JP3181475B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波装置に関
し、さらに詳細には、多段接続された複数の弾性表面波
フィルタと、隣合う弾性表面波フィルタの間に配置され
たインピーダンス整合素子とを備える弾性表面波装置に
関する。
し、さらに詳細には、多段接続された複数の弾性表面波
フィルタと、隣合う弾性表面波フィルタの間に配置され
たインピーダンス整合素子とを備える弾性表面波装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、近年普及がめざましい移動体通
信分野では、通信装置の中間周波数として７０MHz 〜４
００MHz の周波数帯域が使用されている。従来、このよ
うに５０MHz 以上の周波数帯域での通過帯域フィルタと
しては、ＬＣフィルタ、圧電バルク波を利用したモノリ
シック水晶フィルタ（以下ＭＣＦと称することがあ
る）、弾性表面波（以下ＳＡＷと称することがある）フ
ィルタなどが知られており、近年においては、なかでも
弾性表面波多重モードフィルタが多く使用されている。
信分野では、通信装置の中間周波数として７０MHz 〜４
００MHz の周波数帯域が使用されている。従来、このよ
うに５０MHz 以上の周波数帯域での通過帯域フィルタと
しては、ＬＣフィルタ、圧電バルク波を利用したモノリ
シック水晶フィルタ（以下ＭＣＦと称することがあ
る）、弾性表面波（以下ＳＡＷと称することがある）フ
ィルタなどが知られており、近年においては、なかでも
弾性表面波多重モードフィルタが多く使用されている。
【０００３】弾性表面波多重モードフィルタは、その動
作原理が一般によく知られているＭＣＦの動作原理と類
似するものであり、圧電基板とこの圧電基板上に形成さ
れたインターディジタル・トランスデューサ（以下ＩＤ
Ｔと称することがある）とを備える共振器を複数隣接し
て配置することにより、音響的結合で基本モードと高次
モードが励振するが、この基本モードの反共振周波数と
高次モードの共振周波数を一致させるようにパターン設
計して構成されたものである。
作原理が一般によく知られているＭＣＦの動作原理と類
似するものであり、圧電基板とこの圧電基板上に形成さ
れたインターディジタル・トランスデューサ（以下ＩＤ
Ｔと称することがある）とを備える共振器を複数隣接し
て配置することにより、音響的結合で基本モードと高次
モードが励振するが、この基本モードの反共振周波数と
高次モードの共振周波数を一致させるようにパターン設
計して構成されたものである。
【０００４】弾性表面波多重モードフィルタとしては、
横結合型多重モードフィルタと縦結合型多重モードフィ
ルタがある。横結合型多重モードフィルタは、図１の
（ａ）に示されているように、伝搬方向に垂直方向（横
方向）に存在する１次モード（以下対称モードと称す
る）および２次モード（以下斜対称モードと称する）の
変位分布を利用したものである。一方、縦結合型多重モ
ードフィルタは、図１の（ｂ）に示されているように、
伝搬方向（縦方向）に存在する対称モードと斜対称モー
ドの変位分布を利用したものである。このような、弾性
表面波多重モードフィルタは、帯域外減衰量を向上する
ため、通常、複数個を多段接続して用いられる。なお、
一般的に、横結合型、縦結合型ともに、Ｑを向上させる
ため、素子の両側に反射器を備えている。横結合型、縦
結合型ともにその動作原理は同じなので、簡略のため以
下は横結合型についてのみ述べる。
横結合型多重モードフィルタと縦結合型多重モードフィ
ルタがある。横結合型多重モードフィルタは、図１の
（ａ）に示されているように、伝搬方向に垂直方向（横
方向）に存在する１次モード（以下対称モードと称す
る）および２次モード（以下斜対称モードと称する）の
変位分布を利用したものである。一方、縦結合型多重モ
ードフィルタは、図１の（ｂ）に示されているように、
伝搬方向（縦方向）に存在する対称モードと斜対称モー
ドの変位分布を利用したものである。このような、弾性
表面波多重モードフィルタは、帯域外減衰量を向上する
ため、通常、複数個を多段接続して用いられる。なお、
一般的に、横結合型、縦結合型ともに、Ｑを向上させる
ため、素子の両側に反射器を備えている。横結合型、縦
結合型ともにその動作原理は同じなので、簡略のため以
下は横結合型についてのみ述べる。
【０００５】このような弾性表面波多重モードフィルタ
の通過帯域幅は、通常、対称モードの共振周波数ｆｒｓ
と斜対称モードの共振周波数ｆｒａの周波数差△ｆを中
心周波数ｆで除した値である比帯域幅（△ｆ／ｆ）で示
される。２つのモードの周波数差△ｆ（＝ｆｒａ−ｆｒ
ｓ）は、ＩＤＴの電極設計あるいは反射器のパターン配
置などによってある程度設計できる幅があるが、基本的
には圧電基板材料の電気機械結合係数Ｋ2 によって上下
限が決まる。
の通過帯域幅は、通常、対称モードの共振周波数ｆｒｓ
と斜対称モードの共振周波数ｆｒａの周波数差△ｆを中
心周波数ｆで除した値である比帯域幅（△ｆ／ｆ）で示
される。２つのモードの周波数差△ｆ（＝ｆｒａ−ｆｒ
ｓ）は、ＩＤＴの電極設計あるいは反射器のパターン配
置などによってある程度設計できる幅があるが、基本的
には圧電基板材料の電気機械結合係数Ｋ2 によって上下
限が決まる。
【０００６】上記圧電基板材料としては通常水晶が用い
られ、そのＫ2 が０．１４〜０．１６％であるので、従
来の弾性表面波多重モードフィルタの比帯域幅（△ｆ／
ｆ）は、特開昭５９−１３１２１３号公報の第８図に示
されるように０．０１〜０．０６％くらいまでが限界で
あった。図２の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に、水晶基板を
用いた比帯域幅（△ｆ／ｆ）０．０５％の横結合型多重
モードフィルタのフィルタ特性、対称モードおよび斜対
称モードのインピーダンス特性、およびスミスチャート
