JPH0961214A - コリオリ質量流量計 - Google Patents
コリオリ質量流量計Info
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- JPH0961214A JPH0961214A JP22155195A JP22155195A JPH0961214A JP H0961214 A JPH0961214 A JP H0961214A JP 22155195 A JP22155195 A JP 22155195A JP 22155195 A JP22155195 A JP 22155195A JP H0961214 A JPH0961214 A JP H0961214A
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- signal
- output
- outputs
- flow rate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 質量流量が精度良く測定でき、記憶容量及び
演算量を減少させることが可能なコリオリ質量流量計を
実現する。 【構成】 被測定流体が流れる両端が固定された管を振
動させ、この際に生じるコリオリ力を２つの振動検出器
で検出して被測定流体の質量流量を測定するコリオリ質
量流量計において、２つの振動検出器の出力信号を各々
増幅した後に和信号及び差信号を求めると共にこれら和
信号及び差信号を各々増幅して出力するアナログ演算手
段と、このアナログ演算手段からの２つの出力を取り込
むサンプリング手段と、このサンプリング手段の２つの
出力をディスクリート・フーリエ変換すると共にディス
クリート・フーリエ変換した２つの信号の各々の実数部
成分及び虚数部成分に基づき質量流量を演算するディジ
タル演算手段とを設ける。
演算量を減少させることが可能なコリオリ質量流量計を
実現する。 【構成】 被測定流体が流れる両端が固定された管を振
動させ、この際に生じるコリオリ力を２つの振動検出器
で検出して被測定流体の質量流量を測定するコリオリ質
量流量計において、２つの振動検出器の出力信号を各々
増幅した後に和信号及び差信号を求めると共にこれら和
信号及び差信号を各々増幅して出力するアナログ演算手
段と、このアナログ演算手段からの２つの出力を取り込
むサンプリング手段と、このサンプリング手段の２つの
出力をディスクリート・フーリエ変換すると共にディス
クリート・フーリエ変換した２つの信号の各々の実数部
成分及び虚数部成分に基づき質量流量を演算するディジ
タル演算手段とを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コリオリ質量流量計に
関し、特に測定精度を向上させ、記憶容量及び演算量を
減少させたコリオリ質量流量計に関する。
関し、特に測定精度を向上させ、記憶容量及び演算量を
減少させたコリオリ質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】コリオリ質量流量計とは、被測定流体が
流れる管を振動させ、この際に生じるコリオリ力を検出
して被測定流体の質量流量を測定する装置である。
流れる管を振動させ、この際に生じるコリオリ力を検出
して被測定流体の質量流量を測定する装置である。
【０００３】図４はこのような従来のコリオリ質量流量
計のセンサ部の一例を示す平面図である。図４において
１はチューブ、２及び３はチューブ１の固定端、４は加
振器、５ａ及び５ｂは振動検出器、６は温度検出器であ
る。また、１〜６はセンサ部５０を構成している。
計のセンサ部の一例を示す平面図である。図４において
１はチューブ、２及び３はチューブ１の固定端、４は加
振器、５ａ及び５ｂは振動検出器、６は温度検出器であ
る。また、１〜６はセンサ部５０を構成している。
【０００４】チューブ１は固定端２及び３の部分で固定
され、チューブ１の中心部分には加振器４が設けられ
る。また、固定端２及び３の間であって固定端２及び３
の近傍には振動検出器５ａ及び５ｂがそれぞれ設けら
れ、固定端２及び３の外側であって固定端３の近傍には
温度検出器６が設けられる。
され、チューブ１の中心部分には加振器４が設けられ
る。また、固定端２及び３の間であって固定端２及び３
の近傍には振動検出器５ａ及び５ｂがそれぞれ設けら
れ、固定端２及び３の外側であって固定端３の近傍には
温度検出器６が設けられる。
【０００５】ここで、図４に示す従来例の動作を図５を
用いて説明する。図５はチューブ１の振動モードを説明
する説明図である。チューブ１の内部に図４中”イ”及
び”ロ”に示すように被測定流体を流し、加振器４によ
りチューブ１に振動を印加する。
用いて説明する。図５はチューブ１の振動モードを説明
する説明図である。チューブ１の内部に図４中”イ”及
び”ロ”に示すように被測定流体を流し、加振器４によ
りチューブ１に振動を印加する。
【０００６】振動の印加方向に関してはチューブ１が中
心部分が振動の腹になるように印加される。即ち、図５
中”Ｍ１”及び”Ｍ２”に示すような１次モードの形状
で振動する。この時、コリオリ力によって図５中”Ｍ
３”及び”Ｍ４”に示すような２次モードの形状でコリ
オリ振動が生じる。
心部分が振動の腹になるように印加される。即ち、図５
中”Ｍ１”及び”Ｍ２”に示すような１次モードの形状
で振動する。この時、コリオリ力によって図５中”Ｍ
３”及び”Ｍ４”に示すような２次モードの形状でコリ
オリ振動が生じる。
【０００７】実際には前記２つの振動が重畳された状態
でチューブ１が振動することになる。そして、この振動
を振動検出器５ａ及び５ｂでそれぞれ検出して信号処理
することにより、質量流量を求める。
でチューブ１が振動することになる。そして、この振動
を振動検出器５ａ及び５ｂでそれぞれ検出して信号処理
することにより、質量流量を求める。
【０００８】図６は従来のコリオリ質量流量計の一例を
示す構成ブロック図である。ここで、５ａ、５ｂ及び５
０は図４と同一符号を付してある。図６において７は周
波数測定回路、８はタイミング生成回路、９及び１２は
トラックアンドホールド回路（以下、Ｔ＆Ｈ回路と呼
ぶ。）、１０及び１３はＡ／Ｄ変換器、１１及び１４は
