JPH0951172A - Manufacture of multilayer printed board provided with blind bias hole - Google Patents

Manufacture of multilayer printed board provided with blind bias hole

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JPH0951172A
JPH0951172A JP20311395A JP20311395A JPH0951172A JP H0951172 A JPH0951172 A JP H0951172A JP 20311395 A JP20311395 A JP 20311395A JP 20311395 A JP20311395 A JP 20311395A JP H0951172 A JPH0951172 A JP H0951172A
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JP
Japan
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copper foil
multilayer printed
inner layer
hole
bias hole
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Pending
Application number
JP20311395A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Tanaka
恭夫 田中
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Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Original Assignee
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Gas Chemical Co Inc filed Critical Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
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Publication of JPH0951172A publication Critical patent/JPH0951172A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a multilayer printed board, a semiconductor carrier and a plastic semiconductor package provided with a blind bias hole which has high heat resistance, high insulation and low dielectric constant at low cost and by simple method. SOLUTION: A multilayer board, which has at least one layer of inner layer circuit and copper foil over both outermost layers, is laminated with copper plated laminated thermosetting resin board, which has heat resistant organic fiber non-woven fabric as base material, a same kind base material, prepreg, which is composed of resin, and/or copper foil. Then, laser beams are applied after forming the multilayer, and various bias holes are formed at one time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、低コストで、製造
工程が複雑でなく、高耐熱、高絶縁性、低誘電率のブラ
インドバイアス孔を有する多層プリント回路板、半導体
キャリアー、プラスチック半導体パッケージの製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer printed circuit board, a semiconductor carrier, and a plastic semiconductor package which have a low cost, a complicated manufacturing process, a high heat resistance, a high insulating property, and a low dielectric constant blind bias hole. It relates to a manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】ブラインドバイアス孔を有する、多層プ
リント回路板の製造方法には、1:ビルドアップ法、及
び、2:両面板および多層プリント板のリラミネーショ
ン法が一般的によく知られている。1のビルドアップ法
における、ブラインドバイアス孔を有する多層プリント
板の製造方法は、導体回路を形成した、両面板、また
は、多層板の片面または両面に光および熱硬化性樹脂を
塗布し、必要に応じて熱により予備硬化させ、その後に
マイクロバイアス孔が形成される箇所に光があたらない
ようにマスクを用いて、光硬化させ、光硬化していない
部分を現像し、その後に必要に応じて熱硬化させる。そ
して、無電解メッキそして/または電気メッキ、または
スパッタリングにて、導体回路を形成する。より多層化
するためには、上記工程を繰り返す。光によりマイクロ
バイアス孔を形成するために、位置精度良く、高密度に
孔を形成できるが、多層化すればするほどその工程が複
雑であり、高コストである。加えて、光硬化性樹脂が必
須であるために、絶縁、密着、耐薬品性、耐熱性等の特
性を向上させるのに、樹脂の選択に制限が有り、自由度
が少ない問題がある。
2. Description of the Related Art As a method of manufacturing a multilayer printed circuit board having blind bias holes, a 1: build-up method and a 2: lamination method of a double-sided board and a multilayer printed board are generally well known. . In the method of manufacturing a multilayer printed board having a blind bias hole in the build-up method of No. 1, a light- and thermosetting resin is applied to one side or both sides of a double-sided board or a multi-layer board on which a conductor circuit is formed. Pre-cure with heat, and then use a mask to prevent light from hitting the micro-bias holes where it will be formed. Heat cure. Then, a conductor circuit is formed by electroless plating and / or electroplating or sputtering. The above steps are repeated for more layers. Since the micro-bias holes are formed by light, the holes can be formed with high positional accuracy and high density. However, the process becomes more complicated and costly as the number of layers increases. In addition, since the photocurable resin is essential, there is a problem that the selection of the resin is limited and the degree of freedom is small in order to improve the properties such as insulation, adhesion, chemical resistance, and heat resistance.

