JPH0963079A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPH0963079A JPH0963079A JP7215956A JP21595695A JPH0963079A JP H0963079 A JPH0963079 A JP H0963079A JP 7215956 A JP7215956 A JP 7215956A JP 21595695 A JP21595695 A JP 21595695A JP H0963079 A JPH0963079 A JP H0963079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- optical axis
- mirror
- unit
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光中にレーザビーム１の光軸の変動が生じ
ると、ヘッド内の対物レンズへの入射点が漸次変化する
ことで、レーザビームの強度変化などが起き、露光され
る案内溝やピット形状が内周と外周で変化してしまう。 【解決手段】 予め光軸調整された光学系で、レーザ発
振器２からフォトレジスト盤１７に至るレーザビームの
光軸位置ずれをセンサ部８により検出する。演算部９は
この検出位置ずれに基づいて位置ずれ量を計算し、ミラ
ー１０、１２とミラー駆動部１１、１３によりレーザビ
ームの光軸位置ずれを補正して光軸位置ずれに元に戻す
ように補正する。これにより、レーザ発振器２から出射
されたレーザビームの光軸がレーザ発振器２の状態によ
り変動しても当該変動を補正でき、ヘッド１６の対物レ
ンズへのレーザビーム入射点を一定に保つことができ
る。
ると、ヘッド内の対物レンズへの入射点が漸次変化する
ことで、レーザビームの強度変化などが起き、露光され
る案内溝やピット形状が内周と外周で変化してしまう。 【解決手段】 予め光軸調整された光学系で、レーザ発
振器２からフォトレジスト盤１７に至るレーザビームの
光軸位置ずれをセンサ部８により検出する。演算部９は
この検出位置ずれに基づいて位置ずれ量を計算し、ミラ
ー１０、１２とミラー駆動部１１、１３によりレーザビ
ームの光軸位置ずれを補正して光軸位置ずれに元に戻す
ように補正する。これにより、レーザ発振器２から出射
されたレーザビームの光軸がレーザ発振器２の状態によ
り変動しても当該変動を補正でき、ヘッド１６の対物レ
ンズへのレーザビーム入射点を一定に保つことができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は露光装置に係り、特
に光記録媒体製造用原盤の露光装置に関する。
に光記録媒体製造用原盤の露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ビームの照射によって光学特性を変化
させて情報の記録・再生を行う光記録媒体の製造に際し
ては、予め記録する情報ピットや案内溝の凹凸パターン
を形成した光記録媒体製造用原盤に基づいて情報の記録
・再生を行うための光記録媒体を大量に製造するように
している。そして、その光記録媒体製造用原盤は、従来
は露光装置により作成される（例えば、特開平４−４９
５２７号、特開平４−２０５７２２号各公報）。
させて情報の記録・再生を行う光記録媒体の製造に際し
ては、予め記録する情報ピットや案内溝の凹凸パターン
を形成した光記録媒体製造用原盤に基づいて情報の記録
・再生を行うための光記録媒体を大量に製造するように
している。そして、その光記録媒体製造用原盤は、従来
は露光装置により作成される（例えば、特開平４−４９
５２７号、特開平４−２０５７２２号各公報）。
【０００３】図２は上記の従来の露光装置の一例の構成
図を示す。この露光装置は、レーザビーム１を発振する
レーザ発振器２と、レーザビーム１をパワー制御するパ
ワー制御部３と、露光パターンに対応した光変調を行う
光変調器４と、光変調器４からのレーザビーム１のビー
ム径を拡大するエキスパンダレンズ５と、レーザビーム
