JP3500202B2 - フルイディック流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、噴出ノズルから流路内
に噴出されるガス等の流体の振動現象によって生じる交
番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流量
計に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のフルイディック流量計は、例え
ば一般家庭等に設置されるものが知られている。このよ
うなフルイディック流量計は、流路の入口側に噴出ノズ
ルが設けられ、この噴出ノズルから流路内に流体を噴出
すると、コアンダ効果によって噴出流体は、例えば右側
の側壁に沿って流れる。この右側の側壁に流れた流体の
一部は帰還流体となり、この帰還流体の流体エネルギが
噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁に沿っ
て流れるようになり、今度は左側の側壁に流れた流体の
一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体エネルギが
噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁に沿っ
て流れるようになる。

【０００３】このとき、噴出ノズルから流路内に噴出さ
れる流体の振動現象によって交番圧力波が生じる。この
交番圧力波を圧力波センサによって検出し、この周波数
から流量を算出して流体の流量を検出している。

【０００４】ところで、交番圧力波を生じさせるフルイ
ディック素子の形状は、従来、図９及び図１０に示すよ
うになっていた。

【０００５】すなわち、図９はフルイディック流量計の
全体を示し、１１はケースである。このケース１１は、
矩形箱状のケース本体１２と、このケース本体１２の開
口部を閉塞する蓋体（図示しない）とから構成されてい
る。

【０００６】ケース本体１２の下部にはガス流入口体１
４と流体出口としてのガス流出口体１５が並設され、上
部には表示窓１６が設けられている。ケース１１の内部
における下部には後述するフルイディック素子１７及び
遮断弁１８が設置され、上部には電池１９、圧力スイッ
チ２０、感震器２１及び表示窓１６に対向する積算表示
基板２２が設置されている。

【０００７】前記フルイディック素子１７について説明
すると、２３はダイキャスト等によって形成された流路
本体であり、この流路本体２３の開口部をパッキングを
介して蓋体によって閉塞することにより、流路２６が構
成されている。

【０００８】この流路２６は隔壁２７によって区画さ
れ、上流側流路２８は前記ガス流入口体１４に連通し、
下流側流路２９は前記ガス流出口体１５に連通してい
る。上流側流路２８の途中には弁座３０が設けられ、こ
の弁座３０には前記遮断弁１８の弁体３１が対向してい
る。すなわち、前記圧力スイッチ２０、感震器２１が異
常を感知したとき、遮断弁１８によって流路２６を遮断
することができるように構成されている。

【０００９】前記流路本体２３の隔壁２７には図１０に
示すように、噴出ノズル３２が設けられている。この噴
出ノズル３２は流路本体２３の奥行き方向全体に亘って
開口するスリット状で、その長手方向の開口両側縁には
上流側流路２８に突出する突出部３２ａ，３２ｂを有
し、ノズル通路長を延長させている。

【００１０】この噴出ノズル３２に対向する下流側流路
２９には流体の流動方向切換安定化を図るための左右対
称に形成されたハート状の第１のターゲット３３が設け
られている。具体的には、第１のターゲット３３はその
上流側が比較的大きな曲率半径を有する曲線で形成され
るともに、下流側が下方に向けて凸となる鋭利な形状で
形成されている。この第１のターゲット３３を挟んで両
側には側壁３４ａ，３４ｂが対称的に設けられている。

【００１１】さらに、前記第１のターゲット３３より下
流側に位置する中央部には第２のターゲット３５が設け
られ、さらに下流側には下流側流路２９の幅方向に延長
するリターン壁３６が設けられている。そして、前記側
壁３４ａ，３４ｂの外側に帰還流路３７ａ，３７ｂが形
成され、リターン壁３６の両端外側に排出流路３８ａ，
３８ｂが設けられている。

【００１２】従って、前記噴出ノズル３２から下流側流
路２９に向かって流体が噴出されると、この噴出流体
は、第１のターゲット３３の外形に沿って流れ、左右に
振分けられてコアンダ効果により、例えば右側の側壁３
４ａの内側に沿って流れる。

【００１３】この右側の側壁３４ａに流れた流体の大部
分は排出流路３８ａに向かうが、一部は帰還流体とな
り、帰還流路３７ａに向かう。この帰還流体の流体エネ
ルギが噴出流体に付与され、噴出流体が左側の側壁３４
ｂの内側に沿って流れるようになり、今度は左側の側壁
３４ｂに流れた流体の一部が帰還流体となり、この帰還
流体の流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が
再び右側の側壁３４ａの内側に沿って流れるようにな
る。