デスクリート・フーリエ変換回路（以下、ＤＦＴ回路と
呼ぶ。）、１５は位相差演算回路、１６は励振回路であ
る。
示す構成ブロック図である。ここで、５ａ、５ｂ及び５
０は図４と同一符号を付してある。図６において７は周
波数測定回路、８はタイミング生成回路、９及び１２は
トラックアンドホールド回路（以下、Ｔ＆Ｈ回路と呼
ぶ。）、１０及び１３はＡ／Ｄ変換器、１１及び１４は
デスクリート・フーリエ変換回路（以下、ＤＦＴ回路と
呼ぶ。）、１５は位相差演算回路、１６は励振回路であ
る。
【０００９】また、１００及び１０１は振動検出器５ａ
及び５ｂの出力信号、１０２は周波数信号、１０３はタ
イミング信号、１０４は位相差信号である。
及び５ｂの出力信号、１０２は周波数信号、１０３はタ
イミング信号、１０４は位相差信号である。
【００１０】振動検出器５ａの出力信号１００は周波数
測定回路７、Ｔ＆Ｈ回路９及び励振回路１６にそれぞれ
接続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１はＴ＆Ｈ回
路１２に接続される。
測定回路７、Ｔ＆Ｈ回路９及び励振回路１６にそれぞれ
接続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１はＴ＆Ｈ回
路１２に接続される。
【００１１】Ｔ＆Ｈ回路９及び１２の出力はＡ／Ｄ変換
器１０及び１３に接続され、Ａ／Ｄ変換器１０及び１３
の出力はＤＦＴ回路１１及び１４に接続される。ＤＦＴ
回路１１及び１４の出力はそれぞれ位相差演算回路１５
に接続され、位相差演算回路１５は位相差信号１０４を
出力する。
器１０及び１３に接続され、Ａ／Ｄ変換器１０及び１３
の出力はＤＦＴ回路１１及び１４に接続される。ＤＦＴ
回路１１及び１４の出力はそれぞれ位相差演算回路１５
に接続され、位相差演算回路１５は位相差信号１０４を
出力する。
【００１２】また、周波数測定回路７の出力信号である
周波数信号１０２はタイミング生成回路８に接続され、
タイミング生成回路８の出力であるタイミング信号１０
３はＴ＆Ｈ回路９及び１２にそれぞれ接続される。さら
に、励振回路１６の出力は励振信号としてセンサ部５０
に供給される。
周波数信号１０２はタイミング生成回路８に接続され、
タイミング生成回路８の出力であるタイミング信号１０
３はＴ＆Ｈ回路９及び１２にそれぞれ接続される。さら
に、励振回路１６の出力は励振信号としてセンサ部５０
に供給される。
【００１３】ここで、図６に示す従来例の動作を説明す
る。周波数測定回路７では振動検出器５ａの出力信号１
００に基づき周波数を測定して周波数信号１０２を出力
する。タイミング生成回路８は周波数信号１０２に基づ
いてチューブ１の振動の１周期を正確にＮ等分（Ｎは自
然数）してタイミング信号１０３を発生させる。
る。周波数測定回路７では振動検出器５ａの出力信号１
００に基づき周波数を測定して周波数信号１０２を出力
する。タイミング生成回路８は周波数信号１０２に基づ
いてチューブ１の振動の１周期を正確にＮ等分（Ｎは自
然数）してタイミング信号１０３を発生させる。
【００１４】出力信号１００及び１０１はタイミング信
号１０３に基づきＴ＆Ｈ回路９及び１２でトラック・ホ
ールドされ、取り込まれた信号はＡ／Ｄ変換器１０及び
１３でディジタル信号に変換される。
号１０３に基づきＴ＆Ｈ回路９及び１２でトラック・ホ
ールドされ、取り込まれた信号はＡ／Ｄ変換器１０及び
１３でディジタル信号に変換される。
【００１５】ＤＦＴ回路１１及び１４ではＡ／Ｄ変換器
１０及び１３の出力を周波数領域にディスクリート・フ
ーリエ変換し、ディスクリート・フーリエ変換された信
号の実数部成分と虚数部成分との比から位相を求めてそ
れぞれ出力する。
１０及び１３の出力を周波数領域にディスクリート・フ
ーリエ変換し、ディスクリート・フーリエ変換された信
号の実数部成分と虚数部成分との比から位相を求めてそ
れぞれ出力する。
【００１６】位相差演算回路１５ではＤＦＴ回路１１及
び１４から出力される位相の差を演算することにより位
相差を得て位相差信号１０４として出力する。
び１４から出力される位相の差を演算することにより位
相差を得て位相差信号１０４として出力する。
【００１７】この位相差信号１０４は被測定流体の質量
流量に比例するので、位相差信号１０４に基づき図示し
ない回路により質量流量を求める。但し、実際には温度
変動により位相差信号１０４が変動するため、図４中の
温度検出器６の出力に基づき温度補償をした後で質量流
量信号として出力することになる。
流量に比例するので、位相差信号１０４に基づき図示し
ない回路により質量流量を求める。但し、実際には温度
変動により位相差信号１０４が変動するため、図４中の
温度検出器６の出力に基づき温度補償をした後で質量流
量信号として出力することになる。
【００１８】一方、励振回路１６は出力信号１００に基
づき励振信号を発生させて、図４中の加振器４を駆動す
る。
づき励振信号を発生させて、図４中の加振器４を駆動す
る。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、コリオリ力に
よって生じるコリオリ振動成分は加振器４によって励振
される励振振動成分と比較して数１００分の１程度の振
幅であるためＳ／Ｎが良くないと言った問題点がある。
よって生じるコリオリ振動成分は加振器４によって励振
される励振振動成分と比較して数１００分の１程度の振
幅であるためＳ／Ｎが良くないと言った問題点がある。
【００２０】一方、ＤＦＴ回路１１及び１４ではディス
クリート・フーリエ変換に使用する正弦波及び余弦波の
データをＤＦＴ回路１１及び１４内等に格納しておく必
要があり記憶容量が大きくなる。
クリート・フーリエ変換に使用する正弦波及び余弦波の
データをＤＦＴ回路１１及び１４内等に格納しておく必
要があり記憶容量が大きくなる。
【００２１】また、出力信号１００及び１０１の各々の
位相信号を求める際には”tan-1 ”の演算をする必要が
あり演算量が増加してしまうと言った問題点がある。従
って本発明の目的は、質量流量が精度良く測定でき、記
憶容量及び演算量を減少させることが可能なコリオリ質
量流量計を実現することにある。
位相信号を求める際には”tan-1 ”の演算をする必要が
