JPH09323238A - 超精密スピンドル装置およびその制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スピンドル振れ量を予め計測しておき、また
はリアルタイムで計測することにより、スピンドルの振
れ量を打ち消すだけの移動量を外部アクチュエータから
スピンドルに与えることにより、振れの小さい超精密ス
ピンドルを実現することにある。 【解決手段】 前部ラジアルアクチュエータ５ｂ、５
ｄ、後部ラジアルアクチュエータ６ｂ、６ｄが作動する
ことによりスピンドル１１は、ハウジング１０に対して
Ｙ方向に移動する。スピンドル１１のスラスト変位を検
知するスラスト変位検知センサ２１をハウジング１０に
固定すると共に、後部リング１７端部とハウジング１１
をスピンドル軸方向にスラストアクチュエータ１８を内
蔵した後部支持部材１９で連結している。このラジアル
アクチュエータ５、６とスラストアクチュエータ１８は
ピエゾ素子で作動するように構成している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスピンドルの軸振れ
の補正のできる超精密スピンドルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来軸振れの小さいスピンドルを実現す
る手段として、静圧空気軸受が利用されていた。この方
式は、回転軸とこれを支持するハウジング間にわずかの
間隔を設け、この間に高圧の空気を存在させることによ
り、高速で振れの少ない回転軸が得られていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術によれば以下
に述べる技術的課題があった。

【０００４】しかしこの静圧空気軸受方式は、構成す
る機構部品の製作精度が非常に高いこと、構成する機
構部品の経年変化を防止するために硬質の難削材を使用
していること、空圧機器の使用。軸の外力による弾
性変形量が大きい等の問題があった。の問題は高
技能者、高級技術者による製造になる為、高価になると
同時に短納期化、量産化には不向きである欠点があっ
た。は軸に外力があまりかからない様な応用用途に限
定せざるを得ない欠点があった。

【０００５】本発明は、上記従来の技術に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところはスピンドル振れ量を
予め計測しておき、またはリアルタイムで計測すること
により、スピンドルの振れ量を打ち消すだけの移動量を
外部アクチュエータからスピンドルに与えることによ
り、振れの小さい超精密スピンドルを実現することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の超精密スピンドル装置および制御装置は下
記の手段を有する。

【０００７】本発明の方式はスピンドルの支持に一般の
ベアリングを使用し高弾性変形の構成とした。

【０００８】従って、ベアリングでは振れが静圧受方式
より発生するが、振れ量を予め計測しておき、またはリ
アルタイムで計測することにより、スピンドルの振れ量
を打ち消すだけの移動量を外部アクチュエータからスピ
ンドルに与えることにより、振れの小さい超精密スピン
ドルを実現するものである。スピンドルの振れがない状
態とは、ハウジングとスピンドルの間にラジアル、アキ
シャル方向に相対的な位置変化がないことを意味する。

【０００９】本発明の超精密スピンドル装置はハウジン
グの前部と後部にそれぞれ軸受を介して回転自在にスピ
ンドルを支持したスピンドル装置において、前記前部と
後部の軸受を前部軸受部材と後部軸受部材で支持し、前
記ハウジングの前部と後部にはそれぞれ前記スピンドル
の振れを検知するラジアル変位検知センサを固定すると
共に、前記ハウジングと前部軸受部材と後部軸受部材を
それぞれ前記スピンドルの回転角度に対応する振れを補
正するラジアルアクチュエータを内蔵した前部支持部材
と後部支持部材でそれぞれ連結し、前記後部支持部材に
後部軸受リングを固定し、スピンドルのスラスト変位を
検知するスラスト変位検知センサを前記ハウジングに固
定すると共に、前記後部リング端部と前記ハウジングを
前記スピンドル軸方向にスラストアクチュエータを内蔵
した前記後部支持部材で連結し、前記スピンドルの回転
角度を計測する角度センサを設け、前記スピンドルの回
転角度に対応した前記ラジアル変位検知センサと前記ス
ラスト変位検知センサの信号に基づいて、前記ラジアル
アクチュエータと前記スラストアクチュエータを作動し
て、前記スピンドルの振れが最小となるように制御する
制御装置からなる。

【００１０】さらに、前部支持部材と後部支持部材に平
行にそれぞれ前記ハウジングと前部軸受部材と後部軸受
部材を支持する弾性部材を設けてもよい。

【００１１】さらに、スピンドルの駆動装置はロータを
スピンドル中央部に固定し、ロータの同心円上の外周の
ハウジング内面にステータを固定したブラシュレスのビ
ルトインモータとした。

【００１２】さらに、スピンドルの駆動装置はスピンド
ルの後端部をカップリングを介して連結した外付モータ
とした。

【００１３】本発明の超精密スピンドル装置の制御装置
は前回の前記ラジアル変位検知センサと前記スラスト変
位検知センサの変位に基づいて、前記スピンドルの垂直
面内での直行方向の回転角度ごとに微小補正変位を記憶
するメモリテ−ブルと、微小補正変位量を求める演算部
と、直行方向の回転角度微小補正変位を記憶するメモリ
テ−ブルとからなり、前記ラジアルアクチュエータと前
記スラストアクチュエータを作動して、前記スピンドル
の振れが最小となるように制御する。

【００１４】さらに、スピンドルの振れ検出用センサと
して静電容量型振れ検出用センサまたは、レ−ザ光線に
よる振れ検出用光学センサを用いたことを特徴とする。

【００１５】ラジアルアクチュエータとスラストアクチ
ュエータはピエゾ素子で作動するように構成し、ハウジ
ングはマシナブルセラミックスを用いた。

【００１６】ハウジング内の発熱を防止するため、スピ
ンドルにブレードを固定し、ハウジングに通気用の開口
部を設け、スピンドルの回転によりブレードを回転し、
ハウジング内の大気を外気を絶えず入替え、ハウジング
内の発熱を防止するように構成した。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の１形態につ
いて図面を基に説明する。

【００１８】［実施例１］図１はビルトインモータを内
蔵した超精密スピンドルの断面図である。

【００１９】ハウジング１０は、スピンドル１１を収納
する部品であり、このハウジング１０に設けられた取付
け穴を基準に他の部材をネジ締めされる。スピンドル１
１の前端側は工具Ｔを着脱可能に取り付けできる構造と
なっている。スピンドル１１はスピンドル１１の前部と
後部に嵌合した軸受１２、１３をリング状の前部軸受部
材１２と後部軸受部材１３で支持され、スピンドル１１
の前端部はスピンドル１１に設けられたねじに螺合する
ナット９により前部軸受部材１４のインナレ−スを押止
してアキシアル方向を規制している。

【００２０】図１のＸ１−Ｘ１断面を表す図２におい
て、前部軸受部材１４と後部軸受部材１５はハウジング
１０にそれぞれ直行方向に４箇所に、前部を前部ラジア
ルアクチュエータ５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を内蔵
した前部支持部材７（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）で、後
部を後部ラジアルアクチュエータ６（６ａ，６ｂ，６
ｃ，６ｄ）を内蔵した後部支持部材８（８ａ，８ｂ，８
ｃ，８ｄ）で支持され、前部ラジアルアクチュエータ５
と後部ラジアルアクチュエータ６の先端を前部軸受部材
１４と後部軸受部材１５に接触し、後端にメネジ７ｆを
設け、ハウジング１０にネジ２で連結している。

【００２１】図４は前部支持部材７と後部支持部材８の
側面図を示す。

【００２２】すなわち、スピンドル１１をＸ方向に微少
移動せしめるラジアルアクチュエータ５ａ，５ｃが伸縮
作動することによりスピンドル１１をハウジング１０に
対してＸ方向に移動する。前部ラジアルアクチュエータ
５ｂ、５ｄ、後部ラジアルアクチュエータ６ｂ、６ｄが
作動することによりスピンドル１１は、ハウジング１０
に対してＹ方向に移動する。なお、前部ラジアルアクチ
ュエータ５と後部ラジアルアクチュエータ６の先端を前
部軸受部材１４と後部軸受部材１５に接触させているの
は、スピンドル１１のスラスト方向の移動をかわすため
である。

【００２３】スピンドル１１のスラスト変位を検知する
スラスト変位検知センサ２１をハウジング１０に固定す
ると共に、後部リング１７端部とハウジング１１をスピ
ンドル軸方向にスラストアクチュエータ１８を内蔵した
後部支持部材１９で連結している。このラジアルアクチ
ュエータ５、６とスラストアクチュエータ１８はピエゾ
素子で作動するように構成している。スラスト変位検知
センサ２は後部リング１７端部を検知して、スラスト変
位を検知する。

【００２４】スピンドル１１中央には磁石で構成される
ロータ１６ａが固着され、ハウジング１０の内面に配設
されたステータ１６ｂとによって回転力が発生する、い
わゆるブラシュレスのビルトインモータ１６を形成して
いる。

【００２５】図３はＸ２−Ｘ２断面図であり、ハウジン
グ１０に配設された後部ラジアルセンサ２２（２２ａ，
２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ）を示す。後部ラジアルセンサ
２２ａ、２２ｃは、スピンドル１１のＸ方向の変位を検
出し、後部ラジアルセンサ２２ｂ、２２ｄは、スピンド
ル１のＹ方向の変位を検出する。

【００２６】スピンドル１１の回転角度を計測する角度
センサ２０は図１に示す光学式の回転スリット２０ａと
フォトセンサ２０ｂからなり、回転方向の基準位置が検
出されると、前部ラジアルセンサ２３、後部ラジアルセ
ンサ２２によりスピンドル１は基準位置から何度回転し
たところでどの様な偏心が発生しているかを実時間で認
識できる。

【００２７】スピンドル１１の角度センサ２０は後部ラ
ジアルセンサ２２ａ、２２ｃ、前部ラジアルセンサ２２
ｂ、２２ｄとも連動しており、スピンドル１１の前側に
おいて基準位置から何度回転したところでどのような偏
心が発生しているか実時間で認識できる。

【００２８】また、スラスト変位検知センサ２１はハウ
ジング１０に固定され、回転スリット１０フォトセンサ
２０により回転方向の基準位置が検出されるので、基準
位置と回転角度と振れ量の関係を認識することができ
る。

【００２９】この角度センサ２０としては他にレゾルバ
等を用いることができる。スピンドルの振れ検出用セン
サとしては、静電容量型振れ検出用センサまたは、レ−
ザ光線による振れ検出用光学センサ等を用いることがで
きる。

【００３０】なお、ハウジング内の発熱を防止するた
め、スピンドルにブレードを固定し、ハウジングに通気
用の開口部を設け、スピンドルの回転によりブレードを
回転し、ハウジング内の大気を外気を絶えず入替え、ハ
ウジング内の発熱を防止するように構成してもよい。

【００３１】本装置の作用について説明する。

【００３２】スピンドル１１はコイル１６ｂに通電され
ると回転を始める。同時に、フォトセンサ２０からスピ
ンドル１１の原点信号及び角度位置信号が得られる。ア
キシャルセンサ２１，後部ラジアルセンサ２２及び、前
部ラジアルセンサ２３からフォトセンサ２０の原点信号
及び角度位置信号に基づき、スピンドル１１が原点（図
示せず）からどれだけの量離れた角度位置にどれだけの
量の心振れが発生しているかを計測することができる。

【００３３】スピンドル１は、軸受１２、１３によって
支持されているが、この軸受１２、１３とスピンドル１
１の間に一般的にはラジアル、アキシャル方向共振れが
発生するが、図３の前部ラジアルセンサ２３，後部ラジ
アルセンサ２２によつて、この振れおよび変位は、スピ
ンドル１１と軸受１２、１３のアウタレ−スとの位置変
化として検出される。

【００３４】また、ハウジング１０と後部リング１７に
取り付けられた後部ラジアルセンサ２３、ハウジング１
０に配設されたアキシャルセンサ２１により、それぞれ
スピンドル１の軸受１２、１３によって生ずる後端側の
ラジアル、アキシャル方向の振れを検出することが可能
である。

【００３５】したがって、後述する制御装置と前部ラジ
アルアクチュエータ５、後部ラジアルアクチュエータ８
の作動により、最小のスピンドル１１の振れが達成され
る。

【００３６】同様に前端側の振れについてスピンドル１
１と軸受１２のラジアル方向の振れは、ハウジング１０
に配設された前部ラジアルセンサ２３によって検出され
る。また、スラスト方向のスピンドル１１の振れは、前
後同じであると判断できるのでアキシャルセンサ２１に
よって検出する。アキシャルアクチュエータ１８はアキ
シャルセンサ２１で検出したスピンドル１１のアキシャ
ル方向の軸振れを補正するべく作動する。

【００３７】これらの前端側，後端側の振れを補正する
べくラジアルアクチュエータ７、８、アキシャルアクチ
ュエータ１８により、ハウジング１０との相対ずれのな
い超精密スピンドル装置が実現出来る。

【００３８】次に、以上述べた超精密スピンドルの制御
装置の制御方法を記す。

【００３９】ここではＸ軸、Ｙ、Ｚ軸に関する、振れの
補正の原理について説明する。前部軸受部材１４と後部
軸受部材１５はハウジング１０に配設された前部ラジア
ルセンサ２３、後部ラジアルセンサ２２とアキシャルセ
ンサ２１によって検出し、スピンドル１１にそれぞれ直
行方向に４箇所に、前部を前部ラジアルアクチュエータ
５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を内蔵した前部支持部材
７（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）で、後部を後部ラジアル
アクチュエータ６（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ）を内蔵し
た後部支持部材８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）スラスト
アクチュエータ１８を内蔵した後部支持部材１９を同調
して補正するものである。

【００４０】振れの補正の原理は各軸それぞれ同じなの
で、Ｘ軸、Ｙ、Ｚ軸の一つのアクチュエータを代表して
以下、説明する。

【００４１】図５において計測／補正変位テーブルＸＡ
はラジアル変位検知センサ７からの計測データＸｄを記
憶するメモリテーブルである。指令変位テーブル３１は
予め計測されたスピンドルの偏心量に基づきこれを打ち
消すための変位データが書き込まれた固定のメモリテー
ブルである。

【００４２】まず、仮想のスピンドル１の振れ零の位置
に基づいて、回転数のカウンタに基きラジアル変位検知
センサ２２からの偏心データＸａを変位テーブルＸＡに
書込むと同時に、変位テーブルＸＢからθに基づき前回
書込まれた偏心デ一タＸｂを読み出し、切替スイッチ３
０を通して指令変位テーブルＸＰからの指令変位Ｘ１と
の差（Ｘ１−Ｘ）でラジアルアクチュエータに内蔵され
たピエゾ素子を駆動する。これにより前回計測された変
位データに基づき常にこれを打ち消すようスピンドル１
が駆動制御される。変位テーブルＸＡ，ＸＢは切り替え
スイッチにより毎回計測と補正を交互に繰り返すため常
に最新の計測データにより熱変位およびメカの経年変化
による誤差も含めて補正制御されるため超精密スピンド
ルが可能となる。スピンドルの原点位置合せは原点セン
サによるカウンタリセットで実行される。

【００４３】同様に、ラジアル変位検知センサ２２ｄか
らの偏心データＹａを変位テーブルＹＡに書込むと同時
に、変位テーブルＹＢからθに基づき前回書込まれた偏
心デ一タＸｂを読み出し、切替スイッチ５１を通して指
令変位テーブルＹＰからの指令変位Ｙ１との差（Ｙ１−
Ｙ）でラジアルアクチュエータに内蔵されたピエゾ素子
を駆動する。これにより前回計測された変位データに基
づき常にこれを打ち消すようスピンドル１が駆動制御さ
れる。変位テーブルＹＡ，ＹＢは切り替えスイッチによ
り毎回計測と補正を交互に繰り返すため常に最新の計測
データによりメカの経年変化による誤差も含めて補正制
御されるため超精密スピンドルが可能となる。スピンド
ルの原点位置合せは原点センサによるカウンタリセット
で実行される。

【００４４】さらに、スラスト変位検知センサ２１から
の偏心データＺａを変位テーブルＣに書込むと同時に、
変位テーブルＢからθに基づき前回書込まれた偏心デ一
タＺを読み出し、切替スイッチ５２を通して指令変位テ
ーブル２０ｃからの指令変位Ｚ１との差（Ｚ１−Ｚ）で
スラストアクチュエータに内蔵されたピエゾ素子を駆動
する。これにより前回計測された変位データに基づき常
にこれを打ち消すようスピンドル１が駆動制御される。
変位テーブルＸＡ、ＸＢ、とＹＡ、ＹＢ、とＺＡ、ＺＢ
は切り替えスイッチ５０、５１、５２により毎回計測と
補正を交互に繰り返すため常に最新の計測データにより
メカの経年変化、熱変位などによる誤差も含めて補正制
御されるため超精密スピンドルが可能となる。スピンド
ルの原点位置合せは原点センサによるカウンタリセット
で実行される。

【００４５】従って、スピンドル１１のＸ，Ｙ、Ｚ方向
に配備されたラジアルアクチュエータ７、８、アキシャ
ルアクチュエータ１９がＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に伸縮
作動することにより、ハウジング１０に対するスピンド
ル１１の変位を防止することが可能となる。

【００４６】［第二実施例］本実施例の超精密スピンド
ルは第一実施例と基本的な構造は同一であるため、同一
部品には同一番号を付与し、重複する説明は避けて違い
のみを説明することにする。

【００４７】図５に示すスピンドルの駆動装置はスピン
ドル１１の後端部をカップリング３５を介して連結した
外付モータ３６としたものである。超精密スピンドルの
回転力は外付モータ３６により与えられ、カップリング
３５を介してスピンドル１１に装着された工具Ｔを駆動
する。この様に、市販のスピンドルと連結することで超
精密スピンドルの回転が得られる。

【００４８】スピンドル１１は前部を前部ラジアルアク
チュエータ５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を内蔵した前
部支持部材７（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）で、後部を後
部ラジアルアクチュエータ６（６ａ，６ｂ，６ｃ，６
ｄ）を内蔵した後部支持部材８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８
ｄ）で支持され、前部ラジアルアクチュエータ５と後部
ラジアルアクチュエータ６の先端を前部軸受部材１４と
後部軸受部材１５に、後端をハウジング１０にネジで連
結している。前部支持部材７と部支持部材８は図４に示
すように、ラジジアル、アキシャル方向には変形可能な
ユニバーサルスプリング４０で構成され、軸４０ａに直
交して複数のスリット溝４０ｂを切り込み、先端に前部
ラジアルアクチュエータ５または後部ラジアルアクチュ
エータ６を内蔵し、その先部にネジ部４０ｃを後部にネ
ジ部４０ｄを形成している。

【００４９】ここに選定したユニバーサルスプリング４
０はピエゾ素子のヒステリシス特性を補うもので、ピエ
ゾ素子の電圧をＯＦＦしたときの戻り誤差を補うための
ものである。ユニバーサルスプリング４０のラジアル方
向へのスプリング力は、ラジアルアクチュエータ５、６
の変位に対するラジアル方向への復元力として作動す
る。また、アキシャル方向のスプリング力はアキシャル
アクチュエータ１８の変位に対する復元力として作用す
る。

【００５０】ユニバーサルスプリング４０の持性は、ラ
ジアル方向にもアキシャル方向にも変形する持性を持つ
ならば特に上記手段に限定するものではない。ユニバー
サルスプリング７ａ、７ｂの他の手段としてコイルばね
を用いて、コイルばねがラジアル方向にも変形自在にな
ることにより目的は達成できる。

【００５１】さらに図５に示すように、前部支持部材７
ａと後部支持部材７ｂの隣には補助の支持手段を用い
て、ユニバーサルスプリング４０に対して補助支持手段
を設けることにより、前部軸受部材１４と後部軸受部材
１５をより安定した位置に保持することができる。

【００５２】すなわち、前部支持部材７ａと後部支持部
材７ｂに平行にそれぞれハウジング１０と前部軸受部材
１４と後部軸受部材１５を支持する弾性部材４１を設け
る。

【００５３】補助の支持手段は弾性部材４１として、ウ
レタンゴムやウレタンゴム等プラスチック材料を使用す
ることにより本発明の意図とする形状持性、すなわちラ
ジアル方向及びアキシャル方向に変形し、変位を吸収す
ることができる。この時の材料持性は、使用材料の厚み
等を適切に管理することにより得られる。

【００５４】

【発明の効果】本発明に従えば軸芯の振れを常に補正し
回転するため、実質的に軸振れのない超精密スピンドル
が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ビルトインモータを内蔵した超精密スピンドル
の断面図である。

【図２】図１のＸ１−Ｘ１断面を表す。

【図３】図１のＸ２−Ｘ２断面を表す。

【図４】前部支持部材、後部支持部材を示す側面図を示
す。

【図５】超精密スピンドルの制御装置のブロック図を示
す。

【図６】超精密スピンドルの他の態様を示す第二実施例
の断面図である。

【図７】第二実施例の前部支持部材、後部支持部材を示
す側面図を示す。

【符号の説明】

５ 前部ラジアルアクチュエータ ６ 後部ラジアルアクチュエータ ７ 前部支持部材 ８ 後部支持部材 １０ ハウジング １１ スピンドル １２ 軸受 １３ 軸受 １４ 前部軸受部材 １５ 後部軸受部材 １６ ビルトインモータ １７ 後部リング ２０ 角度センサスラスト ２１ 前部変位検知センサ ２２ 後部ラジアルセンサ ２３ 前部ラジアルセンサ ３０ 切替スイッチ ３１ 指令変位テーブル ３２ 指令変位テーブル ＸＡ 計測／補正変位テーブル ＸＢ 計測／補正変位テーブル ＸＣ 計測／補正変位テーブル ３６ 外付モータ ４０ ユニバーサルスプリング ４１ 弾性部材

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングの前部と後部にそれぞれ軸受
   を介して回転自在にスピンドルを支持したスピンドル装
   置において、 前記前部と後部の軸受を前部軸受部材と後部軸受部材で
   支持し、 前記ハウジングの前部と後部にはそれぞれ前記スピンド
   ルの振れを検知するラジアル変位検知センサを固定する
   と共に、 前記ハウジングと前部軸受部材と後部軸受部材をそれぞ
   れ前記スピンドルの回転角度に対応する振れを補正する
   ラジアルアクチュエータを内蔵した前部支持部材と後部
   支持部材でそれぞれ連結し、 前記後部支持部材に後部軸受リングを固定し、 スピンドルのスラスト変位を検知するスラスト変位検知
   センサを前記ハウジングに固定すると共に、 前記後部リング端部と前記ハウジングを前記スピンドル
   軸方向にスラストアクチュエータを内蔵した前記後部支
   持部材で連結し、 前記スピンドルの回転角度を計測する角度センサを設
   け、 前記スピンドルの回転角度に対応した前記ラジアル変位
   検知センサと前記スラスト変位検知センサの信号に基づ
   いて、前記ラジアルアクチュエータと前記スラストアク
   チュエータを作動して、前記スピンドルの振れが最小と
   なるように制御する制御装置からなることを特徴とする
   超精密スピンドル装置。
2. 【請求項２】 前部支持部材と後部支持部材に平行にそ
   れぞれ前記ハウジングと前部軸受部材と後部軸受部材を
   支持する弾性部材を設けたことを特徴とする請求項１記
   載の超精密スピンドル装置の制御装置。
3. 【請求項３】 ロータをスピンドル中央部に固定し、ロ
   ータの同心円上の外周のハウジング内面にステータを固
   定して、ブラシュレスのビルトインモータを組込んだこ
   とを特徴とする請求項１記載の超精密スピンドル装置。
4. 【請求項４】 スピンドルの後端部と外付けモータをカ
   ップリングを介して連結したことを特徴とする請求項１
   記載の超精密スピンドル装置。
5. 【請求項５】 ラジアル変位検知センサとスラスト変位
   検知センサで検出した前回の変位量に基づいて、前記ス
   ピンドルの垂直面内での直行方向の回転角度ごとに微小
   補正変位を記憶するメモリテ−ブルと、微小補正変位量
   を求める演算部と、直行方向の回転角度微小補正変位を
   記憶するメモリテ−ブルとからなり、前記ラジアルアク
   チュエータと前記スラストアクチュエータを作動して、
   前記スピンドルの振れが最小となるように制御すること
   を特徴とする請求項１記載の超精密スピンドル装置の制
   御装置。
6. 【請求項６】 スピンドルの振れ検出用センサとして静
   電容量型振れ検出用センサを用いたことを特徴とする請
   求項１記載の超精密スピンドル装置。
7. 【請求項７】 スピンドルの振れ検出用センサとしてレ
   −ザ光線による振れ検出用光学センサを用いたことを特
   徴とする請求項１記載の超精密スピンドル装置。
8. 【請求項８】 ラジアルアクチュエータとスラストアク
   チュエータはピエゾ素子で作動するように構成した請求
   項１記載の超精密スピンドル装置。
9. 【請求項９】 ハウジングはマシナブルセラミックスを
   用いたことを特徴とする請求項１記載の超精密スピンド
   ル装置。
10. 【請求項１０】 スピンドルにブレードを固定し、ハウ
    ジングに通気用の開口部を設け、スピンドルの回転によ
    りブレードを回転し、ハウジング内の大気を外気を絶え
    ず入替え、ハウジング内の発熱を防止するように構成し
    た請求項１記載の超精密スピンドル装置。