【００１４】このように、噴出ノズル３２から下流側流
路２９内に噴出される流体の振動現象によって交番圧力
波が生じるように構成され、この交番圧力波を噴出ノズ
ル３２の出口近傍に設けられた圧力波センサ３９ａ，３
９ｂによって検出し、これを図１１に示すような電気信
号に変換してこの検出結果に基づいて流量測定を行って
いた。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、流量測
定可能範囲が大きいフルイディック流量計が望まれてい
るが、上述したようなフルイディック流量計を一般家庭
用ガス流量計として用いた場合、その流量測定可能範囲
は、図１２に示すように、最大流量Ｑmax （Ｌ／ｈ）〜
最小流量略１／４０Ｑmax （Ｌ／ｈ）程度に止まる。

【００１６】この流量測定可能範囲を拡大するには、最
小流量を０（Ｌ／ｈ）に近付ける必要があるが、そのた
めには例えば噴出ノズル３２の幅を狭くしたり、噴出ノ
ズル３２と第１のターゲット３３との距離を短くしたり
することが考えられる。

【００１７】しかしながら、このようにした場合は、噴
出ノズル３２からの噴出流体の圧力損失が大きくなり、
許容範囲を越えてしまう虞がある。

【００１８】そこで本発明は、圧力損失を許容範囲に抑
制しつつ、流量測定可能範囲を拡大することができるフ
ルイディック流量計を提供しようとするものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、流路を構成する流路本体と、この流路本体に設けら
れたフルイディック素子と、流路内に流体を噴出する噴
出ノズルとを備え、噴出ノズルから流路内に噴出される
流体の振動現象によって生じる交番圧力波を検出して流
量を検出するフルイディック流量計において、フルイデ
ィック素子は噴出ノズルに対向した開口部を有し、その
噴出ノズルよりも下流側流路に設けられたＵ字状のター
ゲットによって構成され、このＵ字状のターゲットは、
上流側に該ターゲットの曲率中心を有する凹曲線の内周
面を有し、下流側が前記曲率中心と略一致する曲率中心
を有し、かつ前記凹曲面より曲率半径の大きい凸曲線の
外周面を有した形状である。

【００２０】 請求項２記載の本発明は、流路を構成す
る流路本体と、この流路本体に設けられたフルイディッ
ク素子と、流路内に流体を噴出する噴出ノズルとを備
え、噴出ノズルから流路内に噴出される流体の振動現象
によって生じる交番圧力波を検出して流量を検出するフ
ルイディック流量計において、フルイディック素子は噴
出ノズルに対向した開口部を有し、その噴出ノズルより
も下流側流路に設けられたＵ字状の第１のターゲット
と、この第１のターゲットを挟んで両側に対称的に設け
られた側壁と、第１のターゲットより下流側の中央部に
設けられた第２のターゲットと、この第２のターゲット
のさらに下流側に設けられ、下流側流路の幅方向に延長
したリターン壁と、このリターン壁の下流側に設けられ
た流体出口とを具備し、前記Ｕ字状の第１のターゲット
は、上流側に該ターゲットの曲率中心を有する凹曲線の
内周面を有し、下流側が前記曲率中心と略一致する曲率
中心を有し、かつ前記凹曲面より曲率半径の大きい凸曲
線の外周面を有した形状である。

【００２１】

【作用】請求項１記載の本発明においては、流量測定を
行う際、噴出ノズルから流路内に流体を噴出すると、こ
の噴出ノズルからの流体は、ターゲットの外形に沿って
流れ、流路内のコアンダ効果によって噴出流体は、振動
現象による交番圧力波を生じるようになる。

【００２２】請求項２記載の本発明においては、流量測
定を行う際、噴出ノズルから流路内に流体を噴出する
と、この噴出ノズルからの流体は、第１のターゲットの
外形に沿って流れ、コアンダ効果によって噴出流体は、
例えば右側の側壁に沿って流れる。この右側の側壁に流
れた流体の一部は帰還流体となり、この帰還流体の流体
エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の
側壁に沿って流れるようになり、今度は左側の側壁に流
れた流体の一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体
エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の
側壁に沿って流れる。これが繰返されて交番圧力波が生
じるようになる。

