JPH0971863A - スパッタ装置用電源 - Google Patents
スパッタ装置用電源Info
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- JPH0971863A JPH0971863A JP25184095A JP25184095A JPH0971863A JP H0971863 A JPH0971863 A JP H0971863A JP 25184095 A JP25184095 A JP 25184095A JP 25184095 A JP25184095 A JP 25184095A JP H0971863 A JPH0971863 A JP H0971863A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】負荷容量が小容量から大容量まで安定して異常
放電を防止できる電源。 【解決手段】スパッタを行うための真空室内のタ−ゲッ
トＲＬに直流電圧、電力を供給するための直流電源ＤＣ
の出力部にインダクタ（直列リアクトル）Ｌを介して直
流電源ＤＣと逆極性のパルスを重畳せしめる逆パルス発
生回路ＲＰＣを接続し、且つ直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ
１とタ−ゲット電圧Ｖ０を比較する比較回路ＣＯＭＰを
設け、前記逆極性パルスの電圧及び周波数を調整して前
記タ−ゲットの電弧或いは異常放電を消弧せしめると共
に、比較回路ＣＯＭＰの出力が設定値に達したことを前
記異常放電等の前段現象（マイクロア−ク）として捕ら
えて直流電源ＤＣを制御するようにしたスパッタ装置用
電源。
放電を防止できる電源。 【解決手段】スパッタを行うための真空室内のタ−ゲッ
トＲＬに直流電圧、電力を供給するための直流電源ＤＣ
の出力部にインダクタ（直列リアクトル）Ｌを介して直
流電源ＤＣと逆極性のパルスを重畳せしめる逆パルス発
生回路ＲＰＣを接続し、且つ直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ
１とタ−ゲット電圧Ｖ０を比較する比較回路ＣＯＭＰを
設け、前記逆極性パルスの電圧及び周波数を調整して前
記タ−ゲットの電弧或いは異常放電を消弧せしめると共
に、比較回路ＣＯＭＰの出力が設定値に達したことを前
記異常放電等の前段現象（マイクロア−ク）として捕ら
えて直流電源ＤＣを制御するようにしたスパッタ装置用
電源。
Description
【０００１】
【発明の属する分野の説明】本発明はトランジスタ、Ｉ
Ｃ等の半導体その他電子部品の製造に用いられるスパッ
タ装置用の電源回路に関するもので、特にＳｉＯｘ膜等
の絶縁物をタ−ゲット上に効率良く被着せしめることの
可能な電源に関するものである。
Ｃ等の半導体その他電子部品の製造に用いられるスパッ
タ装置用の電源回路に関するもので、特にＳｉＯｘ膜等
の絶縁物をタ−ゲット上に効率良く被着せしめることの
可能な電源に関するものである。
【０００２】
【従来技術】スパッタ装置には高速化、製品の歩留り向
上が望まれ、この方向でスパッタ技術が進展してきてい
る。一般にスパッタ装置に適用する電源はタ−ゲットに
負の高電圧を印加するためのＤＣパワ−電源が使用され
るが、この高電圧印加状態で長時間の連続運転を行う
と、真空室内（チャンバ）に設けられたタ−ゲット近傍
で電弧を発生し、正常な運転が出来なくなることがあ
る。電弧の発生はタ−ゲットの材質あるいは形状により
相違する。この電弧はタ−ゲットから異常なスパッタリ
ングを起こし、薄膜を形成する基板上に不正規な膜を作
り、製品の歩留低下が問題になる。この電弧の発生をな
