JP3467095B2 - フルイディック流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、噴出ノズルから流路内
に噴出されるガス等の流体の振動現象によって生じる交
番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流量
計に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のフルイディック流量計は、例え
ば一般家庭等に設置されるものが知られている。このよ
うなフルイディック流量計は、流路の入口側に噴出ノズ
ルが設けられ、この噴出ノズルから流路内に流体を噴出
すると、コアンダ効果によって噴出流体は、例えば右側
の側壁に沿って流れる。この右側の側壁に流れた流体の
一部は帰還流体となり、この帰還流体の流体エネルギが
噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁に沿っ
て流れるようになり、今度は左側の側壁に流れた流体の
一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体エネルギが
噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁に沿っ
て流れるようになる。

【０００３】このとき、噴出ノズルから流路内に噴出さ
れる流体の振動現象によって交番圧力波が生じる。この
交番圧力波を圧力波センサによって検出し、この周波数
から流量を算出して流体の流量を検出している。

【０００４】ところで、交番圧力波を生じさせるフルイ
ディック素子の形状は、従来、図９及び図１０に示すよ
うになっていた。

【０００５】すなわち、図９はフルイディック流量計の
全体を示し、１１はケースである。このケース１１は、
矩形箱状のケース本体１２と、このケース本体１２の開
口部を閉塞する蓋体（図示しない）とから構成されてい
る。

【０００６】ケース本体１２の下部にはガス流入口体１
４とガス流出口体１５が並設され、上部には表示窓１６
が設けられている。ケース１１の内部における下部には
後述するフルイディック素子１７及び遮断弁１８が設置
され、上部には電池１９、圧力スイッチ２０、感震器２
１及び表示窓１６に対向する積算表示基板２２が設置さ
れている。

【０００７】前記フルイディック素子１７について説明
すると、２３はダイキャスト等によって形成された流路
本体であり、この流路本体２３の開口部をパッキングを
介して蓋体によって閉塞することにより、流路２６が構
成されている。

【０００８】この流路２６は隔壁２７によって区画さ
れ、上流側流路２８は前記ガス流入口体１４に連通し、
下流側流路２９は前記ガス流出口体１５に連通してい
る。上流側流路２８の途中には弁座３０が設けられ、こ
の弁座３０には前記遮断弁１８の弁体３１が対向してい
る。すなわち、前記圧力スイッチ２０、感震器２１が異
常を感知したとき、遮断弁１８によって流路２６を遮断
することができるように構成されている。

【０００９】前記流路本体２３の隔壁２７には図１０に
示すように、噴出ノズル３２が設けられている。この噴
出ノズル３２は流路本体２３の奥行き方向全体に亘って
開口するスリット状で、その長手方向の開口両側縁には
上流側流路２８に突出する突出部３２ａ，３２ｂを有
し、ノズル通路長を延長させている。

【００１０】この噴出ノズル３２に対向する下流側流路
２９には流体の流動方向切換安定化を図るための左右対
称に形成されたハート状の第１のターゲット３３が設け
られている。この第１のターゲット３３は、その上流側
が比較的大きな曲率半径を有する曲線で形成されるとも
に、下流側が下方に向けて凸となる鋭利な形状で構成さ
れている。この第１のターゲット３３を挟んで両側には
側壁３４ａ，３４ｂが対称的に設けられている。

【００１１】さらに、前記第１のターゲット３３より下
流側に位置する中央部には第２のターゲット３５が設け
られ、さらに下流側には下流側流路２９の幅方向に延長
するリターン壁３６が設けられている。そして、前記側
壁３４ａ，３４ｂの外側に帰還流路３７ａ，３７ｂが形
成され、リターン壁３６の両端外側に排出流路３８ａ，
３８ｂが設けられている。

【００１２】従って、前記噴出ノズル３２から下流側流
路２９に向かって流体が噴出されると、この噴出流体
は、ターゲット３３の外形に沿って流れ、左右に振分け
られてコアンダ効果により、例えば右側の側壁３４ａの
内側に沿って流れる。

【００１３】この右側の側壁３４ａに流れた流体の大部
分は排出流路３８ａに向かうが、一部は帰還流体とな
り、帰還流路３７ａに向かう。この帰還流体の流体エネ
ルギが噴出流体に付与され、噴出流体が左側の側壁３４
ｂの内側に沿って流れるようになり、今度は左側の側壁
３４ｂに流れた流体の一部が帰還流体となり、この帰還
流体の流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が
再び右側の側壁３４ａの内側に沿って流れるようにな
る。

