JPH0980225A - 液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジスト組成物 - Google Patents
液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジスト組成物Info
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- JPH0980225A JPH0980225A JP3862996A JP3862996A JPH0980225A JP H0980225 A JPH0980225 A JP H0980225A JP 3862996 A JP3862996 A JP 3862996A JP 3862996 A JP3862996 A JP 3862996A JP H0980225 A JPH0980225 A JP H0980225A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 新規の感光性樹脂組成物と顔料分散組成物を
使用して、既存より耐熱性、分光特性、分散安定性、色
度図での色再現性等の諸般物性が優秀である高感度の液
晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジ
スト組成物を提供する。 【解決手段】 下記式（Ｉ）で表現される三重合体樹脂
と多官能性アクリレートモノマー又はオリゴマーと不飽
和基を一つ以上含有するポリエン系化合物と多官能性チ
オール系化合物と光重合開始剤とその他の添加剤とを含
有する感光性樹脂組成物と、顔料と高分子分散刑と顔料
誘導体分散剤と消泡剤と沈降防止剤と界面活性剤とその
他の添加剤を含有する顔料分散組成物とから構成され
る。
使用して、既存より耐熱性、分光特性、分散安定性、色
度図での色再現性等の諸般物性が優秀である高感度の液
晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジ
スト組成物を提供する。 【解決手段】 下記式（Ｉ）で表現される三重合体樹脂
と多官能性アクリレートモノマー又はオリゴマーと不飽
和基を一つ以上含有するポリエン系化合物と多官能性チ
オール系化合物と光重合開始剤とその他の添加剤とを含
有する感光性樹脂組成物と、顔料と高分子分散刑と顔料
誘導体分散剤と消泡剤と沈降防止剤と界面活性剤とその
他の添加剤を含有する顔料分散組成物とから構成され
る。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
として使用する時、感光度、分光特性等の諸般物性に優
れるように考案された新規の感光性樹脂組成物と顔料組
成物でなった液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料
分散フォトレジスト組成物に関するものである。
として使用する時、感光度、分光特性等の諸般物性に優
れるように考案された新規の感光性樹脂組成物と顔料組
成物でなった液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料
分散フォトレジスト組成物に関するものである。
【従来の技術】情報化社会に暮らしている近来、その情
報の重要性は日に日に大きくなっている実情であり、特
にディスプレーに対する要求としてはカラー化、小型
化、軽量化、薄型化が強く台頭している。そのうち、液
晶カラーディスプレーはその要求に充分に符合し得るも
のとして注目を浴びて実用化が急激に進行されており、
液晶テレビジョン受像機、大画面テレビジョン受像機、
ビデオモニター、カメラ、スキャナー、ラップトップ型
ワードプロセッサー、ノートブック個人用コンピュータ
ー、車両搭載型テレビジョン受像機、ゲーム器等、その
使用形態が多様化しており、その性能に対してもより優
秀な品質が要求される実情である。特に、この分野にお
けるカラーフィルターは重要な核心部品の一つであり、
これと併せて、画像品質の向上、使用環境条件の拡大に
よる信頼性の確保のための品質の安定化、プロセスの簡
単化による製造費用の節減等の問題解決が最大課題とな
っている。このような問題の解決のため、現在試してい
るカラーフィルターの製造方法は染色法、印刷法、顔料
分散法、電着法及び無機多層薄膜法（化学蒸着法包含）
等があり、一般に基板（液晶ディスプレー用無アルカリ
特殊ガラス）上に赤、緑、青の画素と黒色マトリックス
を形成して製造している。
報の重要性は日に日に大きくなっている実情であり、特
にディスプレーに対する要求としてはカラー化、小型
化、軽量化、薄型化が強く台頭している。そのうち、液
晶カラーディスプレーはその要求に充分に符合し得るも
のとして注目を浴びて実用化が急激に進行されており、
液晶テレビジョン受像機、大画面テレビジョン受像機、
ビデオモニター、カメラ、スキャナー、ラップトップ型
ワードプロセッサー、ノートブック個人用コンピュータ
ー、車両搭載型テレビジョン受像機、ゲーム器等、その
使用形態が多様化しており、その性能に対してもより優
秀な品質が要求される実情である。特に、この分野にお
けるカラーフィルターは重要な核心部品の一つであり、
これと併せて、画像品質の向上、使用環境条件の拡大に
よる信頼性の確保のための品質の安定化、プロセスの簡
単化による製造費用の節減等の問題解決が最大課題とな
っている。このような問題の解決のため、現在試してい
るカラーフィルターの製造方法は染色法、印刷法、顔料
分散法、電着法及び無機多層薄膜法（化学蒸着法包含）
等があり、一般に基板（液晶ディスプレー用無アルカリ
特殊ガラス）上に赤、緑、青の画素と黒色マトリックス
を形成して製造している。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
染色法によるカラーフィルターは感光生天然樹脂（ゼラ
チン）又は感光生合成樹脂（アミン変成ポリビニールア
ルコール）を染料で染色処理したが、このカラーフィル
ター耐熱性、耐光性、水分抵抗性等が著しく低下する。
一方、印刷法によるカラーフィルターは、光硬化性樹脂
に色素を分散させて製造したインクをオフセット印刷
法、スクリーン印刷法、伝写印刷法又は活版印刷法等で
製造する。前記製造法によるカラーフィルターは低価格
化と大画面化を実現し得る反面、高精密の微細パターン
形成、既存ブラウン管に同等な水準の分光特性及び色度
図上での色再現性等に致命的な欠点を有している。そし
て、適正溶媒に顔料を分散させ、基板上に形成された電
極を用いて電着塗装を行う電着法がある。この方法は耐
光性又は耐熱性が良好であるが、色素層を形成するため
に透明電極が必要であるだけでなく、形成される色素層
が絶縁膜となるため、カラーフィルターの表面に液晶駆
動のための電極を別に備える必要がある。又、無機多層
薄膜法のうち、特にニッケル又はクロムを蒸着させて黒
色マトリックスを形成する方法がある。この方法は遮光
率及び解像度が大変良好であるが、設備費が高くかか
り、工程が複雑であり、製造単価も高い方である。従っ
て、本発明の目的はカラーフィルターとして使用する
時、感光度、分光特性等の諸般物性に優れるように考案
された新規の感光性樹脂組成物と顔料組成物でなった液
晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジ
スト組成物を提供することである。
染色法によるカラーフィルターは感光生天然樹脂（ゼラ
チン）又は感光生合成樹脂（アミン変成ポリビニールア
ルコール）を染料で染色処理したが、このカラーフィル
ター耐熱性、耐光性、水分抵抗性等が著しく低下する。
一方、印刷法によるカラーフィルターは、光硬化性樹脂
に色素を分散させて製造したインクをオフセット印刷
法、スクリーン印刷法、伝写印刷法又は活版印刷法等で
製造する。前記製造法によるカラーフィルターは低価格
化と大画面化を実現し得る反面、高精密の微細パターン
形成、既存ブラウン管に同等な水準の分光特性及び色度
図上での色再現性等に致命的な欠点を有している。そし
て、適正溶媒に顔料を分散させ、基板上に形成された電
極を用いて電着塗装を行う電着法がある。この方法は耐
光性又は耐熱性が良好であるが、色素層を形成するため
に透明電極が必要であるだけでなく、形成される色素層
が絶縁膜となるため、カラーフィルターの表面に液晶駆
動のための電極を別に備える必要がある。又、無機多層
薄膜法のうち、特にニッケル又はクロムを蒸着させて黒
色マトリックスを形成する方法がある。この方法は遮光
率及び解像度が大変良好であるが、設備費が高くかか
り、工程が複雑であり、製造単価も高い方である。従っ
て、本発明の目的はカラーフィルターとして使用する
時、感光度、分光特性等の諸般物性に優れるように考案
された新規の感光性樹脂組成物と顔料組成物でなった液
晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジ
スト組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明による液晶ディスプレーカラーフィルター用顔
料分散フォトレジスト組成物は、下記式（Ｉ）で表現さ
れる三重合体樹脂と多官能性アクリレートモノマー又は
オリゴマーと不飽和基を一つ以上含有するポリエン系化
合物と多官能性チオール系化合物と光重合開始剤とその
他の添加剤とを含有する感光性樹脂組成物と、顔料と高
分子分散剤と顔料誘導体分散剤と消泡剤と沈降防止剤と
界面活性剤とその他の添加剤を含有する顔料分散組成物
とから構成される。 ここで、Ｒ１はＨ、ＣＨ３、ＣＨ２ＣＯＯＨであり、Ｒ
２はＨ、ＣＨ３であり、Ｒ３は炭素数１〜１０のアルキ
ル基、フェニル基、ベンジル基、 、−ＯＣ１Ｈ２１＋１であり、ｌは１〜６の定数であ
り、Ｒ４はＨ、ＣＨであり、Ｒ５は（ＣＨ３）ｍであ
り、ｍは１〜１０の定数であり、 Ｘ、Ｙ、Ｚは各単量体間のモル比で、Ｘは５〜４０モル
％、Ｙは３０〜９５モル％、Ｚは０．１〜７５モル％で
ある。
の本発明による液晶ディスプレーカラーフィルター用顔
料分散フォトレジスト組成物は、下記式（Ｉ）で表現さ
れる三重合体樹脂と多官能性アクリレートモノマー又は
オリゴマーと不飽和基を一つ以上含有するポリエン系化
合物と多官能性チオール系化合物と光重合開始剤とその
他の添加剤とを含有する感光性樹脂組成物と、顔料と高
分子分散剤と顔料誘導体分散剤と消泡剤と沈降防止剤と
界面活性剤とその他の添加剤を含有する顔料分散組成物
とから構成される。 ここで、Ｒ１はＨ、ＣＨ３、ＣＨ２ＣＯＯＨであり、Ｒ
２はＨ、ＣＨ３であり、Ｒ３は炭素数１〜１０のアルキ
ル基、フェニル基、ベンジル基、 、−ＯＣ１Ｈ２１＋１であり、ｌは１〜６の定数であ
り、Ｒ４はＨ、ＣＨであり、Ｒ５は（ＣＨ３）ｍであ
り、ｍは１〜１０の定数であり、 Ｘ、Ｙ、Ｚは各単量体間のモル比で、Ｘは５〜４０モル
％、Ｙは３０〜９５モル％、Ｚは０．１〜７５モル％で
ある。
【発明の実施の形態】本発明で記述しようとする顔料分
散法によるフォトレジストは感光性樹脂に各種顔料を分
散させたレジストを製造した後、これをフォトリソグラ
フィー工程を通じて製造することである。この際、顔料
分散レジスト組成物に要求される条件としては、一番
目、顔料による光量の減殺があっても光硬化反応が開始
され促進される高感度のフォトポリマーが存在するこ
と、二番目、塗布、露光、現像等のプロセスが安定で簡
単であること、三番目、サブミクロンの粒径（０．０１
〜０．５μｍ）を有する顔料を均一に分散させるととも
に長期間貯蔵安定性（最小３か月以上）が保障される溶
液組成であること、四番目、耐光性、耐熱性、耐湿性、
耐薬品性等に優れるとともに色度図が良好であるレジス
ト組成物であること等である。一般に、紫外線硬化は電
子線硬化とは異なり、空気中で遂行可能な利点がある。
しかし、空気中の酸素により、紫外線硬化の活性種自由
ラジカルがクエンチングされて光硬化に逆作用をする。
即ち、酸素による重合禁止作用は光硬化フィルム形成時
に、特に表面で大変激しく、表面での酸素濃度は硬化フ
ィルムの内部より２〜３倍高い。従って、光開始反応速
度を極大化するためには光吸収が高くなければならな
い。これは入射光の強度が強いことを意味し、表面での
酸素の消耗と内部への拡散が光反応により抑制されなけ
ればならない。この際、光開始剤の濃度を高めて酸素の
影響を抑制することができるが、あまり高い濃度の光開
始剤はフィルムの内部で光吸収を減少させて不完全な硬
化をもたらすことがある。光硬化コーティングにおい
て、全体硬化は単純な表面硬化の測定によっては分から
ない問題がある。従って、光開始剤の濃度をできるだけ
最小に維持して、適切な表面硬化をもたらすように条件
を合わせることが光硬化の基礎となる。空気による光重
合反応の抑制を克服するためには次のような条件が考慮
されている。一番目、窒素のような不活性気体下で光照
射するか、二番目、保護膜を用いるか（ドライフィルム
レジストにおいて、ポリエステルフィルム保護膜を使用
する場合）、三番目、水中で光照射するか（空気中の酸
素濃度より１００倍小さい）、四番目、日本国特許平１
−１５２４４９号又は日本国特許平６−２０１９１号に
提示されたように、トリアジン系化合物又はイミダゾー
ル系等のような特殊な光開始剤を使用する方法が提示さ
れる。本発明は、前述したように光開示剤を使用する時
に現れる諸般問題点を解決するために案出されたもの
で、チオール及び／又はエン系化合物を樹脂組成物に添
加して、一般のラジカル光開始剤を用いても、硬化時に
酸素の影響を受けないようにした高感度の顔料分散レジ
ストを提供し得るようにしたものである。本発明に使用
される多官能性チオール化合物としては、ＳＨ基を一つ
以上含有したもので、代表的な例としてはグリコールジ
メルカプトアセテート、トリメチルオレタントリス（３
−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリトリットテ
トラキス（チオグリコーレート）等があり、又、エン系
化合物（ポリエン化合物）としては不飽和基を一つ以上
含有した化合物で、ポリエン主鎖の成分がエステル又は
ウレタン等で適切に置換されてもよい。このようにチオ
ール及び／又はエン系化合物を使用すると、露光された
部分での多官能性チオールとポリエン化合物が反応して
線型及び立体型網目構造を形成することにより所望パタ
ーン形成が得られ、よって酸素による光開始速度の減少
がないので、空気中で保護膜なしにも高感度を実現する
ことができる大きい利点がある。本発明による顔料分散
フォトレジスト組成物は高精密微細パターンの形成が可
能であり、耐熱性、耐光性、分光特性、色再現性（色度
図）、分散安定性、基板との接着性、解像度及び感度等
に優れる特性を有するもので、感光性樹脂組成物と顔料
分散組成物とに大別される。感光性樹脂組成物はバイン
ダー樹脂、多官能性アクリレートオリゴマー及びモノマ
ー、不飽和基を一つ以上含有したポリエン系化合物（主
鎖にエステル又はウレタン等で置換されてもよい）、多
官能性チオール系化合物、光重合開始剤及び増減剤、熱
重合禁止剤、有機溶剤等で構成され、顔料分散組成物は
顔料、高分子分散剤、顔料誘導体分散剤、界面活性剤、
消泡剤、レベリング剤、スリッブ剤、有機溶剤等で構成
されている。本発明の感光性樹脂組成物に使用するバイ
ンダー樹脂は次のような一般式（Ｉ）のような構造の三
重合体である。 ここで、Ｒ１はＨ、ＣＨ３、ＣＨ２ＣＯＯＨであり、Ｒ
２はＨ、ＣＨ３であり、Ｒ３は炭素数１〜１０のアルキ
ル基、フェニル基、ベンジル基、 、−ＯＣ１Ｈ２１＋１であり、ｌは１〜６の定数であ
り、Ｒ４はＨ、ＣＨであり、Ｒ５は（ＣＨ３）ｍであ
り、ｍは１〜１０の定数であり、 Ｘ、Ｙ、Ｚは各単量体間のモル比で、Ｘは５〜４０モル
％、Ｙは３０〜９５モル％、Ｚは０．１〜７５モル％で
ある。本発明における感光性樹脂組成物は、前記一般式
（Ｉ）で表現されるバインダー樹脂１００重量部に対
し、多官能性アクリレートモノマー又はオリゴマー５〜
６０重量部、不飽和基を一つ以上含有したポリエン系化
合物０．０１〜５０重量部、多官能性チオール糸化合物
０．０１〜５０重量部、光重合開始剤及びその他の添加
剤０．１〜５０重量部及び有機溶剤を混合して製造され
るものである。一般式（Ｉ）で表現されるバインダー樹
脂は単量体として不飽和有機酸と不飽和有機酸エステル
とアリール基、シンナモイル基又はアクリロイル基等の
感光基を含有した不飽和有機酸エステルとの三重合体で
なったアクリル樹脂である。又、多官能性アクリレート
オリゴマーとしてはオリゴエステルアクリレート、エポ
キシアクリレート、ウレタンアクリレート等があり、前
記オリゴマーを単独で又は一つ以上を混合して使用する
こともできるが、具体的な例としては、エチレングリコ
ールジアクリレート、トリエチレングリコールアクリレ
ート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、１，４
−シクロヘキサンジアクリレート、トリメチロルトリア
クリレート、トリメチロルプロパントリアクリレート、
ペンタエリトリットトリアクリレート、ジペンタエリト
リットテトラアクリレート、ソルビットトリアクリレー
ト、ソルビットテトラクリレート、ソルビットペンタク
リレート、ソルビットヘキサクリレート、テトラメチレ
ングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコー
ルジメタクリレート、トリメチルオルプロパントリメタ
クリレート、エチレングリコールジメタクリレート、
１，３−ブタンジオルメタクリレート、ペンタエリトリ
ットメタクリレート、ジペンタエリトリットジメタクリ
レート、ペンタエリトリットトリメタクリレート、ソル
ビットトリメタクリレート、ソルビットテトラメタクリ
レート、２−ヒドロキシエチルアクリレート等があり、
これら単量体の以外に二量体及び三量体のようなプレポ
リマーも効果的に使用できる。光重合開始剤及び増減剤
としては、ベンゾフェノン系、アセトフェノン系、チオ
キサントン系化合物を一つ以上混合して使用することが
できる。本発明の顔料分散組成物は、顔料をポリアミン
系、ポリアクリル系、ポリウレタン系、ポリカプラクタ
ン系、長鎖アルキルアミノアマイド系、ポリイソシアネ
ート系及びポリエステル系化合物でなった一つ以上の高
分子分散剤とともに、均一な塗布特性を有するようにレ
ベリング剤、スリップ剤及び界面活性剤を少量添加する
と同時にビード下で分散する途中又はスピンコーティン
グ時に気泡発生によるピンホール問題を解決するため、
消泡剤も少量添加してビード下で５〜９回反復分散して
製造する。この際、顔料の平均粒径分布が０．０５〜
０．５μｍとなるようにフィルターリングしてレジスト
製造に使用する。一方、本発明における顔料分散組成物
を製造する時に使用した分散剤の平均分子量は１，００
０〜１００，０００程度であり、本発明のビークル樹脂
との相溶性に制限を受けない。本発明に使用される適正
な高分子分散剤の量は顔料１００重量部に対し１〜２０
０重量部（望ましくは５〜１００重量部）である。前記
高分子分散剤の主鎖はポリアミン系、ポリアクリル系、
ポリエステル系、ポリウレタン系、ポリカプラクタン
系、長鎖アルキルポリアミノアマイド系及びポリイソシ
アネート系化合物等でなっており、側鎖官能導入基とし
ては、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ２、−ＮＨ２、−ＯＨ、−Ｎ
＝Ｃ＝Ｏ、−Ｏ−Ｃ８Ｈ１７、−Ｐ−（Ｏ−Ｃ
８Ｈ１７）２ＯＨ、−Ｏ−Ｃ２Ｈ４−ＮＨ−Ｃ２Ｈ４−
ＮＨ２、 等を一つ以上含有した化合物である。従って、顔料吸着
性官能基部分と溶媒化可能な鎖を共有することにより、
顔料表面に高分子吸着による立体障害効果が極大化さ
れ、顔料粒子同士凝集しないように厚くコーティング層
を形成して優秀な顔料分散物を製造することになる。一
方、前記高分子分散剤とともに、下記の一般式（ＩＩ）
で表現される顔料誘導体分散剤から選択された一つ以上
の化合物を添加して顔料を分散することもでき、又、高
分子分散剤の外に別の特定顔料誘導体でなった分散剤を
単独又は一つ以上混合して使用することもできる。この
場合の顔料誘導体分散剤は分散調剤の機能だけでなくカ
ラーマッチング用調色顔料の機能も有し、特に顔料分散
性向上に卓越した効果を発揮する分散剤である。 ここで、Ｐは有機顔料で、キナクリドン系、アントラキ
ノン系、アンタンクロン系、インジゴ系、スレン系、チ
オインジゴ系、アゾ・ジアゾ・多縮合アゾ系、ィミダゾ
ール系、アリールアマイド（アシルアミノ）系、イソイ
ンドリン系、ペリレン系、ペリノン系、フタロシアニン
系、メチン・アゾメチン系、アントラピリミジン系、ジ
オキサジン系、アニリ冫系、プランバントロン系、ピラ
ントロン系、イソビオルパントラン系、インダントロン
系、フタロン系、ジアントラキノン系、キノフタロン系
等であり、Ｇはスルホン基、カルボニル基、エステル基
又はホスホリル基等であり、Ｒ１とＲ２は水素原子、無
置換アルキル基、置換アルキル基、環化アルキル基、ア
リール基又は複数の環を有する基であり、Ｒ３は水素原
子、アルキル基又はアルキルアミン基等で置換されたも
のであり、ｌは１〜４の定数、ｍは１〜２０の定数、ｎ
は１〜６の定数である。前記特定顔料誘導体で合成され
た分散剤は高分子分散剤とともに使用することもでき
る。この場合、高分子分散剤の分散調剤として顔料表面
とのアンカー成分として作用し、その望ましい添加量は
顔料１００重量部に対して１〜２００重量部である。
又、顔料誘導体分散剤はカラーマッチング用調色顔料と
して添加でき、この場合の望ましい添加量もやはり顔料
１００重量部に対して１〜２００重量部である。本発明
の顔料分散組成物に使用できる色素として、赤色顔料と
してはカラーインデキスナンバー９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１７８、１７９、１８
０、１９２、２０２、２２０、２１５、２５４等が使用
でき、緑色顔料としてはカラーインデキスナンバー７、
３６等が使用でき、青色顔料としてはカラーインデキス
ナンバー１５、２２、６０、６４等が使用でき、黄色顔
料としてはカラーインデキスナンバー２０、２４、８
３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１
３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５３、１５
４、１６６、１６８等が使用でき、オレンジ色顔料とし
てはカラーインデキスナンバー３６、４３、５１、５
５、５９、６１、６４等が使用でき、バイオレット色顔
料としてはカラーインデキスナンバー１９、２３、２
９、３０、３７、４ー、５０等が使用でき、黒色顔料と
してはカラーインデキスナンバー１、７、１１、２２、
２７、３０、３１等か使用でき、白色顔料としてはカラ
ーインデキスナンバー二酸化チタン、練白、酸化亜鉛、
リトボン等が使用でき、前記顔料１種のみで又は１種以
上混合して使用して、色再現性の優秀な顔料分散フォト
レジストを製造することができる。本発明の目的を達成
するために使用されるその他の添加剤としては次のよう
なものがある。分散時に発生する気泡を防止、除去する
ための消泡剤は顔料１００重量部に対して１〜１００重
量部添加することができ、顔料分散組成物を長期間保管
する時、顔料粒子の沈降防止のための沈降防止剤として
ベントナイト、タルク、ドロマイト、カオリナイト、蝋
石、硅藻土、バイヤライト、カルシウムカボネート、ア
ルミナ、シリカ等の無機物は顔料１００重量部に対して
１〜１００重量部使用して使用でき、顔料濃度が高い場
合に発生される顔料分散物のゲル化（ゴシックソトロフ
ィー）現象を防止するために添加するスリップ剤、顔料
分散物を塗布した後、塗膜の表面平滑性を良くするため
に添加するレベリング剤、顔料分散組成物のフラディン
グ、フローティング、ブロッキング及び基板との接着性
等の多くの問題を解決するためのその他の添加剤を顔料
１００重量部に対して１〜５０重量部添加でき、又、顔
料と分散剤及び有機溶剤間の親和性を高めるために陽イ
オン性、陰イオン性及び非イオン性界面活性剤を顔料１
００重量部に対して１〜１００重量部使用することがで
きる。一方、感光性樹脂組成物及び顔料分散組成物の分
散及び粘度調節のために使用される有機溶剤はバインダ
ー樹脂組成、モノマーの種類、光開始剤の種類によって
選定し、多く使用されるものとしてはトルエン、キシレ
ン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、
ジクライム、シクロヘキサノン等があり、その使用量は
組成物の総量の１０〜９０重量％の範囲で調節される。
散法によるフォトレジストは感光性樹脂に各種顔料を分
散させたレジストを製造した後、これをフォトリソグラ
フィー工程を通じて製造することである。この際、顔料
分散レジスト組成物に要求される条件としては、一番
目、顔料による光量の減殺があっても光硬化反応が開始
され促進される高感度のフォトポリマーが存在するこ
と、二番目、塗布、露光、現像等のプロセスが安定で簡
単であること、三番目、サブミクロンの粒径（０．０１
〜０．５μｍ）を有する顔料を均一に分散させるととも
に長期間貯蔵安定性（最小３か月以上）が保障される溶
液組成であること、四番目、耐光性、耐熱性、耐湿性、
耐薬品性等に優れるとともに色度図が良好であるレジス
ト組成物であること等である。一般に、紫外線硬化は電
子線硬化とは異なり、空気中で遂行可能な利点がある。
しかし、空気中の酸素により、紫外線硬化の活性種自由
ラジカルがクエンチングされて光硬化に逆作用をする。
即ち、酸素による重合禁止作用は光硬化フィルム形成時
に、特に表面で大変激しく、表面での酸素濃度は硬化フ
ィルムの内部より２〜３倍高い。従って、光開始反応速
度を極大化するためには光吸収が高くなければならな
い。これは入射光の強度が強いことを意味し、表面での
酸素の消耗と内部への拡散が光反応により抑制されなけ
ればならない。この際、光開始剤の濃度を高めて酸素の
影響を抑制することができるが、あまり高い濃度の光開
始剤はフィルムの内部で光吸収を減少させて不完全な硬
化をもたらすことがある。光硬化コーティングにおい
て、全体硬化は単純な表面硬化の測定によっては分から
ない問題がある。従って、光開始剤の濃度をできるだけ
最小に維持して、適切な表面硬化をもたらすように条件
を合わせることが光硬化の基礎となる。空気による光重
合反応の抑制を克服するためには次のような条件が考慮
されている。一番目、窒素のような不活性気体下で光照
射するか、二番目、保護膜を用いるか（ドライフィルム
レジストにおいて、ポリエステルフィルム保護膜を使用
する場合）、三番目、水中で光照射するか（空気中の酸
素濃度より１００倍小さい）、四番目、日本国特許平１
−１５２４４９号又は日本国特許平６−２０１９１号に
提示されたように、トリアジン系化合物又はイミダゾー
ル系等のような特殊な光開始剤を使用する方法が提示さ
れる。本発明は、前述したように光開示剤を使用する時
に現れる諸般問題点を解決するために案出されたもの
で、チオール及び／又はエン系化合物を樹脂組成物に添
加して、一般のラジカル光開始剤を用いても、硬化時に
酸素の影響を受けないようにした高感度の顔料分散レジ
ストを提供し得るようにしたものである。本発明に使用
される多官能性チオール化合物としては、ＳＨ基を一つ
以上含有したもので、代表的な例としてはグリコールジ
メルカプトアセテート、トリメチルオレタントリス（３
−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリトリットテ
トラキス（チオグリコーレート）等があり、又、エン系
化合物（ポリエン化合物）としては不飽和基を一つ以上
含有した化合物で、ポリエン主鎖の成分がエステル又は
ウレタン等で適切に置換されてもよい。このようにチオ
ール及び／又はエン系化合物を使用すると、露光された
部分での多官能性チオールとポリエン化合物が反応して
線型及び立体型網目構造を形成することにより所望パタ
ーン形成が得られ、よって酸素による光開始速度の減少
がないので、空気中で保護膜なしにも高感度を実現する
ことができる大きい利点がある。本発明による顔料分散
フォトレジスト組成物は高精密微細パターンの形成が可
能であり、耐熱性、耐光性、分光特性、色再現性（色度
図）、分散安定性、基板との接着性、解像度及び感度等
に優れる特性を有するもので、感光性樹脂組成物と顔料
分散組成物とに大別される。感光性樹脂組成物はバイン
ダー樹脂、多官能性アクリレートオリゴマー及びモノマ
ー、不飽和基を一つ以上含有したポリエン系化合物（主
鎖にエステル又はウレタン等で置換されてもよい）、多
官能性チオール系化合物、光重合開始剤及び増減剤、熱
重合禁止剤、有機溶剤等で構成され、顔料分散組成物は
顔料、高分子分散剤、顔料誘導体分散剤、界面活性剤、
消泡剤、レベリング剤、スリッブ剤、有機溶剤等で構成
されている。本発明の感光性樹脂組成物に使用するバイ
ンダー樹脂は次のような一般式（Ｉ）のような構造の三
重合体である。 ここで、Ｒ１はＨ、ＣＨ３、ＣＨ２ＣＯＯＨであり、Ｒ
２はＨ、ＣＨ３であり、Ｒ３は炭素数１〜１０のアルキ
ル基、フェニル基、ベンジル基、 、−ＯＣ１Ｈ２１＋１であり、ｌは１〜６の定数であ
り、Ｒ４はＨ、ＣＨであり、Ｒ５は（ＣＨ３）ｍであ
り、ｍは１〜１０の定数であり、 Ｘ、Ｙ、Ｚは各単量体間のモル比で、Ｘは５〜４０モル
％、Ｙは３０〜９５モル％、Ｚは０．１〜７５モル％で
ある。本発明における感光性樹脂組成物は、前記一般式
（Ｉ）で表現されるバインダー樹脂１００重量部に対
し、多官能性アクリレートモノマー又はオリゴマー５〜
６０重量部、不飽和基を一つ以上含有したポリエン系化
合物０．０１〜５０重量部、多官能性チオール糸化合物
０．０１〜５０重量部、光重合開始剤及びその他の添加
剤０．１〜５０重量部及び有機溶剤を混合して製造され
るものである。一般式（Ｉ）で表現されるバインダー樹
脂は単量体として不飽和有機酸と不飽和有機酸エステル
とアリール基、シンナモイル基又はアクリロイル基等の
感光基を含有した不飽和有機酸エステルとの三重合体で
なったアクリル樹脂である。又、多官能性アクリレート
オリゴマーとしてはオリゴエステルアクリレート、エポ
キシアクリレート、ウレタンアクリレート等があり、前
記オリゴマーを単独で又は一つ以上を混合して使用する
こともできるが、具体的な例としては、エチレングリコ
ールジアクリレート、トリエチレングリコールアクリレ
ート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、１，４
−シクロヘキサンジアクリレート、トリメチロルトリア
クリレート、トリメチロルプロパントリアクリレート、
ペンタエリトリットトリアクリレート、ジペンタエリト
リットテトラアクリレート、ソルビットトリアクリレー
ト、ソルビットテトラクリレート、ソルビットペンタク
リレート、ソルビットヘキサクリレート、テトラメチレ
ングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコー
ルジメタクリレート、トリメチルオルプロパントリメタ
クリレート、エチレングリコールジメタクリレート、
１，３−ブタンジオルメタクリレート、ペンタエリトリ
ットメタクリレート、ジペンタエリトリットジメタクリ
レート、ペンタエリトリットトリメタクリレート、ソル
ビットトリメタクリレート、ソルビットテトラメタクリ
レート、２−ヒドロキシエチルアクリレート等があり、
これら単量体の以外に二量体及び三量体のようなプレポ
リマーも効果的に使用できる。光重合開始剤及び増減剤
としては、ベンゾフェノン系、アセトフェノン系、チオ
キサントン系化合物を一つ以上混合して使用することが
できる。本発明の顔料分散組成物は、顔料をポリアミン
系、ポリアクリル系、ポリウレタン系、ポリカプラクタ
ン系、長鎖アルキルアミノアマイド系、ポリイソシアネ
ート系及びポリエステル系化合物でなった一つ以上の高
分子分散剤とともに、均一な塗布特性を有するようにレ
ベリング剤、スリップ剤及び界面活性剤を少量添加する
と同時にビード下で分散する途中又はスピンコーティン
グ時に気泡発生によるピンホール問題を解決するため、
消泡剤も少量添加してビード下で５〜９回反復分散して
製造する。この際、顔料の平均粒径分布が０．０５〜
０．５μｍとなるようにフィルターリングしてレジスト
製造に使用する。一方、本発明における顔料分散組成物
を製造する時に使用した分散剤の平均分子量は１，００
０〜１００，０００程度であり、本発明のビークル樹脂
との相溶性に制限を受けない。本発明に使用される適正
な高分子分散剤の量は顔料１００重量部に対し１〜２０
０重量部（望ましくは５〜１００重量部）である。前記
高分子分散剤の主鎖はポリアミン系、ポリアクリル系、
ポリエステル系、ポリウレタン系、ポリカプラクタン
系、長鎖アルキルポリアミノアマイド系及びポリイソシ
アネート系化合物等でなっており、側鎖官能導入基とし
ては、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ２、−ＮＨ２、−ＯＨ、−Ｎ
＝Ｃ＝Ｏ、−Ｏ−Ｃ８Ｈ１７、−Ｐ−（Ｏ−Ｃ
８Ｈ１７）２ＯＨ、−Ｏ−Ｃ２Ｈ４−ＮＨ−Ｃ２Ｈ４−
ＮＨ２、 等を一つ以上含有した化合物である。従って、顔料吸着
性官能基部分と溶媒化可能な鎖を共有することにより、
顔料表面に高分子吸着による立体障害効果が極大化さ
れ、顔料粒子同士凝集しないように厚くコーティング層
を形成して優秀な顔料分散物を製造することになる。一
方、前記高分子分散剤とともに、下記の一般式（ＩＩ）
で表現される顔料誘導体分散剤から選択された一つ以上
の化合物を添加して顔料を分散することもでき、又、高
分子分散剤の外に別の特定顔料誘導体でなった分散剤を
単独又は一つ以上混合して使用することもできる。この
場合の顔料誘導体分散剤は分散調剤の機能だけでなくカ
ラーマッチング用調色顔料の機能も有し、特に顔料分散
性向上に卓越した効果を発揮する分散剤である。 ここで、Ｐは有機顔料で、キナクリドン系、アントラキ
ノン系、アンタンクロン系、インジゴ系、スレン系、チ
オインジゴ系、アゾ・ジアゾ・多縮合アゾ系、ィミダゾ
ール系、アリールアマイド（アシルアミノ）系、イソイ
ンドリン系、ペリレン系、ペリノン系、フタロシアニン
系、メチン・アゾメチン系、アントラピリミジン系、ジ
オキサジン系、アニリ冫系、プランバントロン系、ピラ
ントロン系、イソビオルパントラン系、インダントロン
系、フタロン系、ジアントラキノン系、キノフタロン系
等であり、Ｇはスルホン基、カルボニル基、エステル基
又はホスホリル基等であり、Ｒ１とＲ２は水素原子、無
置換アルキル基、置換アルキル基、環化アルキル基、ア
リール基又は複数の環を有する基であり、Ｒ３は水素原
子、アルキル基又はアルキルアミン基等で置換されたも
のであり、ｌは１〜４の定数、ｍは１〜２０の定数、ｎ
は１〜６の定数である。前記特定顔料誘導体で合成され
た分散剤は高分子分散剤とともに使用することもでき
る。この場合、高分子分散剤の分散調剤として顔料表面
とのアンカー成分として作用し、その望ましい添加量は
顔料１００重量部に対して１〜２００重量部である。
又、顔料誘導体分散剤はカラーマッチング用調色顔料と
して添加でき、この場合の望ましい添加量もやはり顔料
１００重量部に対して１〜２００重量部である。本発明
の顔料分散組成物に使用できる色素として、赤色顔料と
してはカラーインデキスナンバー９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１７８、１７９、１８
０、１９２、２０２、２２０、２１５、２５４等が使用
でき、緑色顔料としてはカラーインデキスナンバー７、
３６等が使用でき、青色顔料としてはカラーインデキス
ナンバー１５、２２、６０、６４等が使用でき、黄色顔
料としてはカラーインデキスナンバー２０、２４、８
３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１
３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５３、１５
４、１６６、１６８等が使用でき、オレンジ色顔料とし
てはカラーインデキスナンバー３６、４３、５１、５
５、５９、６１、６４等が使用でき、バイオレット色顔
料としてはカラーインデキスナンバー１９、２３、２
９、３０、３７、４ー、５０等が使用でき、黒色顔料と
してはカラーインデキスナンバー１、７、１１、２２、
２７、３０、３１等か使用でき、白色顔料としてはカラ
ーインデキスナンバー二酸化チタン、練白、酸化亜鉛、
リトボン等が使用でき、前記顔料１種のみで又は１種以
上混合して使用して、色再現性の優秀な顔料分散フォト
レジストを製造することができる。本発明の目的を達成
するために使用されるその他の添加剤としては次のよう
なものがある。分散時に発生する気泡を防止、除去する
ための消泡剤は顔料１００重量部に対して１〜１００重
量部添加することができ、顔料分散組成物を長期間保管
する時、顔料粒子の沈降防止のための沈降防止剤として
ベントナイト、タルク、ドロマイト、カオリナイト、蝋
石、硅藻土、バイヤライト、カルシウムカボネート、ア
ルミナ、シリカ等の無機物は顔料１００重量部に対して
１〜１００重量部使用して使用でき、顔料濃度が高い場
合に発生される顔料分散物のゲル化（ゴシックソトロフ
ィー）現象を防止するために添加するスリップ剤、顔料
分散物を塗布した後、塗膜の表面平滑性を良くするため
に添加するレベリング剤、顔料分散組成物のフラディン
グ、フローティング、ブロッキング及び基板との接着性
等の多くの問題を解決するためのその他の添加剤を顔料
１００重量部に対して１〜５０重量部添加でき、又、顔
料と分散剤及び有機溶剤間の親和性を高めるために陽イ
オン性、陰イオン性及び非イオン性界面活性剤を顔料１
００重量部に対して１〜１００重量部使用することがで
きる。一方、感光性樹脂組成物及び顔料分散組成物の分
散及び粘度調節のために使用される有機溶剤はバインダ
ー樹脂組成、モノマーの種類、光開始剤の種類によって
選定し、多く使用されるものとしてはトルエン、キシレ
ン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、
ジクライム、シクロヘキサノン等があり、その使用量は
組成物の総量の１０〜９０重量％の範囲で調節される。
【実施例】以下、実施例及び比較実施例を挙げて本発明
をより具体的に説明するが、これらによって本発明の範
囲が制限されるものではない。 実施例１ フォトレジスト組成物の製造 分子式が、 であるアクリル三重合体樹脂（１）と、分子式が、 であるアクリル三重合体樹脂（２）をバインダー樹脂と
した感光性樹脂組成物と高分子分散剤及び顔料誘導体分
散剤が含有された顔料分散組成物とを表１及び表２に示
すような組成比に感光性樹脂組成物２種、顔料分散組成
物６種を製造した後、表３に示すような組合比にそれぞ
れ混合し、粘度が５〜５０センチポアズになるように有
機溶剤を加えてカラーレジスト組成物を製造した。
をより具体的に説明するが、これらによって本発明の範
囲が制限されるものではない。 実施例１ フォトレジスト組成物の製造 分子式が、 であるアクリル三重合体樹脂（１）と、分子式が、 であるアクリル三重合体樹脂（２）をバインダー樹脂と
した感光性樹脂組成物と高分子分散剤及び顔料誘導体分
散剤が含有された顔料分散組成物とを表１及び表２に示
すような組成比に感光性樹脂組成物２種、顔料分散組成
物６種を製造した後、表３に示すような組合比にそれぞ
れ混合し、粘度が５〜５０センチポアズになるように有
機溶剤を加えてカラーレジスト組成物を製造した。
【表１】
【表２】
【表３】 カラーフィルターの製造 前記表３に示したような混合比に製造されたフォトレジ
スト組成物を単独又は一つ以上混合して赤色、緑色、青
色、黒色の標準色相を有するカラーレジストを製造し、
図１に示すようなフォトリソグラフィー法により図２に
示すようなカラーフィルターを形成させた。比較実施例１ 従来の方法によりゼラチンと赤、緑、青、黒の顔料を使
用してレジストを製造した後、カラーフィルターを形成
させた。比較実施例２ ベンジルメタクリレートとメチルメタクリレートコポリ
マーに色素を分散させてレジストを製造した後、カラー
フィルターを形成させた。
スト組成物を単独又は一つ以上混合して赤色、緑色、青
色、黒色の標準色相を有するカラーレジストを製造し、
図１に示すようなフォトリソグラフィー法により図２に
示すようなカラーフィルターを形成させた。比較実施例１ 従来の方法によりゼラチンと赤、緑、青、黒の顔料を使
用してレジストを製造した後、カラーフィルターを形成
させた。比較実施例２ ベンジルメタクリレートとメチルメタクリレートコポリ
マーに色素を分散させてレジストを製造した後、カラー
フィルターを形成させた。
【発明の効果】前記実施例及び比較実施例により製造さ
れたカラーレジストに対して耐熱性、分光特性、解像
性、分散安定性、色度図、感光度等の信頼性評価を行っ
た結果、本発明による組成物を使用した実施例によるカ
ラーレジストが全般的に均等に優秀な物性を有するもの
と確認され、特に、添付図面の図３、図４及び図５に示
すように分散安定性、分光特性度、色度図等の面から従
来のカラーレジストに比べで著しく優秀であることを現
した。
れたカラーレジストに対して耐熱性、分光特性、解像
性、分散安定性、色度図、感光度等の信頼性評価を行っ
た結果、本発明による組成物を使用した実施例によるカ
ラーレジストが全般的に均等に優秀な物性を有するもの
と確認され、特に、添付図面の図３、図４及び図５に示
すように分散安定性、分光特性度、色度図等の面から従
来のカラーレジストに比べで著しく優秀であることを現
した。
【図１】〕 液晶ティスプレーカラーフィルターの製造工程図であ
る。
る。
【図２】カラーフィルターの断面図である。
【図３】顔料分散組成物の分散安定性評価図である。
【図４】カラーフィルターの分光特性図である。
【図５】カラーフィルターの色度図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０１ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０１ ５０５ ５０５ 7/027 ５１１ 7/027 ５１１ 7/031 7/031 7/033 7/033 (72)発明者 キム スン シク 大韓民国，ソウル，ソンパーク，オリュン ードン，101−1301 (72)発明者 リ サン ウン 大韓民国，キョンサンブクード、クミー シ、ヒョンキオクードン，224−５
Claims (10)
- 【請求項１】感光性樹脂組成物と顔料分散組成物とから
製造される液晶ディスプレーカラーフィルター用フォト
レジスト組成物において、感光性樹脂組成物は、下記一
般式（Ｉ）で表現される三重合体樹脂１００重量部に対
し、多官能性アクリレートモノマー又はオリゴマー５〜
６０重量部、不飽和基を一つ以上含有したポリエン系化
合物０．０１〜５０重量部、多官能性チオール系化合物
０．０１〜５０重量部、光重合開始剤及びその他の添加
剤０．１〜５０重量部、有機溶剤で構成されることを特
徴とする液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散
フォトレジスト組成物。 ここで、Ｒ１はＨ、ＣＨ３、ＣＨ２ＣＯＯＨであり、 Ｒ２はＨ、ＣＨ３であり、 Ｒ３は炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、ベン
ジル基、 、−ＯＣ１Ｈ２１＋１であり、Ｅは１〜６の定数であ
り、 Ｒ４はＨ、ＣＨであり、 Ｒ５は（ＣＨ３）ｍであり、ｍは１〜１０の定数であ
り、 Ｘ、Ｙ、Ｚは各単量体間のモル比で、Ｘは５〜４０モル
％、Ｙは３０〜９５モル％、Ｚは０．１〜７５モル％で
ある。 - 【請求項２】三重合体樹脂は単量体として不飽和有機酸
と不飽和有機酸エステルと感光基を含有した不飽和有機
酸エステルとの酸重合体でなったアクリル樹脂であるこ
とを特徴とする請求項１記載の液晶ディスプレーカラー
フィルター用顔料分散フォトレジスト組成物。 - 【請求項３】感光基はアリール基、シンナモイル基、ア
クリロイル基から選択されたものであることを特徴とす
る請求項２記載の液晶ディスプレーカラーフィルター用
顔料分散フォトレジスト組成物。 - 【請求項４】多官能性チオール系化合物はグリコールジ
メルカプトアセテート、トリメチルオレタントリス（３
−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリトリットテ
トラキスから選択されたものであることを特徴とする請
求項１記載の液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料
分散フォトレジスト組成物。 - 【請求項５】光重合開始剤はベンゾフェノン系、アセト
フェノン系、チオキサントン系化合物を一つ又は二つ以
上混合して使用したものであることを特徴とする請求項
１記載の液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散
フォトレジスト組成物。 - 【請求項６】感光性樹脂組成物と顔料分散組成物とから
製造される液晶ディスプレーカラーフィルター用フォト
レジスト組成物において、顔料分散組成物は顔料１００
重量部に対して高分子分散剤１〜２００重量部、顔料誘
導体分散剤１〜２００重童部、消泡剤１〜１００重量
部、沈降防止剤１〜１００重量部、界面活性剤１〜１０
０重量部、その他の添加剤１〜５０重量部及び有機溶剤
を添加して構成されたものであることを特徴とする液晶
ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジス
ト組成物。 - 【請求項７】高分子分散剤は主鎖がポリアミン系、ポリ
アクリル系、ポリウレタン系、ポリカプラクタン系、長
鎖アルキルアミノアマイド系及びポリイソシアネート系
から選択されたものでなり、側鎖官能導入基として、 −ＣＯＯＨ、−ＳＯ２、−ＮＨ２、−ＯＨ、−Ｎ＝Ｃ＝
Ｏ、−Ｏ−Ｃ８Ｈ１７、 −Ｐ−（Ｏ−Ｃ８Ｈ１７）２ＯＨ、−Ｏ−Ｃ２Ｈ４−Ｎ
Ｈ−Ｃ２Ｈ４−ＮＨ２、 のうち、一つ又は二つ以上含有したものであることを特
徴とする請求項６記載の液晶ディスプレーカラーフィル
ター用顔料分散フォトレジスト組成物。 - 【請求項８】顔料誘導体分散剤は下記一般式（ＩＩ）で
表現される顔料誘導体分散剤を一つ又は二つ以上混合し
たものであることを特徴とする請求項６記載の液晶ディ
スプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレジスト組
成物。 ここで、Ｐは有機顔料で、キナクリドン系、アントラキ
ノン系、アンタンクロン系、インジゴ系、スレン系、チ
オインジゴ系、アゾ・ジアゾ・多縮合アゾ系、イミダゾ
ール系、アリールアマイド（アシルアミノ）系、イソイ
ンドリン系、ペリレン系、ペリノン系、フタロシアニン
系、メチン・アゾメチン系、アントラピリミジン系、ジ
オキサジン系、アニリン系、プランバントロン系、ピラ
ントロン系、イソビオルパントラン系、インダントロン
系、フタロン系、ジアントラキノン系、キノフタロン系
等であり、 Ｇはスルホン基、カルボニル基、エステル基又はホスホ
リル基等であり、 Ｒ１とＲ２は水素原子、無置換アルキル基、置換アルキ
ル基、環化アルキル基、アリール基又は複数の環を有す
る基であり、 Ｒ３は水素原子、アルキル基又はアルキルアミン基等で
置換されたものであり、ｌは１〜４の定数、ｍは１〜２
０の定数、ｎは１〜６の定数である。 - 【請求項９】沈降防止剤はベントナイト、タルク、ドロ
マイト、カオリナイト、蝋石、硅藻土、バイヤライト、
カルシウムカボネート、アルミナ、シリカのうち、一つ
又は二つ以上選択されたものであることを特徴とする請
求項６記載の液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料
分散フォトレジスト組成物。 - 【請求項１０】有機溶剤はトルエン、キシレン、エチル
セロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジクライ
ム、シクロヘキサノンのうち、一つ又は二つ以上選択混
合して使用することを特徴とする請求項１又は６記載の
液晶ディスプレーカラーフィルター用顔料分散フォトレ
ジスト組成物。
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