JPH06323880A - フルイディック流量計 - Google Patents

フルイディック流量計

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JPH06323880A
JPH06323880A JP11278593A JP11278593A JPH06323880A JP H06323880 A JPH06323880 A JP H06323880A JP 11278593 A JP11278593 A JP 11278593A JP 11278593 A JP11278593 A JP 11278593A JP H06323880 A JPH06323880 A JP H06323880A
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JP
Japan
Prior art keywords
flow
fluidic
jet nozzle
pressure
cover plate
Prior art date
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Pending
Application number
JP11278593A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroko Oshima
裕子 大島
Shigeyuki Ito
茂行 伊藤
Toshiyuki Takamiya
敏行 高宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Seiki Co Ltd
Ricoh Elemex Corp
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Seiki Co Ltd
Ricoh Elemex Corp
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造で安定したフルイディック振動を
起こさせ得るジェットノズルを有するフルイディック流
量計を提供すること。 【構成】 フルイディック素子として重要な要素となる
ジェットノズル5部分を他の要素(セットリングスペー
ス、流路拡大部、誘振子及びエンドブロック)とは別個
に蓋板11と一体成形して蓋ユニット12を構成し、他
の構成要素を有する本体ユニットに対して取付けるよう
にすることで、ジェットノズル5の寸法精度が高くなる
ようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、気体や液体の流量の計
測に用いられるフルイディック流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の膜式ガスメータに代るものとして
開発されている、フルイディック発振を利用したフルイ
ディック流量計は、小型で可動部がないので、耐久性に
優れていることから、各方面でその研究・改良が進めら
れている。さらに、従来からのガス流量計は、取付けに
関して立上り面積を要することや都市美観の上からも小
型にして取付けに際して方向性を問わないものが望まれ
る。このような観点から、フルイディック流量計におい
てその特徴を活かした小型で性能のよいものが望まれて
いる。フルイディック流量計は、一般の教科書にも説明
されているように、流れが自己を制御するように働くこ
とで振動を起こすことに着目し、その振動数が流量に比
例することを利用したものである。
【0003】ここに、この種のフルイディック流量計
で、そのフルイディック振動を検出する方法としては、
特開平1−308921号公報、特開平4−14532
7号公報、特開平4−326014号公報等に示される
方法がある。例えば、特開平4−326014号公報に
よれば、流路を構成する流路本体の交番圧力が生じる2
個所に溝部を形成するとともに、これらの溝部の一端側
の圧力波導入口を残して閉止部材により閉塞し、これら
の溝部の底部に圧力センサに連通する通孔を設けて圧力
信号伝達路を形成し、フルイディック振動による圧力波
の伝達を行うようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの公
報に示されるような方法は、何れも、複雑な構造であり
加工工程が何ら考慮されていないものである。例えば、
例示した特開平4−326014号公報の場合、圧力伝
達路部分の形状が複雑になるとともに、閉止部材等の部
品数が増えるものである。さらには、ジェットノズルと
圧力取出孔との位置関係を最適な位置関係として一定し