【００１４】このように、噴出ノズル３２から下流側流
路２９内に噴出される流体の振動現象によって交番圧力
波が生じるように構成され、この交番圧力波を噴出ノズ
ル３２の出口近傍に設けられた圧力波センサ３９ａ，３
９ｂによって検出し、これを図１１に示すような電気信
号に変換してこの検出結果に基づいて流量測定を行って
いた。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなフ
ルイディック流量計においては、フルイディック素子１
７を構成している部品が多く、これらの平面形状も複雑
なため、このフルイディック素子１７を成形する金型や
製品の寸法管理が容易でないという問題があった。

【００１６】また、フルイディック素子１７を構成して
いる部品が多いため、流量計自体の小型化の要請に応え
ることができないという問題もあった。

【００１７】さらに、第２のターゲット３５の下流側に
下流側流路２９の幅方向に延長するリターン壁３６を設
けることから、噴出ノズル３２からの噴出流体はリター
ン壁３６に当たり、この壁を沿って下流側から上流側に
戻るため圧力損失が大きくなるという問題もあった。

【００１８】そこで本発明は、フルイディック素子を成
形する金型や製品の寸法管理を容易に行うことができ、
また流量計自体の小型化を図ることができ、しかも圧力
損失を低減することができるフルイディック流量計を提
供しようとするものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、流路を構成する流路本体と、この流路本体に設けら
れたフルイディック素子と、流路内に流体を噴出する噴
出ノズルとを備え、噴出ノズルから流路内に噴出される
流体の振動現象によって生じる交番圧力波を検出して流
量を検出するフルイディック流量計において、噴出ノズ
ルの出口近傍に設けられ、流体の交番圧力波を検出する
交番圧力検出手段と、噴出ノズルより下流側流路に設け
られ、流体の流動方向の切換を安定化させるターゲット
と、このターゲットを挟んで両側に対称的に設けられ、
下流側流路の幅方向に延長したリターン側壁と、このリ
ターン側壁の下流側に設けられた流体出口とを設け、リ
ターン側壁は、噴出ノズルの出口近傍に向けて延出した
上流側端部と、ターゲットの下流側で対向し、この対向
部で流体出口への連通路を形成する下流側端部と、噴出
ノズルからの噴出流体の一部を下流側端部から上流側端
部まで交番圧力検出手段に向けて案内するとともに、噴
出ノズルからの噴出流体の一部を流体出口への連通路に
案内する流体案内部とを設けたものである。

【００２０】請求項２記載の本発明は、ターゲットは、
その上流側に曲率半径が比較的小さい円弧状の上流側凹
部を有する請求項１記載のフルイディック流量計であ
る。

【００２１】

【作用】このような構成の本発明においては、流量測定
を行う際、噴出ノズルから流路内に流体を噴出すると、
この噴出ノズルからの流体は、ターゲットの外形に沿っ
て流れ、コアンダ効果によって噴出流体は、例えば右側
のリターン側壁に沿って流れる。この右側のリターン側
壁に流れた流体の一部は帰還流体となり、この帰還流体
の流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び
右側のリターン側壁に沿って流れるようになり、今度は
左側のリターン側壁に流れた流体の一部が帰還流体とな
り、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付与さ
れ、噴出流体が再び右側のリターン側壁に沿って流れ
る。これが繰返されて交番圧力波が生じるようになる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。なお、本実施例においてフルイディック素子以外
の主要部は、図９に示す部分と同様であるため、フルイ
ディック流量計全体の説明は省略する。また、フルイデ
ィック素子のうち、図１０に示す部分と同一部分には同
一符号を付して詳細な説明を省略する。

【００２３】図１は、フルイディック流量計のフルイデ
ィック素子を示す図で、２３はダイキャスト等によって
形成された流路本体であり、この流路本体２３の開口部
をパッキングを介して蓋体（図示しない）によって閉塞
することにより、流路２６が構成されている。

【００２４】この流路２６は隔壁２７によって区画され
ており、流路本体２３の隔壁２７には、噴出ノズル３２
が設けられている。この噴出ノズル３２は流路本体２３
の奥行き方向全体に亘って開口するスリット状で、その
長手方向の開口両側縁には上流側流路２８に突出する突
出部３２ａ，３２ｂを有し、ノズル通路長を延長させて
いる。

