JPH10132628A - フルイディック型流量計 - Google Patents
フルイディック型流量計Info
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- JPH10132628A JPH10132628A JP8289495A JP28949596A JPH10132628A JP H10132628 A JPH10132628 A JP H10132628A JP 8289495 A JP8289495 A JP 8289495A JP 28949596 A JP28949596 A JP 28949596A JP H10132628 A JPH10132628 A JP H10132628A
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Abstract
つ、配管部の脈流等による圧力変動の影響を低減できる
ようにする。 【解決手段】 振動検出センサの構成として、圧力検出
方向が同一方向に設定されて同一向きに配設される2つ
の差圧式圧力センサ、例えば、圧電素子26a,26b
を有し、これらの圧電素子26a,26bの同一側の片
面は各々独立した圧力検出室25を介して流体振動によ
る圧力変動を導くための各々の圧力検出孔11a,11
bに連通し、これらの圧電素子26a,26bの他方の
片面は流体振動の影響を受けない箇所の圧力を導くライ
ン圧検出孔20に連通させることで、絶対圧検出方式を
ベースとし、かつ、ライン圧が圧電素子26a,26b
の両面に印加されるようにすることで相殺させ、耐久性
の問題を解消するようにした。
Description
の測定に用いられるプロパンガスメータ、都市ガスメー
タ等の流量計であって、流体の壁付着現象(コアンダ現
象)による流体振動を振動検出センサにより検出し、そ
の振動数から流量を算出するフルイディック型流量計に
関する。
て開発されている、フルイディック振動を利用したフル
イディック型流量計は、小型で可動部がなく、耐久性に
優れていることから、各方面でその研究・開発が進めら
れている。このようなフルイディック型流量計は、一般
の教科書にも説明されているように、流れが自己を制御
するように働くことで振動を起こすことに着目し、その
振動数が流量に比例することを利用したものである。
振原理を図6を参照して説明する。流入管2と排出管3
とを結ぶ経路上に、上流側より順に、流入流路4、流路
縮小部5、ジェットノズル6、流路拡大部7が形成さ
れ、さらに、流路拡大部7中には前記ジェットノズル6
の中心線の延長線上において誘振子8が形成され、この
誘振子8の前記排出管3側に誘振子8を囲むような形状
のエンドブロック9が形成されている。
流れは流入流路4をセットリングスペースとして2次元
的な流れに整流され、流路縮小部5によりさらに整流さ
れて円滑にジェットノズル6に向かう。そして、このジ
ェットノズル6で整流されて噴出される流れ(ジェット
流)は誘振子8に当たることにより左右(図面上は、上
下)に分かれるが、エンドブロック9に至るまでの流路
拡大部7の空間において、ある流量を超えると誘振子8
の背後にできる渦の不安定性によって左又は右に偏った
流れを形成する。そのため、エンドブロック9にぶつか
った流れは、エンドブロック9の前面形状に従い、さら
に流路拡大部7の内壁7aを帰還流路としてジェットノ
ズル6の出口に達し、ジェット流に対して直角的にぶつ
かる。このため、脇から帰還した流れによってジェット
流の方向を最初の偏流とは反対方向(右又は左)に偏ら
せる。これにより、反対側では再び同様のことが起こ
り、結果として、ジェットノズル6を出る流れは規則的
に交互に流れの方向を変化させる。この規則的に方向を
変化させる振動の周波数は、流量の増加に対して直線的
に増加する。即ち、流量と振動数との間には直線的な関
係(線形性)がある。
型流量計1において、その流体振動を検出するために、
振動検出センサが付設される。ここに、振動検出センサ
としては、例えば、分極方向が同一方向に設定されて同
一方向に配設される2枚の圧電素子を用い、フルイディ
ック振動による圧力変動を検出するための一対の圧力検
出孔に連通させた圧力導入管を2つの圧電素子間でタス
キ掛けする構成とし、各々の圧電素子に差圧を各々逆向
きになるように導くようにしたものがある。この検出方
式を、「差圧検出方式」と称するものとする。
参照して説明する。まず、フルイディック振動による圧
力変動を検出するための2つの圧力検出孔11a,11
bがジェットノズル6の直後の出口部付近であって、ジ
ェットノズル6と誘振子8とを結ぶ中心線を挾む左右対
称位置に位置させて素子天井部に形成されている。従っ
て、フルイディック振動が生じた場合、2つの圧力検出
孔11a,11bには互いに逆向きの圧力変動が交互に
生ずる。ここに、各々センサ室12a,12b内に配設
された圧電素子13a,13bに対して、一方の圧力検
出孔11aは二股状に分岐させた圧力導入口14aを介
