JPH09505928A - 磁気光学素子を含む走査ヘッド及びそのような走査ヘッドを含む走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ヘッド面（１）を備える走査ヘッドが、磁束ガイド素子（３ａ、３ｂ）と磁気光学素子（５）とを有している。この磁気光学素子は前記磁束ガイド素子の間に延在するギャップ面（４）中に配設されている。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 磁気光学素子を含む走査ヘッド及びそのような走査ヘッドを含む走査装置 技術分野 本発明は、ヘッド面を有する走査ヘッドに係り、該ヘッドが磁束ガイド素子と 磁気光学素子とを有するような走査ヘッドに関する。 更に、本発明は磁気光学素子を有する走査ヘッドと、光源と、該光源により発 生された偏光された光ビームを前記磁気光学素子に指向させる光通路と、前記磁 気光学素子から反射された後の前記光ビームの変化を測定する検出器とを有する 走査装置にも関する。 背景技術 上記のような走査ヘッド及び走査装置は、ヨーロッパ特許出願公開第0,436,42 4号（引用例として参照する）から既知である。この既知の走査ヘッドはヘッド 面を備えると共に、特にカー効果センサのような磁気光学センサを有し、磁気テ ープから長さ方向に記録された情報を読み取るためのものである。この走査ヘッ ドは更に磁束ガイドを備える磁気回路を有し、これら磁束ガイドの一つがカー効 果センサとして用いられている。この走査装置の動作中においては、上記カー効 果センサは偏光された光の斜めに入射する偏光されたビームにより照射される。 反射後、上記光の偏光方向は磁気光学カー効果により回転されるが、このカー回 転は上記磁気光学センサにおける磁化の方向に依存する。結果として、上記反射 ビームは、磁気テープから生じる変化する磁束により生起され、上記センサ中に 発生する磁化の方向の変化に対応する情報を含むことになる。 上記既知の走査ヘッドの構造においては、上記カー効果センサは磁束ガイドと しても使用される層により形成されている。これの不利な点は、該当する層が厳 格な磁気的及び磁気光学的要件を満たさなければならない点にある。この結果、 カー効果センサと磁束ガイドとの両方を形成する上記層の材料と厚さとの選択に 関して妥協が要求されることになる。 また、既知の走査ヘッドは長さ方向のカー効果を利用している。そして、この 目的のために入射光ビームがカー効果センサの法線に対して約６０度の角度をな す必要がある。磁束ガイドとヘッド面との間の角度を好ましくない程小さくする ことなしに上記を達成するため、上記ビームはヘッド−テープ面から反射される 必要がある。これの欠点は、ヘッド−テープ間の距離変化のような変動の結果と してのノイズの発生を低減するために、上記のような面には適切な被覆を設けな ければならない点にある。磁束ガイドとヘッド面との間の小さな角度による他の 不利な点は、同一の実効ギャップ長でも比較的大きな磁束の損失が生じる点にあ る。 発明の目的 本発明の目的は、冒頭で述べたような走査ヘッドを上述した欠点が発生しない ように改良することにある。 発明の開示 本発明による走査ヘッドは、前記磁気光学素子が磁束ガイド素子の間に延在す るギャップ面内に配設されることを特徴としている。 本発明による走査ヘッドにおいては、２つの重要な機能、即ち磁束の案内及び 磁束変化の検出、が互いに分離されているので、これら２つの機能を互いに独立 に最適化することができる。本発明による走査ヘッドに使用された磁束ガイド素 子と変換素子との構成の他の重要な利点は、走査中に磁束を磁気光学素子に対し て少なくとも略垂直に指向させることができ、これにより極カー効果を利用する ことが可能になる点にある。