くすことは、技術的に非常に困難であり、従来種々の電
源回路が検討されているが決めてに欠けるのが現状であ
る。
上が望まれ、この方向でスパッタ技術が進展してきてい
る。一般にスパッタ装置に適用する電源はタ−ゲットに
負の高電圧を印加するためのＤＣパワ−電源が使用され
るが、この高電圧印加状態で長時間の連続運転を行う
と、真空室内（チャンバ）に設けられたタ−ゲット近傍
で電弧を発生し、正常な運転が出来なくなることがあ
る。電弧の発生はタ−ゲットの材質あるいは形状により
相違する。この電弧はタ−ゲットから異常なスパッタリ
ングを起こし、薄膜を形成する基板上に不正規な膜を作
り、製品の歩留低下が問題になる。この電弧の発生をな
くすことは、技術的に非常に困難であり、従来種々の電
源回路が検討されているが決めてに欠けるのが現状であ
る。
【０００３】そこで本願出願人は先にスパッタを行うた
めの真空室内のタ−ゲットに直流電圧、電力（パワ−）
を供給する電源の出力部に前記電源と逆極性のパルスを
重畳せしめ、該逆パルスの電圧及び周波数を任意に調整
することにより電弧或は異常放電を消弧するようにした
構成を提案した。（特開平７−１５０３４８号）
めの真空室内のタ−ゲットに直流電圧、電力（パワ−）
を供給する電源の出力部に前記電源と逆極性のパルスを
重畳せしめ、該逆パルスの電圧及び周波数を任意に調整
することにより電弧或は異常放電を消弧するようにした
構成を提案した。（特開平７−１５０３４８号）
【０００４】図７はこの回路図で図中ＤＣは直流電源で
タ−ゲット等の負荷ＲＬに負の直流高電圧を印加する極
性に接続されている。Ｌはインダクタ、Ｄ1、Ｒ1はサ−
ジ吸収用のダイオ−ド及び抵抗、次にＲＰＣは逆パルス
発生回路でＰＴはパルストランス、ｎ1、ｎ2はその１次
巻線及び２次（出力）巻線で１次巻線ｎ1側はスイッチ
ング回路ｓｗと、該スイッチング回路ｓｗの発振周波数
等を制御す発振回路ＯＳＣが接続されている。又２次巻
線ｎ2は直流電源ＤＣの出力部に該出力と逆極性にパル
スが重畳される如く接続されている。Ｃ1は該直流電源
ＤＣよりダイオ−ドＤ2を介して充電されるコンデンサ
でスイッチング回路ｓｗの電源を形成する。Ｄ3、Ｒ2は
パルストランスＰＴのフライバック電圧を抑制するダイ
オ−ド及び抵抗である。この回路の基本動作は直流電源
ＤＣを負荷ＲＬに給電すると同時に必要に応じて連続的
に或いは間欠的に逆パルス電圧を該直流電源ＤＣに重畳
して負荷ＲＬに給電する。即ちこの回路は負電位のタ−
ゲットに正電位を一定の周波数で、パルス状に印加する
事で蓄積されたプラスイオンのエネルギ−を中和させ、
異常放電を防止するものである。
タ−ゲット等の負荷ＲＬに負の直流高電圧を印加する極
性に接続されている。Ｌはインダクタ、Ｄ1、Ｒ1はサ−
ジ吸収用のダイオ−ド及び抵抗、次にＲＰＣは逆パルス
発生回路でＰＴはパルストランス、ｎ1、ｎ2はその１次
巻線及び２次（出力）巻線で１次巻線ｎ1側はスイッチ
ング回路ｓｗと、該スイッチング回路ｓｗの発振周波数
等を制御す発振回路ＯＳＣが接続されている。又２次巻
線ｎ2は直流電源ＤＣの出力部に該出力と逆極性にパル
スが重畳される如く接続されている。Ｃ1は該直流電源
ＤＣよりダイオ−ドＤ2を介して充電されるコンデンサ
でスイッチング回路ｓｗの電源を形成する。Ｄ3、Ｒ2は
パルストランスＰＴのフライバック電圧を抑制するダイ
オ−ド及び抵抗である。この回路の基本動作は直流電源
ＤＣを負荷ＲＬに給電すると同時に必要に応じて連続的
に或いは間欠的に逆パルス電圧を該直流電源ＤＣに重畳
して負荷ＲＬに給電する。即ちこの回路は負電位のタ−
ゲットに正電位を一定の周波数で、パルス状に印加する
