JPH0957561A

JPH0957561A - フィルム吸着保持治具

Info

Publication number: JPH0957561A
Application number: JP23790095A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Takamatsu; 繁男高松; Yoshinori Tsuchiya; ▲吉▼範土屋
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1995-08-24
Filing date: 1995-08-24
Publication date: 1997-03-04

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルムを変形を生じること無く吸着保持で
き、強度、剛性に優れるフィルム吸着保持治具を安価に
提供する。【解決手段】内部が真空ポンプと連絡した真空箱１０
の一面に、アルミニウム板等の表面が平滑で剛性と強度
を有する板に多数の吸着孔１１ａを形成してなる吸着固
定板１１を設けるとともに、この吸着固定板１１の外面
にメッシュが１００〜１０００程度の網目スクリーン１
６を積層し、真空箱１０内に導入された負圧によって吸
着固定板１１に網目スクリーン１６を介してフィルムＦ
を吸着保持するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、薄く変形しやす
いフィルムをその検査や加工に際して吸着保持するフィ
ルム保持治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】フィルムの精密裁断、フィルム上面への
部品の装着や接着あるいは加工後の検査等の作業に際し
ては、加工品質の確保、作業能率の向上を図る上で、フ
ィルムを変形すること無く平面状に固定することが不可
欠である。このため、このような精密裁断等の作業に際
しては、図６に示すように、多数の吸着孔１１ａを有す
る吸着固定板１１により一面が画成される真空箱１０を
フィルム吸着保持治具Ｊとして用い、この真空箱１０内
部を真空ポンプやブロワー等の真空発生機器２０とホー
ス２１により連絡して負圧を印加し、真空箱１０の吸着
固定板１１表面にフィルムＦを平面状に吸着保持してい
る。そして、吸着固定板１１としてはアルミニウムや炭
素鋼等の金属あるいはアクリルや塩化ビニール等の樹脂
からなる厚みが１０ｍｍ程度の板が用いられ、この板に
直径が１ｍｍ程度の吸着孔１１ａを１０ｍｍ程度のピッ
チで多数形成したものが用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のフィルム吸着保持治具Ｊにあっては、図７に示
すように、吸着固定板１１の吸着孔１１ａ内にフィルム
Ｆが吸引されて撓みδ（変形）を生じるという問題があ
った。そこで、上述した問題の対策として、従来、吸着
孔１１ａの径を小径とすること、あるいは、吸着固定板
１１を焼結金属や粉末樹脂により形成することが試みら
れている。しかし、前者の対策にあっては、吸着孔１１
ａの径が加工上の制約からφ０．２ｍｍ程度が限界で変
形を完全に防止することができず、また、微細な多数の
吸着孔１１ａを形成することから加工コストも増大する
という新たな問題を生じる。

【０００４】さらに、後者の対策にあっては、吸着孔１
１ａの径を数ミクロンとすることができるためフィルム
Ｆの変形を確実に防止することができるが、焼結金属の
吸着固定板１１は高価であるのみならず表面が粗く溶射
等の表面処理が必要でさらにコストが増大し、また、強
度が低く用途も限定されるという問題があり、またさら
に、粉末樹脂の吸着固定板１１も表面が粗く平面度が劣
る上に、剛性が小さく変形しやすいため用途が制限され
るという問題を生じる。この発明は、上記問題に鑑みて
なされたもので、フィルムを変形を生じること無く吸着
保持でき、強度、剛性に優れるフィルム吸着保持治具を
安価に提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、多数の吸着孔を有する吸着固定板で一
面が画成される真空箱に負圧を印加し、前記吸着固定板
にフィルムを吸着保持するフィルム吸着保持治具におい
て、前記吸着固定板の上面に網目スクリーンを添着し
た。そして、上記吸着固定板としてはアルミニウム、炭
素鋼、ステンレス鋼等の金属板、あるいはポリ塩化ビニ
ル（ＰＶＣ）やアクリル等の樹脂板が用いられ、また、
吸着孔は０．２ｍｍ〜５ｍｍ（望ましくは、直径が１ｍ
ｍ〜３ｍｍ）程度の直径で、１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度の
ピッチの碁盤目状あるいはフィルムの形状に合わせてラ
ンダムに形成される。

