JPH095262A - 投影画像又は投影画像及び断層画像を用いた検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検物の検査の際、投影画像中又は断層画像
中の被検物位置を容易に一致させ、容易、迅速で、かつ
高精度の検査を行なうことができる投影画像又は投影画
像及び断層画像を用いた検査装置を提供することを目的
とする。 【構成】 第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの投影
画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置を算出する投影画像
重心算出部４６Ａ，４６Ｂと、各々の投影画像の投影角
度θ毎の慣性モーメントを算出する投影画像慣性モーメ
ント算出部４８Ａ，４８Ｂと、これら投影角度θ毎の重
心位置並びに第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂ間の
回転成分を用いて、投影画像中の被検物位置が一致する
ように座標変換する投影画像変換部５０Ａ，５０Ｂと、
各々の投影画像間の差分画像を用いて、第１及び第２の
被検物３２Ａ，３２Ｂの差異の有無及びその程度を認識
し、良否の判定を行なう判定部５４とから構成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は投影画像又は投影画像及
び断層画像を用いた検査装置に係り、特にＸ線ＣＴ（Co
mputed tomography ；コンピュータ断層撮影）装置によ
る投影画像又は投影画像及び断層画像を用いて製品の検
査を行なう検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、検査ラインにおいて製品の構造
的欠陥等の検査をする場合、検査対象となる製品と同一
又は類似の正常な製品、即ち正常な状態においては構造
（及び材質）がその製品において求められる精度の範囲
においてほぼ一致する正常な製品を基準とし、両製品の
Ｘ線ＣＴ装置による断層画像を比較し、その断層画像間
の差分、重ね合わせを行ない、検査対象となる製品の良
否の判定や構造的欠陥等の計測を行なう。

【０００３】但し、この製品検査において、両製品の断
層画像を撮る場合、製品がＸ線ＣＴ装置の試料台に任意
に置かれるため、断層画像中の両製品の位置は一致しな
いのが通常である。しかも、常に試料台の一定の位置に
製品を置こうとする試みは、殆どの場合に失敗するか、
失敗しないまでも非常な労力を要する。特に、極く小さ
い製品を高分解能で検査する場合には、殆ど不可能であ
る。

【０００４】従って、検査対象となる検査製品と基準と
なる正常製品の断層画像を比較するためには、両製品の
断層画像間の位置合わせを行なう必要がある。そしてこ
の画像間の位置合わせについては、従来から種々の方法
が提案されている。

【０００５】例えば、特願昭５７−１２５７８８号の
「医用画像重ね合わせ方式」においては、オペレータが
異なる種類の医用画像上に各々対応する特定点を入力
し、特定点の位置ずれを最小にする様に画像を重ね合わ
せる処理を対話的に行なう方法が提案されている。

【０００６】また、特開昭６０−１６３６４１号の「画
像間位置合わせ方式」は、各々の再構成画像の輪郭を抽
出した後、各々の輪郭の重心位置及び慣性モーメントを
算出して、画像間の平行移動成分及び回転成分を求め、
これらの位置ずれ量に基づく座標変換により、両画像の
位置合わせを行なう方法である。

【０００７】また、特開昭６１−９５４８０号の「画像
間位置合わせ方式」は、上記特開昭６０−１６３６４１
号の機能に加えて、人が対話的に装置機能に介在するこ
とにより、位置合わせ精度を高めようとするものであ
る。

【０００８】尚、上記の従来例は、いずれも断層画像の
みを用いて、各々の断層画像中の対象物位置を特定し、
合わせ込もうとするものである。

【０００９】更に、ＣＴ画像と設計図面画像との縮尺を
合致させ、平行移動成分及び回転成分を一致させる処理
を行なうことにより、ＣＴ画像と設計図面画像との位置
合わせを行ない、両画像間の差分をとる方法（特開平３
−１１５８０５号の「ＣＴ式計測装置」）や、画像の中
心と重心を結ぶ直線を抽出した後、この直線とＸ軸また
はＹ軸との傾きを用いて、対象物の回転位置及び回転成
分を決定する方法（特開平６−７２７７１号の「対象物
の回転位置、方向検出装置」）が提案されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の画像間の位置合わせ方法は、いくつかの問題点があ
る。例えば、特願昭５７−１２５７８８号の「医用画像
重ね合わせ方式」は、特定点の指定等においてオペレー
タが介在するため、人の主観に左右される可能性があ
る。

【００１１】また、特開昭６０−１６３６４１号及び特
開昭６１−９５４８０号の「画像間位置合わせ方式」
は、異なる装置で撮影した性質の異なる画像間の位置合
わせを目的とするものであるため、比較する画像の画素
値の意味が異なることから画像情報を輪郭に集約して比
較しているが、こうした方法では、この発明が対象とし
て想定している頭部断層像には有効でも、他の対象物に
ついてまで有効であるかは疑問である。また、各々の画
像情報を極端に削減して大まかに位置合わせを行なうも
のであるため、工業製品を対象とする場合に要求される
ような高精度な位置合わせは困難である。更に、断層画
像の重心及び慣性モーメントを算出するものであるた
め、ＸＹ軸に垂直な角度方向以外で内挿処理を伴い、負
荷が重いという問題がある。

【００１２】更に、上記従来の画像間の位置合わせ方法
では、再構成画像、即ち断層画像を用いて各々の断層画
像中の対象物位置を特定し、合わせ込もうとするもので
あるため、各々の再構成処理に要する時間及び断層画像
を用いた重心及び慣性モーメントの算出に要する時間に
より、検査時間が長くなる。従って、製品の構造検査に
おいて、その構造欠陥を計測する場合にはともかく、製
品の構造欠陥の有無や違い等の程度を診るだけで、構造
欠陥の大きさを寸法計測等する必要がない場合であれ
ば、より容易、迅速に検査を行なう方法が要請されてい
た。勿論、製品のの構造欠陥を計測する場合において
も、より容易、迅速に検査を行なうことが望ましいのは
いうまでもない。

【００１３】そこで本発明は、上記の事情を鑑みてなさ
れたものであり、被検物の検査を行なう際に、投影画像
中の被検物位置又は断層画像中の被検物位置を容易に一
致させることにより、容易、迅速で、かつ高精度の検査
を行なうことができる投影画像又は投影画像及び断層画
像を用いた検査装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る投影画像を
用いた検査装置は、（ａ）検査対象である第１の被検物
及び基準となる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射し
て、第１の投影画像及び第２の投影画像を得る手段と、
（ｂ）第１の投影画像及び第２の投影画像の特徴量を抽
出する手段と、（ｃ）特徴量を用いて第１の投影画像及
び第２の投影画像を座標変換して、第１の投影画像及び
第２の投影画像中の被検物位置を一致させる手段と、
（ｄ）画像中の被検物位置を一致させた第１の投影画像
及び第２の投影画像を差分又は合成して、第１の投影画
像及び第２の投影画像間の差分画像又は合成画像を得る
手段とを備え、第２の被検物を基準とする第１の被検物
の差異を検査することを特徴とする。

【００１５】また、本発明に係る投影画像を用いた検査
装置は、（ａ）検査対象である第１の被検物及び基準と
なる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第１の投
影画像及び第２の投影画像を得る手段と、（ｂ）第１の
投影画像及び第２の投影画像の特徴量を抽出する手段
と、（ｃ）特徴量を用いて第１の投影画像及び第２の投
影画像を座標変換して、第１の投影画像及び第２の投影
画像中の被検物位置を一致させる手段と、（ｄ）画像中
の被検物位置を一致させた第１の投影画像及び第２の投
影画像を差分又は合成して、第１の投影画像及び第２の
投影画像間の差分画像又は合成画像を得る手段と、
（ｅ）第１の投影画像及び第２の投影画像間の前記差分
画像又は前記合成画像を再構成処理して、差分再構成画
像又は合成再構成画像を得る手段とを備え、第２の被検
物を基準とする第１の被検物の差異を検査することを特
徴とする。

【００１６】尚、これらの投影画像を用いた検査装置に
おいて、第１の投影画像及び第２の投影画像の特徴量
は、投影角度毎の重心及び慣性モーメントである、こと
を特徴とする。

【００１７】また、検査対象である第１の被検物及び基
準となる第２の被検物は、正常な状態においては構造及
び材質が所定の精度の範囲において一致する同一又は類
似の被検物である、ことを特徴とする。

【００１８】また、第１の投影画像及び第２の投影画像
の投影数は、完全な断層画像を得るために必要な投影数
より少ない、ことを特徴とする。

【００１９】更にまた、本発明に係る投影画像及び断層
画像を用いた検査装置は、（ａ）検査対象である第１の
被検物及び基準となる第２の被検物にそれぞれＸ線を照
射して、第１の投影画像及び第２の投影画像を得る手段
と、（ｂ）第１の投影画像及び第２の投影画像をそれぞ
れ再構成処理して、第１の断層画像及び第２の断層画像
を得る手段と、（ｃ）第１の投影画像及び第２の投影画
像の特徴量を抽出する手段と、（ｄ）特徴量を用いて第
１の断層画像及び第２の断層画像を座標変換して、第１
の断層画像及び第２の断層画像中の被検物位置を一致さ
せる手段と、（ｅ）画像中の被検物位置を一致させた第
１の断層画像及び第２の断層画像を差分又は合成して、
第１の断層画像及び第２の断層画像間の差分画像又は合
成画像を得る手段とを備え、第２の被検物を基準とする
第１の被検物の差異を検査することを特徴とする。