事で蓄積されたプラスイオンのエネルギ−を中和させ、
異常放電を防止するものである。
【０００５】
【従来技術の問題点】所でこの回路の例では直流電源Ｄ
Ｃの出力が２０ＫＷ以下の比較的小容量であれば安定し
た異常放電防止が可能であるが、２０ＫＷ以上の大容量
になると実負荷テストにおいて異常放電が発生する恐れ
がある。
Ｃの出力が２０ＫＷ以下の比較的小容量であれば安定し
た異常放電防止が可能であるが、２０ＫＷ以上の大容量
になると実負荷テストにおいて異常放電が発生する恐れ
がある。
【０００６】
【発明の目的】本発明は負荷容量が小容量から大容量ま
で安定して異常放電を防止できる電源の提供を目的とす
る。
で安定して異常放電を防止できる電源の提供を目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための本発明の手段】本発明は負荷
（タ−ゲ−ト）が異常放電を発生する前段として、マイ
クロア−ク放電現象が所定時間（又は回数）生じること
に着目し、この前段現象を監視して直流電源の出力を制
御することにより異常（ア−ク）放電を防止するように
したもので、スパッタを行うための真空室内のタ−ゲ−
トに直流電圧、電力を供給するため直流電源の出力部に
インダクタ（直列リアクトル）を介して前記直流電源と
逆極性のパルスを重畳せしめる逆パルス発生回路を接続
し、且つ直流電源の出力電圧と前記タ−ゲ−ト電圧を比
較する比較回路を設け、前記逆パルスの電圧及び周波数
を調整して前記タ−ゲットの電弧或は異常放電を消弧せ
しめると共に、前記比較回路の出力が設定値に達したこ
とを前記異常放電等の前段現象（マイクロア−ク）とし
て捕えて前記直流電源を制御する。
（タ−ゲ−ト）が異常放電を発生する前段として、マイ
クロア−ク放電現象が所定時間（又は回数）生じること
に着目し、この前段現象を監視して直流電源の出力を制
御することにより異常（ア−ク）放電を防止するように
したもので、スパッタを行うための真空室内のタ−ゲ−
トに直流電圧、電力を供給するため直流電源の出力部に
インダクタ（直列リアクトル）を介して前記直流電源と
逆極性のパルスを重畳せしめる逆パルス発生回路を接続
し、且つ直流電源の出力電圧と前記タ−ゲ−ト電圧を比
較する比較回路を設け、前記逆パルスの電圧及び周波数
を調整して前記タ−ゲットの電弧或は異常放電を消弧せ
しめると共に、前記比較回路の出力が設定値に達したこ
とを前記異常放電等の前段現象（マイクロア−ク）とし
て捕えて前記直流電源を制御する。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示すシステムブロ
ック図で図中ＤＣは直流電源、Ｌはインダクタ（直列リ
アクトル）、ＲＰＣは逆パルス発生回路ＲＬはタ−ゲッ
ト（負荷）ＣＯＮＴは直流電源ＤＣの制御部である。制
御部ＣＯＮＴにおいて、直流電源ＤＣの出力電流検出端
子Ｉ1より設定値の電流（例えばＩ1≧５Ａ又はＩ1≧５
０Ａ等）を検出する電流検出部（イ）、（ロ）と、直流
電源ＤＣの出力電圧検出端子Ｖ1より設定値（例えばＶ1
≦１５０Ｖ）の電圧を検出する電圧検出部（ハ）、
（ニ）と、前記電流検出部（イ）と電圧検出部（ハ）の
論理をとる論理回路ＡＮＤ１と、この論理が成立した時
電源側に異常信号Ｓ1（ア−クコントロ−ル信号）を送
出する信号送出部（ホ）と、前記電流検出部（ロ）と電
圧検出部（ニ）の論理をとる論理回路ＡＮＤ２と、前記
論理回路ＡＮＤ２の出力を一方の入力とし、後述する前
段状態検出信号を他方の入力とする論理回路ＯＲと、こ
の論理が成立した時、電源側に異常信号Ｓ2（マイクロ
ア−クコントロ−ル信号）を送出する信号送出部（ヘ）