この効果は、既知の走査ヘッドにおいて利用される 長さ方向の効果よりも数倍大きい。 本発明による走査ヘッドであって磁気光学素子が磁束ガイド素子の間に位置す るギャップ面に従って延在するような走査ヘッドにおいては、光ビームのヘッド ／情報媒体面からの反射は必要ではない。何故なら、磁気光学素子に少なくとも 略垂直に入射する、特にレーザビームのような光ビームを使用することができる からである。 本発明による走査ヘッドは、好ましくは、既知の技術により製造することが可 能な薄膜磁気ヘッドとする。この場合、磁気光学素子及び磁束ガイド素子は基板 上に真空蒸着、スパッタリング及び／又は他の方法を用いて層として形成するこ とができる。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、少なくとも一方の磁束ガイド素子の、 磁気光学素子に対向して位置する一部が光学的に透明であることを特徴としてい る。この場合、光学的に透明とは磁束ガイド素子の上記光学的に透明な部分に入 射する光ビームの充分な割合が透過するということを意味するものと理解された い。 上記光学的に透明な部分は、好ましくは約５nmと５０nmとの間の厚さを持つ薄 い軟磁性金属層を用いることにより得ることができる。例えぱNiFe、CoZrNb又は FeNbSiの上記のような層は半透明であり、従って非常に好適である。他の可能性 は、MgZnフェライト又はガーネットのような酸化物材料からなる磁束ガイドを用 いることにある。ガーネットは、磁束ガイド素子として非常の好適な一群の材料 を形成する。これらは好適な磁気的及び機械的特性を有し、長波長の可視及び近 赤外範囲スペクトルの光に対して充分に透明である。好適な材料は、IEEE Trans actions on Magnetics、第Mag６巻、第３号、1970年９月の６０８〜６１０頁（ 引用例として参照する）にニコラス他により記載されたCo/Siでドープされた(Y₃ Fe₅O₁₂)である。他の好適なガーネットは、例えば、Journal of Magetism and M agnetic Materials 125、1993年、２３〜２８行（引用例として参照する）にパ スカード他により記載されている。磁気光学素子としては、例えば、大きなカー 効果を持つPtMnSb多結晶層若しくはCo/Pt多重層、又は大きなファラデイ効果を 持つCoフェライト層を使用することができる。 上述した実施例においては、入射光ビームは動作中に前記の光学的に透明な部 分に対して少なくとも略垂直に指向させることができるので、ヘッド−テープ面 又はヘッド−ディスク面からの反射は必要ではない。これに関連して、磁束ガイ ド素子とヘッド面との間の角度を略９０度にすることが可能であり、このことは 磁束の損失が所望の実効ギャップ長に対して最小となるという利点を有している 。 ここで、ヨーロッパ特許出願第0472188号（引例として参照する）が磁気記録 媒体に対向する第１のギャップと該磁気記録媒体に対向し且つ同媒体から或る距 離に位置する第２ギャップとを備える環状の磁気ヨークを持つ磁気ヘッドを記載 していることに注意されたい。上記第２ギャップは、上記ヨークの主面に平行に 延びるか又は該ヨークの周に沿って延びる垂直に磁化可能な磁気光学層によりブ リッジされている。結果として全体が上記環状ヨークの外側に位置する上記層は 、第２ギャップに接する２つのヨーク部分に重なり合う。走査中には、上記既知 の磁気ヘッドは第２ギャップの近傍で上記磁気光学層の表面に垂直な磁場成分を 持つ浮遊磁場又は漏れ磁場を呈する。上記成分の方向は磁気記録媒体の磁化状態 に依存する。上記層中の磁化の方向の変化を検出するために、線形に偏光された 光ビームが第２ギャップの反対側で上記層に投射され、これら光ビームの一方は 第１の極カー効果回転を受け、他方の光ビームは第１の回転とは反対の第２の極 カー効果回転を受ける。