JPH0938558A - ペースト塗布機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ペーストカ−トリッジを交換あるいは装填し
たときのノズルのペースト吐出口から基板表面までの距
離を容易に校正することができるようにする。 【構成】 Ｚ軸モータ１１によって上下する支持部材４
ａに距離センサ３と係合部１９ｂと支持部材２０とが設
けられ、ペーストカートリッジＰＣは、スライド部１９
ａと係合部１９ｂとで支持部材４ａに対してスライド可
能で、また、取外し可能である。ペーストカートリッジ
ＰＣの固定部材１８の下面は支持部材２０に設けられた
微調節器２１の可動部２１ａで支持されている。図示す
るようにペーストカートリッジＰＣが取り付けられる
と、距離センサ３が規定の距離を検出するまで支持部材
４ａを降下させる。このとき、ノズル１は基板７に当接
している。そして、微調節器２１を操作して可動部２１
ａにより、接触検出センサ２２で所定の高さが検出され
るまで、ペーストカートリッジＰＣを上昇させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板上に所望のパター
ン形状にペーストを塗布描画するカートリッジ式のペー
スト塗布機に係り、特に、ペーストカートリッジの交換
後や新規装填時のペースト吐出口と基板表面の距離を所
望の値に設定するノズル位置校正に関する。

【０００２】

【従来の技術】ペースト収納筒の先に設けられたノズル
からペーストを吐出させながらノズルと基板を上下なら
びに前後左右に相対的に移動させて、基板上に所望パタ
ーンのペースト膜を描画する技術として、例えば、特開
平２−５２７４２号公報に示されるように、ノズルに対
して基板を相対的に移動させ、かつ、ノズルと基板との
間隙を調節しつつ、ノズルから基板上に抵抗ペーストを
吐出させて所望の抵抗パターンを形成する吐出描画技術
が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ペースト塗
布機においては、ノズルとペースト収納筒とこれらを結
合するノズル支持具とを一体化してカートリッジ化して
（即ち、カートリッジをペーストカートリッジとし）、
小型化が図られている。かかるカートリッジ式のペース
ト塗布機では、ペースト収納筒内に充填されたペースト
が吐出されつくし、あるいは、吐出されつくしそうな時
点で、ペーストカートリッジの交換が行なわれる。ま
た、ペースト塗布機を暫く使用しないで久しぶりに描画
する場合や毎日使用しているものの、夜間には停止し、
翌朝などに使用を再開する場合などでは、ペーストの経
年変化やノズル内での硬化などを考えて、新たなペース
トカ−トリッジに装填し直して描画を開始することが多
い。以下では、ペーストカ−トリッジ交換を代表例とし
て説明する。

【０００４】ペーストカートリッジを交換しても、基板
とペーストカ−トリッジでのノズルのペースト吐出口と
の距離を調整しないときには、例えペーストカ−トリッ
ジがこれまで使用したものと同一仕様のものであったと
しても、ペーストカ−トリッジに寸法公差があるし、ま
た、その取付精度などの問題により、ノズルのペースト
吐出口からペーストパターンが描かれる基板表面までの
距離に、ペーストカ−トリッジ交換の前後で差を生ずる
ことが多い。

【０００５】このようにペーストカ−トリッジ交換の前
後でノズルのペースト吐出口からペーストパターンが描
かれる基板表面までの距離が変わると、描かれるペース
トパターンは、交換前のペーストパターンに比べて、幅
が変わるし、また、曲線あるいは屈曲（屈折）形状を描
こうとすると、所望のパターンにならないという問題が
生ずる。

【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消し、ペ
ーストカ−トリッジ交換あるいは装填後のノズルのペー
スト吐出口から基板表面までの距離を容易に校正するこ
とができ、所望のペーストパターンを描画できるように
したペースト塗布機を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ペースト収納筒部を基板の垂直方向に移
動可能に支持するＺ軸テーブル部と、可動部が該ペース
ト収納筒部の一部に下方から当接する該Ｚ軸テーブル部
に固定された微調節部と、該Ｚ軸テーブル部を該基板の
垂直方向に駆動するＺ軸駆動部と、該ペースト収納筒部
の他の一部と該Ｚ軸テーブル部との間に設けられ該ペー
スト収納筒部と該Ｚ軸テーブル部との垂直方向における
相対的位置関係を検出する検出部と、ノズルの設定高さ
と計測して得た該ノズルの高さが一致するときの該検出
部による該ペースト収納筒部と該Ｚ軸テーブル部との該
垂直方向における相対的位置関係デ−タと該検出部の検
出結果を比較し該ペースト収納筒部が該Ｚ軸テーブル部
に対し所望の位置関係以上に該基板から離れると警告を
出す警告部とを備える。

