JPH0953963A - フルイディック流量計における圧力変動吸収装置 - Google Patents

フルイディック流量計における圧力変動吸収装置

Info

Publication number
JPH0953963A
JPH0953963A JP22855495A JP22855495A JPH0953963A JP H0953963 A JPH0953963 A JP H0953963A JP 22855495 A JP22855495 A JP 22855495A JP 22855495 A JP22855495 A JP 22855495A JP H0953963 A JPH0953963 A JP H0953963A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dust
case
fluid
pressure fluctuation
fluidic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP22855495A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3494771B2 (ja
Inventor
Kazumitsu Nukui
一光 温井
Katsuto Sakai
克人 酒井
Hideo Kato
秀男 加藤
Soubun Satou
左右文 佐藤
Shinichi Sato
真一 佐藤
Shigenori Okamura
繁憲 岡村
Takahito Sato
孝人 佐藤
Shizuo Sannomiya
静雄 三宮
Masahiko Matsushita
雅彦 松下
Masahiro Noto
雅弘 能登
Kazuhiro Yamada
一博 山田
Hisashi Isshiki
尚志 一色
Masanobu Namimoto
政信 波元
Masashige Imazaki
正成 今崎
Yasushi Mizukoshi
靖 水越
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kimmon Manufacturing Co Ltd
Takenaka Seisakusho Co Ltd
Osaka Gas Co Ltd
Tokyo Gas Co Ltd
Aichi Tokei Denki Co Ltd
Kansai Gas Meter Co Ltd
Toho Gas Co Ltd
Toyo Gas Meter Co Ltd
Original Assignee
Kimmon Manufacturing Co Ltd
Takenaka Seisakusho Co Ltd
Osaka Gas Co Ltd
Tokyo Gas Co Ltd
Aichi Tokei Denki Co Ltd
Kansai Gas Meter Co Ltd
Toho Gas Co Ltd
Toyo Gas Meter Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kimmon Manufacturing Co Ltd, Takenaka Seisakusho Co Ltd, Osaka Gas Co Ltd, Tokyo Gas Co Ltd, Aichi Tokei Denki Co Ltd, Kansai Gas Meter Co Ltd, Toho Gas Co Ltd, Toyo Gas Meter Co Ltd filed Critical Kimmon Manufacturing Co Ltd
Priority to JP22855495A priority Critical patent/JP3494771B2/ja
Publication of JPH0953963A publication Critical patent/JPH0953963A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3494771B2 publication Critical patent/JP3494771B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダストの付着による機能低下を防止できる圧
力変動吸収装置を提供する。 【解決手段】 上流側から流入したガスは、圧力変動吸
収装置30を介してフルイディック素子に案内される。
圧力変動吸収装置30は、入口部311よりも上流側の
流路中に、ガスの流れの方向Xに対して傾斜して固定さ
れたダスト除去板330a,330bを備えている。ダ
スト除去板330a,330bの表面には複数の突条部
332a,332bが設けられている。これら突条部3
32a,332bにガスが当たることによりガス中のダ
ストが除去される。ダストが除去されたガスは、入口部
311からケース310内に導入される。その結果、フ
ロート320が上流側と下流側との差圧に応じてケース
310内を上下移動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フルイディック流
