JPH09505706A - 倍モード表面波共振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 圧電気基板（１０）の表面上で反射回折格子（２２,２４）の間に隣接して並んで設けられた２つのＩＤＴ（ディジタル間トランスデューサ）を含み、その間で表面波の結合が生じ、各ＩＤＴが２つのＩＤＴ間の共通レール（２６）から、およびＩＤＴの各外部レールから延びるインタリーブ電極を有する倍モード表面波共振器。各ＩＤＴとその外部レールの一つあるいはおのおのが二等分部分（３４，４４；３６，４６；３８，４８；４０，５０）に分割され、共振器に差動信号（４２；５２）を供給する。ＩＤＴの電極は、反射回折格子の隣接するフィンガと空間的に同期して設けられ、スプリアス長手方向モードを減少させる。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 倍モード表面波共振器技術分野および産業適用性 本発明は、倍モード表面波共振器に関するものである。ここで、「表面波」に は表面音響波（ＳＡＷ）および表面をスキミングするバルク波の両方が含まれる 。倍モード表面波共振器は、導波管結合共振器および直交結合ＳＡＷ共振器と呼 ばれている。背景技術 例えば、Nakazawa等による、１９８５年９月１７日発行の米国特許第4,542,35 6、「高周波狭帯域多モードフィルタ」や、M.Tanaka等による、１９８４年発行 の第３８回年度周波数制御シンポジウム、２８６〜２９３頁、「石英上の倍モー ドＳＡＷ共振器を用いた狭帯域バンドパスフィルタ」によれば、２つのディジタ ル間トランスデューサ（ＩＤＴ）が並行して互いに他に隣接するように圧電気基 板上に供給され、両者間に表面波結合がおこり、各ＩＤＴが好ましくは長手方向 に２つの接地反射回折格子間に配置され、それを介して２つのＩＤＴの共通バス のバーあるいはレールが接地接続されるような倍モード表面波共振器が供給され る。一つのＩＤＴの外部レールは接地との間で共振器の入力を構成し、他の一つ のＩＤＴの外部レールは接地との間で共振器の出力を構成する。 このような共振器は、高周波フィルタとして、例えば、セルラ無線装置のＩＦ （中間周波数）フィルタとして用いられる。しかしながら、共振器はシングルエ ンドあるいは不平衡入出力であるが、一般に無線回路では、好ましくは、差動あ るいは平衡信号を扱い、それによってより優れた線形性と広い帯域が得られる。 このような平衡回路で既知の共振器を用いるためには、バラン（平衡信号から不 平衡信号への変換器）が必要となる。しかしながら、大規模生産におけるバラン の使用は、信頼性および電磁放射の観点から望ましくない。さらに、比較的サイ ズの大きなバランを使用すれば、マルチ・チップ・モジュールを用いた製品への 適用が不可能となる。セルラ無線装置において、サイズが小さいということは重 要な要因である。 さらに、P.S.Cross等による、１９７９年発行の１９７９年度超音波シンポジ ウム、８２４〜８２９頁、「10,000以上のＱを有する同期ＩＤＴ・ＳＡＷ共振器 」によれば、ＩＤＴ電極が反射回折格子のフィンガと空間的に同期して配置され て短共振空洞を形成し、それにより本質的にスプリアス長手方向モードを阻止す るような表面音響波共振器を供給することが知られている。 本発明の目的は、バランを使用せずに平衡回路で用いられる、より優れた表面 波共振器を供給することである。発明の開示 本発明の一側面によれば、表面波共振器は、圧電気基板と共通レールを有する 基板表面に並んで設けられた２つのＩＤＴ（ディジタル間トランスデューサ）と を備え、ＩＤＴ間で表面波が結合し、各ＩＤＴは共通レールからおよび各外部レ ールから延びたインタリーブ電極を有し、外部レールが共振器に信号を供給する 表面波共振器において、少なくとも一つのＩＤＴとその外部レールが２つの二等 分部分に分割され、共振器に差動信号を供給する。 