【００２５】この噴出ノズル３２に対向する下流側流路
２９には流体の流動方向切換安定化を図るための左右対
称に形成されたＵ字状のターゲット４０が設けられてい
る。具体的には、ターゲット４０は、その上流側は比較
的小さな曲率半径を有する凹曲線で形成されるととも
に、下流側はその全体に亘って滑らかな凸曲線形状で形
成されている。

【００２６】上記ターゲット４０は、例えば上流側曲線
部４１はその両側の突出部４２ａ，４２ｂの先端よりも
下部に中心が位置する円弧から構成するとともに、下流
側曲線部４３は上流側曲線部４１よりも大きい相似形の
円弧から構成し、両側の突出部４２ａ，４２ｂを上方に
延出して構成してもよく、また、上部曲線部は両側の突
出部の先端よりも上部に中心が位置する円弧から構成す
るとともに、下部曲線部は、上部曲線部よりも大きい相
似形の円弧から構成してもよい。

【００２７】このターゲット４０を挟んで両側にはリタ
ーン側壁４５ａ，４５ｂが対称的にターゲット４０を覆
うように設けられている。これらリターン側壁４５ａ，
４５ｂは、下流側流路２９の幅方向に延長して設けら
れ、その上流側端部４６ａ，４６ｂはそれぞれ噴出ノズ
ル３２の出口近傍に向けて延出しており、下流側端部４
７ａ，４７ｂはターゲット４０の下流側で対向し、この
対向部で前記ガス流出口体１５への連通路４８を形成し
ている。

【００２８】また、リターン側壁４５ａ，４５ｂのター
ゲット４０側には、噴出ノズル３２からの噴出流体の一
部を下流側端部４７ａ，４７ｂから上流側端部４６ａ，
４６ｂまで噴出ノズル３２の出口近傍、すなわち圧力波
センサ３９ａ，３９ｂに向けて返すとともに、噴出ノズ
ル３２からの噴出流体の一部を連通路４８に案内する流
体案内面４９ａ，４９ｂが形成されている。

【００２９】このような構成の本実施例においては、流
量測定を行う際、図１に示すように前記噴出ノズル３２
から下流側流路２９に向かって流体が噴出されると、こ
の噴出流体は、ターゲット４０の外形に沿って流れ、左
右に振分けられる。そしてコアンダ効果により、例えば
図２（ａ）に示すように右側のリターン側壁４５ａの流
体案内面４９ａに沿って流れる。

【００３０】そして、右側の流体案内面４９ａに流れた
流体の一部は下流側に向けて流れ、連通路４８を通って
第１の排出流路３８ａに向かうが、一部は上流側に向か
う。そして、この上流側に向かった流体の大部分は第２
の排出流路５０ａ，５０ｂに向かうが、その一部は帰還
流体となり、帰還流路３７ａに向かう。この帰還流体の
流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体が左側の
流体案内面４９ｂに沿って流れるようになり、今度は図
２（ｂ）に示すように左側の流体案内面４９ｂに流れた
流体の一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体エネ
ルギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の流体
案内面４９ａに沿って流れるようになる。

【００３１】このように、噴出ノズル３２から下流側流
路２９内に噴出される流体の振動現象によって交番圧力
波が生じるようになり、この交番圧力波を圧力波センサ
３９ａ，３９ｂによって検出し、この検出結果に基づい
て流量を測定する。

【００３２】このように、フルイディック素子１７を簡
素化したため、すなわちターゲット４０及びリターン側
壁４５ａ，４５ｂから構成するため、従来よりも部品点
数を減少させることができ、平面形状も単純化できる。
これにより、フルイディック素子１７を成形する金型や
製品の寸法管理を容易に行うことができ、従ってコスト
低減を図ることもできる。また、流量計自体の小型化を
図ることもできる。具体的には例えば、従来よりも幅方
向に３０％程度小さくすることができる。

【００３３】さらに、フルイディック素子１７が形成さ
れた流路本体２３の平面形状は、ターゲット４０とリタ
ーン側壁４５ａ，４５ｂとで流体の流れを構成している
ため、自由度のある設計が可能となる。

