JPH09503297A

JPH09503297A - 磁気抵抗テープを含む電流センサ及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09503297A
Application number: JP7510147A
Authority: JP
Inventors: ジャンムーショ; ジャン−マルクフェデリ; フランクボワルー; パトリクマス
Original assignee: コミッサリアタレネルジーアトミーク
Priority date: 1993-09-27
Filing date: 1994-09-27
Publication date: 1997-03-31
Also published as: EP0721670A1; WO1995009447A1; EP0721670B1; US5708407A; DE69407194T2; DE69407194D1; FR2710753B1; FR2710753A1

Abstract

(57)【要約】本発明は端部（１３，１４）が電流を測定する装置に接続されて導体を囲む磁気抵抗テープを含み、前記導体（１１）を流れる電流を測定するための電流センサ又はトランスデューサに関し、テープ（１２）が、導体の中心となる軸をもつ軸管状のような形状をなし、かつ層が前記軸に同心円をなす堆積された簡単な管の同じ数から構成される、多層、金属、磁気エレメントをもって形成される。

Description

【発明の詳細な説明】磁気抵抗テープを含む電流センサ及びその製造方法本発明は磁気抵抗テープを含む電流センサ及びその製造方法に関する。このセンサ又はトランスデューサは電気的に導体によって流れる電流を測定するために使用されるためのものである。閾値電流（最大又は最小）の検出における、また本発明に係って構成される２つのセンサの間の差の測定による電流損失の検出における電流計の製造のために使用され得る。電流センサの中のいくつかは駆動回路における装置を挿入するために有することなく回路に流れる電流を測定できる。それらは現在の電気的な設計を変更しないという効果を有している。それらの主なる動作は導体に電流の流れによって作られる磁場の方向に基づかれている。このタイプの電流センサは周知であり、前記導体の回りを流れる磁場によって導体に流れる電流の値を評価するために任意の材料の磁気抵抗効果を使用し、かつ前記電流によって発生される。材料は磁場の存在にして抵抗が変化すると同時に磁気抵抗効果を有する。この変化は通常提供される磁場の欠如に相当する最大値から前記材料における飽和磁場に相当する最小値に抵抗の減少という形式である。それらは飽和磁場による材料の抵抗に対してあまり減少しない。そして、抵抗減少ゾーンは電流の測定の可能性を提供するものである。米国特許第４，９３７，５２１号及び独国第３，９２９，４５２号は磁気抵抗効果を使用する電流センサを開示している。使用される磁気抵抗の構成は単一の層又はフィルムによって構成され、かつ強磁性タイプのものである。通常それは遷移元素合金（鉄、ニッケル、コバルト）から形成される。この構成は材料の磁気方向と磁気抵抗の構成に流れるために作られた電流の方向との間に現存する角度に依存する異方性磁気抵抗効果を有する。格子状の磁気抵抗の構成は前記格子の長さ方向に並列に通常並べられる磁気を有する。これらの構成の抵抗は同じ方向に提供される磁場に対して影響を受けない。そして、これらの構成は異方性の磁気抵抗効果を有する。従来例に係る電流センサの磁気抵抗の構成はそれについて機能として設計されなければならない。そして、米国第４，９３７，５２１号の磁気抵抗の構成は図１に示すように螺旋状の形状を有する。磁気抵抗のエレメント１は中央の孔３によって貫通された、硬くかつ絶縁の基板２上にデポジットされ、エレメント１は前記孔の回りに配置されている。その端部は磁化を有する内部回路及びエレメント１の抵抗変化を検出する測定装置をもってリンクすることが可能である２つの接触部４，５に接続されている。中央の孔３は導体の流れに対して使用され、それを介して流れる電流が測定されるべきものである。電流Ｉ₁は磁場Ｈ₁を誘導する。磁場Ｈ₁に対して横切るエレメント１のそれらの部分のみは磁場Ｈ₁の存在によって変化される抵抗を有する。磁場Ｈ₁に対して並列なエレメント１の部分は抵抗変化を被るものではない。独国特許第３，９２９，４５２号の磁気抵抗の構成は文献のものに比較して幾何学的な配列に基づくものである。磁場に対して並列な電気的な部分は非磁性、導電材料から作られる。磁場に対して横切る部分は磁気抵抗材料から作られ、磁気抵抗の構成の軸から４５°で配向された導電のマイクロタング(microtogues) のシステムを用いて部分的に覆われている。従来の磁気抵抗の構成はそれらの構成の一部が磁気抵抗効果を履行するという問題点を被っている。またそれらはセンサの集合的な製造を限定する硬い支持体上に製造される。本発明のセンサから完全に異なる磁場に、いわゆるデータの磁気記録において、使用は多層、磁性体、金属エレメント（ＭＭＭＳ’ｓ）として周知の磁気抵抗の構成からなされる。周知のＭＭＭＳ’ｓは磁性体、非磁性によって分離された金属層、多層の堆積から形成され、非磁性の厚さは強磁性を有するので磁性層の間に結合されている。構成に提供される磁場の影響下で、強磁性状態から磁性層の各々の磁化の並列状態への移動は例えば磁気抵抗効果などの構成の電気的な抵抗において減少によって同時に発生する。欧州特許公開第４４２，４０７号、フランス国特許公開第２，６７８，９４２号及び米国特許第４，９４９，０３９号には磁気データを記録するＭＭＭＳ’ｓを提案する一例が開示されている。大変十分な磁気抵抗効果は次の構成において見られる：Ｆｅ／Ｃｒ，Ｃｏ／Ｃｒ，Ｆｅ／Ｃｕ，Ｃｏ／Ｃｕ，Ｃｏ／Ａｇ。磁気学のＩＥＥＥ会報，ｖｏｌ．２８，Ｎｏ．５，１９９２年９月，Ｐ．２４８２に記載されている、ロバートエルホワイト氏よる「大磁気抵抗：プライマー」や、日本における磁気学のＩＥＥＥ翻訳ジャーナル，ｖｏｌ．７，Ｎｏ．９，１９９２年９月，ｐｐ．６７４〜６８４に開示されている。数個のエレメントはある程度Ｏヒステリシス（磁性可逆性を検出する基準）に関係づけられた高い感度を有する。従来、ＦｅＮｉ／Ｃｕ及びＦｅＮｉ／Ａｇの構成はこれらの２つの基準に適合し、かつ次の解説書の論題項目を形成されている。 Appl.Phys.Lett.,60(4),１９９２年１月２７日，ｐｐ．５１２〜５１４に記載のS.S.P．Parkinによる「大磁気抵抗における変動（Oscillations）と〔Ｎｉ₈₁ Ｆｅ₁₉／Ｃｕ］_N多重層における強磁性結合」磁気及び磁性材料のジャーナル１１８，１９９３年、Ｌ１１−Ｌ１６に記載の「磁気抵抗の特性とNi-Fe/Ag多層の温度安定性」従来技術の問題点を解決するために、磁気抵抗の構成の電流センサ（低磁気抵抗効果及び強磁性の磁気抵抗効果）、本発明は従来使用された単一層、磁気抵抗の構成、多層、磁気抵抗の構成に代わって提供するものである。しかしながら、ＭＭＭＳ’ｓは単一層の磁気抵抗として同じ磁気特性（特に等方性の磁気抵抗効果）を有していない。なぜならば本発明は電流センサとして最適な条件での使用をなすためとして任意の方法で特徴を考慮する新規な磁気抵抗体の幾何学的な配列を提供する。しかしながら、前記ＭＭＭＳ’ｓは電気的に導体の回りに巻くできるものとして損なうことができる基板上に処理される。この場合に、垂直面に従来技術のセンサ磁気抵抗体に対するものであり、前記幾何学的な配列はセンサの集合製造に有利である。明らかに、従来の技術のものとして同じ面上によって硬い基板上に配列されたＭＭＭＳ’ｓの使用は本発明の見地の範囲外を通るものではない。本発明に係るセンサはマイクロテクノロジによって有効的に製造され得る。遷移元素の合金から製造された強磁性の単一層に比較して、多層エレメントは磁場提供方向と、構成の幾何学的な配列に関係づけられた消磁した磁場の影響を考慮しないとき磁気抵抗の構成に流れるべき電流による方向との間に現存する角度を考慮しない従来の等方性磁気抵抗効果の有効性を有する。よって、磁気抵抗の構成においての電流に並列な方向で測定される電流に相当する磁場を提供でき、かつ多層構造の真性抵抗の変化を得ることができる。そして、本発明は端部が電流を測定する装置に接続されて導体を囲む磁気抵抗テープを含み、導体を流れる電流を測定するための電流センサ又はトランスデューサに関し、テープが、導体の中心となる軸をもつ軸管状のような形状をなし、かつ層が前記軸に同心円をなす堆積された簡単な管の同じ数から構成される、多層、金属、磁気エレメントをもって形成されている。テープは有効的に金属、多層、磁気エレメントの磁気分極における手段を有する。半永久の磁場による磁気抵抗体の分極は測定されるために電流によって生じる磁場の表れ、そしてその結果として電流の方向を知ることができる。テープは金属、多層、磁気エレメントの列を有し、列の２つ連続する構成は磁化によって前記電気的に内部接続され、導電エレメントは前記磁気分極手段を構成する。テープは金属、多層、磁気エレメントの列を有し、列の２つ連続する構成は前記磁気分極手段を構成する磁気エレメントを支持する導電エレメントによって前記電気的に内部接続される。磁気分極手段を構成する磁気エレメントが硬い、例えば高い保磁力を有する磁性材料から作られる。また本発明は電流を測定する装置に接続のための端部を有する磁気抵抗テープを一体化する電流センサを製造する方法に関し、・導体の絶縁基板の一面上に金属層をデポジットし、・テープの端部を形成するために導電の金属層をエッチングし、・前記面上に導電の磁性材料層をデポジットし、・前記端部の間に配置され、分離させて配列された導電の磁気エレメントの列を得るために前記導電の磁性材料層をエッチングし、・金属、多層、磁気エレメントの層の前記面上にデポジットし、・前記端部の間を電気的な連続性を確実にするためにかつ磁気エレメントの間に単独なる構成を得るために前記金属、多層、磁気エレメントの層をエッチングする、という工程を含む。また本発明は電流を測定する装置に接続のための端部を有する磁気抵抗テープを一体化する電流センサを製造する方法に関し、・導体の絶縁基板の一面上に金属層をデポジットし、・テープの端部を形成するために導電の金属層及び前記端部の間に配置され、分離させて配列された導電の磁気エレメントの列をエッチングし、・前記面上に導電の磁性材料層をデポジットし、・導電エレメント上に載せる磁気エレメントの列を得るために前記磁性材料層をエッチングし、・金属、多層、磁気エレメントの層の前記面上にデポジットし、・前記端部の間を電気的な連続性を確実にするためにかつ導電エレメントの間に単独なる構成を得るために前記金属、多層、磁気エレメントの層をエッチングする、という構成を含む。本発明はより良い理解と他の効果及び見地のために次の図面を用いて限定されない実施例の示す。図１は従来のセンサの磁気抵抗の構成を示す。図２は本発明に係る電流センサを示す。図３は本発明に係る電流センサに関係づけれ、かつ導体を流れる電流の測定を実現する電子回路を示す。図４は本発明に係る電流センサによって使用可能な磁気抵抗のテープの一部分の長手方向の断面を示す。図５は本発明に係る磁気抵抗体の磁気分極を有する磁気抵抗のテープの一部の長手方向の斜視図である。図６及び図７は非磁性の分極された磁気抵抗のテープ及び磁性の分極された磁気抵抗のテープの各々の特性を示す。図８は本発明に係る磁気抵抗体の磁性的に分極された磁気抵抗のテープの一部の長手方向の斜視図である。図９は特別な方法で分極された磁気抵抗のテープを説明する図である。図１０は本発明に係る電流センサの集合的な製造に関する図である。図１１は本発明に係る電流センサを示す。図１２は本発明に係る電流センサの集合的な製造に関する他の例を示す図である。図２は電気的に導体１１を介して流れる電流Ｉを測定するための配置における本発明に係る電流センサ１０を示す。リング形状の電流センサ又はトランスデューサ１０はリング形状をなす磁気抵抗テープ１２を有する。テープ１２の端部１３，１４はテープがほぼ完全な環状を形成する任意の方法で互いに近傍である。その端部は直接な電流ｉ（又は電圧）の電流源にテープ１２の電気的な結合を実現するために配列されている。テープ１２の端子端部での電圧ｖの測定は電流Ｉによって生じられる磁場Ｈ_Iの影響の下でテープの抵抗の変化を達成できる。図３は導体１１を流れる電流Ｉの測定を実現するための電子回路を例とする概略図である。抵抗Ｒ（Ｈ）によって表示されている磁気抵抗テープは他の抵抗Ｒ₁ ，Ｒ₂，Ｒ₃を有するホイートストーンブリッジに統合されている。ブリッジは電圧Ｖによって供給されている。ブリッジの出力は差動増幅器１５の入力に接続されている。Ｒ₁及びＲ₂の値を選択することによって、増幅器１５の入力Ａでの電位の値を固定することができる。Ｒ（Ｈ）の変動が増幅器１５の入力Ｂに得られる電位によってもたらされ、またＲ₃は選択される。この増幅器は電流Ｉに比例する入力での電位差に比例するＳの出力信号を供給する。専門家は図３に示すものより、特に米国特許第４，９３７，５２１号に開示されているものより他の電子測定回路を認識する。電流センサはマイクロテクノロジーの製造方法を使用して製造され得る。導体を囲むために環状の支持体に対して巻つけるか又は結合させるか、フラットな基板から製造され得る。そして、この場合、基板は変形可能でなければならない。電気的に絶縁のフィルムを用いて覆った、鋼鉄、ステンレス材料のシート又はホイルから形成され得る。また、ＰＶＣ，ポリウレタン又はポリエステルとするプラスチック材料を使用できる。またポリイミドを使用できる。通常基板の厚さは１０〜１００μｍである。磁気抵抗テープは図４に示すように、基板２３上の金属性、非磁性層２２によって分離される磁性層２１の堆積２０によって形成され得る。図５の変形例は金属、多層、磁気エレメント（ＭＭＭＳ）を有するエレメント３１とＭＭＭＳ’ｓ３１に電気的に結合できる導電の磁気エレメント３２の交互の配列によって構成される磁気抵抗テープをデポジットされた上の絶縁基板３０から処理されるものである。それらは有効的に硬い磁性材料から作られる。この磁気抵抗の構成の電気的な抵抗はＭＭＭＳ’ｓ３１及び導電エレメント３２の抵抗の合計である。導体構成３２は磁気抵抗の構成の総抵抗値を増加し、磁気抵抗効果が減少することが秋からである。なぜならばそれらの抵抗は提供される磁場の係数として変化しない。例えばｂはそれらの部分（幅と厚さ）を増加し、導電エレメント３２の抵抗を最小にすることが重要である。同じ方向での磁気エレメント３２、各導体の磁化を生じるために、ＭＭＭＳエレメント３１内の分極された磁場である。これは図６及び図７に関係して説明するものとして、測定されている電流Ｉの信号を知ることができる効果を有する。図６及び図７の特性図又はグラフは電流センサを配置された回りの導体を介して流れる交流電流によって誘導する磁場Ｈを変数として磁気抵抗テープの端子端部での電圧ｖの変動を示す。磁気抵抗テープは電流源によって供給される一定増幅器を有する直流電流Ｉによって横切られる。図６及び図７は供給される磁場Ｈを変数として磁気抵抗テープの抵抗の変動の曲線Ｒを示す。抵抗は飽和磁場Ｈ_satに比較して絶対値で磁場に大きくか又は等しい最小値Ｒ_satへＨ＝０における最大値Ｒ₀から変化する。磁気抵抗テープの端子端部での集合された電圧ｖ＝Ｒ・Ｉは従来曲線Ｒに関係して変化していた。図６は磁気的に分極されていない磁気抵抗テープの場合に関係する図である。もし導体に流れる電流が測定され、交流電流によって横切られるならば、交流の磁場について誘導される。よって磁気抵抗テープは図６に示すように磁場Ｈ（ｔ）に従属される。集合された電圧Ｖは最大値Ｒ₀・ｉ（Ｈ＝０）と磁場Ｈ（ｔ）の正極又は負極の交流の最大振幅に相当する最小値の間を結果として変動する。磁気分極のない場合で、磁気抵抗体が磁気励起の発振周波数を倍加する。そしてＨの信号及び測定される電流Ｉの信号を検出できない。図７は磁気エレメント３２（図５）によって処理されるような磁場Ｈ_polによって磁気的な分極される磁気抵抗テープの場合に関する。この場合、測定信号は磁気励磁と同じ期間であり、かつＨ（電流の方向）の信号が確立され得る。高い保磁力、硬い材料、磁気エレメントを選ぶことによって、テープの長手方向に並列な磁化を配向することは強烈な磁場（保磁磁場を越えて）に配置した後可能である。それらの配置によれば、磁気エレメントはテープ長手方向に並列なＭＭＭＳエレメント内の分極磁場を生じるものである。図８に示す変形例は非導電で又は弱導電であり得る磁気エレメント４２を支持する非磁性であって導電エレメント４３をデポジットされる絶縁基板４０上にデポジットされるＭＭＭＳ’ｓ４１の間において図５と異なる。この解決手段は前述の解決手段と比較して有効である。ＭＭＭＳ’ｓの間の最良の電気的な結合を確実にする。そして、銅やシルバーのような最も導電な材料は磁化されず、かつ図５の変形に使用されないがこの場合に使用され得る。しかし、エレメント４２は硬く、磁性材料から有効的に作成される。特別な硬い材料、磁気エレメントの使用は高い電流を測定するために使用可能である。そして、高い電流（Ｉ＞１０００Ａ）の存在において磁気励磁Ｈ_Iは磁気抵抗体の飽和磁場Ｈ_satを越え、かつ抑えることができる。そして磁気抵抗テープに供給される磁場に反対する方向で磁気エレメントの磁化を生じることが有効である。特にこれは直流の場合での部分的に適応され、又は公称の値の回りを限定される変化を有する。これは図９に示されており、同図は縦座標に磁気抵抗テープの値Ｒ、横座標に提供される磁場Ｈの値からなるグラフである。分極磁場のない場合で前記測定ができないような値の磁場Ｈ_Iを含む電流Ｉを正確に測定することができる。しかし、磁場Ｈ_pol，Ｈ，及びＨ_pol＋Ｈ_Iは硬く、磁気エレメントの保磁力より低いことを確実にすることが必要である。これは磁気エレメントの累進な消磁という欠点を除去する。実際に、Ｈ_I＜Ｈ_c／１０を証明することが必要である。ここでＨ_cは保磁磁場である。Ｒ（Ｈ_pol＋Ｈ_I）の回りにおいて、Ｒ（Ｈ）の抵抗を測定することができ、かつ電流の値を検出することができる。それぞれに最も高く、又は最も低いに相当する測定される電流による磁場Ｈ_minとＨ_maxに相当する最小抵抗Ｒ_minと最大抵抗Ｒ_maxを定めることができる。付与された電流Ｉによって誘導される磁場Ｈ_Iに対する絶対値に等しいが抵抗での減少は異常な動作（過度の強度又は最小の強度）に相当する。そして、ブレーカーの必須な構成を製造できる。磁性又は非磁性の群、導体構成（図５及び図８）は最小の可能な抵抗を有する。よって抵抗がＭＭＭＳ材料のものと比較して低く、長さを小さく良い導電材料を選択することが必要である。図８の変形例の場合でテクノロジースタックを妨げることなく導電エレメントの厚さは最大にしなければならない。通常０．１〜３μｍの導電材料の厚さは選択される。この導電材料は下層に固着のタングステン、クロム、タンタル又はそれ類似と共に銅又は金である。優先権のものは高磁気抵抗を持つ、金属、磁気、多層エレメントの選択のために付与されている。測定された電流の強さの変数として飽和磁場は選択され得るならば高く又は低くなければならない。例えばもし１ｃｍに等しい直径の装置を形成するために支持体上に曲げられる磁気抵抗エレメントの元で１００Ａにレンジ範囲で電流を測定することを望むならば、その対象物は少なくとも３．５ｋＡ／ｍの飽和磁場を有する金属、磁気、多層エレメントである。従来の構成のものと比較してそれぞれ高い抵抗を得るために磁気抵抗エレメントの長さ、幅及び厚さは選択されなければならない。通常、テープの抵抗は１００Ω〜１００ｋΩであり、好ましくは１〜１０ｋΩである。そして磁気抵抗テープの供給は市販用として利用できる電流又は電圧の源からのものである。ＭＭＭＳエレメント及び導電エレメントの長さの選択はＭＭＭＳエレメントに置かれることを望む分極された磁場によって、かつ導電エレメントの電気的に抵抗の最小化によって導かれる。磁性材料の保磁力のより高いこと、更にプログレッシブ消磁の欠点は減少される。約４ｋＡ／ｍの測定される磁場において、関係式Ｈ_c＞４０ｋＡ／ｍを証明する磁気材料を使用することは適切である。磁気分極エレメントの大きさ及びそれらを分離する距離はそれらの誘導が求められたものに等しい分極磁場のようであり得る。これらの幾何学的なパラメータは明らかに硬い、磁性材料及びＭＭＭＳエレメントの磁気の透磁性の在留磁化の値に従属される。高い透磁性、磁気抵抗体によって遮断される磁気フラックス線の多数は磁気分極磁場である。本発明に係る磁気抵抗テープの環状方法で巻かれる回りの導体に流れる電流Ｉの値をどのように検出できるかを示す。環状方法で巻かれた磁気抵抗テープに流れる磁場Ｈは関係式Ｈ＝Ｉ／Ｌによって定められる。ここでＬはテープの長さである。磁気抵抗テープが図８に示すようなタイプである時算出方法は最も複雑な場合としてなされる。磁気抵抗テープが次の関係式を有する。Ｒ（Ｈ）＝Ｒ_cond＋Ｒ_mult（Ｈ）ここでＲ_condは導電エレメント４３の抵抗を示し、Ｒ_mult（Ｈ）は提供される磁場Ｈに従属されるＭＭＭＳ構成４１の抵抗を示す。磁気抵抗がＲ_mult＝Ｒ_mult （Ｈ＝０）、Ｈ＝Ｈ_sat又は−Ｈ_satにおいて、Ｈ＜Ｈ_satを得るＲ_mult＝Ｒ_mult （Ｈ＝Ｈ_sat）においてＨ＝０の間の直線であることを考慮すると：なお、ΔＲ＝Ｒ（Ｈ＝０）−Ｒ（Ｈ＝Ｈ_sat）である。Ｈ＞Ｈ_satにおいて、次の関係式となる。 R(H)=R_cond＋R_mult(H=H_sat) 図３に示すような測定回路において、電圧Ｖ_AとＶ_Bは次のようになる。Ｒ₃・Ｒ₁＝Ｒ₂Ｒ（Ｈ＝０）となる任意の方法でＲ₁，Ｒ₂及びＲ₃を選択することによって次の関係式が得られる。近似するともしＧが増幅器１５のゲインであるならば出力Ｓで次のような関係式が得られる。ここから電流Ｉの値を導き出される。以上の明細は図８による電流センサの技術実施を付与することになる。基板４０は導電材料の層のデポジットにおける真空密閉容器の中でもたらされる。前記層は測定装置への結合を確実にするために導電エレメント４３とテープの端部を形成するためにエッチングされる。これは有効的に硬いデポジットによってなされ、磁性材料層は導電エレメント４３の上に磁気エレメント４２を形成するためにエッチングされる。これは陰極スパッタリング又は製造においてターゲットを必要とする蒸着デポジットによる、金属、多層、磁性材料層のデポジットによってなされる。そしてエッチングがＭＭＭＳエレメント４１を得るために再度施される。そして得られた構成は保護用フィルムで覆われ、磁気抵抗テープの端部が電気的な接続を確実にするために取り除かれることを提供される。そして得られた構成は所定の方向で磁気エレメント４２の磁化を配向するために強烈な磁場の作用に対して従属させる。同じ環状基板をベースにして電流センサの多数を製造することが可能である。図１０の平面図はそのような構成を示すものである。基板５０は本発明に係る磁気抵抗テープの多数を支持し、テープ５１，５２，・・・，５３は異なる長さである。この実施例において、テープ５３の部分５４のような磁気抵抗体は例えばテープ５３の結合部５７，５８のような導電層を例えばテープ５３の端部５５，５６のようなテープの端部に第１のデポジットから施される結合によって結合されている。そして、各テープは電流が測定されるべきものである導体を取り囲む環状の支持体上に配置されるストリップ線を形成するために相当する基板部分をもってカットされる。図１１はこの方法によって得られる電流センサ６０を示す。センサ６０はストリップ線６２を結合することによって固定されるべき環状の支持体６１を構成する。前記ストリップ線は端部６６と６７に結合部６４と６５によって結合される磁気抵抗テープ６３を有する。電流センサ６０は図１１において導体６８の回りに測定位置に示されている。磁気エレメント７３をデポジットされた上の導電エレメント７２とＭＭＭＳエレメント７１をテープ６３上に見ることができる。図１２の平面図において、基板８０は同一の多数の磁気テープ８１を支持する。この実施例において、テープは直接に結合構成なしで端部８２及び８３に結合されている。この設計はテープの非磁気抵抗部分の抵抗を最小に減少することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ボワルーフランクフランス国，38410 ユリアージュ，レエピナシエールベルモン（番地なし) (72)発明者マスパトリクフランス国，38600 フォンテーヌ，リュアンリ―バルビュース，13番地

Claims

【特許請求の範囲】１．端部（１３，１４）が電流を測定する装置に接続されて導体を囲む磁気抵抗テープ（１２）を含み、前記導体（１１）を流れる電流を測定するための電流センサ又はトランスデューサにおいて、テープ（１２）が、導体の中心となる軸をもつ軸管状のような形状をなし、かつ層が前記軸に同心円をなす堆積された簡単な管の同じ数から構成される、多層、金属、磁気エレメントをもって形成されることを特徴とする電気センサ。２．テープは金属、多層、磁気エレメントの磁気分極における手段を有する請求項１記載の電流センサ。３．テープは金属、多層、磁気エレメント（３１）の列を有し、列の２つ連続する構成は磁化によって前記電気的に内部接続され、導電エレメント（３２）は前記磁気分極手段を構成する請求項２記載の電流センサ。４．テープは金属、多層、磁気エレメント（４１）の列を有し、列の２つ連続する構成は前記磁気分極手段を構成する磁気エレメント（４２）を支持する導電エレメント（４３）によって前記電気的に内部接続される請求項２記載の電流センサ。５．導電エレメントによる磁気抵抗テープの抵抗を減少するために、テープの長手方向に垂直な平面を考慮しての前記導電エレメントの部分はテープの長手方向に垂直な平面をまた考慮しての金属、多層、磁気エレメントの部分を越える請求項４記載の電流センサ。６．前記磁気分極手段が硬い、磁性材料から作られる請求項２〜５のいずれか１項記載の電流センサ。７．磁気抵抗テープ（６３）を固定されるために環状基板（６１）によって構成される請求項１〜６のいずれか１項記載の電流センサ。８．電流を測定する装置に接続のための端部を有する磁気抵抗テープを一体化する電流センサを製造する方法において、・導体の絶縁基板（３０）の一面上に金属層をデポジットし、・テープの端部を形成するために導電の金属層をエッチングし、・前記面上に導電の磁性材料層をデポジットし、・前記端部の間に配置され、分離させて配列された導電の磁気エレメント（３２）の列を得るために前記導電の磁性材料層をエッチングし、・金属、多層、磁気エレメントの層の前記面上にデポジットし、・前記端部の間を電気的な連続性を確実にするためにかつ磁気エレメント（３２）の間に単独なる構成（３１）を得るために前記金属、多層、磁気エレメントの層をエッチングする、ことを特徴とする電流センサを製造する方法。９．電流を測定する装置に接続のための端部を有する磁気抵抗テープを一体化する電流センサを製造する方法において、・導体の絶縁基板（４０）の一面上に金属層をデポジットし、・テープの端部を形成するために導電の金属層及び前記端部の間に配置され、分離させて配列された導電の磁気エレメント（４３）の列をエッチングし、・前記面上に導電の磁性材料層をデポジットし、・導電エレメント（４３）上に載せる磁気エレメント（４２）の列を得るために前記磁性材料層をエッチングし、・金属、多層、磁気エレメントの層の前記面上にデポジットし、・前記端部の間を電気的な連続性を確実にするためにかつ導電エレメント（４３）の間に単独なる構成（４１）を得るために前記金属、多層、磁気エレメントの層をエッチングする、ことを特徴とする電流センサを製造する方法。１０．使用される絶縁基板（３０）は変形可能である請求項８又は９記載の製造方法。