磁化の方向の変化は上記２つの回転の差から決定される 。この既知の磁気ヘッドの欠点は、前記ヨークにより案内される磁束の一部のみ が磁気光学素子を垂直に横切り、その結果として効率が比較的低いという点にあ る。他の欠点は、ヘッドの構成が２以上のトラックを同時に読み取るのに適して いない点にある。更に、上記ヘッド構造は技術上の視点から見て好ましいもので はない。即ち、特にヨークの主面に対して横方向に延びるギャップは薄膜技術に より製造するのは困難である。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、前記磁気光学素子が前記磁束ガイド素 子の少なくとも一つと緊密に接触していることを特徴としている。この結果、磁 気光学素子に垂直な磁束成分の比較的大きな変化が得られ、これは極カー効果に よる検出にとって最適な条件である。好ましくは、上記磁気光学素子は２つの磁 束ガイド素子の間に且つこれらに緊密に接触、好ましくは直接接触、して配置さ れる。この場合、走査中における減磁は最小となるので、垂直な磁気成分の最大 の変化が発生し得る。これは、上記緊密接触が磁気光学素子と磁束ガイド素子と の間の空間の存在の結果として形成される磁気抵抗を最小化するからである。 本発明による走査ヘッドの一実施例は２つの磁束ガイド素子と磁気光学素子と が前記ヘッド面と接することを特徴としている。磁気光学素子が上記２つの磁束 ガイド素子の間に配置される本実施例は高効率を有し、更に高感度を得ることが できる。本実施例の他の利点は、複数の狭い情報トラックを、この目的のための 特別な磁束ガイド素子の構造を要することなく同時に走査することができる点に ある。 最後に述べた実施例が磁気光学素子と磁束ガイド素子との間に各空間を有し、 該磁気光学素子が充分な面内透磁率を有する場合は、当該走査ヘッドは微分セン サ（dlfferentiatlng sensor）として用いることができる。この場合、大きな面 内磁化変化を長さ方向のカー効果により、少なくとも略、検出することができる 。走査すべき媒体の前記各空間と対向する各部分内の同じように向けられた磁化 の場合、この構成の走査ヘッドは微分することができる。何故なら、磁気光学素 子と磁束ガイド素子との間の前記２つの空間は該磁気光学素子を介して逆に向け られた磁束を発生するからである。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、２個の磁束ガイド素子が前記ヘッド面 と接し、前記磁気光学素子が該ヘッド面から或る距離に位置していることを特徴 としている。ギャップ面が上記２つの磁束ガイド素子の間に延在する本実施例で は、磁気光学素子は走査中において、最早、媒体と機械的に接触することはない 。これの利点は、走査ヘッドが磁気光学素子と走査媒体との間の接触の場合に発 生するであろう温度変動の結果としてのノイズに影響されない点にある。他の利 点は、磁気光学素子が、特に走査ヘッドを通過して移動する磁気テープのような 記録媒体の結果としての磨耗のような磨耗にさらされることがないという点にあ る。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、前記ヘッド面に接する前記磁束ガイド 素子のうちの一方の、前記ヘッド面と該ヘッド面から或る距離に位置する前記磁 気光学素子との間の距離をブリッジする部分が、前記ヘッド面と接する他方の磁 束ガイド素子から突出する形状を有していることを特徴としている。この実施例 はヘッド面と磁気光学素子との間の磁束が一方の磁束ガイド素子から他方の磁束 ガイド素子へ漏れるのを防止し、従って高い効率が得られる。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、前記ヘッド面に接する前記２個の磁束 ガイド素子が、前記ヘッド面から或る距離に位置する前記磁気光学素子の近傍の みにおいて互いに重なり合うことを特徴としている。この実施例の重要な利点は 、 上記磁気光学素子の全ての寸法を変換ギャップ即ち走査ギャップの幅とは独立し て選択することができる点にある。更に、この実施例は磨耗を受けにくく小さな トラック幅に対しても充分な効率を維持することができる。更に、当該走査ヘッ ドには薄膜技術又は従来の技術を用いて巻線を設けることができる。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、２個の磁束ガイド素子が前記ヘッド面 と接し、前記ギャップ面が前記ヘッド面と接する前記磁束ガイド素子と、前記ヘ ッド面から或る距離に位置する磁束ガイド素子との間を延在し、前記磁気光学素 子が前記ヘッド面と接する前記磁束ガイド素子の間に延在するギャップに対向し て配設されることを特徴としている。この実施例の利点は、如何なる追加の反射 素子を伴わない光通路を用いることができる点にある。何故なら、上記磁気光学 素子が走査すべき媒体に対して平行又は少なくとも略平行に延在しているからで ある。更に、当該走査ヘッドは差動的光学検出の使用を可能にする。他の利点は 、高い磁気効率が得られる点にある。それでいて、当該走査ヘッドにはリソグラ フ技術により容易に所望のアジマス角を付与することができる。 本発明による走査ヘッドの一実施例は、２つの磁束ガイド素子の間に巻線が延 在することを特徴としている。この巻線は、例えば金又は銅製の１以上の書込用 又はバイアス用の巻回を有することができる。この点に関しては、一方の磁束ガ イド素子が他方の磁束ガイド素子から突出する形状を有することも好ましい。本 発明による手段は、当該走査ヘッドの書込機能と読取機能とを多くの付加的なマ スク工程を要することなく統合することを可能にする。 本発明による走査ヘッドはデジタル及びアナログの両方の信号を検出するのに 適しており、オーディオ及び／又はビデオ及び／又はデータの記録用の磁気系に 用いることができ、この場合磁気テープ及び磁気ディスクの両方が記録媒体とし て好適である。 本発明の他の目的は、冒頭で述べたような形式の走査装置を改善することにあ る。この目的のため、本発明による走査装置はヘッド面を備える走査ヘッドが、 磁束ガイド素子と磁気光学素子とを有し、該磁気光学素子が上記磁束ガイド素子 の間に延在するギャップ面内に配設され、当該走査装置が、更に、光源と、該光 源により発生された偏光された光ビームを前記磁気光学素子に指向させる光通路 と、前記磁気光学素子から反射された後の前記光ビームの変化を測定する検出器 とを有することを特徴としている。当該走査装置に使用される走査ヘッドは本発 明による前記走査ヘッドである。前記光ビームにより、又は前記光ビームにより 形成されると共にアレイ状の全ての磁気光学素子をカバーするように調整された 線形なスポットにより前記磁気光学素子又は前記アレイ状の磁気光学素子を走査 することにより、上記光ビーム及び検出器を介して、走査すべき媒休の多数のト ラックに記憶された情報を読み取り、処理し及び記録することが可能である。こ れによれば、非常に狭いトラックに関しては、電子処理部に対する許容できない ほど多数の相互接続の使用をなくすことができる。 図面の簡単な説明 以下、本発明を図面を参照し例示として詳細に説明するが、これらの図面にお いて、 第１図は、本発明による走査ヘッドの第１実施例を概念的に示し、 第２図は、第２実施例を概念的に示し、 第３図は、第３実施例を概念的に示し、 第４図は、第４実施例を概念的に示し、 第５Ａ図は、第５実施例を概念的に示し、 第５Ｂ図は、同第５実施例をＶ−Ｖ線から見た側面図で示し、 第６図は、第６実施例を概念的に示し、 第７図は、第７実施例を概念的に示し、 第８図は、本発明による走査装置の一実施例を概念的に示す。 実施例の詳細な説明 第１図に示す本発明による走査ヘッドは、本例では磁気テープ２である情報媒 体と共働する接触面、即ちヘッド面１を有する。上記磁気テープはヘッド面１を 通過してｘ₀方向に移動可能となっている。当該走査ヘッドは、第１の磁束ガイ ド素子３ａと、これに対し平行に延びる第２磁束ガイド３ｂとを有している。第 １磁束素子３ａは、第２磁束ガイド素子を有する薄膜構造を支持するような、例 え ばMnZnフェライト又はNiZnフェライト製のフェライト基板として構成することが できる。第２磁束ガイド素子３ｂは光学的に透明であり、本例ではCo/Siがドー プされた(Y₃Fe₅O₁₂)のようなガーネット製である。上記磁束ガイド素子３ａ及び ３ｂはギャップ面４を規定し、該ギャップ面はこれら２つの磁束ガイド素子の間 を延在している。該走査ヘッドは変換素子として更に磁気光学素子（ＭＯ素子） ５を有し、この素子は前記ヘッド面を横切る方向に指向されると共に磁束ガイド 素子３ａと３ｂとの間をギャップ面４に従って延在している。本例においては、 上記ＭＯ素子はCo/Pt多重層により形成され、該層は前記２つの磁束ガイド素子 ３ａ及び３ｂと緊密に接触している。 第２図に示す本発明による走査ヘッドは、ｘ₂方向に移動可能な磁気テープ１ ２と共働するヘッド面１１を有する薄膜磁気ヘッドである。該走査ヘッドは第１ 磁束ガイド素子１３ａと、第２磁束ガイド素子１３ｂと、磁気光学素子１５とを 有し、この磁気光学素子は上記２つの磁束ガイド素子１３ａと１３ｂとの間に延 在すると共に、高い面内透磁率と充分な長さ方向カー効果とを持つ例えばFeNbSi 多結晶層により形成されている。磁束ガイド素子１３ａ及び１３ｂとＭＯ素子１ ５とは、ヘッド面１１と接している。第１磁束ガイド素子１３ａは、例えば、Co ZrNb合金である。又、第２磁束ガイド素子１３ｂは、例えば、MnZnフェライトで ある。このようなフェライトは満足のゆく光透過度を有すると共に小さなファラ デー回転を示す。ＭＯ素子１５と磁束ガイド素子１３ａ及び１３ｂとの各々の間 には２つの非磁性のギャップ状空間１６ａ及び１６ｂが位置し、これらは例えぱ 酸化アルミニウム又は酸化シリコンのような酸化物材料又は窒化シリコンのよう な非磁化性窒化物で充填されている。 第３図に示す本発明による走査ヘッドは、ヘッド面２１を備えると共に、２つ の平行な磁束ガイド素子２３ａ及び２３ｂ並びに磁気光学素子２５を有している 。磁束ガイド素子２３ａ及び２３ｂは共にヘッド面２１から延び、ギャップ面２ ４を規定している。ＭＯ素子２５はヘッド面２１から距離ｄに位置し、ギャップ 面２４に従って延び、両磁束ガイド素子２３ａ及び２３ｂと緊密に接触、特に直 に接触、している。これら２つの磁束ガイド素子２３ａ及び２３ｂの内の少なく とも一方は光学的に透明であって、透明又は半透明な材料からなっている。上記 Ｍ Ｏ素子は特に極カー効果のような磁気光学効果を呈する層により形成されている 。ヘッド面２１の近傍では、磁束ガイド素子２３ａ及び２３ｂは非磁性走査又は 変換ギャップ２７と接し、該ギャップは上記ヘッド面２１で終端すると共に、例 えば、酸化ジルコニウムのような酸化物材料からなっている。 第４図に示す本発明による走査ヘッドは、ヘッド面３１で終端する２つの磁束 ガイド又は磁束ガイド素子３３ａ及び３３ｂと、磁気光学素子３５とを有し、該 磁気光学素子は上記ヘッド面３１から或る距離離れ且つ磁束ガイド素子３３ａと ３３ｂとの間に延在するギャップ面３４内に位置する。磁束ガイド素子３３ｂは 、ヘッド面３１とＭＯ素子３５との間の距離をブリッジし且つ磁束ガイド素子３ ３ａから離れるように突出形状を呈する部分３３b1を有している。