量計において、フルイディック素子の上流側に発生した
圧力変動のうちノイズによる変動を吸収するための圧力
変動吸収装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ガスメータ等に利用される流量計とし
て、いわゆるフルイディック発振を利用したフルイディ
ック流量計が知られている。
【0003】ところで、このフルイディック流量計で
は、フルイディック素子の上流側に設けられたガスガバ
ナやガスヒートポンプなどの影響により流体に脈動など
のノイズが生ずると、特に低流量域においてフルイディ
ック発振に影響を受け、測定精度が低下してしまう。
【0004】このような脈動などのノイズによる圧力変
動を吸収するために、従来、例えば図5に示しような圧
力変動吸収装置50を、フルイディック素子の上流側流
路の途中に配設することが考えられている。
【0005】この圧力変動吸収装置50は、両端部が閉
塞された円筒形状のケース510内に円筒形状のフロー
ト520を収容したものである。ケース510には、そ
の底面に流体の入口部511が形成され、また側面の下
部位置には流体の出口部512が形成されている。ケー
ス510の上部には、圧力変動吸収装置50の下流側の
圧力をケース510内に導入するための小孔510aが
設けられている。一方、フロート520は下端面が開放
されると共に上端面が閉塞されている。
【0006】この圧力変動吸収装置50では、上流側と
下流側との差圧に応じてケース510内をフロート52
0が上下移動し、これによりケース510の出口部51
2の開口率が変化し、流体のノイズによる圧力変動を吸
収する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の圧力変動吸収装置50では、長期間の使用によ
り、図6に示したように流体中のダストMが圧力変動吸
収装置50のケース510の内周面とフロート520の
外周面との間の隙間や、ケース510内の窪みまたは角
に付着してしまうという問題があった。そのため、フロ
ート520の移動状態が不安定となり、ダストMの付着
量が多くなるとケース510とフロート520とがダス
トMによって固着してしまうという問題があった。従っ
て、長期間使用すると、流体のノイズによる圧力変動を
十分に吸収できなくなり、フルイディック流量計の測定
精度が低下してしまうという問題があった。
【0008】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、内部へのダストの付着を抑制でき、
長期間使用しても安定してノイズによる流体の圧力変動
を吸収することができるフルイディック流量計における
圧力変動吸収装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
フルイディック素子の出力信号に基づいて流体の流量を
検出してなるフルイディック流量計の上流側における流
体の圧力変動のうちノイズによる変動を吸収するための
圧力変動吸収装置であって、上部が閉塞された筒状をな
し、前記フルイディック素子よりも上流側の流路中に配
設されると共に、底部に流体を導入するための入口部を
有し、かつ前記入口部から導入された流体を流路中に排
出するための出口部を側面に有するケースと、外周面を
前記ケースの内周面に対向させて前記ケース内に収容さ
れ、上流側と下流側との差圧に応じて前記ケース内を上
下移動し前記ケースの出口部の開口率を変化させるフロ
ートと、前記ケースの入口部よりも上流側の流路中に少
なくとも1つ配設され、流体中のダストを除去して前記
ケース内にダストが付着することを防止するダスト除去
板とを備えたものである。
【0010】この圧力変動吸収装置では、流体中のダス
トがダスト除去板によって除去されたのち、ダストの除
去された流体がケースの入口部からケース内に導入され
る。ケース内では、上流側と下流側との差圧に応じてフ
ロートがケース内を上下移動し、ケースの出口部の開口
率を変更する。これにより、流体の圧力変動のうちノイ
ズによる変動が吸収され、フルイディック素子にはノイ
ズが除去された後の流体が案内される。このように、こ
の圧力変動吸収装置では、ダスト除去板によって流体中
のダストが除去されるので、ケース内にダストが付着す
ることを防止でき、長期間使用してもフロートは流体の
流量に応じて安定して外ケース内を移動する。
【0011】請求項2記載の発明は、請求項1に記載の
圧力変動吸収装置において、前記ダスト除去板を、流体
の流れの方向に対して傾斜するように配置し、流体が当
たってダストが付着しやすくしたものである。
【0012】請求項3記載の発明は、請求項1または2
記載の圧力変動吸収装置において、前記ダスト除去板
の、少なくとも流体の流れが当たる面に対して複数の凹
凸部を形成して、ダストがより付着しやすくしたもので
ある。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0014】図2は本発明の一実施の形態に係る圧力変
動吸収装置を用いたフルイディック流量計1の概略構成
