JPH0971416A - 結晶組成物ならびにそれを用いた固体レーザ装置 - Google Patents

結晶組成物ならびにそれを用いた固体レーザ装置

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JPH0971416A
JPH0971416A JP7229319A JP22931995A JPH0971416A JP H0971416 A JPH0971416 A JP H0971416A JP 7229319 A JP7229319 A JP 7229319A JP 22931995 A JP22931995 A JP 22931995A JP H0971416 A JPH0971416 A JP H0971416A
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JP
Japan
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crystal
composition
luag
crystal composition
solid laser
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JP7229319A
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Yasuhiko Kuwano
泰彦 桑野
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NEC Corp
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 LuAGとYAGの中間的性質をもつ光学的
に優れた単結晶及び格子定数がLuAGとYAGの間の
任意の値の、各種のエピタキシャル成長用基板をLuA
Gよりも低い育成温度で得ることを目的とする。さら
に、それらの結晶に希土元素や他の遷移金属元素を添加
して固体レーザ用結晶とした新たな固体レーザ装置を提
供する。 【構成】 組成式がLuX 3-X Al5 12(ただし、
0.1<X<3)で表されるガーネット構造を有する結
晶組成物、もしくはこれに希土類元素、もしくは希土類
以外の遷移金属等の元素を活性種として添加した固体レ
ーザ用結晶組成物である。この固体レーザ結晶組成物を
発振子とし、励起用LD等を用いることによって固体レ
ーザ装置を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光学基板、結晶基
板、エピタキシャル成長用基板等の基板用材料、および
固体レーザ素子などの光学素子等に用いられる結晶組成
物に関わる。
【0002】
【従来の技術】固体レーザ用材料として、Ndなどの希
土元素やCrなどの遷移金属元素を添加した、Y3 Al
5 12(YAG)結晶が実用化されている。またYAG
と同じガーネット構造のLu3 Al5 12(LuAG)
結晶もレーザ材料の母結晶として開発されている。この
場合、YAGに1原子パーセント以下程度の少量のLu
を添加し、他の希土類元素、例えばNdを添加しやすく
する試みがなされていたが、母結晶としてのYAGの性
質を変化させない範囲のものであった。
【0003】なお、YAG、LuAGともに、高融点
で、化学的に安定な酸化物結晶なため、各種光学部品用
として、また、半導体、超伝導体、その他酸化物などの
エピタキシャル成長実験の基板等にも使われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】結晶育成の難易度は、
ひとつにはその融点により決まる。その点においてLu
AG結晶はYAGより融点が高いので、大型の良質結晶
をうることは比較的困難である。そこでLuAGと類似
の物理的性質を有し、LuAGより融点の低い結晶を見
いだすことが課題であった。
【0005】本発明はこの課題を解決すると同時に、全
く新しい応用を可能とする新材料、すなわち、YAGと
LuAGの両方の利点を兼ね備えた新材料を提供するも
のである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、化学式LuX
3-X Al5 12(ただし、0.1<X<3)で表わさ
れるガーネット構造を有する結晶組成物(無添加結晶、
レーザ用の活性元素等の添加物を含まない結晶)であ
る。また、このようなガーネット構造の単結晶を母結晶
とし、1種以上の他の元素を活性種として添加したこと
を特徴とする固体レーザ用結晶組成物である。この場
合、活性種として添加される元素が希土類元素、もしく
は希土類以外の遷移金属であることが好ましく、具体的
にはHo、Tm、Nd、Yb、Er、Pr、Ce、T
i、Cr等(特に好適にはHo、Tm、Nd、Yb、C
r)が用いられる。