ヘッド面３１ の近傍では、磁束ガイド素子３３ａ及び３３ｂは、例えぱ、酸化シリコン絶縁層 により形成される非磁性変換ギャップ３７と接している。一方、特にポリマ等の フォトレジストのような非磁性材料３８が、上記絶縁層と突状部分３３b1との間 に位置している。 第５Ａ図及び第５Ｂ図に示される本発明による走査ヘッドは情報媒体４２と共 働するヘッド面４１を有し、上記情報媒体は該ヘッド面４１を通過してｘ₄方向 に移動可能となっている。該走査ヘッドは２つの磁束ガイド素子４３ａ及び４３ ｂを有し、これら磁束ガイド素子はヘッド面４１に接すると共に、図の面を横切 る方向に見て、上記ヘッド面４１から或る距離に位置する領域４９においてのみ 互いに重なり合っている。磁気光学素子４５が位置するギャップ面４４が磁束ガ イド素子４３ａ及び４３ｂの重なり合う部分４３a1と４３b1との間に延在し、上 記ＭＯ素子はこれらの重なり合う部分４３a1と４３b1と緊密に接触している。上 記部分４３a1及び４３b1のうちの少なくとも一方は光学的に透明である。また、 磁束ガイド素子４３ａ及び４３ｂはヘッド面４１において非磁性変換ギャップ４ ７と接している。 第６図に示す本発明による薄膜走査ヘッドは２つの磁束ガイド素子５３a1及び ５３a2を有し、これら素子は特に変換ギャップであるギャップ５７と接すると共 にヘッド面５１を形成している。磁気ディスク又はテープのような情報媒体５２ がヘッド面５１を通過してｘ₅方向に移動可能となっている。該走査ヘッドは、 更 に、他の磁束ガイド素子５３ｂを有し、該素子はヘッド面５１から或る距離離れ ると共に同面と平行に延在している。磁気光学素子５５が配設されたギャップ面 ５４が磁束ガイド素子５３a1及び５３a2と、磁束ガイド素子５３ｂとの間に延在 している。このように、ＭＯ素子５５は磁束ガイド素子５３a1及び５３a2と、磁 束ガイド素子５３ｂとの間に挟まれ、結果として前記ギャップ５７と対向して位 置される。磁束ガイド素子５３ｂは光学的に透明であり、例えぱMgZnフェライト のような酸化物材料またはCo/Siがドープされた(Y₃Fe₅O₁₂)のようなガーネット からなる。 第７図に示す本発明による走査ヘッドはヘッド面６１を備えると共に、第１磁 束ガイド素子６３ａと、第２磁束ガイド素子６３ｂと、磁気光学変換素子６５と 、例えば金又は銅の巻線の形態の誘導変換素子７０とを有している。共にヘッド 面６１と接する２つの磁束ガイド素子６３ａ及び６３ｂのうち、磁束ガイド素子 ６３ｂは外側に突出する部分６３b1を有している。１以上のディスク状巻線を有 する前記誘導素子７０が上記部分６３b1と、これに対向する磁束ガイド素子６３ ａとの間に介挿されている。上記誘導素子７０は前記ヘッド面の近傍で変換ギャ ップ６７を形成する薄い絶縁層上に配置することができ、磁束ガイド素子６３ｂ からは例えばポリマ又は酸化物等の絶縁材料６８により絶縁することができる。 上記誘導素子７０に代えて又は追加して、バイアス巻線を設けることもできる 。図示の走査ヘッドは既知の薄膜技術により製造することができ、該技術は磁束 ガイド素子６３ａから開始して、該素子上にＭＯ素子６５、誘導素子７０及び磁 束ガイド素子６３ｂを有する薄膜構造を形成することにより実行することができ る。 第８図に示す本発明による走査装置は、本発明による走査ヘッドを有している 。 本発明による該走査ヘッドは第１図ないし第７図を参照して詳細に説明したもの で、第８図では符号８０を付して概念的にのみ示されている。図示の走査ヘッド ８０はヘッド面８１を有し、該ヘッド面を通過して本例では磁気テープである磁 気媒体８２がｘ₈方向に移動可能となっている。この走査ヘッド８０は磁気光学 素子又はセンサ８５を有し、該素子は変換ギャップ８７により離隔された一対の 磁束ガイド素子８３a1及び８３a2と、光学的に透明な磁束ガイド素子８３ｂとの 間に介挿されている。 