と、異常放電の前段現象としてのマイクロア−ク状態を
検出するために、直流電源の出力電圧Ｖ1の平均値と負
荷（タ−ゲット）電圧Ｖ0の平均値を比較する比較回路
ＣＯＭＰと、前記比較回路ＣＯＭＰの出力を計測して前
記論理回路ＯＲに入力する計測回路（ト）等により構成
されている。
ック図で図中ＤＣは直流電源、Ｌはインダクタ（直列リ
アクトル）、ＲＰＣは逆パルス発生回路ＲＬはタ−ゲッ
ト（負荷）ＣＯＮＴは直流電源ＤＣの制御部である。制
御部ＣＯＮＴにおいて、直流電源ＤＣの出力電流検出端
子Ｉ1より設定値の電流（例えばＩ1≧５Ａ又はＩ1≧５
０Ａ等）を検出する電流検出部（イ）、（ロ）と、直流
電源ＤＣの出力電圧検出端子Ｖ1より設定値（例えばＶ1
≦１５０Ｖ）の電圧を検出する電圧検出部（ハ）、
（ニ）と、前記電流検出部（イ）と電圧検出部（ハ）の
論理をとる論理回路ＡＮＤ１と、この論理が成立した時
電源側に異常信号Ｓ1（ア−クコントロ−ル信号）を送
出する信号送出部（ホ）と、前記電流検出部（ロ）と電
圧検出部（ニ）の論理をとる論理回路ＡＮＤ２と、前記
論理回路ＡＮＤ２の出力を一方の入力とし、後述する前
段状態検出信号を他方の入力とする論理回路ＯＲと、こ
の論理が成立した時、電源側に異常信号Ｓ2（マイクロ
ア−クコントロ−ル信号）を送出する信号送出部（ヘ）
と、異常放電の前段現象としてのマイクロア−ク状態を
検出するために、直流電源の出力電圧Ｖ1の平均値と負
荷（タ−ゲット）電圧Ｖ0の平均値を比較する比較回路
ＣＯＭＰと、前記比較回路ＣＯＭＰの出力を計測して前
記論理回路ＯＲに入力する計測回路（ト）等により構成
されている。
【０００９】
【作用】次にこの回路の作用について、図２を参照して
説明する。先ず図２は直流電源ＤＣの出力電圧６００
Ｖ、出力電流５０Ａに逆パルス発生回路ＲＰＣの発振周
波数４０ＫＨZとした時のＲＰＣの出力電圧波形
（イ）、直流電源ＤＣの出力電流波形（ロ）の関係を示
す動作波形図で横軸は時間（５０μｓ／ｄｉｖ）、縦軸
は特性（イ）は５００Ｖ／ｄｉｖ、特性（ロ）は１０Ａ
／ｄｉｖを示している。即ち図２において、期間ｔ1で
は装置は正常な放電状態を示し、期間ｔ2は異常放電（マ
イクロア−ク）状態、期間ｔ3は正常状態、又期間ｔ4は
異常状態を示している。本発明ではこの期間ｔ2及びｔ4
をア−ク放電移行の前段状態として捕えて直流電源ＤＣ
の制御を行うものである。因みに期間ｔ2の異常放電は
期間ｔ3で正常に戻っており、これは逆パルス発生回路
の逆パルスに起因する。然し乍ら期間ｔ4では異常放電
が連続し、又直流電源ＤＣの出力電流も急激に上昇する
傾向になる。実験によればこの異常放電が２００μｓ以
上継続するとア−ク放電に移行することが確認された。
従って本発明ではこの間に直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ1
に比し、負荷（タ−ゲ−ト）電圧Ｖ0は時間積に換算し
て約２割乃至５割低下することが確認された。
説明する。先ず図２は直流電源ＤＣの出力電圧６００
Ｖ、出力電流５０Ａに逆パルス発生回路ＲＰＣの発振周
波数４０ＫＨZとした時のＲＰＣの出力電圧波形
（イ）、直流電源ＤＣの出力電流波形（ロ）の関係を示
す動作波形図で横軸は時間（５０μｓ／ｄｉｖ）、縦軸
は特性（イ）は５００Ｖ／ｄｉｖ、特性（ロ）は１０Ａ
／ｄｉｖを示している。即ち図２において、期間ｔ1で
は装置は正常な放電状態を示し、期間ｔ2は異常放電（マ
イクロア−ク）状態、期間ｔ3は正常状態、又期間ｔ4は
異常状態を示している。本発明ではこの期間ｔ2及びｔ4
をア−ク放電移行の前段状態として捕えて直流電源ＤＣ
の制御を行うものである。因みに期間ｔ2の異常放電は