【0007】さらに本発明は、前記の結晶組成物を発振
媒体とすることを特徴とする固体レーザ装置である。こ
のときの励起用光源としては、ランプ、もしくは半導体
レーザダイオード(LD)が好適に用いられる。
【0008】まず、本発明の無添加結晶は次の方法によ
り作製することができる。原料としてLu2 3 ,Y2
3 およびAl2 3 の高純度粉末を用意する。ここで
便宜上Lu2 3 とY2 3 を合わせて希土酸化物、A
2 3 をアルミナと呼ぶことにする。次に、希土酸化
物とアルミナをモル比で3:5となるように秤取し、粉
末混合機で混合した後、プレス整形し、電気炉内で13
00℃、数時間空気中で熱処理し、これを結晶成長用原
料とする。希土酸化物の比率、すなわち、Lu2 3
2 3 の比率は、単結晶の物理的性質としてどのよう
なものを望むかによって任意に決めることができる。た
とえばLuAGに近いものを望む場合はLu2 3 の比
率を多くすればよい。結晶育成法はCZ法、FZ法、ブ
リッジマン法、温度傾斜法などさまざまな方法の適用が
可能であるが、一般的な高周波誘導加熱方式の結晶引き
上げ育成装置を用いたCZ法の場合を例に説明する。先
に述べた結晶育成原料を引き上げ装置に設置した、イリ
ジウム製るつぼに溶解充填し、種結晶を用いて回転引き
上げを行なう。育成パラメータはYAG育成の場合と同
一で差し支えない。
【0009】このようにして得られる結晶は固体レーザ
用結晶の母結晶とすることができる。すなわち、結晶育
成時に活性元素を添加することで、固体レーザ用結晶と
なり、これを素子に加工すれば固体レーザ装置を構成す
ることができる。さらに、これらの結晶は各種エピタキ
シャル成長用の基板結晶として用いることができる。
【0010】本発明は、Lu2 3 とY2 3 の比率を
様々に変えたガーネット組成比原料からの多くの結晶育
成の結果をもとになされたもので、従来知られていなか
った、次の実験事実を根拠としている。 1)任意のX値に対してLuX 3-X Al5 12なる組
成式で表される単結晶が存在する。 2)上記単結晶は結晶育成条件を適宜選択することによ
り、光学用途として十分な品質を備えたものとすること
ができる。 3)上記単結晶の物理的性質はLuAGとYAGの中間
的性質を示し、より、詳しくいえば、Lu/Yの比率に
従ってLuAGの性質に近いものからYAGの性質に近
いものへと滑らかに移行してしていくことがわかった。
図1は一例としてLu/Yの比率と密度の関係を示した
ものである。 4)上記結晶はすべて無色透明で、吸収端付近を除いて
吸収ピークはほとんど認められず、光学結晶として優れ
ていることが確認された。 5)上記結晶に、希土元素あるいは他の遷移金属元素を
添加することは可能であり、固体レーザ結晶としての十
分は光学的品質をもったものを作製することが可能であ
る。 6)育成される結晶の格子定数は原料組成の選択により
11.9オングストローム(x=3)から12.0オン
グストローム(x=0)まで任意に変えることができ
る。これは、エピタキシャル成長における基板選択の
際、より、適合性の良いものを提供する機会を増大させ
るものである。 7)以上1)〜6)に述べた特徴はLuX 3-X Al5
12なる組成式において0.1<x<3の範囲において
確認された。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の結晶組成物を得る具体的
方法を実施例として示す。
【実施例1】高周波誘導加熱方式の酸化物単結晶引き上
げ装置を用いて、以下に述べる手順および条件でLuX
3-X Al5 12(以下LuYAGと略記する。)の結
晶育成を行なった。
【0012】純度99.9999%のY2 3 粉末5
3.9gと純度99.99%のLu23 粉末95.0
gおよび純度99.999%のAl2 3 粉末81.1
gを秤取した。これは組成式としてはLu1.5 1.5
5 12に相当する。これら粉末をV型乾式混合器で3
時間混合後、直径50mm、深さ50mmの白金製容器4個
に分散充填し、これらをまとめて電気炉で、1300
℃、5時間焼成し、固化させた。こうして得られた原料
塊を引上装置内に設置した直径50mm、深さ50mmのイ
リジウム製るつぼに順次加熱溶解して充填した。結晶育
成はLuAGの111方位種結晶を用いて、育成速度1
mm/h、結晶回転数15rpm、育成雰囲気は酸素10
0ppmを含む窒素中で行なった。結晶育成時の原料融
液温度を光高温計で測定したところ、2020℃であっ
た。これはLuAGの場合より50℃以上低い値であ
る。得られた結晶は直径約15mm全長約80mmで無色透
明、割れや包含物などの巨視的欠陥は肉眼で観測されな
かった。図2はこの結晶の吸収スペクトルの測定結果
で、吸収端付近まで際立った吸収がなく、固体レーザ用
母結晶をはじめ、光学結晶として優れていることがわか
った。この結晶の密度は5.64g/cm3 であった。