【００２３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。なお、本実施例においてフルイディック素子以
外の主要部は、図９に示す部分と同様であるため、フル
イディック流量計全体の説明は省略する。また、フルイ
ディック素子のうち、図１０に示す部分と同一部分には
同一符号を付して詳細な説明を省略する。

【００２４】図１は、本実施例にかかるフルイディック
流量計のフルイディック素子を示す図で、２３はダイキ
ャスト等によって形成された流路本体であり、この流路
本体２３の開口部をパッキングを介して蓋体（図示しな
い）によって閉塞することにより、流路２６が構成され
ている。

【００２５】この流路２６は隔壁２７によって区画され
ており、流路本体２３の隔壁２７には、噴出ノズル３２
が設けられている。この噴出ノズル３２は流路本体２３
の奥行き方向全体に亘って開口するスリット状で、その
長手方向の開口両側縁には上流側流路２８に突出する突
出部３２ａ，３２ｂを有し、ノズル通路長を延長させて
いる。

【００２６】この噴出ノズル３２に対向する下流側流路
２９には流体の流動方向切換安定化を図るための左右対
称に形成されたＵ字状の第１のターゲット４０が設けら
れている。具体的には、第１のターゲット４０は、その
上流側は比較的小さな曲率半径を有する凹曲線で形成さ
れるとともに、下流側はその全体に亘って滑らかな凸曲
線形状で形成されている。

【００２７】第１のターゲット４０は、例えば図２
（ａ）に示すように、上流側曲線部４１はその両側の突
出部４２ａ，４２ｂの先端よりも下部に中心が位置する
円弧から構成するとともに、下流側曲線部４３は上流側
曲線部４１よりも大きい相似形の円弧から構成し、両側
の突出部４２ａ，４２ｂを上方に延出した形状をなして
いる。

【００２８】なお、この第１のターゲット４０の形状
は、図２（ｂ）に示すように、上流側曲線部４１はその
両側の突出部４２ａ，４２ｂの先端よりも上部に中心が
位置する円弧から構成するとともに、下流側曲線部４３
は、上流側曲線部４１よりも大きい相似形の円弧から構
成したものでもよい。

【００２９】この第１のターゲット４０を挟んで両側に
は側壁３４ａ，３４ｂが対称的に設けられている。ま
た、前記第１のターゲット４０より下流側に位置する中
央部には第２のターゲット３５が設けられ、さらに下流
側には下流側流路２９の幅方向に延長するリターン壁３
６が設けられている。そして、前記側壁３４ａ，３４ｂ
の外側に帰還流路３７ａ，３７ｂが形成され、リターン
壁３６の両端外側に排出流路３８ａ，３８ｂが設けられ
ている。

【００３０】このような構成の本実施例においては、流
量測定を行う際、前記噴出ノズル３２から下流側流路２
９に向かって流体が噴出されると、この噴出流体は、第
１のターゲット４０の外形に沿って流れ、左右に振分け
られてコアンダ効果により、例えば右側の側壁３４ａの
内側に沿って流れる。

【００３１】そして、右側の側壁３４ａに流れた流体の
大部分は排出流路３８ａに向かうが、一部は帰還流体と
なり、帰還流路３７ａに向かう。この帰還流体の流体エ
ネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が左側の側壁３
４ｂの内側に沿って流れるようになり、今度は左側の側
壁３４ｂに流れた流体の一部が帰還流体となり、この帰
還流体の流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体
が再び右側の側壁３４ａの内側に沿って流れるようにな
る。

【００３２】このとき、第１のターゲット４０の上流側
曲線部４１は、比較的曲率半径が小さい円弧で構成して
いるため、帰還流体によるフィードバック効果をより一
層高めることができる。これにより、流体の振動現象に
よって生じた交番圧力波の振幅をより大きくすることが
でき、周波数も大きくなる。このため、流量が少ないた
め交番圧力波の振幅、周波数がともに小さくて従来では
計測できなかった部分においても、計測可能な程度の振
幅や周波数の交番圧力波が生じるようになり、流量測定
可能範囲を広げることができる。