好ましくは、各ＩＤＴおよびその外部レールが２つの二等分部分に分割され、 共振器に差動信号を供給し、共通レールも、２つの二等分部分に分割される。こ のように、本発明は、本発明は少なくとも一つが平衡している入出力信号を供給 する表面波共振器を供給する。 一方、一方のＩＤＴとその外部レールのみが差動信号を共振器に供給するため に二分割されるならば、他のＩＤＴの外部レールおよび共通レールが不平衡な信 号を共振器に供給し、それによって平衡／不平衡信号間の変換がなされる。 共振器は好ましくは、反射回折格子を有し、その間に２つのＩＤＴが配置され 、各ＩＤＴに対する共振空洞を形成する。２つのＩＤＴは反射回折格子から異な る距離で分離され、好ましくは、各々が約０．６２５λ＋ｎλ／２となる。ここ で、λは伝播される表面波の波長であり、ｎはゼロまたは正の整数である。よっ てＩ ＤＴ電極は、基板に結合される最大値に対して、定在波ポテンシャルが最大にな る中央部に設けられる。 一方、ＩＤＴの一つまたは各々の電極が、隣接する反射回折格子のフィンガと 空間的に同期して設けられ、好ましくは、結果として共振空洞の長さが約０．４ ３７５λ＋ｎλ／２となるようにする。ここで、λは伝播される表面波の波長で あり、ｎはゼロまたは正の整数である。 本発明の他の見地によれば、本発明の倍モード表面波共振器は、反射回折格子 の間に隣接して圧電気基板の表面上に並んで設けられた２つのＩＤＴ（ディジタ ル間トランスデューサ）を含み、その間で表面波の結合が生じ、各ＩＤＴが２つ のＩＤＴ間の共通レールから、およびＩＤＴの各外部レールから延びるインタリ ーブ電極を有する倍モード表面波共振器において：少なくとも一つのＩＤＴの電 極が各グループ間に共振空洞を有する２つのグループに分割され、各グループの 電極は隣接する反射回折格子の隣接フィンガと空間的に同期して設けられる。図面の簡単な説明 本発明を、添付の図面を参照し、以下に詳しく説明する。 図１は、従来の倍モードＳＡＷ共振器を示す概要図である。 図２は、本発明の実施例による倍モードＳＡＷ共振器を示す概要図である。 図３および図４は、図２の共振器のフィンガまたは電極と関連する定在波の波 形を示す図である。 図５は、図２の共振器と同等の回路を示す概要図である。 図６乃至図１３は、本発明の他の実施例による倍モードＳＡＷ共振器を示す概 要図である。本発明の実施例 図１は、上記の米国特許第4,542,356の倍モードＳＡＷ共振器を示す図である 。本倍モードＳＡＷ共振器は、圧電気材からなる基板１０とその上に並行して互 いに隣接して設けられた２つのＩＤＴ１２，１４からなる。ＩＤＴ１２の外部レ ール１６は共振器のシングル・エンドあるいは不平衡入力（または出力）１８の 接 続され、ＩＤＴ１４の外部レール１９は共振器のシングル・エンドあるいは不平 衡入力（または出力）２０に接続される。ＩＤＴ１２および１４は、長手方向に ２つの接地反射回折格子２２，２４の間に設けられ、それを介してＩＤＴ１２お よび１４の共通あるいは内部レール２６は接地される。 各反射回折格子２２,２４は、フィンガを有し、そのフィンガは２つの外部レ ール２８，３０のうちの一つと、ＩＤＴ１２および１４の内部レール２６に接続 され、その内部レール２６と連結される内部レール３２との間に延びている。図 １に示されるように、外部レール３０は接地される。その代わりとして、あるい は、それに加えて、外部レール２８および／または内部レール３２を接地しても よい。 ＩＤＴ１２および１４は、ＩＤＴ開口と称される幅λ／４、ピッチλ／２を有 するディジタル間電極あるいはフィンガを有する。ここでλは伝播されるＳＡＷ の波長である。電極は反対側のレールからＷだけ互いに重複するように延びてい る。２つのＩＤＴ１２および１４の開口は横方向に、互いに距離Ｇだけ離れて設 けられる。距離Ｇは比較的小さく、ＩＤＴ間に所望の表面波結合が起こるように なっている。反射回折格子２２および２４もまた、幅λ／４、ピッチλ／２を有 するフィンガを有する。