【００３４】また、リターン側壁４５ａ，４５ｂの上流
側端部４６ａ，４６ｂを噴出ノズル３２に向けて延出し
て形成するため、流体エネルギの伝達が滑らかに行わ
れ、帰還流体によるフィードバック効果を高めることが
できる。これにより、流体の振動現象によって生じた交
番圧力波の振幅をより大きくすることができ、周波数も
大きくなる。

【００３５】このため、流量が少ないため交番圧力波の
振幅、周波数がともに小さくて、従来では計測できなか
った部分においても、計測可能な程度の振幅や周波数の
交番圧力波が生じるようになり、流量測定可能範囲を広
げることができる。

【００３６】また、ターゲット３３の上流側は、比較的
曲率半径が小さい円弧で構成しているため、帰還流体に
よるフィードバック効果をより一層高めることができ
る。これにより、流体の振動現象によって生じた交番圧
力波の振幅をより大きくすることができる。さらに、タ
ーゲット３３の下流側は、円弧状をなすため、左右に振
分けられた流体は、従来のようなハート形状のターゲッ
ト３３を使用した場合に比して、より滑らかに流れるよ
うになる。

【００３７】これにより、リターン壁３６からの帰還流
体の流体エネルギの伝達をさらに滑らかに行うことがで
き、流体の振動現象によって生じた交番圧力波の振幅を
さらに大きくすることができる。このため、最小流量の
測定範囲をさらに広くすることができる。

【００３８】図３は、本実施例にかかるフルイディック
流量計で流量測定を行った場合の測定流量と実際に流れ
た流量との器差をグラフに表したものである。この測定
結果から明らかなように、最小流量測定範囲を図１２に
示す従来の計測結果である１／４０Ｑmax から１／７０
Ｑmax まで大幅に広げることができる。また、例えば１
／２０Ｑmax の流量を計測する際の交番圧力波の周波数
は、従来のフルイディック流量計で流量計測を行った場
合の周波数４．７３Ｈｚに対して、本実施例にかかるフ
ルイディック流量計で流量計測を行った場合の周波数は
５．０４８Ｈｚと大きくなる。

【００３９】また、本実施例にかかるフルイディック流
量計で流量計測を行った場合の交番圧力波のピーク間電
圧は、図４に示すように１６０．５７ｍＶとなり、図１
１に示す従来のフルイディック流量計で流量計測を行っ
た場合の交番圧力波のピーク間電圧７５．４６ｍＶより
大きくなることがわかる。

【００４０】また、従来は噴出ノズル３２からの噴出流
体の圧力損失が大きくなるとの理由から噴出ノズル３２
とターゲット３３との距離を短くすることができなかっ
たが、本実施例においてはリターン側壁４５ａ，４５ｂ
の下流側端部４７ａ，４７ｂをターゲット４０の下流側
で対向させてこの対向部でガス流出口体１５への連通路
４８を形成することから、噴出流体の圧力損失を減少さ
せることができる。

【００４１】これにより、噴出流体の圧力損失が増加す
ることなく、噴出ノズル３２とターゲット４０との距離
を短くすることもできる。従って、圧力損失を許容範囲
に抑制しつつ、流量測定可能範囲をさらに拡大すること
ができる。

【００４２】なお、本実施例においては、リターン側壁
４５ａ，４５ｂの流体案内面４９ａ，４９ｂを円弧状に
形成し、外側面をＬ字状に形成するものについて述べた
が、必ずしもこれに限定されるものではなく、例えば図
５（ａ）に示すようにリターン側壁４５ａ，４５ｂの流
体案内面４９ａ，４９ｂのみならず、外側面をも全体を
円弧状に形成したものであってもよく、同図（ｂ）に示
すようにリターン側壁４５ａ，４５ｂの流体案内面４９
ａ，４９ｂ及び外側面を隅角部が小さい円弧状の矩形に
形成してもよい。

【００４３】さらに、同図（ｃ）に示すように、同図
（ａ）に示すリターン側壁４５ａ，４５ｂの下流側端部
４７ａ，４７ｂになるに連れて厚みが大きくなるように
形成してもよく、同図（ｄ）に示すようにリターン側壁
４５ａ，４５ｂの流体案内面４９ａ，４９ｂ及び外側面
を台形状に形成したものでもよい。このようにリターン
側壁４５ａ，４５ｂを形成しても上記同様の効果を奏す
ることができる。

