JP4194261B2 - ステージの原点出し方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体露光装置、各種精密加工機および各種精密測定器等の位置決めに用いられるステージおよびその原点出し方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のステージとして特開平10−173028号公報に開示されたガイドレスの微動ステージが知られている。図7は、この微動ステージの構成を示す。図7のステージは、XY方向をラジアルガイド8によって拘束されているので、天板が4自由度(Z方向および回転θx、θy、θz方向)を有する微動ステージとなっている。
図7において、1は天板、2は固定部、3xはXミラー、3yはYミラー、4はθリニアモータ、4a〜4cはそれぞれZリニアモータ、8はガイド、9a〜9cはそれぞれ変位センサである。
【0003】
このようなガイドレスステージにおいては、位置計測手段として高精度なレーザ干渉計やエンコーダといったセンサが用いられる。これらのセンサは絶対原点を持っていないため、何らかの基準に対して原点出しを行うことが必要となる。さらに、原点出し動作によって決められた原点は、全ての位置計測の基準となるため、高精度・高再現性が要求されている。
【0004】
このステージにおける原点出しのフローチャートを図8に示す。この微動ステージでは大まかにいうと、
1.Z方向に3点を突き当てて、Zおよび2方向の回転(θx、θy)用センサを初期化後、所定位置に位置決めし、次に、
2.θz方向を突き当てて、θz用センサを初期化するという、2段階の手順を用いて原点出しを行っていた。
この方法では、2段階の手順は必要となるが、Z方向、θz方向にそれぞれ平面からなる突き当て面(不図示)を備え、それらに対し直交方向に突き当て動作を行うことにより、容易に高精度な原点出しが可能となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、天板が6軸自由度を有するステージにおいては、さらにXY方向の原点出しも加わるため、上述の従来例の考え方をそのまま6軸に拡張した場合、以下のような課題が発生する。すなわち、
1.従来のシーケンスに対し、XY軸の原点出しも加わるため、初期化の手順が複雑になるとともに、初期化に時間がかかる。
2.XY方向の突き当て部を用意する必要があり、ステージの構造が複雑となる。
3.原点出しをする軸と、センサが1対1で対応しない場合、一旦初期化したセンサを再度初期化したり、補正したりする必要がある。例えば、X方向から2本のレーザ干渉計を当て、その一つでX方向の位置を計測し、2本の差としてθy(Y軸周りの回転)を計測する場合、従来の手順では、Z方向の突き当てによってθy用のセンサ、すなわち2本のレーザ干渉計を初期化する必要がある。しかし、この時はX方向の初期化は終わっていないので、改めてX方向の原点出しを行ったときには、一旦初期化したX方向用のレーザ干渉計を再度初期化するなどの処理を行わなければならない。
【0006】
そこで、本発明の目的は、簡便で高精度なステージの原点出し方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を達成するために本発明のステージの原点出し方法は、固定部に対して6自由度で移動可能な天板と、前記天板を前記固定部に対して前記6自由度に駆動可能な駆動手段と、前記天板および固定部の相対向する面のいずれか一方に設けられた3つの突起部と、前記相対向する面の他方に設けられそれぞれの突起部に相対してそれらの突起部と接触したときに前記天板の前記6自由度を拘束する3つの突き当て部と、前記天板の前記6自由度の位置を計測可能な位置計測手段とを備えるステージにおける原点出し方法であって、前記駆動手段によって3つの突き当て部と突起部をそれぞれ接触させた状態で、突き当て方向と直交する方向に前記天板を加振した後、前記位置計測手段を初期化することにより、前記6自由度の原点出しを行うことを特徴とする。
【0008】
さらに、本発明のステージの原点出し方法は、固定部に対して6自由度で移動可能な天板と、前記天板を前記固定部に対して前記6自由度に駆動可能な駆動手段と、前記天板および固定部の相対向する面のいずれか一方に設けられた3つの突起部と、前記相対向する面の他方に設けられそれぞれの突起部に相対してそれらの突起部と接触したときに前記天板の前記6自由度を拘束する3つの突き当て部と、前記天板の前記6自由度の位置を計測可能な位置計測手段とを備えるステージにおける原点出し方法であって、前記ステージはXYステージに搭載され、前記位置計測手段の初期化は、常に、前記XYステージが同じ位置にあるときに行うことを特徴とする。
【0009】