【0003】また、2の両面板および多層プリント板の
リラミネーション法は、両面板及び多層プリント板を各
々、公知の方法で作製し、その両者を接着するためにリ
ラミを行う。その後に、必要に応じて、接着された多層
プリント板の導体回路と接続するためにスルーホールを
形成し、その後に、無電解メッキそして/または、電気
メッキにて導体回路を形成し、PWB化する。スルーホ
ール形成には、ドリルを用いる方法が一般的であるが、
超小径孔あけには限界があり、高密度化には限界があ
る。加えて、リラミネーション工程等が必須であるため
に、その工程が煩雑であり、高コストとなる。
In the relamination method for a double-sided board and a multilayer printed board, the double-sided board and the multilayer printed board are each manufactured by a known method, and laminating is performed to bond the both. After that, if necessary, a through hole is formed to connect with the conductor circuit of the adhered multilayer printed board, and then a conductor circuit is formed by electroless plating and / or electroplating to form a PWB. To do. A method using a drill is generally used for forming the through hole,
There is a limit to the ultra-small diameter drilling, and there is a limit to high density. In addition, since the relamination process and the like are indispensable, the process is complicated and the cost becomes high.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した、ブ
ラインドバイアス孔を有する多層プリント板の欠点を解
消し、信頼性が高く、製造工程が通常の多層プリント板
とほぼ同一であるために、複雑でなく、しかも低コスト
であるブラインドバイアス孔を有する多層プリント板の
製造方法に関するものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of a multilayer printed board having a blind bias hole, has high reliability, and its manufacturing process is almost the same as that of a normal multilayer printed board. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed board having blind bias holes which is not complicated and is low in cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、内
層回路が少なくとも1層あり、上部外層回路と内層回
路、もしくは上部外層と下部外層回路、もしくは内層回
路間、もしくは内層回路と下部外層間、もしくは全層が
少なくとも1個のブラインドバイアス孔で導通されてい
る形の多層プリント板の製造方法であって、 スルーホールで表裏もしくは内層回路が導通された
多層プリント板であって、該多層プリント板の片側の表
面であり、しかも、最終的に内層回路とする、外層面に
は、少なくともブラインドバイアス孔とメッキで導通す
るためのランドを形成しておく工程、 該ブラインドバイアス孔との導通用ランドが形成さ
れた多層プリント板外層に、耐熱性有機繊維不織布基材
熱硬化性樹脂プリプレグを用いて、銅箔を接着するか、
もしくは、該プリプレグを用い、耐熱性有機繊維不織布
基材熱硬化性樹脂銅張シートを用いて、ブラインドバイ
アス孔を形成すべき内層回路ランドのほぼ中央にブライ
ンドバイアス孔の径の大きさに相当する部分の銅箔をエ
ッチング除去した内層回路を形成した内層回路板を接着
する工程、 の最外層銅箔面のブラインドバイアス孔を形成す
べき内層ランドに相当する位置の銅箔を、内層ランドの
大きさより小さく、ブラインドバイアス孔の径の大きさ
より大きく、銅箔をエッチング除去する工程、 耐熱性有機繊維不織布基材熱硬化性樹脂絶縁体層の
絶縁体厚さを除去するのに必要なエネルギーで炭酸ガス
レーザーをの最外層面から照射して、ブラインドバイ
アス孔を形成する工程、 無電解メッキ、そして/または電気メッキ工程によ
りブラインドバイアス孔にメッキ層を析出させる工程お
よび 最終的に両最外層に外層回路を形成する工程 からなるブラインドバイアス孔を有する多層プリント板
の製造方法である。
That is, according to the present invention, there is at least one inner layer circuit, and an upper outer layer circuit and an inner layer circuit, an upper outer layer and a lower outer layer circuit, or an inner layer circuit, or an inner layer circuit and a lower outer layer. Or a method for manufacturing a multilayer printed board in which all layers are electrically connected by at least one blind bias hole, the multilayer printed board having front and back or inner layer circuits electrically connected by through holes. A step of forming a land for conducting at least the blind bias hole by plating on the outer surface, which is the surface on one side of the plate and finally becomes the inner layer circuit, for conducting the blind bias hole To the outer layer of the multilayer printed board on which the land is formed, use a heat-resistant organic fiber non-woven fabric base thermosetting resin prepreg to bond a copper foil, or
Alternatively, by using the prepreg and using a heat-resistant organic fiber non-woven fabric base material thermosetting resin copper-clad sheet, it corresponds to the diameter of the blind bias hole substantially in the center of the inner layer circuit land where the blind bias hole is to be formed. The step of adhering the inner layer circuit board on which the inner layer circuit is formed by etching away the copper foil in the part, and the copper foil at the position corresponding to the inner layer land where the blind bias hole on the outermost copper foil surface is to be formed Smaller than the size of the diameter of the blind bias hole, the step of etching away the copper foil, the heat-resistant organic fiber non-woven fabric base material, the thermosetting resin, and the energy required to remove the insulation thickness of the insulation layer. Brazing is performed by irradiating a gas laser from the outermost layer surface to form blind bias holes, electroless plating, and / or electroplating. A method for manufacturing a multilayer printed circuit board having a blind bias hole comprises the step of forming the outer circuit to process and finally both outermost layers to deposit a plating layer on the command bias hole.

【0006】すなわち、本発明の特徴は、1層以上の内
層回路が形成され、両最外層が全面銅箔層が形成された
多層板を、耐熱性有機繊維不織布基材熱硬化性樹脂銅張
積層板及び、同種の基材、樹脂で構成されたプリプレ
グ、そして/または、銅箔を用いて積層し、多層化し、
さらに、両面または多層板とリラミネーションを行い、
レーザー光を照射し、各種バイアス孔を1度に形成する
ことで問題を解決するものである。
That is, a feature of the present invention is that a heat-resistant organic fiber non-woven fabric base material thermosetting resin copper-clad is applied to a multilayer board in which one or more inner layer circuits are formed and both outermost layers are entirely copper foil layers. Laminated sheets and the same type of base material, prepreg made of resin, and / or laminated using a copper foil to form a multilayer,
Furthermore, we perform relamination with both sides or multilayer board,
The problem is solved by irradiating a laser beam and forming various bias holes at once.

【0007】本発明における、耐熱性有機繊維不織布と
しては、好適には液晶ポリエステル繊維である。液晶ポ
リエステル不織布とは、液晶ポリエステル系樹脂を紡糸
することによって得られた液晶ポリエステル系繊維を用
いた不織布である。また、液晶ポリエステル系樹脂と
は、異方性溶融相を形成することのできるポリマーであ
る。液晶ポリエステル系繊維は、特に限定されるもので
はないが、全芳香族ポリエステル(すなわち、主鎖が芳
香族環の繰り返し単位から構成されるポリエステル)樹
脂からなるものが好ましい。従って、芳香族ジオール、
芳香族ジカルボン酸、及び/又は芳香族ヒドロキシカル
ボン酸を適宜組み合わせて得られる樹脂からなる。これ
らの中でも、p-ヒドロキシ安息香酸と2-ヒドロキシナフ
タレン−6-カルボン酸とのポリエステル共重合体は紡糸
性および耐熱性のバランスに優れているので、好適に使
用することができ、p-ヒドロキシ安息香酸とテレフタル
酸と 4,4'-ヒドロキシフェニルとのポリエステル共重合
体は耐熱性に優れているために、好適に使用できる。ま
た、上記の液晶ポリエステル不織布を、プラズマ処理
や、カレンダー処理されたものや、スパンコールのもの
を適宜使用しうる。
The heat-resistant organic fiber nonwoven fabric in the present invention is preferably liquid crystal polyester fiber. The liquid crystal polyester non-woven fabric is a non-woven fabric using liquid crystal polyester based fibers obtained by spinning a liquid crystal polyester based resin. Further, the liquid crystal polyester resin is a polymer capable of forming an anisotropic molten phase. The liquid crystal polyester fiber is not particularly limited, but a fiber made of wholly aromatic polyester (that is, polyester whose main chain is composed of repeating units of aromatic rings) resin is preferable. Therefore, the aromatic diol,
A resin obtained by appropriately combining an aromatic dicarboxylic acid and / or an aromatic hydroxycarboxylic acid. Among these, a polyester copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 2-hydroxynaphthalene-6-carboxylic acid has excellent balance of spinnability and heat resistance, and therefore can be preferably used, and p-hydroxy A polyester copolymer of benzoic acid, terephthalic acid, and 4,4'-hydroxyphenyl has excellent heat resistance and can be preferably used. Further, the above-mentioned liquid crystal polyester nonwoven fabric may be appropriately treated with plasma treatment, calendar treatment, or sequin.

【0008】熱硬化性樹脂組成物とは、公知のエポキシ
樹脂、シアネート樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル
樹脂、アクリル樹脂、ポリブタジエン樹脂、ジアリルフ
タレート樹脂等の熱硬化性樹脂の1種もしくは2種以上
の混合物と、及び、これらの樹脂の公知の硬化剤、触
媒、または、必要に応じて溶剤を混合してなる組成物で
あり、また、改質用として、アクリロニトリルブタジエ
ンゴム等のゴム類、ポリブタジエン樹脂等の熱硬化、熱
可塑性樹脂や、さらに、染料、界面活性剤、消泡剤、カ
ップリング剤等も混合しうる。
The thermosetting resin composition is a known epoxy resin, cyanate resin, phenol resin, polyester resin, acrylic resin, polybutadiene resin, diallyl phthalate resin or other thermosetting resin, or a mixture of two or more thereof. And a known curing agent for these resins, a catalyst, or a composition obtained by mixing a solvent as the case requires, and for modification, rubbers such as acrylonitrile-butadiene rubber, polybutadiene resin, etc. The thermosetting and thermoplastic resins mentioned above, and dyes, surfactants, defoaming agents, coupling agents and the like may be mixed.

【0009】耐熱性有機繊維不織布への上記の熱硬化性
樹脂組成物の溶液または、液状無溶剤状のものを公知の
方法で、含浸、乾燥しうる。この時の樹脂量は、40〜70
wt%、成形厚は、0.03〜0.25mmが好適である。
A solution of the above-mentioned thermosetting resin composition in a heat-resistant organic fiber non-woven fabric or a liquid solvent-free solution can be impregnated and dried by a known method. The amount of resin at this time is 40 to 70
The wt% and the molding thickness are preferably 0.03 to 0.25 mm.

【0010】レーザー照射によるブラインドバイアス孔
あけにおいて、レーザー光を照射したくない部分をレー
ザー光から遮蔽する為、多層プリント板の最外層銅箔を
照射する部分のみをエッチング等により除去しておくこ
とによりブラインドバイアス孔が形成される。
In the blind bias hole drilling by laser irradiation, in order to shield the portion which is not desired to be irradiated with laser light from the laser light, only the portion to be irradiated with the outermost copper foil of the multilayer printed board should be removed by etching or the like. Thereby forming a blind bias hole.

【0011】レーザー光でのブラインドバイアス孔の孔
あけにおけるレーザーは、炭酸ガスレーザー、エキシマ
レーザーが使用しうるが、好適には、炭酸ガスレーザー
である。炭酸ガスレーザーの照射条件は、レーザーの照
射フルエンス(エネルギー密度)を表す、M値(縮小
率)は、5〜20、好適には、8〜14である。また、パル
ス数は、除去する電気絶縁層の厚さ、加工速度、および
照射フルエンスにより一意に決められる。
A carbon dioxide gas laser or an excimer laser can be used as a laser for forming a blind bias hole with a laser beam, but a carbon dioxide gas laser is preferable. The carbon dioxide gas laser irradiation conditions represent the irradiation fluence (energy density) of the laser. The M value (reduction ratio) is 5 to 20, preferably 8 to 14. The number of pulses is uniquely determined by the thickness of the electrically insulating layer to be removed, the processing speed, and the irradiation fluence.

【0012】本発明により、ブラインドバイアス孔を有
する多層プリント板が複雑な製造工程を経ること無く、
安価に製造する事が出来る。
According to the present invention, a multilayer printed board having a blind bias hole can be manufactured without complicated manufacturing steps.
It can be manufactured at low cost.

【0013】本発明の詳細な製造方法を図によって説明
する。図1におけるプリプレグ3は、厚み0.06mmの液晶
ポリエステル不織布(p-ヒドロキシ安息香酸と2-ヒドロ
キシナフタレン−6-カルボン酸とからなる)にエポキシ
樹脂組成物を公知の方法で含浸、硬化させることにより
得た。
The detailed manufacturing method of the present invention will be described with reference to the drawings. The prepreg 3 in FIG. 1 is obtained by impregnating a liquid crystal polyester non-woven fabric (consisting of p-hydroxybenzoic acid and 2-hydroxynaphthalene-6-carboxylic acid) with a thickness of 0.06 mm with an epoxy resin composition by a known method and curing it. Obtained.

【0014】得られたプリプレグの両面に35μmの電解
銅箔を重ねた構成とし、圧力1.96MPa(20kgf/cm2)、
180℃、2時間の条件で積層成形し、絶縁層厚み0.06mm
の両面銅張積層板を得た。得られた両面銅張積層板を公
知の方法で回路を形成し、導体回路シート1および導体
回路2を得た。このとき、ブラインドバイアス孔の径に
相当する部分の銅箔がエッチング除去されている形状の
銅箔ランドは、図1及び図2に示すように、ブラインド
バイアス孔の最低部には、ブラインドバイアス孔の大き
さより大きい径の銅箔ランドが形成されてあり(図1:1
-(a))、そして、該最低部の銅箔ランドの真上の中間層
回路には、ブラインドバイアス孔の径より大きい径の銅
箔ランドが形成されていて、しかも、該銅箔ランドのほ
ぼ中央部ブラインドバイアス孔の径に相当する部分の銅
箔がエッチング除去されている形状の銅箔ランド(図
1:1-(b))が形成されている。
A 35 μm electrolytic copper foil was laminated on both sides of the obtained prepreg, and the pressure was 1.96 MPa (20 kgf / cm 2 ).
Laminated and molded under the conditions of 180 ℃ for 2 hours, insulation layer thickness 0.06mm
A double-sided copper clad laminate was obtained. A circuit was formed on the obtained double-sided copper clad laminate by a known method to obtain a conductor circuit sheet 1 and a conductor circuit 2. At this time, as shown in FIGS. 1 and 2, the copper foil land having a shape in which the copper foil in the portion corresponding to the diameter of the blind bias hole is removed by etching is located at the lowest part of the blind bias hole. Copper foil land with a diameter larger than the size of
-(a)), and in the intermediate layer circuit immediately above the lowest copper foil land, a copper foil land having a diameter larger than the diameter of the blind bias hole is formed. A copper foil land (FIG. 1: 1- (b)) is formed by etching away the copper foil in a portion corresponding to the diameter of the blind bias hole in the central portion.

【0015】ブラインドバイアス孔の径に相当する部分
がエッチング除去された内層ランド(図1:2-(c))の真
上の内層に内層ランドを設けるために、内層ランド(2-
(c))に形成されたブラインドバイアス孔の径に相当す
る部分の銅箔がエッチング除去されているブラインドバ
イアス孔の径より大きくなるように内層ランドのほぼ中
央の銅箔を除去してなる内層ランド:(図1:2-(d))を
形成し、さらに、内層ランド(2-(d))の真上の層にも、
ブラインドバイアス孔の径に相当する部分がエッチング
除去された内層ランド(図1:1-(e)) を形成した。内層
ランド(1-(e)) のエッチング除去されている部分は、そ
の真下の内層ランド(2-(d))の大きさより小さく、内層
ランド(2-(d))のエッチング除去されている部分より大
きく形成した。また同様に、ブラインドバイアス孔の径
に相当する部分がエッチング除去されている内層ランド
(図1:1-(f),2-(f)) も形成した。尚、上記のブライン
ドバイアス孔に相当する部分がエッチング除去された内
層ランドの銅がエッチング除去された部分は、より上の
層が大きい形状になっているが、これは、積層成形時等
で層間ズレが多少発生した場合でも、次に述べるレーザ
ー加工によるブラインドバイアス孔の信頼性を向上させ
るためには、必須の条件である。
In order to provide the inner layer land directly above the inner layer land (FIG. 1: 2- (c)) where the portion corresponding to the diameter of the blind bias hole is removed by etching, the inner layer land (2-
Inner layer formed by removing the copper foil in the center of the inner layer land so that the copper foil in the portion corresponding to the diameter of the blind bias hole formed in (c)) is larger than the diameter of the blind bias hole that has been etched away. Land: (Fig. 1: 2- (d)) is formed, and further on the layer directly above the inner layer land (2- (d)),
An inner layer land (FIG. 1: 1- (e)) was formed by etching away a portion corresponding to the diameter of the blind bias hole. The area of the inner layer land (1- (e)) that has been etched away is smaller than the size of the inner layer land (2- (d)) immediately below it, and the inner layer land (2- (d)) has been etched away. It was formed larger than the part. Similarly, inner layer lands (FIG. 1: 1- (f), 2- (f)) in which the portion corresponding to the diameter of the blind bias hole was removed by etching were also formed. The upper layer is larger in the inner layer land where the copper corresponding to the blind bias hole is removed by etching. Even if some deviation occurs, it is an indispensable condition for improving the reliability of the blind bias hole by the laser processing described below.