【０００６】また、網目スクリーンは、スクリーン印刷
あるいはフィルタ等の用途に用いられるものから選択し
て用いるが、ステンレス鋼等の金属あるいはポリエチレ
ン等の樹脂からなるものが使用される。この網目スクリ
ーンの目の粗さは使用状況に応じて、１００〜１０００
メッシュ程度のものから適宜選択される。なお、本発明
のフィルム吸着保持治具が対象とするフィルムは、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリプロピ
レン、ポリスチレン等の樹脂一般からなり厚さが５〜１
００μｍのもの、または、これらに印刷や部品装着等の
種々の加工を施したものである。

【０００７】

【作用】この発明にかかるフィルム吸着保持治具によれ
ば、吸着固定板の吸着孔に流入する空気が網目スクリー
ンにより分散されるため、フィルムに負圧が集中的に作
用することがなくフィルムの変形が防止され、また、網
目スクリーン自体も剛性を有するためフィルムの撓みを
より抑制することができる。そして、吸着固定板として
は、剛性・強度を有し表面が平滑な金属板や樹脂板を用
いることができるため、用途が制限を受けること無く種
々の用途に用いることができ、また、安価に製造するこ
とができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図１から図３はこの発明の実施
の一形態にかかるフィルム吸着保持治具を示し、図１が
分解斜視図、図２が一部を拡大した断面図、図３がこの
フィルム吸着保持治具が用いられたフィルムの裁断・貼
合装置の正面図である。なお、前述した図６，７の従来
のフィルム吸着保持治具Ｊと同一の部分には同一の番号
を付して説明を一部割愛する。

【０００９】図１に示すように、真空箱１０は、図中上
部が多数の連通孔１２ａを有する仕切り板１２により画
成され、この仕切り板１２の周縁に矩形状の額縁部材１
３が固設されて仕切り板１２上に取付凹部１４が形成さ
れる。そして、この取付凹部１４内に仕切り板１２上に
重ねて吸着固定板１１、クッションシート１５および網
目スクリーン１６が設けられ、この網目スクリーン１６
上にワークであるフィルムＦを吸着保持する。

【００１０】なお、この実施の形態は、ヒートシールコ
ネクタの製造用のフィルムの裁断・貼合装置に用いるフ
ィルム吸着保持治具Ｊを例示するものであり、フィルム
Ｆとしてヒートシールコネクタの保護フィルム（以下、
符号Ｆを付す）を開示する。具体的には、この実施の形
態の保護フィルムＦは、厚さが１５〜３０μｍのポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）製のヒートシールコネ
クタに用いるもので、片面に粘着面を有する厚みが２０
μｍ、幅が２５０〜３００ｍｍ程度のＰＥＴ製フィルム
からなる。

【００１１】また、真空箱１０は前述した従来のフィル
ム吸着保持治具Ｊと同様に内部空間がホース２１等を介
し真空発生機器２０と連絡されて負圧が印加される。後
に説明する図３に示すように、この真空発生機器２０
は、本実施の形態が保護フィルムＦの裁断装置に適用さ
れ、保護フィルムＦをトムソン刃により打ち抜き裁断す
る際に粘着力でトムソン刃により引き上げられる力が作
用するため、真空ポンプが用いられる。そして、この真
空ポンプの能力はフィルムＦの単位面積１ｍｍ²当たり
２５〜３０ｇ程度の吸着力（２５〜３０ｇ／ｍｍ²）を
生じるように設定される。

【００１２】吸着固定板１１は、アルミニウム、炭素鋼
またはステンレス鋼等の金属、あるいは、アクリルや塩
化ビニル等の樹脂などの剛性と強度を有する厚みが１〜
１０ｍｍ程度の板で、表面が平滑なものが用いられる。
この吸着固定板１１には直径が０．２〜５ｍｍの多数の
吸着孔１１ａが１０〜２０ｍｍのピッチで碁盤目状に形
成され、これら吸着孔１１ａが仕切り部材１２の連通孔
１２ａを経て真空箱１０内部に連通する。