て精度よく設けることも困難となっている。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、流入管から流入する流れを整流するセットリングス
ペースと流路縮小部とジェットノズルと流路拡大部とを
同一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズ
ル対向位置に偏流を起こさせる誘振子を設け、この流路
拡大部中の前記誘振子の背後で排出管に至るまでの位置
に帰還用のエンドブロックを設けたフルイディック流量
計において、前記ジェットノズルを前記流路縮小部とと
もに蓋板と一体成形した蓋ユニットを設け、残りの前記
セットリングスペース、流路拡大部、誘振子及びエンド
ブロックをベース板に形成した本体ユニットに対して前
記蓋ユニットを取付けた。
【0006】この際、請求項2記載の発明では、蓋板の
所定位置にフルイディック振動を圧力センサに導くため
の一対の圧力取出孔を形成するとともに、この蓋板にベ
ース板との気密性保持のための気密保持部材取付け用の
溝を形成した。
【0007】さらに、請求項3記載の発明では、蓋板の
流路側に配設されて圧力取出孔に連通する導入孔が形成
された取出凸部を各圧力取出孔の入口側に設けた。
【0008】
【作用】請求項1記載の発明においては、フルイディッ
ク素子として重要な要素となるジェットノズル部分を他
の要素とは別個に蓋板と一体成形して蓋ユニットを構成
し、残りの構成要素を有する本体ユニットに対して取付
けるようにしたので、簡単な構造で寸法精度の高いジェ
ットノズルを備えたフルイディック素子を提供でき、よ
って、流れが安定したフルイディック振動を起こさせる
ことができる。
【0009】この際、請求項2記載の発明においては、
蓋ユニットにおいて圧力取出孔も形成されているので、
ジェットノズルとの位置関係の精度を高いものとし、フ
ルイディック振動の圧力変化を圧力センサで高いS/N
比にて検出できるものとなる。また、このような検出の
前提として、本体ユニット、蓋ユニットの分割構造にあ
っても、流路内は確実に気密性が保持されるものとな
る。
【0010】さらに、請求項3記載の発明においては、
圧力取出孔に連通する導入孔が形成された取出凸部を各
圧力取出孔の入口側に設けたので、フルイディック振動
の流れの動圧の計測が可能となり、静圧の計測に比べて
非常に高い圧力変化の検出が可能となる。
【0011】
【実施例】請求項1,2記載の発明の一実施例を図1な
いし図3に基づいて説明する。まず、本実施例が適用さ
れるフルイディック流量計の基本構成及び作用を図2に
より説明する。流入管1から排出管2を結ぶ経路上に、
セットリングスペース3、流路縮小部4、ジェットノズ
ル5、流路拡大部6を順に設け、かつ、流路拡大部6中
に誘振子7とエンドブロック8とを備えて構成されてい
る。ここでは、ジェットノズル5と誘振子7とを結ぶ直
線に対して線対称な形状とされている。また、このエン
ドブロック8の背後は、排出空間9とされている。
【0012】これにより、流路上流側からの管状の流れ
はセットリングスペース3で2次元的な流れに整流さ
れ、流路縮小部4によりさらに整流されて円滑にジェッ
トノズル5に向かう。そして、ジェットノズル5からの
流れは、誘振子7に当たることにより左右(図面上は、
上下)に分れるが、エンドブロック8に至るまでの流路
拡大部6の空間において、ある流量を越えると誘振子7
の背後にできる渦の不安定性によって、左又は右に偏っ
た流れを形成する。そのため、エンドブロック8にぶつ
かった流れは、エンドブロック8の前面に沿い、さらに
流路拡大部6の内壁6aを帰還流路としてジェットノズ
ル5の出口に達し、ジェット流に直角的にぶつかる。こ
のため、その脇から帰還した流れによってジェット流の
方向を最初の偏流とは反対方向に偏らせる。これによ
り、反対側では再び同様のことが起こり、結果としてジ
ェットノズル5を出る流れは規則的に交互に流れの方向
を変化させる。この規則的に方向を変化させる振動の周
波数は、流量の増加に対して直線的に増加する。
【0013】このような基本構成において、その構成要
素に関して、本実施例では、フルイディック素子の重要
な要素となるジェットノズル5部分を流路縮小部4とと
もに図1に示すように蓋板11下面に張り出した状態で
一体成形して蓋ユニット12を形成し、残りの構成要素
であるセットリングスペース3、流路拡大部6、誘振子
7及びエンドブロック8をベース板13に形成して本体
ユニット14を構成し、図3に示すように、蓋ユニット
12をこの本体ユニット14上にねじ15で取付け固定
して完成させるようにしたものである。
【0014】より詳細には、ジェットノズル5が一体成