での特性を示す。
られ、そのＫ2 が０．１４〜０．１６％であるので、従
来の弾性表面波多重モードフィルタの比帯域幅（△ｆ／
ｆ）は、特開昭５９−１３１２１３号公報の第８図に示
されるように０．０１〜０．０６％くらいまでが限界で
あった。図２の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に、水晶基板を
用いた比帯域幅（△ｆ／ｆ）０．０５％の横結合型多重
モードフィルタのフィルタ特性、対称モードおよび斜対
称モードのインピーダンス特性、およびスミスチャート
での特性を示す。
【０００７】このように従来の弾性表面波多重モードフ
ィルタの比帯域幅（Δｆ／ｆ）は、０．０６％が限度で
あった。なお、弾性表面波多重モードフィルタにおい
て、帯域幅を基板材料の能力を越えて無理に広げようと
すると、例えば、比帯域幅（Δｆ／ｆ）を０．１％にす
ると、図３の（ａ）に示したフィルタ特性となって、中
心周波数帯域において大きなリップルが生じ、最早フィ
ルタとは呼べない状態となってしまう。これは、図３の
（ｂ）の対称および斜対称モードのインピーダンス特性
から分かるように、帯域幅を基板材料の能力を越えて無
理に広げ、対称モードの反共振周波数と斜対称モードの
共振周波数の差が大きくなったために、図３の（ｃ）の
スミスチャートに示されているように通過帯域内のフィ
ルタの動作インピーダンスが容量性リアクタンスになっ
て外部回路とのインピーダンス整合、および複数個のフ
ィルタを多段接続した場合の隣合うフィルタ間のインピ
ーダンス整合がとれなくなり、挿入損失が増すからであ
る。
ィルタの比帯域幅（Δｆ／ｆ）は、０．０６％が限度で
あった。なお、弾性表面波多重モードフィルタにおい
て、帯域幅を基板材料の能力を越えて無理に広げようと
すると、例えば、比帯域幅（Δｆ／ｆ）を０．１％にす
ると、図３の（ａ）に示したフィルタ特性となって、中
心周波数帯域において大きなリップルが生じ、最早フィ
ルタとは呼べない状態となってしまう。これは、図３の
（ｂ）の対称および斜対称モードのインピーダンス特性
から分かるように、帯域幅を基板材料の能力を越えて無
理に広げ、対称モードの反共振周波数と斜対称モードの
共振周波数の差が大きくなったために、図３の（ｃ）の
スミスチャートに示されているように通過帯域内のフィ
ルタの動作インピーダンスが容量性リアクタンスになっ
て外部回路とのインピーダンス整合、および複数個のフ
ィルタを多段接続した場合の隣合うフィルタ間のインピ
ーダンス整合がとれなくなり、挿入損失が増すからであ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】弾性表面波多重モード
フィルタの通過帯域幅を広げた場合の上記の問題を解消
ため、従来は、図６および図８に示されているように、
外部回路とインピーダンス整合をとるための整合回路を
設けていた。すなわち、弾性表面波多重モードフィルタ
１の容量性リアクタンスをキャンセルするだけのインダ
クタンスＬａ、Ｌｂ、Ｌｃを、整合回路として複数の弾
性表面波多重モードフィルタ１を多段接続している接続
点、および弾性表面波多重モードフィルタの入出力端子
に付加していた。現実には、２００ＭＨｚ以上の周波数
帯では、インダクタンスのＬ値が数百ｎＨとなること、
Ｌ値の微調整が困難なことより、コイルであるインダク
タンスＬａとコンデンサＣを組み合わせて全体で弾性表
面波多重モードフィルタの容量性リアクタンスをキャン
セルする方法がとられている。
フィルタの通過帯域幅を広げた場合の上記の問題を解消
ため、従来は、図６および図８に示されているように、
外部回路とインピーダンス整合をとるための整合回路を
設けていた。すなわち、弾性表面波多重モードフィルタ
１の容量性リアクタンスをキャンセルするだけのインダ
クタンスＬａ、Ｌｂ、Ｌｃを、整合回路として複数の弾
性表面波多重モードフィルタ１を多段接続している接続
点、および弾性表面波多重モードフィルタの入出力端子
に付加していた。現実には、２００ＭＨｚ以上の周波数
帯では、インダクタンスのＬ値が数百ｎＨとなること、
Ｌ値の微調整が困難なことより、コイルであるインダク
タンスＬａとコンデンサＣを組み合わせて全体で弾性表
面波多重モードフィルタの容量性リアクタンスをキャン
セルする方法がとられている。
【０００９】しかしながら、この場合、電気的特性に問
題が発生する。前記のインピーダンス整合の方法では、
通過帯域では、インピーダンス整合がとれるが、広帯域
のフィルタ特性をみると、インピーダンス整合が、ちょ
うど大きなＬＣ共振となるために、帯域外特性はＬＣ共
振のレスポンスが支配的になり、帯域外減衰量が劣化し
てしまう。対策として、図６および図８の（ａ）に示し
たように、Ｌ、Ｃに並列に抵抗Ｒを付加してＬＣ共振の
Ｑを下げて帯域外減衰量を大きくする方法もあるが、あ
まり大きな効果が得られない。実際、図８の（ｂ）、
（ｃ）と図３（ａ）を比較すれば分かるように、インピ
ーダンス整合回路を設けた場合は、帯域外減衰量が２０
ｄＢ程度劣化してしまっている。
題が発生する。前記のインピーダンス整合の方法では、
通過帯域では、インピーダンス整合がとれるが、広帯域
のフィルタ特性をみると、インピーダンス整合が、ちょ
うど大きなＬＣ共振となるために、帯域外特性はＬＣ共
振のレスポンスが支配的になり、帯域外減衰量が劣化し
てしまう。対策として、図６および図８の（ａ）に示し
たように、Ｌ、Ｃに並列に抵抗Ｒを付加してＬＣ共振の
Ｑを下げて帯域外減衰量を大きくする方法もあるが、あ
まり大きな効果が得られない。実際、図８の（ｂ）、
（ｃ）と図３（ａ）を比較すれば分かるように、インピ
ーダンス整合回路を設けた場合は、帯域外減衰量が２０
ｄＢ程度劣化してしまっている。
【００１０】また、フィルタの使用上においても、イン
ピーダンス整合をとるためにＬ、Ｃ、Ｒなどが必要とな
り、部品点数が増えること、それぞれのインピーダンス
整合点で微調整が必要なことから非常に扱い難いデバイ
スとなってしまう不具合がある。
ピーダンス整合をとるためにＬ、Ｃ、Ｒなどが必要とな
り、部品点数が増えること、それぞれのインピーダンス
整合点で微調整が必要なことから非常に扱い難いデバイ
スとなってしまう不具合がある。
【００１１】また、高周波領域では、プリント基板のま
わりの浮遊容量成分あるいはインピーダンス整合用のイ
ンダクタンス、コンデンサなどの配置が帯域外減衰量に
大きく影響するため、実用上では帯域外特性が不安定と
なる。
わりの浮遊容量成分あるいはインピーダンス整合用のイ
ンダクタンス、コンデンサなどの配置が帯域外減衰量に
大きく影響するため、実用上では帯域外特性が不安定と
なる。
【００１２】そこで、本発明は、比帯域幅（△ｆ／ｆ）
が大きく、かつ帯域外減衰量の大きなフィルタ特性を安
定に得ることのできる弾性表面波装置を提供することを
目的とする。
が大きく、かつ帯域外減衰量の大きなフィルタ特性を安
定に得ることのできる弾性表面波装置を提供することを
目的とする。
【００１３】本発明の他の目的は、フィルタ部分とイン
ピーダンス整合素子を１つのパッケージの中に内蔵化し
て、部品点数の削減、整合回路の微調整および周辺回路
の影響をなくすことのできる弾性表面波装置を提供する
ことにある。
ピーダンス整合素子を１つのパッケージの中に内蔵化し
て、部品点数の削減、整合回路の微調整および周辺回路
の影響をなくすことのできる弾性表面波装置を提供する
ことにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
（１）〜（５）の本発明により達成される。 （１）多段に接続された複数の弾性表面波フィルタと、
インピーダンス整合素子と、を備えた弾性表面波装置に
おいて、前記インピーダンス整合素子を弾性表面波共振
器で構成され、隣り合う弾性表面波フィルタの間に並列
に介在されており、該弾性表面波共振器の圧電基板の電
気機械結合係数を前記弾性表面波フィルタの圧電基板の
電気機械結合係数より大きく設定することにより前記弾
性表面波共振器の誘導性帯域を前記弾性表面波フィルタ
の通過帯域より広く設定し、且つ前記弾性表面はフィル
タの阻止帯域では前記弾性表面波共振器が容量性リアク
タンスとなっていることを特徴とする弾性表面波装置。 （２）前記多段の各段を、並列接続された同数の複数の
弾性表面波フィルタで構成し、隣合う段の間にインピー
ダンス整合素子である弾性表面波共振器が配置されてい
る上記（１）の弾性表面波装置。 （３）前記弾性表面波フィルタと前記弾性表面波共振器
を１つのパッケージに搭載したことを特徴とする上記
（１）または（２）の弾性表面波装置。 （４）前記弾性表面波フィルタが弾性表面波多重モード
フィルタである上記（１）ないし（３）のいずれかの弾
性表面波装置。 （５）前記弾性表面波フィルタがトランスバーサル型弾
性表面波フィルタである上記（１）ないし（３）のいず
れかの弾性表面波装置。
（１）〜（５）の本発明により達成される。 （１）多段に接続された複数の弾性表面波フィルタと、
インピーダンス整合素子と、を備えた弾性表面波装置に
おいて、前記インピーダンス整合素子を弾性表面波共振
器で構成され、隣り合う弾性表面波フィルタの間に並列
に介在されており、該弾性表面波共振器の圧電基板の電
気機械結合係数を前記弾性表面波フィルタの圧電基板の
電気機械結合係数より大きく設定することにより前記弾
性表面波共振器の誘導性帯域を前記弾性表面波フィルタ
の通過帯域より広く設定し、且つ前記弾性表面はフィル
タの阻止帯域では前記弾性表面波共振器が容量性リアク
タンスとなっていることを特徴とする弾性表面波装置。 （２）前記多段の各段を、並列接続された同数の複数の
弾性表面波フィルタで構成し、隣合う段の間にインピー
ダンス整合素子である弾性表面波共振器が配置されてい
る上記（１）の弾性表面波装置。 （３）前記弾性表面波フィルタと前記弾性表面波共振器
を１つのパッケージに搭載したことを特徴とする上記
（１）または（２）の弾性表面波装置。 （４）前記弾性表面波フィルタが弾性表面波多重モード
フィルタである上記（１）ないし（３）のいずれかの弾
性表面波装置。 （５）前記弾性表面波フィルタがトランスバーサル型弾
性表面波フィルタである上記（１）ないし（３）のいず
れかの弾性表面波装置。
【００１５】
【作用】上記のように構成された弾性表面波装置は、弾
性表面波共振器の圧電基板の電気機械結合係数が弾性表
面波フィルタの圧電基板よりも大きいので、図５に示す
ように弾性表面波共振器は、弾性表面波フィルタの通過
帯域幅よりも大きい帯域幅のインピーダンス特性を示
す。また、弾性表面波共振器のインピーダンスは、ある
周波数帯で位相が９０°の誘導性リアクタンスとなり、
他の周波数帯では位相−９０°の容量性リアクタンスと
なる。すなわち、周波数帯域制限されたインダクタンス
を構成できる。このことより弾性表面波フィルタの通過
帯域と弾性表面波共振器の誘導性帯域を設計により一致
させると、通過帯域のみの弾性表面波共振器のインダク
タンスでインピーダンス整合ができ、阻止帯域では容量
性リアクタンスとなるため不整合となる組合せが可能と
なる。したがって、従来のようなＬＣ共振による帯域外
特性の悪化が起きず、高い帯域外減衰量が確保できる。
性表面波共振器の圧電基板の電気機械結合係数が弾性表
面波フィルタの圧電基板よりも大きいので、図５に示す
ように弾性表面波共振器は、弾性表面波フィルタの通過
帯域幅よりも大きい帯域幅のインピーダンス特性を示
す。また、弾性表面波共振器のインピーダンスは、ある
周波数帯で位相が９０°の誘導性リアクタンスとなり、
他の周波数帯では位相−９０°の容量性リアクタンスと
なる。すなわち、周波数帯域制限されたインダクタンス
を構成できる。このことより弾性表面波フィルタの通過
帯域と弾性表面波共振器の誘導性帯域を設計により一致
させると、通過帯域のみの弾性表面波共振器のインダク
タンスでインピーダンス整合ができ、阻止帯域では容量
性リアクタンスとなるため不整合となる組合せが可能と
なる。したがって、従来のようなＬＣ共振による帯域外
特性の悪化が起きず、高い帯域外減衰量が確保できる。
【００１６】また、前記弾性表面波装置を並列接続する
ことによりフィルタの入力インピーダンスを低下させる
ことができ、フィルタの前後でインピーダンス変換して
整合がとりやすくなる。
ことによりフィルタの入力インピーダンスを低下させる
ことができ、フィルタの前後でインピーダンス変換して
整合がとりやすくなる。
【００１７】さらに、弾性表面波共振器は弾性表面波フ
ィルタと全く同一製造工法により形成されるので、小型
のインピーダンス整合素子が容易に作成できる。これに
より、弾性表面波フィルタと弾性表面波共振器を１つの
パッケージに収容することが可能となり、取扱い易くな
るとともに、周辺回路などの影響を受けにくくなる。
ィルタと全く同一製造工法により形成されるので、小型
のインピーダンス整合素子が容易に作成できる。これに
より、弾性表面波フィルタと弾性表面波共振器を１つの
パッケージに収容することが可能となり、取扱い易くな
るとともに、周辺回路などの影響を受けにくくなる。
【００１８】
【具体的構成】以下、本発明の具体的構成について詳細
に説明する。
に説明する。
【００１９】本発明の弾性表面波装置の一例を図７およ
び図９に示す。この弾性表面波装置Ｄは、７０〜４００
ＭＨｚ程度の周波数帯域のフィルタとして用いられるも
のであり、複数の弾性表面波フィルタ（以下弾性表面波
多重モードフィルタを代表して説明する）１が多段（図
においては２段のものを示した）接続され、これらの２
つの弾性表面波多重モードフィルタ１の接続部にインピ
ーダンス整合素子としての弾性表面波共振器２が接続さ
れた構造を有している。なお、弾性表面波フィルタとし
ては、上記の弾性表面波多重モードフィルタの他、トラ
ンスバーサル型弾性表面波フィルタ等も好ましく用いる
ことができる。
び図９に示す。この弾性表面波装置Ｄは、７０〜４００
ＭＨｚ程度の周波数帯域のフィルタとして用いられるも
のであり、複数の弾性表面波フィルタ（以下弾性表面波
多重モードフィルタを代表して説明する）１が多段（図
においては２段のものを示した）接続され、これらの２
つの弾性表面波多重モードフィルタ１の接続部にインピ
ーダンス整合素子としての弾性表面波共振器２が接続さ
れた構造を有している。なお、弾性表面波フィルタとし
ては、上記の弾性表面波多重モードフィルタの他、トラ
ンスバーサル型弾性表面波フィルタ等も好ましく用いる
ことができる。
【００２０】弾性表面波多重モードフィルタの接続段数
は、２以上、好ましくは２〜３に設定される。これらの
弾性表面波多重モードフィルタは全て同じ構造のもので
あり、ＩＤＴ部１０と、このＩＤＴ部１０の両側に配置
された反射器２０を備えている。ＩＤＴ部１０は、圧電
基板１１と、この圧電基板１１上に形成配置されたＩＤ
Ｔ電極１２とを備えている。
は、２以上、好ましくは２〜３に設定される。これらの
弾性表面波多重モードフィルタは全て同じ構造のもので
あり、ＩＤＴ部１０と、このＩＤＴ部１０の両側に配置
された反射器２０を備えている。ＩＤＴ部１０は、圧電
基板１１と、この圧電基板１１上に形成配置されたＩＤ
Ｔ電極１２とを備えている。
【００２１】上記圧電基板１１としては、通常、温度特
性の良好なカット角３０〜４３°程度のＳＴカット水晶
基板が用いられ、その電気機械結合係数Ｋ2 は、０．１
４〜０．１6 ％程度である。圧電基板材料としては、上
記の水晶の他、Ｋ2 が０．６４％のＸカット１１２°回
転Ｙ方向伝翻ＬｉＴａＯ3 基板（以下、Ｘ−１１２ＬＴ
と称することがある）等を用いることができる。電極材
料としては、導電性の良好な金属や合金であるならどの
ようなものでも用いることができるが、通常高純度アル
ミニウム、あるいはＣｕやＴｉなどを少量添加したアル
ミニウム合金等が使用される。電極は、通常蒸着等によ
って形成され、その膜厚は、フィルタの中心周波数によ
って異なるが、例えば、２５０ＭＨｚ帯フィルタの場
合、２０００〜５０００Ａが好ましい。
性の良好なカット角３０〜４３°程度のＳＴカット水晶
基板が用いられ、その電気機械結合係数Ｋ2 は、０．１
４〜０．１6 ％程度である。圧電基板材料としては、上
記の水晶の他、Ｋ2 が０．６４％のＸカット１１２°回
転Ｙ方向伝翻ＬｉＴａＯ3 基板（以下、Ｘ−１１２ＬＴ
と称することがある）等を用いることができる。電極材
料としては、導電性の良好な金属や合金であるならどの
ようなものでも用いることができるが、通常高純度アル
ミニウム、あるいはＣｕやＴｉなどを少量添加したアル
ミニウム合金等が使用される。電極は、通常蒸着等によ
って形成され、その膜厚は、フィルタの中心周波数によ
って異なるが、例えば、２５０ＭＨｚ帯フィルタの場
合、２０００〜５０００Ａが好ましい。
【００２２】また、上記反射器２０は、上記ＩＤＴ部１
０と共通の圧電基板１１上に多数の電極２２を形成配置
した構造のものである。
０と共通の圧電基板１１上に多数の電極２２を形成配置
した構造のものである。
【００２３】弾性表面波多重モードフィルタは、主とし
て、図１２の（ａ）に示したＩＤＴ部１０のＩＤＴ電極
１２のＩＤＴ対数、電極ピッチλＩＤＴ、交差幅Ｗ、結
合長さＧ、および反射器２０の電極本数（図には反射器
本数と示した）、電極ピッチλＲＥＦ、ならびにＩＤＴ
電極１２と反射器２０の間の間隔等が総合的に調整され
て、そのフィルタの中心周波数が上記の範囲に設定さ
れ、かつその比帯域幅（Δｆ／ｆ）が０．０６〜０．１
５％に調整される。
て、図１２の（ａ）に示したＩＤＴ部１０のＩＤＴ電極
１２のＩＤＴ対数、電極ピッチλＩＤＴ、交差幅Ｗ、結
合長さＧ、および反射器２０の電極本数（図には反射器
本数と示した）、電極ピッチλＲＥＦ、ならびにＩＤＴ
電極１２と反射器２０の間の間隔等が総合的に調整され
て、そのフィルタの中心周波数が上記の範囲に設定さ
れ、かつその比帯域幅（Δｆ／ｆ）が０．０６〜０．１
５％に調整される。
【００２４】上記トランスバーサル型弾性表面波フィル
タは、図１の（ｃ）に示したように、送信側と受信側に
ＩＤＴ電極を配し、各電極指の励振強度に重みを付けて
フィルタ特性を得るフィルタである。ＩＤＴは、入力端
子が電気系で出力端子が音響系、またはその逆の回路と
して非常に疎な電気音響結合状態で考えると、図１の
（ｄ）のように書き表される。図の各要素をデルタ関数
モデルを使って説明すると、重み関数値Ｗi は各電極端
部の振源の強度に相当し、遅延時間τi は（ｉ−１）番
目の振源とｉ番目の振源間を弾性表面波が伝搬する時間
である。このフィルタの周波数特性Ｈωは、下記数１に
より表される。
タは、図１の（ｃ）に示したように、送信側と受信側に
ＩＤＴ電極を配し、各電極指の励振強度に重みを付けて
フィルタ特性を得るフィルタである。ＩＤＴは、入力端
子が電気系で出力端子が音響系、またはその逆の回路と
して非常に疎な電気音響結合状態で考えると、図１の
（ｄ）のように書き表される。図の各要素をデルタ関数
モデルを使って説明すると、重み関数値Ｗi は各電極端
部の振源の強度に相当し、遅延時間τi は（ｉ−１）番
目の振源とｉ番目の振源間を弾性表面波が伝搬する時間
である。このフィルタの周波数特性Ｈωは、下記数１に
より表される。
【００２５】
【数１】
【００２６】このような、トランスバーサル型弾性表面
波フィルタにおいても、上記の弾性表面波多重モードフ
ィルタと同様の問題が生じ、本発明は、このトランスバ
ーサル型弾性表面波フィルタについて生ずる問題の解消
についても有効である。
波フィルタにおいても、上記の弾性表面波多重モードフ
ィルタと同様の問題が生じ、本発明は、このトランスバ
ーサル型弾性表面波フィルタについて生ずる問題の解消
についても有効である。
【００２７】上記弾性表面波共振器２としては、図４の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）にそれぞれ示したキャビティ型
弾性表面波共振器、多対型弾性表面波共振器、折り返し
型弾性表面波共振器等を用いることができる。図４の
（ａ）のキャビティ型弾性表面波共振器は、ＩＤＴの両
側に反射器を配置し、ＩＤＴから放射された表面波を反
射器により反射させて、共振空洞を形成するタイプのも
のである。図４の（ｂ）の多対型弾性表面波共振器は、
ＩＤＴの電極本数を多くし、ＩＤＴ自体の電極反射によ
り共振させるタイプのものである。また、図４の（ｃ）
の折り返し型弾性表面波共振器は、図４の（ａ）、
（ｂ）の共振器のＩＤＴを折り返すことにより、インピ
ーダンスを高くしたタイプのものである。図７には、多
対折り返し型共振器を用いた例を示した。
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）にそれぞれ示したキャビティ型
弾性表面波共振器、多対型弾性表面波共振器、折り返し
型弾性表面波共振器等を用いることができる。図４の
（ａ）のキャビティ型弾性表面波共振器は、ＩＤＴの両
側に反射器を配置し、ＩＤＴから放射された表面波を反
射器により反射させて、共振空洞を形成するタイプのも
のである。図４の（ｂ）の多対型弾性表面波共振器は、
ＩＤＴの電極本数を多くし、ＩＤＴ自体の電極反射によ
り共振させるタイプのものである。また、図４の（ｃ）
の折り返し型弾性表面波共振器は、図４の（ａ）、
（ｂ）の共振器のＩＤＴを折り返すことにより、インピ
ーダンスを高くしたタイプのものである。図７には、多
対折り返し型共振器を用いた例を示した。
【００２８】これらの弾性表面波共振器は、図５を参照
して説明したように、そのインピーダンス特性の誘導性
帯域を用いてインピーダンス整合素子として機能するも
のである。なお、本明細書においては、この弾性表面波
共振器の誘導性帯域の幅を単に帯域幅と称し、この帯域
幅を中心周波数で除した値を共振器比帯域幅と称するこ
ととする。
して説明したように、そのインピーダンス特性の誘導性
帯域を用いてインピーダンス整合素子として機能するも
のである。なお、本明細書においては、この弾性表面波
共振器の誘導性帯域の幅を単に帯域幅と称し、この帯域
幅を中心周波数で除した値を共振器比帯域幅と称するこ
ととする。
【００２９】弾性表面波共振器２は、上記の弾性表面波
多重モードフィルタのＩＤＴ部１０と同様、圧電基板３
と、その上に形成配置されたＩＤＴ電極４とを備えてい
る。上記圧電基板３は、上記ＩＤＴ部１０の圧電基板１
１の電気機械結合係数Ｋ２より大きな値の電気機械結合
係数Ｋ２を有する材料が使用される。この圧電基板の電
気機械結合係数Ｋ２は、特に２〜１５％が好ましく、例
えば、Ｋ２が６．５％の３６°回転ＹカットＸ伝搬Ｌｉ
ＴａＯ３基板（以下３６ＬＴと称する）、Ｋ２が１１．
３％の６４°回転ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板（以
下６４ＬＮと称する）、Ｋ２が５．５％の１２８°回転
ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板（以下１２８ＬＮと称
する）等を用いることができる。
多重モードフィルタのＩＤＴ部１０と同様、圧電基板３
と、その上に形成配置されたＩＤＴ電極４とを備えてい
る。上記圧電基板３は、上記ＩＤＴ部１０の圧電基板１
１の電気機械結合係数Ｋ２より大きな値の電気機械結合
係数Ｋ２を有する材料が使用される。この圧電基板の電
気機械結合係数Ｋ２は、特に２〜１５％が好ましく、例
えば、Ｋ２が６．５％の３６°回転ＹカットＸ伝搬Ｌｉ
ＴａＯ３基板（以下３６ＬＴと称する）、Ｋ２が１１．
３％の６４°回転ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板（以
下６４ＬＮと称する）、Ｋ２が５．５％の１２８°回転
ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板（以下１２８ＬＮと称
する）等を用いることができる。
【００３０】弾性表面波共振器の上記共振器比帯域幅
は、上記弾性表面波多重モードフィルタ１の比帯域幅
（△ｆ／ｆ）の５〜７０倍の範囲、特に１０〜５０倍の
範囲であることが好ましい。例えば、弾性表面波多重モ
ードフィルタの中心周波数が２５０ＭＨｚで、通過帯域
幅が２５０ｋＨｚである場合には、比帯域幅（△ｆ／
ｆ）は０．１％であるが、弾性表面波共振器の共振器比
帯域幅は０．５〜７％、特に１〜５％であることが好ま
しい。したがって、弾性表面波共振器の帯域幅は、１．
２５〜１７．５ＭＨｚ、特に２．５〜１２．５ＭＨｚの
範囲であることが好ましい。弾性表面波共振器の帯域幅
は、主として上記圧電基板３の電気機械結合係数Ｋ2 に
より決定され、図１２の（ｂ）に示したＩＤＴ対数、電
極ピッチλIDT、交差幅Ｗ等を総合的に調整することに
より微調整される。例えば、中心周波数が２５０ＭＨｚ
の場合には、弾性表面波共振器の帯域幅は、Ｋ2 が６．
５％の３６ＬＴを用いると、２〜８ＭＨｚ程度が可能と
なり、Ｋ2 が１１．３％の６４ＬＮを用いると、５〜１
５ＭＨｚ程度が可能となり、Ｋ2 が５．５％の１２８Ｌ
Ｎを用いると、１〜６ＭＨｚ程度が可能となる。
は、上記弾性表面波多重モードフィルタ１の比帯域幅
（△ｆ／ｆ）の５〜７０倍の範囲、特に１０〜５０倍の
範囲であることが好ましい。例えば、弾性表面波多重モ
ードフィルタの中心周波数が２５０ＭＨｚで、通過帯域
幅が２５０ｋＨｚである場合には、比帯域幅（△ｆ／
ｆ）は０．１％であるが、弾性表面波共振器の共振器比
帯域幅は０．５〜７％、特に１〜５％であることが好ま
しい。したがって、弾性表面波共振器の帯域幅は、１．
２５〜１７．５ＭＨｚ、特に２．５〜１２．５ＭＨｚの
範囲であることが好ましい。弾性表面波共振器の帯域幅
は、主として上記圧電基板３の電気機械結合係数Ｋ2 に
より決定され、図１２の（ｂ）に示したＩＤＴ対数、電
極ピッチλIDT、交差幅Ｗ等を総合的に調整することに
より微調整される。例えば、中心周波数が２５０ＭＨｚ
の場合には、弾性表面波共振器の帯域幅は、Ｋ2 が６．
５％の３６ＬＴを用いると、２〜８ＭＨｚ程度が可能と
なり、Ｋ2 が１１．３％の６４ＬＮを用いると、５〜１
５ＭＨｚ程度が可能となり、Ｋ2 が５．５％の１２８Ｌ
Ｎを用いると、１〜６ＭＨｚ程度が可能となる。
【００３１】弾性表面波共振器の共振器比帯域幅を上記
のように設定した理由は、上記の範囲未満である場合、
すなわち共振帯域幅が小さ過ぎる場合には、インピーダ
ンス整合の役割を果たす誘導性（Ｌの値）が急峻な周波
数特性を持つために、フィルタの帯域内特性が悪化し、
一方、上記の範囲を超える場合、すなわち共振帯域幅が
大き過ぎる場合には、誘導性リアクタンスの帯域制限効
果が小さくなり、帯域外減衰量が劣化するからである。
のように設定した理由は、上記の範囲未満である場合、
すなわち共振帯域幅が小さ過ぎる場合には、インピーダ
ンス整合の役割を果たす誘導性（Ｌの値）が急峻な周波
数特性を持つために、フィルタの帯域内特性が悪化し、
一方、上記の範囲を超える場合、すなわち共振帯域幅が
大き過ぎる場合には、誘導性リアクタンスの帯域制限効
果が小さくなり、帯域外減衰量が劣化するからである。
【００３２】上記の例では横結合多重モードフィルタで
行ったが縦結合型多重モードフィルタの場合でも帯域幅
を無理に広げて通過帯域内が容量性リアクタンスとなっ
た場合には本発明は有効である。また、弾性表面波トラ
ンスバーサル型フィルタを複数多段接続する場合にも、
通常、弾性表面波トランスバーサル型フィルタの入出力
インピーダンスが容量性リアクタンスとなるので、本発
明は有効である。
行ったが縦結合型多重モードフィルタの場合でも帯域幅
を無理に広げて通過帯域内が容量性リアクタンスとなっ
た場合には本発明は有効である。また、弾性表面波トラ
ンスバーサル型フィルタを複数多段接続する場合にも、
通常、弾性表面波トランスバーサル型フィルタの入出力
インピーダンスが容量性リアクタンスとなるので、本発
明は有効である。
【００３３】なお、弾性表面波共振器として、図４にキ
ャビティ型、多対型、折り返し型を示したが、帯域幅が
比較的狭いときにはキャビティ型を用い、比較的広いと
きには多対型を用いることが望ましい。なお、フィルタ
とのインピーダンス整合を行なうため、共振器を折り返
す場合がある。この中では、共振器の帯域幅を大きくと
り易い多対型共振器が特に望ましい。共振器のＬ値は図
５のように周波数依存性をもつために動作点でのＬ値が
ばらつき易い欠点があるが、共振器の帯域幅が大きくな
ればＬ値の周波数変動率が小さくなり、ばらつきにくく
なるからである。また、同じ理由で共振器のＱは低く抑
えたほうがよい。
ャビティ型、多対型、折り返し型を示したが、帯域幅が
比較的狭いときにはキャビティ型を用い、比較的広いと
きには多対型を用いることが望ましい。なお、フィルタ
とのインピーダンス整合を行なうため、共振器を折り返
す場合がある。この中では、共振器の帯域幅を大きくと
り易い多対型共振器が特に望ましい。共振器のＬ値は図
５のように周波数依存性をもつために動作点でのＬ値が
ばらつき易い欠点があるが、共振器の帯域幅が大きくな
ればＬ値の周波数変動率が小さくなり、ばらつきにくく
なるからである。また、同じ理由で共振器のＱは低く抑
えたほうがよい。
【００３４】弾性表面波共振器は、弾性表面波フィルタ
と同一製造工法（フォトプロセス）により作成でき、小
型化が容易である。前記の例では２×１mmの寸法ででき
た。したがって、１つのパッケージの中にフィルタデバ
イスと整合用共振器デバイスを入れることが実現でき
た。図１０にセラミック・パッケージに弾性表面波（Ｓ
ＡＷ）フィルタと弾性表面波（ＳＡＷ）共振器を入れた
簡略図を示す。これは、１つのパッケージの中でインピ
ーダンス整合を行っているので、周辺回路、プリント基
板などの影響を受けずに安定に帯域外減衰量を維持する
効果がある。
と同一製造工法（フォトプロセス）により作成でき、小
型化が容易である。前記の例では２×１mmの寸法ででき
た。したがって、１つのパッケージの中にフィルタデバ
イスと整合用共振器デバイスを入れることが実現でき
た。図１０にセラミック・パッケージに弾性表面波（Ｓ
ＡＷ）フィルタと弾性表面波（ＳＡＷ）共振器を入れた
簡略図を示す。これは、１つのパッケージの中でインピ
ーダンス整合を行っているので、周辺回路、プリント基
板などの影響を受けずに安定に帯域外減衰量を維持する
効果がある。
【００３５】なお、図７に示した構成、すなわち弾性表
面波共振器によりインピーダンス整合を行なった構成の
弾性表面波装置Ｄは、図１１の（ａ）、（ｂ）に示した
ように、各段の弾性表面波フィルタ１を複数個並列接続
した構成とすることが好ましい。このとき、各段を構成
する弾性表面波フィルタの数は、同数とし、２〜５個、
特に２〜３個が好ましい。これにより、例えば、各段を
２つの弾性表面波フィルタで構成したとき、１つの弾性
表面波フィルタだけのときの入力インピーダンスが１０
００Ωだったものが、５００Ω以下と２分の１に低下さ
せることができ、例えばＰIIＳ用ＩＦの場合、フィルタ
の前後でインピーダンス変換して整合が取りやすくなる
からである。
面波共振器によりインピーダンス整合を行なった構成の
弾性表面波装置Ｄは、図１１の（ａ）、（ｂ）に示した
ように、各段の弾性表面波フィルタ１を複数個並列接続
した構成とすることが好ましい。このとき、各段を構成
する弾性表面波フィルタの数は、同数とし、２〜５個、
特に２〜３個が好ましい。これにより、例えば、各段を
２つの弾性表面波フィルタで構成したとき、１つの弾性
表面波フィルタだけのときの入力インピーダンスが１０
００Ωだったものが、５００Ω以下と２分の１に低下さ
せることができ、例えばＰIIＳ用ＩＦの場合、フィルタ
の前後でインピーダンス変換して整合が取りやすくなる
からである。
【００３６】
【実施例】表１に示す構造および特性を有する弾性表面
波多重モードフィルタと、表２に示す構造および特性を
有する３つの弾性表面波共振器を組み合わせて図７およ
び図９の構造の実施例１ないし３の弾性表面波装置を作
製した。一方、比較例として、図６に示した従来の構造
の弾性表面波装置を準備した。この比較例の弾性表面波
装置においては、上記したようにインピーダンス整合素
子としてＬＣ素子を用いた。Ｌ素子としては、Ｌが４７
ｎＨで、Ｑが４０の捲線タイプのＬチップを用いた。ま
た、Ｃ素子としては、Ｃが５ｐＦの通常のチップを用い
た。
波多重モードフィルタと、表２に示す構造および特性を
有する３つの弾性表面波共振器を組み合わせて図７およ
び図９の構造の実施例１ないし３の弾性表面波装置を作
製した。一方、比較例として、図６に示した従来の構造
の弾性表面波装置を準備した。この比較例の弾性表面波
装置においては、上記したようにインピーダンス整合素
子としてＬＣ素子を用いた。Ｌ素子としては、Ｌが４７
ｎＨで、Ｑが４０の捲線タイプのＬチップを用いた。ま
た、Ｃ素子としては、Ｃが５ｐＦの通常のチップを用い
た。
【００３７】
【表１】
【００３８】
【表２】
【００３９】以上の実施例１ないし３の弾性表面波装置
と比較例の弾性表面波装置を用いて実際にフィルタ特性
等を調べた。その結果を、図１３、図１４、図１５およ
び図１６に示した。これらの図から分かるように、本実
施例の弾性表面波装置においては、比較例の弾性表面波
装置に比べて、帯域外減衰量を１２〜１９ｄＢ改善する
ことができた。
と比較例の弾性表面波装置を用いて実際にフィルタ特性
等を調べた。その結果を、図１３、図１４、図１５およ
び図１６に示した。これらの図から分かるように、本実
施例の弾性表面波装置においては、比較例の弾性表面波
装置に比べて、帯域外減衰量を１２〜１９ｄＢ改善する
ことができた。
【００４０】次に、表１に示す構造および特性を有する
弾性表面波多重モードフィルタと、表３に示す構造およ
び特性を有する３つの弾性表面波共振器を組み合わせて
図１１の（ａ）、（ｂ）の各段を並列に接続した複数の
弾性表面波フィルタで構成した構造の実施例４ないし６
の弾性表面波装置を作製した。これらのフィルタ特性等
を調べたところ、図１７、図１８および図１９に示した
ように、それぞれ実施例１ないし３と同等もしくはそれ
以上の特性が得られた。また、実施例１ないし３の弾性
表面波装置においては、入出力インピーダンスが１００
０Ωであったものが、実施例４ないし６の弾性表面波装
置では、５００Ωと半減できた。
弾性表面波多重モードフィルタと、表３に示す構造およ
び特性を有する３つの弾性表面波共振器を組み合わせて
図１１の（ａ）、（ｂ）の各段を並列に接続した複数の
弾性表面波フィルタで構成した構造の実施例４ないし６
の弾性表面波装置を作製した。これらのフィルタ特性等
を調べたところ、図１７、図１８および図１９に示した
ように、それぞれ実施例１ないし３と同等もしくはそれ
以上の特性が得られた。また、実施例１ないし３の弾性
表面波装置においては、入出力インピーダンスが１００
０Ωであったものが、実施例４ないし６の弾性表面波装
置では、５００Ωと半減できた。
【００４１】
【表３】
【００４２】なお、本実施例では、弾性表面波フィルタ
を水晶基板を用いて形成した場合についてのみ示した
が、他の材料、例えば、Ｘ−１１２ＬＴ等を用いた場合
でも同様の効果が得られた。また、上記実施例では、弾
性表面波フィルタとして、弾性表面波多重モードフィル
タを用いた例について示したが、トランスバーサル型弾
性表面波フィルタの場合にも同等の効果が得られ、ＬＣ
素子を用いたときと比較して、帯域外減衰量を１０ｄＢ
以上改善することができた。
を水晶基板を用いて形成した場合についてのみ示した
が、他の材料、例えば、Ｘ−１１２ＬＴ等を用いた場合
でも同様の効果が得られた。また、上記実施例では、弾
性表面波フィルタとして、弾性表面波多重モードフィル
タを用いた例について示したが、トランスバーサル型弾
性表面波フィルタの場合にも同等の効果が得られ、ＬＣ
素子を用いたときと比較して、帯域外減衰量を１０ｄＢ
以上改善することができた。
【００４３】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、従来の弾性表面波フィルタよりも大きな帯域外減衰
量（約１０〜２０dB改善）を確保できる。
で、従来の弾性表面波フィルタよりも大きな帯域外減衰
量（約１０〜２０dB改善）を確保できる。
【００４４】また、製造工法が容易なこと、整合素子が
小型にできることより整合素子内蔵化弾性表面波フィル
タデバイスが可能になった。これにより、従来必要であ
った２素子の接続点でのインピーダンス整合のための部
品（Ｌ、Ｃ、Ｒ）をなくすことができる。
小型にできることより整合素子内蔵化弾性表面波フィル
タデバイスが可能になった。これにより、従来必要であ
った２素子の接続点でのインピーダンス整合のための部
品（Ｌ、Ｃ、Ｒ）をなくすことができる。
【図１】一般的な弾性表面波フィルタのパターン構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】従来の比帯域幅０．０５％の多重モードフィル
タの例を示す図である。
タの例を示す図である。
【図３】従来の比帯域幅０．１％の多重モードフィルタ
の例を示す図である。
の例を示す図である。
【図４】一般的な弾性表面波共振器のパターン構成を示
す図である。
す図である。
【図５】弾性表面波共振器のインピーダンス特性、Ｌ−
Ｑ特性および弾性表面波フィルタとの帯域幅比較を示す
図である。
Ｑ特性および弾性表面波フィルタとの帯域幅比較を示す
図である。
【図６】従来の多重モードフィルタのパターン接続例を
示す図である。
示す図である。
【図７】本発明の多重モードフィルタのパターン接続例
を示す図である。
を示す図である。
【図８】従来のインピーダンス整合によるフィルタ特性
を示す図である。
を示す図である。
【図９】本発明の弾性表面波共振器のインピーダンス整
合によるフィルタ特性を示す図である。
合によるフィルタ特性を示す図である。
【図１０】本発明のパッケージ内部構成を示す図であ
る。
る。
【図１１】本発明の並列接続による低インピーダンス化
実施例を示す図である。
実施例を示す図である。
【図１２】弾性表面波装置の構造を説明するための図で
ある。
ある。
【図１３】実施例１の弾性表面波装置のフィルタ特性等
を示す図である。
を示す図である。
【図１４】実施例２の弾性表面波装置のフィルタ特性等
を示す図である。
を示す図である。
【図１５】実施例３の弾性表面波装置のフィルタ特性等
を示す図である。
を示す図である。
【図１６】比較例の弾性表面波装置のフィルタ特性等を
示す図である。
示す図である。
【図１７】実施例４の弾性表面波装置のフィルタ特性等
を示す図である。
を示す図である。
【図１８】実施例５の弾性表面波装置のフィルタ特性等
を示す図である。
を示す図である。
【図１９】実施例６の弾性表面波装置のフィルタ特性等
を示す図である。
を示す図である。
１ 弾性表面波多重モードフィルタ ２ 弾性表面波共振器 ３ 圧電基板 ４ ＩＤＴ電極 １０ ＩＤＴ部 １１ 圧電基板 １２ ＩＤＴ電極 ２０ 反射器 ２２ 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 勝男 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−129884（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−129512（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−260911（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−139016（ＪＰ，Ｕ)
Claims (5)
- 【請求項１】 多段に接続された複数の弾性表面波フィ
ルタと、 インピーダンス整合素子と、 を備えた弾性表面波装置において、 前記インピーダンス整合素子を弾性表面波共振器で構成
され、隣り合う弾性表面波フィルタの間に並列に介在さ
れており、 該弾性表面波共振器の圧電基板の電気機械結合係数を前
記弾性表面波フィルタの圧電基板の電気機械結合係数よ
り大きく設定することにより前記弾性表面波共振器の誘
導性帯域を前記弾性表面波フィルタの通過帯域より広く
設定し、且つ前記弾性表面はフィルタの阻止帯域では前
記弾性表面波共振器が容量性リアクタンスとなっている
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】 前記多段の各段を、並列接続された同数
の複数の弾性表面波フィルタで構成し、隣合う段の間に
インピーダンス整合素子である弾性表面波共振器が配置
されている請求項１の弾性表面波装置。 - 【請求項３】 前記弾性表面波フィルタと前記弾性表面
波共振器を１つのパッケージに搭載したことを特徴とす
る請求項１または２の弾性表面波装置。 - 【請求項４】 前記弾性表面波フィルタが弾性表面波多
重モードフィルタである請求項１ないし３のいずれかの
弾性表面波装置。 - 【請求項５】 前記弾性表面波フィルタがトランスバー
サル型弾性表面波フィルタである請求項１ないし３のい
ずれかの弾性表面波装置。
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