【0016】得られたプリプレグ3、内層回路シート
1、内層回路シート2及び18μmの電解銅箔を図1の構
成で積み重ね合わせた。該積み重ね合わせた材料の上下
面に 2.0mmのステンレス板を配置し、圧力2.94 MPa(30
kgf/cm2)、 180℃、2時間の条件で積層成形し、多層回
路板を得た。得られた多層回路板の最終的に内層回路と
なる外層銅箔を公知の方法を用いてブラインドバイアス
孔の径に相当する大きさの銅箔がエッチング除去された
内層ランドを作成した(図2)。この内層ランドの大き
さは、真上の中間層回路上の銅箔がエッチング除去され
ている部分の大きさより大きく、しかも、ブラインドバ
イアス孔の径に相当する部分がエッチング除去されてい
る部分の大きさは、真上の中間層回路上のその部分の大
きさより小さい形状である。
The resulting prepreg 3, inner layer circuit sheet 1, inner layer circuit sheet 2 and 18 μm electrolytic copper foil were stacked in the configuration shown in FIG. A 2.0 mm stainless steel plate is placed on the upper and lower surfaces of the stacked materials, and the pressure is 2.94 MPa (30
(kgf / cm 2 ), 180 ° C., and laminated for 2 hours to obtain a multilayer circuit board. The outer layer copper foil which finally becomes the inner layer circuit of the obtained multilayer circuit board was formed by using a known method to remove the copper foil having a size corresponding to the diameter of the blind bias hole by etching to form an inner layer land (FIG. 2). ). The size of this inner layer land is larger than the size of the portion of the intermediate layer circuit immediately above where the copper foil is removed by etching, and the size of the portion where the portion corresponding to the diameter of the blind bias hole is removed by etching. The size is smaller than the size of the portion on the intermediate layer circuit immediately above.

【0017】スルーホールで表裏が導通された両面回路
板であって、該両面回路板の、最終的に最外層となる銅
箔面は、スルーホール部分以外は全面銅箔で被覆されて
あり、この銅箔面と反対面の、最終的に中間層回路とな
る銅箔面は前述の多層回路板のブラインドバイアス孔と
導通するためのランドを公知の方法で銅箔をエッチング
除去して作製した(図3)。
A double-sided circuit board in which the front and back sides are electrically connected by through holes, and the copper foil surface, which is finally the outermost layer of the double-sided circuit board, is entirely covered with copper foil except for the through-hole portions. The copper foil surface, which is the surface opposite to the copper foil surface, which will eventually become the intermediate layer circuit, was produced by etching away the copper foil by a known method to connect the land for conduction with the blind bias holes of the above-mentioned multilayer circuit board. (Figure 3).

【0018】図2の多層板と図3のスルーホールを有す
る両面回路板との内層回路とすべき面の位置を合わせ、
プリプレグ3をその間にいれる構成とし、該積み重ねあ
わせた材料の上下面に 2.0mmのステンレス板を配置し、
圧力1.96 MPa(20kgf/cm2)、180℃、2時間の条件で積
層成形し、多層回路板を得た。尚、この積層成形時に、
スルーホールを有する両面回路板のスルーホールにプリ
プレグ3の樹脂が流れ込み、最外層銅箔とステンレス板
との間にしみだすのを防止するために、最外層銅箔とス
テンレス板との間に離形性を有するフィルムをいれる構
成でも作製できる。
The multilayer board of FIG. 2 and the double-sided circuit board having through holes of FIG.
A prepreg 3 is inserted between them, and 2.0 mm stainless steel plates are arranged on the upper and lower surfaces of the stacked materials,
A multilayer circuit board was obtained by laminating and molding at a pressure of 1.96 MPa (20 kgf / cm 2 ), 180 ° C. for 2 hours. In addition, at the time of this lamination molding,
In order to prevent the resin of the prepreg 3 from flowing into the through holes of the double-sided circuit board having through holes and exuding between the outermost copper foil and the stainless steel plate, the outermost copper foil and the stainless steel plate are separated from each other. It can also be produced by using a structure having a property.

【0019】得られた多層回路板の最上部にあたる外銅
箔層を公知の方法によりブラインドバイアス孔の径に相
当する部分の銅箔をエッチング除去した。この時の、エ
ッチング除去された銅箔部分の大きさは、該除去する部
分の真下の内層回路ランドの径より小さく、真下のラン
ドのほぼ中央がエッチング除去された部分の径より大き
く形成し、レーザー加工用多層回路板とした(図4)。
The outermost copper foil layer corresponding to the uppermost portion of the obtained multilayer circuit board was etched and removed by a known method at a portion corresponding to the diameter of the blind bias hole. At this time, the size of the copper foil portion removed by etching is smaller than the diameter of the inner layer circuit land directly below the portion to be removed, and substantially the center of the land directly below is formed larger than the diameter of the portion removed by etching. A multilayer circuit board for laser processing was used (Fig. 4).