１を垂直方向に向きを変える折り返しミラー１４と、レ
ーザビーム１とフォーカス用レーザビーム１５を集光す
る対物レンズを含んだヘッド１６と、集光されたレーザ
ビームが照射されるフォトレジスト盤１７を固定した回
転機構部１８と、フォトレジスト盤１７で反射されたフ
ォーカス用レーザビーム１５を検出し、常にフォトレジ
スト盤１７とヘッド１６を等距離に保つフォーカスサー
ボアクチュエータ１９で構成される。
図を示す。この露光装置は、レーザビーム１を発振する
レーザ発振器２と、レーザビーム１をパワー制御するパ
ワー制御部３と、露光パターンに対応した光変調を行う
光変調器４と、光変調器４からのレーザビーム１のビー
ム径を拡大するエキスパンダレンズ５と、レーザビーム
１を垂直方向に向きを変える折り返しミラー１４と、レ
ーザビーム１とフォーカス用レーザビーム１５を集光す
る対物レンズを含んだヘッド１６と、集光されたレーザ
ビームが照射されるフォトレジスト盤１７を固定した回
転機構部１８と、フォトレジスト盤１７で反射されたフ
ォーカス用レーザビーム１５を検出し、常にフォトレジ
スト盤１７とヘッド１６を等距離に保つフォーカスサー
ボアクチュエータ１９で構成される。
【０００４】光変調器４を常時オンにすると案内溝がフ
ォトレジスト盤１７に露光され、光変調器４をオン−オ
フの変調をすることでピットがフォトレジスト盤１７に
露光される。例えば、フォトレジスト盤１７を固定した
回転機構部１８を一定回転数で回転させ、エキスパンダ
レンズ５、折り返しミラー１４、ヘッド１６を含んだ移
動光学系２０を等速で移動させることで、スパイラルの
案内溝を内周から外周に露光することができる。
ォトレジスト盤１７に露光され、光変調器４をオン−オ
フの変調をすることでピットがフォトレジスト盤１７に
露光される。例えば、フォトレジスト盤１７を固定した
回転機構部１８を一定回転数で回転させ、エキスパンダ
レンズ５、折り返しミラー１４、ヘッド１６を含んだ移
動光学系２０を等速で移動させることで、スパイラルの
案内溝を内周から外周に露光することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の露光装置では、レーザ発振器２が発振しているレ
ーザビーム１の光軸がレーザの状態により変動すること
がある。この光軸の変動はヘッド１６の対物レンズに対
する入射点を変化させるため、露光中にレーザビーム１
の光軸の変動が生じると、レーザビーム１の強度が変化
する。
従来の露光装置では、レーザ発振器２が発振しているレ
ーザビーム１の光軸がレーザの状態により変動すること
がある。この光軸の変動はヘッド１６の対物レンズに対
する入射点を変化させるため、露光中にレーザビーム１
の光軸の変動が生じると、レーザビーム１の強度が変化
する。
【０００６】また、露光する際に移動光学系２０を移動
させるため、移動光学系２０の移動軸とレーザビームの
光軸との微小な角度分だけ、ヘッド１６の対物レンズに
対する入射点が変化してしまい、その結果、露光中に入
射点が漸次変化することで、レーザビームの強度変化が
起きる。
させるため、移動光学系２０の移動軸とレーザビームの
光軸との微小な角度分だけ、ヘッド１６の対物レンズに
対する入射点が変化してしまい、その結果、露光中に入
射点が漸次変化することで、レーザビームの強度変化が
起きる。
【０００７】更に、ヘッド１６とフォトレジスト盤１７
がフォーカスサーボによって一定距離を保持する構成と
なっているため、集光されたレーザビームの焦点深度か
ら漸次はずれて露光することもあることから、露光され
る案内溝やピット形状が内周と外周で変化してしまうと
いう欠点がある。
がフォーカスサーボによって一定距離を保持する構成と
なっているため、集光されたレーザビームの焦点深度か
ら漸次はずれて露光することもあることから、露光され
る案内溝やピット形状が内周と外周で変化してしまうと
いう欠点がある。
【０００８】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