【００４４】また、本実施例においては、ターゲット４
０の上流側端部４２ａ，４２ｂを平面状にしたものにつ
いて述べたが、必ずしもこれに限定されるものではな
く、上流側端部を図５（ａ）に示すように両側に傾斜面
を有し、その先端がとがった形状のものでもよく、また
同図（ｂ）に示すように上流側端部の両縁部を面取りし
たものであってもよい。さらに同図（ｃ）に示すように
内側上縁部だけを面取りしたものでもよく、また同図
（ｄ）に示すように外側上縁部だけを面取りしたもので
もよい。このようにすることによって、噴出ノズル３２
からの噴出流体の流れをより滑らかにすることができ、
上流側端部に発生する渦を抑制することができる。これ
により、交番圧力波の雑音発生や、圧力損失を低減する
ことができる。 また、本実施例においては、ターゲッ
ト４０の厚みが一定のものについて述べたが、必ずしも
これに限定されるものではなく、厚みが異なるものでも
よい。すなわち例えばターゲット４０の上流側曲線部４
１の中心Ｏ1 に対して下流側曲線部４３の中心Ｏ2 を下
流側にずらして形成した図６（ａ）に示すような形状の
ものであってもよい。またターゲット４０の上流側曲線
部４１の中心Ｏ3 に対して下流側曲線部４３の中心Ｏ4
を下流側にずらして形成した同図（ｂ）に示すような形
状のものであってもよい。さらに、同図（ｃ）に示すよ
うに逆三角形の上辺部を削り、３つの円弧Ｏ5 ，Ｏ6 ，
Ｏ7 で上流側曲線部４１を形成してもよい。

【００４５】さらに、同図（ｄ）に示すようなターゲッ
ト４０を逆三角形状に形成したものでもよく、同図
（ｅ）に示すように上流側曲線部４１の大きな径の凸円
弧及び下流側の小さな径の凸円弧をずらして重ね合わ
せ、その共通接線で結んだ外側形状に形成したものでも
よく、また同図（ｆ）に示すように流路の幅方向に延長
した矩形状に形成したものでもよい。また、同図（ｇ）
に示すように、ターゲット４０をハート形状にしたもの
でもよい。

【００４６】また、本実施例においては、第１のターゲ
ット４０の突出部４２ａ，４２ｂを平面状にしたものに
ついて述べたが、必ずしもこれに限定されるものではな
く、突出部４２ａ，４２ｂを図７（ａ）に示すように両
側に傾斜面を有し、その先端がとがった形状にしたもの
でもよく、また同図（ｂ）に示すように突出部４２ａ，
４２ｂのそれぞれの両縁部を面取りしたものであっても
よい。

【００４７】さらに同図（ｃ）に示すように突出部４２
ａ，４２ｂの内側上縁部だけを面取りしたものでもよ
く、また同図（ｄ）に示すように突出部４２ａ，４２ｂ
の外側上縁部だけを面取りしたものでもよい。このよう
に構成することによって、噴出ノズル３２からの噴出流
体の流れをより滑らかにすることができ、突出部４２
ａ，４２ｂに発生する渦を抑制することができる。これ
により、交番圧力波の雑音発生や、圧力損失を低減する
ことができる。

【００４８】また、図８（ａ）に示すように突出部４２
ａ，４２ｂの全体を円弧状に加工したものであってもよ
く、また同図（ｂ）に示すように突出部４２ａ，４２ｂ
の両縁部を小さい半径の円弧状に加工したものであって
もよい。さらに同図（ｃ）に示すように突出部４２ａ，
４２ｂの内側上縁部だけを小さい半径の円弧状に加工し
たものであってもよく、また同図（ｄ）に示すように突
出部４２ａ，４２ｂの外側上縁部だけを小さい半径の円
弧状に加工したものであってよい。このようにすること
によって、噴出ノズル３２からの噴出流体の流れをさら
に滑らかにすることができ、突出部４２ａ，４２ｂに発
生する渦をさらに抑制できる。これにより、交番圧力波
の雑音発生や、圧力損失をさらに低減することができ
る。

【００４９】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、フ
ルイディック素子を成形する金型や製品の寸法管理を容
易に行うことができ、また流量計自体の小型化を図るこ
とができ、しかも圧力損失を低減することができるフル
イディック流量計を提供できるものである。

【００５０】また、圧力損失を許容範囲に抑制しつつ、
流体振動の発振力を強くすることができ、従って流量測
定可能範囲を拡大することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例にかかるフルイディック流量計
の要部の縦断正面図。