してセンサ室12a内の第1の圧力検出室15aとセン
サ室12b内の第2の圧力検出室16bとに連通し、他
方の圧力検出孔11bは二股状に分岐させた圧力導入口
14bを介してセンサ室12b内の第1の圧力検出室1
5bとセンサ室12a内の第2の圧力検出室16aとに
連通している。即ち、圧力導入口14a,14bがタス
キ掛け構造とされている。
例えば、片側の圧力検出孔11aに増加の圧力が生じた
場合、その圧力は圧力導入口14aで分岐されて第1の
圧力検出室15aと第2の圧力検出室16bとに導かれ
る。これにより、図7に例示する状態のように、センサ
室12a内の圧電素子13aは図面上、凸(第2の圧力
検出室16a側に出っ張る)に変形し、センサ室12b
内の圧電素子13bは図面上、凹(第1の圧力検出室1
5b側に出っ張る)に変形する。このような現象が、他
方の圧力検出孔11bに増加の圧力が生じた場合とで、
交互に生ずるため、圧電素子13a,13bに関する変
形に伴う圧力検出信号を演算部17で差動増幅して計数
することにより振動数を検出し得るというものである。
子を用いた別の検出方式として、構造の簡略化を図った
「絶対圧検出方式」がある。この絶対圧検出方式は図8
に示すように、各々センサ室12a,12b内に配設さ
れた圧電素子13a,13b(図7の場合と同じく、分
極方向が同一方向に設定されて同一方向に配設)に対し
て、一方の圧力検出孔11aは圧力導入口18aを介し
てセンサ室12a内の第1の圧力検出室15aに連通
し、他方の圧力検出孔11bは圧力導入口18bを介し
てセンサ室12b内の第1の圧力検出室15bに連通さ
せ、センサ室12a,12bにおける圧電素子13a,
13bの他面側は密閉(或いは、開放)されている。
面側の圧力検出室15a,15bには常時ライン圧が加
えられており、このライン圧に重畳してフルイディック
振動による圧力変動が交互に加えられる。よって、圧電
素子13a,13bに関する変形に伴う圧力検出信号を
演算部17で差動増幅して計数することにより振動数を
検出し得るというものである。
式の場合、一対の圧力検出孔11a,11bからの配管
構造を二股状の圧力導入口14a,14bによってタス
キ掛けする構造として各々の圧電素子13a,13bに
差圧が各々逆向きに作用するようにしなければならず、
圧力導入口14a,14bの構造が複雑になってしま
う。
上、ライン圧が常時圧電素子13a,13bに加わって
いるため、センサの耐久性が問題となる。特に、ガスメ
ータ等への適用を考えた場合、10年以上の耐久性が要
求されるが、これに応えられないものとなってしまう。
配管部の脈流等による圧力変動により、その圧力変動分
を誤積算してしまう可能性もある。
耐久性を向上させ得るとともに、配管部の脈流等による
圧力変動の影響をなくすことができるフルイディック型
流量計を提供することを目的とする。
は、ジェットノズルにより流路内に噴出された流体の壁
付着現象による流体振動を振動検出センサにより検出
し、この振動検出センサにより検出された流体振動の振
動数から流量を算出するフルイディック型流量計におい
て、前記振動検出センサは、圧力検出方向が同一方向に
設定されて同一向きに配設される2つの差圧式圧力セン
サを有し、これらの差圧式圧力センサの同一側の片面は
各々独立した圧力検出室を介して流体振動による圧力変
動を導くための各々の圧力検出孔に連通し、これらの差
圧式圧力センサの他方の片面は流体振動の影響を受けな
い箇所の圧力を導くライン圧検出孔に連通している。
出方式をベースとするが、この際、各々の差圧式圧力セ
ンサの他方の片面が流体振動の影響を受けない箇所の圧
力を導くライン圧検出孔に連通しているので、差圧式圧
力センサの両面に同時にライン圧がかかって、結果とし
て、ライン圧が相殺される状態となるので、差圧式圧力
センサの耐久性が向上する。同時に、配管部の脈流等に
よる圧力変動があっても差圧式圧力センサの両面に加わ
ることにより相殺され、その影響を受けない。
は、典型的には、分極方向が同一方向に設定されて同一
方向に配設される2枚の圧電素子を用いるのがよいが、
この他、半導体式やエレクトレットコンデンサマイクロ
フォンを応用した差圧式圧力センサ等であってもよい。
圧電素子の場合、具体的には、ジルコン酸チタン酸鉛系
を主体とするPZT系の圧電セラミックスや、PVDF
を中心としたフッ素高分子圧電フィルム等を許容する。
また、ライン圧検出孔としては、1個でもよいが、請求
項2記載の発明のように、ジェットノズルよりも上流側
箇所と圧力検出孔よりも下流側箇所とに各々形成し、と
もに差圧式圧力センサの他方の片面に連通させるのが好
ましい。これによれば、フルイディック型流量計の圧力
損失に最も影響するジェットノズルに関して、ジェット
ノズルよりも上流側箇所のライン圧検出孔から導入する
流体の流れが差圧式圧力センサの他方の片面上を経て下
流側箇所のライン圧検出孔へとバイパスされてスムーズ
となり、ジェットノズルを流体が通過する際の圧力損失