を表すものである。このフルイディック流量計1は、例
えばガスメータとして使用されるもので、上流側流路2
と下流側流路3との間に配設されたフルイディック素子
10と、フルイディック素子10の出力信号(フルイデ
ィック発振信号4)を処理して流量を求める流量演算部
20と、流路2の途中に配設された圧力変動吸収装置3
0とを備えている。
【0015】フルイディック素子10には、図示しない
が、気体を通過させて噴流を発生させるノズル部が設け
られている。ノズル部の下流側には、一対のフィードバ
ック流路が形成されており、ノズル部を通過した気体が
その流量に応じて交互に流れるようになっている。ノズ
ル部の噴出口の近傍には、圧電膜センサに通じる導圧孔
が形成されており、気体の流れる方向の切り替わりに基
づくフルイディック発振を検出するようになっている。
【0016】流量演算部20は、圧電膜センサによって
検出されたフルイディック発振信号4の周波数(または
周期)が流路2,3を流れるガスの流量(または流速)
と相関関係があることに基づいて、流量の演算をするよ
うになっている。この流量演算部20は、適宜のコンピ
ュータによって構成されている。
【0017】図1は圧力変動吸収装置30の具体的構成
を表すものである。この圧力変動吸収装置30は、両端
が閉鎖された円筒形状のケース310内にフロート32
0を収容した構成となっている。
【0018】ケース310は、例えば合成樹脂により形
成されており、その底面にガスの入口部311が形成さ
れると共に側面にガスの出口部312が形成され、入口
部311から導入されたガスがケース310内を通って
出口部312から排出されるようになっている。ケース
310の出口部312は、ケース310の側面のうち底
面よりに形成されている。また、ケース310の上部に
は、圧力変動吸収装置30の下流側の圧力をケース21
0内に導入するための小孔210aが設けられている。
【0019】フロート320は、ケース310の入口部
311側の端面が開放され、反対側端面が閉鎖された中
空円筒形状となっており、その外周面がケース310の
出口部312に対向されている。従って、フロート32
0は、上流側と下流側との差圧に応じてケース310内
を移動し、出口部312を開閉するようになっている。
【0020】圧力変動吸収装置30は、また、ケース3
10の上流側の流路中に設けられた2つのダスト除去板
330a,330bを有している。1つのダスト除去板
330aは、入口部311の直ぐ上流に設けられ、他の
ダスト除去板330bは、それよりも更に上流に設けら
れている。どちらのダスト除去板330a,330b
も、ガスの流れの方向Xに対して適宜の角度θa ,θb
で傾斜して固定されている。
【0021】ダスト除去板330aのうちガスの流れが
当たる面331aには、凹凸部として複数の突条部33
2aが形成されており、これら突条部332aの側面部
分にX方向に流れるガスがほぼ垂直に当たるようになっ
ている。ダスト除去板330bにも、ダスト除去板33
0aと同様に複数の突条部332bが形成されている。
【0022】次に、本実施の形態の圧力変動吸収装置3
0の作用をフルイディック流量計の作用と共に説明す
る。
【0023】まず、流路2にガスが流れていないとき
は、圧力変動吸収装置30の上流側と下流側との間に圧
力差が生じていないので、フロート320は図1におい
て破線で示したように重力の作用によってケース310
内下方に位置しており、出口部312を完全に閉鎖して
いる。従って、ガスは、フルイディック素子10に向か
って流れていない。
【0024】次に、流路2にガスが流れると、ガスは、
まず圧力変動吸収装置30のうち一番上流側に配設され
たダスト除去板330bに当たる。これにより、ガス中
のダストがダスト除去板330bに付着し、ガス中から
ダストが除去される。更に、ガスは、流路2中に配置さ
れたダスト除去板330aに当たる。これにより、ガス
中に残存するダストがダスト除去板330aに付着し、
ガス中から残存していたダストが除去される。
【0025】その後、ガスは、入口部311からケース
310内に導入される。これにより、入口部311の圧
力と出口部312の圧力とに差が生じ、フロート320
はその圧力差による力を受けて図1において実線で示し
たように持ち上げられ、ケース310内を上方に移動す
る。出口部312は、その圧力差に応じた分だけ開放さ
れ、ガスは圧力変動吸収装置30内を通って出口部31
2からフルイディック素子10に向かって流れる。
【0026】従って、ガスは圧力変動吸収装置30のケ
ース310内を通過することによってフロート320に
よる負荷力を受けることになるので、脈動などのノイズ
を含んでいてもそのノイズによる圧力変動は吸収され、
フルイディック流量計10にはノイズの除去された流体
が案内される。
【0027】圧力変動吸収装置30内を通過したガス
は、流路2を介してフルイディック素子10に案内され
る。フルイディック素子10内では、ノズル部を通過し
たガスが、一対のフィードバック流路を交互に流れてフ
ルイディック発振を生ずる。圧電膜センサ130は、そ