あり演算量が増加してしまうと言った問題点がある。従
って本発明の目的は、質量流量が精度良く測定でき、記
憶容量及び演算量を減少させることが可能なコリオリ質
量流量計を実現することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の第１では、被測定流体が流れる両端
が固定された管を振動させ、この際に生じるコリオリ力
を２つの振動検出器で検出して前記被測定流体の質量流
量を測定するコリオリ質量流量計において、前記２つの
振動検出器の出力信号を各々増幅した後に和信号及び差
信号を求めると共にこれら和信号及び差信号を各々増幅
して出力するアナログ演算手段と、このアナログ演算手
段からの２つの出力を取り込むサンプリング手段と、こ
のサンプリング手段の２つの出力をディスクリート・フ
ーリエ変換すると共にディスクリート・フーリエ変換し
た２つの信号の各々の実数部成分及び虚数部成分に基づ
き質量流量を演算するディジタル演算手段とを備えたこ
とを特徴とするものである。
るために、本発明の第１では、被測定流体が流れる両端
が固定された管を振動させ、この際に生じるコリオリ力
を２つの振動検出器で検出して前記被測定流体の質量流
量を測定するコリオリ質量流量計において、前記２つの
振動検出器の出力信号を各々増幅した後に和信号及び差
信号を求めると共にこれら和信号及び差信号を各々増幅
して出力するアナログ演算手段と、このアナログ演算手
段からの２つの出力を取り込むサンプリング手段と、こ
のサンプリング手段の２つの出力をディスクリート・フ
ーリエ変換すると共にディスクリート・フーリエ変換し
た２つの信号の各々の実数部成分及び虚数部成分に基づ
き質量流量を演算するディジタル演算手段とを備えたこ
とを特徴とするものである。
【００２３】本発明の第２では、被測定流体が流れる両
端が固定された管を振動させ、この際に生じるコリオリ
力を２つの振動検出器で検出して前記被測定流体の質量
流量を測定するコリオリ質量流量計において、前記２つ
の振動検出器の出力信号を取り込むサンプリング手段
と、このサンプリング手段の２つの出力を乗算し、一方
の出力と他方の出力を９０°移相させたものとを乗算す
ると共にこれら２つの乗算結果の累算に基づき質量流量
を演算する演算手段とを備えたことを特徴とするもので
ある。
端が固定された管を振動させ、この際に生じるコリオリ
力を２つの振動検出器で検出して前記被測定流体の質量
流量を測定するコリオリ質量流量計において、前記２つ
の振動検出器の出力信号を取り込むサンプリング手段
と、このサンプリング手段の２つの出力を乗算し、一方
の出力と他方の出力を９０°移相させたものとを乗算す
ると共にこれら２つの乗算結果の累算に基づき質量流量
を演算する演算手段とを備えたことを特徴とするもので
ある。
【００２４】
【作用】初期段階において２つの振動検出器の出力の和
信号及び差信号を求め、和信号及び差信号をディスクリ
ート・フーリエ変換した信号の各々の実数部成分及び虚
数部成分を用いることにより、コリオリ振動成分を選択
的に取り出すことができるのでＳ／Ｎが改善される。
信号及び差信号を求め、和信号及び差信号をディスクリ
ート・フーリエ変換した信号の各々の実数部成分及び虚
数部成分を用いることにより、コリオリ振動成分を選択
的に取り出すことができるのでＳ／Ｎが改善される。
【００２５】また、２つの増幅器によって初期段階にお
いて２つの振動検出器の出力に振幅差をつけることによ
り、後に信号処理が容易な振幅レベルにすることが可能
である。
いて２つの振動検出器の出力に振幅差をつけることによ
り、後に信号処理が容易な振幅レベルにすることが可能
である。
【００２６】２つの振動検出器の出力の乗算信号と、一
方の出力及び他方の出力を９０°移相させた信号の乗算
信号とのそれぞれの累算結果に基づき質量流量を演算す
ることにより、従来例で用いられていたＤＦＴ回路が不
要になり、ディスクリート・フーリエ変換に使用する正
弦波及び余弦波のデータを格納しておく必要がなくな
る。
方の出力及び他方の出力を９０°移相させた信号の乗算
信号とのそれぞれの累算結果に基づき質量流量を演算す
ることにより、従来例で用いられていたＤＦＴ回路が不
要になり、ディスクリート・フーリエ変換に使用する正
弦波及び余弦波のデータを格納しておく必要がなくな
る。
【００２７】また、累算結果の比を取り直接位相差信号
を求めることから、位相信号を求める際の”tan-1 ”の
演算が不要になる。
を求めることから、位相信号を求める際の”tan-1 ”の
演算が不要になる。
【００２８】
【実施例】以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明に係るコリオリ質量流量計の第１の実施例
を示す構成ブロック図である。ここで、５ａ，５ｂ，７
〜１０，１２，１３，１６，５０，１００及び１０１は
図６と同一符号を付してある。
図１は本発明に係るコリオリ質量流量計の第１の実施例
を示す構成ブロック図である。ここで、５ａ，５ｂ，７
〜１０，１２，１３，１６，５０，１００及び１０１は
図６と同一符号を付してある。
【００２９】図１において１１ａ及び１４ａはＤＦＴ回
路、１７，１８，２１及び２２は増幅器、１９は減算
器、２０は加算器、２３は演算回路である。また、１０
５及び１０７は実数部成分信号、１０６及び１０８は虚
数部成分信号、１０９は位相差信号である。
路、１７，１８，２１及び２２は増幅器、１９は減算
器、２０は加算器、２３は演算回路である。また、１０
５及び１０７は実数部成分信号、１０６及び１０８は虚
数部成分信号、１０９は位相差信号である。
【００３０】また、１７〜２２はアナログ演算手段５１
を、７〜１０，１２及び１３はサンプリング手段５２
を、１１ａ，１４ａ及び２３はディジタル演算手段５３
をそれぞれ構成している。
を、７〜１０，１２及び１３はサンプリング手段５２
を、１１ａ，１４ａ及び２３はディジタル演算手段５３
をそれぞれ構成している。
【００３１】振動検出器５ａの出力信号１００は周波数
測定回路７、励振回路１６及び増幅器１７にそれぞれ接
続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１は増幅器１８
