏向制御回路１９を制御し、対物レンズ３の励
磁が３段階に変えられた都度、試料４の所定領域を２次
元的に走査する走査信号を偏向コイル５に供給する。
御回路１７により励磁電源１８をステップ状に３段階に
制御することにより実行される。この時、同期制御回路
１７は、偏向制御回路１９を制御し、対物レンズ３の励
磁が３段階に変えられた都度、試料４の所定領域を２次
元的に走査する走査信号を偏向コイル５に供給する。
【００１９】試料４への電子ビームの照射によって発生
した２次電子は、２次電子検出器８によって検出され
る。検出信号は増幅器９によって増幅され、ＡＤ変換器
１０を介してメモリー１１に供給される。ここで、メモ
リー１１の信号の書き込みは、同期制御回路１７によっ
て制御されている。
した２次電子は、２次電子検出器８によって検出され
る。検出信号は増幅器９によって増幅され、ＡＤ変換器
１０を介してメモリー１１に供給される。ここで、メモ
リー１１の信号の書き込みは、同期制御回路１７によっ
て制御されている。
【００２０】すなわち、対物レンズ３の励磁強度のステ
ップ状の変化の都度、試料４の所定領域が電子ビームに
よって走査されるが、この走査に同期して１画面分の検
出信号がメモリー１１に書き込まれる。この結果、対物
レンズ３がアンダーフォーカスの状態のときは、図２
（ａ）に示す映像信号がメモリー１１に書き込まれ、ま
た、対物レンズ３がジャストフォーカスの状態のとき
は、図２（ｂ）に示す映像信号がメモリー１１に書き込
まれ、更に、対物レンズ３がオーバーフォーカスの状態
のときは、図２（ｃ）に示す映像信号がメモリー１１に
書き込まれる。
ップ状の変化の都度、試料４の所定領域が電子ビームに
よって走査されるが、この走査に同期して１画面分の検
出信号がメモリー１１に書き込まれる。この結果、対物
レンズ３がアンダーフォーカスの状態のときは、図２
（ａ）に示す映像信号がメモリー１１に書き込まれ、ま
た、対物レンズ３がジャストフォーカスの状態のとき
は、図２（ｂ）に示す映像信号がメモリー１１に書き込
まれ、更に、対物レンズ３がオーバーフォーカスの状態
のときは、図２（ｃ）に示す映像信号がメモリー１１に
書き込まれる。
【００２１】メモリー１１に書き込まれた１画面分の信
号は読み出されて乗算器１２に供給され、係数αと乗算
される。乗算信号は、加算器１３によって減算器１４の
信号と加算されて表示メモリー１５に供給される。減算
器１４は表示メモリー１５に記憶された信号を読み出し
て（１−α）の減算処理を行う。このような積算処理に
より、多数回の対物レンズ３のウォーブリングにより、
図２（ａ）〜（ｃ）の３つの映像信号は積算され、表示
メモリー１５には図２（ｄ）に示す３つの映像信号が重
なり合った映像信号が得られる。
号は読み出されて乗算器１２に供給され、係数αと乗算
される。乗算信号は、加算器１３によって減算器１４の
信号と加算されて表示メモリー１５に供給される。減算
器１４は表示メモリー１５に記憶された信号を読み出し
て（１−α）の減算処理を行う。このような積算処理に
より、多数回の対物レンズ３のウォーブリングにより、
図２（ａ）〜（ｃ）の３つの映像信号は積算され、表示
メモリー１５には図２（ｄ）に示す３つの映像信号が重
なり合った映像信号が得られる。
【００２２】表示メモリー１５に記憶された映像信号
は、読み出されて陰極線管１６に供給されることから、
陰極線管１６には図２（ｄ）の像が表示される。この
時、対物レンズ絞り６の開口の中心と電子ビーム光軸Ｏ
とが一致していないと、対物レンズ３の３つの励磁状態
に基づく像が分けられて表示される。オペレータは、陰
極線管１６の像を観察し、３つの像が分かれて表示され
ている場合には、駆動機構７を操作して対物レンズ絞り
６の位置の調整を行う。
は、読み出されて陰極線管１６に供給されることから、
陰極線管１６には図２（ｄ）の像が表示される。この
時、対物レンズ絞り６の開口の中心と電子ビーム光軸Ｏ
とが一致していないと、対物レンズ３の３つの励磁状態
に基づく像が分けられて表示される。オペレータは、陰
極線管１６の像を観察し、３つの像が分かれて表示され
ている場合には、駆動機構７を操作して対物レンズ絞り
６の位置の調整を行う。
【００２３】対物レンズ絞り６の中心位置が光軸Ｏと一
致する方向に調整するに従い、３つの像は接近する。対
物レンズ絞り６の中心位置が光軸Ｏと一致すると、図３
（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、３つの像は対物
レンズ３の励磁を変化させても移動することがなくな
り、陰極線管１６上には図３（ｄ）に示す３つの像が完
全に重なり合った像が表示される。この陰極線管上の３
つの像が重なったことを確認し、対物レンズ絞り６の調
整が終了する。
致する方向に調整するに従い、３つの像は接近する。対
物レンズ絞り６の中心位置が光軸Ｏと一致すると、図３
（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、３つの像は対物
レンズ３の励磁を変化させても移動することがなくな
り、陰極線管１６上には図３（ｄ）に示す３つの像が完
全に重なり合った像が表示される。この陰極線管上の３
つの像が重なったことを確認し、対物レンズ絞り６の調
整が終了する。
【００２４】このように、上記実施の形態では、対物レ
ンズ３の励磁をステップ状に変えた際、このステップ状
の変化に同期して電子ビームの走査と、画像の表示を行
うようにしたので、対物レンズ３の励磁の変化にともな
って画像が流れるようなことがなくなり、対物レンズ３
の励磁変化に対応した像を明確に確認することができ
る。
ンズ３の励磁をステップ状に変えた際、このステップ状
の変化に同期して電子ビームの走査と、画像の表示を行
うようにしたので、対物レンズ３の励磁の変化にともな
って画像が流れるようなことがなくなり、対物レンズ３
の励磁変化に対応した像を明確に確認することができ
る。
【００２５】なお、上記実施の形態では、対物レンズ３
の励磁強度を変えた場合に得られる映像信号を積算処理
するように構成したが、対物レンズ３の励磁変化と電子
ビームの走査に同期してにメモリー１１に記憶された信
号を読み出して陰極線管１６に導くようにしても良い。
その場合でも、対物レンズの励磁変化に伴う像が陰極線
