JPH0940439A - 光ファイバ用母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造装置Info
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- JPH0940439A JPH0940439A JP19323495A JP19323495A JPH0940439A JP H0940439 A JPH0940439 A JP H0940439A JP 19323495 A JP19323495 A JP 19323495A JP 19323495 A JP19323495 A JP 19323495A JP H0940439 A JPH0940439 A JP H0940439A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＶＡＤ法による多孔質プリフォームの形成に
おいて、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ方向
の変化を抑制し、スートの軸方向および径方向の堆積速
度を一定に保つようにした光ファイバ用母材の製造装置
を提供する。 【構成】 反応容器９内に、石英ターゲット棒１０とバ
ーナー１１とが収容され、ターゲット棒１０は酸化物ス
ートの堆積にしたがって引上げられるように構成されて
いる。また、反応容器９の側部に排気管１３が接続さ
れ、この排気管接続口近傍の反応容器９内には、複数の
扇形の弁部材１６ａを中心連結部１６ｂの周りに集合連
結した構造の排気方向調整器１６が設けられている。そ
して、排気方向検出器１５からの信号により各弁部材１
６ａの開閉が制御され、反応容器９から排気管１３への
排気の流れ方向が一定かつ最適となるようになってい
る。
おいて、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ方向
の変化を抑制し、スートの軸方向および径方向の堆積速
度を一定に保つようにした光ファイバ用母材の製造装置
を提供する。 【構成】 反応容器９内に、石英ターゲット棒１０とバ
ーナー１１とが収容され、ターゲット棒１０は酸化物ス
ートの堆積にしたがって引上げられるように構成されて
いる。また、反応容器９の側部に排気管１３が接続さ
れ、この排気管接続口近傍の反応容器９内には、複数の
扇形の弁部材１６ａを中心連結部１６ｂの周りに集合連
結した構造の排気方向調整器１６が設けられている。そ
して、排気方向検出器１５からの信号により各弁部材１
６ａの開閉が制御され、反応容器９から排気管１３への
排気の流れ方向が一定かつ最適となるようになってい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ用母材の製
造装置に係わり、特に気相軸付け法（ＶＡＤ法；Vapor
Phase Axial Deposition）により、スート堆積時の排気
状態を調整しながら光ファイバ用多孔質母材を製造する
装置に関する。
造装置に係わり、特に気相軸付け法（ＶＡＤ法；Vapor
Phase Axial Deposition）により、スート堆積時の排気
状態を調整しながら光ファイバ用多孔質母材を製造する
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＶＡＤ法により光ファイバ用母
材（プリフォーム）を製造する工程は、原料となるＳｉ
Ｃｌ4 等の蒸気を可燃ガス（水素）と酸素を用いて火炎
加水分解し、石英のターゲット棒の先端に酸化物（Ｓｉ
Ｏ2 等）のスートを堆積させるスート堆積工程と、こう
して形成された空気を多量に含んだ多孔質プリフォーム
を電気炉に導いて加熱しガラス化する透明ガラス化工程
とに大別される。
材（プリフォーム）を製造する工程は、原料となるＳｉ
Ｃｌ4 等の蒸気を可燃ガス（水素）と酸素を用いて火炎
加水分解し、石英のターゲット棒の先端に酸化物（Ｓｉ
Ｏ2 等）のスートを堆積させるスート堆積工程と、こう
して形成された空気を多量に含んだ多孔質プリフォーム
を電気炉に導いて加熱しガラス化する透明ガラス化工程
とに大別される。
【０００３】そして、スート堆積工程においては、スー
トとして石英ターゲット棒に付着しなかった未堆積反応
物は、反応容器に接続された排気管を通って容器外へ吸
引除去されるようになっている。
トとして石英ターゲット棒に付着しなかった未堆積反応
物は、反応容器に接続された排気管を通って容器外へ吸
引除去されるようになっている。
【０００４】しかし、このような未堆積反応物の排出に
おいては、排気管の内壁面に未堆積反応物が付着して、
反応容器からの排気状態が変化するため、スート生成反
応の進行に支障をきたすおそれがあった。
おいては、排気管の内壁面に未堆積反応物が付着して、
反応容器からの排気状態が変化するため、スート生成反
応の進行に支障をきたすおそれがあった。
【０００５】これを防止するため、従来から、図４に示
すように、反応容器１内の圧力と容器外の圧力との外の
差圧を精密微差圧計２により検出し、あるいは排気管３
内などの排気（矢印で示す。）の流速や流量を検出し、
これらの検出信号により、排気管３の途中の大気取入れ
口４に設けた電動コントロール弁５の開閉動作を、モー
タＭを介して制御することで、反応容器１からの排気の
状態を一定に保持することが行なわれていた。なお、こ
のような電動コントロール弁５を大気取入れ口４に設け
る代わりに、排気管３の中間部に直接ダンパとして設置
し、精密微差圧計２からの差圧信号等により、排気管３
の開口径を変化させるようにしても良い。
すように、反応容器１内の圧力と容器外の圧力との外の
差圧を精密微差圧計２により検出し、あるいは排気管３
内などの排気（矢印で示す。）の流速や流量を検出し、
これらの検出信号により、排気管３の途中の大気取入れ
口４に設けた電動コントロール弁５の開閉動作を、モー
タＭを介して制御することで、反応容器１からの排気の
状態を一定に保持することが行なわれていた。なお、こ
のような電動コントロール弁５を大気取入れ口４に設け
る代わりに、排気管３の中間部に直接ダンパとして設置
し、精密微差圧計２からの差圧信号等により、排気管３
の開口径を変化させるようにしても良い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来からの制御システムでは、例えば排気管３の接
続口の近傍に目づまりが発生した場合、排気の流れ方向
の変化とそれによるスート堆積の経時変化を抑えること
ができなかった。
うな従来からの制御システムでは、例えば排気管３の接
続口の近傍に目づまりが発生した場合、排気の流れ方向
の変化とそれによるスート堆積の経時変化を抑えること
ができなかった。
【０００７】すなわち、図５に示すように、スート６の
堆積位置に非常に近い排気管３の入口部に、未堆積反応
物７の付着により目づまりが発生した場合、反応容器１
から排気管３への排気の流れ方向が上方へ（矢印ａ方向
から矢印ｂ方向へ）変化し、それとともにバーナー８の
火炎に揺らぎが生じる。そのため、軸方向および径方向
のスート６堆積速度、特に径方向の堆積速度が経時的に
大きく変化するという問題があった。
堆積位置に非常に近い排気管３の入口部に、未堆積反応
物７の付着により目づまりが発生した場合、反応容器１
から排気管３への排気の流れ方向が上方へ（矢印ａ方向
から矢印ｂ方向へ）変化し、それとともにバーナー８の
火炎に揺らぎが生じる。そのため、軸方向および径方向
のスート６堆積速度、特に径方向の堆積速度が経時的に
大きく変化するという問題があった。
【０００８】本発明はこれらの問題を解決するためにな
されたもので、ＶＡＤ法による多孔質プリフォームの形
成において、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ
方向の変化を抑制し、酸化物スートの軸方向および径方
向の堆積速度を一定に保つようにした光ファイバ用母材
の製造装置を提供することを目的とする。
されたもので、ＶＡＤ法による多孔質プリフォームの形
成において、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ
方向の変化を抑制し、酸化物スートの軸方向および径方
向の堆積速度を一定に保つようにした光ファイバ用母材
の製造装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバ用母
材の製造装置は、原料の蒸気を火炎加水分解し酸化物の
スートを生成するバーナーと、前記スートの堆積にした
がって引上げられるターゲット棒と、前記バーナーおよ
びターゲット棒を収容する反応容器と、前記反応容器に
接続された排気管とを備えた光ファイバ用母材の製造装
置において、前記反応容器内の前記排気管接続口の近傍
に、前記反応容器から排気管への排気の流れ方向を検出
する排気方向検出器を設けるとともに、前記反応容器内
または排気管内に前記排気の流れ方向を調整する排気方
向調整器を設け、前記排気方向検出器からの信号によ
り、前記排気方向調整器の動作を制御するように構成し
たことを特徴とする。
材の製造装置は、原料の蒸気を火炎加水分解し酸化物の
スートを生成するバーナーと、前記スートの堆積にした
がって引上げられるターゲット棒と、前記バーナーおよ
びターゲット棒を収容する反応容器と、前記反応容器に
接続された排気管とを備えた光ファイバ用母材の製造装
置において、前記反応容器内の前記排気管接続口の近傍
に、前記反応容器から排気管への排気の流れ方向を検出
する排気方向検出器を設けるとともに、前記反応容器内
または排気管内に前記排気の流れ方向を調整する排気方
向調整器を設け、前記排気方向検出器からの信号によ
り、前記排気方向調整器の動作を制御するように構成し
たことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明の製造装置においては、反応容器内の排
気管接続口の近傍に、反応容器から排気管への排気の流
れ方向を検出する排気方向検出器が設けられるととも
に、反応容器内または排気管内に、そのような排気の方
向を弁部材の開閉等により調整する排気方向調整器が設
けられ、排気方向検出器からの検出信号により、排気方
向調整器の開閉動作が制御されて、排気の流れ方向が調
整されるようになっている。したがって、排気管の入口
部の目づまり等に起因する排気方向の変化が抑えられ
る。こうして排気方向を含めた排気状態が一定かつ最適
となるように制御されるので、酸化物スートの軸方向並
びに径方向の堆積が一定に保たれ、特性の良好な光ファ
イバ用母材を安定して得ることができる。
気管接続口の近傍に、反応容器から排気管への排気の流
れ方向を検出する排気方向検出器が設けられるととも
に、反応容器内または排気管内に、そのような排気の方
向を弁部材の開閉等により調整する排気方向調整器が設
けられ、排気方向検出器からの検出信号により、排気方
向調整器の開閉動作が制御されて、排気の流れ方向が調
整されるようになっている。したがって、排気管の入口
部の目づまり等に起因する排気方向の変化が抑えられ
る。こうして排気方向を含めた排気状態が一定かつ最適
となるように制御されるので、酸化物スートの軸方向並
びに径方向の堆積が一定に保たれ、特性の良好な光ファ
イバ用母材を安定して得ることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１２】図１は、本発明の光ファイバ用母材の製造
装置の一実施例を模式的に示す図である。
装置の一実施例を模式的に示す図である。
【００１３】図において符号９は反応容器を示し、この
反応容器９内に、石英のターゲット棒１０と、ＳｉＣｌ
4 等の原料蒸気を可燃ガスと酸素を用いて火炎加水分解
し、石英ターゲット棒１０の先端にＳｉＯ2 等の酸化物
のスートを生成するバーナー１１とがそれぞれ収容され
ている。そして石英ターゲット棒１０は、酸化物スート
の堆積にしたがって引上げられ、その後、形成された多
孔質プリフォーム１２は、透明ガラス化のために電気炉
（図示を省略。）にて加熱されるように構成されてい
る。
反応容器９内に、石英のターゲット棒１０と、ＳｉＣｌ
4 等の原料蒸気を可燃ガスと酸素を用いて火炎加水分解
し、石英ターゲット棒１０の先端にＳｉＯ2 等の酸化物
のスートを生成するバーナー１１とがそれぞれ収容され
ている。そして石英ターゲット棒１０は、酸化物スート
の堆積にしたがって引上げられ、その後、形成された多
孔質プリフォーム１２は、透明ガラス化のために電気炉
（図示を省略。）にて加熱されるように構成されてい
る。
【００１４】また、反応容器９の側部には、他端部が排
気ダクト（図示を省略。）に接続された排気管１３が接
続されており、この排気管１３の中間部に、電動コント
ロール弁１４のようなダンパが介挿されている。そし
て、風車式またはカップ式の流速計、タービンメータ
（羽根車流量計）、ピトー管、管内オリフィスのような
流速計や流量計（図示を省略。）により、排気管１３内
の排気の流速や流量が検出され、かつこれらの検出器か
らの信号で電動コントロール弁１４の開閉動作が制御さ
れ、排気管１３の開口径が調整されるようになってい
る。
気ダクト（図示を省略。）に接続された排気管１３が接
続されており、この排気管１３の中間部に、電動コント
ロール弁１４のようなダンパが介挿されている。そし
て、風車式またはカップ式の流速計、タービンメータ
（羽根車流量計）、ピトー管、管内オリフィスのような
流速計や流量計（図示を省略。）により、排気管１３内
の排気の流速や流量が検出され、かつこれらの検出器か
らの信号で電動コントロール弁１４の開閉動作が制御さ
れ、排気管１３の開口径が調整されるようになってい
る。
【００１５】また、反応容器９内の排気管１３接続口の
近傍には、例えば羽根の向きにより排気の流れ方向を検
出したり、風洞観察測定装置のような反応容器外部に設
置して非接触にて排気の流れを検出したりする排気方向
検出器１５が設けられ、さらに接続口近傍の排気管１３
内に、以下に示す排気方向調整器１６が設けられてい
る。
近傍には、例えば羽根の向きにより排気の流れ方向を検
出したり、風洞観察測定装置のような反応容器外部に設
置して非接触にて排気の流れを検出したりする排気方向
検出器１５が設けられ、さらに接続口近傍の排気管１３
内に、以下に示す排気方向調整器１６が設けられてい
る。
【００１６】すなわち、この排気方向調整器１６は、図
２に示すように、円形板を中心から放射状に分割した扇
形形状を有する複数の弁部材１６ａを、中心連結部１６
ｂの周りに隙間なく集合し連結した構造を有し、各弁部
材１６ａが互いに独立して開閉するように構成されてい
る。そして、排気方向検出器１５からの検出信号を受け
た制御器１７により各弁部材１６ａの開閉動作が制御さ
れ、反応容器９から排気管１３への排気の流れ方向が一
定かつ最適となるようになっている。
２に示すように、円形板を中心から放射状に分割した扇
形形状を有する複数の弁部材１６ａを、中心連結部１６
ｂの周りに隙間なく集合し連結した構造を有し、各弁部
材１６ａが互いに独立して開閉するように構成されてい
る。そして、排気方向検出器１５からの検出信号を受け
た制御器１７により各弁部材１６ａの開閉動作が制御さ
れ、反応容器９から排気管１３への排気の流れ方向が一
定かつ最適となるようになっている。
【００１７】例えば、図３に示すように、排気管１３入
口部（接続口）の下部に未堆積反応物１８が付着して目
づまりが生じたときは、排気管１３接続口近傍の反応容
器９内の排気方向は上向きとなり、この向きが排気方向
検出器１５により検出される。そして、このような排気
方向を表す排気方向検出器１５からの信号により、排気
方向調整器１６の下部の弁部材１６ａのみが開放され、
その結果下向きの排気流れが促進され、前記した排気方
向の上向きへの変化が抑えられる。
口部（接続口）の下部に未堆積反応物１８が付着して目
づまりが生じたときは、排気管１３接続口近傍の反応容
器９内の排気方向は上向きとなり、この向きが排気方向
検出器１５により検出される。そして、このような排気
方向を表す排気方向検出器１５からの信号により、排気
方向調整器１６の下部の弁部材１６ａのみが開放され、
その結果下向きの排気流れが促進され、前記した排気方
向の上向きへの変化が抑えられる。
【００１８】このように、本実施例の製造装置において
は、排気管１３内の排気の流速や流量による排気管１３
の開口径の制御に併せて、排気管１３の目づまり状態に
応じた排気流れ方向の調整が行なわれるので、反応容器
９内のスート堆積の経時的変化が抑制され、スートの軸
方向並びに径方向の堆積速度が一定に保たれる。したが
って、特性の良好な光ファイバ用母材が安定して製造さ
れる。
は、排気管１３内の排気の流速や流量による排気管１３
の開口径の制御に併せて、排気管１３の目づまり状態に
応じた排気流れ方向の調整が行なわれるので、反応容器
９内のスート堆積の経時的変化が抑制され、スートの軸
方向並びに径方向の堆積速度が一定に保たれる。したが
って、特性の良好な光ファイバ用母材が安定して製造さ
れる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明の製造装置に
よれば、ＶＡＤ法による多孔質プリフォームの形成にお
いて、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ方向の
変化が抑えられ、スートの軸方向および径方向の堆積速
度が一定に保たれる。したがって、特性の良好な光ファ
イバ用母材を安定して製造することができる。
よれば、ＶＡＤ法による多孔質プリフォームの形成にお
いて、排気管の入口部の目づまりによる排気流れ方向の
変化が抑えられ、スートの軸方向および径方向の堆積速
度が一定に保たれる。したがって、特性の良好な光ファ
イバ用母材を安定して製造することができる。
【図１】本発明の光ファイバ用母材の製造装置の一実施
例を模式的に示す図。
例を模式的に示す図。
【図２】同実施例に使用する排気方向調整器を拡大して
示す正面図。
示す正面図。
【図３】同実施例において、排気方向調整器の動作を示
す図。
す図。
【図４】従来からの排気制御システムを模式的に示す
図。
図。
【図５】排気管の目づまりによる排気方向の変化を示す
図。
図。
９………反応容器 １０………ターゲット棒 １１………バーナー １２………多孔質プリフォーム １３………排気管 １５………排気方向検出器 １６………排気方向調整器 １６ａ………弁部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深田 知周 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 桜井 勇 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 原料の蒸気を火炎加水分解し酸化物のス
ートを生成するバーナーと、前記スートの堆積にしたが
って引上げられるターゲット棒と、前記バーナーおよび
ターゲット棒を収容する反応容器と、前記反応容器に接
続された排気管とを備えた光ファイバ用母材の製造装置
において、 前記反応容器内の前記排気管接続口の近傍に、前記反応
容器から排気管への排気の流れ方向を検出する排気方向
検出器を設けるとともに、前記反応容器内または排気管
内に前記排気の流れ方向を調整する排気方向調整器を設
け、前記排気方向検出器からの信号により、前記排気方
向調整器の動作を制御するように構成したことを特徴と
する光ファイバ用母材の製造装置。 - 【請求項２】 前記排気方向調整器が、複数の扇形の弁
部材を中心連結部の周りに隙間なく集合して成り、前記
排気方向検出器からの信号により、各弁部材の開閉動作
が互いに独立して制御されるように構成した請求項１記
載の光ファイバ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19323495A JPH0940439A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19323495A JPH0940439A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0940439A true JPH0940439A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16304565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19323495A Withdrawn JPH0940439A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0940439A (ja) |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP19323495A patent/JPH0940439A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021001 |