期間ｔ3で正常に戻っており、これは逆パルス発生回路
の逆パルスに起因する。然し乍ら期間ｔ4では異常放電
が連続し、又直流電源ＤＣの出力電流も急激に上昇する
傾向になる。実験によればこの異常放電が２００μｓ以
上継続するとア−ク放電に移行することが確認された。
従って本発明ではこの間に直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ1
に比し、負荷（タ−ゲ−ト）電圧Ｖ0は時間積に換算し
て約２割乃至５割低下することが確認された。
【００１０】なおインダクタ（直列リアクトル）Ｌは負
荷電流を連結して供給するために挿入したもので上記前
段現象時に出力電圧Ｖ1、出力電流Ｉ1の急激な増加がな
く、単に直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ1、出力電流Ｉ1のみ
の監視ではこの前段現象によるマイクロア−クの制御は
不能となる。
荷電流を連結して供給するために挿入したもので上記前
段現象時に出力電圧Ｖ1、出力電流Ｉ1の急激な増加がな
く、単に直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ1、出力電流Ｉ1のみ
の監視ではこの前段現象によるマイクロア−クの制御は
不能となる。
【００１１】図３は本発明の実施例に適用する前段現象
（マイクロア−ク）を検出するブロック図、図４は図３
のタイムチャ−ト図で、図３においてコンパレ−タ１は
所定の基準ＶBをもち、Ｖ0モニタ信号及びＶ1モニタ信
号が入力される。そして両者（Ｖ0、Ｖ1）か基準（Ｖ
B）より下がった期間出力する。（図４ｂ） 従ってマイクロア−クが生じＶ0が低下するとその期間
（Ｔ）は長くなる。コンパレ−タ２はこのコンパレ−タ
１の検出出力と、逆パルス発生回路ＲＰＣの基準発振信
号に同期したワンショット出力（図４Ｃ）が入力され、
Ｖ0の低下期間出力する。（図４ｄ）、Ｖ0がＶ1に対し
時間巾を基準に２０％乃至５０％低下することについ
て、カウンタ３は予め設定しておき、例えばコンパレ−
タ２から３回入力されると前段現象として検出する。
（マイクロア−ク）を検出するブロック図、図４は図３
のタイムチャ−ト図で、図３においてコンパレ−タ１は
所定の基準ＶBをもち、Ｖ0モニタ信号及びＶ1モニタ信
号が入力される。そして両者（Ｖ0、Ｖ1）か基準（Ｖ
B）より下がった期間出力する。（図４ｂ） 従ってマイクロア−クが生じＶ0が低下するとその期間
（Ｔ）は長くなる。コンパレ−タ２はこのコンパレ−タ
１の検出出力と、逆パルス発生回路ＲＰＣの基準発振信
号に同期したワンショット出力（図４Ｃ）が入力され、
Ｖ0の低下期間出力する。（図４ｄ）、Ｖ0がＶ1に対し
時間巾を基準に２０％乃至５０％低下することについ
て、カウンタ３は予め設定しておき、例えばコンパレ−
タ２から３回入力されると前段現象として検出する。
【００１２】本発明の実施例（図１）において、異常信
号Ｓ1は主として直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ1が極端に低
下（低電圧）した時電源の運転を停止せしめる機能を果
たすものであり、又異常信号Ｓ2は主に出力電流Ｉ1の極
端な増加又は上述の前段現象時に夫々電源の運転を停止
してア−ク等の異常放電への移行を防止する。
号Ｓ1は主として直流電源ＤＣの出力電圧Ｖ1が極端に低
下（低電圧）した時電源の運転を停止せしめる機能を果
たすものであり、又異常信号Ｓ2は主に出力電流Ｉ1の極
端な増加又は上述の前段現象時に夫々電源の運転を停止
してア−ク等の異常放電への移行を防止する。
【００１３】図５は本発明の実施例（図１）による実負