【実施例2】実施例1と同様のLuAG育成を、原料組
成のみを変えて行なった。Y2 333.9g、Lu2
3 119.5g、Al2 3 76.6gとした。これ
は組成式としてはLu2 YAl5 12に相当する。
【0013】得られた結晶は直径約13mm全長約50mm
で無色透明、割れや包含物などの巨視的欠陥は肉眼で観
測されなかった。この結晶の吸収スペクトルは図2とほ
ぼ等しく、吸収端付近まで際立った吸収がなく、固体レ
ーザ用母結晶をはじめ、光学結晶として優れていること
がわかった。この結晶の密度は6.01g/cm3 であっ
た。
【実施例3】実施例1と同様のLuAG育成を、原料組
成のみを変えて行なった。Y2 376.4g、Lu2
3 67.3g、Al2 3 86.3gとした。これは
組成式としてはLuY2 Al5 12に相当する。
【0014】得られた結晶は直径約17mm全長約45mm
で無色透明、割れや包含物などの巨視的欠陥は肉眼で観
測されなかった。この結晶の吸収スペクトルは図2とほ
ぼ等しく、吸収端付近まで際立った吸収がなく、固体レ
ーザ用母結晶をはじめ、光学結晶として優れていること
がわかった。この結晶の密度は5.37g/cm3 であっ
た。
【実施例4】次に、LuAGを母結晶とし、希土類元素
を活性元素として添加した結晶およびレーザ装置につい
て、実施例を用いて説明する。
【0015】実施例1と同様のLuAG育成において、
原料として、Y2 3 粉末53.9g、Lu2 3 粉末
95.0g、Al2 3 粉末81.1g、Ho2 3
末0.5g、Tm2 3 粉末16.6gを用いた。
【0016】得られた結晶は直径約15mm全長約50.
5mmでわずかに黄色味を帯びた透明の結晶で、割れや包
含物などの巨視的欠陥は肉眼で観測されなかった。さら
に、ヘリウムネオンレーザ光の透過試験でも、レーザ発
振に有害な光散乱体は観測されなかった。この結晶から
4mmφ×5mmのレーザロッドを作製し、図3の固体レー
ザ装置で発振実験を行なったところ、発振しきい値55
0mj、スロープ効率9.8%で2μm帯のレーザ発振
が確認された。
【実施例5】エピタキシャル成長用の基板結晶に関して
実施例を用いて説明する。
【0017】実施例1で得られた結晶を厚さ1mmに切り
だし、鏡面に研磨して、液相エピタキシャル結晶成長用
基板として用いた。原料融液はNdを5.0at%を含
むLu3 Al5 12組成融液とし、0.25℃/hの温
度下降率で結晶育成を行ない、約35μm のエピタキシ
ャルNd:Lu3 Al5 12層を得た。基板結晶にLu
3 Al5 12結晶を用いた場合に比べ、透明度がよく、
表面状態が滑らかな成長膜が得られた。
【0018】
【発明の効果】本発明によれば、物理的にLuAGとY
AGの任意の中間的性質をもつ、光学的に優れた単結晶
がLuAGよりも低い育成温度で得られ、固体レーザ用
をはじめ各種の光学部品に利用することができる。ま
た、結晶の格子定数がLuAGとYAGの間の任意の値
の結晶を得ることができるので、各種のエピタキシャル
成長基板として有望である。
【0019】さらに、本発明で得られる単結晶を用いて
固体レーザ装置やエピタキシャルデバイスを作製するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】LuX 3-X Al5 12結晶の密度と組成比x
の関係を示す図である。
【図2】本発明によるLuYAG結晶の吸収特性の一例
を示す図である。
【図3】本発明の一実施例であるLD励起固体レーザ装
置の構成図である。
【符号の説明】
1 励起用LD(レーザダイオード) 2 集光用レンズ 3 Tm,Ho:LuYAGレーザロッド 4 高反射ミラーコート(発振波長) 5 無反射コート(発振波長) 6 無反射コート(励起波長) 7 出力結合ミラー 8 電子冷却器

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】化学式LuX 3-X Al5 12(ただし、
    0.1<X<3)で表わされるガーネット構造を有する
    ことを特徴とする結晶組成物。
  2. 【請求項2】化学式LuX 3-X Al5 12(ただし、
    0.1<X<3)で表わされるガーネット構造の単結晶
    を母結晶とし、希土類元素もしくは希土類以外の遷移金
    属元素より選ばれる少なくとも1種以上の元素を活性種
    として添加したことを特徴とする固体レーザ用結晶組成
    物。
  3. 【請求項3】請求項2記載の結晶組成物を発振媒体とす
    ることを特徴とする固体レーザ装置。
JP7229319A 1995-09-06 1995-09-06 結晶組成物ならびにそれを用いた固体レーザ装置 Pending JPH0971416A (ja)

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