JPH0941184A - 部分めっき装置 - Google Patents
部分めっき装置Info
- Publication number
- JPH0941184A JPH0941184A JP21517795A JP21517795A JPH0941184A JP H0941184 A JPH0941184 A JP H0941184A JP 21517795 A JP21517795 A JP 21517795A JP 21517795 A JP21517795 A JP 21517795A JP H0941184 A JPH0941184 A JP H0941184A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- mask
- partial
- plating solution
- plated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 めっき液流に乱れを生ぜず、めっき電流密度
を高くでき、めっき時間の短縮、及び均一なめっきが得
られる部分めっき装置を目的とする。 【構成】 被めっき材の所望箇所にめっきする部分めっ
き装置において、めっき不要箇所に当接するマスクをめ
っき液噴出装置の先端部に一体的に設け、マスク支持を
不要とした部分めっき装置にある、また、前記めっき液
噴出装置は噴出口をマスクの側面に沿って設けている。
さらに前記めっき液噴射装置は複数のノズル又はスリッ
トを有している。
を高くでき、めっき時間の短縮、及び均一なめっきが得
られる部分めっき装置を目的とする。 【構成】 被めっき材の所望箇所にめっきする部分めっ
き装置において、めっき不要箇所に当接するマスクをめ
っき液噴出装置の先端部に一体的に設け、マスク支持を
不要とした部分めっき装置にある、また、前記めっき液
噴出装置は噴出口をマスクの側面に沿って設けている。
さらに前記めっき液噴射装置は複数のノズル又はスリッ
トを有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被めっき材の所定箇所の
みにめっきする部分めっき装置に関する。
みにめっきする部分めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被めっき材へのめっきは全面に行う場合
の他に所望箇所のみにめっきする部分めっきがある。例
えば半導体装置に使用されるリードフレームは、インナ
ーリードの先端部のみ、あるいはパッドとインナーリー
ド先端部のみにめっきされる。
の他に所望箇所のみにめっきする部分めっきがある。例
えば半導体装置に使用されるリードフレームは、インナ
ーリードの先端部のみ、あるいはパッドとインナーリー
ド先端部のみにめっきされる。
【０００３】部分めっきの場合は、めっき不要な箇所に
マスクをあて、めっきの必要な所望箇所のみにめっき液
を掛けるようにしている。該部分めっきにおいて、例え
ば図５に示すように中央部１を除き無端状空枠２に所定
幅箇所のみにめっきする際は、中央部１と無端状外側３
にそれぞれマスク４ａ、４ｂを設け、無端状空枠２箇所
のみにめっき液がかかるようにしている。
マスクをあて、めっきの必要な所望箇所のみにめっき液
を掛けるようにしている。該部分めっきにおいて、例え
ば図５に示すように中央部１を除き無端状空枠２に所定
幅箇所のみにめっきする際は、中央部１と無端状外側３
にそれぞれマスク４ａ、４ｂを設け、無端状空枠２箇所
のみにめっき液がかかるようにしている。
【０００４】かかる部分めっきでは、中央部１のマスク
４ａは島として点在することになるから、例えば特公平
７−２６２３２号に記載されているように支持ア−ム５
を介して無端状外側３のマスク４ｂに繋がり支えられて
いる。
４ａは島として点在することになるから、例えば特公平
７−２６２３２号に記載されているように支持ア−ム５
を介して無端状外側３のマスク４ｂに繋がり支えられて
いる。
【０００５】
【この発明が解決しようとする課題】前記島状のマスク
４ａをつける部分めっきでは、めっき液噴出装置６から
のめっき液がマスク４ａ及び支持ア−ム５に当り、めっ
き必要箇所すなわち前記無端状空枠２の非マスク部にか
かるめっき液の流れが乱流となり、めっき電流密度を上
げられず、めっき時間が長くなる。まためっき液が前記
のように支持ア−ム５でさらに乱れることから電流密度
にバラツキが生じ均一なめっきが得られない。
４ａをつける部分めっきでは、めっき液噴出装置６から
のめっき液がマスク４ａ及び支持ア−ム５に当り、めっ
き必要箇所すなわち前記無端状空枠２の非マスク部にか
かるめっき液の流れが乱流となり、めっき電流密度を上
げられず、めっき時間が長くなる。まためっき液が前記
のように支持ア−ム５でさらに乱れることから電流密度
にバラツキが生じ均一なめっきが得られない。
【０００６】本発明はめっき液流に乱れを生ぜず、めっ
き電流密度を高くできめっき時間の短縮、及び均一なめ
っきが得られる部分めっき装置を目的とする。
き電流密度を高くできめっき時間の短縮、及び均一なめ
っきが得られる部分めっき装置を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、被めっ
き材の所望箇所にめっきする部分めっき装置において、
めっき不要箇所に当接するマスクをめっき液噴出装置の
先端部に一体的に設けマスク支持を不要とした部分めっ
き装置にある。他の要旨は、前記めっき液噴出装置は噴
出口がマスクの側面に沿って設けられている部分めっき
装置にある。さらに他の要旨は、前記めっき液噴射装置
が複数のノズル又はスリットである。
き材の所望箇所にめっきする部分めっき装置において、
めっき不要箇所に当接するマスクをめっき液噴出装置の
先端部に一体的に設けマスク支持を不要とした部分めっ
き装置にある。他の要旨は、前記めっき液噴出装置は噴
出口がマスクの側面に沿って設けられている部分めっき
装置にある。さらに他の要旨は、前記めっき液噴射装置
が複数のノズル又はスリットである。
【０００８】
【作用】本発明の部分めっき装置は、めっき不要箇所に
当接させるマスクをめっき液噴出装置の先端部に一体的
に設け、マスクの支持ア−ムを不要とし、めっき液はマ
スク側面に沿って噴出するようにしているから、めっき
液は従来のよにマスクや支持ア−ムに当たって乱される
ようなことがなく、整流としてめっき所望箇所に噴出さ
れる。而してめっきの電流密度が従来に比して２倍以上
高くでき、めっき時間は半分未満に短縮でき、且つ均一
なめっきが得れる。
当接させるマスクをめっき液噴出装置の先端部に一体的
に設け、マスクの支持ア−ムを不要とし、めっき液はマ
スク側面に沿って噴出するようにしているから、めっき
液は従来のよにマスクや支持ア−ムに当たって乱される
ようなことがなく、整流としてめっき所望箇所に噴出さ
れる。而してめっきの電流密度が従来に比して２倍以上
高くでき、めっき時間は半分未満に短縮でき、且つ均一
なめっきが得れる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明について１実施例に基づき図面
を参照して説明する。この実施例では図４に示すような
リードフレーム７のインナーリード８の先端部８ａのみ
にめっきする場合について述べる。また、図１、図２、
図３及び図４を参照して実施例を述べるが、図面におい
て前記従来装置の説明で述べたものと同じものについて
は同じ番号を付している。４ａはマスクで、リードフレ
ーム７のパッド９にはめっきされないようにパッド９に
当接しめっき液との接触を阻止するものである。４ｂは
インナーリード先端部８ａ以外のインナーリード８、ア
ウターリード１０等に当接するマスクで、それらの箇所
にめっき液を接触させないものである。２はインナーリ
ード先端部８ａのみをめっきするために無端状空枠で、
マスクが当接しない部分である。
を参照して説明する。この実施例では図４に示すような
リードフレーム７のインナーリード８の先端部８ａのみ
にめっきする場合について述べる。また、図１、図２、
図３及び図４を参照して実施例を述べるが、図面におい
て前記従来装置の説明で述べたものと同じものについて
は同じ番号を付している。４ａはマスクで、リードフレ
ーム７のパッド９にはめっきされないようにパッド９に
当接しめっき液との接触を阻止するものである。４ｂは
インナーリード先端部８ａ以外のインナーリード８、ア
ウターリード１０等に当接するマスクで、それらの箇所
にめっき液を接触させないものである。２はインナーリ
ード先端部８ａのみをめっきするために無端状空枠で、
マスクが当接しない部分である。
【００１０】１１は先端に前記マスク４ａを設けためっ
き液噴出装置で、中央内部はマスク保持体１２を有して
マスク４ａを連設し、めっき液噴出口１３はその外周に
設けめっき液がマスク４ａの側面に沿って何らの障害を
受けずインナーリード先端部８ａに乱れることなく噴流
するようになっている。
き液噴出装置で、中央内部はマスク保持体１２を有して
マスク４ａを連設し、めっき液噴出口１３はその外周に
設けめっき液がマスク４ａの側面に沿って何らの障害を
受けずインナーリード先端部８ａに乱れることなく噴流
するようになっている。
【００１１】この発明での前記めっき液噴出口１３は該
実施例に限らず、図２の（Ａ）に示すようにマスク保持
体１２の周りにノズル１４を複数個設けたブロック型ノ
ズル、あるいは（Ｂ）に示すようにスリット１５を設け
るようにしてもよい。
実施例に限らず、図２の（Ａ）に示すようにマスク保持
体１２の周りにノズル１４を複数個設けたブロック型ノ
ズル、あるいは（Ｂ）に示すようにスリット１５を設け
るようにしてもよい。
【００１２】１６はマスク４ｂの基台であり、マスク４
ｂを進退自在に支持し図３に示すようにインナーリード
先端部８ａ以外のインナーリード８、アウターリード１
０に当接させる。１７は部分めっきの際にリードフレー
ム７を上方から支持する押え部材で、その下面にはゴム
材等が貼着されリードフレーム７を保護するようになっ
ている。
ｂを進退自在に支持し図３に示すようにインナーリード
先端部８ａ以外のインナーリード８、アウターリード１
０に当接させる。１７は部分めっきの際にリードフレー
ム７を上方から支持する押え部材で、その下面にはゴム
材等が貼着されリードフレーム７を保護するようになっ
ている。
【００１３】構成は以上のようであり、次に部分めっき
方法と作用について述べる。リードフレーム７のインナ
ーリード先端部８ａのみにめっきするように、マスク４
ｂをインナーリード先端部８ａ以外のインナーリード８
およびアウターリード１０に密着させ、まためっき液噴
出装置１１の先端に設けたマスク４ａを進退させてパッ
ド９に密着させる。
方法と作用について述べる。リードフレーム７のインナ
ーリード先端部８ａのみにめっきするように、マスク４
ｂをインナーリード先端部８ａ以外のインナーリード８
およびアウターリード１０に密着させ、まためっき液噴
出装置１１の先端に設けたマスク４ａを進退させてパッ
ド９に密着させる。
【００１４】次いで、めっき液噴出口１３からめっき液
を、無端状空枠２に露呈しているインナーリード先端部
８ａに指向してマスク４ａ側面を沿って噴出すると、当
該めっき液は従来のマスク支持ア−ム等に邪魔されるこ
となく、またマスク４ａ自体にも邪魔されることなく整
流状態でインナーリード先端部８ａに達する。この際め
っき液噴出装置１１は公知のようにアノ−ドとしても使
用されるが、めっきの電流密度は高まり、めっきに要す
る時間は短時間でよく、且つめっきのバラツキがなく均
一なめっき層が得られる。
を、無端状空枠２に露呈しているインナーリード先端部
８ａに指向してマスク４ａ側面を沿って噴出すると、当
該めっき液は従来のマスク支持ア−ム等に邪魔されるこ
となく、またマスク４ａ自体にも邪魔されることなく整
流状態でインナーリード先端部８ａに達する。この際め
っき液噴出装置１１は公知のようにアノ−ドとしても使
用されるが、めっきの電流密度は高まり、めっきに要す
る時間は短時間でよく、且つめっきのバラツキがなく均
一なめっき層が得られる。
【００１５】前記実施例ではリードフレームの部分めっ
きに適用する場合について述べたが、他にも適用できる
ことは言うまでもなく、各種の部分めっきに使用でき
る。
きに適用する場合について述べたが、他にも適用できる
ことは言うまでもなく、各種の部分めっきに使用でき
る。
【００１６】
【発明の効果】本発明は前述のように、所望箇所への部
分めっきが電流効率よく、生産性よく、且つ高品質にめ
っきできる等の多大の効果がある。
分めっきが電流効率よく、生産性よく、且つ高品質にめ
っきできる等の多大の効果がある。
【図１】本発明の１実施例による部分めっき装置を示す
図。
図。
【図２】本発明の実施例でのめっき液噴出装置を示す
図。
図。
【図３】本発明の１実姉例での部分めっき方法を説明す
るための図。
るための図。
【図４】本発明の１実姉例で被めっき材のリードフレー
ムを示す図。
ムを示す図。
【図５】従来の部分めっき装置を示す図。
１ 中央部 ２ 無端状空枠 ３ 無端状空枠外側 ４ａ、４ｂ マスク ５ 支持ア−ム ６ めっき液噴出装置 ７ リードフレーム ８ インナーリード ９ アウターリード １０ パッド １１ めっき液噴出装置 １２ マスク保持体 １３ めっき液噴出口 １４ ノズル １５ スリット １６ 基台 １７ 押え部材
Claims (3)
- 【請求項１】 被めっき材の所望箇所にめっきする部分
めっき装置において、めっき不要箇所に当接するマスク
をめっき液噴出装置の先端部に一体的に設けマスク支持
を不要とした部分めっき装置。 - 【請求項２】 前記めっき液噴出装置は噴出口がマスク
の側面に沿って設けられていることを特徴とする請求項
１記載の部分めっき装置。 - 【請求項３】 前記めっき液噴出装置が前記マスクの側
面に沿って複数設けたノズル又はスリットを有すること
を特徴とする請求項１記載の部分めっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21517795A JPH0941184A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | 部分めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21517795A JPH0941184A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | 部分めっき装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0941184A true JPH0941184A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16667950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21517795A Pending JPH0941184A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | 部分めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0941184A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115863181A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-03-28 | 崇辉半导体(江门)有限公司 | 一种半导体引线框架的选择性粗化设备及其粗化方法 |
-
1995
- 1995-07-31 JP JP21517795A patent/JPH0941184A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115863181A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-03-28 | 崇辉半导体(江门)有限公司 | 一种半导体引线框架的选择性粗化设备及其粗化方法 |
| CN115863181B (zh) * | 2022-11-25 | 2024-06-21 | 崇辉半导体(江门)有限公司 | 一种半导体引线框架的选择性粗化设备及其粗化方法 |
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