このピッチは、共振器内のスプリアスモードレベルを減 らすために、増減される。 例えば、基板１０は３６度回転したＹカット石英からなり、λは８６ＭＨｚの 中心周波数に対応する。導電電極およびフィンガは厚さ０．０２λのアルミニウ ムからなり、ここでＷ＝１０λ、Ｇ＝１．７５λである。各ＩＤＴ１２,１４は 約３６０個の電極を有し、各反射回折格子２２，２４は２３０個のフィンガを有 する。これらパラメータは単に例として挙げられたものであり、これら、あるい は異なるパラメータでも、以下に述べる発明の全ての実施例に、同様に適用され る。電極およびフィンガがこのような数であるので、図１および図６〜図１３中 の電極およびフィンガは、種々の構成の詳細な説明を簡単にするために、概略的 に描かれている。 図２は、本発明の実施例による倍モードＳＡＷ共振器を示す図である。共振器 は一般に、基板１０に上記のような反射回折格子２２および２４を有する。この 場合は、反射回折格子２２および２４は接地されなくてもよい。図１のＩＤＴ１ ２は、図２において２つの差動二等分部分３４および３６に分割され、図１のＩ ＤＴ１４は、図２において２つの差動二等分部分３８および４０に分割される。 図２から明らかなように、ＩＤＴの二等分部分３４の電極は内部レール２６と 外部レール４４の間に延びている。ＩＤＴの二等分部分３６の電極は内部レール ２６と外部レール４６の間に延びている。内部レール２６は図２において、中心 で二分割されて示されているが、必ずしもその必要はなく、共振器の全長に渡っ て連続であってもよい。さらに図２に示されるように、ＩＤＴの二等分部分３４ および３６の電極は２つのＩＤＴ二等分部分内、および共振器中心部の２つのＩ ＤＴ二等分部分間において一定のピッチλ／２を有するが、この２つの二等分部 分間には位相反転が起こる。このことは、図２において、ＩＤＴ二等分部分３４ および３６の隣接する端部電極の双方が内部レール２６から延びるように示され 、ＩＤＴ二等分部分３４および３６は差動信号を扱う動作のために設けられたも のである。したがって、差動、あるいは、平衡した信号４２がレール４４および ４６に接続される。 同様に、ＩＤＴの二等分部分３８の電極は内部レール２６と外部レール４８の 間に延びている。ＩＤＴの二等分部分４０の電極は内部レール２６と外部レール ５０の間に延びている。ＩＤＴの二等分部分３８および４０の電極は２つのＩＤ Ｔ二等分部分内、および２つのＩＤＴ二等分部分間において一定のピッチλ／２ を有し、この２つの二等分部分３８および４０の間には、図２に示されるように 上記と同様の方法で、位相反転が起こる。ＩＤＴ二等分部分３８および４０は差 動信号を扱う動作のために設けられたものである。したがって、差動、あるいは 、平衡した信号５２がレール４８および５０に接続される。 図２に示すように、反射回折格子２２および２４のフィンガはＩＤＴ二等分部 分３４および３６の電極からls１だけ、ＩＤＴ二等分部分３８および４０の電極 からls２だけ離れている。この分離間隔ls１およびls２は、図２が概要図である ために同様に示されているが、好ましくは、共振器内のスプリアスモードおよび より高次モードのＳＡＷのレベルをキャンセルするために、あるいは、減らすた めに異なるように設定される。この分離間隔は図３、図４を参照して以下に詳細 に説明する。 反射回折格子２２および２４はその間にギャップあるいは空洞を形成し、その 中でＩＤＴ電極によって決定されるＳＡＷが共振し、それにより、定在波のパタ ーンが作られる。図３および図４は５４で示される定在波と、そのパターンとの 関係で、ＩＤＴ二等分部分の電極および反射回折格子のフィンガの位置を示す図 である。図３は、ＩＤＴ二等分部分３４の電極を示し、従来通り＋および−符号 によりその相対極性が示され、反射回折格子２２の隣接フィンガおよび分離間隔 ls１が示されている。反射回折格子２４のフィンガに対するＩＤＴ二等分部分３ ６の電極構成は上と対称的である。