さらに、本発明のステージの原点出し方法は、固定部に対して6軸方向に移動可能な天板と、前記天板を前記固定部に対して前記6軸方向に駆動可能な駆動手段と、前記天板および固定部の相対向する面のいずれか一方に設けられた3つの突起部と、前記相対向する面の他方に設けられそれぞれの突起部に相対してそれらの突起部と接触したときに前記天板の前記6軸方向の位置を拘束する3つの突き当て部と、前記天板の前記6軸方向の位置を計測可能な位置計測手段とを備えるステージにおける原点出し方法であって、前記駆動手段によって3つの突き当て部と突起部をそれぞれ接触させた状態で、突き当て方向と直交する方向に前記天板を加振した後、前記位置計測手段を初期化することにより、前記6軸方向の原点出しを行うことを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。
[実施例1]
図1は、本発明の実施例1に係るガイドレスステージの平面図である。同図において、天板1と固定部2は紙面奥行き方向に配列され、かつ天板1が最も手前に配置されているが、天板1の陰に隠れる部分は天板1を透視した状態で描いてある。
【0014】
図1のステージは、機械的なガイド機構を備えておらず、天板1の6自由度全てをリニアモータ4(4xf、4xb、4yl、4yr、4zl、4zm、4zr)によって駆動している。天板1にはリニアモータの可動子が、固定部2にはリニアモータの固定子が取り付けられている。天板1を、X方向にはリニアモータ4xfと4xbを用いて駆動する。Y方向にはリニアモータ4ylと4yrを用いて駆動する。θz(Z軸まわりの回転方向)には、リニアモータ4xfと4xb、またはリニアモータ4ylと4yrの推力の発生方向を逆方向とすることにより駆動する。Z方向、ならびにθx(X軸まわりの回転方向)およびθy(Y軸まわりの回転方向)の各方向には、リニアモータ4zmと4zlと4zrを用いて駆動し、特にθxおよびθy方向には、これらのモータの推力のバランスを変えることにより駆動する。
【0015】
図2は、図1のガイドレスステージの位置計測に用いる、レーザ干渉計の配置を示す図である。天板1上には、ターゲットとなるミラー3x、3y、3zが設置されている。レーザ光軸7x、7y、7zはそれぞれX、Y、Z軸の位置を計測する。レーザ光軸7xpはレーザ光軸7xとZ軸方向に平行になるように配置され、これらの差を取ることによりθyを計測する。レーザ光軸7ypはレーザ光軸7yとZ軸方向に平行になるように配置され、これらの差を取ることによりθxを計測する。レーザ光軸7xqはレーザ光軸7xとXY平面に対して平行になるように配置され、これらの差を取ることによりθzを計測する。レーザ光軸7yqはレーザ光軸7yとXY平面に対して平行になるように配置され、これらの差を取ることによりθzを計測する。θzの計測にはX軸側、Y軸側のどちらを用いてもよい。X軸側、Y軸側のそれぞれ3本のレーザ干渉計は、差を取るために、同時に初期化する必要がある。
また、位置センサとしては高分解能なエンコーダを用いてもよい。
【0016】
図3は、図1のガイドレスステージの突起部および突き当て部の模式図である。固定部2には、球面座を持つ3つの突起部が設置されている。一方、天板1には平面からなる突き当て部5f、V字溝からなる突き当て部5v、円錐溝からなる突き当て部5cが設置されている。それぞれの突き当て部は、平面は1自由度、V溝は2自由度、円錐溝は3自由度を拘束し、合わせて6自由度全てを拘束する。そのため、突き当て部の最深部に完全に突き当たった状態にすることで6自由度全てを同時に原点出しすることができる。
【0017】
また、例えば全てを円錐溝にしたような7自由度以上を拘束する構成にしてしまうと、温度などによるわずかな機械的な変形や、どの点が最初に接触するかなどにより、拘束される場所が変わってしまい、原点出しの再現性が悪化する場合があるが、この構成では6自由度のみしか拘束しないため、再現性を悪化させることがない。このとき、円錐溝とV溝を結ぶ方向に対し、V溝の稜線が直交する方向を向いていると、円錐溝とV溝を結ぶ方向には円錐溝とV溝の両方が拘束することになり、過拘束となってしまう。このため、図3に示すように、V溝の稜線は円錐溝とV溝を結ぶ方向を向いていることが望ましい。図3(b)は、図3(a)のA−A断面図である。
【0018】
また、本実施例では、突起部の形状を球状にしたため、どのような姿勢からでも確実に突き当てることができる。また、全ての突き当て部に対して同じ突起部の形状を取ることができる。
【0019】