形された蓋板11には、前記ジェットノズル5の吐出側
端部内側に位置させてノズル幅Wに一致させた間隔で一
対の圧力取出孔16a,16bが貫通形成され、図示し
ない配管を通して圧力センサ(図示せず)に連通し得る
ように構成されている。また、蓋板11の下面周縁付近
には環状の溝17が形成されている。この溝17は図3
(b)に示すように本体ユニット14上への接合時に、
気密性を確保するための気密保持部材、例えば、パッキ
ン18を取付けるためのものである。さらに、蓋板11
の端部の適所にはねじ15用のねじ穴15aが形成され
ている。
【0015】このような構成において、各々別個に分離
形成された本体ユニット14と蓋ユニット12とを図3
(b)に示すように接合させ、ねじ15により一体化固
定することにより、フルイディック流量計が完成する
(なお、流入管1及び排出管2は適宜接合固定され
る)。この際、両ユニット14,12間の気密性は、溝
17に嵌合させたパッキン18により確保される。この
ような組立構造において、フルイディック振動を検出し
た場合、ジェットノズル5より噴出している流れの幅
は、ほぼそのノズル幅Wに等しいものとなる。例えば、
この流れが一方の圧力取出孔16aにかかっている時に
は他方の圧力取出孔16bにはジェット(噴流)が全く
かかっていない状態となり、これらの圧力取出孔16
a,16bに連通配設された圧力センサからは絶対値の
大きな差圧出力が得られるものとなる。
【0016】このように本実施例によれば、重要な構成
要素なるジェットノズル5部分を他の構成要素とは別個
として蓋板11と一体成形するものとしたので、その寸
法精度の高いものとし、精度の高い流路を簡単に確保で
きるものとなる。これにより、流れが安定したフルイデ
ィック振動を起こさせることができる。特に、蓋ユニッ
ト12にあってはジェットノズル5とともに一対の圧力
取出孔16a,16bも一体成形されているので、ジェ
ットノズル5と圧力取出孔16a,16bとの位置関係
の精度も高くすることができ、圧力センサに対してフル
イディック振動による圧力波を効率よく伝えることがで
き、S/N比の高いものとなる。
【0017】つづいて、請求項3記載の発明の一実施例
を図4ないし図6により説明する。前記実施例で示した
部分と同一部分は同一符号を用いて示す。本実施例で
は、例えば図4に示すように蓋ユニット12においてジ
ェットノズル5に対して所定位置関係で蓋板11に一対
の圧力取出孔19を形成するが、これらの圧力取出孔1
9の流路側下端位置に各々取出凸部20を一体化して形
成したものである。これらの取出凸部20は流路中に存
在することになるが、その外観形状は図示の如く流れに
対する抵抗を少なくするため流線形とされている。ま
た、これらの取出凸部20には流れに沿って開口すると
ともに略L字状に湾曲形成されて前記圧力取出孔19に
スムーズに連通する導入孔20aが形成されている(図
6(a)〜(c)参照)。
【0018】このような構成において、ジェットノズル
5から噴出される流れの一部は、フルイディック振動を
乱すことなく導入孔20a内に導入され、圧力取出孔1
9を経て圧力センサに至る。よって、本実施例によれ
ば、取出凸部20の存在により、ジェットノズル5から
噴出される流れの動圧を計測することが可能となり、前
記実施例のように静圧を計測するものに比して、非常に
高い圧力変化を検出できるものとなる。
【0019】なお、本実施例では一対の取出凸部20
(導入孔20a)を流れ方向に平行に形成したが、これ
に限らず、例えば、図7に示すように、上流からの流れ
に対して角度θだけ拡開するような配設状態とし、角度
θなる傾きをもって動圧を計測するようにしてもよい。
【0020】また、本発明は、図2に示したような構造
のフルイディック流量計をその基本構造とするが、図2
に示した構造に限らず、その流入管1や排出管2などの
方向、取付け位置等を適宜変更したものであってもよ
い。また、図示例は、ノズル中心線に対して対称形構造
のものとしたが、これに限らず、非対称形とした構造の
ものでもよい。また、本発明にいう蓋ユニット12と本
体ユニット14との天地関係については相対的なもので
あり、蓋ユニット12側が下側(底板)となるような配
設でもよいのは、もちろんである。
【0021】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、フルイデ
ィック素子として重要な要素となるジェットノズル部分
を他の要素とは別個に蓋板と一体成形して蓋ユニットを
構成し、他の構成要素を有する本体ユニットに対して取
付けるようにしたので、簡単な構造で寸法精度の高いジ
ェットノズルを備えたフルイディック素子を提供でき、