【００１３】クッションシート１５は、塩化ビニル、ポ
リプロピレン、ポリエステル等からなり、０．５ｍｍ程
度の厚さを有する。このクッションシート１５には、上
述した吸着固定板１１と同様の多数の孔１５ａが形成さ
れる。すなわち、クッションシート１５には吸着固定板
１１の吸着孔１１ａと同数の孔１５ａが吸着孔１１ａと
同一の位置に形成され、これら孔１５ａが吸着孔１１ａ
および仕切り部材１２の連通口１２ａを経て真空箱１０
内部に連通する。

【００１４】なお、このクッションシート１５はフィル
ムＦの裁断においてクッション材、いわゆる、まな板と
して機能するもので、フィルムの裁断・貼合装置に適用
される本実施の形態において設ける。したがって、本発
明のフィルム吸着保持治具Ｊを検査等の他の用途に用い
る場合は、図２に示すように、クッションシート１５は
必ずしも必要ではなく、クッションシート１５を設ける
か否かは任意である。

【００１５】網目スクリーン１６はポリエチレン製のメ
ッシュが２５０の印刷用スクリーンが用いられ、４枚の
網目スクリーン１６がクッションシート１５の孔１５ａ
形成領域上に所定の間隔を隔て配列される。これら網目
スクリーン１６は、それぞれが接着剤によりクッション
シート１５上に貼合される。

【００１６】次に、この実施の形態におけるフィルム吸
着保持治具Ｊが用いられるフィルムの裁断・貼合装置の
概要を図３を参照して説明する。図３に示すように、こ
のフィルム裁断・貼合装置は、供給ステーション５０、
裁断ステーション６０、貼合ステーション７０および３
軸（Ｘ，Ｙ，θ）位置決めロボット８０を有する。３軸
位置決めロボット８０は、ベッド８１上に裁断ステーシ
ョン６０と貼合ステーション７０との間を移動可能に設
けられたテーブル８２を有し、このテーブル８２上にフ
ィルム吸着保持治具Ｊが取り付けられる。この３軸位置
決めロボット８０はテーブル８２を駆動してフィルム吸
着保持治具Ｊを裁断ステーション６０と貼合ステーショ
ン７０との間を往復移動させる。

【００１７】供給ステーション５０には保護フィルムＦ
の供給ロール５１と剥離テープの巻取ロール５２が下上
に配置され、供給ロール５１に片面に粘着面を有する保
護フィルムＦが粘着面に剥離テープＴを貼合されて巻取
保持される。保護フィルムＦは、供給ロール５１から一
対のガイドロール５３，５３間を経て裁断ステーション
６０に引き出され、ガイドロール５３において粘着面か
ら剥離テープＴが剥離されて巻取ロール５２に巻き取ら
れる。

【００１８】裁断ステーション６０には、トムソン刃を
有する打ち抜き型６１が昇降可能に設けられ、また、打
ち抜き型６１の側方にスクラップ巻取ロール６２が配置
される。この裁断ステーション６０においては、３軸位
置決めロボット８０によりフィルム吸着保持治具Ｊが打
ち抜き型６１の下方に位置し、このフィルム吸着保持治
具Ｊが供給ステーション５０から供給された保護フィル
ムＦを粘着面を上方に向けて吸着保持し、この吸着保持
された保護フィルムＦを打ち抜き型６１が下降して打ち
抜き裁断する。そして、フィルム吸着保持治具Ｊが位置
決めロボット８０により貼合ステーション７０に移動
し、また、保護フィルムＦの裁断した残りの不要部分
（スクラップフィルム）をスクラップ巻取ロール６２に
巻き取る。

【００１９】貼合ステーション７０には貼合機構７１が
配置される。この貼合機構７０は、ヒートシールコネク
タ（図示せず）を保持して待機し、保護フィルムＦを吸
着保持したフィルム吸着保持治具Ｊが所定位置に到達す
ると、保護フィルムＦをヒートシールコネクタに貼合す
る。なお、述べるまでもないが、この発明のフィルム吸
着保持治具Ｊは上述したフィルム裁断・貼合装置のみな
らず、フィルムを取り扱う種々の装置に適用することが
可能である。