露光中に対物レンズへのレーザビーム入射点を一定に保
つことができる露光装置を提供することを目的とする。
露光中に対物レンズへのレーザビーム入射点を一定に保
つことができる露光装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、レーザビームを出射する光源と、表面にフ
ォトレジストが塗布されたフォトレジスト盤と、フォト
レジスト盤を回転する回転機構部と、光源からフォトレ
ジスト盤に至るレーザビームの一部を分岐する分岐手段
と、分岐手段により分岐されたレーザビームの光軸位置
ずれを検出するセンサ部と、分岐手段を通過したレーザ
ビームをフォトレジスト盤上に集光する対物レンズを備
えたヘッドと、センサ部の出力位置ずれ検出信号に基づ
いて位置ずれ量を計算する演算部と、光源と分岐手段と
の間のレーザビームの光路中に設けられ、演算部の位置
ずれ量演算結果に基づいて、レーザビームの光軸位置ず
れを補正する補正手段とを有する構成としたものであ
る。
成するため、レーザビームを出射する光源と、表面にフ
ォトレジストが塗布されたフォトレジスト盤と、フォト
レジスト盤を回転する回転機構部と、光源からフォトレ
ジスト盤に至るレーザビームの一部を分岐する分岐手段
と、分岐手段により分岐されたレーザビームの光軸位置
ずれを検出するセンサ部と、分岐手段を通過したレーザ
ビームをフォトレジスト盤上に集光する対物レンズを備
えたヘッドと、センサ部の出力位置ずれ検出信号に基づ
いて位置ずれ量を計算する演算部と、光源と分岐手段と
の間のレーザビームの光路中に設けられ、演算部の位置
ずれ量演算結果に基づいて、レーザビームの光軸位置ず
れを補正する補正手段とを有する構成としたものであ
る。
【００１０】また、本発明における補正手段は、光源か
ら出射されたレーザビームの光路を変える第１のミラー
と、第１のミラーにより反射されたレーザビームの光路
を再度変える第２のミラーと、演算部の出力位置ずれ量
演算結果に基づいて、光軸補正量の水平方向分と垂直方
向分の一方を補正するように第１のミラーを駆動する第
１のミラー駆動部と、演算部の出力位置ずれ量演算結果
に基づいて、光軸補正量の水平方向分と垂直方向分の他
方を補正するように第２のミラーを駆動する第２のミラ
ー駆動部とよりなることを特徴とする。
ら出射されたレーザビームの光路を変える第１のミラー
と、第１のミラーにより反射されたレーザビームの光路
を再度変える第２のミラーと、演算部の出力位置ずれ量
演算結果に基づいて、光軸補正量の水平方向分と垂直方
向分の一方を補正するように第１のミラーを駆動する第
１のミラー駆動部と、演算部の出力位置ずれ量演算結果
に基づいて、光軸補正量の水平方向分と垂直方向分の他
方を補正するように第２のミラーを駆動する第２のミラ
ー駆動部とよりなることを特徴とする。
【００１１】また、本発明は光源の出射レーザビームの
強度を露光すべき情報に応じて変調する変調器と、ヘッ
ドとフォトレジスト盤表面との距離を一定に保つように
制御するフォーカスサーボ手段とを有し、分岐手段、セ
ンサ部及びヘッドは移動光学系を構成し、露光中にフォ
トレジスト盤の半径方向へ移動することを特徴とする。
強度を露光すべき情報に応じて変調する変調器と、ヘッ
ドとフォトレジスト盤表面との距離を一定に保つように
制御するフォーカスサーボ手段とを有し、分岐手段、セ
ンサ部及びヘッドは移動光学系を構成し、露光中にフォ
トレジスト盤の半径方向へ移動することを特徴とする。
【００１２】本発明では、予め光軸調整された光学系
で、光源からフォトレジスト盤に至るレーザビームの光
軸位置ずれをセンサ部により検出し、演算部により位置
ずれ検出信号に基づいて位置ずれ量を計算して、補正手
段によりレーザビームの光軸位置ずれを補正して光軸位
置ずれに元に戻すようにしたため、光源から出射された
レーザビームの光軸が光源の状態により変動しても当該
変動を補正でき、ヘッドの対物レンズへのレーザビーム
入射点を一定に保つことができる。
で、光源からフォトレジスト盤に至るレーザビームの光
軸位置ずれをセンサ部により検出し、演算部により位置