突き当て部5(5f、5v、5c)、突起部6とも繰り返し接触するため、高い耐久性が要求される。また、突き当てた状態で変形があると、原点出しの再現性が悪化する。そのため、突き当て部、突起部ともセラミックスなどの高い剛性を持つ材質で構成することが望ましい。また、高い再現性や原点出し精度を達成するためには、確実に同じ位置で接触する必要がある。また、突き当て方向と接触面が直交していないため、接触面の摩擦係数が高いと、最初に接触した位置や途中の位置で止まってしまうこともあり得る。そのため、接触面を鏡面加工するなどして低摩擦化しておくことにより、確実に同じ位置で接触することができる。
【0020】
また、突き当て部5の配置が、突き当て方向に駆動するZリニアモータ4z(4zl、4zm、4zr)から離れていると、Zリニアモータの発生する力と、突き当て部にかかる接触力により、天板に応力が加わり変形を生じてしまう。これでは、通常駆動状態と、原点出しのための突き当て状態で、天板の形状が異なってしまうこととなり、原点出しの信頼性が低下することとなる。これを避けるため、突き当て部5は機械的な制約の許す限りZリニアモータの近傍に配置する必要がある。可能であれば、突き当て部5とZリニアモータ4zは同軸上に配置することが望ましい。
【0021】
また、凸形状の突起部6を下側に、凹形状の突き当て部5を上側に設置することにより、ゴミなどの付着による原点出し精度の悪化を防ぐことができる。
さらに、突き当たっている状態では、接触面にかかる力はできる限り一定である方が高い再現性を期待できる。リニアモータは発生力の再現性が高いため、高精度な原点出しが期待できる。
【0022】
図4に図1のガイドレスステージを用いた場合の原点出し動作のフローチャートを示す。また、図5に図1のガイドレスステージの原点出し動作におけるリニアモータZR(4zr)およびリニアモータXF(4xf)の駆動波形とX軸変位およびY軸変位を示す。
【0023】
まず、Z方向のリニアモータ4zを駆動して、突き当て部5と突起部6が接触するように天板1を駆動する。この時、天板1が急激に動かないように、リニアモータ4zの推力は徐々に増加させることが望ましい。突き当て部5と突起部6が接触し、Z方向リニアモータ4zの推力が一定値を超えたことを検出すると、XまたはYのリニアモータ4x(4xf、4xb)、4y(4yl、4yr)から振動波形を出力し、天板1に振動を与える。振動を与えることにより、突き当て部5と突起部6の接触面にかかる押し付け圧力が変動するため、接触面における摩擦が減少し、速やかに最適な接触位置まで移動することが可能となる。この時の振動波形はより効果的に、接触位置まで移動可能となる波形を選ぶ必要がある。振動方向は、θz軸周りの回転方向とするのが望ましい。XY面内の振動であれば、天板の位置を変化させて、円錐溝の頂点やV溝の稜線の位置に近づく効果がある。θz軸周りの回転方向の振動であれば、XYのどのような方向にずれていても、比較的方向による差がない。振動波形の形状は、力の効率が高い矩形波が望ましい。
【0024】
図5に示したように、振動波形を加えることにより、加振しない場合より速やかに安定した位置に突き当たっていることがわかる。すなわち、図5において、加振ありの場合(実線)は、XおよびY軸変位が5秒弱で安定し、このため、約8秒で位置制御を開始することができる。これに対し、加振なしの場合(途中から破線)は、XおよびY軸変位が安定するまで、約9秒と約2倍の時間がかかり、位置制御の開始もその分遅くなる。
【0025】
ステージに天板の重さを支える自重補償機構が備わっており、この機能を切ることができる場合は、接触状態をより安定させるために、振動波形を出力後、自重補償機構を切ることが望ましい。その後、Zリニアモータの出力を一定値に保持する。さらに、突き当てが安定した段階で振動波形を止め、一定時間経過後、全位置センサを一括して初期化する。これにより、6自由度全ての計測基準を同時に確定することができる。
【0026】
図4の手順においては、接触したかどうかの判定や、突き当てが安定したかどうかの判断は、十分な時間間隔を待つことによって行っている。これは、原点出し動作を開始した段階では、天板の姿勢がどのようになっているか分からず、位置センサが使える保証がないためである。位置センサが使える場合には、Z軸方向の移動速度を計測し、これがほぼ0となることで接触安定を判断するなど、より確実な方法を採ることもできる。
【0027】
センサ初期化後、天板を位置センサを用いて制御して、所定の位置まで復帰する必要がある。この時、突き当て状態で6自由度全てに位置制御をかけると、わずかな位置誤差により制御系がリニアモータに出力を発生するが、突き当て部と突起部が接触しているために動くことができず、出力が発散しリニアモータに過大な電流が流れるなどの問題が発生する恐れがある。そこで、本実施例においては、まず、姿勢を保持するためにθx、θy、θzの回転軸にのみ位置制御をかけ、並進方向には制御していない状態にする。一定時間後、並進方向にも位置制御をかけて、所定の位置まで復帰する。なお、並進方向に位置制御をかける前に、Z方向に推力を与えて接触状態から浮上するようにしてもよい。