同様に図４はＩＤＴ二等分部分３８の電極、 反射回折格子２２の隣接するフィンガ、および分離間隔ls２を示し、反射回折格 子２４のフィンガに対するＩＤＴ二等分部分４０の電極構成はこれと対称的であ る。 図３を参照すると、ＩＤＴ二等分部分３４の電極は、ＳＡＷポテンシャルの定 在波の最大部分に集まっている。反射回折格子２２のフィンガはこれよりオフセ ットして設けられ、各フィンガの端が定在波の最大部分になるように位置してい る。図３はＳＡＷの反射係数を、この端において正となり、破壊反射よりも構造 反射が形成されることを想定している。その結果、分離間隔ls１は０．６２５λ となる。図４は分離間隔がλ／２だけ増加し１．１２５λとなる点を除いて同様 である。一般に、各分離間隔ls１、ls２は式０．６２５λ＋ｎλ／２で表される 。ここで、ｎはゼロあるいは正の整数である。 図５は、図２のＳＡＷ共振器の等価回路を示す図である。この等価回路におい て、抵抗Ｒ１およびＲ２、誘導子Ｌ１およびＬ２、コンデンサＣ１およびＣ２は 、方程式Ｒ１＝Ｒａ／４、Ｒ２＝Ｒｓ／４、Ｌ１＝Ｌａ／４、Ｌ２＝Ｌｓ／４、 Ｃ１＝４ＣａおよびＣ２＝４Ｃｓによって与えられる大きさを有する。ここでＲ ｓ，ＬｓおよびＣｓは、それぞれ共振器の対称振動モード共振周波数Ｆｓの抵抗 性、誘導性、おび容量性運動要素（すなわち、非静的な）であり、Ｒａ、Ｌａ、 およびＣａは、非対称振動モード共振周波数Ｆａに対する各要素である。結合は ４つのトランスによって表され、図５の点で表されるように、各トランスは１： １の巻数比、巻線感度を有する。コンデンサＣｔは、ＩＤＴの静的な静電容量を 表す。簡略化のために、例えば、それぞれ入出力における平衡信号線４２と５２ の間の 他の静的な静電容量は、図５中に示されていない。 上記したＳＡＷ共振器は、例えば、広帯域の無線受信器における、ＩＦ（中間 周波数）バンドパスフィルタとして用いられる。平衡入力４２は整合回路を介し てバッファ段階の平衡出力と結合され、その平衡出力５２は整合回路を介して低 ノイズ増幅器段階の平衡入力と結合される。各整合回路は、平衡構成された直列 静電容量および分路インダクタンスからなり、ＳＡＷ共振器を正しく終端して、 静的な静電容量Ｃｔを補償する。このような構成において、ＦｓおよびＦａはフ ィルタ通過帯の上限、下限に対応する。より高次のスプリアスモードは、通過帯 により３０デシベル以上も減衰し、ＳＡＷ共振器自体の整合挿入損失はおおよそ １．５ｄＢとなる。 図３および図４に示された定在波のパターン５４に対する電極とフィンガの位 置により、共振空洞に最も強い電気機械的結合が起こる。しかし、石英のような 結合の弱い物質上で強力な（すなわち、損失の少ない）結合を得るためには、長 いＩＤＴが必要となる。これにより空洞が長くなる好ましくない結果を生じ、長 手方向のスプリアスモード間隔を減少させ、スプリアスモードが反射回折格子の 停止帯に現れる。この影響は図６に示される本発明の他の実施例によって、すな わち、スプリアス長手方向空洞モードを本質的に抑制することによって回避され る。 図６を参照すると、ＩＤＴの二等分部分３４および３６の電極、ＩＤＴの二等 分部分３８および４０の電極はＳＡＷ共振器の中心から離れて設けられ、反射回 折格子２２および２４のフィンガと空間的に同期して置かれる。したがって、反 射回折格子２２とＩＤＴの二等分部分３４および３６との間およびその内部、反 射回折格子２４とＩＤＴの二等分部分３８および４０との間およびその内部に、 フィンガおよび電極の一定ピッチλ／２が存在し、ＩＤＴ電極により回折格子ア レーの一部が構成される。よって共振空洞の長さは、ＩＤＴの二等分部分間の長 さlsにまで減少し、これら二等分部分は平衡信号線４２，５２を介して上記した ように別々に励起される。空洞の長さを短くすることによって、共振器は図２、 図４の構成に比べて、製造工程の変化の影響を受けにくいものとなる。 図６に示された構成による平衡ＳＡＷ共振器は、分離間隔lsによっては、最大 定在波とスプリアスモード抑制に妥協点が生ずる。例えば、ｎがゼロまたは正の 整数の時、ls＝０．４３７５λ＋ｎλ／２の値で、ＳＡＷ共振器自体の整合挿入 損失をわずか２ｄＢ増加させるだけで、所望の特性が得られた。図２の共振器の ように、図６のＳＡＷ共振器では、ＩＤＴの二等分部分３８および４０間のlsの 値はＩＤＴの二等分部分３４および３６間のそれとは異なる。 図２および図６の構成は、例えば、図７に示されるように、組み合わせること が可能である。図７のＳＡＷ共振器において、ＩＤＴの二等分部分３４および３ ６は図６で述べたように構成され、ＩＤＴの二等分部分３８および４０は図２お よび図４で述べたように構成される。 各図２、６および７において、内部レール２６は二分割して示されているが、 既に述べたとおりその必要はなく、ＳＡＷ共振器の全長にわたり連続していても よい。この場合、ＳＡＷ共振器は、以下に図８、図１１を参照して詳述されるよ うに平衡／不平衡結合を供給する。 図８のＳＡＷ共振器において、ＩＤＴの二等分部分３４および３６の間に結合 が起こる。ＩＤＴの二等分部分３４および３６は、平衡信号線４２と図２および 図３で述べたように接続される。ＩＤＴ１４は、図１で述べたように、不平衡信 号２０に接続される。 図９のＳＡＷ共振器において、ＩＤＴの二等分部分３４および３６の間および ＩＤＴの二等分部分３８および４０に結合が起こる。ＩＤＴの二等分部分３４お よび３６は、平衡信号線４２と図６に述べたように接続される。この場合、ＩＤ Ｔの二等分部分３８および４０は、図６に示された方法と同様に構成されるが、 双方は同じ外部レール１９に結合され、図１の共振器のように不平衡信号２０に 接続される。したがって、図９の共振器において、２つのＩＤＴの二等分部分３ ８および４０間には位相反転が生じない。よって図９では、ＩＤＴの二等分部分 ３８の電極は、共振器の空洞あるいは中心に近く配置され、内部レール２６から 延びるように示され、ＩＤＴの二等分部分４０の隣接電極は外部レール１９から 延びるように示される。 図１０のＳＡＷ共振器において、ＩＤＴの二等分部分３４および３６の間で結 合が起こる。ＩＤＴの二等分部分３４および３６には、平衡信号線４２が図１６ に述べたように接続される。ＩＤＴ１４は、図１に述べたように、不平衡信号２ ０と接続される。 図１１のＳＡＷ共振器において、ＩＤＴの二等分部分３４および３６の間およ びＩＤＴの二等分部分３８および４０で結合が起こる。ＩＤＴの二等分部分３４ および３６は、平衡信号線４２と図２および図３に述べたように接続され、ＩＤ Ｔの二等分部分３８および４０は、図９に述べたように接続され不平衡信号２０ に接続される。 図６において、上記したＳＡＷ共振器中に供給される短共振空洞の利点は不平 衡な入出力信号を有するＳＡＷ共振器にも供給できる。このようなＳＡＷ共振器 は発振回路のような平衡接続を必要としない回路に特に有用である。図１２、図 １３はこのようなＳＡＷ共振器を示す。 図１２のＳＡＷ共振器において、図１で述べたように、２つのＩＤＴの二等分 部分３４および３６とＩＤＴ１４との間で結合が起こる。図９の共振器のＩＤＴ の二等分部分３８および４０について上記したように、２つのＩＤＴの二等分部 分３４および３６は、共通外部レール１６、不平衡信号１８、２つのＩＤＴ二等 分部分間の中心共振空洞と接続され、この空洞に隣接する電極の位相反転は生じ ない。 図１３のＳＡＷ共振器において、２つのＩＤＴの二等分部分３４および３６、 ２つのＩＤＴの二等分部分３８および４０間で結合がおこり、それぞれ図１２、 図９のように接続される。 発明の特定の実施例について述べてきたが、数々の変更、変形、適用が可能で あることは言うまでもない。 例えば、ＩＤＴの二等分部分３８および４０が上述の図９、１１および１３に 示され、ＩＤＴの二等分部分３４および３６が上述の図１２、１３に示されてい るが、不平衡信号のＩＤＴの電極を、より一般的に２つの異なるサイズのグルー プに分割し、その間に共振空洞を設けてもよい。 さらに、本発明は倍モードＳＡＷ共振器との関連で述べられてきたが、表面音 響波ではなく表面をスキミングするバルク波を用いる他の表面波共振器であって も、本発明を同様に適用できる。２つまたはそれ以上のＳＡＷ共振器を、従来例 で知られるように、縦列に接続して所望の応答特性を得ることも可能である。こ のような共振器は別々の基板、あるいは間に所望の分離間隔を有する一つの基板 上に設けられる。既に示したように、反射回折格子２２および２４のフィンガは ＩＤＴ電極とは異なるピッチを有し、従来例で知られるように、反射回折格子は 基板上のフィンガの代わりに基板上の溝によって構成され、あるいは、ＩＤＴが 十分に長くその間に適当な結合が生ずるのであれば、完全に省略することが出来 る。加えて、異なるサイズの共振空洞を用いることもでき、同様に共振器のパラ メータも必要に応じて変化させることが出来る。

【手続補正書】特許法第１８４条の７第１項 【提出日】１９９５年３月３０日 【補正内容】 請求の範囲 １． 圧電気基板（１０）と；共通レール（２６）を有する基板表面に並んで設 けられた２つのＩＤＴ（デジタル間トランスデューサ）（３４，３６；３８，４ ０）とを備え、ＩＤＴ間で表面波が結合し、各ＩＤＴは共通レールからおよび各 外部レール（４４，４６；４８，５０）から延びたインタリーブ電極を有し、外 部レールが共振器に信号を供給する表面波共振器において： 少なくとも一つのＩＤＴとその外部レールが逆位相となる２つの二等分部分（ ３４，４４；３６，４６）に分割されることを特徴とする表面波共振器。 ２． 請求項１の表面波共振器において、各ＩＤＴおよびその外部レールが逆位 相となる 二等分部分（３４，４４；３６，４６；３８，４８；４０，５０）に分 割されることを特徴とする表面波共振器。 ３． 請求項２の表面波共振器において、共通レール（２６）が、２つの二等分 部分に分割されることを特徴とする表面波共振器。 ４． 請求項１の表面波共振器において、一つのＩＤＴとその外部レールのみが逆位相となる 二等分部分に分割され、ＩＤＴ（１４）の外部レール（１９）およ び共通レール（２６）が不平衡信号（２０）を共振器に供給することを特徴とす る表面波共振器。 ５． 請求項１から４のいずれかの表面波共振器において、反射回折格子（２２ ,２４）を含み、その間に２つのＩＤＴが各ＩＤＴの共振空洞を形成するように 設けられることを特徴とする表面波共振器。 ６． 請求項５の表面波共振器において、λを伝播される表面波の波長、ｎをゼ ロまたは正の整数とした時に、各ＩＤＴが、隣接する反射回折格子から、約０． ６２５λ＋ｎλ／２の間隔で分離されることを特徴とする表面波共振器。 ７． 請求項５または６の表面波共振器において、２つのＩＤＴが異なる間隔に よって反射回折格子から分離されることを特徴とする表面波共振器。 ８． 請求項５の表面波共振器において、少なくとも一つのＩＤＴの電極が隣接 する反射回折格子のフィンガと空間的に同期して設けられることを特徴とする表 面波共振器。 ９． 請求項８の表面波共振器において、各ＩＤＴの電極が隣接する反射回折格 子のフィンガと空間的に同期して設けられることを特徴とする表面波共振器。１０．請求項９の表面波共振器において、２つのＩＤＴの共振空洞が異なった長 さであることを特徴とする表面波共振器。 １１． 請求項８,９または１０の表面波共振器において、λを伝播される表面波 の波長、ｎをゼロまたは正の整数とした時に、電極が隣接する反射回折格子のフ ィンガと空間的に同期して設けられる各ＩＤＴの共振空洞の長さが、約０．４３ ７５λ＋ｎλ／２であることを特徴とする表面波共振器。１２． 反射回折格子（２２,２４）の間に隣接して圧電気基板（１０）の表面上 に並んで設けられた２つのＩＤＴ（デジタル間トランスデューサ）（３４，３６ ；１４）を含み、その間で表面波の結合が生じ、各ＩＤＴが２つのＩＤＴ間の共 通レール（２６）から、およびＩＤＴの各外部レール（１６，１９）から延びる インタリーブ電極を有する倍モード表面波共振器において： 少なくとも一つのＩＤＴの電極が各グループ間に共振空洞を有する２つの逆位 相の グループ（３４，３６）に分割され、各グループ（３４，３６）の電極は隣 接する反射回折格子（２２,２４）の隣接フィンガと空間的に同期して設けられ ることを特徴とする倍モード表面波共振器。１３． 請求項１２の表面波共振器において、各ＩＤＴの電極がグループ間に共振 空洞を有する２つの逆位相のグループ（３４，３６；３８，４０）に分割され、 各グループの電極は隣接する反射回折格子の隣接するフィンガと空間的に同期し て設けられることを特徴とする表面波共振器。１４．請求項１３の表面波共振器において、２つのＩＤＴの共振空洞が異なった 長さであることを特徴とする表面波共振器。 １５．請求項１２,１３または１４の表面波共振器において、λを伝播される表 面波の波長、ｎをゼロまたは正の整数とした時に、電極が隣接する反射回折格子 のフィンガと空間的に同期して設けられる各ＩＤＴの共振空洞の長さが、約０． ４３７５λ＋ｎλ／２であることを特徴とする表面波共振器。 【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年１０月１７日 【補正内容】 請求の範囲 １１．請求項８,９または１０の表面波共振器において、λを伝播される表面波 の波長、ｎをゼロまたは正の整数とした時に、電極が隣接する反射回折格子のフ ィンガと空間的に同期して設けられる各ＩＤＴの共振空洞の長さが、約０．４３ ７５λ＋ｎλ／２であることを特徴とする表面波共振器。 １２．反射回折格子（２２,２４）の間に隣接して圧電気基板（１０）の表面上 に並んで設けられた２つのＩＤＴ（デジタル間トランスデューサ）（３４，３６ ；１４）を含み、その間で表面波の結合が生じ、各ＩＤＴが２つのＩＤＴ間の共 通レール（２６）から、およびＩＤＴの各外部レール（１６，１９）から延びる インタリーブ電極を有する倍モード表面波共振器において： 少なくとも一つのＩＤＴの電極が各グループ間に共振空洞を有する２つの逆位 相のグループ（３４，３６）に分割され、各グループ（３４，３６）の電極は隣 接する反射回折格子（２２,２４）の隣接フィンガと空間的に同期して設けられ ることを特徴とする倍モード表面波共振器。 １３．請求項１２の表面波共振器において、各ＩＤＴの電極がグループ間に共振 空洞を有する２つの逆位相のグループ（３４，３６；３８，４０）に分割され、 各グループの電極は隣接する反射回折格子の隣接するフィンガと空間的に同期し て設けられることを特徴とする表面波共振器。 １４．請求項１３の表面波共振器において、２つのＩＤＴの共振空洞が異なった 長さであることを特徴とする表面波共振器。 １５．請求項１２,１３または１４の表面波共振器において、λを伝播される表 面波の波長、ｎをゼロまたは正の整数とした時に、電極が隣接する反射回折格子 のフィンガと空間的に同期して設けられる各ＩＤＴの共振空洞の長さが、約０． ４３７５λ＋ｎλ／２であることを特徴とする表面波共振器。１６．圧電気基板（１０）と；その基板の表面上に設けられた２つのＩＤＴ（デ ジタル間トランスデューサ）（３４，３６；３８，４０）とを備え、ＩＤＴ間で 表面波が結合し、各ＩＤＴは２つのレール（２６，４４，４６；２６，４８，５ ０）から延びたインタリーブ電極を有し、このインタリーブ電極がＩＤＴの各側 にある倍モード表面波共振器において： 電極および少なくとも一つのＩＤＴの少なくとも一つのレールが、逆位相とな る二等分部分（３４，４４；３６，４６）に分割されることを特徴とする表面波 共振器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キャメロン・トーマス・フィリップ アメリカ合衆国，ジョージア州 30243, ローレンスビル，メドーソング サークル 930 (72)発明者 サザーズ・マーク・スペンサー カナダ国，ケイ０ジー １ケイ０，オンタ リオ，ラナーク，アール．アール．＃１ (72)発明者 ニスベット・ジョン・ジャクソン カナダ国，ケイ２イー ６ケイ９，オンタ リオ，ネピーン，ウィガン ドライブ 17 (72)発明者 ティラー・サミュエル・アルフレッド カナダ国，ケイ１エヌ ５イ−８，オンタ リオ，オタワ，エスティー．アンドリュー ストリート 49

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 圧電気基板（１０）と；共通レール（２６）を有する基板表面に並んで設 けられた２つのＩＤＴ（ディジタル間トランスデューサ）（３４，３６；３８， ４０）とを備え、ＩＤＴ間で表面波が結合し、各ＩＤＴは共通レールからおよび 各外部レール（４４，４６；４８，５０）から延びたインタリーブ電極を有し、 外部レールが共振器に信号を供給する表面波共振器において： 少なくとも一つのＩＤＴとその外部レールが２つの二等分部分（３４，４４； ３６，４６）に分割され、共振器に差動信号（４２）を供給することを特徴とす る表面波共振器。 ２． 請求項１の表面波共振器において、各ＩＤＴおよびその外部レールが２つ の二等分部分（３４，４４；３６，４６；３８，４８；４０，５０）に分割され 、共振器に差動信号（４２,５２）を供給することを特徴とする表面波共振器。 ３． 請求項２の表面波共振器において、共通レール（２６）が、２つの二等分 部分に分割されることを特徴とする表面波共振器。 ４． 請求項１の表面波共振器において、一つのＩＤＴとその外部レールのみが 差動信号を共振器に供給するために２分割され、ＩＤＴ（１４）の外部レール（ １９）および共通レール（２６）が不平衡信号（２０）を共振器に供給すること を特徴とする表面波共振器。 ５． 請求項１から４のいずれかの表面波共振器において、反射回折格子（２２ ,２４）を含み、その間に２つのＩＤＴが各ＩＤＴの共振空洞を形成するように 設けられることを特徴とする表面波共振器。 ６． 請求項５の表面波共振器において、λを伝播される表面波の波長、ｎをゼ ロまたは正の整数とした時に、各ＩＤＴが、隣接する反射回折格子から、約０． ６２５λ＋ｎλ／２の間隔で分離されることを特徴とする表面波共振器。 ７． 請求項５の表面波共振器において、２つのＩＤＴが異なる間隔によって反 射回折格子から分離されることを特徴とする表面波共振器。 ８． 請求項５の表面波共振器において、少なくとも一つのＩＤＴの電極が隣接 する反射回折格子のフィンガと空間的に同期して設けられることを特徴とする表 面波共振器。 ９． 請求項８の表面波共振器において、各ＩＤＴの電極が隣接する反射回折格 子のフィンガと空間的に同期して設けられることを特徴とする表面波共振器。 １０．請求項８の表面波共振器において、λを伝播される表面波の波長、ｎをゼ ロまたは正の整数とした時に、電極が隣接する反射回折格子のフィンガと空間的 に同期して設けられる各ＩＤＴの共振空洞の長さが、約０．４３７５λ＋ｎλ／ ２であることを特徴とする表面波共振器。 １１．反射回折格子（２２,２４）の間に隣接して圧電気基板（１０）の表面上 に並んで設けられた２つのＩＤＴ（ディジタル間トランスデューサ）（３４，３ ６；１４）を含み、その間で表面波の結合が生じ、各ＩＤＴが２つのＩＤＴ間の 共通レール（２６）から、およびＩＤＴの各外部レール（１６，１９）から延び るインタリーブ電極を有する倍モード表面波共振器において： 少なくとも一つのＩＤＴの電極が各グループ間に共振空洞を有する２つのグル ープ（３４，３６）に分割され、各グループ（３４，３６）の電極は隣接する反 射回折格子（２２,２４）の隣接フィンガと空間的に同期して設けられることを 特徴とする倍モード表面波共振器。 １２．請求項１１の表面波共振器において、各ＩＤＴの電極がグループ間に共振 空洞を有する２つのグループ（３４，３６；３８，４０）に分割され、各グルー プの電極は隣接する反射回折格子の隣接するフィンガと空間的に同期して設けら れることを特徴とする表面波共振器。