ずれ検出信号に基づいて位置ずれ量を計算して、補正手
段によりレーザビームの光軸位置ずれを補正して光軸位
置ずれに元に戻すようにしたため、光源から出射された
レーザビームの光軸が光源の状態により変動しても当該
変動を補正でき、ヘッドの対物レンズへのレーザビーム
入射点を一定に保つことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図１は本発明の一実施の形態の
構成図を示す。同図中、図２と同一構成部分には同一符
号を付してある。図１において、光変調器４とエキスパ
ンダレンズ５との間のレーザビーム１の光路中に、ミラ
ー１０及び１２が設けられ、またエキスパンダレンズ５
と折り返しミラー１４との間のレーザビーム１の光路中
にビームスプリッタ７が設けられ、更に、ビームスプリ
ッタ７により分岐された一部の光をモニタするセンサ部
８と、センサ部８の出力信号から所定の演算を実行する
演算部９と、ミラー駆動部１１及び１３を新たに設けた
点に特徴を有する。
て図面と共に説明する。図１は本発明の一実施の形態の
構成図を示す。同図中、図２と同一構成部分には同一符
号を付してある。図１において、光変調器４とエキスパ
ンダレンズ５との間のレーザビーム１の光路中に、ミラ
ー１０及び１２が設けられ、またエキスパンダレンズ５
と折り返しミラー１４との間のレーザビーム１の光路中
にビームスプリッタ７が設けられ、更に、ビームスプリ
ッタ７により分岐された一部の光をモニタするセンサ部
８と、センサ部８の出力信号から所定の演算を実行する
演算部９と、ミラー駆動部１１及び１３を新たに設けた
点に特徴を有する。
【００１４】パワー制御部３はＥＯ（Ｅｌｅｃｔｒｏ
Ｏｐｔｉｃ）変調器から構成されており、所望のパワー
が得られる電圧を設定し、制御する。また、光変調器４
はＥＯ変調器あるいはＡＯ（Ａｃｏｕｓｔ Ｏｐｔｉ
ｃ）変調器から構成されている。センサ部８は４分割フ
ォトディテクタから構成されている。
Ｏｐｔｉｃ）変調器から構成されており、所望のパワー
が得られる電圧を設定し、制御する。また、光変調器４
はＥＯ変調器あるいはＡＯ（Ａｃｏｕｓｔ Ｏｐｔｉ
ｃ）変調器から構成されている。センサ部８は４分割フ
ォトディテクタから構成されている。
【００１５】エキスパンダレンズ５、ビームスプリッタ
７、センサ部８、折り返しミラー１４及びヘッド１６は
フォトレジスト盤１７の上方をフォトレジスト盤１７の
半径方向に移動する移動光学系２５を構成している。な
お、ヘッド１６はフォーカスサーボアクチュエータ１９
の出力信号により、フォトレジスト盤１７の表面に対し
て垂直方向に移動制御されることは従来と同様である。
７、センサ部８、折り返しミラー１４及びヘッド１６は
フォトレジスト盤１７の上方をフォトレジスト盤１７の
半径方向に移動する移動光学系２５を構成している。な
お、ヘッド１６はフォーカスサーボアクチュエータ１９
の出力信号により、フォトレジスト盤１７の表面に対し
て垂直方向に移動制御されることは従来と同様である。
【００１６】次に、この実施の形態の動作について説明
する。事前に適正位置に調整されたレーザビーム１がレ
ーザ発振器２から出射され、このレーザビーム１がパワ
ー制御部３によりパワー制御された後、光変調器４に入
射されて露光パターンに対応した光変調を受ける。光変
調器４より変調を受けて出射されたレーザビーム１は、
ミラー１０により光軸補正量の水平方向分を補正されて
光路が変えられ、更にミラー１２に入射されて光軸補正
量の垂直方向分が補正されるように光路が変えられた
後、エキスパンダレンズ５によりビーム径が拡大されて
ビームスプリッタ７に入射され、一部が透過して残りが
反射される。
する。事前に適正位置に調整されたレーザビーム１がレ
ーザ発振器２から出射され、このレーザビーム１がパワ
ー制御部３によりパワー制御された後、光変調器４に入
射されて露光パターンに対応した光変調を受ける。光変
調器４より変調を受けて出射されたレーザビーム１は、
ミラー１０により光軸補正量の水平方向分を補正されて