【０００８】

【作用】ペーストカ−トリッジ交換後あるいは装填時
に、Ｚ軸テーブル部はノズルの設定高さになるように、
まず、位置決めをする。ここで、このノズルの設定高さ
とは、ノズルのペースト吐出口が基板の表面に接するか
しないかの状態での位置をいう。このＺ軸テーブル部の
位置決めの間に、ノズルのペースト吐出口と基板の表面
が接触される。このノズルのペースト吐出口が基板の表
面に接するのは、微調節器の可動部が基板側に引き下げ
られているためであり、この接触後、さらにＺ軸テーブ
ル部が基板側に近づくことにより、微調節器の可動部は
該ペースト収納筒部から離れた状態になる。微調節器の
可動部を伸ばして該ペースト収納筒部に当接させると、
ノズルのペースト吐出口は設定高さに一致し、この時点
で警告音が発せられる。

【０００９】このようにして、作業者は勘に頼らずにノ
ズルのペースト吐出口が設定高さに位置決めできる。警
告音発生では、ノズルの設定高さと計測して得たノズル
の高さが一致するときの検出部によるペースト収納筒部
とＺ軸テーブル部との垂直方向における相対的位置関係
デ−タを基準にしているので、ペーストカ−トリッジの
寸法公差や取付精度など誤差を生ずる要素が入り込む余
地はなく、その後に、描きたいペーストの塗布高さにな
るように、ペースト収納筒が装填されたＺ軸テーブル部
を基板から離れる方向に移動させ、あるいは、一旦待機
位置においてから、基板の表面側に近付けたとしても、
基板の表面とノズルのペースト吐出口との間の距離は、
規定された所望の値になる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。

【００１１】図１は本発明によるペースト塗布機の一実
施例の全体構成を概略的に示す斜視図であって、１はノ
ズル、２はペースト収納筒、３は距離センサ、４はＺ軸
テーブル部、５はＸ軸テーブル部、６はＹ軸テーブル
部、７は基板、８は基板吸着部、９は架台部、１０はＺ
軸テーブル支持部、１１はＺ軸モ−タ、１２はノズル支
持具、１３はＸ軸モータ、１４はＹ軸モータ、１５は制
御装置、１５ａはプレス開孔部、１６はデ−タ入力装
置、１７はモニタである。

【００１２】同図において、架台部９上にＸ軸テーブル
部５が固定され、このＸ軸テーブル部５上にＸ軸方向に
移動可能にＹ軸テーブル部６が搭載されている。さら
に、このＹ軸テーブル部６上にＹ軸方向に移動可能に基
板吸着部８が搭載され、この基板吸着部８上に基板７
が、例えば、その四辺が夫々ＸＹ両軸方向に平行になる
ように、吸着されて搭載される。

【００１３】これらＸ軸テーブル部５に設けられたＸ軸
モータ１３とＹ軸テーブル部６に設けられたＹ軸モータ
１４とは制御装置１５によって制御駆動され、Ｘ軸モー
タ１３が駆動されると、Ｙ軸テーブル部６がＸ軸テーブ
ル部５上をＸ軸方向に移動し、Ｙ軸モータ１４が駆動さ
れると、基板吸着部８がＹ軸テーブル部６上をＹ軸方向
に移動する。従って、制御装置１５によってこれらモー
タ１３，１４を夫々適宜駆動制御することにより、基板
７を架台部９に平行な面内で任意の方向，任意の位置に
移動させることができる。

【００１４】また、架台部９の上方にＺ軸テーブル支持
部１０が設置され、これにＺ軸テーブル部４が取り付け
られている。そして、このＺ軸テーブル部４には、ノズ
ル１とペースト収納筒２と光学式変位計である距離セン
サ３とがＺ軸方向（上下方向）に移動可能に設けられ、
ノズル１はノズル支持具１２でペースト収納筒２と結合
されてペーストカートリッジＰＣを形成しており、ノズ
ル１は距離センサ３の下側近傍に位置決めされている。

【００１５】Ｚ軸テーブル部４に設けられたＺ軸モータ
１１の制御駆動も制御装置１５によって行なわれる。Ｚ
軸モータ１１が制御駆動されると、このペーストカ−ト
リッジＰＣがＺ軸テーブル部４に沿ってＺ軸方向（上下
方向）に移動する。

【００１６】制御装置１５としては、一例としてマイク
ロコンピュ−タ（以下、マイコンという）が用いられ、
後述するように、キ−ボ−ドやタッチパネルなどのデー
タ入力装置１６から基板７の表面に描くペーストパター
ンの厚さや形状が規定されると、そのデ−タがマイコン
を構成するＲＡＭに格納される。マイコンはＲＡＭの他
に図１のペースト塗布機を動作させるプログラムを格納
したＲＯＭ、演算を行なうＣＰＵ、各種デ−タの入出力
を行なう入出力部などを備えている。モニタ１７では、
データ入力装置１６からのデータなどが表示される。

【００１７】なお、制御装置１５の筐体には、後述する
ように警告音を発生させるために、プレス開孔部１５ａ
が設けられている。

【００１８】図２は図１におけるＺ軸テーブル部４とペ
ーストカ−トリッジＰＣ、及びペーストカ−トリッジＰ
Ｃ交換時に用いるセンサの構成を拡大して示す図であっ
て、４ａは支持部材（Ｚ軸テーブル部４の一部）、１８
は固定部材、１９ａはスライド部、１９ｂは係合部、２
０は支持部材、２１は微調節器、２１ａは可動部、２２
は接触検出センサ、２２ａは発信部、２２ｂは受信部で
あり、図１に対応する部分には同一符号を付けている。

【００１９】図２において、支持部材４ａはＺ軸テーブ
ル部４（図１）の一部であって、Ｚ軸モータ１１の正逆
回転で上下に移動する。この支持部材４ａに距離センサ
３が固定されており、この距離センサ３の筐体に上下方
向に伸延するガイドとしての係合部１９ｂが取り付けら
れている。

【００２０】一方、ペーストカートリッジＰＣのペース
ト収納筒１２にはＬ字状の固定部材１８が取り付けられ
ており、この固定部材１８の上下に伸延した部分の係合
部１９ｂに対向した側にスライド部１９ａが設けられ、
このスライド部１９ａは係合部１９ｂにスライド可能に
係合される。また、このスライド部１９ａは、係合部１
９ｂに対して上方に移動させることにより、遂には、こ
の係合部１９ｂから外すことができるし、係合部１９ｂ
の上端からこのスライド部１９ａを係合部１９ｂに嵌め
込み係合させることができる。ペーストカートリッジＰ
Ｃは、Ｌ字状の固定部材１８に、プラグイン式の固定法
などにより、ワンタッチで着脱可能なように支持（装
填）されており、これによってＺ軸テーブル部４に着脱
できることになる。

【００２１】さらに、距離センサ３の筐体には、ペース
トカートリッジＰＣ側に突出した支持部材２０が固定さ
れており、この支持部材２０の先端部に微調節器２１が
設けられている。この微調節器２１は、例えば、マイク
ロメータであって、上部に突出してその長さを変えるこ
とができる可動部２１ａを有しており、この可動部２１
ａの上端は、上記のようにしてＺ軸テーブル部４に取り
付けられたペーストカートリッジＰＣでの固定部材１８
の下面に対向するように位置付けられている。

【００２２】そこで、ペーストカートリッジＰＣを固定
部材１８を介してＺ軸テーブル４に取り付けると、ペー
ストカートリッジＰＣは、固定部材１８の下面が微調節
器２１の可動部２１ａの先端部に当接しているので、ペ
ーストカートリッジＰＣが支持部材２０によって下方か
ら支持されることになる。

【００２３】かかる状態において、Ｚ軸モータ１１の回
転によってＺ軸テーブル４が上下に移動すると、ペース
トカートリッジＰＣも上下に移動し、ノズル１のペース
ト吐出口と基板７の表面との間の距離が変化する。ま
た、Ｚ軸テーブル４が停止した状態にあっても、微調節
器２１を操作してその可動部２１ａの長さを変化させる
ことにより、ペーストカートリッジＰＣのみを上下に移
動させることができ、これにより、ノズル１のペースト
吐出口と基板７の表面との間の距離を調節することがで
きる。

【００２４】さらに、支持部材４ａの距離センサ３より
も上方の位置に接触検出センサ２２の受信部２２ｂが設
けられ、これに対向するようにして、ペーストカートリ
ッジＰＣの固定部材１８の上端部には、接触検出センサ
２２の発信部２２ａが設けられている。勿論、係合部１
９ｂに対するスライド部１９ａの移動により、これら発
信部２２ａと受信部２２ｂとの上下方向の相対位置関係
が変化する。この接触検出センサ２２としては、例え
ば、磁気的な方法で発信部２２ａと受信部２２ｂとの上
下方向の相対位置関係を検出し、その相対位置関係に変
化があれば、受信部２２ｂの出力電圧が急激に変化する
特性を備えたものが望ましい。

【００２５】以上のようにして、この実施例では、ペー
ストカートリッジＰＣのＺ軸テーブル４への着脱を簡単
な作業でもって行なうことができるし、ノズル１のペー
スト吐出口と基板７の表面との間の距離も、簡単な構成
の機構でもって調整することができる。

【００２６】図３は図１における距離センサ３の計測動
作の説明図である。

【００２７】同図において、距離センサ３は、ここでは
光学式変位計としており、発光部と受光部とを備えてい
る。発光部から計測点Ｓとしての基板７上でのノズルの
ペースト吐出口の下方の位置にレ−ザ光Ｌが照射され、
そこで反射されたレーザ光Ｌが受光部で受光される。そ
して、受光部での受光状態に応じて、計測点Ｓでのノズ
ル１のペースト吐出口と基板７の表面との間の距離が計
測される。但し、反射光で測定するために、測定が可能
な範囲というものがあり、この測定可能範囲を、以下、
測定範囲という。

【００２８】この場合、上記のように、距離センサ３の
下方にノズル１が位置付けられているので、このノズル
１やこれを支持するノズル支持具１２でレ−ザ光Ｌが遮
られないようにするために、レーザ光Ｌは発光部から斜
め下方に照射され、斜め上方に反射されたレーザ光Ｌが
受光部で受光されるようにしている。

【００２９】このようにして、距離センサ３は、基板７
の表面の計測点Ｓで基板７までの距離を常に計測してい
る。

【００３０】図１において、制御装置１５は、Ｘ軸モー
タ１３とＹ軸モータ１４とを制御駆動して基板７上にペ
ーストパターンを塗布描画しているときも、距離センサ
３の計測結果を監視しており、基板７の表面にうねりが
あるときには、距離センサ３の計測結果に基いてＺ軸テ
ーブル部４を上下移動させ、ノズル１のペースト吐出口
が基板７の表面に対して所望の距離に保たれるようにす
る。これにより、塗布されるペーストの厚さが、描画さ
れるペーストパターン全体にわたって、一様になる。

【００３１】図４は図１における制御装置１５でのＺ軸
テーブル部４の制御系及び警告部の一具体例を示すブロ
ックであって、１５ｂはマイコン、１５ｃはＺ軸モ−タ
コントロ−ラ、１５ｄはＺ軸モ−タドライバ、１５ｅは
Ａ／Ｄ変換器、１５ｆはスピ−カ、２３はエンコ−ダ、
２４，２５はアンプであり、図１に対応する部分には同
一符号を付けて重複する説明を省略する。

【００３２】図４において、制御装置１５はマイコン１
５ｂを主要部とし、Ｚ軸テーブル部４の制御系として、
Ｚ軸モータコントローラ１５ｃ及びモータドライバ１５
ｄを備え、警報部として、スピーカ１５ｆを備えてい
る。また、マイコン１５ｂには、データ入力装置１６か
らの入力データが供給されるとともに、距離センサ３の
計測出力が、アンプ２４で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器
１５ｅでディジタルデータに変換され、また、図２で説
明した接触検出センサ２２の受信部２２ｂの出力がアン
プ２５で増幅されて、夫々マイコン１５ｂに供給され
る。

【００３３】Ｚ軸モータコントローラ１５ｃは、マイコ
ン１５ｂからの指令に応じてＺ軸モータドライバ１５ｄ
を制御する。このＺ軸モータドライバ１５ｄによってＺ
軸テーブル部４が駆動され、その回転量がエンコーダ２
３によって検出される。エンコーダ２３の計測結果はＺ
軸モータドライバ１５ｄにフィードバックされ、これに
より、Ｚ軸テーブル４（図１）の位置のフィ−ドバック
制御が行なわれる。

【００３４】データ入力装置１６から入力されたノズル
１のペースト吐出口と基板７の表面との間の所望の距離
や、距離センサ３，受信部２２ｂの計測結果などを表わ
すデ−タは、マイコン１５ｂの図示していないＲＡＭに
格納される。また、マイコン１５ｂは、ペーストカ−ト
リッジＰＣの交換時、スピーカ１５ｆから警告音（ＢＥ
ＥＰ音）を発する。

【００３５】次に、ペーストカ−トリッジＰＣの交換な
どにより、図２で説明したようにして、新たなペースト
カートリッジＰＣを固定部材１８に装着したときの、マ
イコン１５ｂによるノズル１のペースト吐出口の位置校
正動作（即ち、ノズル１のペースト吐出口が基板７の表
面に触れるか触れないかの状態にあり、しかも、そのペ
ースト吐出口が距離センサ３の測定範囲内の特定の位置
にあるように設定する動作）を、図５〜図９により、説
明する。但し、以下では、ペーストカ−トリッジＰＣの
交換時について説明するが、ペースト塗布機を使用開始
するときなどの最初に装着されるペーストカートリッジ
ＰＣについても同様である。

【００３６】まず、図２を参照して、ペーストカ−トリ
ッジＰＣの交換時には、Ｚ軸テーブル部４は上方に移動
されており、かかる状態で、上記のように、新たなペー
ストカ−トリッジＰＣが固定部材１８に装填される。こ
の状態では、ペーストカ−トリッジＰＣが支持部材２０
で吊り下げられた状態にある。このとき、微調節器２１
の可動部２１ａは、その突出長が短くなるように、引き
下げられている。

【００３７】以上により、ノズル位置校正の準備が整っ
たことになり、次に、図５に示す手順に従ってノズル１
のペースト吐出口と基板７の表面との間の距離を所望に
設定するギャップ手動校正処理動作を開始する。

【００３８】まず、ノズル１の吐出口の位置を距離セン
サ３の測定範囲における特定位置に一致させるために、
この位置のデータがノズル位置設定高さＮＤとして先に
マイコン１５ｂのＲＯＭから読み出されて、マイコン１
５ｂのＲＡＭでの予め決められた所定の番地に格納され
る（ステップＳ１）。

【００３９】なお、微調節器２１の可動部２１ａの上記
引下げ動作は、このステップＳ１の処理後に行なっても
よい。図６はこの時点でのこの実施例の状態を示してい
る。

【００４０】次に、距離センサ３の計測結果ＬＤがノズ
ル位置設定高さＮＤと一致する時点での接触検出センサ
２２の計測結果を取り込み、これを距離センサ出力ＡＤ
１としてＲＡＭの予め決められた所定の番地に格納する
（ステップＳ２）。

【００４１】なお、このとき、微調節器２１の可動部２
１ａは引き下げられているので、図７に示すように、距
離センサ３の計測結果ＬＤがノズル位置設定高さＮＤと
等しくならないうちに、ノズル１は基板７の表面に接触
する。そして、距離センサ３の計測結果ＬＤがノズル位
置設定高さＮＤと一致し、図８に示すように、ノズル１
が基板７の表面に接触してからは、ペーストカートリッ
ジＰＣが停止してＺ軸テーブル４、従って、支持部材４
ａやそれに対して固定した関係にある部材のみが降下す
るので、微調節器２１の可動部２１ａはノズル支持具１
２に固定された固定部材１８の下面から離れている。但
し、この時点はＺ軸テーブル部４の位置決め完了を意味
している。

【００４２】上記ステップＳ２の処理が終わると、ギャ
ップ手動校正処理動作が終了したか否か判定され（ステ
ップＳ３）、この場合、この動作は終了していないの
で、Ｚ軸モータ１１を停止させたまま（即ち、Ｚ軸テー
ブル４を停止させたまま）微調節器２１の可動部２１ａ
を上昇させ、接触検出センサ２２の計測結果を距離セン
サ出力ＡＤ２として取り込む（ステップＳ４）。

【００４３】そして、この距離センサ出力ＡＤ２が先に
取り込んだ距離センサ出力ＡＤ１と等しいか否か判定す
る（ステップＳ５）。図８に示したように可動部２１ａ
の先端が固定部材１８に当接していないときには、この
可動部２１ａ以外のものは停止しているので、距離セン
サ出力ＡＤ２は距離センサ出力ＡＤ１に一致している
（ＡＤ１＝ＡＤ２）。距離センサ出力ＡＤ２，ＡＤ１の
間でこの状態が保たれている間可動部２１ａは上昇し続
け、ステップＳ３〜Ｓ５の一連の処理が繰り返される。

【００４４】その後、図９に示すように、微調節器２１
の可動部２１ａの先端が固定部材１８の下面に当接し、
可動部２１ａが固定部材１８を押し上げられてノズル１
のペースト吐出口は基板７の表面から離れ、接触検出セ
ンサ２２の距離センサ出力ＡＤ２が距離センサ出力ＡＤ
１より大きく（ＡＤ１＜ＡＤ２）なると（ステップＳ
５）、警告（ＢＥＥＰ）音発信処理（ステップＳ６）を
行なってスピ−カ３０（図４）からピ−というような警
告音を出して、微調節器２１の可動部２１ａの先端が固
定部材１８の下面に当接したことを作業者に知らしめ
る。

【００４５】そこで、作業者は、微調節器２１を操作す
ることにより、可動部２１ａを僅かに下げて警告音が出
るか出ないかする状態とする。これは、距離センサ出力
ＡＤ１＝ＡＤ２とすることであり、これは、ノズル１の
ペースト吐出口の位置が距離センサ３の測定範囲内にお
ける特定位置に一致したことや、ノズル１のペースト吐
出口が基板７の表面に触れるか触れないかのぎりぎりの
状態にあることを意味している。

【００４６】最後に、作業者がデータ入力装置１６から
校正終了のデ−タを入力することにより（ステップＳ
３）、一連のギャップ手動校正作業は終了する。

【００４７】以上のようにして、作業者は、勘に頼るこ
となく、警告音を聞くだけで簡単にノズル１の手動校正
作業を行なうことができる。従って、熟練者でなくて
も、良好なペーストパターンを得るべくペースト塗布機
を扱うことができる。

【００４８】即ち、手動校正作業後のペースト塗布描画
にあたっては、所望のペースト塗布高さＧＤになるよう
に、Ｚ軸テーブル部全体をＺ軸モータ１１でペースト塗
布高さＧＤ分だけ上昇させる。これにより、ペースト塗
布描画中では、距離センサ３の測定結果ＬＤが距離セン
サ３側から計測した場合の演算としてＬＤ＝ＮＤ＋ＧＤ
となるように、Ｚ軸テーブル部がフィードバック制御を
して塗布を継続していく。

【００４９】なお、ペースト塗布機が１枚あるいは複数
枚の基板７上にペーストパターンを塗布描画中に微調節
器２１の可動部２１ａが上下移動すると、所望のペース
トパターンを塗布描画することはできなくなるので、ギ
ャップ手動校正作業終了後に微調節器２１の可動部２１
ａが移動しないように、可動部２１ａを締め付けたり、
ロックしたりできる機構を設けておくとよい。

【００５０】１台のペースト塗布機に複数のペーストカ
−トリッジが設置されるものにあっては、各ペーストカ
−トリッジについて図２に示す機構を設けていると、個
別に個々のノズルを設定高さＮＤに一致させることがで
きる。

【００５１】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明はこの実施例のみに限定されるものではな
く、以下のような変更，変形などが可能である。

【００５２】１．接触検出センサ２２として磁気式変位
計を用いたが、精度良くノズル支持具１２の位置変化を
計測できるものなら如何なる手段でもよい。

【００５３】２．校正デ−タ設定時にノズル先端を接触
させる基板として、校正用のダミ−基板を用いたり、塗
布描画中であれば描画に差し障りのない位置にノズル先
端を接触させてもよいし、基板吸着部８に接触させても
よい。また、塗布描画前であれば未塗布の基板にノズル
先端を接触させてもよい。その場合、ペースト収納筒に
僅かな負圧を与え、ペーストが吐出されないように配慮
し、校正デ−タ設定後の塗布開始時点でペースト収納筒
に加圧して描画すればよい。

【００５４】３．塗布描画開始前の当初にデータ入力装
置１６で所望のペースト厚さのデータＧＤをマイコン１
５ｂのＲＡＭに格納しておいて、交換後にそのデータＧ
Ｄを読み出し、Ｚ軸テーブル部の上昇に用い、塗布時の
ノズル１と基板７との間隔を与えるようにしてもよい。
特に、１枚の基板７上に異なる高さのペーストを塗布す
る場合には、前もって格納しておいて、自動的に読み出
しては塗布するようにしておけば、自動化が図れる。ま
た、交換後に別の塗布高さＧＤとしたい場合には、図５
のステップＳ１の処理で新たに設定したい高さをデ−タ
入力装置１７から入力してもよい。

【００５５】４．図５の処理Ｓ５では、距離センサ出力
ＡＤ２が距離センサ出力ＡＤ１以上になることをもって
ＢＥＥＰ音が発生するようにしているが、接触検出セン
サ１３の構成機能の違いにより、距離センサ出力ＡＤ２
が距離センサ出力ＡＤ１以下になることをもってＢＥＥ
Ｐ音が発生されるものでもよい。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ペーストカ−トリッジを交換あるいは新たに装填してノ
ズルのペースト吐出口からペーストパターンが描かれる
基板表面までの距離が変化したとしても、その距離を容
易に校正することができ、所望のペーストパターンを描
画できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるペースト塗布機の一実施例の全体
構成を示す斜視図である。

【図２】図１におけるペーストカ−トリッジ部を拡大し
て示す側面図ある。

【図３】図１におけるペーストカ−トリッジ部での距離
センサの動作説明図ある。

【図４】図１における制御装置でのＺ軸テーブル部の制
御系及び警告部を示すブロック図である。

【図５】図４に示した制御装置のノズル位置校正動作を
示すフローチャートである。

【図６】図５におけるステップＳ１での図１に示した実
施例の状態を示す図である。

【図７】図５におけるステップＳ１からステップＳ２に
至るまでの図１に示した実施例の状態を示す図である。

【図８】図５におけるステップＳ２での図１に示した実
施例の状態を示す図である。

【図９】図５におけるステップＳ３〜Ｓ５を繰り返すと
きの図１に示した実施例の状態を示す図である。

【符号の説明】

１ ノズル ２ ペースト収納筒 ３ 光学式変位計 ４ Ｚ軸テーブル部 ４ａ 支持部材 ５ Ｘ軸テーブル部 ６ Ｙ軸テーブル部 ７ 基板 ８ 基板吸着部 ９ 架台部 １０ Ｚ軸テーブル支持部 １１ Ｚ軸モ−タ １２ ノズル支持具 １５ 制御装置 １５ｂ マイコン １５ｃ Ｚ軸モ−タコントロ−ラ １５ｄ Ｚ軸モ−タドライバ １５ｆ スピ−カ １６ デ−タ入力装置 １８ 固定部材 １９ａ スライド部 １９ｂ 係合部 ２０ 支持部材 ２１ 微調節器 ２１ａ 可動部 ２２ 接触検出センサ ２２ａ 発信部 ２２ｂ 受信部 ＰＣ ペーストカ−トリッジ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三階 春夫 茨城県竜ケ崎市向陽台５丁目２番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内 (72)発明者 米田 福男 茨城県竜ケ崎市向陽台５丁目２番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルのペースト吐出口に対向するよう
   に基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒部に充填
   したペーストを該ペースト吐出口から該基板上に吐出さ
   せながら、該ノズルと該基板との間の相対的な位置関係
   を変化させることにより、該基板上に所望のパターン形
   状にペーストを塗布描画するペースト塗布機において、 該ペースト収納筒部を該基板の垂直方向に移動可能に支
   持するＺ軸テーブル部と、 該ペースト収納筒部の一部に下方から当接する可動部を
   有し、該Ｚ軸テーブル部に固定された微調節部と、 該Ｚ軸テーブル部を該基板の表面に垂直方向に駆動する
   Ｚ軸駆動部と、 該ペースト収納筒部と該Ｚ軸テーブル部との垂直方向に
   おける相対的位置関係を検出する検出部と、 該検出部の検出結果に基づいて、該ペースト収納筒部が
   該Ｚ軸テーブル部に対して所望の位置関係以上に該基板
   から離れると、警告を出す警告部とを備えたことを特徴
   とするペースト塗布機。