【００２０】この実施の形態にあっては、フィルム裁断
・貼合装置によりヒートシールコネクタを製造する。す
なわち、図３に示すように、供給ロール５１から保護フ
ィルムＦを引き出し、保護フィルムＦから剥離テープＴ
を剥離して巻取ロール５２に巻き取るとともに、剥離テ
ープＴを剥離した保護フィルムＦを裁断ステーション６
０に供給し、打ち抜き型６１（図３中、破線）の下方に
位置したフィルム吸着保持治具Ｊに保護フィルムＦを粘
着面が上方に向くようにして吸着保持させる。

【００２１】ここで、フィルム吸着保持治具Ｊは、吸着
固定板１１上に網目スクリーン１６が積層され、この網
目スクリーン１６上に保護フィルムＦを吸着保持する。
このため、吸着固定板１１の吸着孔１１ａの径が大きく
ても保護フィルムＦが部分的に吸着孔１１ａに吸引され
て変形を生じることもなく、吸着固定板１１を剛性の高
いアルミニウム板等を用いて安価に製造することができ
る。すなわち、クッションシート１５の図示を省略した
図２を参照して説明すれば、吸着固定板１１の吸着孔１
１ａに流入する空気の流れは図中矢印で示すように網目
スクリーン１６により分散されるため、保護フィルムＦ
が吸着孔１１ａに吸い込まれることがなく、保護フィル
ムＦの変形が防止される。

【００２２】そして、裁断ステーション６０において
は、打ち抜き型６１が下降してフィルム吸着保持治具Ｊ
に吸着保持された保護フィルムＦを打ち抜き裁断し、保
護フィルムＦの不要部分であるスクラップ部分をスクラ
ップ巻取ロール６２に巻き取る。この後、裁断された保
護フィルムＦを吸着保持したフィルム吸着保持治具Ｊが
位置決めロボット８０により貼合ステーション７０に移
動し、所定位置に待機しているヒートシールコネクタに
貼合する。

【００２３】図４はこの発明にかかるフィルム吸着保持
治具の他の実施の形態を示し、図４ａが斜視図、図４ｂ
が一部拡大断面図である。なお、この実施の形態および
後述する実施の形態においては、前述した実施の形態に
おけるフィルム吸着保持治具と同一の部分には同一の番
号を付して一部の説明を割愛する。

【００２４】この実施の形態は、吸着固定板１１上に積
層された網目スクリーン１６の周縁部分、すなわち、フ
ィルムの吸着保持に関与しない部分に粘着テープ等の目
張り部材８１を設け、網目スクリーン１６の周縁部分か
らの空気漏れを防止するものである。この実施の形態に
あっては、無用の空気漏れが防止できるため、真空箱１
０内の真空圧の低下を抑制でき、真空ポンプの駆動エネ
ルギ損失が少なく、高い効率が達成される。

【００２５】図５はこの発明にかかるフィルム吸着保持
治具のまた他の実施の形態を示し、図５ａが平面図、図
５ｂが一部を拡大した正面図である。この実施の形態に
あっては、真空箱１０の上面の４辺周縁部分にそれぞれ
網目スクリーン１６の引張機構９０を設け、網目スクリ
ーン１６を引張保持するものである。

【００２６】引張機構９０は、真空箱１０の上面（吸着
固定板１１上面）の辺に沿った帯状の上挟着部材９１ａ
と下挟着部材９１ｂとをボルト９１ｃにより接合してな
るクランプ９１を有し、このクランプ９１が真空箱１０
の上面に辺と直角な方向（図５ｂ中、矢印）に移動自在
に設けられる。そして、クランプ９１は下挟着部材９１
ｂにボルト９２によって真空箱１０の側方に垂下する係
合部材９３が設けられ、この係合部材９３に調節ボルト
９４を先端が真空箱１０の側面に当接するように螺合さ
せて構成される。