光路が変えられ、更にミラー１２に入射されて光軸補正
量の垂直方向分が補正されるように光路が変えられた
後、エキスパンダレンズ５によりビーム径が拡大されて
ビームスプリッタ７に入射され、一部が透過して残りが
反射される。
【００１７】ビームスプリッタ７を透過した一部のレー
ザビームは、折り返しミラー１４により垂直方向に向き
が変えられてヘッド１６内の対物レンズにより、図示し
ない光源よりのフォーカス用レーザビーム１５と共にフ
ォトレジスト盤１７の表面に集光される。フォトレジス
ト盤１７で反射されたフォーカス用レーザビーム１５
は、フォーカスサーボアクチュエータ１９により検出さ
れ、常にフォトレジスト盤１７とヘッド１６を等距離に
保つ。
ザビームは、折り返しミラー１４により垂直方向に向き
が変えられてヘッド１６内の対物レンズにより、図示し
ない光源よりのフォーカス用レーザビーム１５と共にフ
ォトレジスト盤１７の表面に集光される。フォトレジス
ト盤１７で反射されたフォーカス用レーザビーム１５
は、フォーカスサーボアクチュエータ１９により検出さ
れ、常にフォトレジスト盤１７とヘッド１６を等距離に
保つ。
【００１８】フォトレジスト盤１７はその表面にフォト
レジストが塗布されており、回転機構部１８により回転
されており、レーザビーム１の照射された部分が露光さ
れる。このフォトレジスト盤１７はその後現像等された
後、スタンパ盤作成の基となる。
レジストが塗布されており、回転機構部１８により回転
されており、レーザビーム１の照射された部分が露光さ
れる。このフォトレジスト盤１７はその後現像等された
後、スタンパ盤作成の基となる。
【００１９】一方、ビームスプリッタ７で反射した残り
のレーザビーム１（モニタ光６）は、図１に示すよう
に、４分割された受光部Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤからなる４分
割フォトディテクタであるセンサ部８に入射されて光軸
位置のずれに応じたレベルの光軸位置ずれ検出信号ａに
変換された後、演算部９に供給される。ここで、レーザ
ビーム１の最良の光軸位置のときに、センサ部８を構成
する４分割フォトディテクタの中心位置にモニタ光６が
照射されるように、予めミラー１０及び１２等の位置が
調整されている。
のレーザビーム１（モニタ光６）は、図１に示すよう
に、４分割された受光部Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤからなる４分
割フォトディテクタであるセンサ部８に入射されて光軸
位置のずれに応じたレベルの光軸位置ずれ検出信号ａに
変換された後、演算部９に供給される。ここで、レーザ
ビーム１の最良の光軸位置のときに、センサ部８を構成
する４分割フォトディテクタの中心位置にモニタ光６が
照射されるように、予めミラー１０及び１２等の位置が
調整されている。
【００２０】すなわち、センサ部８の中心からモニタ光
６が図中、上方向にずれた場合はヘッド１６の俯瞰した
ときの右側にずれたときであり、同様にモニタ光６が下
方向にずれたときはヘッド１６の俯瞰した時の左側にず
れたときで、モニタ光６が右（左）方向にずれたときに
はヘッド１６の俯瞰した時の前（後）側にずれたときで
ある。
６が図中、上方向にずれた場合はヘッド１６の俯瞰した
ときの右側にずれたときであり、同様にモニタ光６が下
方向にずれたときはヘッド１６の俯瞰した時の左側にず
れたときで、モニタ光６が右（左）方向にずれたときに
はヘッド１６の俯瞰した時の前（後）側にずれたときで
ある。
【００２１】そこで、センサ部８は受光部Ａ、Ｂ、Ｃ及
びＤでそれぞれ光電変換して得られた電気信号のレベル
もＡ、Ｂ、Ｃ及びＤで示すものとすると、（Ａ−Ｂ）と
（Ｃ−Ｄ）の電圧変化を電圧信号である光軸位置ずれ検
出信号ａとしてモニタする。
びＤでそれぞれ光電変換して得られた電気信号のレベル
もＡ、Ｂ、Ｃ及びＤで示すものとすると、（Ａ−Ｂ）と
（Ｃ−Ｄ）の電圧変化を電圧信号である光軸位置ずれ検
出信号ａとしてモニタする。
【００２２】演算部９は、モニタ光６の光軸位置ずれに
