JP4949285B2 - プラズマ放電装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る実施形態1の第1のプラズマ放電装置100について、図1〜図4により説明する。この第1のプラズマ放電装置100の特徴は、第1に小型化及び経済性の面で有利な片波のフォワード型コンバータを用いること、第2にプラズマ放電装置の点火の際に片波のフォワード型コンバータを後述する電流不連続モード(以下、カットオフモードという。)で動作させることにある。図1は第1のプラズマ放電装置100の主要な部分の回路構成を示す図であり、図2、図3は第1のプラズマ放電装置100の動作を説明するための各部の波形を示す図である。図2は、プラズマ放電しているときに、フォワード型コンバータを後述する電流連続モードで動作させるときの波形を示し、図2(A)は駆動パルスの電圧波形、図2(B)はトランスの1次巻線の電圧波形、図2(C)はトランスの1次巻線の電流波形、図2(D)はフィルタ用チョークの電流波形をそれぞれ示す。また、図3は、プラズマ放電部が点火する前に、フォワード型コンバータを後述するカットオフモードで動作させるときの波形を示し、図3(A)は駆動パルスの電圧波形、図3(B)はトランスの1次巻線の電圧波形、図3(C)はフィルタ用チョークの電流波形、図3(D)はフィルタ用コンデンサの充電電圧波形をそれぞれ示す。図4はスイッチング半導体素子部のオンデューティ制御を説明するための1周期Tの波形を示している。
図5及び図6により実施形態2に係る第2のプラズマ放電装置200について説明する。図5はプラズマ放電装置200を説明するための図であり、図5において、図1で用いた記号と同じ記号の部材は同一の名称の部材を示すものとする。図6は異常放電がプラズマ放電部50のチャンバ(不図示)に発生した場合のシミュレーション波形を示している。第2のプラズマ放電装置200は、図1に示した第1のプラズマ放電装置100と同じ回路構成であるので、説明に必要な部分の回路構成を等価的に示し、他の回路部品は図示するのを省略している。
図7により実施形態3に係るプラズマ放電装置300について説明する。図7において、図1、図5で用いた記号と同じ記号の部材は同一の名称の部材を示すものとする。制御回路15は、プラズマ放電装置100の制御回路15と同様に、主として乗算回路14からの電力検出信号Pdと予め設定された電力基準信号Prとの誤差信号S1を生じる誤差増幅部15A、誤差増幅部15Aからの誤差信号S1を受けて、誤差信号S1に応じて設定される周波数の三角波信号S2を生じる三角波信号発生回路15B2を有する周波数設定部15Bと、誤差信号S1と三角波信号S2とによりオンデューティDの変調された制御信号S3を出力するオンデューティ変調部15Cと、駆動パルス発生部15Dとからなる。また、プラズマ放電装置300は、電圧検出器13からの電圧検出信号Vdに対応する周波数信号Fdに変換する電圧−周波数変換器20を有する。プラズマ放電装置300は基本的にはプラズマ放電装置100と同様であるので、主に異なる部分について説明する。なお、実施形態3でも、プラズマ放電部50が点火されてプラズマ放電が発生するまでは、フォワード型コンバータ1がカットオフ動作モードで動作する。
2・・・直流電源
3・・・トランス
4、5・・・スイッチング半導体素子部
6、7・・・リセット用ダイオード
8・・・整流素子
9・・・フライホイールダイオード
10・・・フィルタ用チョーク
11・・・フィルタ用コンデンサ
12・・・電流検出器
13・・・電圧検出器
14・・・乗算回路
15・・・制御回路
15A・・・誤差増幅部
15B・・・周波数設定部
15B1・・・電圧−周波数変換回路
15B2・・・三角波信号発生回路
15C・・・オンデューティ変調部
15D・・・駆動パルス発生部
16、17・・・フォワード型コンバータ1の出力端子
20・・・電圧−周波数変換器
30・・・チョークインプット回路
50・・・プラズマ放電部
60・・・出力ケーブル
Claims (4)
- 直流電源部と、該直流電源部から出力ケーブルを通して電力を受電するプラズマ放電部とからなるプラズマ放電装置において、
前記直流電源部は、前記プラズマ放電部を点火させる点火電圧を発生するのに適した巻数比を有する1次巻線と2次巻線とを備えるトランスと、該トランスの前記1次巻線に直列に接続された単一のスイッチング半導体素子部又は前記1次巻線を挟んで互いに直列に接続された一対のスイッチング半導体素子部と、前記単一のスイッチング半導体素子部又は前記一対のスイッチング半導体素子部のスイッチング動作を制御する制御回路と、前記トランスの前記2次巻線に接続された整流素子とフィルタ用チョークとフィルタ用コンデンサとフライホイールダイオードとからなるチョークインプット型整流回路とを備えてなる片波のフォワード型DC−DCコンバータであり、
前記点火電圧を発生させる点火時には、前記フォワード型DC−DCコンバータがカットオフモードで動作して、前記フィルタ用コンデンサに充電された電圧を前記点火電圧として前記プラズマ放電部に印加し、
前記プラズマ放電部が点火した後のプラズマ放電時には、前記制御回路が、前記2次巻線の電圧が前記チョークインプット型整流回路により平均化されて所定の電圧値にされるオンデューティで前記単一のスイッチング半導体素子部又は前記一対のスイッチング半導体素子部をスイッチングさせ、前記フォワード型DC−DCコンバータを電流連続モードで動作させて、プラズマ放電電圧を前記プラズマ放電部に供給することを特徴とするプラズマ放電装置。 - 請求項1において、
前記フィルタ用コンデンサのキャパシタンスと前記出力ケーブルが有するインダクタンスとが直列共振するように前記フィルタ用コンデンサの前記キャパシタンスを選定し、プラズマ放電部に異常放電が発生するときには、前記キャパシタンスと前記インダクタンスとが直列共振を行い、この直列共振によって前記フィルタ用コンデンサの電圧が反転して逆極性になるとき、この逆極性の電圧を前記プラズマ放電部に印加して前記異常放電を消滅させることを特徴とするプラズマ放電装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記プラズマ放電部が必要とするプラズマ放電電力に応じて前記フォワード型DC−DCコンバータの出力電力を変化させるときには、前記制御回路は、周波数変調により、前記スイッチング半導体素子部のオンデューティを制御することを特徴とするプラズマ放電装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかにおいて、
前記制御回路が、検出電力信号と電力基準信号との誤差信号と、前記出力電圧の大きさに応じて設定される周波数の三角波信号とを比較して、前記出力電圧の大きさに応じて設定された周波数であって、前記誤差信号に左右されるオンデューティ又はパルス幅の駆動パルスで前記スイッチング半導体素子部を駆動することを特徴とするプラズマ放電装置。
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