【００３３】図３は、Ｕ字状の第１のターゲット４０を
使用して流量測定を行った場合の測定流量と実際に流れ
た流量との器差をグラフに表したものである。この測定
結果から明らかなように、最小流量測定範囲を従来の１
／４０Ｑmax から１／６０Ｑmax まで広げることができ
る。また、例えば１／２０Ｑmax の流量を計測する際の
交番圧力波の周波数は、従来のハート形状の第１のター
ゲット３３を使用した場合の周波数４．７３Ｈｚに対し
て、例えば図２（ａ）に示すようなＵ字状の第１のター
ゲット４０を使用した場合は４．８３Ｈｚとなり、図２
（ｂ）に示すようなＵ字状の第１のターゲット４０を使
用した場合は５．３７Ｈｚとなる。

【００３４】また、第１のターゲット４０の下流側は、
円弧状をなすため、左右に振分けられた流体は、従来の
ハート形状の第１のターゲット３３を使用した場合に比
して、より滑らかに流れるようになる。

【００３５】これにより、リターン壁３６からの帰還流
体の流体エネルギの伝達をより滑らかに行うことがで
き、流体の振動現象によって生じた交番圧力波の振幅
（発振力）をより大きくすることができる。このため、
最小流量の測定範囲をより広くすることができる。

【００３６】具体的には、例えば１／２０Ｑmax の流量
を計測する際、従来のハート形状の第１のターゲット３
３を使用した場合の交番圧力波のピーク間電圧は図１１
に示すように７５．４６ｍＶであるが、例えば図２
（ａ）に示すようなＵ字状の第１のターゲット４０を使
用した場合は交番圧力波のピーク間電圧は図４（ａ）に
示すように９６．８６ｍＶとなり、図２（ｂ）に示すよ
うなＵ字状の第１のターゲット４０を使用した場合は交
番圧力波のピーク間電圧は図４（ｂ）に示すように８
６．７６ｍＶとなる。

【００３７】なお、本実施例においては、第１のターゲ
ット４０の突出部４２ａ，４２ｂを平面状にしたものに
ついて述べたが、必ずしもこれに限定されるものではな
く、突出部４２ａ，４２ｂを図５（ａ）に示すように両
側に傾斜面を有し、その先端がとがった形状にしたもの
でもよく、また同図（ｂ）に示すように突出部４２ａ，
４２ｂのそれぞれの両縁部を面取りしたものであっても
よい。

【００３８】さらに同図（ｃ）に示すように突出部４２
ａ，４２ｂの内側上縁部だけを面取りしたものでもよ
く、また同図（ｄ）に示すように突出部４２ａ，４２ｂ
の外側上縁部だけを面取りしたものでもよい。このよう
に構成することによって、噴出ノズル３２からの噴出流
体の流れをより滑らかにすることができ、突出部４２
ａ，４２ｂに発生する渦を抑制することができる。これ
により、交番圧力波の雑音発生や、圧力損失を低減する
ことができる。

【００３９】また、図６（ａ）に示すように突出部４２
ａ，４２ｂの全体を円弧状に加工したものであってもよ
く、また同図（ｂ）に示すように突出部４２ａ，４２ｂ
の両縁部を小さい半径の円弧状に加工したものであって
もよい。さらに同図（ｃ）に示すように突出部４２ａ，
４２ｂの内側上縁部だけを小さい半径の円弧状に加工し
たものであってもよく、また同図（ｄ）に示すように突
出部４２ａ，４２ｂの外側上縁部だけを小さい半径の円
弧状に加工したものであってよい。このようにすること
によって、噴出ノズル３２からの噴出流体の流れをさら
に滑らかにすることができ、突出部４２ａ，４２ｂに発
生する渦をさらに抑制できる。これにより、交番圧力波
の雑音発生や、圧力損失をさらに低減することができ
る。

【００４０】また、上記実施例においては、噴出ノズル
３２の幅を狭くすることなく、また噴出ノズル３２と第
１のターゲット４０との距離を短くすることもないた
め、圧力損失が増加することもない。これにより、圧力
損失を許容範囲に抑制しつつ、外観形状を大きくするこ
となく、簡単な構成で流量測定可能範囲の拡大を図るこ
とができる。