【００２０】また、本発明に係る投影画像及び断層画像
を用いた検査装置は、（ａ）検査対象である第１の被検
物及び基準となる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射し
て、第１の投影画像及び第２の投影画像を得る手段と、
（ｂ）第１の投影画像及び第２の投影画像の特徴量を抽
出する手段と、（ｃ）特徴量を用いて第１の投影画像及
び第２の投影画像を座標変換して、第１の投影画像及び
第２の投影画像中の被検物位置を一致させる手段と、
（ｄ）画像中の被検物位置を一致させた第１の投影画像
及び第２の投影画像をそれぞれ再構成処理して、画像中
の被検物位置が一致した第１の断層画像及び第２の断層
画像を得る手段と、（ｅ）画像中の被検物位置が一致し
た第１の断層画像及び第２の断層画像を差分又は合成し
て、第１の断層画像及び第２の断層画像間の差分画像又
は合成画像を得る手段と、を備え、第２の被検物を基準
とする第１の被検物の差異を検査することを特徴とす
る。

【００２１】尚、これらの投影画像及び断層画像を用い
た検査装置において、第１の投影画像及び第２の投影画
像の特徴量は、投影角度毎の重心及び慣性モーメントで
ある、ことを特徴とする。

【００２２】また、検査対象である第１の被検物及び基
準となる第２の被検物は、正常な状態においては構造及
び材質が所定の精度の範囲において一致する同一又は類
似の被検物である、ことを特徴とする。

【００２３】

【作用】本発明に係る投影画像を用いた検査装置は、検
査対象である第１の被検物及び基準となる第２の被検物
にそれぞれＸ線を照射して、第１の投影画像及び第２の
投影画像を得る。そしてこれら第１の投影画像及び第２
の投影画像の特徴量を抽出し、この抽出した特徴量を用
いて、第１の投影画像及び第２の投影画像中の被検物位
置が一致するように、第１の投影画像及び第２の投影画
像を座標変換するが、この点に本発明の特徴がある。こ
うして第１の投影画像及び第２の投影画像間の位置合わ
せを行なった後、画像中の被検物位置を一致させた第１
の投影画像及び第２の投影画像の差分又は合成を行な
い、投影画像間の差分画像を得る。

【００２４】従って、例えば画像中の被検物位置を一致
させた第１の投影画像及び第２の投影画像間の差分画像
を適当なしきい値（スレッシュホルド）を用いて２値化
し、しきい値より大きい画素の数を計数すると、この計
数値が所定の値より小さい場合には検査対象である第１
の被検物は良品であり、所定の値より大きい場合には不
良品であると判定することができる。

【００２５】このように本発明に係る投影画像を用いた
検査装置によれば、第１の投影画像及び第２の投影画像
の特徴量を用いて各々の投影画像間の位置合わせを行な
った後、画像中の被検物位置を一致させた第１の投影画
像及び第２の投影画像の差分又は合成を行ない、必要と
する第１の投影画像及び第２の被検物の投影画像間の差
分画像又は合成画像を得ることにより、Ｘ線ＣＴ装置に
おいては常に付随して得られる第１の投影画像及び第２
の投影画像のみを用い、断層画像を再構成するのに要す
る再構成処理時間が不必要となるため、容易、迅速に検
査を行なうことができる。

【００２６】特に、第２の被検物を基準とする第１の被
検物の差異の有無や程度を認識するだけで、その差異の
寸法計測までは必要としない場合に有益であり、その差
異の有無や程度の認識に基づく良否の判定を容易、迅速
に行なうことができる。また、この場合、第１の投影画
像及び第２の投影画像の投影数が、完全な断層画像を得
るために必要な投影数より少なくて済むため、即ち投影
数を削減することが可能となるため、より容易、迅速に
検査を行なうことができる。

【００２７】また、本発明に係る投影画像を用いた検査
装置は、検査対象である第１の被検物及び基準となる第
２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第１の投影画像
及び第２の投影画像を得た後、これら第１の投影画像及
び第２の投影画像の特徴量を抽出し、この抽出した特徴
量を用いて、第１の投影画像及び第２の投影画像中の被
検物位置が一致するように、第１の投影画像及び第２の
投影画像を座標変換する。こうして第１の投影画像及び
第２の投影画像間の位置合わせを行なった後、画像中の
被検物位置を一致させた第１の投影画像及び第２の投影
画像の差分又は合成を行ない、それで得た投影画像間の
差分画像又は合成画像を再構成処理して、差分再構成画
像又は合成再構成画像を得るが、この点に本発明の特徴
がある。

【００２８】従って、例えば差分再構成画像を適当なし
きい値を用いて２値化し、しきい値より大きい画素の数
を計数し、この計数値により検査対象である第１の被検
物の良否を判定することができると共に、第１の被検物
の差異を寸法計測して不良品の解析を行なうことができ
る。

【００２９】このように本発明に係る投影画像を用いた
検査装置によれば、第１の投影画像及び第２の投影画像
の特徴量を用いて第１の投影画像及び第２の投影画像間
の位置合わせを行なった後、画像中の被検物位置が一致
した各々の投影画像間の差分又は合成を実施して得た第
１の被検物及び第２の被検物の投影画像間の差分画像又
は合成画像を再構成処理することにより、必要とする第
１の被検物及び第２の被検物間の差分再構成画像又は合
成再構成画像を１回の再構成処理によって得ることがで
きるため、第２の被検物を基準とする第１の被検物の差
異の有無や差異の程度の認識に基づく良否の判定だけで
なく、差異の寸法計測による不良品の解析を容易、迅速
に行なうことができる。

【００３０】更にまた、本発明に係る投影画像及び断層
画像を用いた検査装置は、検査対象である第１の被検物
及び基準となる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射し
て、第１の投影画像及び第２の投影画像を得た後、これ
ら第１の投影画像及び第２の投影画像をそれぞれ再構成
処理して、第１の断層画像及び第２の断層画像を得る。
そして第１の投影画像及び第２の投影画像の特徴量を抽
出し、この抽出した特徴量を用いて、第１の断層画像及
び第２の断層画像中の被検物位置が一致するように、第
１の断層画像及び第２の断層画像を座標変換するが、こ
の点に本発明の特徴がある。こうして第１の断層画像及
び第２の断層画像間の位置合わせを行なった後、画像中
の被検物位置を一致させた第１の断層画像及び第２の断
層画像の差分又は合成を行なって、断層画像間の差分画
像又は合成画像を得る。

【００３１】従って、例えば断層画像間の差分画像を適
当なしきい値を用いて２値化し、しきい値より大きい画
素の数を計数し、この計数値により検査対象である第１
の被検物の良否を判定することができると共に、第１の
被検物の差異を寸法計測して不良品の解析を行なうこと
ができる。

【００３２】このように本発明に係る投影画像及び断層
画像を用いた検査装置によれば、第１の投影画像及び第
２の投影画像の特徴量を用いて第１の断層画像及び第２
の断層画像間の位置合わせを行なった後、画像中の被検
物位置が一致した各々の断層画像間の差分又は合成を実
施して、必要とする第１の被検物及び第２の被検物の断
層画像間の差分画像又は合成画像を得ることにより、第
２の被検物を基準とする第１の被検物の差異の有無や差
異の程度の認識に基づく良否の判定だけでなく、差異の
寸法計測による不良品の解析を容易かつ高精度に行なう
ことができる。

【００３３】また、本発明に係る投影画像及び断層画像
を用いた検査装置は、検査対象である第１の被検物及び
基準となる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第
１の投影画像及び第２の投影画像を得る。そしてこれら
第１の投影画像及び第２の投影画像の特徴量を抽出し、
この抽出した特徴量を用いて、第１の投影画像及び第２
の投影画像中の被検物位置が一致するように、第１の投
影画像及び第２の投影画像を座標変換する。そして第１
の投影画像及び第２の投影画像間の位置合わせを行なっ
た後、画像中の被検物位置を一致させた第１の投影画像
及び第２の投影画像をそれぞれ再構成処理して、画像中
の被検物位置が一致した第１の断層画像及び第２の断層
画像を得るが、この点に本発明の特徴がある。こうして
画像中の被検物位置が一致した第１の断層画像及び第２
の断層画像を差分又は合成して、断層画像間の差分画像
又は合成画像を得る。

【００３４】従って、例えば断層画像間の差分画像を適
当なしきい値を用いて２値化し、しきい値より大きい画
素の数を計数し、この計数値により検査対象である第１
の被検物の良否を判定することができると共に、第１の
被検物の差異を寸法計測して不良品の解析を行なうこと
ができる。

【００３５】このように本発明に係る投影画像及び断層
画像を用いた検査装置によれば、第１の投影画像及び第
２の投影画像の特徴量を用いて第１の投影画像及び第２
の投影画像間の位置合わせを行なった後、第１の投影画
像及び第２の投影画像をそれぞれ再構成処理して、画像
中の被検物位置が一致した第１の断層画像及び第２の断
層画像を得ることにより、必要とする第１の被検物及び
第２の被検物の断層画像間の差分画像又は合成画像を得
るため、第２の被検物を基準とする第１の被検物の差異
の有無や差異の程度の認識に基づく良否の判定だけでな
く、差異の寸法計測による不良品の解析を容易かつ高精
度に行なうことができる。

【００３６】

【実施例】本発明に係る投影画像又は投影画像及び断層
画像を用いた検査装置の説明に先立って、本発明に係る
投影画像又は投影画像及び断層画像を用いた検査装置の
作用について、図１乃至図５を用いて詳述する。

【００３７】先ず、検査対象である第１の被検物及び基
準となる第２の被検物の投影画像を得る手法を説明す
る。

【００３８】図１は、Ｘ線ＣＴ装置を示す簡略図であ
る。

【００３９】図１において、Ｘ線管１０とＸ線ＩＩ（Im
age Intensifier ；イメージ・インテンシファイヤ）及
びカメラ等からなる検出器１２が相対して設置され、こ
れらの中間には移動可能で回転可能な試料台１４が設置
されている。この試料台１４上には被検物１６が搭載さ
れており、Ｘ線管１０の放射する２次元のファンビーム
（Fan Beam）Ｘ線１８の経路に内接する検査視野（再構
成）領域２０内に位置するように固定されている。ここ
で、検出器１２の並びに添った軸をｔ軸（投影軸）と
し、検査視野領域２０を定義する回転中心を原点Ｏとす
るＸ−Ｙ直角座標系がファンビームＸ線平面をなし、Ｘ
−Ｙ平面に垂直なＺ軸が試料台１４の移動方向及び回転
軸をなす。

【００４０】Ｘ線管１０は、第１のコリメータ２２を介
してファンビームＸ線１８を試料台１４上の被検物１６
に照射する。被検物１６を透過したファンビームＸ線１
８は、第２のコリメータ２４及び検出器シールド２６を
介して検出器１２に入射される。そして検出器１２は、
ファンビームＸ線透過データを測定して、これをＬＯＧ
変換しファンビーム投影画像を得る。このファンビーム
投影画像は、試料台１４、即ち被検物１６を回転するこ
とにより、あらゆる方向から収集される。このようにし
てＸ線ＣＴ装置を用い、被検物１６のファンビーム投影
画像を得る。尚、試料台１４を回転する代わりに、Ｘ線
管１０が被検物１６の周囲を回るようにしてもよい。

【００４１】続いて、ファンビームＸ線ＣＴで得られた
ファンビーム投影画像を、パラレルビーム（Parallel B
eam ）投影画像に変換する。

【００４２】図２（ａ）は、上記図１のＸ線ＣＴ装置を
用いて行なったファンビームＸ線投影を示す模式図、図
２（ｂ）は、変換すべきパラレルビームＸ線投影を示す
模式図、図２（ｃ）は、ファンビームＸ線投影データを
パラレルビームＸ線投影データに並び換える方法を説明
する模式図である。

【００４３】Ｘ線管１０を、被検物１６の周囲のＸ線管
軌道２７上に例えば位置Ａ、Ｂ、Ｃ、…と回す。例えば
位置ＡにあるＸ線管１０から検査視野領域２０を含んで
ａ１〜ａ２〜ａ３に拡がるファンビームＸ線１８を照射
し、そのファンビームＸ線投影データは位置ａにある検
出器配列２８ａにより測定する。同様にして、位置Ｂに
あるＸ線管１０からｂ１〜ｂ２〜ｂ３に拡がるファンビ
ームＸ線１８を照射し、そのファンビームＸ線投影デー
タは位置ｂにある検出器配列２８ｂにより測定し、位置
ＣにあるＸ線管１０からｃ１〜ｃ２〜ｃ３に拡がるファ
ンビームＸ線１８を照射し、そのファンビームＸ線投影
データは位置ｃにある検出器配列２８ｃにより測定す
る。

【００４４】このとき、位置ａ，ｂ，ｃにある検出器配
列２８ａ，２８ｂ，２８ｃが測定したファンビームＸ線
投影データにおいて、Ｘ線透過経路Ａ−ａ１，Ｂ−ｂ
２，Ｃ−ｃ３の投影データを収集することにより、ファ
ンビームＸ線１８を実効的にパラレルビームＸ線３０に
変更され、パラレルビームＸ線投影データを得ることが
できる。実際には、Ｘ線透過経路Ａ−ａ１，Ｂ−ｂ２，
Ｃ−ｃ３の間のパラレルビームＸ線投影データを、ファ
ンビームＸ線投影データより内挿して求める。

【００４５】続いて、図３のように検査対象である第１
の被検物３２Ａ及び基準となる第２の被検物３２Ｂのパ
ラレルビームＸ線投影画像（以下、単に「投影画像」と
いう）を得る。

【００４６】図３（ａ）は、検査視野領域２０に任意に
置いた第１の被検物３２Ａの投影画像を示す模式図、図
３（ｂ）は、検査視野領域２０に任意に置いた第２の被
検物３２Ｂの投影画像を示す模式図である。ここで、検
出器２８の並びに添った軸をｔ軸、検査視野領域２０を
定義する回転中心を原点ＯとしてＸ線透過経路平面をな
す直角座標系をＸ−Ｙ座標、このＸ−Ｙ座標のＸ軸に対
するパラレルビームＸ線３０の投影角度をθとする。

【００４７】第１の被検物３２Ａの投影画像３４Ａは、
投影角度θ毎に投影データｐ_A （ｔ，θ）で与えられ、
第２の被検物３２Ｂの投影画像３４Ｂは、投影角度θ毎
に投影データｐ_B （ｔ，θ）で与えられる。但し、第１
の被検物３２Ａ及び第２の被検物３２Ｂはそれぞれ検査
視野領域２０に任意に置かれているため、Ｘ−Ｙ座標上
の第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの位置は互
いにずれており、各々の投影画像中の被検物位置は一致
していない。従って、第１の被検物３２Ａと第２の被検
物３２Ｂの各々の投影画像中の被検物位置を一致させる
ため、各々の投影画像の特徴量をそれぞれの投影データ
ｐ_A （ｔ，θ），ｐ_B （ｔ，θ）から導出する必要があ
る。

【００４８】次に、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの投影画像の位置合わせに必要な特徴量について
説明する。

【００４９】図４は、Ｘ−Ｙ座標上における第１の被検
物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの位置合わせの概要を説
明するための模式図である。

【００５０】第１の被検物３２Ａ及び第２の被検物３２
Ｂは、図４（ａ），（ｂ）に示すように、それぞれ検査
視野領域２０内に任意に置かれている。この状態から、
図４（ｃ）に示すように、第１の被検物３２Ａの重心位
置及び第２の被検物３２Ｂの重心位置をそれぞれＸ−Ｙ
座標の原点Ｏに平行移動させ、第１の被検物３２Ａの重
心位置と第２の被検物３２Ｂの重心位置を原点Ｏに一致
させる。尚、こうした平行移動の代わりに、第１の被検
物３２Ａの重心位置を第２の被検物３２Ｂの重心位置に
平行移動してもよいし、また逆に、第２の被検物３２Ｂ
の重心位置を第１の被検物３２Ａの重心位置に平行移動
してもよい。更に、図４（ｄ）に示すように、第１の被
検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの一致した重心位置を
中心にして、各々の回転成分αの補正を行なう。こうし
て第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂとを重ね合
わせることができる。

【００５１】即ち、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂとの位置合わせをするための平行移動成分の補正
は、第１の被検物３２Ａ及び第２の被検物３２Ｂの各々
の重心位置を求めることによってなされる。また、回転
成分の補正は、第１の被検物３２Ａ及び第２の被検物３
２Ｂの各々の重心位置を通るθ方向の軸のまわりの慣性
モーメントを求めることによってなされる。

【００５２】従って、第１の被検物３２Ａと第２の被検
物３２Ｂの各々の投影画像中の被検物位置を一致させる
ためには、各々の投影画像の特徴量として、投影角度θ
毎の重心及び重心位置を通るθ方向の軸のまわりの慣性
モーメントを用いることが適している。

【００５３】次に、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの各々の投影画像の特徴量として、投影角度θ毎
の重心位置及びその重心位置を通るθ方向の軸のまわり
の慣性モーメントを抽出する方法を説明する。

【００５４】第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂ
の各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃｅｎ
ｔｒｏｉｄ_A （以下、Ｃ_A と略する），Ｃｅｎｔｒｏｉ
ｄ_B（以下、Ｃ_B と略する）を、各々の投影データｐ_A
（ｔ，θ），ｐ_B （ｔ，θ）から導出すると、次式のよ
うになる。即ち、 Ｃ_A （θ）＝Σｔ×ｐ_A （ｔ，θ）／Σｐ_A （ｔ，θ） …（１） Ｃ_B （θ）＝Σｔ×ｐ_B （ｔ，θ）／Σｐ_B （ｔ，θ） …（２） である。

【００５５】尚、この投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A
（θ），Ｃ_B （θ）は、次に述べる慣性モーメントＭｏ
ｍｅｎｔ（以下、Ｍと略する）を求める処理に用いる他
に、投影画像間の位置合わせのための平行移動成分の補
正に用いる。また、断層画像間の位置合わせのための平
行移動成分の補正には、断層画像のＸＹ軸に平行な投影
角度のｔ軸重心位置のみを利用する。

【００５６】続いて、第１の被検物３２Ａと第２の被検
物３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位
置を通るθ方向の軸のまわりの慣性モーメントＭ
_A （θ），Ｍ_B （θ）を求める。

【００５７】図５はパラレルビームＸ線３０を用いた投
影データ収集を示す模式図であるが、この図５におい
て、検査視野領域内のＸ−Ｙ座標上にある被検物をｆ
（Ｘ，Ｙ）とすると、被検物ｆ（Ｘ，Ｙ）の重心位置を
通るθ方向の軸のまわりの慣性モーメントＭ（θ）は、 Ｍ（θ）＝ΣΣ（（Ｘ sinθ−Ｙ cosθ）−Ｃ（θ））² ×ｆ（Ｘ，Ｙ） …（３） となる。ここで、投影データｐ（ｔ，θ）は、ｔ＝Ｘ s
inθ−Ｙ cosθにおける被検物ｆ（Ｘ，Ｙ）の線積分で
ある。従って、上記（３）式は、 Ｍ（θ）＝Σ（ｔ−Ｃ（θ））² ×Ｐ（ｔ，θ） …（４） となる。

【００５８】従って、第１の被検物３２Ａと第２の被検
物３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位
置を通るθ方向の軸のまわりの慣性モーメントＭ
_A （θ），Ｍ_B （θ）は、 Ｍ_A （θ）＝Σ（ｔ−Ｃ_A （θ））² ×ｐ_A （ｔ，θ） …（５） Ｍ_B （θ）＝Σ（ｔ−Ｃ_B （θ））² ×ｐ_B （ｔ，θ） …（６） 又は、計算を簡単にする為に、 Ｍ_A （θ）＝Σ｜ｔ−Ｃ_A （θ）｜×ｐ_A （ｔ，θ） …（７） Ｍ_B （θ）＝Σ｜ｔ−Ｃ_B （θ）｜×ｐ_B （ｔ，θ） …（８） となる。

【００５９】このようにＸ線ＣＴ装置においては常に付
随して得られる投影画像を利用して、第１の被検物３２
Ａと第２の被検物３２Ｂの各々の重心位置を通るθ方向
の軸のまわりの慣性モーメントＭ_A （θ），Ｍ_B （θ）
の算出を行なうため、これらの算出は投影画像のθ毎の
１次元データ処理で済む。従って、断層画像の重心及び
慣性モーメントの算出がＸＹ軸に垂直な角度方向以外で
内挿処理を伴い、負荷が重いのと比較すると、より簡単
な計算で容易に得ることができる。

【００６０】こうして得られた第１の被検物３２Ａと第
２の被検物３２Ｂの各々の重心位置を通るθ方向の軸の
まわりの慣性モーメントＭ_A （θ），Ｍ_B （θ）間で、
相関が最大となるθｍを導出する。このθｍが、第１の
被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂ間の回転成分であ
る。

【００６１】次に、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの各々の投影画像の特徴量、即ち投影角度θ毎の
ｔ軸重心位置Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）及びそのｔ軸重心
位置Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）を通るθ方向の軸のまわり
の慣性モーメントＭ_A （θ），Ｍ_B （θ）を用いて、第
１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの各々の投影画
像中の被検物位置を一致させる方法を説明する。

【００６２】先ず、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置
Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）がそれぞれｔ軸の原点に一致す
るように、各々の投影画像の変換を行なう。尚、この代
わりに、第１の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θ毎
のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）が第２の被検物３２Ｂの投影
画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_B （θ）に一致す
るように変換してもよいし、また逆に、第２の被検物３
２Ｂの投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ
_B （θ）が第１の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θ
毎のｔ軸重心位置Ｃ_A（θ）に一致するように変換して
もよい。こうして、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂ間の平行移動成分の補正を行なう。

【００６３】続いて、第１の被検物３２Ａと第２の被検
物３２Ｂの各々の重心位置を通るθ方向の軸のまわりの
慣性モーメントＭ_A （θ），Ｍ_B （θ）間で相関が最大
となるようにして導出した第１の被検物３２Ａと第２の
被検物３２Ｂ間の回転成分θｍを用いて、第１の被検物
３２Ａと第２の被検物３２Ｂの各々の投影画像の投影角
度θがθ軸方向に同一角度となるように、各々の投影画
像の変換を行なう。尚、この代わりに、第１の被検物３
２Ａの投影画像の投影角度θが第２の被検物３２Ｂの投
影画像の投影角度θに一致するように変換してもよい
し、また逆に、第２の被検物３２Ｂの投影画像の投影角
度θが第１の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θに一
致するように変換してもよい。こうして、第１の被検物
３２Ａと第２の被検物３２Ｂ間の回転成分の補正を行な
う。

【００６４】以上のような平行移動成分の補正及び回転
成分の補正により、投影画像上での第１の被検物３２Ａ
と第２の被検物３２Ｂの位置を一致させる。即ち、画像
中の被検物位置が一致するように第１の被検物３２Ａと
第２の被検物３２Ｂの投影画像間の位置合わせを行な
う。従って、第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂ
の各々の投影画像間の比較処理が可能となる。

【００６５】次に、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの各々の断層画像中の被検物位置を一致させる方
法を説明する。

【００６６】この断層画像間の位置合わせの方法には、
投影画像の特徴量を用いて投影画像中の被検物位置が一
致するように投影画像間の位置合わせを行なった後、こ
れらの投影画像をそれぞれ再構成処理して、画像中の被
検物位置が一致した断層画像を得る方法と、投影画像の
特徴量を用いて、断層画像中の被検物位置が一致するよ
うに断層画像を座標変換して、断層画像中の被検物位置
を一致させる方法とがある。前者の方法は、実質的には
前述の投影画像中の被検物位置を一致させる方法に帰着
するため、ここでは後者の方法について述べる。

【００６７】先ず、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの各々の断層画像のＸＹ軸に平行な投影角度θの
投影画像のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）を、そ
れぞれ断層画像のＸＹ軸の重心位置として、断層画像の
原点に一致するように、各々の断層画像の変換を行な
う。尚、この代わりに、第１の被検物３２ＡのＸＹ軸の
重心位置が第２の被検物３２ＢのＸＹ軸の重心位置に一
致するように変換してもよいし、また逆に、第２の被検
物３２ＢのＸＹ軸の重心位置が第１の被検物３２ＡのＸ
Ｙ軸の重心位置に一致するように変換してもよい。こう
して、第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂ間の平
行移動成分の補正を行なう。

【００６８】続いて、第１の被検物３２Ａと第２の被検
物３２Ｂの各々の重心位置を通るθ方向の軸のまわりの
慣性モーメントＭ_A （θ），Ｍ_B （θ）間での相関が最
大となるようにして導出した第１の被検物３２Ａと第２
の被検物３２Ｂ間の回転成分θｍを用いて、第１の被検
物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの各々の断層画像がθ軸
方向に同一角度となるように、各々の断層画像の変換を
行なう。尚、この代わりに、第１の被検物３２Ａの断層
画像の角度が第２の被検物３２Ｂの断層画像の角度に一
致するように変換してもよいし、また逆に、第２の被検
物３２Ｂの断層画像の角度が第１の被検物３２Ａの断層
画像の角度に一致するように変換してもよい。こうし
て、第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂ間の回転
成分の補正を行なう。

【００６９】以上のような平行移動成分の補正及び回転
成分の補正により、断層画像上での第１の被検物３２Ａ
と第２の被検物３２Ｂの位置を一致させる。即ち、断層
画像中の被検物位置が一致するように第１の被検物３２
Ａと第２の被検物３２Ｂの断層画像間の位置合わせを行
なう。従って、第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２
Ｂの各々の断層画像間の比較処理が可能となる。

【００７０】次に、画像中の被検物位置を一致させた第
１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの投影画像間の
比較処理又は断層画像間の比較処理を行なうための画像
処理について説明する。尚、画像処理には、画像の合
成、差分、寸法計測、２値化等があるが、ここでは、構
造検査に最も一般的に用いられる画像の差分について述
べる。

【００７１】投影画像中の被検物位置を一致させた第１
の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの各々の投影画像
の差分を行なって得た新たに得た投影画像、即ち投影画
像間の差分画像を作成する。そしてこの投影画像間の差
分画像に基づいて、基準となる第２の被検物３２Ｂに対
する検査対象である第１の被検物３２Ａの差異の程度を
認識することができる。これにより、例えば第１の被検
物３２Ａの良否の判定を行なうことができる。

【００７２】また、投影画像中の被検物位置を一致させ
た第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの投影画像
の差分を行なった後、新たに得た投影画像間の差分画像
を再構成処理することにより、第１の被検物３２Ａと第
２の被検物３２Ｂ間の差分再構成画像を作成する。この
差分再構成画像に基づいて、基準となる第２の被検物３
２Ｂに対する検査対象である第１の被検物３２Ａの差異
の程度を認識して良否の判定を行なうことができると共
に、その差異を寸法計測して不良品の解析を行なうこと
ができる。

【００７３】また、断層画像中の被検物位置を一致させ
た第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの断層画像
の差分を行なって、第１の被検物３２Ａと第２の被検物
３２Ｂの断層画像間の差分画像を作成する。この断層画
像間の差分画像に基づき、基準となる第２の被検物３２
Ｂに対する検査対象である第１の被検物３２Ａの差異の
程度を認識して良否の判定を行なうことができると共
に、その差異を寸法計測して不良品の解析を行なうこと
ができる。

【００７４】以下、本発明に係る投影画像又は投影画像
及び断層画像を用いた検査装置の実施例について、図６
乃至図１８を用いて説明する。

【００７５】（第１の実施例）図６は、本発明の第１の
実施例に係る投影画像を用いた検査装置を示すブロック
図である。

【００７６】本実施例に係る投影画像を用いた検査装置
は、正常な状態においては構造及び材質が所定の精度の
範囲において一致する同一又は類似の被検物を対象とし
て、その被検物の良否を比較検査するものである。

【００７７】そしてこの投影画像を用いた検査装置は、
検査対象である第１の被検物（検査製品）３２Ａ及び基
準となる第２の被検物（正常製品）３２Ｂの各々の投影
画像をそれぞれ取り込む画像入力部４０Ａ，４０Ｂと、
画像入力部４０Ａ，４０Ｂで取り込んだ第１及び第２の
被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像のファンビーム
Ｘ線投影データをそれぞれパラレルビームＸ線投影デー
タに変換するパラレルビーム投影データ変換部４２Ａ，
４２Ｂと、パラレルビーム投影データ変換部４２Ａ，４
２ＢでパラレルビームＸ線投影データに変換された第１
及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像をそ
れぞれ保持する投影画像メモリ部４４Ａ，４４Ｂと、投
影画像メモリ部４４Ａ，４４Ｂに保持する第１及び第２
の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像をそれぞれ読
み出し、各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置
をそれぞれ算出する投影画像重心算出部４６Ａ，４６Ｂ
と、投影画像重心算出部４６Ａ，４６Ｂで算出した、第
１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像の
投影角度θ毎の重心位置データをそれぞれ読み出し、各
々の投影画像の投影角度毎の慣性モーメントをそれぞれ
算出する投影画像慣性モーメント算出部４８Ａ，４８Ｂ
と、投影画像重心算出部４６Ａ，４６Ｂ及び投影画像慣
性モーメント算出部４８Ａ，４８Ｂで得られた、第１及
び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの投影角度θ毎の重心位
置並びに第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂ間の回転
成分（角度ずれ）を用いて、投影画像メモリ部４４Ａ，
４４Ｂに保持する第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂ
の各々の投影画像をそれぞれ座標変換する投影画像変換
部５０Ａ，５０Ｂと、投影画像変換部５０Ａ，５０Ｂで
画像中の第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの位置が
一致するように座標変換した、各々の投影画像間の差分
を実施する投影画像比較部５２と、投影画像比較部５２
で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々
の投影画像の差分画像を用いて、第１及び第２の被検物
３２Ａ，３２Ｂの差異、即ち第１の被検物３２Ａの構造
的欠陥の有無及びその程度を認識し、第１の被検物３２
Ａの良否の判定を行なう判定部５４とから構成されてい
る。

【００７８】以下、各構成部の機能について詳述する。

【００７９】画像入力部４０Ａ，４０Ｂにおいては、上
記図１を用いて説明したように、Ｘ線ＣＴ装置を用い
て、検査対象である第１の被検物３２Ａ及び基準となる
第２の被検物３２Ｂの各々のファンビームＸ線透過デー
タをそれぞれ測定して、これをＬＯＧ変換しファンビー
ム投影画像を得た後、第１及び第２の被検物３２Ａ，３
２Ｂの各々のファンビーム投影画像をそれぞれ取り込
む。尚、このときの第１及び第２の被検物３２Ａ，３２
Ｂの各々のファンビーム投影画像の投影数は、Ｘ線ＣＴ
装置を用いて完全な断層画像を得る場合に必要な投影数
より少なくてよい。

【００８０】パラレルビーム投影データ変換部４２Ａ，
４２Ｂにおいては、上記図２及び上記図３を用いて説明
したように、画像入力部４０Ａ，４０Ｂで取り込んだ第
１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々のファンビー
ム投影画像のファンビームＸ線投影データをパラレルビ
ームＸ線投影データ（以下、単に「投影データ」とい
う）ｐ_A （ｔ，θ），ｐ_B （ｔ，θ）にそれぞれ変換し
て、パラレルビームＸ線投影画像（以下、単に「投影画
像」という）を得る。尚、投影データが最初からパラレ
ルビームＸ線投影データである場合は、この変換は不要
である。

【００８１】投影画像メモリ部４４Ａ，４４Ｂにおいて
は、パラレルビーム投影データ変換部４２Ａ，４２Ｂで
投影データｐ_A （ｔ，θ），ｐ_B （ｔ，θ）に変換され
た第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画
像をそれぞれ保持する。

【００８２】尚、この投影画像メモリ部４４Ａ，４４Ｂ
に保持する第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々
の投影画像をそのまま画像再構成処理を行なうと、それ
ぞれ図７（ａ），（ｂ）に示すような断層画像となる。
即ち、画像中の第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの
位置が一致しない断層画像となる。従って、両者を直ち
に比較検査することはできない。ここで、図７（ａ）に
示す第１の被検物３２Ａは、図７（ｂ）に示す第２の被
検物３２Ｂに比較して、枡目の一部が目詰まりをしてい
るものである。本不良（目詰まり）の様に、長さと幅の
比率が異なる場合、本手法の様にある程度の角度方向か
らの測定データを基に比較検査する必要が有る。

【００８３】投影画像重心算出部４６Ａ，４６Ｂにおい
ては、投影画像メモリ部４４Ａ，４４Ｂに保持する第１
及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像をそ
れぞれ読み出し、投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位
置Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）をそれぞれ算出する。こうし
て算出した第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々
の投影画像の投影角度θに対するｔ軸重心位置Ｃ
_A （θ），Ｃ_B （θ）は、図８のグラフに示すように、
サインカーブとして得られる。

【００８４】投影画像慣性モーメント算出部４８Ａ，４
８Ｂにおいては、投影画像重心算出部４６Ａ，４６Ｂで
算出した、第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々
の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ），
Ｃ_B （θ）をそれぞれ読み出し、各々の投影画像の投影
角度毎の慣性モーメントＭ_A （θ），Ｍ_B （θ）をそれ
ぞれ算出する。こうして算出した第１及び第２の被検物
３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸
重心位置を通るθ方向の軸のまわりの慣性モーメントＭ
_A （θ），Ｍ_B （θ）は、図９のグラフに示すようにな
り、θ方向に一定のずれを有している。

【００８５】従って、第１及び第２の被検物３２Ａ，３
２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎の慣性モーメント
Ｍ_A （θ），Ｍ_B （θ）を比較（相関計算等）し、その
相関が最大となる角度θｍを求めると、この角度θｍが
第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂ間の回転成分（角
度ずれ）となる。

【００８６】図１０のグラフは、第２の被検物３２Ｂの
投影画像の慣性モーメントＭ_B （θ）を、第１の被検物
３２Ａの投影画像の慣性モーメントＭ_A （θ）との相関
が最大になるように、角度θｍ分だけθ方向にシフトし
たものである。このシフトにより、図１０のグラフに示
す第２の被検物３２Ｂの投影画像の慣性モーメントＭ_B
（θ）は、上記図９のグラフに示す第１の被検物３２Ａ
の投影画像の慣性モーメントＭ_A （θ）に一致する。

【００８７】投影画像変換部５０Ａ，５０Ｂにおいて
は、投影画像重心算出部４６Ａ，４６Ｂ及び投影画像慣
性モーメント算出部４８Ａ，４８Ｂで得られた、第１及
び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）並びに
第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂ間の回転成分θｍ
を用いて、第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々
の投影画像をそれぞれ座標変換する。

【００８８】この投影画像の座標変換により、第１及び
第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像中の被検
物位置を一致させるように位置合わせを行なう手順を、
図１１及び図１２を用いて説明する。ここで、図１１
（ａ）は、第１の被検物３２Ａの投影画像のｔ軸補正前
の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）を示す模式
図、図１１（ｂ）は、ｔ軸補正後の投影角度θ毎のｔ軸
重心位置Ｃ_A （θ）を示す模式図であり、図１２（ａ）
は、投影角度θ毎のｔ軸重心位置を一致させた第２の被
検物３２Ｂの投影画像のθ軸補正前の慣性モーメントＭ
_B （θ）を示す模式図、図１２（ｂ）は、θ軸補正後の
慣性モーメントＭ_B （θ）を示す模式図である。尚、各
図中の短冊は、投影角度θ毎の投影画像ｐ（ｔ，
θ₁ ），ｐ（ｔ，θ₂ ），…を示すものである。

【００８９】投影画像重心算出部４６Ａで算出した第１
の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位
置Ｃ_A （θ）は、図１１（ａ）中に実線で示すように、
ｔ軸の原点を軸とするサインカーブを描く。これは上記
図８のグラフに対応するものである。従って、投影角度
θ毎の投影画像ｐ_A （ｔ，θ₁ ），ｐ_A （ｔ，θ₂ ），
…をｔ軸方向にシフトさせるｔ軸補正を行ない、図１１
（ｂ）に示すように、第１の被検物３２Ａの投影画像の
投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）をｔ軸の原点に
一致させる。

【００９０】同様に、第２の被検物３２Ｂの投影画像の
ｔ軸補正を行ない、投影画像重心算出部４６Ｂによって
算出した第２の被検物３２Ｂの投影画像の投影角度θ毎
のｔ軸重心位置Ｃ_B （θ）をｔ軸の原点に一致させる。
こうして第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の
投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ），Ｃ
_B （θ）をｔ軸の原点において一致させる。尚、この代
わりに、第１の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θ毎
のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）が第２の被検物３２Ｂの投影
画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_B （θ）に一致す
るように変換してもよいし、また逆に、第２の被検物３
２Ｂの投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ
_B （θ）が第１の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θ
毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）に一致するように変換して
もよい。

【００９１】続いて、投影画像慣性モーメント算出部４
８Ａ，４８Ｂで導出した第１及び第２の被検物３２Ａ，
３２Ｂ間の回転成分θｍを用いて、図１２（ａ）に示す
第２の被検物３２Ｂの投影角度θ毎の投影画像ｐ
_B （ｔ，θ₁ ），ｐ_B （ｔ，θ₂ ），…を、図１２
（ｂ）に示すように、回転成分θｍ分だけθ軸方向にシ
フトさせるθ軸補正を行なう。そしてこのθ軸補正によ
り、第２の被検物３２Ｂの投影画像の投影角度θを第１
の被検物３２Ａの投影画像の投影角度θに一致させる。
こうして第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の
投影画像の投影角度θが、θ軸方向に同一角度となるよ
うにする。尚、この代わりに、第１の被検物３２Ａ及び
第２の被検物３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θがθ
軸方向に同一角度となるように、各々の投影画像の変換
を行なってもよい。

【００９２】このような第１及び第２の被検物３２Ａ，
３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置
Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）並びに第１及び第２の被検物３
２Ａ，３２Ｂ間の回転成分θｍを用いた投影画像の座標
変換により、投影画像中の第１及び第２の被検物３２
Ａ，３２Ｂの位置を一致させる。

【００９３】投影画像比較部５２においては、投影画像
変換部５０Ａ，５０Ｂで画像中の第１及び第２の被検物
３２Ａ，３２Ｂの位置が一致するように座標変換した、
第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像
間の差分を実施し、投影画像間の差分画像を得る。

【００９４】判定部５４においては、投影画像比較部５
２で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの投
影画像間の差分画像により、第１及び第２の被検物３２
Ａ，３２Ｂの差異、即ち第１の被検物３２Ａの構造的欠
陥の有無及びその程度を認識する。例えば第１及び第２
の被検物３２Ａ，３２Ｂの投影画像間の差分画像を適当
なしきい値を用いて２値化し、収縮及び拡張を行なうこ
とで余分なノイズを除去し、残った差異部分の大きさに
よって構造的欠陥の程度を認識することができる。そし
てその構造的欠陥の程度により、第２の被検物３２Ｂ
（正常製品）を基準とする第１の被検物３２Ａ（検査製
品）の良否の判定を行なう。

【００９５】以上、画像入力部４０Ａ，４０Ｂから判定
部５４に至る処理において得られた画像を、図１３に示
す。図１３（ａ１），（ｂ１）は、それぞれ投影画像メ
モリ部４４Ａ，４４Ｂに保持する第１及び第２の被検物
３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像であり、図１３（ａ
２），（ｂ２）は、それぞれ投影画像変換部５０Ａ，５
０Ｂにおいてｔ軸変換及びθ軸変換を行なった第１及び
第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像であり、
図１３（ｃ）は、投影画像比較部５２において第１及び
第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの投影画像間の差分を実施
した後、その投影画像間の差分画像に２値化処理を施し
た画像である。この図１３（ｃ）に示す画像において、
帯状に黒くなっている部分が、第１及び第２の被検物３
２Ａ，３２Ｂの差異部分、即ち第１の被検物３２Ａの目
詰まり部である。本不良（目詰まり）は、長さと幅の比
率が異なり、単一方向からの測定データのみを用いて正
常・不良の判断を行うと、不良を過少評価する可能性が
ある。本方式は投影画像を用いる事により、この様な誤
りを生じない。

【００９６】このように第１の実施例によれば、第１及
び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ），Ｃ_B （θ）並びに
第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂ間の回転成分θｍ
を用いて投影画像を座標変換し、第１及び第２の投影画
像間の位置合わせを行なった後、画像中の被検物位置が
一致した各々の投影画像間の差分を実施して、第１及び
第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの投影画像間の差分画像を
得ることにより、Ｘ線ＣＴ装置においては常に付随して
得られる第１及び第２の被検物３２Ａ，３２Ｂの投影画
像のみを用い、断層画像を再構成するのに要する再構成
処理時間が不必要となるため、また第１及び第２の被検
物３２Ａ，３２Ｂの投影画像の投影数が完全な断層画像
を得るために必要な投影数より少なくて済むため、第２
の被検物を基準とする第１の被検物の構造的欠陥の有無
や程度を認識するだけで、構造的欠陥の寸法計測までは
必要としない場合においては、その構造的欠陥の有無や
程度の認識に基づく第１の被検物３２Ａの良否の判定を
容易、迅速に行なうことができる。

【００９７】（第２の実施例）図１４は、本発明の第２
の実施例に係る投影画像を用いた検査装置を示すブロッ
ク図である。尚、上記図６に示す投影画像を用いた検査
装置の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し
て説明を省略する。

【００９８】本実施例に係る投影画像を用いた検査装置
も、上記第１の実施例の場合と同様に、同一又は類似の
被検物を対象として、検査対象である第１の被検物の良
否を第２の被検物を基準として比較検査するものであ
る。そしてこの投影画像を用いた検査装置は、画像入力
部４０Ａ、４０Ｂと、パラレルビーム投影データ変換部
４２Ａ、４２Ｂと、投影画像メモリ部４４Ａ、４４Ｂ
と、投影画像重心算出部４６Ａ、４６Ｂと、投影画像慣
性モーメント算出部４８Ａ、４８Ｂと、投影画像変換部
５０Ａ、５０Ｂと、投影画像比較部５２と、投影画像比
較部５２で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ、３２
Ｂの投影画像間の差分画像の再構成処理を行ない、差分
再構成画像を得る画像再構成部５６と、画像再構成部５
６で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの差
分再構成画像により、その差異の程度、即ち第１の被検
物３２Ａの構造的欠陥の程度を計測し、第１の被検物３
２Ａの良否の判定、不良品の解析を行なう判定部５８と
から構成されている。

【００９９】以下、各構成部の機能について詳述する。
但し、画像入力部４０Ａ、４０Ｂから投影画像比較部５
２に至る各構成部の機能は、上記第１の実施例の場合と
同様であるため、説明を省略する。

【０１００】画像再構成部５６においては、投影画像比
較部５２で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ、３２
Ｂの投影画像間の差分画像を新たな投影画像として、こ
の新たな投影画像を再構成処理を行ない、差分再構成画
像の作成を実施する。

【０１０１】判定部５８においては、画像再構成部５６
で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの差分
再構成画像を用いて、第１及び第２の被検物３２Ａ、３
２Ｂの差異の程度、即ち第１の被検物３２Ａの構造的欠
陥の程度を計測し、第１の被検物３２Ａの良否の判定と
共に不良品の解析を行なう。

【０１０２】このように第２の実施例によれば、第１及
び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）並びに
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂ間の回転成分θｍ
を用いて各々の投影画像間の位置合わせを行なった後、
画像中の被検物位置が一致した各々の投影画像間の差分
を実施して得た第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの
投影画像間の差分画像を再構成処理して、第１及び第２
の被検物３２Ａ、３２Ｂの差分再構成画像を得ることに
より、差分再構成画像を得るのに１回の再構成処理しか
必要としないため、検査対象である第１の被検物３２Ａ
の良否の判定だけでなく、その構造的欠陥の寸法計測に
よる不良品の解析を容易、迅速に行なうことができる。

【０１０３】（第３の実施例）図１５は、本発明の第３
の実施例に係る投影画像及び断層画像を用いた検査装置
を示すブロック図である。尚、上記図６に示す投影画像
を用いた検査装置の構成要素と同一の構成要素には同一
の符号を付して説明を省略する。

【０１０４】本実施例に係る投影画像及び断層画像を用
いた検査装置も、上記第１の実施例の場合と同様に、同
一又は類似の被検物を対象として、検査対象である第１
の被検物の良否を第２の被検物を基準として比較検査す
るものである。そしてこの投影画像を用いた検査装置
は、画像入力部４０Ａ、４０Ｂと、パラレルビーム投影
データ変換部４２Ａ、４２Ｂと、投影画像メモリ部４４
Ａ、４４Ｂと、投影画像重心算出部４６Ａ、４６Ｂと、
投影画像慣性モーメント算出部４８Ａ、４８Ｂと、投影
画像メモリ部４４Ａ、４４Ｂに保持する第１及び第２の
被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像をそれぞれ読み
出して、再構成処理を行なう画像再構成部６０Ａ、６０
Ｂと、投影画像重心算出部４６Ａ、４６Ｂ及び投影画像
慣性モーメント算出部４８Ａ、４８Ｂで得られた、第１
及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像の投
影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）並び
に第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂ間の回転成分θ
ｍを用いて、画像再構成部６０Ａ、６０Ｂで得られた第
１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像を
それぞれ座標変換する断層画像変換部６２Ａ、６２Ｂ
と、断層画像変換部６２Ａ、６２Ｂで画像中の第１及び
第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの位置が一致するように座
標変換した、各々の断層画像間の差分又は合成を実施す
る断層画像比較部６４と、断層画像比較部６４で得られ
た第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層画像間の
差分画像又は合成画像を用いて、第１及び第２の被検物
３２Ａ、３２Ｂの差異の大きさ、即ち第１の被検物３２
Ａの構造的欠陥の大きさを計測し、第１の被検物３２Ａ
の良否の判定と共に不良品の解析を行なう判定部６６と
から構成されている。

【０１０５】以下、各構成部の機能について詳述する。
但し、画像入力部４０Ａ、４０Ｂから投影画像慣性モー
メント算出部４８Ａ、４８Ｂに至る各構成部の機能は、
上記第１の実施例の場合と同様であるため、説明を省略
する。

【０１０６】画像再構成部６０Ａ、６０Ｂにおいては、
投影画像メモリ部４４Ａ、４４Ｂに保持する第１及び第
２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像をそれぞれ
読み出して、再構成処理を行ない、第１及び第２の被検
物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像を得る。尚、これら
の断層画像は、これ以前において投影画像からの再構成
により作成したものでもよい。

【０１０７】断層画像変換部６２Ａ、６２Ｂにおいて
は、投影画像重心算出部４６Ａ、４６Ｂ及び投影画像慣
性モーメント算出部４８Ａ、４８Ｂで得られた、第１及
び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）並びに
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂ間の回転成分θｍ
を用いて、画像再構成部６０Ａ、６０Ｂで得られた第１
及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像をそ
れぞれ座標変換する。

【０１０８】この断層画像の座標変換により、第１及び
第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像中の被検
物位置を一致させるように位置合わせを行なう手順を説
明する。

【０１０９】先ず、投影画像重心算出部４６Ａ、４６Ｂ
で算出した第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々
の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、
Ｃ_B（θ）の内、断層画像の座標Ｘ，Ｙ軸に平行な角度
θの重心位置を用いて、断層画像中の第１及び第２の被
検物３２Ａ、３２Ｂの重心位置がそれぞれ断層画像の原
点となるように変換する。こうして、第１及び第２の被
検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像の重心位置を断層
画像の原点において一致させる。尚、この代わりに、第
１の被検物３２ＡのＸ−Ｙ座標の重心位置が第２の被検
物３２ＢのＸ−Ｙ座標の重心位置に一致するように変換
してもよいし、また逆に、第２の被検物３２ＢのＸ−Ｙ
座標の重心位置が第１の被検物３２ＡのＸ−Ｙ座標の重
心位置に一致するように変換してもよい。

【０１１０】続いて、投影画像慣性モーメント算出部４
８Ａ、４８Ｂで導出した第１及び第２の被検物３２Ａ、
３２Ｂ間の回転成分θｍを用いて、第２の被検物３２Ｂ
の断層画像の角度が第１の被検物３２Ａの断層画像の角
度に一致するように、第２の被検物３２Ｂの断層画像を
回転成分θｍ分だけ回転させる変換を行なう。尚、この
代わりに、第１の被検物３２Ａと第２の被検物３２Ｂの
各々の断層画像がθ軸方向に同一角度となるように、各
々の断層画像の変換を行なってもよい。

【０１１１】このような第１及び第２の被検物３２Ａ、
３２Ｂの各々の投影画像の投影角度θ毎のｔ軸重心位置
Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）並びに第１及び第２の被検物３
２Ａ、３２Ｂ間の回転成分θｍを用いた断層画像の座標
変換により、各々の断層画像中の第１及び第２の被検物
３２Ａ、３２Ｂの位置を一致させる。

【０１１２】断層画像比較部６４においては、断層画像
変換部６２Ａ、６２Ｂで画像中の第１及び第２の被検物
３２Ａ、３２Ｂの位置が一致するように座標変換した、
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像
間の差分又は合成を実施し、断層画像間の差分画像を得
る。

【０１１３】判定部６６においては、断層画像比較部６
４で得られた第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断
層画像間の差分画像又は合成画像を用いて、第１及び第
２の被検物３２Ａ、３２Ｂの差異の大きさ、即ち第１の
被検物３２Ａの構造的欠陥の大きさを計測し、第１の被
検物３２Ａの良否の判定と共に不良品の解析を行なう。
例えば第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層画像
間の差分画像を２値化し、収縮及び拡張を行なうことで
余分なノイズを除去し、残った差異部分の大きさ、即ち
第１の被検物３２Ａの構造的欠陥の大きさを計測するこ
とにより、その構造的欠陥の程度に応じて、第２の被検
物３２Ｂを基準とする第１の被検物３２Ａの良否の判定
を行なう。

【０１１４】以上、画像入力部４０Ａ、４０Ｂから判定
部６６に至る処理において得られた画像を、図１６及び
図１７に示す。

【０１１５】図１６（ａ１）、（ｂ１）は、それぞれ画
像再構成部６０Ａ、６０Ｂにおいて投影画像から再構成
された第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断
層画像であり、図１６（ａ２）、（ｂ２）は、それぞれ
断層画像変換部６２Ａ、６２Ｂにおいて画像中の被検物
位置を一致させるように座標変換を行なった第１及び第
２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像であり、図
１６（ｃ）は、断層画像比較部６４において第１及び第
２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層画像間の差分を実施し
て得た各々の断層画像間の差分画像である。この図１６
（ｃ）に示す画像において、黒くなっている部分が、第
１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの差異部分、即ち第
１の被検物３２Ａの目詰まり部である。

【０１１６】また、図１７（ａ１）、（ｂ１）は、上記
図１６（ａ１）、（ｂ１）と同じく、それぞれ画像再構
成部６０Ａ、６０Ｂにおいて投影画像から再構成された
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像
であり、図１７（ａ２）、（ｂ２）は、上記図１６（ａ
２）、（ｂ２）と同じく、それぞれ断層画像変換部６２
Ａ、６２Ｂにおいて画像中の被検物位置を一致させるよ
うに座標変換を行なった第１及び第２の被検物３２Ａ、
３２Ｂの各々の断層画像であり、図１７（ｃ）は、断層
画像比較部６４において第１及び第２の被検物３２Ａ、
３２Ｂの断層画像間の合成を実施して得た各々の断層画
像間の合成画像である。

【０１１７】このように第３の実施例によれば、第１及
び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）並びに
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂ間の回転成分θｍ
を用いて、第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層
画像間の位置合わせを行なった後、画像中の被検物位置
が一致した各々の断層画像間の差分又は合成を実施して
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層画像間の差
分画像又は合成画像を得ることにより、検査対象である
第１の被検物の良否の判定だけでなく、その構造的欠陥
の寸法計測による不良品の解析を容易かつ高精度に行な
うことができる。

【０１１８】（第４の実施例）図１８は、本発明の第４
の実施例に係る投影画像及び断層画像を用いた検査装置
を示すブロック図である。尚、上記図６に示す投影画像
を用いた検査装置の構成要素と同一の構成要素には同一
の符号を付して説明を省略する。

【０１１９】本実施例に係る投影画像及び断層画像を用
いた検査装置も、上記第１の実施例の場合と同様に、同
一又は類似の被検物を対象として、検査対象である第１
の被検物の良否を第２の被検物を基準として比較検査す
るものである。そしてこの投影画像を用いた検査装置
は、画像入力部４０Ａ、４０Ｂと、パラレルビーム投影
データ変換部４２Ａ、４２Ｂと、投影画像メモリ部４４
Ａ、４４Ｂと、投影画像重心算出部４６Ａ、４６Ｂと、
投影画像慣性モーメント算出部４８Ａ、４８Ｂと、投影
画像変換部５０Ａ、５０Ｂと、投影画像変換部５０Ａ、
５０Ｂで画像中の第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂ
の位置が一致するように座標変換した、第１及び第２の
被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像の再構成処理を
行なう画像再構成部６８Ａ、６８Ｂと、画像再構成部６
８Ａ、６８Ｂで得られた、画像中の被検物位置が一致し
ている第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の断
層画像間の差分又は合成を実施する断層画像比較部６４
と、判定部６６とから構成されている。

【０１２０】以下、各構成部の機能について詳述する。
但し、画像入力部４０Ａ、４０Ｂから投影画像慣性モー
メント算出部４８Ａ、４８Ｂに至る各構成部の機能は、
上記第１の実施例の場合と同様であり、断層画像比較部
６４及び判定部６６の各構成部の機能は、上記第３の実
施例の場合と同様であるため、説明を省略する。

【０１２１】画像再構成部６８Ａ、６８Ｂにおいては、
投影画像変換部５０Ａ、５０Ｂで画像中の第１及び第２
の被検物３２Ａ、３２Ｂの位置が一致するように座標変
換した、第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の
投影画像の再構成処理を行ない、第１及び第２の被検物
３２Ａ、３２Ｂの各々の断層画像を得る。従って、各々
の断層画像中の第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの
位置は一致する。

【０１２２】このように第４の実施例によれば、第１及
び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）並びに
第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂ間の回転成分θｍ
を用いて位置合わせを行なった第１及び第２の投影画像
をそれぞれ再構成処理して、画像中の被検物位置が一致
した第１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層画像を
得た後、各々の断層画像間の差分又は合成を実施して第
１及び第２の被検物３２Ａ、３２Ｂの断層画像間の差分
画像又は合成画像を得ることにより、検査対象である第
１の被検物の良否の判定だけでなく、その構造的欠陥の
寸法計測による不良品の解析を容易かつ高精度に行なう
ことができる。

【０１２３】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る投影画像を用いた検査装置によれば、第１及び第２
の投影画像の特徴量を用いて各々の投影画像間の位置合
わせを行なった後、画像中の被検物位置を一致させた第
１及び第２の投影画像の差分又は合成を行ない、第１及
び第２の被検物の投影画像間の差分画像を得ることによ
り、Ｘ線ＣＴ装置においては常に付随して得られる第１
及び第２の投影画像のみを用い、断層画像を再構成する
のに要する再構成処理時間が不必要となるため、また第
１及び第２の投影画像の投影数が完全な断層画像を得る
のに必要な投影数より少なくて済むため、第２の被検物
を基準とする第１の被検物の差異の有無や程度の認識に
基づく良否の判定等の検査を容易、迅速に行なうことが
できる。

【０１２４】また、第１及び第２の投影画像の特徴量を
用いて第１及び第２の投影画像間の位置合わせを行なっ
た後、画像中の被検物位置が一致した各々の投影画像間
の差分又は合成を実施して得た第１及び第２の被検物の
投影画像間の差分画像又は合成画像を再構成処理して、
第１及び第２の被検物間の差分再構成画像又は合成再構
成画像を得ることにより、差分再構成画像又は合成再構
成画像を１回の再構成処理によって得ることができるた
め、第２の被検物を基準とする第１の被検物の良否の判
定等だけでなく、差異の寸法計測による不良品の解析等
の検査を容易、迅速に行なうことができる。

【０１２５】更にまた、本発明に係る投影画像及び断層
画像を用いた検査装置によれば、第１及び第２の投影画
像の特徴量を用いて第１及び第２の断層画像間の位置合
わせを行なった後、画像中の被検物位置が一致した各々
の断層画像間の差分又は合成を実施して、第１及び第２
の被検物の断層画像間の差分画像又は合成画像を得るこ
とにより、第２の被検物を基準とする第１の被検物の良
否の判定等だけでなく、差異の寸法計測による不良品の
解析等の検査を容易かつ高精度に行なうことができる。

【０１２６】また、第１及び第２の投影画像の特徴量を
用いて第１及び第２の投影画像間の位置合わせを行なっ
た後、第１及び第２の投影画像をそれぞれ再構成処理し
て、画像中の被検物位置が一致した第１及び第２の断層
画像を得ることにより、第１及び第２の被検物の断層画
像間の差分画像又は合成画像を得るため、第２の被検物
を基準とする第１の被検物の良否の判定等だけでなく、
差異の寸法計測による不良品の解析等の検査を容易かつ
高精度に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ｘ線ＣＴ装置を示す簡略図である。

【図２】ファンビームＸ線投影、パラレルビームＸ線投
影、及びファンビームＸ線投影データをパラレルビーム
Ｘ線投影データに並び換える方法を説明する模式図であ
る。

【図３】検査視野領域に任意に置いた第１及び第２の被
検物の投影画像を示す模式図である。

【図４】Ｘ−Ｙ座標上における第１の被検物と第２の被
検物の位置合わせの概要を説明するための模式図であ
る。

【図５】パラレルビームＸ線を用いた投影データ収集を
示す模式図である。

【図６】本発明の第１の実施例に係る投影画像を用いた
検査装置を示すブロック図である。

【図７】第１及び第２の被検物の各々の投影画像をその
まま画像再構成処理して得た第１及び第２の被検物の断
層画像を示す図である。

【図８】第１及び第２の被検物の各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）、Ｃ_B （θ）を示す
グラフである。

【図９】第１及び第２の被検物の各々の投影画像の投影
角度θ毎のｔ軸重心位置を通るθ方向の軸のまわりの慣
性モーメントＭ_A （θ）、Ｍ_B （θ）を示すグラフであ
る。

【図１０】第１及び第２の被検物の間の回転成分θｍ分
だけθ方向にシフトさせた第２の被検物の投影画像の慣
性モーメントＭ_B （θ）を示すグラフである。

【図１１】第１の被検物の投影画像のｔ軸補正前後の投
影角度θ毎のｔ軸重心位置Ｃ_A （θ）を示す模式図であ
る。

【図１２】投影角度θ毎のｔ軸重心位置を一致させた第
２の被検物３２Ｂの投影画像のθ軸補正前後の慣性モー
メントＭ_B （θ）を示す模式図である。

【図１３】第１及び第２の被検物の各々の投影画像、ｔ
軸変換及びθ軸変換を行なった第１及び第２の被検物の
各々の投影画像、並びに第１及び第２の被検物の投影画
像間の差分画像に２値化処理を施した画像を示す写真で
ある。

【図１４】本発明の第２の実施例に係る投影画像を用い
た検査装置を示すブロック図である。

【図１５】本発明の第３の実施例に係る投影画像及び断
層画像を用いた検査装置を示すブロック図である。

【図１６】投影画像から再構成された第１及び第２の被
検物の各々の断層画像、画像中の被検物位置を一致させ
るように座標変換を行なった第１及び第２の被検物の各
々の断層画像、並びに第１及び第２の被検物の断層画像
間の差分画像を示す図である。

【図１７】投影画像から再構成された第１及び第２の被
検物の各々の断層画像、画像中の被検物位置を一致させ
るように座標変換を行なった第１及び第２の被検物の各
々の断層画像、並びに第１及び第２の被検物の断層画像
間の合成画像を示す図である。

【図１８】本発明の第４の実施例に係る投影画像及び断
層画像を用いた検査装置を示すブロック図である。

【符号の説明】

１０…Ｘ線管、１２…検出器、１４…試料台、１６…被
検物、１８…ファンビームＸ線、２０…検査視野領域、
２２…第１のコリメータ、２４…第２のコリメータ、２
６…検出器シールド、２７…Ｘ線軌道、２８，２８ａ，
２８ｂ，２８ｃ…検出器配列、３０…パラレルビームＸ
線、３２Ａ…検査対象である第１の被検物、３２Ｂ…基
準となる第２の被検物、３４Ａ，３４Ｂ…投影画像、４
０Ａ，４０Ｂ…画像入力部、４２Ａ，４２Ｂ…パラレル
ビーム投影データ変換部、４４Ａ，４４Ｂ…投影画像メ
モリ部、４６Ａ，４６Ｂ…投影画像重心算出部、４８
Ａ，４８Ｂ…投影画像慣性モーメント算出部、５０Ａ，
５０Ｂ…投影画像変換部、５２…投影画像比較部、５４
…判定部、５６…画像再構成部、５８…判定部、６０
Ａ，６０Ｂ…画像再構成部、６２Ａ，６２Ｂ…断層画像
変換部、６４…断層画像比較部、６６…判定部、６８
Ａ，６８Ｂ…画像再構成部。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象である第１の被検物及び基準と
   なる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第１の投
   影画像及び第２の投影画像を得る手段と、 前記第１の投影画像及び前記第２の投影画像の特徴量を
   抽出する手段と、 前記特徴量を用いて前記第１の投影画像及び前記第２の
   投影画像を座標変換して、前記第１の投影画像及び前記
   第２の投影画像中の被検物位置を一致させる手段と、 画像中の被検物位置を一致させた前記第１の投影画像及
   び前記第２の投影画像を差分又は合成して、前記第１の
   投影画像及び前記第２の投影画像間の差分画像又は合成
   画像を得る手段と、 を備え、前記第２の被検物を基準とする前記第１の被検
   物の差異を検査することを特徴とする投影画像を用いた
   検査装置。
2. 【請求項２】 検査対象である第１の被検物及び基準と
   なる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第１の投
   影画像及び第２の投影画像を得る手段と、 前記第１の投影画像及び前記第２の投影画像の特徴量を
   抽出する手段と、 前記特徴量を用いて前記第１の投影画像及び前記第２の
   投影画像を座標変換して、前記第１の投影画像及び前記
   第２の投影画像中の被検物位置を一致させる手段と、 画像中の被検物位置を一致させた前記第１の投影画像及
   び前記第２の投影画像を差分又は合成して、前記第１の
   投影画像及び前記第２の投影画像間の差分画像又は合成
   画像を得る手段と、 前記第１の投影画像及び前記第２の投影画像間の前記差
   分画像又は前記合成画像を再構成処理して、差分再構成
   画像又は合成再構成画像を得る手段と、 を備え、前記第２の被検物を基準とする前記第１の被検
   物の差異を検査することを特徴とする投影画像を用いた
   検査装置。
3. 【請求項３】 検査対象である第１の被検物及び基準と
   なる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第１の投
   影画像及び第２の投影画像を得る手段と、 前記第１の投影画像及び前記第２の投影画像をそれぞれ
   再構成処理して、第１の断層画像及び前記第２の断層画
   像を得る手段と、 前記第１の投影画像及び前記第２の投影画像の特徴量を
   抽出する手段と、 前記特徴量を用いて前記第１の断層画像及び前記第２の
   断層画像を座標変換して、前記第１の断層画像及び前記
   第２の断層画像中の被検物位置を一致させる手段と、 画像中の被検物位置を一致させた前記第１の断層画像及
   び前記第２の断層画像を差分又は合成して、前記第１の
   断層画像及び前記第２の断層画像間の差分画像又は合成
   画像を得る手段と、 を備え、前記第２の被検物を基準とする前記第１の被検
   物の差異を検査することを特徴とする投影画像及び断層
   画像を用いた検査装置。
4. 【請求項４】 検査対象である第１の被検物及び基準と
   なる第２の被検物にそれぞれＸ線を照射して、第１の投
   影画像及び第２の投影画像を得る手段と、 前記第１の投影画像及び前記第２の投影画像の特徴量を
   抽出する手段と、 前記特徴量を用いて前記第１の投影画像及び前記第２の
   投影画像を座標変換して、前記第１の投影画像及び前記
   第２の投影画像中の被検物位置を一致させる手段と、 画像中の被検物位置を一致させた前記第１の投影画像及
   び前記第２の投影画像をそれぞれ再構成処理して、画像
   中の被検物位置が一致した第１の断層画像及び第２の断
   層画像を得る手段と、 画像中の被検物位置が一致した前記第１の断層画像及び
   前記第２の断層画像を差分又は合成して、前記第１の断
   層画像及び前記第２の断層画像間の差分画像又は合成画
   像を得る手段と、 を備え、前記第２の被検物を基準とする前記第１の被検
   物の差異を検査することを特徴とする投影画像及び断層
   画像を用いた検査装置。
5. 【請求項５】 前記第１の投影画像及び前記第２の投影
   画像の前記特徴量は、投影角度毎の重心及び慣性モーメ
   ントである、ことを特徴とする請求項１又は２記載の投
   影画像を用いた検査装置。
6. 【請求項６】 前記検査対象である第１の被検物及び前
   記基準となる第２の被検物は、正常な状態においては構
   造及び材質が所定の精度の範囲において一致する同一又
   は類似の被検物である、ことを特徴とする請求項１又は
   ２記載の投影画像を用いた検査装置。
7. 【請求項７】 前記第１の投影画像及び前記第２の投影
   画像の投影数は、完全な断層画像を得るために必要な投
   影数より少ない、ことを特徴とする請求項１又は２記載
   の投影画像を用いた検査装置。
8. 【請求項８】 前記第１の投影画像及び前記第２の投影
   画像の前記特徴量は、投影角度毎の重心及び慣性モーメ
   ントである、ことを特徴とする請求項３又は４記載の投
   影画像及び断層画像を用いた検査装置。
9. 【請求項９】 前記検査対象である第１の被検物及び前
   記基準となる第２の被検物は、正常な状態においては構
   造及び材質が所定の精度の範囲において一致する同一又
   は類似の被検物である、ことを特徴とする請求項３又は
   ４記載の投影画像及び断層画像を用いた検査装置。