【００２７】この実施の形態にあっては、網目スクリー
ン１６の４辺をそれぞれクランプ９１の上挟着部材９１
ａと下挟着部材９１ｂとの間に挟着し、調節ボルト９４
の係合部材９３からの突出長さを適宜調整することで、
網目スクリーン１６に適正な張力を付与することができ
る。したがって、網目スクリーン１６の平面性と耐たわ
み性をさらに改善することができ、また、直角方向の荷
重に対する耐力が向上し衝撃を伴う作業にも使用できる
ようになる。

【００２８】

【実施例】次に、本発明の実施例を説明する。厚みが１
ｍｍで、１辺が３００ｍｍの角形ステンレス板に直径が
１ｍｍの吸着孔１１ａを７．５ｍｍのピッチで碁盤目状
に４８４個形成して吸着固定板１１とするとともに、網
目スクリーン１６としてメッシュが２５０のテトロン製
の印刷用スクリーンを用い、これら吸着固定板１１と網
目スクリーン１６を真空箱１０に取り付けて本実施例の
フィルム吸着保持治具を構成した。また、比較例とし
て、上記吸着固定板１１を用いて網目スクリーンを備え
ないフィルム吸着保持治具を作製した。

【００２９】そして、本実施例および比較例のフィルム
吸着保持治具についてそれぞれ、吸着するフィルムとし
て１辺が２００ｍｍの角形のフィルムを用い、このフィ
ルムに５〜６ｋｇの吸着力が生じるように真空箱１０内
の負圧を設定してフィルムの変形（撓み量δ，図７参
照）を測定したところ、本実施例が０．０３ｍｍである
に対して比較例が０．１ｍｍで、撓みδを約１／３に低
減できることが実証された。また、吸着固定板１１の製
造コストも、フィルムの撓みを本願と同等に抑制できる
と考えられる吸着孔１１ａが０．５ｍｍの直径の吸着固
定板（比較例）と比較して、以下の表１に示すように著
しく低減される。

【００３０】

【表１】

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
フィルム吸着保持治具によれば、真空箱の一面に多数の
吸着孔が形成された吸着固定板を取り付け、この吸着固
定板の外面に網目スクリーンを積層するため、吸着固定
板の吸着孔に流入する空気が網目スクリーンにより分散
されてフィルムに負圧が集中的に作用することがなくフ
ィルムの変形が防止され、また、吸着固定板として剛性
・強度を有し表面が平滑な金属板や樹脂板を用いること
ができ、広範な用途に用いることができ、さらに、安価
に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るフィルム吸着保持治具の一の実
施の形態を示す分解斜視図である。

【図２】同フィルム吸着保持治具の一部を拡大した断面
図である。

【図３】同フィルム吸着保持治具が用いられるヒートシ
ールコネクタ製造用のフィルム裁断・貼合装置の模式正
面図である。

【図４】この発明に係るフィルム吸着保持治具の他の一
の実施の形態を示し、ａが斜視図、ｂが一部拡大断面図
である。

【図５】この発明にかかるフィルム吸着保持治具のまた
他の一の実施の形態を示し、ａが平面図、ｂが一部を拡
大した正面図である。

【図６】従来のフィルム吸着保持治具を模式的に示す斜
視図である。

【図７】同従来のフィルム吸着保持治具の一部を拡大し
た断面図である。

【符号の説明】

１０真空箱１１吸着固定板１１ａ吸着孔１５クッションシート１６網目スクリーン８１目張り部材９０引張機構９１クランプ９４調節ボルトＦフィルムＪフィルム吸着保持治具

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一面が多数の吸着孔を有する吸着固定板
により画成される真空箱に負圧を印加し、前記吸着固定
板にフィルムを吸着保持するフィルム吸着保持治具にお
いて、前記吸着固定板の上面に網目スクリーンを添着したこと
を特徴とするフィルム吸着保持治具。
【請求項２】前記網目スクリーンはメッシュが１００
〜１０００である請求項１記載のフィルム吸着保持治
具。