のフルイディック発振を検出し、フルイディック発振信
号4を流量演算部20に出力する。流量演算部20はそ
のフルイディック信号4の周波数(または周期)に基づ
き流路2,3を流れるガスの流量を演算する。
【0028】以上のとおり、本実施の形態の圧力変動吸
収装置30は、上流側と下流側との差圧に応じて上述の
動作を繰り返す。それによりダスト除去板330a,3
30bに付着したダストは、重力によって下方に落下す
る。
【0029】このように本実施の形態によれば、ケース
310の入口部311よりも上流側の流路中にダスト除
去板330a,330bを配置したので、ガスがケース
310内に導入されるに先立ってガス中のダストを予め
除去することができ、ケース310内にダストが付着す
ることを抑制できる。従って、長期間使用しても、安定
したフロート320の移動を確保することができる。そ
の結果、長期間使用しても流体の圧力変動のうちノイズ
による変動を確実に吸収でき、長期間にわたって高い測
定精度を保持することができる。
【0030】また、本実施の形態によれば、ダスト除去
板330a,330bをガスの流れの方向Xに対して傾
斜させて配置するようにしたので、ガスの流れを妨げる
ことなく、ガス中のダストをダスト除去板330a,3
30bに付着させることができ、ガス中からダストをよ
り確実に除去することができる。
【0031】更に、本実施の形態によれば、ダスト除去
板330a,330b各々のガスの流れが当たる面33
1a,331bに、複数の突条部332a,332bを
それぞれ設けるようにしたので、これら突条部332
a,332bによってガス中のダストがダスト除去板3
30a,330bに容易に付着する。これによってガス
中からダストを更により確実に除去することができる。
【0032】なお、本発明は上記実施の形態に限るもの
ではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施
の形態では、ダスト除去板330a,330bに複数の
突条部332a,332bをそれぞれ形成するようにし
たが、突条部でなくとも、要は複数の凹凸部を形成すれ
ば上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。具
体的には、図3に示したように、ガスの流れに対向する
複数の凹所333を形成することにより複数の凹凸部を
形成してもよく、あるいは図4に示したように、網目状
に溝部334を形成することにより複数の凹凸部を形成
してもよい。
【0033】また、上記実施の形態では、ダスト除去板
330a,330bに複数の突条部332a,332b
をそれぞれ形成するようにしたが、複数の突条部332
a,332bを形成することなくダスト除去板330
a,330bを単なる平坦面によって構成してもよい。
【0034】更に、上記実施の形態では、ダスト除去板
330a,330bを入口部311の直ぐ上流側の流路
中に配置したが、入口部311の上流側の流路中であれ
ばどこであってもよい。
【0035】加えて、上記実施の形態では、フルイディ
ック流量計1をガスメータとして使用する場合について
のみ説明したが、ガスの流量測定に限らず種々の流体の
流量測定に応用できるものである。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように請求項1ないし3の
いずれか1に記載のフルイディック流量計における圧力
変動吸収装置によれば、ケースの入口部よりも上流側の
流路中にダスト除去板を配置するようにしたので、流体
がケース内に導入されるに先立って流体中のダストを予
め除去することができ、ケース内にダストが付着するこ
とを抑制できる。従って、長期間使用しても安定したフ
ロートの移動を確保することができる。その結果、長期
間使用しても流体の圧力変動のうちノイズによる変動を
確実に吸収でき、長期間にわたって高い測定精度を保持
することができるという効果を奏する。
【0037】特に、請求項2または3記載のフルイディ
ック流量計における圧力変動吸収装置によれば、ダスト
除去板を流体の流れの方向に対して傾斜させて配置する
ようにしたので、流体をダスト除去板に当てて流体中の
ダストをダスト除去板に付着させることにより、流体中
からダストをより確実に除去することができるという効
果を奏する。
【0038】また、請求項3記載のフルイディック流量
計における圧力変動吸収装置によれば、ダスト除去板の
流体の流れが当たる面に複数の凹凸部を形成するように
したので、流体中のダストを複数の凹凸部によってダス
ト除去板に容易に付着させることができ、流体中からダ
ストを更により確実に除去することができるという効果
を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る圧力変動吸収装置
の構成を表す断面図である。
【図2】図1の圧力変動吸収装置を用いたフルイディッ
ク流量計の概略構成を表すブロック図である。
【図3】本発明に係る圧力変動吸収装置の他のダスト除
去板の構成を表す側面図である。
【図4】本発明に係る圧力変動吸収装置の他のダスト除
去板の構成を表すもので、(a)は平面図、(b)は側
面図である。
【図5】従来のフルイディック流量計における圧力変動
吸収装置を説明するための断面図である。
【図6】従来のフルイディック流量計における圧力変動
吸収装置を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1 フルイディック流量計 2,3 流体流路 10 フルイディック素子 30 圧力変動吸収装置 310 ケース 311 入口部 312 出口部 320 フロート 330a,330b ダスト除去板 331a,331b ガスの流れが当たる面 332a,332b 突条部 333 凹所 334 溝部 X ガスの流れの方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000142425 株式会社金門製作所 東京都板橋区志村1丁目2番3号 (71)出願人 000150109 株式会社竹中製作所 大阪府大阪市生野区中川西1丁目1番51号 (71)出願人 000156813 関西ガスメータ株式会社 大阪府大阪市東成区東小橋2丁目10番16号 (71)出願人 000222211 東洋ガスメーター株式会社 富山県新湊市本江2795番地 (72)発明者 温井 一光 神奈川県藤沢市みその台9−10 (72)発明者 酒井 克人 東京都葛飾区高砂3−2−7−123 (72)発明者 加藤 秀男 埼玉県北葛飾郡栗橋町大字河原代959−2 108街区6−2 (72)発明者 佐藤 左右文 神奈川県川崎市高津区梶ケ谷2−11−2 (72)発明者 佐藤 真一 東京都八王子市北野町543−15 (72)発明者 岡村 繁憲 大阪府大阪市中央区平野町4−1−2 大 阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 佐藤 孝人 愛知県東海市新宝町507−2 東邦瓦斯株 式会社総合研究所内 (72)発明者 三宮 静雄 愛知県名古屋市熱田区千年1−2−70 愛 知時計電機株式会社内 (72)発明者 松下 雅彦 東京都渋谷区広尾5−1−11 (72)発明者 能登 雅弘 千葉県船橋市丸山4−28−12 (72)発明者 山田 一博 千葉県千葉市中央区今井3−25−16 (72)発明者 一色 尚志 東京都板橋区志村1−2−3 株式会社金 門製作所中央研究所内 (72)発明者 波元 政信 大阪府大阪市東成区東小橋2−10−16 関 西ガスメータ株式会社内 (72)発明者 今崎 正成 大阪府東大阪市西岩田4−7−31 株式会 社金門製作所関西研究所内 (72)発明者 水越 靖 富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメー ター株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フルイディック素子の出力信号に基づい
    て流体の流量を検出してなるフルイディック流量計の上
    流側における流体の圧力変動のうちノイズによる変動を
    吸収するための圧力変動吸収装置であって、 上部が閉塞された筒状をなし、前記フルイディック素子
    よりも上流側の流路中に配設されると共に、底部に流体
    を導入するための入口部を有し、かつ前記入口部から導
    入された流体を流路中に排出するための出口部を側面に
    有するケースと、 外周面を前記ケースの内周面に対向させて前記ケース内
    に収容され、上流側と下流側との差圧に応じて前記ケー
    ス内を上下移動し前記ケースの出口部の開口率を変化さ
    せるフロートと、 前記ケースの入口部よりも上流側の流路中に少なくとも
    1つ配設され、流体中のダストを除去して前記ケース内
    にダストが付着することを防止するダスト除去板とを備
    えたことを特徴とするフルイディック流量計における圧
    力変動吸収装置。
  2. 【請求項2】 前記ダスト除去板は、流体の流れの方向
    に対して傾斜するように配置され、流体が当たってダス
    トが付着しやすくされたことを特徴とする請求項1記載
    のフルイディック流量計における圧力変動吸収装置。
  3. 【請求項3】 前記ダスト除去板は、少なくとも流体の
    流れが当たる面に対して複数の凹凸部が形成され、ダス
    トが付着しやすくされたことを特徴とする請求項1また
    は2記載のフルイディック流量計における圧力変動吸収
    装置。
JP22855495A 1995-08-14 1995-08-14 フルイディック流量計における圧力変動吸収装置 Expired - Fee Related JP3494771B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22855495A JP3494771B2 (ja) 1995-08-14 1995-08-14 フルイディック流量計における圧力変動吸収装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22855495A JP3494771B2 (ja) 1995-08-14 1995-08-14 フルイディック流量計における圧力変動吸収装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0953963A true JPH0953963A (ja) 1997-02-25