[実施例2]
実施例1に記載のガイドレスステージをXY平面内に移動可能な粗動ステージ(XYステージ)に搭載した場合も、実施例1に記載の方法で原点出しを行うことができる。しかし、粗動ステージの位置よりXYの座標が変わるため、粗動ステージを所定の一定位置においてガイドレスステージの原点出しを行うことが望ましい。例えば、粗動ステージの原点位置において、ガイドレスステージの初期化を行うことにすれば、両ステージの原点出しを同時に行うことができる。
【0028】
また、位置計測にレーザ干渉計を用いた場合、粗動ステージの位置によりレーザ光線のミラーに当たる位置が変化する。取り付け誤差によりミラー面とレーザ光軸が完全に直交しているわけではないため、図6に示すように、レーザ光線の当たる位置が変わると、計測値は同じでも実際のステージ位置が変わってしまう(Δd)。これを避けるためにも、常に粗動ステージは同じ場所でガイドレスステージの原点出しを行う必要がある。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、天板と、天板の6自由度の位置を計測可能な位置計測手段と、天板を固定部に対して6自由度に移動可能な駆動手段を有するガイドレスステージにおいて、天板または固定部のどちらかに設けられた3つの突起部と、他方に設けられそれぞれの突起部に相対して、突起部と接触したときに天板の6自由度を拘束する3つの突き当て部を備えるようにしたため、簡単な動作で6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0030】
また、本発明において、3つの突き当て部が、それぞれ平面、V溝、円錐溝であるようにすれば、過拘束になることなく6自由度の原点出しを簡単かつ正確に行うことができる。さらに、V溝の稜線の方向が、円錐溝の頂点に向いているようにすれば、スムーズに正確な突き当て動作を行うことができ、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0031】
また、本発明において、突起部が球状であるようにすれば、確実に6自由度を拘束することができ、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。また、突き当て部および突起部がセラミックスなどの高剛性素材であるようにすれば、変形が少なく、長期間の使用にも安定して6自由度の原点出しを正確に行うことができる。また、突き当て部および突起部が鏡面加工などの低摩擦加工されているようにすると、摩擦の影響が少なく、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0032】
また、突き当て部および突起部が突き当て方向の駆動手段の近傍に配置されているようにすると、天板の変形を少なくし、駆動手段への負荷を均等にすることができ、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。また、突起部が固定部に設置され、突き当て部が天板に設置されているようにすると、突き当て部にゴミなどが付着することがなく、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0033】
また、位置計測手段がレーザ干渉計、あるいはエンコーダであるようにすれば、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。また、駆動手段がリニアモータであるようにすれば、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0034】
さらに、本発明における原点出し方法は、駆動手段によって3つの突き当て部と突起部をそれぞれ同時に接触させた状態で、位置計測手段を初期化することにより、6自由度の原点出しを行うようにしたため、簡単な動作で6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0035】
この原点出し方法において、さらに、駆動手段によって3つの突き当て部と突起部をそれぞれ同時に接触させた状態で、突き当て方向と直交する方向に加振した後、位置計測手段を初期化するようにすれば、安定して同一状態に突き当てることができ、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。また、加振方向を回転方向とすることによって、より効果的に同一状態に突き当てることができ、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。また、加振波形を矩形波とすると、より効果的に同一状態に突き当てることができ、6自由度の原点出しを正確に行うことができる。
【0036】
また、位置計測手段を初期化した後、前記駆動手段によって回転方向にのみ位置制御をかけてしばらくした後、並進方向に位置制御をかけるようにすれば、原点出しのあと、駆動手段に負荷をかけることなく位置決め状態に復帰することができる。
【0037】
また、ガイドレスステージをXYステージに搭載した場合には、常に、そのXYステージが同じ位置にいるときに、ガイドレスステージの位置計測手段の初期化を行うようにすれば、ミラーの直交度の影響を受けることなく、再現性のある原点出しを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1に係るガイドレスステージの平面図である。
【図2】 図1のガイドレスステージの干渉計配置図である。
【図3】 図1のガイドレスステージの突き当て部の形状を表す模式図である。
【図4】 本発明の実施例1に係るガイドレスステージの原点出し動作のフローチャートである。
【図5】 図1のガイドレスステージにおける原点出し動作の駆動波形である。
【図6】 本発明の実施例2に係る、ミラー取り付け誤差の影響を示す図である。
【図7】 従来例における微動ステージの平面図である。
【図8】 図7の微動ステージにおける原点出し動作のフローチャートである。
【符号の説明】
1:天板、2:固定部、3(3x、3y、3z):ミラー、4(4xf、4xb、4yl、4yr、4zl、4zm、4zr):リニアモータ、5(5f、5v、5c):突き当て部、6:突起部、7(7x、7xp、7xq、7y、7yp、7yq、7z):レーザ干渉計光軸。
Claims (7)
- 固定部に対して6自由度で移動可能な天板と、
前記天板を前記固定部に対して前記6自由度に駆動可能な駆動手段と、
前記天板および固定部の相対向する面のいずれか一方に設けられた3つの突起部と、
前記相対向する面の他方に設けられそれぞれの突起部に相対してそれらの突起部と接触したときに前記天板の前記6自由度を拘束する3つの突き当て部と、
前記天板の前記6自由度の位置を計測可能な位置計測手段とを備えるステージにおける原点出し方法であって、
前記駆動手段によって3つの突き当て部と突起部をそれぞれ接触させた状態で、突き当て方向と直交する方向に前記天板を加振した後、前記位置計測手段を初期化することにより、前記6自由度の原点出しを行うことを特徴とするステージの原点出し方法。 - 前記加振する方向が、回転方向であることを特徴とする請求項1に記載の原点出し方法。
- 前記加振の際の振動波形が、矩形波であることを特徴とする請求項1に記載の原点出し方法。
- 前記位置計測手段を初期化した後、前記駆動手段によって回転方向にのみ位置制御を行なった後、並進方向に位置制御をかけることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の原点出し方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のステージの原点出し方法であって、
前記ステージはXYステージに搭載され、
前記位置計測手段の初期化は、常に、前記XYステージが同じ位置にあるときに行うことを特徴とするステージの原点出し方法。 - 固定部に対して6自由度で移動可能な天板と、
前記天板を前記固定部に対して前記6自由度に駆動可能な駆動手段と、
前記天板および固定部の相対向する面のいずれか一方に設けられた3つの突起部と、
前記相対向する面の他方に設けられそれぞれの突起部に相対してそれらの突起部と接触したときに前記天板の前記6自由度を拘束する3つの突き当て部と、
前記天板の前記6自由度の位置を計測可能な位置計測手段とを備えるステージにおける原点出し方法であって、
前記ステージはXYステージに搭載され、
前記位置計測手段の初期化は、常に、前記XYステージが同じ位置にあるときに行うことを特徴とするステージの原点出し方法。 - 固定部に対して6軸方向に移動可能な天板と、
前記天板を前記固定部に対して前記6軸方向に駆動可能な駆動手段と、
前記天板および固定部の相対向する面のいずれか一方に設けられた3つの突起部と、
前記相対向する面の他方に設けられそれぞれの突起部に相対してそれらの突起部と接触したときに前記天板の前記6軸方向の位置を拘束する3つの突き当て部と、前記天板の前記6軸方向の位置を計測可能な位置計測手段とを備えるステージにおける原点出し方法であって、
前記駆動手段によって3つの突き当て部と突起部をそれぞれ接触させた状態で、突き当て方向と直交する方向に前記天板を加振した後、前記位置計測手段を初期化することにより、前記6軸方向の原点出しを行うことを特徴とするステージの原点出し方法。
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