に接続される。
測定回路７、励振回路１６及び増幅器１７にそれぞれ接
続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１は増幅器１８
に接続される。
【００３２】増幅器１７の出力は減算器１９の加算入力
端子及び加算器２０の一方の入力端子にそれぞれ接続さ
れ、増幅器１８の出力は減算器１９の減算入力端子及び
加算器２０の他方の入力端子にそれぞれ接続される。
端子及び加算器２０の一方の入力端子にそれぞれ接続さ
れ、増幅器１８の出力は減算器１９の減算入力端子及び
加算器２０の他方の入力端子にそれぞれ接続される。
【００３３】減算器１９及び加算器２０の出力はそれぞ
れ増幅器２１及び２２を介してＴ＆Ｈ回路９及び１２に
接続される。Ｔ＆Ｈ回路９及び１２の出力はＡ／Ｄ変換
器１０及び１３に接続され、Ａ／Ｄ変換器１０及び１３
の出力はＤＦＴ回路１１ａ及び１４ａにそれぞれ接続さ
れる。
れ増幅器２１及び２２を介してＴ＆Ｈ回路９及び１２に
接続される。Ｔ＆Ｈ回路９及び１２の出力はＡ／Ｄ変換
器１０及び１３に接続され、Ａ／Ｄ変換器１０及び１３
の出力はＤＦＴ回路１１ａ及び１４ａにそれぞれ接続さ
れる。
【００３４】ＤＦＴ回路１１ａの出力である実数部成分
信号１０５及び虚数部成分信号１０６とＤＦＴ回路１４
ａの出力である実数部成分信号１０７及び虚数部成分信
号１０８とはそれぞれ演算回路２３に接続され、演算回
路２３は位相差信号１０９を出力する。
信号１０５及び虚数部成分信号１０６とＤＦＴ回路１４
ａの出力である実数部成分信号１０７及び虚数部成分信
号１０８とはそれぞれ演算回路２３に接続され、演算回
路２３は位相差信号１０９を出力する。
【００３５】また、周波数測定回路７の出力はタイミン
グ生成回路８に接続され、タイミング生成回路８の出力
はＴ＆Ｈ回路９及び１２にそれぞれ接続される。さら
に、励振回路１６の出力は励振信号としてセンサ部５０
に供給される。
グ生成回路８に接続され、タイミング生成回路８の出力
はＴ＆Ｈ回路９及び１２にそれぞれ接続される。さら
に、励振回路１６の出力は励振信号としてセンサ部５０
に供給される。
【００３６】ここで、図１に示す第１の実施例の動作を
説明する。但し、図６に示す従来例と同様の動作に関し
ては説明は省略する。また、増幅器１７，１８，２１及
び２２の利得はそれぞれ”１”、”α（＝０．５〜０．
９９）”、”γη”及び”η”に設定する。
説明する。但し、図６に示す従来例と同様の動作に関し
ては説明は省略する。また、増幅器１７，１８，２１及
び２２の利得はそれぞれ”１”、”α（＝０．５〜０．
９９）”、”γη”及び”η”に設定する。
【００３７】また、出力信号１００及び１０１を”Ｓ
100 ”及び”Ｓ101 ”として、 Ｓ100＝Ａ１・cosθ＋Ｂ１・sinθ (1) Ｓ101＝Ａ２・cosθ＋Ｂ２・sinθ (2) とする。
100 ”及び”Ｓ101 ”として、 Ｓ100＝Ａ１・cosθ＋Ｂ１・sinθ (1) Ｓ101＝Ａ２・cosθ＋Ｂ２・sinθ (2) とする。
【００３８】出力信号１０１は増幅器１８で”α”倍さ
れて加減算されるので、減算器１９及び加算器２０の出
力はそれぞれ、”Ｓ100−α・Ｓ101 ”及び”Ｓ100＋α・
Ｓ10 1 ”となる。
れて加減算されるので、減算器１９及び加算器２０の出
力はそれぞれ、”Ｓ100−α・Ｓ101 ”及び”Ｓ100＋α・
Ｓ10 1 ”となる。
【００３９】この結果はさらに増幅器２１及び２２で係
数が乗じられるので、 γη・(Ｓ100−α・Ｓ101) ＝γη・(Ａ１−α・Ａ２)・cosθ ＋γη・(Ｂ１−α・Ｂ２)・sinθ (3) γ・(Ｓ100＋α・Ｓ101) ＝γ・(Ａ１＋α・Ａ２)・cosθ ＋γ・(Ｂ１＋α・Ｂ２)・sinθ (4) となる。
数が乗じられるので、 γη・(Ｓ100−α・Ｓ101) ＝γη・(Ａ１−α・Ａ２)・cosθ ＋γη・(Ｂ１−α・Ｂ２)・sinθ (3) γ・(Ｓ100＋α・Ｓ101) ＝γ・(Ａ１＋α・Ａ２)・cosθ ＋γ・(Ｂ１＋α・Ｂ２)・sinθ (4) となる。
【００４０】式（３）及び（４）に示された信号がＤＦ
Ｔ回路１１ａ及び１４ａでディスクリート・フーリエ変
換されて得られる各々の信号１０５，１０６，１０７及
び１０８を”Ｓ105 ”、”Ｓ106 ”、”Ｓ107 ”及び”
Ｓ108 ”とすれば、 Ｓ105＝∫γ(Ｓ100−α・Ｓ101)cosθ・dθ ＝γ・(Ａ１−α・Ａ２) (5) Ｓ106＝∫γ(Ｓ100−α・Ｓ101)sinθ・dθ ＝γ・(Ｂ１−α・Ｂ２) (6) Ｓ107＝∫(Ｓ100＋α・Ｓ101)cosθ・dθ ＝(Ａ１＋α・Ａ２) (7) Ｓ108＝∫(Ｓ100＋α・Ｓ101)sinθ・dθ ＝(Ｂ１＋α・Ｂ２) (8) となる。
Ｔ回路１１ａ及び１４ａでディスクリート・フーリエ変
換されて得られる各々の信号１０５，１０６，１０７及
び１０８を”Ｓ105 ”、”Ｓ106 ”、”Ｓ107 ”及び”
Ｓ108 ”とすれば、 Ｓ105＝∫γ(Ｓ100−α・Ｓ101)cosθ・dθ ＝γ・(Ａ１−α・Ａ２) (5) Ｓ106＝∫γ(Ｓ100−α・Ｓ101)sinθ・dθ ＝γ・(Ｂ１−α・Ｂ２) (6) Ｓ107＝∫(Ｓ100＋α・Ｓ101)cosθ・dθ ＝(Ａ１＋α・Ａ２) (7) Ｓ108＝∫(Ｓ100＋α・Ｓ101)sinθ・dθ ＝(Ｂ１＋α・Ｂ２) (8) となる。
【００４１】また、出力信号１００及び１０１の位相
差”Δφ”とすれば、位相差信号１０９である”tanΔ
φ ”は、 tanΔφ＝(Ａ２・Ｂ１−Ａ１・Ｂ２) ／(Ａ１・Ａ２＋Ｂ１・Ｂ２） (9) となる。
差”Δφ”とすれば、位相差信号１０９である”tanΔ
φ ”は、 tanΔφ＝(Ａ２・Ｂ１−Ａ１・Ｂ２) ／(Ａ１・Ａ２＋Ｂ１・Ｂ２） (9) となる。
【００４２】ここで、一般に出力信号１００及び１０１
をそのままディスクリート・フーリエ変換して、それぞ
れの変換結果の実数部成分と虚数部成分を式（９）に代
入して位相差信号を求めることは図６に示す従来例で用
いられているように周知である。
をそのままディスクリート・フーリエ変換して、それぞ
れの変換結果の実数部成分と虚数部成分を式（９）に代
入して位相差信号を求めることは図６に示す従来例で用