JP3494771B2 JP3494771B2 (ja) 2004-02-09

Family

ID=16878200

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22855495A Expired - Fee Related JP3494771B2 (ja) 1995-08-14 1995-08-14 フルイディック流量計における圧力変動吸収装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3494771B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012169201A1 (ja) * 2011-06-10 2012-12-13 パナソニック株式会社 ガスメータ
US10504044B2 (en) 2005-11-15 2019-12-10 General Electric Company Method to view schedule interdependencies and provide proactive clinical process decision support in day view form
JP2020134510A (ja) * 2019-02-15 2020-08-31 矢崎エナジーシステム株式会社 ガスメータ及びガスメータの製造方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5826360B1 (ja) * 2014-10-27 2015-12-02 三菱電機株式会社 流量測定装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10504044B2 (en) 2005-11-15 2019-12-10 General Electric Company Method to view schedule interdependencies and provide proactive clinical process decision support in day view form
WO2012169201A1 (ja) * 2011-06-10 2012-12-13 パナソニック株式会社 ガスメータ
JP2020134510A (ja) * 2019-02-15 2020-08-31 矢崎エナジーシステム株式会社 ガスメータ及びガスメータの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3494771B2 (ja) 2004-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3494771B2 (ja) フルイディック流量計における圧力変動吸収装置
RU2208718C2 (ru) Генератор колебаний текучей среды с вытянутой щелью
JP3494770B2 (ja) フルイディック流量計における圧力変動吸収装置
JPH0921670A (ja) フルイディック流量計における圧力変動吸収装置
JP2709202B2 (ja) フルイディック流量計
JP3602210B2 (ja) 圧力変動吸収装置
JP3482038B2 (ja) 圧力変動吸収装置
JP3530645B2 (ja) 流量計の流路構造
JP3494784B2 (ja) 流量計の流路構造
JP3530646B2 (ja) 流量計の流路構造
JPH10132628A (ja) フルイディック型流量計
JP3017832B2 (ja) フルイディック流量計
JP2000241205A (ja) 流体振動型流量計
JP3272081B2 (ja) フルイディック流量計
JPS6039258Y2 (ja) インク滴噴射装置
JP3297122B2 (ja) フルイディック流量計
JP2726150B2 (ja) フローセンサ付フルイディック流量計
JPH0593637A (ja) フルイデイツク流量計
JP3500202B2 (ja) フルイディック流量計
JP4993352B2 (ja) 流量計
JP4870289B2 (ja) 超音波式渦流量計
JPH07225168A (ja) 差圧型圧力センサ
JPH08247876A (ja) 圧電性膜およびこれを用いた流体振動検出センサ並びにフルイディック流量計
JP3297121B2 (ja) フルイディック流量計
JPH08159861A (ja) 流体振動検出センサおよびこれを用いたフルイディック流量計

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees