JPH09331226A - 多電極型弾性表面波装置 - Google Patents
多電極型弾性表面波装置Info
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- JPH09331226A JPH09331226A JP15131996A JP15131996A JPH09331226A JP H09331226 A JPH09331226 A JP H09331226A JP 15131996 A JP15131996 A JP 15131996A JP 15131996 A JP15131996 A JP 15131996A JP H09331226 A JPH09331226 A JP H09331226A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 挿入損失が小さいだけでなく、通過帯域内に
おけるスパイク状リップルの大きさを効果的に低減する
ことができる多電極型弾性表面波装置を得る。 【解決手段】 表面波伝搬方向に複数のインターデジタ
ルトランスデューサ１５〜１９を配置してなり、複数の
ＩＤＴ１５〜１９が交互に入力用ＩＤＴ１５，１７，１
９と、出力用ＩＤＴ１６，１８とを有し、隣接するＩＤ
Ｔ間の隣接する電極指の中心間距離のうち少なくとも１
つが、他の隣接するＩＤＴ間の隣接電極指の中心間距離
と異ならされている多電極型弾性表面波装置１１。
おけるスパイク状リップルの大きさを効果的に低減する
ことができる多電極型弾性表面波装置を得る。 【解決手段】 表面波伝搬方向に複数のインターデジタ
ルトランスデューサ１５〜１９を配置してなり、複数の
ＩＤＴ１５〜１９が交互に入力用ＩＤＴ１５，１７，１
９と、出力用ＩＤＴ１６，１８とを有し、隣接するＩＤ
Ｔ間の隣接する電極指の中心間距離のうち少なくとも１
つが、他の隣接するＩＤＴ間の隣接電極指の中心間距離
と異ならされている多電極型弾性表面波装置１１。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のインターデ
ジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）を有する多電
極型弾性表面波装置に関し、より詳細には、表面波伝搬
方向に沿って入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴを交互に配
置してなる多電極型弾性表面波装置の改良に関する。
ジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）を有する多電
極型弾性表面波装置に関し、より詳細には、表面波伝搬
方向に沿って入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴを交互に配
置してなる多電極型弾性表面波装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、移動体通信用バンドパスフィル
タとして、小型でありかつ量産性に優れた弾性表面波装
置が用いられている。この種の用途に用いられる弾性表
面波装置では、挿入損失が小さいことが強く求められて
いる。
タとして、小型でありかつ量産性に優れた弾性表面波装
置が用いられている。この種の用途に用いられる弾性表
面波装置では、挿入損失が小さいことが強く求められて
いる。
【０００３】そこで、例えば特願平４−２２２８９５号
には、挿入損失を低減するために、３個以上のＩＤＴを
有する多電極型弾性表面波装置が提案されている。この
多電極型弾性表面波装置の構造を、図１を参照して説明
する。
には、挿入損失を低減するために、３個以上のＩＤＴを
有する多電極型弾性表面波装置が提案されている。この
多電極型弾性表面波装置の構造を、図１を参照して説明
する。
【０００４】図１は、上記多電極型弾性表面波装置の電
極構造を示す平面図である。圧電基板（図示せず）上
に、一対の反射器１ａ，１ｂが所定距離を隔てて形成さ
れている。反射器１ａ，１ｂ間には、複数のＩＤＴ２ａ
〜２ｄ，３ａ〜３ｃが配置されている。ＩＤＴ２ａ〜２
ｄは入力用ＩＤＴであり、ＩＤＴ３ａ〜３ｃは出力用Ｉ
ＩＤＴであり、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとは表面波
伝搬方向に沿って交互に配置されている。
極構造を示す平面図である。圧電基板（図示せず）上
に、一対の反射器１ａ，１ｂが所定距離を隔てて形成さ
れている。反射器１ａ，１ｂ間には、複数のＩＤＴ２ａ
〜２ｄ，３ａ〜３ｃが配置されている。ＩＤＴ２ａ〜２
ｄは入力用ＩＤＴであり、ＩＤＴ３ａ〜３ｃは出力用Ｉ
ＩＤＴであり、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとは表面波
伝搬方向に沿って交互に配置されている。
【０００５】また、各ＩＤＴ２ａ〜２ｄ，３ａ〜３ｃ
は、複数本の電極指を有し、各ＩＤＴ内における隣接す
る電極指間の中心間距離は、ほぼλ／２（λは表面波の
波長）とされている。また、反射器１ａ，１ｂも複数本
の電極指を有し、各反射器内における隣接する電極指間
の中心間距離はλ／２とされている。さらに、ＩＤＴ２
ａ〜２ｄ，３ａ〜３ｃにおいては、隣接するＩＤＴの隣
接電極指間の中心間距離がほぼλ／２とされており、全
て等しい。
は、複数本の電極指を有し、各ＩＤＴ内における隣接す
る電極指間の中心間距離は、ほぼλ／２（λは表面波の
波長）とされている。また、反射器１ａ，１ｂも複数本
の電極指を有し、各反射器内における隣接する電極指間
の中心間距離はλ／２とされている。さらに、ＩＤＴ２
ａ〜２ｄ，３ａ〜３ｃにおいては、隣接するＩＤＴの隣
接電極指間の中心間距離がほぼλ／２とされており、全
て等しい。
【０００６】すなわち、図２に、ＩＤＴ２ａとＩＤＴ３
ａとの隣接し合っている部分を代表して示すように、Ｉ
ＤＴ２ａの電極指４とＩＤＴ３ａの電極指５とが隣接し
合っている。この電極指４と電極指５との中心間距離Ｘ
が、前述したように、ほぼλ／２とされている。同様
に、ＩＤＴ２ａ，３ａ内における隣接し合っている電極
指間の距離もほぼλ／２とされている。
ａとの隣接し合っている部分を代表して示すように、Ｉ
ＤＴ２ａの電極指４とＩＤＴ３ａの電極指５とが隣接し
合っている。この電極指４と電極指５との中心間距離Ｘ
が、前述したように、ほぼλ／２とされている。同様
に、ＩＤＴ２ａ，３ａ内における隣接し合っている電極
指間の距離もほぼλ／２とされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１に
示した電極構造を有する従来の多電極型弾性表面波装置
を用いた場合、減衰量周波数特性において、通過帯域内
に大きなスパイク状のリップルが生じるという問題があ
った。移動体通信用バンドパスフィルタでは、通過帯域
内における挿入損失が小さいこと、並びに通過帯域内に
おける減衰量特性が平坦であることが強く求められる
が、上記のようなスパイク状リップルが発生すると、通
過帯域内における減衰量特性の平坦性が大きく損なわれ
る。特に、伝搬損失が小さな圧電基板を用いれば用いる
程、Ｑが高くなり、より大きなスパイク状リップルが生
じがちであった。
示した電極構造を有する従来の多電極型弾性表面波装置
を用いた場合、減衰量周波数特性において、通過帯域内
に大きなスパイク状のリップルが生じるという問題があ
った。移動体通信用バンドパスフィルタでは、通過帯域
内における挿入損失が小さいこと、並びに通過帯域内に
おける減衰量特性が平坦であることが強く求められる
が、上記のようなスパイク状リップルが発生すると、通
過帯域内における減衰量特性の平坦性が大きく損なわれ
る。特に、伝搬損失が小さな圧電基板を用いれば用いる
程、Ｑが高くなり、より大きなスパイク状リップルが生
じがちであった。
【０００８】本発明の目的は、上述した従来の多電極型
弾性表面波装置の欠点を解消し、減衰量周波数特性にお
ける通過帯域内のスパイク状リップルを効果的に抑圧し
得る構成を備えた多電極型弾性表面波装置を提供するこ
とにある。
弾性表面波装置の欠点を解消し、減衰量周波数特性にお
ける通過帯域内のスパイク状リップルを効果的に抑圧し
得る構成を備えた多電極型弾性表面波装置を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願発明者は、従来の多
電極型弾性表面波装置において通過帯域内に大きなスパ
イク状リップルが生じる現象を鋭意検討した結果、多電
極型弾性表面波装置では、複数の表面波伝搬モードが存
在するが、各ＩＤＴにおける電極指の対数によっては、
通過帯域内のある周波数において各モードの表面波の位
相が強め合うことにより、スパイク状のリップルが生じ
ているのではないかと考えた。従って、通過帯域内にお
ける複数の伝搬モードの表面波の位相が相殺し合うよう
に構成すればよいのではないかと考え、本発明を成すに
至った。
電極型弾性表面波装置において通過帯域内に大きなスパ
イク状リップルが生じる現象を鋭意検討した結果、多電
極型弾性表面波装置では、複数の表面波伝搬モードが存
在するが、各ＩＤＴにおける電極指の対数によっては、
通過帯域内のある周波数において各モードの表面波の位
相が強め合うことにより、スパイク状のリップルが生じ
ているのではないかと考えた。従って、通過帯域内にお
ける複数の伝搬モードの表面波の位相が相殺し合うよう
に構成すればよいのではないかと考え、本発明を成すに
至った。
【００１０】すなわち、本発明に係る弾性表面波装置
は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された第１，第
２の反射器と、前記圧電基板上において第１，第２の反
射器間に形成された複数のＩＤＴとを備え、前記複数の
ＩＤＴは、表面波伝搬方向に沿って、交互に配置された
入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとを有し、かつ複数のＩＤ
Ｔにおいて、隣接するＩＤＴ間の隣接する電極指の中心
間距離のうち少なくとも１つの中心間距離が、他の中心
間距離と異ならされていることを特徴とする、多電極型
弾性表面波装置である。ここで、他の中心間距離とは、
隣接するＩＤＴ間の隣接する電極指の中心間距離のう
ち、残りの中心間距離をいうものとする。
は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された第１，第
２の反射器と、前記圧電基板上において第１，第２の反
射器間に形成された複数のＩＤＴとを備え、前記複数の
ＩＤＴは、表面波伝搬方向に沿って、交互に配置された
入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとを有し、かつ複数のＩＤ
Ｔにおいて、隣接するＩＤＴ間の隣接する電極指の中心
間距離のうち少なくとも１つの中心間距離が、他の中心
間距離と異ならされていることを特徴とする、多電極型
弾性表面波装置である。ここで、他の中心間距離とは、
隣接するＩＤＴ間の隣接する電極指の中心間距離のう
ち、残りの中心間距離をいうものとする。
【００１１】本発明において、圧電基板としては、多電
極型弾性表面波装置に用いられている種々の圧電材料か
らなる基板を用いることができ、特に限定されるもので
はない。このような圧電基板の例としては、例えば、Ｌ
ｉＴａＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 などの圧電単結晶からなる基
板、あるいはチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
のような圧電セラミックスからなる基板を挙げることが
でき、さらに、Ａｌ2Ｏ3 などの絶縁性セラミックスや
合成樹脂などの絶縁性材料からなる絶縁性基板上に、Ｚ
ｎＯなどの圧電性材料からなる圧電薄膜を積層したもの
を用いることもできる。
極型弾性表面波装置に用いられている種々の圧電材料か
らなる基板を用いることができ、特に限定されるもので
はない。このような圧電基板の例としては、例えば、Ｌ
ｉＴａＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 などの圧電単結晶からなる基
板、あるいはチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
のような圧電セラミックスからなる基板を挙げることが
でき、さらに、Ａｌ2Ｏ3 などの絶縁性セラミックスや
合成樹脂などの絶縁性材料からなる絶縁性基板上に、Ｚ
ｎＯなどの圧電性材料からなる圧電薄膜を積層したもの
を用いることもできる。
【００１２】また、ＩＤＴや反射器を構成する金属材料
についても、従来より弾性表面波装置の電極材料として
用いられているＡｌなどを適宜用いることができ、特に
限定されるものではない。
についても、従来より弾性表面波装置の電極材料として
用いられているＡｌなどを適宜用いることができ、特に
限定されるものではない。
【００１３】また、本発明の特定的な局面では、上記圧
電基板として、（０，１，バー１，２）面α−Ａｌ2 Ｏ
3 基板と、該Ａｌ2 Ｏ3 基板に積層された（１，１，バ
ー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜とを有する圧電基板が用い
られる。
電基板として、（０，１，バー１，２）面α−Ａｌ2 Ｏ
3 基板と、該Ａｌ2 Ｏ3 基板に積層された（１，１，バ
ー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜とを有する圧電基板が用い
られる。
【００１４】また、本発明では、上述した隣接する電極
指間の中心間距離のうち少なくとも１つの中心間距離
は、通過帯域内に存在するスパイク状リップルの深さを
低減するように、他の中心間距離と異ならされている。
指間の中心間距離のうち少なくとも１つの中心間距離
は、通過帯域内に存在するスパイク状リップルの深さを
低減するように、他の中心間距離と異ならされている。
【００１５】より好ましくは、上記隣接する電極指間の
中心間距離のうち少なくとも１つの中心間距離は、通過
帯域内のスパイク状リップルの深さを５０％以上低減す
るように、他の中心間距離と異ならされており、それに
よって移動体通信用バンドパスフィルタとして好適な多
電極型弾性表面波装置が提供される。
中心間距離のうち少なくとも１つの中心間距離は、通過
帯域内のスパイク状リップルの深さを５０％以上低減す
るように、他の中心間距離と異ならされており、それに
よって移動体通信用バンドパスフィルタとして好適な多
電極型弾性表面波装置が提供される。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の多電極型弾性表面波装置につき説明する。図３（ａ）
及び（ｂ）は、本発明の多電極型弾性表面波装置の一例
を示す平面図及びその部分拡大平面図である。
の多電極型弾性表面波装置につき説明する。図３（ａ）
及び（ｂ）は、本発明の多電極型弾性表面波装置の一例
を示す平面図及びその部分拡大平面図である。
【００１７】図３（ａ）から明らかなように、多電極型
弾性表面波装置１１は、矩形の圧電基板１２を用いて構
成されている。図３（ａ）に示した多電極型弾性表面波
装置では、圧電基板１２は、３６°Ｙ回転Ｘ伝搬のＬｉ
ＴａＯ3 基板を用いて構成されている。
弾性表面波装置１１は、矩形の圧電基板１２を用いて構
成されている。図３（ａ）に示した多電極型弾性表面波
装置では、圧電基板１２は、３６°Ｙ回転Ｘ伝搬のＬｉ
ＴａＯ3 基板を用いて構成されている。
【００１８】圧電基板１２上には、第１，第２の反射器
１３，１４が所定距離を隔てて形成されている。反射器
１３，１４は、表面波伝搬方向に直交する複数本の電極
指を両端で連結した構造を有する。この複数本の電極指
の隣り合う電極指間の中心間距離は、表面波の波長をλ
としたときに、λ／２とされている。
１３，１４が所定距離を隔てて形成されている。反射器
１３，１４は、表面波伝搬方向に直交する複数本の電極
指を両端で連結した構造を有する。この複数本の電極指
の隣り合う電極指間の中心間距離は、表面波の波長をλ
としたときに、λ／２とされている。
【００１９】また、第１，第２の反射器１３，１４間に
は、表面波伝搬方向に沿って、複数のＩＤＴ１５〜１９
が形成されている。各ＩＤＴ１５〜１９は、１本以上の
電極指を有する一対のくし歯電極を、互いの電極指が間
挿し合うように配置した構造を有する。
は、表面波伝搬方向に沿って、複数のＩＤＴ１５〜１９
が形成されている。各ＩＤＴ１５〜１９は、１本以上の
電極指を有する一対のくし歯電極を、互いの電極指が間
挿し合うように配置した構造を有する。
【００２０】また、各ＩＤＴ内においては、隣接する電
極指間の中心間距離は、ほぼλ／２とされている。ＩＤ
Ｔ１５〜１９のうち、ＩＤＴ１５，１７，１９の一方の
くし歯電極が、それぞれ接続点２０を介して入力端子Ｉ
Ｎに電気的に接続されている。ＩＤＴ１５，１７，１９
の他方のくし歯電極はアース電位に接続されている。
極指間の中心間距離は、ほぼλ／２とされている。ＩＤ
Ｔ１５〜１９のうち、ＩＤＴ１５，１７，１９の一方の
くし歯電極が、それぞれ接続点２０を介して入力端子Ｉ
Ｎに電気的に接続されている。ＩＤＴ１５，１７，１９
の他方のくし歯電極はアース電位に接続されている。
【００２１】ＩＤＴ１６，１８の一方のくし歯電極は、
接続点２１を介して出力端ＯＵＴに接続されており、他
方のくし歯電極がアース電位に接続されている。従っ
て、ＩＤＴ１５，１７，１９が入力用ＩＤＴを構成して
おり、ＩＤＴ１６，１８が出力用ＩＤＴを構成してい
る。
接続点２１を介して出力端ＯＵＴに接続されており、他
方のくし歯電極がアース電位に接続されている。従っ
て、ＩＤＴ１５，１７，１９が入力用ＩＤＴを構成して
おり、ＩＤＴ１６，１８が出力用ＩＤＴを構成してい
る。
【００２２】図３（ａ）に示した多電極型弾性表面波装
置１１の特徴は、ＩＤＴ１５〜１９における隣接するＩ
ＤＴ間の隣接する電極指間中心間距離が一定ではないこ
とにある。すなわち、図３（ｂ）に示すように、ＩＤＴ
１５とＩＤＴ１６との隣接する電極指間の中心間距離ｘ
1 が、ＩＤＴ１５〜１９内における電極指の周期（≒
λ）をＬとしたときに、０．２１Ｌとされている。ま
た、ＩＤＴ１６，１７間における隣接する電極指間の中
心間距離ｘ2 は、０．２２Ｌ、ＩＤＴ１７とＩＤＴ１８
との隣接する電極指間の中心間距離ｘ3 は０．２２Ｌ、
ＩＤＴ１８，１９の隣接する電極指間の中心間距離ｘ4
は０．２１Ｌとされている。すなわち、中心間距離
ｘ1 ，ｘ4 が、他の中心間距離ｘ2 ，ｘ3 と異ならされ
ている。
置１１の特徴は、ＩＤＴ１５〜１９における隣接するＩ
ＤＴ間の隣接する電極指間中心間距離が一定ではないこ
とにある。すなわち、図３（ｂ）に示すように、ＩＤＴ
１５とＩＤＴ１６との隣接する電極指間の中心間距離ｘ
1 が、ＩＤＴ１５〜１９内における電極指の周期（≒
λ）をＬとしたときに、０．２１Ｌとされている。ま
た、ＩＤＴ１６，１７間における隣接する電極指間の中
心間距離ｘ2 は、０．２２Ｌ、ＩＤＴ１７とＩＤＴ１８
との隣接する電極指間の中心間距離ｘ3 は０．２２Ｌ、
ＩＤＴ１８，１９の隣接する電極指間の中心間距離ｘ4
は０．２１Ｌとされている。すなわち、中心間距離
ｘ1 ，ｘ4 が、他の中心間距離ｘ2 ，ｘ3 と異ならされ
ている。
【００２３】多電極型弾性表面波装置１１では、上記の
ように隣接するＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離ｘ
1 ，ｘ4 が、他の隣接電極指間の中心間距離ｘ2 ，ｘ3
と異ならされているため、後述の具体的な実験例から明
らかなように、通過帯域内におけるスパイク状リップル
が効果的に抑圧される。次に、上記多電極型弾性表面波
装置１１の具体的な実験例につき説明する。
ように隣接するＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離ｘ
1 ，ｘ4 が、他の隣接電極指間の中心間距離ｘ2 ，ｘ3
と異ならされているため、後述の具体的な実験例から明
らかなように、通過帯域内におけるスパイク状リップル
が効果的に抑圧される。次に、上記多電極型弾性表面波
装置１１の具体的な実験例につき説明する。
【００２４】第１の実験例 ＩＤＴ１５〜１９として、交差幅が６０μｍであり、各
ＩＤＴ１５〜１９における電極指の周期Ｌが２．７４μ
ｍであり、中心間距離ｘ1 〜ｘ4 が上記のように設定さ
れている多電極型弾性表面波装置１１を作製し、減衰量
周波数特性を測定した。結果を図４に示す。
ＩＤＴ１５〜１９における電極指の周期Ｌが２．７４μ
ｍであり、中心間距離ｘ1 〜ｘ4 が上記のように設定さ
れている多電極型弾性表面波装置１１を作製し、減衰量
周波数特性を測定した。結果を図４に示す。
【００２５】また、比較のために、隣接電極指間の中心
間距離ｘ1 〜ｘ4 を全て０．２１Ｌとしたことを除いて
は、上記と同様にして構成された多電極型弾性表面波装
置を作製し、減衰量周波数特性を測定した。この比較の
ために用意した多電極型弾性表面波装置の特性を図５に
示す。
間距離ｘ1 〜ｘ4 を全て０．２１Ｌとしたことを除いて
は、上記と同様にして構成された多電極型弾性表面波装
置を作製し、減衰量周波数特性を測定した。この比較の
ために用意した多電極型弾性表面波装置の特性を図５に
示す。
【００２６】なお、図４及び図５における実線Ｂ，Ｄ
は、それぞれ、実線Ａ，Ｃで示した特性の要部を縦軸の
減衰量について右側の拡大したスケールで表した特性で
ある。図５から明らかなように、比較のために用意した
多電極型弾性表面波装置では、通過帯域内の１５００Ｍ
Ｈｚ付近において矢印Ｅで示すスパイク状の大きなリッ
プルが存在しているのに対し、図４に示すように、本発
明の一実施例に係る多電極型弾性表面波装置では、通過
帯域内における上記スパイク状のリップルがほぼ消滅し
ていることがわかる。
は、それぞれ、実線Ａ，Ｃで示した特性の要部を縦軸の
減衰量について右側の拡大したスケールで表した特性で
ある。図５から明らかなように、比較のために用意した
多電極型弾性表面波装置では、通過帯域内の１５００Ｍ
Ｈｚ付近において矢印Ｅで示すスパイク状の大きなリッ
プルが存在しているのに対し、図４に示すように、本発
明の一実施例に係る多電極型弾性表面波装置では、通過
帯域内における上記スパイク状のリップルがほぼ消滅し
ていることがわかる。
【００２７】すなわち、中心間距離ｘ2 ，ｘ3 を他の中
心間距離ｘ1 ，ｘ4 と異ならせたことにより、通過帯域
内における複数の伝搬モードの表面波の位相が打ち消し
あっているためか、上記スパイク状リップルがほぼ抑圧
されている。
心間距離ｘ1 ，ｘ4 と異ならせたことにより、通過帯域
内における複数の伝搬モードの表面波の位相が打ち消し
あっているためか、上記スパイク状リップルがほぼ抑圧
されている。
【００２８】第２の実験例 図３（ａ）に示した多電極型弾性表面波装置１１におい
て、圧電基板１２として、表面波の伝搬損失が小さい
（１，１，バー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜／（０，１，
バー１，２）面α−Ａｌ2 Ｏ3 基板を用いたこと、並び
に入出力用ＩＤＴ１５〜１９における交差幅を２７０μ
ｍとしたこと、また電極指の同期Ｌが３．５１μｍを除
いては、第１の実験例と同様にして多電極型弾性表面波
装置を作製し、減衰量周波数特性を測定した。結果を図
６に示す。
て、圧電基板１２として、表面波の伝搬損失が小さい
（１，１，バー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜／（０，１，
バー１，２）面α−Ａｌ2 Ｏ3 基板を用いたこと、並び
に入出力用ＩＤＴ１５〜１９における交差幅を２７０μ
ｍとしたこと、また電極指の同期Ｌが３．５１μｍを除
いては、第１の実験例と同様にして多電極型弾性表面波
装置を作製し、減衰量周波数特性を測定した。結果を図
６に示す。
【００２９】また、比較のために、中心間距離ｘ1 〜ｘ
4 を全て０．２１Ｌとしたことを除いては、上記第２の
実験例の多電極型弾性表面波装置と同様に構成された多
電極型弾性表面波装置を作製し、減衰量周波数特性を測
定した。結果を図７に示す。
4 を全て０．２１Ｌとしたことを除いては、上記第２の
実験例の多電極型弾性表面波装置と同様に構成された多
電極型弾性表面波装置を作製し、減衰量周波数特性を測
定した。結果を図７に示す。
【００３０】なお、図６及び図７の実線Ｇ，Ｉは、それ
ぞれ、実線Ｆ，Ｈで示す特性の要部を、縦軸の減衰量に
ついて縦軸の右側に示した拡大スケールで示した特性を
示す。
ぞれ、実線Ｆ，Ｈで示す特性の要部を、縦軸の減衰量に
ついて縦軸の右側に示した拡大スケールで示した特性を
示す。
【００３１】図６及び図７の比較から明らかなように、
図７では、通過帯域内の１５００ＭＨｚ付近において、
矢印Ｊで示すようにスパイク状リップルが存在している
のに対し、図６に示す特性では、スパイク状のリップル
が完全には消滅していないが、かなり低減されているこ
とがわかる。
図７では、通過帯域内の１５００ＭＨｚ付近において、
矢印Ｊで示すようにスパイク状リップルが存在している
のに対し、図６に示す特性では、スパイク状のリップル
が完全には消滅していないが、かなり低減されているこ
とがわかる。
【００３２】第３の実験例 図８は、本発明の多電極型弾性表面波装置の他の例を説
明するための略図的平面図である。多電極型弾性表面波
装置３１では、３６°Ｙ回転Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ3 基板
により圧電基板３２が構成されている。圧電基板３２上
には、所定距離を隔てて第１，第２の反射器３３，３４
が形成されている。
明するための略図的平面図である。多電極型弾性表面波
装置３１では、３６°Ｙ回転Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ3 基板
により圧電基板３２が構成されている。圧電基板３２上
には、所定距離を隔てて第１，第２の反射器３３，３４
が形成されている。
【００３３】図８では略図的に示しているが、第１，第
２の反射器３３，３４は、それぞれ、表面波伝搬方向と
直交する方向に延びる１５０本の電極指の両端を連結し
た構造を有する。また、反射器３３，３４間には、ＩＤ
Ｔ３５〜３８が配置されている。ＩＤＴ３５〜３８は、
それぞれ、１本以上の電極指を有する一対のくし歯電極
を、互いの電極指が間挿し合うように配置した構造を有
する。
２の反射器３３，３４は、それぞれ、表面波伝搬方向と
直交する方向に延びる１５０本の電極指の両端を連結し
た構造を有する。また、反射器３３，３４間には、ＩＤ
Ｔ３５〜３８が配置されている。ＩＤＴ３５〜３８は、
それぞれ、１本以上の電極指を有する一対のくし歯電極
を、互いの電極指が間挿し合うように配置した構造を有
する。
【００３４】ＩＤＴ３５，３７が、接続点３９を介して
入力端ＩＮに接続されており、ＩＤＴ３５，３７の他方
のくし歯電極はアース電位に接続されている。従って、
ＩＤＴ３５，３７が入力用ＩＤＴを構成している。ＩＤ
Ｔ３６，３８の一方のくし歯電極は、接続点４０を介し
て出力端ＯＵＴに接続されており、各他方のくし歯電極
がアース電位に接続されている。従って、ＩＤＴ３６，
３８は、出力用ＩＤＴを構成している。
入力端ＩＮに接続されており、ＩＤＴ３５，３７の他方
のくし歯電極はアース電位に接続されている。従って、
ＩＤＴ３５，３７が入力用ＩＤＴを構成している。ＩＤ
Ｔ３６，３８の一方のくし歯電極は、接続点４０を介し
て出力端ＯＵＴに接続されており、各他方のくし歯電極
がアース電位に接続されている。従って、ＩＤＴ３６，
３８は、出力用ＩＤＴを構成している。
【００３５】入力ＩＤＴ３５，３７と、出力用ＩＤＴ３
６，３８は、表面波伝搬方向に沿って図示のように交互
に配置されている。この多電極型弾性表面波装置３１に
おいては、ＩＤＴ３５〜３８は、それぞれ、電極指の対
数が２５となるように、かつ電極指交差幅は、通過帯域
内インピーダンスが５０Ωとなるように決定されてい
る。
６，３８は、表面波伝搬方向に沿って図示のように交互
に配置されている。この多電極型弾性表面波装置３１に
おいては、ＩＤＴ３５〜３８は、それぞれ、電極指の対
数が２５となるように、かつ電極指交差幅は、通過帯域
内インピーダンスが５０Ωとなるように決定されてい
る。
【００３６】また、ＩＤＴ３５〜３８内における電極指
の周期（＝λ）、すなわち一方の電位に接続されるくし
歯電極の電極指の周期をＬとしたときに、ＩＤＴ３５，
３５の隣接する電極指間の中心間距離ｘ1 、ＩＤＴ３
６，３７間の隣接する電極指間の中心間距離ｘ2 及びＩ
ＤＴ３７，３８間の隣接する電極指間の中心間距離ｘ3
は、
の周期（＝λ）、すなわち一方の電位に接続されるくし
歯電極の電極指の周期をＬとしたときに、ＩＤＴ３５，
３５の隣接する電極指間の中心間距離ｘ1 、ＩＤＴ３
６，３７間の隣接する電極指間の中心間距離ｘ2 及びＩ
ＤＴ３７，３８間の隣接する電極指間の中心間距離ｘ3
は、
【００３７】
【数１】
【００３８】を満たす範囲に選ばれており、かつ中心間
距離ｘ1 〜ｘ3 が通過帯域内におけるスパイク状リップ
ルの深さｈを低減するように決定されている。これを、
具体的な実験例に基づきより詳細に説明する。
距離ｘ1 〜ｘ3 が通過帯域内におけるスパイク状リップ
ルの深さｈを低減するように決定されている。これを、
具体的な実験例に基づきより詳細に説明する。
【００３９】図９は、多電極型弾性表面波装置３１にお
ける通過帯域内に現れるスパイク状リップルの深さｈを
説明するための減衰量周波数特性を示す図である。図９
に示す実線Ｌは、実線Ｋで示した特性について、縦軸の
減衰量を縦軸の右側で示す拡大スケールに従って拡大し
た特性を示す。通過帯域内のスパイク状のリップルＭ
は、１５００ＭＨｚ付近に表れており、この場合、リッ
プルの深さｈとは、図示のようにリップルの高周波数側
における減衰量が最も小さい部分の減衰量からリップル
の谷部分における減衰量を減算した値の絶対値をいうも
のとする。
ける通過帯域内に現れるスパイク状リップルの深さｈを
説明するための減衰量周波数特性を示す図である。図９
に示す実線Ｌは、実線Ｋで示した特性について、縦軸の
減衰量を縦軸の右側で示す拡大スケールに従って拡大し
た特性を示す。通過帯域内のスパイク状のリップルＭ
は、１５００ＭＨｚ付近に表れており、この場合、リッ
プルの深さｈとは、図示のようにリップルの高周波数側
における減衰量が最も小さい部分の減衰量からリップル
の谷部分における減衰量を減算した値の絶対値をいうも
のとする。
【００４０】第３の実験例においては、多電極型弾性表
面波装置３１において、上述した中心間距離ｘ1 〜ｘ3
を、下記の表１に示すサンプル番号１〜１２に示すよう
に設定し、１２種類の多電極型弾性表面波装置を作製
し、それぞれの減衰量周波数特性を測定し、上記リップ
ルの深さｈを評価した。
面波装置３１において、上述した中心間距離ｘ1 〜ｘ3
を、下記の表１に示すサンプル番号１〜１２に示すよう
に設定し、１２種類の多電極型弾性表面波装置を作製
し、それぞれの減衰量周波数特性を測定し、上記リップ
ルの深さｈを評価した。
【００４１】表１から明らかなように、サンプル番号１
〜６では、少なくとも１つの中心間距離ｘ1 〜ｘ3 が、
残りの中心間距離と異ならされており、従って、本発明
の実施例に相当するものであり、サンプル番号７〜１２
は、中心間距離ｘ1 〜ｘ3 が全て同等とされており、従
って、比較例に相当するものである。
〜６では、少なくとも１つの中心間距離ｘ1 〜ｘ3 が、
残りの中心間距離と異ならされており、従って、本発明
の実施例に相当するものであり、サンプル番号７〜１２
は、中心間距離ｘ1 〜ｘ3 が全て同等とされており、従
って、比較例に相当するものである。
【００４２】図１０は、サンプル番号７における減衰量
周波数特性を示し、図１１は、サンプル番号１の多電極
型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す。また、図
１２は、サンプル番号１０の多電極型弾性表面波装置の
減衰量周波数特性を、図１３は、サンプル番号４の減衰
量周波数特性を示す。さらに、図１４は、サンプル番号
１２の多電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を、
図１５は、サンプル番号６の多電極型弾性表面波装置の
減衰量周波数特性を示す。
周波数特性を示し、図１１は、サンプル番号１の多電極
型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す。また、図
１２は、サンプル番号１０の多電極型弾性表面波装置の
減衰量周波数特性を、図１３は、サンプル番号４の減衰
量周波数特性を示す。さらに、図１４は、サンプル番号
１２の多電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を、
図１５は、サンプル番号６の多電極型弾性表面波装置の
減衰量周波数特性を示す。
【００４３】なお、図１０〜図１５において、それぞ
れ、下方に示されている実線は、上方に示されている実
線の要部を縦軸の減衰量について縦軸の右側に示した拡
大スケールに沿って拡大した特性を示す。
れ、下方に示されている実線は、上方に示されている実
線の要部を縦軸の減衰量について縦軸の右側に示した拡
大スケールに沿って拡大した特性を示す。
【００４４】
【表１】
【００４５】表１から明らかなように、本発明の実施例
に相当するサンプル番号１〜６の多電極型弾性表面波装
置では、通過帯域内リップルの深さｈは０．１３ｄＢ以
下と小さく、比較例に相当するサンプル番号７〜１２の
多電極型弾性表面波装置では、通過帯域内のスパイク状
のリップルの深さｈが０．３５ｄＢと大きいことがわか
る。また、サンプル番号１〜６の各多電極型弾性表面波
装置についての結果を、それぞれ、相当する比較例の多
電極型弾性表面波装置（サンプル番号７〜１２）と比較
した場合、表１から明らかなように、通過帯域内リップ
ルの深さｈを０．２２ｄＢ以上低減し得ることがわか
る。
に相当するサンプル番号１〜６の多電極型弾性表面波装
置では、通過帯域内リップルの深さｈは０．１３ｄＢ以
下と小さく、比較例に相当するサンプル番号７〜１２の
多電極型弾性表面波装置では、通過帯域内のスパイク状
のリップルの深さｈが０．３５ｄＢと大きいことがわか
る。また、サンプル番号１〜６の各多電極型弾性表面波
装置についての結果を、それぞれ、相当する比較例の多
電極型弾性表面波装置（サンプル番号７〜１２）と比較
した場合、表１から明らかなように、通過帯域内リップ
ルの深さｈを０．２２ｄＢ以上低減し得ることがわか
る。
【００４６】なお、本実験例では、中心間距離ｘ2 のみ
を変化させたが、ＩＤＴの個数やＩＤＴにおける電極指
の対数によっては、複数の中心間距離を異ならせてもよ
く、それによっても通過帯域内リップルの深さｈを効果
的に低減することができる。
を変化させたが、ＩＤＴの個数やＩＤＴにおける電極指
の対数によっては、複数の中心間距離を異ならせてもよ
く、それによっても通過帯域内リップルの深さｈを効果
的に低減することができる。
【００４７】第４の実験例 前述した第２の実験例で作製した多電極型弾性表面波装
置１１において、ＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離
ｘ1 〜ｘ4 を、下記の表２に示すように変化させて、サ
ンプル番号１３〜１８の多電極型弾性表面波装置を作製
し、減衰量周波数特性を測定し、第３の実験例の場合と
同様にして通過帯域内リップルの深さｈを評価した。結
果を下記の表２に併せて示す。
置１１において、ＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離
ｘ1 〜ｘ4 を、下記の表２に示すように変化させて、サ
ンプル番号１３〜１８の多電極型弾性表面波装置を作製
し、減衰量周波数特性を測定し、第３の実験例の場合と
同様にして通過帯域内リップルの深さｈを評価した。結
果を下記の表２に併せて示す。
【００４８】なお、表２のサンプル番号１３は、比較の
ために用意した多電極型弾性表面波装置であり、中心間
距離ｘ1 〜ｘ4 は、全て０．２１Ｌとされている。
ために用意した多電極型弾性表面波装置であり、中心間
距離ｘ1 〜ｘ4 は、全て０．２１Ｌとされている。
【００４９】
【表２】
【００５０】表２から明らかなように、サンプル番号１
３の多電極型弾性表面波装置の場合には、通過帯域内リ
ップルの深さｈが０．８２ｄＢであったのに対し、本発
明の実施例に相当するサンプル番号１４〜１８の多電極
型弾性表面波装置では、中心間距離ｘ1 〜ｘ4 の少なく
とも１つが異ならされているため、通過帯域内リップル
の深さｈが０．２８ｄＢ以下に低減されていることがわ
かる。
３の多電極型弾性表面波装置の場合には、通過帯域内リ
ップルの深さｈが０．８２ｄＢであったのに対し、本発
明の実施例に相当するサンプル番号１４〜１８の多電極
型弾性表面波装置では、中心間距離ｘ1 〜ｘ4 の少なく
とも１つが異ならされているため、通過帯域内リップル
の深さｈが０．２８ｄＢ以下に低減されていることがわ
かる。
【００５１】また、ここでは、中心間距離ｘ1 〜ｘ4 の
うち、複数の中心間距離を種々変化させているが、１つ
の中心間距離のみを変化させた場合にも、同様に通過帯
域内リップルの深さｈを低減することができる。
うち、複数の中心間距離を種々変化させているが、１つ
の中心間距離のみを変化させた場合にも、同様に通過帯
域内リップルの深さｈを低減することができる。
【００５２】
【発明の効果】以上のように、請求項１に記載の発明に
よれば、多電極型弾性表面波装置の複数のＩＤＴにおい
て、隣接するＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離のう
ち少なくとも１つの中心間距離が他の中心間距離と異な
らされているため、通過帯域内に表れていたスパイク状
のリップルを効果的に抑制することができ、それによっ
て通過帯域内の減衰量周波数特性の平坦性を高め得る。
従って、挿入損失が小さいだけでなく、通過帯域内の特
性が平坦な多電極型弾性表面波装置を提供し得るため、
本発明に係る多電極型弾性表面波装置は、例えば、移動
体通信用バンドパスフィルタなどに好適に用いることが
できる。
よれば、多電極型弾性表面波装置の複数のＩＤＴにおい
て、隣接するＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離のう
ち少なくとも１つの中心間距離が他の中心間距離と異な
らされているため、通過帯域内に表れていたスパイク状
のリップルを効果的に抑制することができ、それによっ
て通過帯域内の減衰量周波数特性の平坦性を高め得る。
従って、挿入損失が小さいだけでなく、通過帯域内の特
性が平坦な多電極型弾性表面波装置を提供し得るため、
本発明に係る多電極型弾性表面波装置は、例えば、移動
体通信用バンドパスフィルタなどに好適に用いることが
できる。
【００５３】請求項２に記載の発明では、圧電基板とし
て、（０，１，バー１，２）面α−Ａｌ2 Ｏ3 基板上に
（１，１，バー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜を積層してな
る基板を用いており、この基板では表面波の伝搬損失が
小さいため、共振のＱが高く、従って、スパイク状リッ
プルが通過帯域内に大きく表れ易いが、本発明を利用す
ることにより、スパイク状リップルを効果的に低減する
ことができる。
て、（０，１，バー１，２）面α−Ａｌ2 Ｏ3 基板上に
（１，１，バー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜を積層してな
る基板を用いており、この基板では表面波の伝搬損失が
小さいため、共振のＱが高く、従って、スパイク状リッ
プルが通過帯域内に大きく表れ易いが、本発明を利用す
ることにより、スパイク状リップルを効果的に低減する
ことができる。
【図１】従来の多電極型弾性表面波装置の電極構造を示
す平面図。
す平面図。
【図２】図１に示した多電極型弾性表面波装置における
隣接するＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離を説明す
るための部分切欠平面図。
隣接するＩＤＴ間の隣接電極指間の中心間距離を説明す
るための部分切欠平面図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の多電極型弾性表
面波装置の一例を示す模式的平面図及び部分拡大平面
図。
面波装置の一例を示す模式的平面図及び部分拡大平面
図。
【図４】図３に示した多電極型弾性表面波装置の減衰量
周波数特性を示す図。
周波数特性を示す図。
【図５】比較のために用意した多電極型弾性表面波装置
の減衰量周波数特性を示す図。
の減衰量周波数特性を示す図。
【図６】第２の実験例において用意された本発明に係る
多電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
多電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図７】第２の実験例で用意された比較のための多電極
型弾性表面波装置に減衰量周波数特性を示す図。
型弾性表面波装置に減衰量周波数特性を示す図。
【図８】本発明の多電極型弾性表面波装置の他の例を説
明するための模式的平面図。
明するための模式的平面図。
【図９】通過帯域内に表れるスパイク状リップルを説明
するための減衰量周波数特性を示す図。
するための減衰量周波数特性を示す図。
【図１０】第３の実験例におけるサンプル番号７の多電
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図１１】第３の実験例におけるサンプル番号１の多電
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図１２】第３の実験例におけるサンプル番号１０の多
電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図１３】第３の実験例におけるサンプル番号４の多電
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図１４】第３の実験例におけるサンプル番号１２の多
電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
電極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図１５】第３の実験例におけるサンプル番号６の多電
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
極型弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
１１…多電極型弾性表面波装置 １２…圧電基板 １３，１４…反射器 １５，１７，１９…入力用ＩＤＴ １６，１８…出力用ＩＤＴ ３１…多電極型弾性表面波装置 ３２…圧電基板 ３３，３４…反射器 ３５，３７…入力用ＩＤＴ ３６，３８…出力用ＩＤＴ
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成された第１，第２の反射器と、 前記圧電基板上において第１，第２の反射器間に形成さ
れた複数のインターデジタルトランスデューサとを備
え、 前記複数のインターデジタルトランスデューサは、表面
波伝搬方向に沿って、交互に配置された入力用インター
デジタルトランスデューサと出力用インターデジタルト
ランスデューサとを有し、かつ複数のインターデジタル
トランスデューサにおいて、隣接するインターデジタル
トランスデューサ間の隣接する電極指間の中心間距離の
うち少なくとも１つの中心間距離が、他の中心間距離と
異ならされていることを特徴とする、多電極型弾性表面
波装置。 - 【請求項２】 前記圧電基板が、（０，１，バー１，
２）面α−Ａｌ2 Ｏ3基板と、該Ａｌ2 Ｏ3 基板に積層
された（１，１，バー２，０）面ＺｎＯ圧電薄膜とを有
することを特徴とする、請求項１に記載の多電極型弾性
表面波装置。 - 【請求項３】 前記隣接する電極指間の中心間距離のう
ち少なくとも１つの中心間距離は、帯域内に存在するス
パイク状リップルの深さを低減するように、他の中心間
距離と異ならされている、請求項１に記載の多電極型弾
性表面波装置。 - 【請求項４】 前記隣接する電極指間の中心間距離のう
ち少なくとも１つの中心間距離は、帯域内のスパイク状
リップルの深さを５０％以上低減するように、他の中心
間距離と異ならされていることを特徴とする、請求項１
に記載の多電極型弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15131996A JPH09331226A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 多電極型弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15131996A JPH09331226A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 多電極型弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09331226A true JPH09331226A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15516041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15131996A Pending JPH09331226A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 多電極型弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09331226A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023190654A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP15131996A patent/JPH09331226A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023190654A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040302 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040413 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040803 |