を低減させることもできる。
ないし図3に基づいて説明する。なお、図6ないし図8
で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、その
説明も省略する。本実施の形態では、まず、前述したよ
うなジェットノズル6の直後出口部に中心線対称に位置
する一対の圧力検出孔11a,11bとともに、中心線
上で前記ジェットノズル6よりも上流側で流体振動の影
響を受けない箇所に位置するライン圧検出孔20が形成
された流路蓋21が流路天井部に設けられている。この
流路蓋21上にはセンサ本体22及びセンサ蓋23が取
り付けられている。ここに、前記センサ本体22におい
ては、各々圧力検出孔11a,11bに対して圧力導入
口24a,24bを介して連通する圧力検出室25a,
25bが円筒状に形成され、これらの圧力検出室25
a,25b上に円盤状の差圧式圧力センサである圧電素
子26a,26bが取り付けられている。これらの圧電
素子26a,26bは分極方向が同一方向に設定されて
同一向きに配設されるものである。よって、これらの圧
電素子26a,26bの同一側の片面(下面)は各々独
立した圧力検出室25a,25bを介して各々の圧力検
出孔11a,11bに連通している。一方、前記センサ
蓋23により覆われたセンサ本体22における圧電素子
26a,26bの他方の片面(上面)側は1つの連通す
る空間による圧力参照室27とされている。前記ライン
圧検出孔20はライン圧導入口28を介してこの圧力参
照室27に連通されている。よって、圧電素子26a,
26bの上面側はライン圧検出孔20に連通されてい
る。なお、流路蓋21、センサ本体22及びセンサ蓋2
3の各々の間はOリングやパッキンによって気密保持さ
れた状態で結合されている。また、圧電素子26a,2
6bは図示しない演算部に接続されている。
a,26bの片面側の圧力検出室25a,25bには常
時ライン圧が加えられており、このライン圧に重畳して
フルイディック振動による圧力変動が交互に加えられ
る。よって、圧電素子13a,13bに関する変形に伴
う圧力検出信号を演算部で差動増幅して計数することに
より振動数を検出し得るというものである。即ち、圧力
検出室25a,25b側に関しては、図8で説明したよ
うな絶対圧検出方式の原理が活かされている。加えて、
本実施の形態では、ライン圧検出孔20が圧力参照室2
7を介して圧電素子26a,26bの他方の片面に連通
することによりライン圧が付与されており、圧電素子2
6a,26bはその両面から同じライン圧を受けている
ので、結果として、ライン圧が相殺されて常時ライン圧
が印加される状態から解放されることとなり、圧電素子
26a,26bの耐久性が向上する。同時に、配管部の
脈流等による圧力変動があっても圧電素子26a,26
bの両面に加わることにより相殺され、圧力変動の影響
を受けることもない。
に基づいて説明する。図1ないし図3で示した部分と同
一部分は同一符号を用いて示し、その説明も省略する。
本実施の形態では、流路蓋21にはライン圧検出孔20
の他に、中心線上で圧力検出孔11a,11bよりも下
流側箇所、具体的には、エンドブロック9よりも下流側
箇所に位置させて別のライン圧検出孔29が形成され、
このライン圧検出孔29もライン圧導入口30を介して
圧力参照室27に連通されている。即ち、ライン圧検出
孔20,29はともに圧電素子26a,26bの他方の
片面(上面)側に連通するように形成されている(この
ため、流路蓋21、センサ本体22、センサ蓋23、圧
力参照室27等は前述の実施の形態の場合よりも流れの
方向に大きめに形成されている)。
ディック型流量計1の圧力損失に最も影響するジェット
ノズル6に関して、その上流側に位置するライン圧検出
孔20が圧力参照室27及びライン圧検出孔29を介し
てジェットノズル6部分をバイパスする形で下流側に連
通しているので、ジェットノズル6を流体が通過する際
の圧力損失を低減させることができる。
導入口28,30をセンサ本体22のブロックと一体で
形成することでライン圧検出孔20,29側と連通させ
るようにしたが、ライン圧検出孔20,29側と圧力参
照室27側とをチューブ等を介して連通させるようにし
てもよい。
センサは、圧力検出方向が同一方向に設定されて同一向
きに配設される2つの差圧式圧力センサ、例えば、分極
方向が同一方向に設定されて同一向きに配設される2枚
の圧電素子を有し、これらの圧電素子等の差圧式圧力セ
ンサの同一側の片面は各々独立した圧力検出室を介して
流体振動による圧力変動を導くための各々の圧力検出孔
に連通し、これらの差圧式圧力センサの他方の片面は流
体振動の影響を受けない箇所の圧力を導くライン圧検出
孔に連通しているので、基本的には構造が簡易な絶対圧
検出方式をベースとするが、この際、各々の差圧式圧力
センサの他方の片面が流体振動の影響を受けない箇所の
圧力を導くライン圧検出孔に連通しているので、差圧式
圧力センサの両面に同時にライン圧をかけることで、結