いられているように周知である。
【００４３】但し、出力信号１００と出力信号１０１と
の和信号及び差信号をディスクリート・フーリエ変換し
た場合には、それぞれの変換結果の実数部成分と虚数部
成分を式（９）にはそのまま適用できなかった。
の和信号及び差信号をディスクリート・フーリエ変換し
た場合には、それぞれの変換結果の実数部成分と虚数部
成分を式（９）にはそのまま適用できなかった。
【００４４】しかしながら、式（９）は式（５）〜
（８）を用いることにより、 tanΔφ＝２γ(Ｓ106・Ｓ107−Ｓ105・Ｓ108)／{γ2(Ｓ107 2＋Ｓ108 2) −(Ｓ105 2＋Ｓ106 2)} (10) と変形できて、出力信号１００と出力信号１０１との和
信号及び差信号をディスクリート・フーリエ変換して得
られる各々の実数部成分と虚数部成分を用いて位相差を
演算することができる。
（８）を用いることにより、 tanΔφ＝２γ(Ｓ106・Ｓ107−Ｓ105・Ｓ108)／{γ2(Ｓ107 2＋Ｓ108 2) −(Ｓ105 2＋Ｓ106 2)} (10) と変形できて、出力信号１００と出力信号１０１との和
信号及び差信号をディスクリート・フーリエ変換して得
られる各々の実数部成分と虚数部成分を用いて位相差を
演算することができる。
【００４５】従って、演算回路２３はＤＦＴ回路１１ａ
及び１４ａの出力である信号１０５〜１０８を用いて式
（１０）の演算を行うことにより位相差信号１０９を得
ることができる。
及び１４ａの出力である信号１０５〜１０８を用いて式
（１０）の演算を行うことにより位相差信号１０９を得
ることができる。
【００４６】また、被測定流体の質量流量”Ｑ”は式
（１０）に比例し、励振周波数”ｆ”に反比例するか
ら、 Ｑ＝Ｋ・tanΔφ／f (11) 但し、”Ｋ”は温度及び被測定流体の密度の関連した補
正係数である。で表され、式（１０）を代入することに
よって質量流量”Ｑ”を求めることができる。
（１０）に比例し、励振周波数”ｆ”に反比例するか
ら、 Ｑ＝Ｋ・tanΔφ／f (11) 但し、”Ｋ”は温度及び被測定流体の密度の関連した補
正係数である。で表され、式（１０）を代入することに
よって質量流量”Ｑ”を求めることができる。
【００４７】この結果、初期段階において２つの振動検
出器５ａ及び５ｂの出力の和信号及び差信号を求め、和
信号及び差信号をディスクリート・フーリエ変換した信
号の各々の実数部成分及び虚数部成分を用いて式（９）
で演算することにより、コリオリ振動成分を選択的に取
り出すことができるのでＳ／Ｎが改善される。
出器５ａ及び５ｂの出力の和信号及び差信号を求め、和
信号及び差信号をディスクリート・フーリエ変換した信
号の各々の実数部成分及び虚数部成分を用いて式（９）
で演算することにより、コリオリ振動成分を選択的に取
り出すことができるのでＳ／Ｎが改善される。
【００４８】また、増幅器１７及び１８によって初期段
階において２つの振動検出器５ａ及び５ｂの出力に振幅
差をつけることにより、後に信号処理が容易な振幅レベ
ルにすることが可能である。
階において２つの振動検出器５ａ及び５ｂの出力に振幅
差をつけることにより、後に信号処理が容易な振幅レベ
ルにすることが可能である。
【００４９】また、図２は本発明に係るコリオリ質量流
量計の第２の実施例を示す構成ブロック図である。ここ
で、５ａ，５ｂ，７〜１０，１２，１３，１６，５０，
５２，１００及び１０１は図１と同一符号を付してあ
る。図２において２４は移相器、２５及び２６は乗算
器、２７及び２８は累算器、２９は除算器である。ま
た、２４〜２９は演算手段５４を構成している。
量計の第２の実施例を示す構成ブロック図である。ここ
で、５ａ，５ｂ，７〜１０，１２，１３，１６，５０，
５２，１００及び１０１は図１と同一符号を付してあ
る。図２において２４は移相器、２５及び２６は乗算
器、２７及び２８は累算器、２９は除算器である。ま
た、２４〜２９は演算手段５４を構成している。
【００５０】振動検出器５ａの出力信号１００は周波数
測定回路７、Ｔ＆Ｈ回路９及び励振回路１６にそれぞれ
接続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１はＴ＆Ｈ回
路１２に接続される。
測定回路７、Ｔ＆Ｈ回路９及び励振回路１６にそれぞれ
接続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１はＴ＆Ｈ回
路１２に接続される。
【００５１】Ｔ＆Ｈ回路９及び１２の出力はＡ／Ｄ変換
器１０及び１３に接続され、Ａ／Ｄ変換器１０の出力は
移相器２４及び乗算器２５の一方の入力端子に接続さ
れ、Ａ／Ｄ変換器１３の出力は乗算器２５の他方の入力
端子及び乗算器２６の一方の入力端子に接続される。ま
た、移相器２４の出力は乗算器２６の他方の入力端子に
接続される。
器１０及び１３に接続され、Ａ／Ｄ変換器１０の出力は
移相器２４及び乗算器２５の一方の入力端子に接続さ
れ、Ａ／Ｄ変換器１３の出力は乗算器２５の他方の入力
端子及び乗算器２６の一方の入力端子に接続される。ま
た、移相器２４の出力は乗算器２６の他方の入力端子に
接続される。
【００５２】乗算器２５及び２６の出力は累算器２７及
び２８に接続され、累算器２７及び２８の出力は除算器
２９にそれぞれ接続される。除算器２９は位相差信号を
出力する。
び２８に接続され、累算器２７及び２８の出力は除算器
２９にそれぞれ接続される。除算器２９は位相差信号を
出力する。
【００５３】また、周波数測定回路７の出力はタイミン
グ生成回路８に接続され、タイミング生成回路８の出力
はＴ＆Ｈ回路９及び１２、移相器２４、乗算器２５及び
２６にそれぞれ接続される。さらに、励振回路１６の出
力は励振信号としてセンサ部５０に供給される。
グ生成回路８に接続され、タイミング生成回路８の出力
はＴ＆Ｈ回路９及び１２、移相器２４、乗算器２５及び
２６にそれぞれ接続される。さらに、励振回路１６の出
力は励振信号としてセンサ部５０に供給される。
【００５４】ここで、図２に示す第２の実施例の動作を
説明する。但し、図６に示す従来例と同様の動作に関し
ては説明は省略する。
説明する。但し、図６に示す従来例と同様の動作に関し
ては説明は省略する。
【００５５】Ａ／Ｄ変換器１０及び１３の出力を簡単の
ために基本波のみを含む正弦波と仮定し、それぞれ”Ｓ
10”及び”Ｓ13”とし、その位相差を”Δφ”すると、 Ｓ10＝Ａ・sinθ (12) Ｓ13＝Ｂ・sin(θ＋Δφ) ＝ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ (13) となる。
ために基本波のみを含む正弦波と仮定し、それぞれ”Ｓ
10”及び”Ｓ13”とし、その位相差を”Δφ”すると、 Ｓ10＝Ａ・sinθ (12) Ｓ13＝Ｂ・sin(θ＋Δφ) ＝ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ (13) となる。
【００５６】但し、式（１２）において第１項及び第２
項はＡ／Ｄ変換器１３の出力のうち励振成分及びコリオ
リ成分をそれぞれ示しており、 Ｂ2＝ＢE 2＋ＢC 2 （14） tanΔφ＝ＢC／ＢE （15） という関係がある。
項はＡ／Ｄ変換器１３の出力のうち励振成分及びコリオ
リ成分をそれぞれ示しており、 Ｂ2＝ＢE 2＋ＢC 2 （14） tanΔφ＝ＢC／ＢE （15） という関係がある。
【００５７】乗算器２５はＡ／Ｄ変換器１０及び１３の
出力とを乗算するので、その出力”Ｓ25”は、 Ｓ25＝Ａ・sinθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ) （16） となる。
出力とを乗算するので、その出力”Ｓ25”は、 Ｓ25＝Ａ・sinθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ) （16） となる。
【００５８】また、乗算器２６はＡ／Ｄ変換器１３の出
力とＡ／Ｄ変換器１０の出力を９０°移相したものを乗
算するので、その出力”Ｓ26”は、 Ｓ26＝Ａ・cosθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ) （17） となる。
力とＡ／Ｄ変換器１０の出力を９０°移相したものを乗
算するので、その出力”Ｓ26”は、 Ｓ26＝Ａ・cosθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ) （17） となる。
【００５９】乗算器２５及び２６の出力はさらに累算器
２７及び２８で振動の１周期若しくは複数周期に渡って
累算されて、 ΣＳ25＝Σ{Ａ・sinθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ)} ＝Σ{Ａ・ＢE・sin2θ＋Ａ・ＢC・sinθ・cosθ} ＝Ａ・ＢE (18) ΣＳ26＝Σ{Ａ・cosθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ)} ＝Σ{Ａ・ＢE・sinθ・cosθ＋Ａ・ＢC・cos2θ} ＝Ａ・ＢC (19) となる。
２７及び２８で振動の１周期若しくは複数周期に渡って
累算されて、 ΣＳ25＝Σ{Ａ・sinθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ)} ＝Σ{Ａ・ＢE・sin2θ＋Ａ・ＢC・sinθ・cosθ} ＝Ａ・ＢE (18) ΣＳ26＝Σ{Ａ・cosθ・(ＢE・sinθ＋ＢC・cosθ)} ＝Σ{Ａ・ＢE・sinθ・cosθ＋Ａ・ＢC・cos2θ} ＝Ａ・ＢC (19) となる。
【００６０】除算器２９では式（１７）と式（１８）の
比をとることにより、 Ａ・ＢC／Ａ・ＢE＝ＢC／ＢE＝tanΔφ (20) を得る。
比をとることにより、 Ａ・ＢC／Ａ・ＢE＝ＢC／ＢE＝tanΔφ (20) を得る。
【００６１】ここで、被測定流体の質量流量”Ｑ”は前
述の式（１１）に示すように表され、式（２０）を用い
て質量流量”Ｑ”を求めることができる。
述の式（１１）に示すように表され、式（２０）を用い
て質量流量”Ｑ”を求めることができる。
【００６２】この結果、２つの振動検出器の出力の乗算
信号と、一方の出力及び他方の出力を９０°移相させた
信号の乗算信号とのそれぞれの累算結果に基づき質量流
量を演算することにより、従来例で用いられていたＤＦ
Ｔ回路が不要になり、ディスクリート・フーリエ変換に
使用する正弦波及び余弦波のデータを格納しておく必要
がなくなり記憶容量が減少する。
信号と、一方の出力及び他方の出力を９０°移相させた
信号の乗算信号とのそれぞれの累算結果に基づき質量流
量を演算することにより、従来例で用いられていたＤＦ
Ｔ回路が不要になり、ディスクリート・フーリエ変換に
使用する正弦波及び余弦波のデータを格納しておく必要
がなくなり記憶容量が減少する。
【００６３】また、累算結果の比を取り直接位相差信号
を求めることから、位相信号を求める際の”tan-1 ”の
演算が不要になるので演算量が減少する。
を求めることから、位相信号を求める際の”tan-1 ”の
演算が不要になるので演算量が減少する。
【００６４】また、図３は本発明に係るコリオリ質量流
量計の第３の実施例を示す構成ブロック図である。ここ
で、５ａ，５ｂ，７〜１０，１２，１３，１６，５０，
１００及び１０１は図１と同一符号を付してある。
量計の第３の実施例を示す構成ブロック図である。ここ
で、５ａ，５ｂ，７〜１０，１２，１３，１６，５０，
１００及び１０１は図１と同一符号を付してある。
【００６５】図３において１７ａ，１８ａ，２１ａ及び
２２ａは増幅器、１９ａは減算器、２０ａは加算器、２
４ａは移相器、２５ａ及び２６ａは乗算器、２７ａ及び
２８ａは累算器、２９ａは除算器、３０はＴ＆Ｈ回路、
３１はＡ／Ｄ変換器である。
２２ａは増幅器、１９ａは減算器、２０ａは加算器、２
４ａは移相器、２５ａ及び２６ａは乗算器、２７ａ及び
２８ａは累算器、２９ａは除算器、３０はＴ＆Ｈ回路、
３１はＡ／Ｄ変換器である。
【００６６】また、１７ａ〜２２ａはアナログ演算手段
５１ａを、７〜１０，１２，１３，３０及び３１はサン
プリング手段５２ａを、２４ａ〜２９ａは演算手段５４
ａをそれぞれ構成している。
５１ａを、７〜１０，１２，１３，３０及び３１はサン
プリング手段５２ａを、２４ａ〜２９ａは演算手段５４
ａをそれぞれ構成している。
【００６７】振動検出器５ａの出力信号１００は周波数