【００４１】また、本実施例においては、第１のターゲ
ット４０の厚みが一定のものについて述べたが、必ずし
もこれに限定されるものではなく、厚みが異なるもので
もよい。すなわち例えば図２（ａ）に示す第１のターゲ
ット４０の上流側曲線部４１の中心Ｏ3 に対して下流側
曲線部４３の中心Ｏ4 を下流側にずらして形成した図７
（ａ）に示すような形状のものであってもよい。また図
２（ｂ）に示す第１のターゲット４０の上流側曲線部４
１の中心Ｏ3 に対して下流側曲線部４３の中心Ｏ4 を下
流側にずらして形成した図７（ｂ）に示すような形状の
ものであってもよい。さらに、図７（ｃ）に示すように
逆三角形の上辺部を削り、３つの円弧Ｏ5 ，Ｏ6 ，Ｏ7
で上流側曲線部４１を形成してもよい。

【００４２】次に、本発明の他の実施例を図を参照して
説明する。なお、本実施例においてフルイディック素子
以外の主要部は、図９に示す部分と同様であるため、フ
ルイディック流量計全体の説明は省略する。また、フル
イディック素子のうち、上記実施例と同一部分には同一
符号を付して詳細な説明を省略する。

【００４３】図８は、本実施例にかかるフルイディック
流量計のフルイディック素子１７を示す図で、上記実施
例と異なるのは、フルイディック素子１７を第１のター
ゲット４０と同様の形状に形成したターゲット４４のみ
で構成する点及びターゲット４４を設ける流路本体２３
の内壁の形状を略スペード状に構成する点である。

【００４４】具体的には、この流路本体２３の内壁４５
は、噴出ノズル３２の出口付近に形成された上流側に凸
の主円弧部４６、この主円弧部４６の下流側に滑らかに
連設して下流側に向けて流路が拡大するように傾斜して
形成された拡大壁部４７、この拡大壁部４７に連設し、
上記主円弧部４６よりも大きい径で下流側に形成された
下流側に凸の副円弧部４８から構成される。また、この
副円弧部４８の下方は、ガス流体出口１５が連設されて
いる。

【００４５】このような構成の本実施例においては、流
量測定を行う際、前記噴出ノズル３２から下流側流路２
９に向かって流体が噴出されると、この噴出流体は、タ
ーゲット４４の外形に沿って流れ、左右に振分けられて
コアンダ効果により、例えば右側の内壁４５ａの内側に
沿って流れる。

【００４６】そして、右側の内壁４５ａに流れた流体の
大部分はガス流体出口１５に向かうが一部は帰還流体と
なり、帰還流路に向かう。この帰還流体の流体エネルギ
が噴出流体に付与され、噴出流体が左側の内壁４５ｂの
内側に沿って流れるようになり、今度は左側の内壁４５
ｂに流れた流体の一部が帰還流体となり、この帰還流体
の流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び
右側の内壁４５ａの内側に沿って流れるようになる。

【００４７】このように、フルイディック流量計のター
ゲット４４を上記実施例の第１のターゲット４０と同様
の形状であるＵ字状に形成したことから、上記実施例と
同様の効果が得られる。

【００４８】また、フルイディック素子１７をターゲッ
ト４４のみで構成するため、上述した効果に加えて、フ
ルイディック素子１７を簡単な構成にすることができ
る。このため、フルイディック素子を成形する金型や製
品の寸法管理を容易に行うことができ、また流量型自体
の小型化を図ることもできる。

【００４９】しかも、フルイディック素子１７をターゲ
ット４４のみで構成するため、噴出口３２からガス流体
出口１５までの流体の圧力損失を低減することもでき
る。

【００５０】なお、本実施例におけるターゲット４４に
おいても、図５ないし図７に示すような変形例を適用し
てもよい。これにより、上記実施例と同様の効果を奏す
ることができる。

【００５１】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、圧
力損失を許容範囲に抑制しつつ、流体振動の発振力を強
くすることができ、従って流量測定可能範囲を拡大する
ことができるフルイディック流量計を提供できるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例にかかるフルイディック流量
計の要部の縦断正面図。