荷試験における特性図で特性（波形）（イ）は直流電源
ＤＣの出力（２０ＫＷ時）に逆パルス発生回路（周波数
４０ＫＨZ）の逆パルスを重畳した時の負荷（タ−ゲッ
ト）電圧波形を示し、又（ロ）はこの時の直流電源ＤＣ
の出力電流（Ｉ1）波形を示す。図中横軸は時間軸（５
０μｓ／ｄｉｖ）、又縦軸は電圧、電流を示し特性
（イ）は５００Ｖ／ｄｉｖ、特性（ロ）は５０Ａ／ｄｉ
ｖを基に示している。図から明らかなように本発明では
特性（イ）に於いて矢印で示すようにマイクロア−ク３
回目で異常と判定し直流電源の運転を中止し、逆パルス
回路のみ運転の結果出力電流Ｉ1の増加傾向が停止し、
その後の電源の運転開始において異常放電が完全に防止
できることを示している。従ってこの前段現象の検知に
基づく直流電源の運転、停止の繰返しにより安定したス
パッタ動作を行うことが確認できた。なお特性（ロ）に
おいて点線矢印は前段現象が捕えられない時の出力電流
の急激な増加状態を示している。
荷試験における特性図で特性（波形）（イ）は直流電源
ＤＣの出力（２０ＫＷ時）に逆パルス発生回路（周波数
４０ＫＨZ）の逆パルスを重畳した時の負荷（タ−ゲッ
ト）電圧波形を示し、又（ロ）はこの時の直流電源ＤＣ
の出力電流（Ｉ1）波形を示す。図中横軸は時間軸（５
０μｓ／ｄｉｖ）、又縦軸は電圧、電流を示し特性
（イ）は５００Ｖ／ｄｉｖ、特性（ロ）は５０Ａ／ｄｉ
ｖを基に示している。図から明らかなように本発明では
特性（イ）に於いて矢印で示すようにマイクロア−ク３
回目で異常と判定し直流電源の運転を中止し、逆パルス
回路のみ運転の結果出力電流Ｉ1の増加傾向が停止し、
その後の電源の運転開始において異常放電が完全に防止
できることを示している。従ってこの前段現象の検知に
基づく直流電源の運転、停止の繰返しにより安定したス
パッタ動作を行うことが確認できた。なお特性（ロ）に
おいて点線矢印は前段現象が捕えられない時の出力電流
の急激な増加状態を示している。
【００１４】図６は本発明の他の実施例回路図に負荷容
量に応じて、逆パルス発生回路を複数台並列接続（ＲＰ
Ｃ１、ＲＰＣ２等）して運転する例を示すもので例えば
直流電源ＤＣの出力電圧８００Ｖ、１８００Ｖ（無負荷
時）、出力電流５０Ａ、パルス周波数４０ＫＨZ、パル
ス巾５μｓ〜１０μｓ等の仕様に適している。
量に応じて、逆パルス発生回路を複数台並列接続（ＲＰ
Ｃ１、ＲＰＣ２等）して運転する例を示すもので例えば
直流電源ＤＣの出力電圧８００Ｖ、１８００Ｖ（無負荷
時）、出力電流５０Ａ、パルス周波数４０ＫＨZ、パル
ス巾５μｓ〜１０μｓ等の仕様に適している。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よればスパッタ装置用電源としてタ−ゲットの材質（金
属、絶縁物）に係わりなく異常放電を防止し得る装置を
提供でき、特に大容量負荷用として好適である。
よればスパッタ装置用電源としてタ−ゲットの材質（金
属、絶縁物）に係わりなく異常放電を防止し得る装置を
提供でき、特に大容量負荷用として好適である。
【図１】本発明の一実施例を示すシステムブロック図
【図２】本発明を説明する動作波形図
【図３】本発明に適用する異常放電検出回路図（ブロッ
ク図）
ク図）
【図４】図３のタイムチャ−ト図
【図５】本発明（図１）の特性図
【図６】本発明の他の実施例図
【図７】従来回路図
ＤＣ 直流電源 Ｌ インダクタ（直列リアクトル） ＲＰＣ 逆パルス発生回路 ＲＬ 負荷（タ−ゲット） ＣＯＭＰ コンパレ−タ Ｖ1 直流電源出力電圧 Ｉ1 直流電源出力電流 Ｖ0 負荷電圧 Ｓ1、Ｓ2 異常信号
Claims (4)