測定回路７、励振回路１６及び増幅器１７ａにそれぞれ
接続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１は増幅器１
８ａに接続される。
測定回路７、励振回路１６及び増幅器１７ａにそれぞれ
接続され、振動検出器５ｂの出力信号１０１は増幅器１
８ａに接続される。
【００６８】増幅器１７ａの出力は減算器１９ａの加算
入力端子、加算器２０ａの一方の入力端子及びＴ＆Ｈ回
路３０にそれぞれ接続され、増幅器１８ａの出力は減算
器１９ａの減算入力端子及び加算器２０ａの他方の入力
端子にそれぞれ接続される。
入力端子、加算器２０ａの一方の入力端子及びＴ＆Ｈ回
路３０にそれぞれ接続され、増幅器１８ａの出力は減算
器１９ａの減算入力端子及び加算器２０ａの他方の入力
端子にそれぞれ接続される。
【００６９】減算器１９ａ及び加算器２０ａの出力はそ
れぞれ増幅器２１ａ及び２２ａを介してＴ＆Ｈ回路９及
び１２に接続される。Ｔ＆Ｈ回路９、１２及び３０の出
力はＡ／Ｄ変換器１０、１３及び３１に接続される。
れぞれ増幅器２１ａ及び２２ａを介してＴ＆Ｈ回路９及
び１２に接続される。Ｔ＆Ｈ回路９、１２及び３０の出
力はＡ／Ｄ変換器１０、１３及び３１に接続される。
【００７０】Ａ／Ｄ変換器３１の出力は移相器２４ａ及
び乗算器２５ａの一方の入力端子に接続され、Ａ／Ｄ変
換器１０の出力は乗算器２５ａの他方の入力端子に接続
される。
び乗算器２５ａの一方の入力端子に接続され、Ａ／Ｄ変
換器１０の出力は乗算器２５ａの他方の入力端子に接続
される。
【００７１】また、Ａ／Ｄ変換器１３の出力は乗算器２
６ａの一方の入力端子に接続され、さらに、移相器２４
ａの出力は乗算器２６ａの他方の入力端子に接続され
る。
６ａの一方の入力端子に接続され、さらに、移相器２４
ａの出力は乗算器２６ａの他方の入力端子に接続され
る。
【００７２】乗算器２５ａ及び２６ａの出力は累算器２
７ａ及び２８ａにそれぞれ接続され、累算器２７ａ及び
２８ａの出力は除算器２９ａにそれぞれ接続され、除算
器２９ａは位相差信号を出力する。
７ａ及び２８ａにそれぞれ接続され、累算器２７ａ及び
２８ａの出力は除算器２９ａにそれぞれ接続され、除算
器２９ａは位相差信号を出力する。
【００７３】また、周波数測定回路７の出力はタイミン
グ生成回路８に接続され、タイミング生成回路８の出力
はＴ＆Ｈ回路９、１２及び３０、移相器２４ａ、乗算器
２５ａ及び２６ａにそれぞれ接続される。さらに、励振
回路１６の出力は励振信号としてセンサ部５０に供給さ
れる。
グ生成回路８に接続され、タイミング生成回路８の出力
はＴ＆Ｈ回路９、１２及び３０、移相器２４ａ、乗算器
２５ａ及び２６ａにそれぞれ接続される。さらに、励振
回路１６の出力は励振信号としてセンサ部５０に供給さ
れる。
【００７４】図３に示す第３の実施例は第１及び第２の
実施例を組み合わせたものであり、詳しい動作に関して
は説明は省略する。
実施例を組み合わせたものであり、詳しい動作に関して
は説明は省略する。
【００７５】このような構成にすることによって、コリ
オリ振動成分を選択的に取り出すことができるのでＳ／
Ｎが改善され、記憶容量及び演算量を減少させることが
可能なコリオリ質量流量計が実現できる。
オリ振動成分を選択的に取り出すことができるのでＳ／
Ｎが改善され、記憶容量及び演算量を減少させることが
可能なコリオリ質量流量計が実現できる。
【００７６】なお、図１〜図３に示す実施例では出力信
号１００を励振回路１６に入力しているが、出力信号１
０１を用いても良い。また、Ａ／Ｄ変換器１０，１３及
び３１に関してはＴ＆Ｈ機能を有するものであれはＴ＆
Ｈ回路９，１２及び３０は不要であり、マルチプレクサ
等を用いればＡ／Ｄ変換器は１つでも良い。
号１００を励振回路１６に入力しているが、出力信号１
０１を用いても良い。また、Ａ／Ｄ変換器１０，１３及
び３１に関してはＴ＆Ｈ機能を有するものであれはＴ＆
Ｈ回路９，１２及び３０は不要であり、マルチプレクサ
等を用いればＡ／Ｄ変換器は１つでも良い。
【００７７】また、図１〜図３に示す実施例では出力信
号１００及び１０１をＡ／Ｄ変換器によって変換された
ディジタル信号に基づき信号処理を行っているが、アナ
ログ値のままアナログ演算処理をしても良い。
号１００及び１０１をＡ／Ｄ変換器によって変換された
ディジタル信号に基づき信号処理を行っているが、アナ
ログ値のままアナログ演算処理をしても良い。
【００７８】また、図１〜図３に示す実施例では図４に
示すような直管状のチューブを用いているがこれに限る
訳ではなく、どのような形状のチューブであっても良
い。例えば、Ｕ字管状等のものでも良い。また、チュー
ブの励振モード、方法等に関しても何ら限定するもので
はない。
示すような直管状のチューブを用いているがこれに限る
訳ではなく、どのような形状のチューブであっても良
い。例えば、Ｕ字管状等のものでも良い。また、チュー
ブの励振モード、方法等に関しても何ら限定するもので
はない。
【００７９】また、振動検出器５ａ及び５ｂの接続関係
を変えることにより、直接的に差信号及び和信号を求め
ても良い。
を変えることにより、直接的に差信号及び和信号を求め
ても良い。
【００８０】また、検出コイルの巻数を変化させて振動
検出器５ａ及び５ｂの感度を変化させることにより、増
幅器１７及び１８等を省略しても良い。
検出器５ａ及び５ｂの感度を変化させることにより、増
幅器１７及び１８等を省略しても良い。
【００８１】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１の発明
に関しては、初期段階において２つの振動検出器の出力
の和信号及び差信号を求め、和信号及び差信号をディス
クリート・フーリエ変換した信号の各々の実数部成分及
び虚数部成分から位相差を求めることにより、質量流量
が精度良く測定することが可能なコリオリ質量流量計が
実現できる。
本発明によれば次のような効果がある。請求項１の発明
に関しては、初期段階において２つの振動検出器の出力
の和信号及び差信号を求め、和信号及び差信号をディス
クリート・フーリエ変換した信号の各々の実数部成分及
び虚数部成分から位相差を求めることにより、質量流量
が精度良く測定することが可能なコリオリ質量流量計が
実現できる。
【００８２】請求項２の発明に関しては、２つの振動検
出器の出力の乗算信号と、一方の出力及び他方の出力を
９０°移相させた信号の乗算信号とのそれぞれの累算結
果に基づき質量流量を演算することにより、記憶容量及
び演算量を減少させることが可能なコリオリ質量流量計
が実現できる。
出器の出力の乗算信号と、一方の出力及び他方の出力を
９０°移相させた信号の乗算信号とのそれぞれの累算結
果に基づき質量流量を演算することにより、記憶容量及
び演算量を減少させることが可能なコリオリ質量流量計
が実現できる。
【図１】本発明に係るコリオリ質量流量計の第１の実施
例を示す構成ブロック図である。
例を示す構成ブロック図である。
【図２】本発明に係るコリオリ質量流量計の第２の実施
例を示す構成ブロック図である。
例を示す構成ブロック図である。
【図３】本発明に係るコリオリ質量流量計の第３の実施
例を示す構成ブロック図である。
例を示す構成ブロック図である。
【図４】従来のコリオリ質量流量計のセンサ部の一例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図５】チューブの振動モードを説明する説明図であ
る。
る。
【図６】従来のコリオリ質量流量計の一例を示す構成ブ
ロック図である。
ロック図である。
１ チューブ ２，３ 固定端 ４ 加振器 ５ａ、５ｂ 振動検出器 ６ 温度検出器 ７ 周波数測定回路 ８ タイミング生成回路 ９，１２，３０ トラックアンドホールド回路 １０，１３，３１ Ａ／Ｄ変換器 １１，１１ａ，１４，１４ａ デスクリート・フーリエ
変換回路 １５ 位相差演算回路 １６ 励振回路 １７，１７ａ，１８，１８ａ，２１，２１ａ，２２，２
２ａ 増幅器 １９，１９ａ 減算器 ２０，２０ａ 加算器 ２３ 演算回路 ２４，２４ａ 移相器 ２５，２５ａ，２６，２６ａ 乗算器 ２７，２７ａ，２８，２８ａ 累算器 ２９，２９ａ 除算器 ５０ センサ部 ５１，５１ａ アナログ演算手段 ５２，５２ａ サンプリング手段 ５３ ディジタル演算手段 ５４，５４ａ 演算手段 １００，１０１ 出力信号 １０２ 周波数信号 １０３ タイミング信号 １０４，１０９ 位相差信号 １０５，１０７ 実数成分信号 １０６，１０８ 虚数成分信号
変換回路 １５ 位相差演算回路 １６ 励振回路 １７，１７ａ，１８，１８ａ，２１，２１ａ，２２，２
２ａ 増幅器 １９，１９ａ 減算器 ２０，２０ａ 加算器 ２３ 演算回路 ２４，２４ａ 移相器 ２５，２５ａ，２６，２６ａ 乗算器 ２７，２７ａ，２８，２８ａ 累算器 ２９，２９ａ 除算器 ５０ センサ部 ５１，５１ａ アナログ演算手段 ５２，５２ａ サンプリング手段 ５３ ディジタル演算手段 ５４，５４ａ 演算手段 １００，１０１ 出力信号 １０２ 周波数信号 １０３ タイミング信号 １０４，１０９ 位相差信号 １０５，１０７ 実数成分信号 １０６，１０８ 虚数成分信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 翠川 稔 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 (72)発明者 筒井 弘英 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】被測定流体が流れる両端が固定された管を
振動させ、この際に生じるコリオリ力を２つの振動検出
器で検出して前記被測定流体の質量流量を測定するコリ
オリ質量流量計において、 前記２つの振動検出器の出力信号を各々増幅した後に和
信号及び差信号を求めると共にこれら和信号及び差信号
を各々増幅して出力するアナログ演算手段と、 このアナログ演算手段からの２つの出力を取り込むサン
プリング手段と、 このサンプリング手段の２つの出力をディスクリート・
フーリエ変換すると共にディスクリート・フーリエ変換
した２つの信号の各々の実数部成分及び虚数部成分に基
づき質量流量を演算するディジタル演算手段とを備えた
ことを特徴とするコリオリ質量流量計。 - 【請求項２】被測定流体が流れる両端が固定された管を
振動させ、この際に生じるコリオリ力を２つの振動検出
器で検出して前記被測定流体の質量流量を測定するコリ
オリ質量流量計において、 前記２つの振動検出器の出力信号を取り込むサンプリン
グ手段と、 このサンプリング手段の２つの出力を乗算し、一方の出
力と他方の出力を９０°移相させたものとを乗算すると
共にこれら２つの乗算結果の累算に基づき質量流量を演
算する演算手段とを備えたことを特徴とするコリオリ質
量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22155195A JP3555632B2 (ja) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | コリオリ質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22155195A JP3555632B2 (ja) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | コリオリ質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961214A true JPH0961214A (ja) | 1997-03-07 |
| JP3555632B2 JP3555632B2 (ja) | 2004-08-18 |
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1995
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| AU2005322423B2 (en) * | 2004-12-29 | 2010-11-04 | Micro Motion, Inc. | High speed frequency and phase estimation for flow meters |
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