【図２】同実施例における作用を説明する図。

【図３】同実施例にかかるフルイディック流量計で測定
した場合の流量に対する器差を示す図。

【図４】同実施例にかかるフルイディック流量計で測定
した場合の交番圧力波を測定した結果を示す図。

【図５】図１に示すリターン側壁の変形例を説明する
図。

【図６】図１に示す第１のターゲットの変形例を説明す
る図。

【図７】図１に示す第１のターゲットの変形例を説明す
る図。

【図８】図１に示す第１のターゲットの変形例を説明す
る図。

【図９】従来のフルイディック流量計の縦断正面図。

【図１０】従来のフルイディック流量計の一部を示す縦
断正面図。

【図１１】従来のフルイディック流量計で計測した場合
の交番圧力波を測定した結果を示す図。

【図１２】従来のフルイディック流量計で測定した場合
の流量に対する器差を示す図。

【符号の説明】

１５…ガス流出口体 １７…フルイディック素子 ２３…流路本体 ２８…上流側流路 ２９…下流側流路 ３２…噴出ノズル ４０…ターゲット ４５ａ，４５ｂ…リターン側壁 ４６ａ，４６ｂ…上流側端部 ４７ａ，４７ｂ…下流側端部 ４８…連通路 ４９ａ，４９ｂ…流体案内部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 000116633 愛知時計電機株式会社 愛知県名古屋市熱田区千年１丁目２番70 号 (73)特許権者 000156813 関西ガスメータ株式会社 京都府京都市下京区中堂寺鍵田町10 (73)特許権者 000150109 株式会社竹中製作所 大阪府大阪市生野区中川西１丁目１番51 号 (73)特許権者 000222211 東洋ガスメーター株式会社 富山県新湊市本江2795番地 (72)発明者 温井 一光 神奈川県藤沢市みその台９−10 (72)発明者 酒井 克人 東京都葛飾区高砂３−２−７−123 (72)発明者 岡村 繁憲 大阪府大阪市中央区平野町４丁目１番２ 号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 佐藤 孝人 愛知県東海市新宝町507−２ 東邦瓦斯 株式会社総合技術研究所内 (72)発明者 青木 利昭 東京都板橋区志村１丁目２番３号 株式 会社金門製作所中央研究所内 (72)発明者 一色 尚志 東京都板橋区志村１丁目２番３号 株式 会社金門製作所中央研究所内 (72)発明者 今崎 正成 大阪府東大阪市西岩田４丁目７番31号 株式会社金門製作所関西研究所内 (72)発明者 神田 廣一 愛知県名古屋市熱田区千年１丁目２番70 号 愛知時計電機株式会社内 (72)発明者 澁谷 忠夫 大阪府大阪市東成区東小橋２丁目10番16 号 関西ガスメータ株式会社内 (72)発明者 能登 雅弘 千葉県船橋市丸山町４−28−12 (72)発明者 水越 靖 富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメ ーター株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−58111（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/00 - 9/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路を構成する流路本体と、この流路本
   体に設けられたフルイディック素子と、前記流路内に流
   体を噴出する噴出ノズルとを備え、前記噴出ノズルから
   流路内に噴出される流体の振動現象によって生じる交番
   圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流量計
   において、前記噴出ノズルの出口近傍に設けられ、流体
   の交番圧力波を検出する交番圧力検出手段と、前記噴出
   ノズルより下流側流路に設けられ、流体の流動方向の切
   換を安定化させるターゲットと、このターゲットを挟ん
   で両側に対称的に設けられ、下流側流路の幅方向に延長
   したリターン側壁と、このリターン側壁の下流側に設け
   られた流体出口とを設け、前記リターン側壁は、前記噴
   出ノズルの出口近傍に向けて延出した上流側端部と、前
   記ターゲットの下流側で対向し、この対向部で流体出口
   への連通路を形成する下流側端部と、前記噴出ノズルか
   らの噴出流体の一部を前記下流側端部から前記上流側端
   部まで前記交番圧力検出手段に向けて案内するととも
   に、前記噴出ノズルからの噴出流体の一部を流体出口へ
   の連通路に案内する流体案内部とを設けたことを特徴と
   するフルイディック流量計。
2. 【請求項２】 前記ターゲットは、その上流側に曲率半
   径が比較的小さい円弧状の上流側凹部を有することを特
   徴とする請求項１記載のフルイディック流量計。