よって、流れが安定したフルイディック振動を起こさせ
ることができる。
【0022】この際、請求項2記載の発明によれば、蓋
ユニットにおいて圧力取出孔も形成したので、ジェット
ノズルとの位置関係の精度を高いものとし、フルイディ
ック振動の圧力変化を圧力センサで高いS/N比にて検
出できる。
【0023】さらに、請求項3記載の発明によれば、圧
力取出孔に連通する導入孔が形成された取出凸部を各圧
力取出孔の入口側に設けたので、フルイディック振動の
流れの動圧の計測が可能となり、よって、静圧の計測に
比べて非常に高い圧力変化の検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1,2記載の発明の一実施例を示し、
(a)は蓋ユニットの平面図、(b)はそのA‐A線断
面図である。
【図2】フルイディック流量計の基本構造を示す水平断
面図である。
【図3】フルイディック流量計を示し、(a)は平面
図、(b)はそのB‐B線断面図である。
【図4】請求項3記載の発明の一実施例を示す蓋ユニッ
トの平面図である。
【図5】図4のC‐C線拡大断面図である。
【図6】取出凸部を示し、(a)は正面図、(b)は平
面図、(c)は側面図である。
【図7】変形例を示す蓋ユニットの平面図である。
【符号の説明】
1 流入管 2 排出管 3 セットリングスペース 4 流路縮小部 5 ジェットノズル 6 流路拡大部 7 誘振子 8 エンドブロック 11 蓋板 12 蓋ユニット 13 ベース板 14 本体ユニット 16a,16b 圧力取出孔 17 溝 18 気密性保持部材 19 圧力取出孔 20 取出凸部 20a 導入孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 茂行 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リ コーエレメックス株式会社内 (72)発明者 高宮 敏行 東京都品川区南大井6−16−10 リコー精 器株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 流入管から流入する流れを整流するセッ
    トリングスペースと流路縮小部とジェットノズルと流路
    拡大部とを同一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジ
    ェットノズル対向位置に偏流を起こさせる誘振子を設
    け、この流路拡大部中の前記誘振子の背後で排出管に至
    るまでの位置に帰還用のエンドブロックを設けたフルイ
    ディック流量計において、前記ジェットノズルを前記流
    路縮小部とともに蓋板と一体成形した蓋ユニットを設
    け、残りの前記セットリングスペース、流路拡大部、誘
    振子及びエンドブロックをベース板に形成した本体ユニ
    ットに対して前記蓋ユニットを取付けたことを特徴とす
    るフルイディック流量計。
  2. 【請求項2】 蓋板の所定位置にフルイディック振動を
    圧力センサに導くための一対の圧力取出孔を形成すると
    ともに、この蓋板にベース板との気密性保持のための気
    密保持部材取付け用の溝を形成したことを特徴とする請
    求項1記載のフルイディック流量計。
  3. 【請求項3】 蓋板の流路側に配設されて圧力取出孔に
    連通する導入孔が形成された取出凸部を各圧力取出孔の
    入口側に設けたことを特徴とする請求項2記載のフルイ
    ディック流量計。
JP11278593A 1993-05-14 1993-05-14 フルイディック流量計 Pending JPH06323880A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102022117253A1 (de) 2022-07-11 2024-01-11 Esters-Elektronik GmbH Messvorrichtung, Anordnung, Verwendung, Fluid-Bereitstellungs-Einheit

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102022117253A1 (de) 2022-07-11 2024-01-11 Esters-Elektronik GmbH Messvorrichtung, Anordnung, Verwendung, Fluid-Bereitstellungs-Einheit

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