果として、ライン圧が相殺されて常時ライン圧が差圧式
圧力センサに印加される状態から解放することができ、
よって、圧電素子等の差圧式圧力センサの耐久性を向上
させることができ、同時に、配管部の脈流等による圧力
変動があっても差圧式圧力センサの両面に加わることに
より相殺することができ、圧力変動の影響を低減させる
ことができる。
ン圧検出孔をジェットノズルよりも上流側箇所と圧力検
出孔よりも下流側箇所とに各々形成し、ともに圧電素子
等の差圧式圧力センサの他方の片面に連通させたので、
この種のフルイディック型流量計の圧力損失に最も影響
するジェットノズルに関して、ジェットノズルよりも上
流側箇所のライン圧検出孔から導入する流体の流れを差
圧式圧力センサの他方の片面上を経て下流側箇所のライ
ン圧検出孔へとバイパスさせることができ、よって、ジ
ェットノズルを流体が通過する際の圧力損失を低減させ
ることもできる。
ンサ本体の平面図、(b)はそのA‐A線断面図であ
る。
図である。
流量計の構造を示す水平断面図である。
理を示す水平断面図である。
ある。
である。
Claims (2)
- 【請求項1】 ジェットノズルにより流路内に噴出され
た流体の壁付着現象による流体振動を振動検出センサに
より検出し、この振動検出センサにより検出された流体
振動の振動数から流量を算出するフルイディック型流量
計において、前記振動検出センサは、圧力検出方向が同
一方向に設定されて同一向きに配設される2つの差圧式
圧力センサを有し、これらの差圧式圧力センサの同一側
の片面は各々独立した圧力検出室を介して流体振動によ
る圧力変動を導くための各々の圧力検出孔に連通し、こ
れらの差圧式圧力センサの他方の片面は流体振動の影響
を受けない箇所の圧力を導くライン圧検出孔に連通して
いることを特徴とするフルイディック型流量計。 - 【請求項2】 ライン圧検出孔は、ジェットノズルより
も上流側箇所と圧力検出孔よりも下流側箇所とに各々形
成されて、ともに差圧式圧電素子の他方の片面に連通さ
れていることを特徴とする請求項1記載のフルイディッ
ク型流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8289495A JPH10132628A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | フルイディック型流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8289495A JPH10132628A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | フルイディック型流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10132628A true JPH10132628A (ja) | 1998-05-22 |
Family
ID=17744024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8289495A Pending JPH10132628A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | フルイディック型流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10132628A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018538106A (ja) * | 2015-09-22 | 2018-12-27 | スレット(エスアエス)Srett(Sas) | 酸素療法モニタリング装置及び酸素療法モニタリング方法 |
FR3091922A1 (fr) * | 2019-01-17 | 2020-07-24 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Débitmètre à oscillation fluidique |
-
1996
- 1996-10-31 JP JP8289495A patent/JPH10132628A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018538106A (ja) * | 2015-09-22 | 2018-12-27 | スレット(エスアエス)Srett(Sas) | 酸素療法モニタリング装置及び酸素療法モニタリング方法 |
FR3091922A1 (fr) * | 2019-01-17 | 2020-07-24 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Débitmètre à oscillation fluidique |
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