- 【請求項１】 スパッタを行うための真空室内のタ−ゲ
ットに直流電圧、電力を供給するための直流電源の出力
部にインダクタ（直列リアクトル）を介して前記直流電
源と逆極性のパルスを重畳せしめる逆パルス発生回路を
接続し、且つ前記直流電源の出力電圧と前記タ−ゲット
電圧を比較する比較回路を設け、前記逆極性パルスの電
圧及び周波数を調整して前記タ−ゲットの電弧或いは異
常放電を消弧せしめると共に、前記比較回路の出力が設
定値に達したことを前記異常放電等の前段現象（マイク
ロア−ク）として捕らえて前記直流電源を制御するよう
にしたことを特徴とするスパッタ装置用電源。 - 【請求項２】 直流電源の出力電圧Ｖ1（インダクタの
入力電圧）とタ−ゲット電圧Ｖ0の関係がＶ0≦０.８Ｖ1
に達した時前段現象として捕らえるようにしたことを特
徴とする請求項１のスパッタ装置用電源。 - 【請求項３】 前段現象の時間巾を検出し直流電源を制
御するようにしたことを特徴とする請求項１、請求項２
のスパッタ装置用電源。 - 【請求項４】 直流電源の制御部において、直流電源の
出力電圧及び出力電流が設定値に達した時制御信号を送
出する第１の制御手段と、直流電源の出力電圧及び出力
電流が第２の設定値に達するか又は前段現象が所要時間
継続した時第２の制御信号を送出する第２の制御手段を
備えたことを特徴とする請求項１のスパッタ装置用電
源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25184095A JP3679840B2 (ja) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | スパッタ装置用電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25184095A JP3679840B2 (ja) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | スパッタ装置用電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0971863A true JPH0971863A (ja) | 1997-03-18 |
| JP3679840B2 JP3679840B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=17228716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25184095A Expired - Fee Related JP3679840B2 (ja) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | スパッタ装置用電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3679840B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999047727A1 (fr) * | 1998-03-18 | 1999-09-23 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Circuit d'extinction d'arc et procede d'extinction d'arc |
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1995
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