よる光量変位を電圧変位に変換した光軸位置ずれ検出信
号ａに基づいて、光軸位置ずれ量と光軸補正量を計算
し、光軸補正量の水平方向分に対応した補正信号ｂと光
軸補正量の垂直方向分に対応した補正信号ｃとをそれぞ
れ生成出力する。
よる光量変位を電圧変位に変換した光軸位置ずれ検出信
号ａに基づいて、光軸位置ずれ量と光軸補正量を計算
し、光軸補正量の水平方向分に対応した補正信号ｂと光
軸補正量の垂直方向分に対応した補正信号ｃとをそれぞ
れ生成出力する。
【００２３】例えば、演算部９は、（Ａ−Ｂ）＝ｋ×
ｙ、（Ｃ−Ｄ）＝ｍ×ｚとし（ただし、ｋ、ｍはそれぞ
れ定数、ｙはミラー１２の駆動量、ｚはミラー１０の駆
動量）なる計算式をそれぞれ演算し、（Ａ−Ｂ）が正の
電圧値を示しているときにはミラー１２を図中、右方向
へ駆動し、（Ａ−Ｂ）が負の電圧値を示しているときに
はミラー１２を図中、左方向へ駆動する補正信号ｃを生
成出力する。また、（Ｃ−Ｄ）が正の電圧値を示してい
るときにはミラー１０を図中、前方向へ駆動し、（Ｃ−
Ｄ）が負の電圧値を示しているときにはミラー１０を図
中、後方向へ駆動する補正信号ｂを生成出力する。
ｙ、（Ｃ−Ｄ）＝ｍ×ｚとし（ただし、ｋ、ｍはそれぞ
れ定数、ｙはミラー１２の駆動量、ｚはミラー１０の駆
動量）なる計算式をそれぞれ演算し、（Ａ−Ｂ）が正の
電圧値を示しているときにはミラー１２を図中、右方向
へ駆動し、（Ａ−Ｂ）が負の電圧値を示しているときに
はミラー１２を図中、左方向へ駆動する補正信号ｃを生
成出力する。また、（Ｃ−Ｄ）が正の電圧値を示してい
るときにはミラー１０を図中、前方向へ駆動し、（Ｃ−
Ｄ）が負の電圧値を示しているときにはミラー１０を図
中、後方向へ駆動する補正信号ｂを生成出力する。
【００２４】このように、水平方向補正信号ｂはミラー
駆動部１１に供給されて、ミラー１０を光軸位置ずれ量
の水平方向分を無くすような移動量と移動方向に駆動さ
せる。これと同時に、垂直方向補正信号ｃはミラー駆動
部１３に供給されて、ミラー１２を光軸位置ずれ量の垂
直方向分を無くすような移動量と移動方向に駆動させ
る。
駆動部１１に供給されて、ミラー１０を光軸位置ずれ量
の水平方向分を無くすような移動量と移動方向に駆動さ
せる。これと同時に、垂直方向補正信号ｃはミラー駆動
部１３に供給されて、ミラー１２を光軸位置ずれ量の垂
直方向分を無くすような移動量と移動方向に駆動させ
る。
【００２５】これにより、モニタ光６の光軸位置ずれが
無くなるように制御され、その結果レーザビーム１の光
軸位置ずれも無くなるように制御され、よって、露光中
の移動光学系２５を移動中でのヘッド１６内の対物レン
ズへのレーザビーム入射点を一定に保つことができる。
これにより、フォトレジスト盤１７に集光されたレーザ
ビームの強度が一定になり、かつ、集光されたレーザビ
ームの焦点深度内で安定に露光され、所望の案内溝やピ
ット形状を安定、かつ、正確に得られる。
無くなるように制御され、その結果レーザビーム１の光
軸位置ずれも無くなるように制御され、よって、露光中
の移動光学系２５を移動中でのヘッド１６内の対物レン
ズへのレーザビーム入射点を一定に保つことができる。
これにより、フォトレジスト盤１７に集光されたレーザ
ビームの強度が一定になり、かつ、集光されたレーザビ
ームの焦点深度内で安定に露光され、所望の案内溝やピ
ット形状を安定、かつ、正確に得られる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光源から出射されたレーザビームの光軸が光源の状態に
より変動しても当該変動を補正でき、ヘッドの対物レン
ズへのレーザビーム入射点を一定に保つことができるよ
うにしたため、フォトレジスト盤面上に集光されたレー
ザビームの強度を一定にでき、集光されたレーザビーム
の焦点深度内で安定して露光され、露光により案内溝や
ピット形状として所望のものが安定して得られ、特に分
岐手段、センサ部及びヘッドは移動光学系を構成し、露
光中にフォトレジスト盤の半径方向へ移動する場合に
も、安定に露光ができる。