上記走査装置は、更に、特にレーザユニット等の光源９０と、光通路と、検出 器９１とを有している。上記光通路は、光源９１により放射された光ビームをＭ Ｏ素子８５上に収束させるためのフォーカスレンズ９２を含んでいる。また、上 記光通路は、コリメータレンズと、もし前記光源が偏光されていないなら偏光子 とを含んでいてもよい。通過する前記情報媒体８２を走査する間、特に読み取る 間には、前記光源により放射された光ビームはＭＯ素子８５上に略垂直に入射し 、該ＭＯ素子８５上には円形又は長円形の光スポットが形成される。ＭＯ素子８ ５からの上記光ビームの反射の後、該ＭＯ素子８５中の磁化パターンが検光子９ ３の背後に配設された検出器９１上に結像される。反射された光ビームの偏光方 向が、通過する情報媒体８２中の変化する磁化の影響で変化し、これが検出器９ １上の強度の変化を発生させる。情報媒体８２により運ばれる情報は、適宜の既 知の電子手段により特に可聴化又は可視化されることにより再生することができ る。 尚、本発明は上記に開示された例示的実施例に限定されるものではない。例え ぱ、磁気光学センサ又は透明な磁束ガイド素子は上述したもの以外の適切な材料 を用いて形成することも可能である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ヘッド面を備えると共に磁束ガイド素子と磁気光学素子とを有する走査ヘッ ドにおいて、前記磁気光学素子が前記磁束ガイド素子の間に延在するギャップ面 内に配設されていることを特徴とする走査ヘッド。 ２．請求項１に記載の走査ヘッドにおいて、少なくとも一方の磁束ガイド素子の 、前記磁気光学素子に対向して位置する一部が光学的に透明であることを特徴と する走査ヘッド。 ３．請求項１又は請求項２に記載の走査ヘッドにおいて、前記磁気光学素子が磁 束ガイド素子に緊密に接触していることを特徴とする走査ヘッド。 ４．請求項１、２又は３に記載の走査ヘッドにおいて、２個の磁束ガイド素子と 前記磁気光学素子とが前記ヘッド面に接していることを特徴とする走査ヘッド。 ５．請求項１、２又は３に記載の走査ヘッドにおいて、２個の磁束ガイド素子が 前記ヘッド面と接し、前記磁気光学素子が前記ヘッド面から或る距離に位置して いることを特徴とする走査ヘッド。 ６．請求項５に記載の走査ヘッドにおいて、前記ヘッド面に接する前記磁束ガイ ド素子のうちの一方の、前記ヘッド面と該ヘッド面から或る距離に位置する前記 磁気光学素子との間の距離をブリッジする部分が、前記ヘッド面と接する他方の 磁束ガイド素子から突出する形状を有していることを特徴とする走査ヘッド。 ７．請求項５に記載の走査ヘッドにおいて、前記ヘッド面に接する前記２個の磁 束ガイド素子が、前記ヘッド面から或る距離に位置する前記磁気光学素子の近傍 のみにおいて互いに重なり合うことを特徴とする走査ヘッド。 ８．請求項１、２又は３に記載の走査ヘッドにおいて、２個の磁束ガイド素子が 前記ヘッド面と接し、前記ギャップ面が前記ヘッド面と接する前記磁束ガイド素 子と前記ヘッド面から或る距離に位置する磁束ガイド素子との間を延在し、前記 磁気光学素子が前記ヘッド面と接する前記磁束ガイド素子の間に延在するギャッ プに対向して配設されていることを特徴とする走査ヘッド。 ９．請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の走査ヘッドにおいて、２個の磁束 ガイド素子の間に巻線が延在していることを特徴とする走査ヘッド。 10．請求項１〜請求項９の何れか一項に記載の走査ヘッドを有する走査装置にお いて、更に、光源と、該光源により発生された偏光された光ビームを前記磁気光 学素子に指向させる光通路と、前記磁気光学素子から反射された後の前記光ビー ムの変化を測定する検出器とを有することを特徴とする走査装置。