管画面上で流れることがなく、オペレータは、対物レン
ズの励磁変化に伴う像の移動状態を的確に判別すること
ができる。
の励磁強度を変えた場合に得られる映像信号を積算処理
するように構成したが、対物レンズ３の励磁変化と電子
ビームの走査に同期してにメモリー１１に記憶された信
号を読み出して陰極線管１６に導くようにしても良い。
その場合でも、対物レンズの励磁変化に伴う像が陰極線
管画面上で流れることがなく、オペレータは、対物レン
ズの励磁変化に伴う像の移動状態を的確に判別すること
ができる。
【００２６】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、２次電子を検
出したが、反射電子を検出してもよい。また、積算の方
式は、図１に示した回路以外の別の方式も使用できるも
のである。更に、対物レンズ絞りの位置調整の場合を例
に説明したが、対物レンズ絞りの調整以外に対物レンズ
の励磁をステップ状に変化させるケースにも本発明は適
用できるものである。
発明はこの形態に限定されない。例えば、２次電子を検
出したが、反射電子を検出してもよい。また、積算の方
式は、図１に示した回路以外の別の方式も使用できるも
のである。更に、対物レンズ絞りの位置調整の場合を例
に説明したが、対物レンズ絞りの調整以外に対物レンズ
の励磁をステップ状に変化させるケースにも本発明は適
用できるものである。
【００２７】
【発明の効果】請求項１の発明では、対物レンズの励磁
の変化と同期して走査像の表示が行われる。この結果、
対物レンズの励磁のステップ状の変化による像が陰極線
管上で流れるように観察されることはなくなり、対物レ
ンズの励磁に応じた像を明確に確認することができる。
の変化と同期して走査像の表示が行われる。この結果、
対物レンズの励磁のステップ状の変化による像が陰極線
管上で流れるように観察されることはなくなり、対物レ
ンズの励磁に応じた像を明確に確認することができる。
【００２８】請求項２の発明では、対物レンズの励磁の
変化と同期して走査像の表示が行われると共に、対物レ
ンズの強度のステップ状の変化に基づく複数の像を重ね
合わせて表示する。この結果、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化による像が陰極線管上で流れるように観察
されることはなくなると共に、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化に伴う複数の画像を重ねて観察することが
できるので、対物レンズの励磁変化に伴う像の変化の状
態を明確に確認することができる。
変化と同期して走査像の表示が行われると共に、対物レ
ンズの強度のステップ状の変化に基づく複数の像を重ね
合わせて表示する。この結果、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化による像が陰極線管上で流れるように観察
されることはなくなると共に、対物レンズの励磁のステ
ップ状の変化に伴う複数の画像を重ねて観察することが
できるので、対物レンズの励磁変化に伴う像の変化の状
態を明確に確認することができる。
【図１】本発明に基づく走査電子顕微鏡を示す図であ
る。
る。
【図２】対物レンズの励磁変化に伴う像を示す図であ
る。
る。
【図３】対物レンズの励磁変化に伴う像を示す図であ
る。
る。
１ 電子銃 ２ 集束レンズ ３ 対物レンズ ４ 試料 ５ 偏向コイル ６ 対物レンズ絞り ７ 駆動機構 ８ 検出器 ９ 増幅器 １０ ＡＤ変換器 １１ メモリー １２ 乗算器 １３ 加算器 １４ 減算器 １５ 表示メモリー １６ 陰極線管 １７ 同期制御回路 １８ 励磁電源 １９ 偏向制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 電子ビームを試料上に集束するための対
物レンズの強度をステップ状に変化させ、その変化の都
度、試料上の所定領域を電子ビームによって走査し、こ
の走査に伴って得られた信号に基づき、走査像を表示す
る電子ビーム装置において、対物レンズの強度の変化に
同期して、走査像の表示を行うようにした電子ビーム装
置。 - 【請求項２】 電子ビームを試料上に集束するための対
物レンズの強度をステップ状に変化させ、その変化の都
度、試料上の所定領域を電子ビームによって走査し、こ
の走査に伴って得られた信号に基づき、走査像を表示す
る電子ビーム装置において、対物レンズの強度の変化に
同期して、走査像の表示を行うと共に、対物レンズの強
度のステップ状の変化に基づく複数の像を重ね合わせて
表示するようにした電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7233774A JPH0982256A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 電子ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7233774A JPH0982256A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 電子ビーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982256A true JPH0982256A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16960367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7233774A Withdrawn JPH0982256A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 電子ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982256A (ja) |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP7233774A patent/JPH0982256A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |