JPH09502801A - センサシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 振動或いは構造体発生ノイズの無線センサ装置（１）を具備したセンサシステムであり、該センサ装置はその電気力学的或いは圧電的測定ユニット（５）の振動エネルギーを他の構成要素なしに直接的に利用して、該振動エネルギーを、前記測定ユニット（５）に電気的に接続された変圧器様コイル対（６，７）の一次コイル（６）を介して、前記センサ装置（１）とは独立して且つエアギャップ（８）のみで分離した受信器（２）内に配置された前記コイル対（６，７）の二次コイル（７）へ伝達しており、前記測定されて変換された振動或いは構造体発生ノイズの測定信号を更に伝導するセンサシステムにおいて、前記センサシステムは、機械工具における規定された物質除去工具に特有の振動、構造体伝送ノイズ、及び／又は音を監視すべく、或いは、試験機又は試験装置のノイズ発生構造的ユニットのノイズを検出すべく利用される。センサ装置（１）は横移動及び／又は回転移動の機械構成要素（１４）、例えば工具ホルダー、ワークピースホルダー、或いは試験サンプル支持体、或いは構成要素支持体に対して配置され、受信器装置（２）は固定された機械構成要素（１５）に固定される。実際の監視工程の間、センサ装置（１）及び受信器装置（２）の一次及び二次コイルはエアギャップ（８）が維持された状態で相互に対向している。

Description

【発明の詳細な説明】 センサシステム 本発明は請求項１の前提条件部に従ったセンサシステムに関する。 現在、構造体発生ノイズ(structure-borne noise)用センサ及び振動センサ等 の各種センサが工具監視用として知られており、これらのセンサは機械の静止要 素上に取付けられる。よって、構造体発生ノイズ信号或いは振動信号はそれらの 源の点から、部分的な平行移動及び／又は回転が行われる、或いは移動させられ 得る複数の機械要素を介して伝達されなければならず、よって、それらの信号は 機械要素間の複数の分離点を介してセンサが配置した静止機械要素の場所へ伝達 されなければならない。公知なように、振動信号及び、特に構造体発生ノイズ信 号であって、特に高周波数範囲のものは、２つの機械要素間の各分離点で特に強 く減衰するが、各機械要素自体においても減衰する。 よって、工具監視の目的は振動センサ或いは構造体発生ノイズセンサを加工が 行われる場所にできる限り近づけて配置することである。そこで、センサはワー クピース上或いは工具上にできれば配置されるべきである。ワークピース及び工 具双方は繰り返して交換される要素であるので、そうした同一物上にセンサを取 付けることは実現可能ではない。 例えばドリル工具等の回転工具、ねじ切り工具、摩擦工具、或いはフライス工 具に伴う、振動信号或いは構造体発生ノイズ信号は、工具から工具保持取付具又 はチャック装置を介してシャフトへ、そして、シャフトからベアリングを介して スピンドル・ハウジングへ伝達される。先行技術において、構造体発生ノイズセ ンサはさしあたりそうしたスピンドル・ハウジング上に取付けられて、構造体発 生ノイズの監視を強力に減衰された構造体発生ノイズ信号或いは振動信号によっ て実施しなければならない。更に、ローラベアリングであるベアリングからの妨 害ノイズにもしばしば対処しなければならない。 今日、頻繁に云われる要望は、工具監視用に、ワークピースにおける振動信号 或いは構造体発生ノイズ信号をピックアップすることである。勿論、そうしたワ ークピースは頻繁に交換されるので、センサ取付のための理想的な場所はワーク ピース用のワークピース支持体或いはチャック装置となる。マシニングセンター 、フライス盤或いはボール盤において、ワークピースはパレットにしばしば固定 され、該パレットは適切な往復台ガイドシステムによって対応する切削具へ向か って移送され、切削の後に離隔するように移送されることによって、該ワークピ ースはパレットにロード（装填）され、該パレットから隣接する加工スペースの 外側へアンロードされ得る。振動センサ或いは構造体発生ノイズセンサをワーク ピースを固定する又はチャックする装置或いはパレットの所に取付けることは可 能であるが、不都合にも、もしも構造体発生ノイズ信号を伝達するための追加的 な装備が提供されなければ、接続ケーブルによってパレット又は往復台の移動が 妨げられる。そうした伝達装置なしに、構造体発生ノイズセンサは当面の目的の ためだけに静止往復台ガイド上に取付けことは可能であり、ワークピースから発 生する信号は機械要素自体間の幾つかの分離平面を通じて強力に減衰させられる 。そうした中間機械要素としては、例えは、ワークピース支持体或いはチャック 装置自体、パレット、自身の案内ユニットを具備するテーブル、該テーブル及び 案内ユニットの間に配置した構成要素、即ち、該テーブルをその案内手段に対し て回転させることができる環状平歯車等の構成要素がある。 旋盤工具は、しばしば、多数の工具が具備された工具回転装置上に配置されて いる。非加工時に、工具回転装置はその回転ディスク又は回転ヘッド上に配列さ れた複数の工具を他の位置に回転することによって、ワークピースの加工が他の 工具を用いて続行され得る。先行技術に従えば、構造体発生ノイズ用センサはさ しあたり回転装置ハウジング上に取付けられる。振動或いは構造体発生ノイズ信 号のセンサへの移動は、工具から工具ホルダー、工具支持体、そして、多くの場 合１つ以上の環状平歯車を有する回転ディスク又は回転ヘッドを介して、回転装 置ハウジングヘ向かい、それからセンサヘ移動しなければならない。再度、個々 別々の機械要素間の多数の連結箇所によって引き起こされる信号減衰はかなりな ものである。 今日、慣例の仕様書に従えば、モータやギア等のノイズ発生構成要素ユニット はあるノイズレベルを超えることができない。従来技術において、この問題は、 低ノイズ試験室内で、１つの構成要素によって放出された空気伝送音を空気伝送 音用マイクロホンを介して検出して、それを適切な試験或いは監視装置へ送るこ とによって、さしあたり解決されている。 構造体発生ノイズを測定する公知のセンサシステムにおいて、分離した構造体 発生ノイズセンサを、横方向移動する或いは回転する機械要素上、この場合、多 重スピンドル・ドリル・ヘッド上に取付けられ、構造体発生ノイズ信号はいわゆ るロータに伝達され、そこで、それらは増幅されてステータへ伝達される。しか しながらこの装置は、構造体発生ノイズ信号をステータへ伝達するために、その ロータに電気エネルギーを供給することによって、増幅或いは信号処理を行う。 そうしたセンサシステムは、多くの部品を必要として、それによってコスト高と なり、特に嵩ばるという、実質的な不利益を更に有する。 DE 33 30 519 A1 は、排他的に回転させられる要素から静止要素へ向かう信号 の無接触伝達の方法を記載しており、信号伝達は２つの誘導的接続されたコイル によって実行される。センサ側コイルは圧電変換器を具備する共振回路の一部で ある。そうした構成は既に非常に小型である。しかしながら、この方法の欠陥と して、センサ側には、共振回路を構築するための多数の要素が要求されており、 更に、相互インダクタンスを通じて、更なる複数要素が受信側に要求される。DE 33 30 519 A1の方法は、回転要素向けだけであり、そして／或いは、多量の能 動的及び受動的電子部品を必要としている。 DE 40 07 838 C2 は研削盤の接触検出用の装置を記載している。後者の方法と 同様に、この装置において測定信号伝達はセンサ側の補助エネルギー源無しに行 われる。その適用は、第１本体を形成する砥石車と第２本体を形成するワークピ ースとの間の接点の検出だけに排他的に限られている。 本発明の目的は、横移動可能、回転可能、或いは、横移動及び回転的可能な可 動機械要素であって、工具、ワークピース、或いはノイズ発生構造的ユニットが 設けられた可動機械要素の振動信号或いは構造体発生ノイズ信号の無線検出を提 供し、これら信号の対応する監視或いは試験ユニットへの伝達を提供するもので ある。 この目的は、請求項１の特徴によって解決される。 機械工具或いは試験機械等において、工具或いはノイズ発生要素を監視するた めの、振動及び／或いは構造体発生ノイズ信号を測定するセンサシステムは、横 移動、回転、或いは横移動及び回転が可能な機械要素から構造体発生ノイズ信号 を摘出する。 本発明は、パレット、工具ホルダー装置、或いは工具チャック装置から直接的 に構造体発生ノイズ信号を摘出又は抽出することによって、上述した構造体発生 ノイズ信号の減衰を回避するセンサシステムを提供する。 本発明に従えば、上記問題は、センサ側に、唯一のハウジング本体、圧電的又 は電気力学的発振要素、並びに一次コイルを備え、受信側に、対応するハウジン グ内の唯一の二次コイルを備えるセンサシステムによって解決される。そうした センサシステムは多くの適用方面で使用される。 更に、本発明は研削盤における砥石車と他の機械要素との間の衝突の、改善さ れた監視を、砥石車のドレッシングの良好な監視と共に考慮しており、今日、こ うした監視は、砥石車の非回転部品等の上で静止状態にある有線構造体発生ノイ ズ用センサが用いられている。 また、他の試験標準用に構造的ユニットが試験される試験スタンド又は試験装 置であって、いずれにしても、結果としてそれから放出されたノイズ或いは振動 が信号振動センサ或いは構造体発生ノイズ用センサによって検出され得るような 試験スタンド又は試験装置において、ノイズを測定するためにこのセンサシステ ムを使用することも可能である。こうして、低ノイズ試験スタンドは陳腐化され る。ボール盤、フライス盤、或いはマシニングセンターと同様に、構造的ユニッ トが可動移送装置上に配置され、こうした移送装置上に固定された振動センサ或 いは構造体発生ノイズ用センサのケーブルは過度の障害となり得るという同一の 問題はある。 次に、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。 図面において、 図１は本発明の第１実施例であり、 図２は電気的絶縁体を伴った実施例であり、 図３は絶縁物質から成るセンサハウジングを伴った実施例を示し、 図４はセンサ要素が沈下している場合の本発明の実施例であり、 図５は一体化された増幅器を伴った受信器装置であり、 図６は固定溝を伴った受信器或いはセンサハウジングであり、 図７は固定カラーを伴った受信器或いはセンサハウジングであり、 図８は単一受信器装置及び複数のセンサ装置を伴ったセンサシステムであり、 図９は旋盤における工具回転装置を伴ったセンサシステムの構成を示し、 図１０は工具回転装置用のセンサシステムの第２実施例を示し、 図１１ａはパレットステーションを有するマシニングセンターにおけるセンサ システムの実施例を示し、 図１１ｂは図１１ａの平面図であり、 図１２はドリル或いはフライススピンドルの開口シャフト端におけるセンサシ ステムの実施例を示し、 図１３はノイズ試験スタンドにおけるセンサシステムの実施例を示し、 図１４は本発明のセンサシステムを含む、監視或いは試験システムの回路構造 を示す。 センサシステムは、詳細には、受信器装置２と接触することなく、即ち無接触 状態で協働するセンサ装置１を備える。変圧器のように、電気力学的又は圧電的 測定要素５の振動エネルギーは、追加構成要素を用いることなく、該測定要素５ に電気的に接続された一次コイル６によって受信器装置２の二次コイル７へ無接 触状態で伝達される。対向して配列された変圧器用コイル６，７の一対の間には 、エアギャップ８が約０．２ｍｍ〜約２ｍｍの範囲の幅で形成されている。測定 要素５は接続線１０を介して一次コイル６に接続されるが、二次コイル７は電気 的な接続線１０及びケーブル９を介して監視装置或いは試験装置５６に接続され ている。 図１の実施例において、センサ装置１及び受信器装置２は、金属製のセンサハ ウジング３及び金属製受信器ハウジング４内にそれぞれ配置されている。センサ ハウジング３は、ねじ切りされたピンによって横移動機械要素及び／又は回転機 械要素１４に固定されている。機械要素１４の回転移動の軸線は矢印１６で表わ され、平行移動の軸線は矢印１７によって表わされる。 金属製受信器ハウジング４はねじ１２によって静止機械要素１５に固定されて いる。 センサハウジング３及び受信器ハウジング４は、好ましくは、同一径であり、 円筒形状であり、エアギャップ８の形態の相互距離をあけて同軸状に配列されて いる。 センサ装置１において、センサハウジング３は中空円筒状の金属製スリーブで あり、測定要素５はその空洞内の底要素上に然るべく固定されている。この空洞 １８は、好ましくは、適切な流延材料が充填されて、一次コイル６を然るべき位 置に同時に保持している。 また、受信器ハウジング４も中空円筒の金属製スリーブから成り、その空洞１ ９内においての流延材料中に二次コイル７が埋設されている。ハウジング４から ケーブル９が外側に延びている。受信器ハウジング４の底部には、該受信器ハウ ジング４を静止機械要素１５にねじ１２で固定するためのねじ部１１が設けられ ている。 測定要素５の電気的本体(electrical mass)（接地）は金属製ハウジング３を 介して機械要素１４の電気的本体（接地）に直接的に接続されている。 図２はセンサシステムの他の実施例を示し、絶縁体２０が測定要素５と、金属 製ハウジング３の底部との間に配置された場合のセンサシステムである。 図３の実施例において提供されるものは、センサ装置１のハウジング２１が電 気的絶縁物質から成り、測定要素５の本体を機械要素１４の電気的本体から電気 的に絶縁しており、こうした物質としては、絶縁性セラミックス等であり、振動 或いは構造体伝送ノイズに関してのいっそう良好な伝導特性を有している。セン サ手段１を電磁気的なノイズから遮蔽するためには、ハウジング２１の内側は金 属被覆され、このライニング２２が測定要素５の電気的本体と電気的に接続され るようにして成る遮蔽が施される。 図４は図３の実施例の代替的実施例である。ここでもまた、ハウジング２１は 振動或いは構造体発生ノイズの良好な伝導特性を具備する電気的な絶縁物質から 成り、センサ装置１を機械要素１４内へ沈ませることによって該センサ装置を電 磁気的ノイズから遮蔽している。センサハウジング２１は機械要素１４の凹部２ ６内に接着剤２３を用いて沈下させられている。 受信器装置２は、対応して、機械要素１５の凹部２７内に接着剤２４を用いて 沈下させられている。この実施例において、機械要素１５にはケーブル９用のケ ーブル出口となるボア２５が設けられている。 図５の実施例は、一体化されたインピーダンスコンバータ又は増幅装置２９を 具備する受信器装置２を備え、該インピーダンスコンバータ又は増幅装置２９は 電気的接続ワイヤ１０を介して二次コイル７に接続され、ケーブル９は接続ワイ ヤ２８を介してその接続ワイヤ１０に接続されている。 図６は溝形態の固定手段３２を具備したセンサハウジング或いは受信器ハウジ ングを示し、図７はカラー形態の固定手段３２を具備したセンサ或いは受信器ハ ウジングを示す。 図８は複数の工具ホルダー３６を有する旋盤の工具回転装置に対するセンサシ ステムの取付け状態を示す。センサ装置１が各工具ホルダー３６にそれぞれ提供 されるが、たった１つの受信器装置２が作動位置にある工具のセンサ装置１に対 向して提供されている。同じ時に静止機械要素１５を形成しているホルダーを介 して、旋盤の回転ハウジング３４には受信器装置２が取付けられており、該受信 器装置は、対向して配列されたセンサ装置１からの測定信号を無接触状態で受信 することができる。センサ装置１は、１つ以上の工具を具備した回転ディスク３ ５の工具ホルダー３６上に配置され、該工具から遠方へ面した側に位置しており 、部分的図示Ａに示されるように工具ホルダー３６内に沈下されることも、或い は、部分的図示Ｂに示されるように同工具ホルダー３６上に設置されることもで きる。この実施例においてはたった１つの受信器装置２が要求されており、作動 位置にある工具のセンサ装置１に対応する。工具ホルダー３６上に取付けられた 工具３９はワークピース３８に対して作動する。 図９は、センサシステムが旋盤の工具回転装置内に取付けられた場合の実施例 を示す。回転ディスク３５は任意の数の工具ホルダ-３６を具備してよい。この 実施例において、たった１つのセンサ装置１と１つの受信器装置２とは、回転軸 線の回転装置中央内に配列されている。符号３４で旋盤の回転装置ハウジングが 表わされ、符号４０は工具回転装置の中空シャフトを示す。工具回転装置内で中 空シャフト４０と同心円状に配列されたものは、静止保持装置４７であり、この 静止保持装置の端面における、回転ディスク３５方向に面している凹部２７は該 端面と面一となった受信器装置２を収容しているが、エアギャップ８が維持され ている。回転ディスク内の凹部２６は受信器装置２と同軸状にセンサ装置１を収 容しており、該センサ装置１もまた、保持装置４７方向に面している回転ディス ク３５の端面と面一となっている。 このセンサシステムは回転ディスク３５から振動或いは構造体発生ノイズ信号 を直接摘み取ることが可能である。 矢印３７は回転ディスク３６の回転の循環を示し、矢印４２はその回転循環に 対応する回転ディスクの加工移動を表わす。 図１０は図９と同様な実施例を示すが、センサシステムは中空シャフト４０の 後方端面に配列されている。中空シャフト４０は回転ディスク３５と共に回転し 、センサ装置１及び受信器装置２は該回転ディスクの回転軸線と同軸状に配列さ れている。ここで、受信器装置２は、上述したように、ホルダー３３から構成さ れ得る静止機械要素１５上に固定されている。 図１１ａ及び図１１ｂは、パレットステーションを具備した、フライス盤、ボ ール盤、或いはマシニングセンターを示す。パレット４４は加工ステーションに 配置されており、９０°の食い違いをもって位置付け可能であり、形状において 例えば正方形である。パレット４４の４つの側端面の各々は、該パレット４４を 通るそれぞれの中心軸線と同軸状となってその側端面各々内に沈下させられたセ ンサ装置１を有する。少なくとも１つの受信器装置2が静止機械要素１５に取付 けられており、保護外装４５で覆われている。センサ装置１の複数位置に対向し て複数の受信器装置２を配置することも同様にして可能である。パレット４４は 、ガイド部材４８を介してマシンベッド或いはガイド支持体４９に連結された、 位置付けテーブル、循環テーブル、或いはターンテーブル４６上に配置されてい る。横移動或いは回転移動の機械要素１４を形成しているパレット４４上には、 ワークピース３８がワークピースチャック装置４３を用いて取付けられている。 ワークピース３８は、例えばフライス工具３９からの作用を受けて、それにより 誘導された構造体発生ノイズ信号及び振動信号がセンサシステムによってピック アッ プされる。 図１２は、ベアリング５１によって、その前端及び後端が回転自在に支持され たドリルスピンドル或いはフライススピンドル５０に対してのセンサシステムの 取付け例を示す。採用されている工具３９はドリルビットである。スピンドル５ ０のシャフト自由端に、該スピンドル５０の回転軸線と同軸状にセンサ装置１が 配列されている。スピンドル５０と共に回転するこのセンサ装置１とは反対側に 、受信器装置２がホルダー３３上に固定的に且つスピンドル軸線と同軸状に配列 されているが、エアギャップ８が維持されている。 図１３の実施例は、ノイズ試験スタンドに対するセンサシステムの適用例を示 す。構造的ユニット５２が配置された移送装置５３は、ノイズ或いは振動ダンパ ー５４が仲介された状態でのノイズ試験機５５上での試験のために配置されてい る。センサ装置１は移送装置の一端面に固定されるが、受信器装置２はノイズ試 験機５５に静止機械要素１５として連結されたホルダー３３を介して配置される ことによって、該受信器装置２はセンサ装置１から離隔されると共にこれと同軸 状に位置付けられ、エアギャップ８が維持される。 モータ、ギア、並びにその類のようなノイズ発生構造的ユニットのノイズ試験 において、センサシステムは同構造的ユニットのノイズ量を検出するために用い られる。センサシステムに関連する試験装置或いは監視装置の使用で、ノイズ量 試験を行うことが可能である。 図１４は、センサシステム１，２を用いる監視システム或いは試験システムの ブロック図である。このセンサシステムは振動信号及び／又は構造体発生ノイズ 信号を発生し、これらはケーブル９を介して監視装置或いは試験装置５６に供給 され、評価の後にインターフェース５７を介して機械の或いは試験装置の制御装 置５８へ供給されることによって、センサシステムは工程監視に用いられる。 工具類の監視は、工具接触、工具破断、工具亀裂、工具摩耗、或いは工具振動 等の監視基準の検出を云う。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＵＳ 【要約の続き】 定された機械構成要素（１５）に固定される。実際の監 視工程の間、センサ装置（１）及び受信器装置（２）の 一次及び二次コイルはエアギャップ（８）が維持された 状態で相互に対向している。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 変圧器様のコイル対（６，７）を具備した、振動用或いは構造体伝送ノイ ズ用センサ装置（１）と受信器装置（２）とから成るセンサシステムであり、該 システムは電気力学的或いは圧電的測定要素（５）の振動エネルギーを、前記セ ンサ装置（１）内に配置された一次コイル（６）を介して前記変圧器様コイル対 （６，７）の二次コイル（７）へ無接触状態で伝達し、前記二次コイル（７）は 、エアギャップ（８）を介して前記センサ装置（１）から離隔された前記受信器 装置（２）に配置されており、前記受信器装置は前記測定されて変換された振動 測定信号或いは構造体発生ノイズ測定信号を更に伝達することから成るセンサシ ステムにおいて、 前記測定要素（５）は、何等他の構成要素なしに、前記一次コイル（６）に直 接接続され、横移動及び/又は回転移動する機械要素（１４）に取付けられてお り、 前記受信器装置（２）は静止機械要素（１５）に配置されており、 前記センサ装置（１）及び前記受信器装置（２）は、前記エアギャップ（８） を維持する一方、少なくとも監視工程の間、相互に対向する前記一次コイル（６ ）及び前記二次コイル（７）を具備した状態で位置付けられていることを特徴と するセンサシステム。 ２． 複数の前記可動機械要素（１４）の各々は、前記センサ装置（１）を１つ ずつ有し、該センサ装置（１）の１つは、前記エアギャップの距離を維持する一 方、前記一次及び二次コイル（６，７）が相互に対向するように前記可動要素（ １４）がそのセンサ装置（１）を伴って位置付けられる度に、前記静止機械要素 （１５）上の前記受信器装置（２）に向かって測定信号を変換していることを特 徴とする請求項１に記載のセンサシステム。 ３． 前記可動機械要素（１４）の１つのもの或いは複数のものは、それぞれ、 前記センサ装置（１）を1つずつ有し、該センサ装置（１）の各々は、前記エア ギャップの距離を維持する一方、前記一次及び二次コイル（６，７）が相互に対 向するように前記可動要素（１４）がそのセンサ装置（１）を伴って位置付けら れる度に、前記静止機械要素（１５）上の前記受信器装置（２）に向かって測定 信号を変換していることを特徴とする請求項１に記載のセンサシステム。 ４． １つ或いは複数の前記可動機械要素（１４）における少なくとも１つのセ ンサ装置（１）に加えて、複数の前記受信器装置（２）が前記静止機械要素及び ／又は前記可動機械要素（１４，１５）に配列されており、前記エアギャップを 維持する一方、前記一次コイル（６）及び二次コイル（７）が相互に面するよう に１つのセンサ装置（１）が１つの受信器装置（２）に対向すべく位置付けられ る際に、何れかの前記センサ装置（１）によって何れかの前記受信器装置（２） に向かって測定信号が変換されることを特徴とする請求項１乃至３の内の何れか 一項に記載のセンサシステム。 ５． 前記センサ装置及び受信器装置（１，２）の前記一次コイル及び前記二次 コイル（６，７）は相互に略々同軸状となっており、これらの間の前記エアギャ ップ（８）又は前記距離は約０．２ｍｍ以上且つ約２ｍｍ以下であるが、該エア ギャップ距離は、前記センサ装置及び受信器装置（１，２）が交換可能なもので あっても常に同一であることを特徴とする請求項１乃至４の内の何れか一項に記 載のセンサシステム。 ６． 前記センサ装置（１）及び／又は前記受信器装置（２）はそれぞれの機械 要素（１４，１５）の凹部（１８，１９）内に配置されていることを特徴とする 請求項１乃至５の内の何れか一項に記載のセンサシステム。 ７． 前記センサ及び前記受信器装置（１，２）は、前記ハウジング（３，４） 回りを部分的に或いは完全に囲む片寄ったカラー（１２）或いは溝を有して、該 ハウジング（３，４）の前記機械要素（１４，１５）内に対する確動的或いは非 確動的な取付けを適切なチャック手段を用いて果たすことを特徴とする請求項１ 乃至６の内の何れか一項に記載のセンサシステム。 ８． 前記センサ装置（１）の前記測定要素（５）と前記金属製ハウジング（３ ）との間には電気的絶縁体は何等配置されず、前記測定要素（５）の電気的本体 は、前記金属製ハウジング（３）を介して前記機械要素（１４）の電気的本体に 直接接続されていることを特徴とする請求項１乃至７の内の何れか一項に記載の センサシステム。 ９． 前記測定要素（５）の本体を前記機械要素（１４）の電気的本体から電気 的に絶縁するために、前記センサ装置（１）の、前記測定要素（５）が固定され る前記ハウジング（２１）は振動或いは構造体発生ノイズの良伝導特性を具備し た、絶縁セラミックス等の電気的絶縁物質から成り、前記センサ装置（１）を電 磁気的なノイズから遮蔽するために、該センサ装置（１）は前記機械要素（１４ ，１５）内に沈下させられるか、或いは、前記ハウジング（２１）の内側を金属 ライニングすることによって遮蔽を実現し、このライニング（２２）は前記測定 要素（５）の電気的本体に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１乃 至７の内の何れか一項に記載のセンサシステム。 １０． 前記受信器装置（２）は、前記二次コイル（７）に加えて、インピーダ ンスコンバータ或いは増幅器アセンブリ（２９）を備えることを特徴とする請求 項１乃至９の内の何れか一項に記載のセンサシステム。