【0020】レーザー加工用多層回路板を炭酸ガスレー
ザー(住友重機械工業社製、IMPACTRASER:IMPACT2150)
をもちいてブラインドバイアス孔の加工を実施した。得
られた銅張積層板をメッキし、導体回路を形成し、プリ
ント板化した。(図5)
Carbon dioxide laser for laser processing multilayer circuit board (Sumitomo Heavy Industries, Ltd., IMPACTRASER: IMPACT2150)
The blind bias holes were processed by using. The copper clad laminate thus obtained was plated to form a conductor circuit, and a printed board was formed. (Fig. 5)

【0021】以上、本発明の詳細な説明、詳細な製造方
法からも明らかなように、ブラインドバイアス孔を有す
る多層プリント板の製造方法によれば、1層以上の内層
回路が形成され、両最外層が全面銅箔で形成された多層
板を、耐熱性有機繊維不織布基材熱硬化性樹脂銅張積層
板及び、同種の基材、樹脂で構成されたプリプレグ、そ
して/または、銅箔を用いて積層し、多層化し、さら
に、スルーホールを有する両面回路板、または多層回路
板とのリラミネーションを行い、多層化した後に、レー
ザー光を照射し、各種バイアス孔を1度に形成する事に
より、低コストで、製造工程が複雑でなく、高耐熱、高
絶縁性、低誘電率、高機能化を付加できるブラインドバ
イアス孔を有する多層プリント回路板の製造が可能にな
り、その意義は極めて高いものである。
As is clear from the detailed description of the present invention and the detailed manufacturing method thereof, according to the method of manufacturing a multilayer printed board having a blind bias hole, one or more inner layer circuits are formed and both inner layers are formed. Using a heat-resistant organic fiber non-woven fabric substrate thermosetting resin copper clad laminate and a substrate of the same kind, a prepreg composed of resin, and / or a copper foil By laminating and stacking to make multiple layers, and then performing relamination with a double-sided circuit board having through holes or a multilayer circuit board, and making a multilayer structure by irradiating laser light and forming various bias holes at once. It is possible to manufacture a multilayer printed circuit board with a blind bias hole that can add high heat resistance, high insulation, low dielectric constant and high functionality at low cost, without complicated manufacturing process, its significance is extremely high. It is high.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のブラインドバイアス孔の径に相当する
部分がエッチング除去された内層ランドを有する多層プ
リント板の製造に使用する層構成を模式的に示した断面
斜視図である。
FIG. 1 is a cross-sectional perspective view schematically showing a layer structure used for manufacturing a multilayer printed board having an inner layer land in which a portion corresponding to the diameter of a blind bias hole of the present invention is removed by etching.

【図2】一体化されたブラインドバイアス孔の径に相当
する部分がエッチング除去された内層ランドを有する多
層回路板の最終的に内層回路となる銅箔層にブラインド
バイアス孔径に相当する銅箔がエッチング除去された内
層ランドが作成された多層回路板を模式的に示した断面
図である。
FIG. 2 shows a copper foil layer corresponding to a blind bias hole diameter in a copper foil layer which finally becomes an inner layer circuit of a multilayer circuit board having an inner layer land in which a portion corresponding to a diameter of an integrated blind bias hole is removed by etching. It is sectional drawing which showed typically the multilayer circuit board in which the inner layer land removed by etching was created.

【図3】スルーホールで表裏が導通された両面回路板の
最終的に中間層回路となる銅箔面を図2のブラインドバ
イアス孔と導通するためのランドが形成された様子を模
式的に示した断面図である。
FIG. 3 schematically shows a state in which a land for conducting the copper foil surface of the double-sided circuit board, which is electrically connected to the front and back sides by through holes, to finally become the intermediate layer circuit with the blind bias hole of FIG. 2 is formed. FIG.

【図4】一体化された多層板の上面最外層銅箔をレーザ
ー光照射に用いるために、エッチング除去した様子を示
した断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the outermost copper foil on the upper surface of the integrated multilayer board is removed by etching in order to use it for laser light irradiation.

【図5】レーザー光照射加工によりブラインドバイアス
孔を有する多層プリント板を模式的に示した断面図であ
る。
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed board having a blind bias hole by laser light irradiation processing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 : ブラインドバイアス孔の径に相当する部分の銅箔
がエッチング除去された銅箔ランド(b, e, f)および銅
箔ランド(a) が形成された内層回路シート 2 : ブラインドバイアス孔の径に相当する部分の銅箔
がエッチング除去された銅箔ランド(c, d, f) 形成され
た内層回路シート 3 : 耐熱有機繊維不織布基材熱硬化性樹脂プリプレグ 4 : 銅箔
1: Inner layer circuit sheet with copper foil lands (b, e, f) and copper foil lands (a) formed by etching away the copper foil in the area corresponding to the blind bias hole diameter 2: Blind bias hole diameter Copper foil land (c, d, f) formed by etching away the copper foil in the area corresponding to 3) Inner layer circuit sheet 3: Heat-resistant organic fiber non-woven fabric base thermosetting resin prepreg 4: Copper foil

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スルーホールを有する両面または、多層
プリント配線板の少なくとも片面上に、ブラインドバイ
アス孔を有し、2層以上の回路を有する導体層が形成さ
れ、各層の回路が電気的に導通された多層プリント板の
製造方法であって、 スルーホールで表裏もしくは内層回路が導通された
多層プリント板であって、該多層プリント板の片側の表
面であり、しかも、最終的に内層回路とする、外層面に
は、少なくともブラインドバイアス孔とメッキで導通す
るためのランドを形成しておく工程、 該ブラインドバイアス孔との導通用ランドが形成さ
れた多層プリント板外層に、耐熱性有機繊維不織布基材
熱硬化性樹脂プリプレグを用いて、銅箔を接着するか、
もしくは、該プリプレグを用い、耐熱性有機繊維不織布
基材熱硬化性樹脂銅張シートを用いて、ブラインドバイ
アス孔を形成すべき内層回路ランドのほぼ中央にブライ
ンドバイアス孔の径の大きさに相当する部分の銅箔をエ
ッチング除去した内層回路を形成した内層回路板を接着
する工程、 の最外層銅箔面のブラインドバイアス孔を形成す
べき内層ランドに相当する位置の銅箔を、内層ランドの
大きさより小さく、ブラインドバイアス孔の径の大きさ
より大きく、銅箔をエッチング除去する工程、 耐熱性有機繊維不織布基材熱硬化性樹脂絶縁体層の
絶縁体厚さを除去するのに必要なエネルギーで炭酸ガス
レーザーをの最外層面から照射して、ブラインドバイ
アス孔を形成する工程、 無電解メッキ、そして/または電気メッキ工程によ
りブラインドバイアス孔にメッキ層を析出させる工程お
よび 最終的に両最外層に外層回路を形成する工程 からなるブラインドバイアス孔を有する多層プリント板
の製造方法。
1. A conductor layer having a blind bias hole and a circuit having two or more layers is formed on both surfaces having a through hole or on at least one surface of a multilayer printed wiring board, and the circuits of each layer are electrically conductive. A method for manufacturing a multilayer printed circuit board, comprising: a multilayer printed circuit board in which front and back surfaces or an inner layer circuit are conducted through a through hole, which is a surface on one side of the multilayer printed circuit board, and finally becomes an inner layer circuit. , A step of forming at least a land for conduction with the blind bias hole on the outer layer surface by plating, a heat-resistant organic fiber non-woven fabric substrate is provided on the outer layer of the multilayer printed board on which the land for conduction with the blind bias hole is formed. Use a thermosetting resin prepreg to bond copper foil,
Alternatively, by using the prepreg and using a heat-resistant organic fiber non-woven fabric base material thermosetting resin copper-clad sheet, it corresponds to the diameter of the blind bias hole substantially in the center of the inner layer circuit land where the blind bias hole is to be formed. The step of adhering the inner layer circuit board on which the inner layer circuit is formed by etching away the copper foil in the part, and the copper foil at the position corresponding to the inner layer land where the blind bias hole on the outermost copper foil surface is to be formed Smaller than the size of the diameter of the blind bias hole, the step of etching away the copper foil, the heat-resistant organic fiber non-woven fabric base material, the thermosetting resin, and the energy required to remove the insulation thickness of the insulation layer. Brazing is performed by irradiating a gas laser from the outermost layer surface to form blind bias holes, electroless plating, and / or electroplating. Method for manufacturing a multilayer printed circuit board having a blind bias hole in steps and finally both outermost layers to deposit a plating layer on the command bias hole comprises the step of forming an outer layer circuit.
【請求項2】 請求項1における耐熱性有機繊維不織布
基材が、液晶ポリエステル不織布であるブラインドバイ
アス孔を有する多層プリント板の製造方法。
2. A method for producing a multilayer printed board, wherein the heat-resistant organic fiber nonwoven fabric substrate according to claim 1 has a blind bias hole which is a liquid crystal polyester nonwoven fabric.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001001740A1 (en) * 1999-06-25 2001-01-04 Alliedsignal Inc. Microfiber dielectrics which facilitate laser via drilling
US7612295B2 (en) 1997-03-13 2009-11-03 Ibiden Co., Ltd. Printed wiring board and method for manufacturing the same

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