【図２】図１に示す第１のターゲットを説明する図。

【図３】同実施例にかかるフルイディック流量計で測定
した場合の流量に対する器差を示す図。

【図４】同実施例にかかるフルイディック流量計で測定
した場合の交番圧力波を測定した結果を示す図。

【図５】図１に示す第１のターゲットの変形例を説明す
る図。

【図６】図１に示す第１のターゲットの変形例を説明す
る図。

【図７】図１に示す第１のターゲットの変形例を説明す
る図。

【図８】本発明の他の実施例にかかるフルイディック流
量計の構成を説明する図。

【図９】従来のフルイディック流量計の縦断正面図。

【図１０】従来のフルイディック流量計の一部を示す縦
断正面図。

【図１１】従来のフルイディック流量計で計測した場合
の交番圧力波を測定した結果を示す図。

【図１２】従来のフルイディック流量計で測定した場合
の流量に対する器差を示す図。

【符号の説明】

１５…ガス流出口体 １７…フルイディック素子 ２３…流路本体 ２８…上流側流路 ２９…下流側流路 ３２…噴出ノズル ３４ａ，３４ｂ…側壁 ３５…第２のターゲット ３６…リターン壁 ４０…第１のターゲット ４１…ターゲット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 000116633 愛知時計電機株式会社 愛知県名古屋市熱田区千年１丁目２番70 号 (73)特許権者 000156813 関西ガスメータ株式会社 京都府京都市下京区中堂寺鍵田町10 (73)特許権者 000150109 株式会社竹中製作所 大阪府大阪市生野区中川西１丁目１番51 号 (73)特許権者 000222211 東洋ガスメーター株式会社 富山県新湊市本江2795番地 (72)発明者 温井 一光 神奈川県藤沢市みその台９−10 (72)発明者 酒井 克人 東京都葛飾区高砂３−２−７−123 (72)発明者 岡村 繁憲 大阪府大阪市中央区平野町４丁目１番２ 号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 佐藤 孝人 愛知県東海市新宝町507−２ 東邦瓦斯 株式会社総合技術研究所内 (72)発明者 青木 利昭 東京都板橋区志村１丁目２番３号 株式 会社金門製作所中央研究所内 (72)発明者 一色 尚志 東京都板橋区志村１丁目２番３号 株式 会社金門製作所中央研究所内 (72)発明者 今崎 正成 大阪府東大阪市西岩田４丁目７番31号 株式会社金門製作所関西研究所内 (72)発明者 神田 廣一 愛知県名古屋市熱田区千年１丁目２番70 号 愛知時計電機株式会社内 (72)発明者 澁谷 忠夫 大阪府大阪市東成区東小橋２丁目10番16 号 関西ガスメータ株式会社内 (72)発明者 能登 雅弘 千葉県船橋市丸山町４−28−12 (72)発明者 水越 靖 富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメ ーター株式会社内 (56)参考文献 実開 平６−28647（ＪＰ，Ｕ) 特表 平６−507981（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/00 - 9/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路を構成する流路本体と、この流路本
   体に設けられたフルイディック素子と、前記流路内に流
   体を噴出する噴出ノズルとを備え、前記噴出ノズルから
   前記流路内に噴出される流体の振動現象によって生じる
   交番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流
   量計において、前記フルイディック素子は、前記噴出ノ
   ズルに対向した開口部を有し、その噴出ノズルよりも下
   流側流路に設けられたＵ字状のターゲットによって構成
   され、このＵ字状のターゲットは、上流側に該ターゲッ
   トの曲率中心を有する凹曲線の内周面を有し、下流側が
   前記曲率中心と略一致する曲率中心を有し、かつ前記凹
   曲面より曲率半径の大きい凸曲線の外周面を有した形状
   であることを特徴とするフルイディック流量計。
2. 【請求項２】 流路を構成する流路本体と、この流路本
   体に設けられたフルイディック素子と、前記流路内に流
   体を噴出する噴出ノズルとを備え、前記噴出ノズルから
   前記流路内に噴出される流体の振動現象によって生じる
   交番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流
   量計において、前記フルイディック素子は前記噴出ノズ
   ルに対向した開口部を有し、その噴出ノズルよりも下流
   側流路に設けられたＵ字状の第１のターゲットと、この
   第１のターゲットを挟んで両側に対称的に設けられた側
   壁と、前記第１のターゲットより下流側の中央部に設け
   られた第２のターゲットと、この第２のターゲットのさ
   らに下流側に設けられ、前記下流側流路の幅方向に延長
   したリターン壁と、このリターン壁の下流側に設けられ
   た流体出口とを具備し、 前記Ｕ字状の第１のターゲットは、上流側に該ターゲッ
   トの曲率中心を有する凹曲線の内周面を有し、下流側が
   前記曲率中心と略一致する曲率中心を有し、かつ前記凹
   曲面より曲率半径の大きい凸曲線の外周面を有した形状
   であることを特徴とするフルイディック流量計。