JPH0940439A - 光ファイバ用母材の製造装置 - Google Patents

光ファイバ用母材の製造装置

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JPH0940439A
JPH0940439A JP19323495A JP19323495A JPH0940439A JP H0940439 A JPH0940439 A JP H0940439A JP 19323495 A JP19323495 A JP 19323495A JP 19323495 A JP19323495 A JP 19323495A JP H0940439 A JPH0940439 A JP H0940439A
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JP
Japan
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exhaust
exhaust pipe
soot
reaction vessel
optical fiber
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Withdrawn
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JP19323495A
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English (en)
Inventor
Akihiko Mori
昭彦 森
Eiji Matsuyama
栄治 松山
Tomochika Fukada
知周 深田
Isamu Sakurai
勇 桜井
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SWCC Corp
Original Assignee
Showa Electric Wire and Cable Co
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/0144Means for after-treatment or catching of worked reactant gases

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 VAD法による多孔質プリフォームの形成に
おいて、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ方向
の変化を抑制し、スートの軸方向および径方向の堆積速
度を一定に保つようにした光ファイバ用母材の製造装置
を提供する。 【構成】 反応容器9内に、石英ターゲット棒10とバ
ーナー11とが収容され、ターゲット棒10は酸化物ス
ートの堆積にしたがって引上げられるように構成されて
いる。また、反応容器9の側部に排気管13が接続さ
れ、この排気管接続口近傍の反応容器9内には、複数の
扇形の弁部材16aを中心連結部16bの周りに集合連
結した構造の排気方向調整器16が設けられている。そ
して、排気方向検出器15からの信号により各弁部材1
6aの開閉が制御され、反応容器9から排気管13への
排気の流れ方向が一定かつ最適となるようになってい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ用母材の製
造装置に係わり、特に気相軸付け法(VAD法;Vapor
Phase Axial Deposition)により、スート堆積時の排気
状態を調整しながら光ファイバ用多孔質母材を製造する
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、VAD法により光ファイバ用母
材(プリフォーム)を製造する工程は、原料となるSi
Cl4 等の蒸気を可燃ガス(水素)と酸素を用いて火炎
加水分解し、石英のターゲット棒の先端に酸化物(Si
2 等)のスートを堆積させるスート堆積工程と、こう
して形成された空気を多量に含んだ多孔質プリフォーム
を電気炉に導いて加熱しガラス化する透明ガラス化工程
とに大別される。
【0003】そして、スート堆積工程においては、スー
トとして石英ターゲット棒に付着しなかった未堆積反応
物は、反応容器に接続された排気管を通って容器外へ吸
引除去されるようになっている。
【0004】しかし、このような未堆積反応物の排出に
おいては、排気管の内壁面に未堆積反応物が付着して、
反応容器からの排気状態が変化するため、スート生成反
応の進行に支障をきたすおそれがあった。
【0005】これを防止するため、従来から、図4に示
すように、反応容器1内の圧力と容器外の圧力との外の
差圧を精密微差圧計2により検出し、あるいは排気管3
内などの排気(矢印で示す。)の流速や流量を検出し、
これらの検出信号により、排気管3の途中の大気取入れ
口4に設けた電動コントロール弁5の開閉動作を、モー
タMを介して制御することで、反応容器1からの排気の
状態を一定に保持することが行なわれていた。なお、こ
のような電動コントロール弁5を大気取入れ口4に設け
る代わりに、排気管3の中間部に直接ダンパとして設置
し、精密微差圧計2からの差圧信号等により、排気管3
の開口径を変化させるようにしても良い。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来からの制御システムでは、例えば排気管3の接
続口の近傍に目づまりが発生した場合、排気の流れ方向
の変化とそれによるスート堆積の経時変化を抑えること
ができなかった。
【0007】すなわち、図5に示すように、スート6の
堆積位置に非常に近い排気管3の入口部に、未堆積反応
物7の付着により目づまりが発生した場合、反応容器1
から排気管3への排気の流れ方向が上方へ(矢印a方向
から矢印b方向へ)変化し、それとともにバーナー8の
火炎に揺らぎが生じる。そのため、軸方向および径方向
のスート6堆積速度、特に径方向の堆積速度が経時的に
大きく変化するという問題があった。
【0008】本発明はこれらの問題を解決するためにな
されたもので、VAD法による多孔質プリフォームの形
成において、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ
方向の変化を抑制し、酸化物スートの軸方向および径方
向の堆積速度を一定に保つようにした光ファイバ用母材
の製造装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバ用母
材の製造装置は、原料の蒸気を火炎加水分解し酸化物の
スートを生成するバーナーと、前記スートの堆積にした
がって引上げられるターゲット棒と、前記バーナーおよ
びターゲット棒を収容する反応容器と、前記反応容器に
接続された排気管とを備えた光ファイバ用母材の製造装
置において、前記反応容器内の前記排気管接続口の近傍
に、前記反応容器から排気管への排気の流れ方向を検出
する排気方向検出器を設けるとともに、前記反応容器内
または排気管内に前記排気の流れ方向を調整する排気方
向調整器を設け、前記排気方向検出器からの信号によ
り、前記排気方向調整器の動作を制御するように構成し
たことを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の製造装置においては、反応容器内の排
気管接続口の近傍に、反応容器から排気管への排気の流
れ方向を検出する排気方向検出器が設けられるととも
に、反応容器内または排気管内に、そのような排気の方
向を弁部材の開閉等により調整する排気方向調整器が設
けられ、排気方向検出器からの検出信号により、排気方
向調整器の開閉動作が制御されて、排気の流れ方向が調
整されるようになっている。したがって、排気管の入口
部の目づまり等に起因する排気方向の変化が抑えられ
る。こうして排気方向を含めた排気状態が一定かつ最適
となるように制御されるので、酸化物スートの軸方向並
びに径方向の堆積が一定に保たれ、特性の良好な光ファ
イバ用母材を安定して得ることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0012】図1は、本発明の光ファイバ用母材の製造
装置の一実施例を模式的に示す図である。
【0013】図において符号9は反応容器を示し、この
反応容器9内に、石英のターゲット棒10と、SiCl
4 等の原料蒸気を可燃ガスと酸素を用いて火炎加水分解
し、石英ターゲット棒10の先端にSiO2 等の酸化物
のスートを生成するバーナー11とがそれぞれ収容され
ている。そして石英ターゲット棒10は、酸化物スート
の堆積にしたがって引上げられ、その後、形成された多
孔質プリフォーム12は、透明ガラス化のために電気炉
(図示を省略。)にて加熱されるように構成されてい
る。
【0014】また、反応容器9の側部には、他端部が排
気ダクト(図示を省略。)に接続された排気管13が接
続されており、この排気管13の中間部に、電動コント
ロール弁14のようなダンパが介挿されている。そし
て、風車式またはカップ式の流速計、タービンメータ
(羽根車流量計)、ピトー管、管内オリフィスのような
流速計や流量計(図示を省略。)により、排気管13内
の排気の流速や流量が検出され、かつこれらの検出器か
らの信号で電動コントロール弁14の開閉動作が制御さ
れ、排気管13の開口径が調整されるようになってい
る。
【0015】また、反応容器9内の排気管13接続口の
近傍には、例えば羽根の向きにより排気の流れ方向を検
出したり、風洞観察測定装置のような反応容器外部に設
置して非接触にて排気の流れを検出したりする排気方向
検出器15が設けられ、さらに接続口近傍の排気管13
内に、以下に示す排気方向調整器16が設けられてい
る。
【0016】すなわち、この排気方向調整器16は、図
2に示すように、円形板を中心から放射状に分割した扇
形形状を有する複数の弁部材16aを、中心連結部16
bの周りに隙間なく集合し連結した構造を有し、各弁部
材16aが互いに独立して開閉するように構成されてい
る。そして、排気方向検出器15からの検出信号を受け
た制御器17により各弁部材16aの開閉動作が制御さ
れ、反応容器9から排気管13への排気の流れ方向が一
定かつ最適となるようになっている。
【0017】例えば、図3に示すように、排気管13入
口部(接続口)の下部に未堆積反応物18が付着して目
づまりが生じたときは、排気管13接続口近傍の反応容
器9内の排気方向は上向きとなり、この向きが排気方向
検出器15により検出される。そして、このような排気
方向を表す排気方向検出器15からの信号により、排気
方向調整器16の下部の弁部材16aのみが開放され、
その結果下向きの排気流れが促進され、前記した排気方
向の上向きへの変化が抑えられる。
【0018】このように、本実施例の製造装置において
は、排気管13内の排気の流速や流量による排気管13
の開口径の制御に併せて、排気管13の目づまり状態に
応じた排気流れ方向の調整が行なわれるので、反応容器
9内のスート堆積の経時的変化が抑制され、スートの軸
方向並びに径方向の堆積速度が一定に保たれる。したが
って、特性の良好な光ファイバ用母材が安定して製造さ
れる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明の製造装置に
よれば、VAD法による多孔質プリフォームの形成にお
いて、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ方向の
変化が抑えられ、スートの軸方向および径方向の堆積速
度が一定に保たれる。したがって、特性の良好な光ファ
イバ用母材を安定して製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバ用母材の製造装置の一実施
例を模式的に示す図。
【図2】同実施例に使用する排気方向調整器を拡大して
示す正面図。
【図3】同実施例において、排気方向調整器の動作を示
す図。
【図4】従来からの排気制御システムを模式的に示す
図。
【図5】排気管の目づまりによる排気方向の変化を示す
図。
【符号の説明】
9………反応容器 10………ターゲット棒 11………バーナー 12………多孔質プリフォーム 13………排気管 15………排気方向検出器 16………排気方向調整器 16a………弁部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深田 知周 神奈川県川崎市川崎区小田栄2丁目1番1 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 桜井 勇 神奈川県川崎市川崎区小田栄2丁目1番1 号 昭和電線電纜株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 原料の蒸気を火炎加水分解し酸化物のス
    ートを生成するバーナーと、前記スートの堆積にしたが
    って引上げられるターゲット棒と、前記バーナーおよび
    ターゲット棒を収容する反応容器と、前記反応容器に接
    続された排気管とを備えた光ファイバ用母材の製造装置
    において、 前記反応容器内の前記排気管接続口の近傍に、前記反応
    容器から排気管への排気の流れ方向を検出する排気方向
    検出器を設けるとともに、前記反応容器内または排気管
    内に前記排気の流れ方向を調整する排気方向調整器を設
    け、前記排気方向検出器からの信号により、前記排気方
    向調整器の動作を制御するように構成したことを特徴と
    する光ファイバ用母材の製造装置。
  2. 【請求項2】 前記排気方向調整器が、複数の扇形の弁
    部材を中心連結部の周りに隙間なく集合して成り、前記
    排気方向検出器からの信号により、各弁部材の開閉動作
    が互いに独立して制御されるように構成した請求項1記
    載の光ファイバ用母材の製造装置。
JP19323495A 1995-07-28 1995-07-28 光ファイバ用母材の製造装置 Withdrawn JPH0940439A (ja)

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