光源から出射されたレーザビームの光軸が光源の状態に
より変動しても当該変動を補正でき、ヘッドの対物レン
ズへのレーザビーム入射点を一定に保つことができるよ
うにしたため、フォトレジスト盤面上に集光されたレー
ザビームの強度を一定にでき、集光されたレーザビーム
の焦点深度内で安定して露光され、露光により案内溝や
ピット形状として所望のものが安定して得られ、特に分
岐手段、センサ部及びヘッドは移動光学系を構成し、露
光中にフォトレジスト盤の半径方向へ移動する場合に
も、安定に露光ができる。
【図１】本発明の一実施の形態の構成図である。
【図２】従来装置の一例の構成図である。
１ レーザビーム ２ レーザ発振器 ３ パワー制御部 ４ 光変調器 ５ エキスパンダレンズ ７ ビームスプリッタ ８ センサ部 ９ 演算部 １０ 第１のミラー １１ 第１のミラー駆動部 １２ 第２のミラー １３ 第２のミラー駆動部 １４ 折り返しミラー １６ ヘッド １７ フォトレジスト盤 １８ 回転機構部 １９ フォーカスサーボアクチュエータ ２５ 移動光学系
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザビームを出射する光源と、 表面にフォトレジストが塗布されたフォトレジスト盤
と、 前記フォトレジスト盤を回転する回転機構部と、 前記光源から前記フォトレジスト盤に至る前記レーザビ
ームの一部を分岐する分岐手段と、 前記分岐手段により分岐された前記レーザビームの光軸
位置ずれを検出するセンサ部と、 前記分岐手段を通過した前記レーザビームを前記フォト
レジスト盤上に集光する対物レンズを備えたヘッドと、 前記センサ部の出力位置ずれ検出信号に基づいて位置ず
れ量を計算する演算部と、 前記光源と分岐手段との間の前記レーザビームの光路中
に設けられ、前記演算部の位置ずれ量演算結果に基づい
て、前記レーザビームの光軸位置ずれを補正する補正手
段とを有することを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】 前記補正手段は、前記光源から出射され
た前記レーザビームの光路を変える第１のミラーと、該
第１のミラーにより反射されたレーザビームの光路を再
度変える第２のミラーと、前記演算部の出力位置ずれ量
演算結果に基づいて、光軸補正量の水平方向分と垂直方
向分の一方を補正するように前記第１のミラーを駆動す
る第１のミラー駆動部と、前記演算部の出力位置ずれ量
演算結果に基づいて、前記光軸補正量の水平方向分と垂
直方向分の他方を補正するように前記第２のミラーを駆
動する第２のミラー駆動部とよりなることを特徴とする
請求項１記載の露光装置。 - 【請求項３】 前記光源の出射レーザビームの強度を露
光すべき情報に応じて変調する変調器と、前記ヘッドと
前記フォトレジスト盤表面との距離を一定に保つように
制御するフォーカスサーボ手段とを有し、前記分岐手
段、センサ部及びヘッドは移動光学系を構成し、露光中
に前記フォトレジスト盤の半径方向へ移動することを特
徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7215956A JP2748894B2 (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7215956A JP2748894B2 (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963079A true JPH0963079A (ja) | 1997-03-07 |
| JP2748894B2 JP2748894B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=16681035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7215956A Expired - Fee Related JP2748894B2 (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2748894B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60126620A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-06 | Hitachi Ltd | レ−ザビ−ム合成装置 |
-
1995
- 1995-08-24 JP JP7215956A patent/JP2748894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60126620A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-06 | Hitachi Ltd | レ−ザビ−ム合成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2748894B2 (ja) | 1998-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR880002326B1 (ko) | 디스크 재생장치 | |
| JPH0348576B2 (ja) | ||
| JP2007304263A (ja) | ホログラフィックメモリ装置 | |
| US20070121433A1 (en) | Optical information recording and reproducing apparatus | |
| US5018127A (en) | Light emitting apparatus having a plurality of light emitting points | |
| EP0398656B1 (en) | Electric charge image recording medium and recording/reproducing apparatus | |
| KR100486403B1 (ko) | 기록 장치 | |
| JP2748894B2 (ja) | 露光装置 | |
| WO1999053488A1 (fr) | Procede et appareil pour exposer un disque original de disque optique | |
| JP2748900B2 (ja) | 露光装置 | |
| JP2006521646A (ja) | 光ディスクのチルトを測定するための方法及び装置 | |
| JP2965044B2 (ja) | トラッキングエラー信号のオフセット補正装置 | |
| JP4018481B2 (ja) | 光ディスク原盤露光方法および原盤露光装置 | |
| JPS6118811B2 (ja) | ||
| JP2000113521A (ja) | 原盤ディスクの製造方法 | |
| JPH0935290A (ja) | 光ピックアップ装置及びその調整方法 | |
| JP2005148243A (ja) | 露光装置 | |
| JPH1040557A (ja) | トラッキングサーボ装置とその調整方法 | |
| JPH0676363A (ja) | 円盤状記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0719397B2 (ja) | 光ディスク製造装置 | |
| JPS63249943A (ja) | 光デイスク装置の自動焦点制御装置 | |
| JPS60263335A (ja) | 焦点合せ装置 | |
| JP2000048414A (ja) | 原盤露光装置 | |
| JP2002074698A (ja) | 光ピックアップ装置の調整方法および調整装置 | |
| JP2004047115A (ja) | 焦点制御方法と焦点位置ずれ検出方法と情報記録媒体原盤作成方法と焦点制御装置と焦点位置ずれ検出装置と情報記録媒体原盤作成装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |