JPH0937155A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH0937155A
JPH0937155A JP7201850A JP20185095A JPH0937155A JP H0937155 A JPH0937155 A JP H0937155A JP 7201850 A JP7201850 A JP 7201850A JP 20185095 A JP20185095 A JP 20185095A JP H0937155 A JPH0937155 A JP H0937155A
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    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
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    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • HELECTRICITY
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    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/63Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップサイズを増大させることなくバラツキ
が小さい基準黒レベルを出力させる固体撮像装置を提供
する。 【構成】 遮光されたCMD画素に接続された列ライン
3−K,3−(K+1),・・・3−(K+L)を、列
選択用スイッチトランジスタ4−K,4−(K+1),
・・・4−(K+L)に接続される直前において、接続
線13によって共通に接続し、更に列ライン3−Kは列選
択用スイッチトランジスタ4−Kを介して信号線6に接
続し、列ライン3−(K+1),3−(K+2),・・
・3−(K+L)はそれぞれ列選択用スイッチトランジ
スタ4−(K+1),4−(K+2),・・・4−(K
+L)を介して基準電位GNDに接地されたレファレン
ス・ライン7に共通に接続し、信号線6は電流ー電圧変
換プリアンプ12に接続して、固体撮像装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、CMD(Charge
Modulation Device)やSIT(Static Induction Tra
nsistor )のような増幅型固体撮像素子を画素として用
いた固体撮像装置に関し、特にバラツキの小さい基準黒
レベルを出力することの可能な上記固体撮像装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、固体撮像装置の出力信号における
基準黒レベルを求める方式としては、画素群の一部を遮
光膜で覆うなどの方法で遮光し、その遮光画素の出力信
号を基準黒レベルとする手法が一般的である。
【0003】この方式を、本件出願人が提案したCMD
撮像素子を用いた固体撮像装置に適用した場合の構成例
について説明する。なお、CMD撮像素子は、光照射に
より生成されゲート電極下に蓄積された電荷量によりソ
ース・ドレイン電流を変調する一種のフォトトランジス
タで、特開昭61−84059号公報や、1986年に
開催された International Electron Device Meeting
(IEDM)予稿集の第353 〜356 頁の“ A NEW MOS I
MAGESENSOR OPERATEING IN A NON-DESTRUCIVE READOUT
MODE”という題名の論文で、その内容が記述されてい
る。
【0004】次に、かかるCMD撮像素子を用いた従来
の固体撮像装置の構成例を、図7の回路構成図に基づい
て説明する。まず、各画素を構成するCMD1−11,1
−12,・・・1−MNをマトリクス状に配列し、その各ド
レインには共通にバイアスVD(>0)を印加する。前
記マトリクスの画素アレイ構成は水平N個×垂直M個
で、そのうち水平5個からN個までの画素は遮光されて
おり、1Aは遮光画素領域を示している。X方向に配列
されたCMD群のゲート端子は、行ライン2−1,2−
2,・・・2−Mにそれぞれ接続し、Y方向に配列され
たCMD群のソース端子は、列ライン3−1,3−2,
・・・3−Nにそれぞれ接続されている。上記列ライン
3−1,3−2,・・・3−Nは、それぞれ列選択用ス
イッチトランジスタ4−1,4−2,・・・4−N及び
反選択用スイッチトランジスタ5−1,5−2,・・・
5−Nを介して、信号線6及び基準電位GNDに接地さ
れたレファレンス・ライン7にそれぞれ共通に接続され
ている。信号線6は入力が仮想接地された電流−電圧変
換型のプリアンプ12に接続され、プリアンプ12の出力端
子9には負極性の映像信号が時系列に読み出されように
なっている。
【0005】また、行ライン2−1,2−2,・・・2
−Mは垂直走査回路10に接続して、それぞれ信号φG
1,φG2,・・・φGMを印加し、列選択用スイッチ
トランジスタ4−1,4−2,・・・4−N及び反選択
用スイッチトランジスタ5−1,5−2,・・・5−N
のゲート端子は、水平走査回路11に接続して、それぞれ
信号φS1,φS2,・・・φSN及び各々の反転信号
を印加する。なお、図示しないが各CMDは同一基板上
に形成され、その基板には基板電圧VSUBを印加する
ようになっている。
【0006】図8は、図7に示したCMD撮像素子を用
いた固体撮像装置の動作を説明するための信号波形図で
ある。垂直走査回路10の作動により、行ライン2−1,
2−2,・・・2−Mに印加される信号φG1,φG
2,・・・φGMは、読み出し電圧VRD、リセット電
圧VRST、オーバーフロー電圧VOF、及び蓄積電圧
VINTよりなり、非選択行においては映像信号の水平
有効期間中は蓄積電圧VINT、水平帰線期間中はオー
バーフロー電圧VOFとなり、選択行においては映像信
号の水平有効期間中は読み出し電圧VRD、水平帰線期
間中はリセット電圧VRSTとなる。なお、前記オーバ
ーフロー電圧VOFについては、特開昭61−1363
88号公報に、更に詳細に説明されている。
【0007】一方、水平走査回路11の作動により列選択
用スイッチトランジスタ4−1,4−2,・・・4−N
のゲート端子に印加される信号φS1,φS2,・・・
φSNは、列ライン3−1,3−2,・・・3−Nを選
択するための信号で、低レベルは列選択用スイッチトラ
ンジスタ4−1,4−2,・・・4−Nをオフ、反選択
用スイッチトランジスタ5−1,5−2,・・・5−N
をオン、高レベルは列選択用スイッチトランジスタ4−
1,4−2,・・・4−Nをオン、反選択用スイッチト
ランジスタ5−1,5−2,・・・5−Nをオフする電
圧値になるように設定され、選択行に読み出し電圧VR
Dが印加されている期間に、列選択用スイッチトランジ
スタ4−1,4−2,・・・4−Nを順次オンし、各C
MD画素の光信号を信号線6により順次読み出し、プリ
アンプ12で信号電流を電圧変換して出力するようになっ
ている。図9はプリアンプ12の出力端子9から出力され
る1行分のビデオ信号を表しており、受光画素の信号の
出力期間tI に引き続いて遮光画素の信号が出力期間t
B に読み出されることを示している。
【0008】なお、図7中φHST,φH1,φH2
は、水平走査回路11を駆動するためのスタート信号及び
クロック信号を示している。また、φVST,φV1,
φV2は、垂直走査回路10を駆動するためのスタート信
号及びクロック信号を示しており、V1,V2,V3
は、それぞれCMD画素のゲートに印加する読み出し電
圧VRD、リセット電圧VRST、オーバーフロー電圧
VOFを与える入力電圧を示している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図9に示し
たビデオ信号において、基準黒レベルを設定する一般的
な回路として、図10に等価的に示すようなクランプ回路
がある。このクランプ回路は、入出力間にコンデンサ21
を直列に挿入し、その出力端と基準電位GNDの間に、
抵抗22とスイッチ素子23とクランプ電源24を直列に接続
して構成した回路であり、前記スイッチ素子23を前記ビ
デオ信号の遮光画素信号出力期間tB 内にオン、受光画
素信号出力期間tI にオフさせることにより、遮光画素
信号出力の直流電圧レベルを前記クランプ電源24の電圧
値VCLにホールドするものである。また、このクラン
プ回路の遮光画素出力変化に対するレスポンスは、前記
コンデンサ21の容量値Cと前記抵抗22の抵抗値Rの直列
回路の時定数で決まる。
【0010】一方、図7に示す固体撮像装置から出力さ
れる遮光画素の信号には、暗電流やCMD撮像素子のト
ランジスタ特性のバラツキが含まれる。したがって、前
記クランプ回路によって基準黒レベルを設定するとき、
前記時定数を小さく設定すると、遮光画素出力信号のバ
ラツキの影響を受け、前記ビデオ信号をモニタに出力し
たとき、横筋が見えるという不具合が生じる。この不具
合を回避するためには、時定数を大きく設定すればよい
が、そのためには、クランプ期間を長くとる、即ち、水
平遮光画素数を多く設定する必要があり、チップサイズ
を増大させる原因となる。
【0011】本発明は、従来の固体撮像装置における上
記問題点を解消するためになされたもので、チップサイ
ズを増大させることなくバラツキが小さい基準黒レベル
を出力させる固体撮像装置を提供することを目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項1記載の発明は、半導体層の表面に該表面と
平行にソース・ドレイン電流が流れるようにソース領域
及びドレイン領域を形成すると共に、該ソース領域とド
レイン領域間の半導体層の表面に絶縁層を介してゲート
電極を設けて構成した電荷変調素子を画素とし、該画素
をマトリクス状に多数配列し、該配列した画素群の一部
の複数の列の画素を遮光した画素アレイと、該画素アレ
イの各画素をソース・ゲート選択方式により順次選択し
て画素信号を読み出す走査手段とを備えた固体撮像装置
において、前記遮光した画素に接続された複数の列ライ
ンを、該列ラインにそれぞれ接続される列選択用スイッ
チトランジスタの第1の主電極の直前で共通に接続し、
該列選択用スイッチトランジスタの第2の主電極は、1
個を除き出力信号の基準電位に接続し、前記除いた1個
の第2の主電極は信号出力線に接続し、且つ前記遮光し
た画素に接続された複数の列ラインにそれぞれ接続され
た列選択用スイッチトランジスタのすべての制御端子を
共通に接続し、該制御端子に遮光画素選択用列選択パル
スを印加することによって遮光画素の信号出力を得るよ
うに構成するものである。
【0013】次に、このように構成した固体撮像装置の
主要部の構成、及びその構成に基づいて得られる遮光画
素の信号出力について、図1に示す概略図を用いて説明
する。図1において、列ライン3−K,3−(K+
1),・・・3−(K+L)は遮光されたCMD撮像素
子で構成された画素の列ラインであり、列選択用スイッ
チトランジスタ4−K,4−(K+1),・・・4−
(K+L)に接続される直前において、接続線13によっ
て共通に接続されている。更に、列ライン3−Kについ
ては、列選択用スイッチトランジスタ4−Kを介して信
号線6に接続されており、他の列ライン3−K(K+
1),3−(K+2),・・・3−(K+L)は、それ
ぞれ列選択用スイッチトランジスタ4−K(K+1),
4−(K+2),・・・4−(K+L)を介して、基準
電位GNDに接地されたレファレンス・ライン7にそれ
ぞれ共通に接続されている。前記信号線6は従来例と同
様に、仮想接地された電流ー電圧変換プリアンプ12に接
続されている。
【0014】このように構成された固体撮像装置におい
て、列選択パルスφSKが高レベルとなり、列選択用ス
イッチトランジスタ4−K,4−(K+1),・・・4
−(K+L)がオンすると、選択された行の遮光画素の
信号電流は、列ライン3−K,3−(K+1),・・・
3−(K+L)を流れ、接続線13によってこれらは加算
される。この加算電流は列選択用スイッチトランジスタ
4−K,4−(K+1),・・・4−(K+L)を介し
て、信号ライン6及びレファレンス・ライン7に流れ
る。このとき、前記列ライン3−K,3−(K+1),
・・・3−(K+L)からみた出力インピーダンスは、
すべて同じであるから、信号線6には、列ライン3−
K,3−(K+1),・・・3−(K+L)に流れる遮
光画素の出力信号の和の1/(L+1)の電流が流れ
る。即ち、列選択パルスφSKが高レベルの期間、選択
行の遮光画素の平均信号電流を得ることができる。
【0015】以上説明したように、上記のように構成さ
れた固体撮像装置においては、1行に配設される遮光画
素の数によらず、その平均出力を選択期間に得ることが
できる。また、1行に配設される遮光画素の数は、平均
することによってそのバラツキをキャンセルできる程度
の数でよく、従来例のように、クランプ回路の時定数期
間に選択される画素数分必要としないことから、遮光画
素の数を削減することができ、ひいてはチップサイズを
縮小することが可能となる。
【0016】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の固体撮像装置において、前記遮光画素選択用列選択
パルスは、水平走査回路より受光画素選択用列選択パル
スと連続して出力され、該受光画素選択用列選択パルス
と同じパルス幅をもつように構成するものである。これ
により、基準黒レベルとなる遮光画素の信号読み出し期
間を1画素選択期間に短縮することができる。また、請
求項3記載の発明は、請求項1記載の固体撮像装置にお
いて、前記遮光画素選択用列選択パルスは、水平走査回
路より受光画素選択用列選択パルスと連続して出力さ
れ、前記遮光画素選択用列選択パルスの幅を任意の期間
に設定するための水平走査制御手段を設けるものであ
る。これにより、1行に構成される遮光画素の数によら
ず、基準黒レベルを設定する手段の要求に応じた期間だ
け遮光画素信号の平均レベルを出力することができる。
【0017】
【実施例】次に実施例について説明する。図2は、本発
明に係る固体撮像装置の第1実施例を示す回路構成図で
あり、図7に示した従来例と同じ構成要素には同一符号
を付して示している。この実施例においては、各画素を
構成するCMD1−11,1−12,・・・1−MNをマトリ
クス状に配列し、その各ドレインには共通にバイアスV
D(>0)を印加する。前記マトリクスの構成は水平N
個×垂直M個で、そのうち水平5個からN個までの画素
は遮光されている。X方向に配列されたCMD群のゲー
ト端子は、行ライン2−1,2−2,・・・2−Mにそ
れぞれ接続し、Y方向に配列されたCMD群のソース端
子は、列ライン3−1,3−2,・・・3−Nにそれぞ
れ接続する。上記列ライン3−1,3−2,・・・3−
Nのうち受光画素に接続されている3−1,3−2,・
・・3−4は、それぞれ列選択用スイッチトランジスタ
4−1,4−2,・・・4−4及び反選択用スイッチト
ランジスタ5−1,5−2,・・・5−4を介して、信
号線6及び基準電位GNDに接地されたレファレンス・
ライン7に、それぞれ共通に接続されている。
【0018】一方、上記列ライン3−1,3−2,・・
・3−Nのうち遮光画素に接続されている列ライン3−
5,3−6,・・・3−Nは、列選択用スイッチトラン
ジスタ4−5,4−6,・・・4−N及び反選択用スイ
ッチトランジスタ5−5,5−6,・・・5−Nに接続
される直前において、接続線13によって共通に接続さ
れ、更に列選択用スイッチトランジスタ4−5を介して
信号線6に接続され、また列選択用スイッチトランジス
タ4−6,・・・4−N及び反選択用スイッチトランジ
スタ5−5,5−6,・・・5−Nを介して、基準電位
GNDに接地されたレファレンス・ライン7に、共通に
接続されている。信号線6は入力が仮想接地された電流
ー電圧変換型のプリアンプ12に接続し、プリアンプ12の
出力端子9から負極性の映像信号を時系列に読み出すよ
う構成されている。
【0019】また、行ライン2−1,2−2,・・・2
−Mは垂直走査回路10に接続して、それぞれ信号φG
1,φG2,・・・φGMを印加し、列選択用スイッチ
トランジスタ4−1,4−2,・・・4−N及び反選択
用スイッチトランジスタ5−1,5−2,・・・5−N
のゲート端子のうち、受光画素に接続されている列ライ
ン3−1,3−2,・・・3−4に接続されている列選
択用スイッチトランジスタ4−1,4−2,・・・4−
4及び反選択用スイッチトランジスタ5−1,5−2,
・・・5−4は、水平走査回路11に接続して、それぞれ
信号φS1,φS2,・・・φS4及び各々の反転信号
を印加する。一方、遮光画素に接続されている列ライン
3−5,3−6,・・・3−Nに接続されている列選択
用スイッチトランジスタ4−5,4−6,・・・4−N
及び反選択用スイッチトランジスタ5−5,5−6,・
・・5−Nは、水平走査回路11に接続して、共通に信号
φS5及びその反転信号を印加する。なお、図示しない
が各CMDは同一基板上に形成され、その基板には基板
電圧VSUBを印加するように構成されている。
【0020】本実施例の固体撮像装置の動作を説明する
ための信号波形は、図8に示した従来例の信号波形と全
く同じであるので、図8に示した信号波形図を用いて、
本実施例の信号読み出し動作について説明する。行ライ
ンが選択され、列選択パルスφS1,φS2,・・・φ
S4が順次高レベルとなることにより、受光画素の信号
が読み出され、引き続いて列選択パルスφS5が高レベ
ルになると、列選択用スイッチトランジスタ4−5,4
−6,・・・4−Nがオンし、選択された行の遮光画素
の信号電流は列ライン3−5,3−6,・・・3−Nを
流れ、接続線13によってこれらは加算される。この加算
電流は、列選択用スイッチトランジスタ4−5,4−
6,・・・4−Nを介して、信号線6及びレファレンス
・ライン7に流れる。このとき、前記列ライン3−5,
3−6,・・・3−Nからみた出力インピーダンスは全
て同じであるから、信号線6には前記列ラインに流れる
遮光画素の出力信号の和の1/(n−4)の電流が流れ
る。即ち、列選択パルスφS5が高レベルの期間、選択
行の遮光画素の平均信号電流を得ることができる。図3
は以上説明したプリアンプ12の出力端子9から出力され
る1行分のビデオ信号を表している。
【0021】このように構成された固体撮像装置におい
ては、1行に配設される遮光画素の数によらず、基準黒
レベルとなる遮光画素の信号読み出し期間を1画素選択
期間に短縮することができる。即ち、基準黒レベルを設
定する手段として従来例で示したクランプ回路を用いた
とき、該クランプ回路の時定数を短く設定しても、遮光
画素信号のバラツキの影響は回避することができる。ま
た、1行に配設される遮光画素の数は、平均することに
よってそのバラツキをキャンセルできる程度の数だけで
よく、従来例のように、クランプ回路の時定数期間に選
択される画素数分必要としないので、遮光画素の数を削
減することができる。
【0022】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図4は第2実施例を示す回路構成図で、図2に示し
た第1実施例と同一の構成要素には同一の符号を付して
示し、その説明を省略する。第1実施例と相違する部分
は、水平走査回路11に印加するクロックパルスφH1,
φH2が、水平走査制御回路14を介して印加されるよう
に構成されている点である。本実施例の動作は、行ライ
ンが選択され、水平走査回路11が列選択パルスφS4を
出力するまでは、第1実施例と全く同じである。
【0023】次に、水平走査回路11が列選択パルスφS
5を出力する動作を、図5の信号波形図を用いて説明す
る。列選択パルスφS5が出力されると、前記水平走査
制御回路14は水平走査クロックパルスφH1の出力を停
止する。これによりこの間、列選択パルスφS5は高レ
ベルにホールドされ、前記水平走査制御回路14が水平走
査クロックパルスφH1の出力を再開させると、これに
同期して列選択パルスφS5は低レベルになる。即ち、
第1実施例と動作上で相違する点は、平均化された遮光
画素の信号が出力される期間が、水平走査制御回路14の
動作によって決まる点である。
【0024】このように構成された固体撮像装置におい
ては、1行に配設される遮光画素の数によらず、基準黒
レベルとなる遮光画素の信号読み出し期間を、水平走査
制御回路が設定する任意の時間に設定することができ
る。即ち、図6に示すように、基準黒レベルを設定する
手段の要求に応じた期間だけ、遮光画素信号の平均レベ
ルを出力することができる。
【0025】なお、本実施例においては、水平走査の制
御方法として水平走査クロックパルスφH1のみを制御
したものを示したが、水平走査クロックパルスφH2の
制御でもよく、また、両方を制御してもよいことは言う
までもない。
【0026】また上記2つの実施例においては、遮光画
素列は時間的に受光画素列が選択された後に選択される
位置に配置したものを示したが、受光画素列が選択され
る前に選択される位置に遮光画素列を配置しても、それ
ぞれの実施例の効果が変わることがないことは言うまで
もない。
【0027】
【発明の効果】以上実施例に基づいて説明したように、
請求項1記載の発明によれば、1行に配設される遮光画
素の数によらず、その平均出力を選択期間に得ることが
できる。また、1行に配設される遮光画素の数は、平均
することによってそのバラツキをキャンセルできる程度
の数だけでよく、従来例のように、クランプ回路の時定
数期間に選択される画素数分必要としないので、遮光画
素の数を削減することができ、ひいてはチップサイズを
縮小することができる。また、請求項2記載の発明によ
れば、基準黒レベルとなる遮光画素の信号読み出し期間
を1画素選択期間に短縮することができる。また、請求
項3記載の発明によれば、水平走査クロックパルスを制
御するための水平走査制御手段により、1行に構成され
る遮光画素の数によらず、基準黒レベルを設定する手段
の要求に応じた期間だけ、遮光画素信号の平均レベルを
出力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る固体撮像装置を説明するための主
要部の構成を示す概略図である。
【図2】本発明の第1実施例を示す回路構成図である。
【図3】図2に示した第1実施例における1行分の出力
ビデオ信号を示す図である。
【図4】本発明の第2実施例を示す回路構成図である。
【図5】図4に示した第2実施例の動作を説明するため
の信号波形図である。
【図6】図4に示した第2実施例における1行分の出力
ビデオ信号を示す図である。
【図7】従来の固体撮像装置の構成例を示す回路構成図
である。
【図8】図7に示した従来の固体撮像装置の動作を説明
するための信号波形図である。
【図9】図7に示した従来の固体撮像装置における1行
分の出力ビデオ信号を示す図である。
【図10】基準黒レベルを設定するために用いるクランプ
回路の等価回路を示す図である。
【符号の説明】
1−11,1−12,・・・1−MN CMD画素 2−1,2−2,・・・2−M 行ライン 3−1,3−2,・・・3−N 列ライン 4−1,4−2,・・・4−N 列選択用スイッチトラ
ンジスタ 5−1,5−2,・・・5−N 反列選択用スイッチト
ランジスタ 6 信号線 7 レファレンス・ライン 9 出力端子 10 垂直走査回路 11 水平走査回路 12 プリアンプ 13 接続線 14 水平走査制御回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体層の表面に該表面と平行にソース
    ・ドレイン電流が流れるようにソース領域及びドレイン
    領域を形成すると共に、該ソース領域とドレイン領域間
    の半導体層の表面に絶縁層を介してゲート電極を設けて
    構成した電荷変調素子を画素とし、該画素をマトリクス
    状に多数配列し、該配列した画素群の一部の複数の列の
    画素を遮光した画素アレイと、該画素アレイの各画素を
    ソース・ゲート選択方式により順次選択して画素信号を
    読み出す走査手段とを備えた固体撮像装置において、前
    記遮光した画素に接続された複数の列ラインを、該列ラ
    インにそれぞれ接続される列選択用スイッチトランジス
    タの第1の主電極の直前で共通に接続し、該列選択用ス
    イッチトランジスタの第2の主電極は、1個を除き出力
    信号の基準電位に接続し、前記除いた1個の第2の主電
    極は信号出力線に接続し、且つ前記遮光した画素に接続
    された複数の列ラインにそれぞれ接続された列選択用ス
    イッチトランジスタのすべての制御端子を共通に接続
    し、該制御端子に遮光画素選択用列選択パルスを印加す
    ることによって遮光画素の信号出力を得るように構成し
    たことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記遮光画素選択用列選択パルスは、水
    平走査回路より受光画素選択用列選択パルスと連続して
    出力され、該受光画素選択用列選択パルスと同じパルス
    幅をもっていることを特徴とする請求項1記載の固体撮
    像装置。
  3. 【請求項3】 前記遮光画素選択用列選択パルスは、水
    平走査回路より受光画素選択用列選択パルスと連続して
    出力され、前記遮光画素選択用列選択パルスの幅を任意
    の期間に設定するための水平走査制御手段を備えている
    ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
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