JPH09311088A

JPH09311088A - 動釣り合い調整装置

Info

Publication number: JPH09311088A
Application number: JP12707396A
Authority: JP
Inventors: Noboru Saito; 登齊藤
Original assignee: Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1996-05-22
Filing date: 1996-05-22
Publication date: 1997-12-02
Anticipated expiration: 2016-05-22
Also published as: JP3140682B2

Abstract

(57)【要約】【課題】レーザスキャンモータのような回転部を有す
る装置の動釣合いを計測して調整を行う場合、レーザス
キャンモータを測定台上に固定支持するための作業が煩
雑で、かつ固定支持用の部品による測定台の重量増加が
生じ、計測精度が低下される。【解決手段】回転テーブル２上の測定台５に凹部５０
３を設けて永久磁石５０４を内装し、レーザスキャンモ
ータ４の一部（バネ押え板４０９）をその磁力によって
吸着し、レーザスキャンモータ４を測定台５に固定支持
させる。レーザスキャンモータ４を測定台５に載置する
だけで固定支持が可能となり、搭載作業を簡略化し、か
つ固定支持用部品による測定台５の重量増加が抑制で
き、計測精度が向上される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はモータ等の回転駆動
源を用いた回転駆動機構における動釣合いを計測し、か
つその釣合いバランスを調整することが可能な動釣合い
調整装置に関し、特に釣合いの計測、調整を自動的に行
い得るようにした動釣合い調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年における高速印刷を可能にしたレー
ザプリンタでは、レーザビームを感光体に走査して所要
の画像パターンを得ているが、この走査を行うためにレ
ーザスキャンユニットが設けられる。このレーザスキャ
ンユニットは、多角形ミラーであるポリゴンミラーをモ
ータによって高速回転させるような構成であり、前記し
た画像パターンを高精度に形成するためには、ポリゴン
ミラーの回転速度が一定の速度で安定に回転駆動される
必要がある。ポリゴンミラーが安定に回転駆動されるた
めには、その動釣合いがとれていることが要求されるた
め、レーザスキャンユニットの製造工程では、ポリゴン
ミラーおよびモータで構成されるレーザスキャンモータ
の動釣合いを計測し、その釣合いがとれていない場合に
はこれを調整する必要がある。

【０００３】従来から行われているレーザスキャンモー
タにおけるポリゴンミラーやモータの動釣合いの計測
は、レーザスキャンモータを少なくとも二次元方向に弾
性支持した上で、レーザスキャンモータを駆動してモー
タおよびポリゴンミラーを回転させ、そのときにレーザ
スキャンモータに生じる各次元方向の振動を測定し、得
られた測定値を処理することで動釣合いが計測される。

【０００４】また、計測された動釣合いに基づいて、レ
ーザスキャンモータの動釣合いを調整する場合には、例
えば、回転される部分であるポリゴンミラーの不釣合い
部分と正反対の箇所に、微小重りを付加する方法がとら
れている。この重りとしては、例えばディスペンサ等を
用いて塗料や樹脂等をポリゴンミラーの反射面以外の部
分に滴着させることで行われる。この場合、ポリゴンミ
ラーに正確に重りを着けるための方法として、作業者が
肉眼で観察しながら行なう方法がとられている。また、
着けた重りを乾燥、硬化させてその定着を行っている。

【０００５】このような動釣合いの調整を行う場合、従
来ではそれぞれ個別に設けられた動釣合い計測機構と調
整機構とを用いており、個々のレーザスキャンモータを
手操作にて１つずつ計測機構にセットし、ここで動釣合
いの計測を行い、その後に調整機構にセットして調整を
行う方式が取られていた。このため、動釣合いの調整を
行うためには、作業者による手作業が必要であり、かつ
処理効率が悪いという問題がある。この処理効率を上げ
るためには複数台の調整機構が必要であり、さらにこれ
らの装置を操作するための作業者が必要であり、自動化
を実現する上での障害になっている。

【０００６】そこで、本発明者は、動釣合いの計測、調
整を自動的に行うことが可能な動釣合い調整装置を開発
した。この調整装置では、回転テーブルに被調整体であ
るレーザスキャンモータを搭載し、かつ回転テーブルの
周囲に動釣合いの計測、調整、確認等を行うための各ス
テーションを配設しておき、回転テーブルを回転させな
がら各工程を行って修正を実現するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この開発された動釣合
い調整装置は、被調整体に対して直接に計測器を取着し
て動釣合いを計測することができないため、被調整体を
一体的に支持する測定台を設け、この測定台に計測器を
取着する構成を採用している。このため、測定台に対し
て被調整体を着脱する作業が必要であり、かつ被調整体
を測定台に固定するための構成が必要とされる。

【０００８】開発初期においては、ネジにより被調整体
を測定台に取着し、あるいはトグルクランプのような治
具を用いて取着を行っていたが、着脱の都度手作業でネ
ジの締結を行う必要があり、着脱作業が煩雑なものとな
る。また、クランプを利用する場合には、その作業は幾
分簡略化されるものの、複数のクランプが必要とされる
ため、全体重量が大きなものとなる。しかしながら、被
調整体の動釣合いの計測のためには、測定台にはなるべ
く計測器以外のものを配設することは好ましいことでは
なく、固定構造を簡易化することが必要となる。

【０００９】また、測定台は動釣合いを計測すべく、被
調整体で生じる振動を測定台に伝達させた上でこの振動
を計測する手法を採用しており、そのために回転テーブ
ルに対して弾性支持している。このため、被調整体を装
着する際には、弾性範囲内で測定台が移動してしまうこ
とがあり、被調整体を測定台に対して正確な方向、位置
に装着することが困難になる。また、被調整体を取り外
す際には取付台が共に移動されて迅速な取り外しが困難
になるということも生じている。

【００１０】本発明の目的は、動釣合い調整が行われる
被調整体を測定台に対して正確に搭載支持させることが
でき、かつ測定台からの取り外しを容易に行うことが可
能な簡易な構成の動釣合い調整装置を提供することにあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、動釣合いを調
整しようとする被調整体を搭載して回転駆動可能な回転
テーブルと、この回転テーブルの回転位置のそれぞれ異
なる位置に配置されて前記回転テーブルへの前記被調整
体の搭載、被調整体に対する動釣合いの計測、動釣合い
の調整、および動釣合いの確認、回転テーブルからの被
調整体の降載を行う複数のステーションとで構成され、
前記回転テーブルに搭載した被調整体を回転テーブルの
回動により各ステーションに対して順次移動させながら
動釣合いの調整を行う動釣合い調整装置において、被調
整体を回転テーブル上に磁石の吸着力により搭載支持す
ることを特徴とする。

【００１２】この本発明においては、回転テーブル上に
は被調整体を一体的に保持した状態で搭載可能な測定台
が弾性支持体により支持されており、この測定台に磁石
が設けられ、被調整体はこの磁石の磁力により測定台に
搭載支持される構成とする。特に、測定台には、被調整
体の一部を受け入れる凹部が形成され、この凹部の内面
に沿って磁石が固定され、被調整体には前記凹部に進入
される凸部が設けられ、かつこの凸部が磁性体で形成さ
れていることが好ましい。例えば、被調整体が、ポリゴ
ンミラーと、これを回転駆動するためのモータとを一体
的に構成したレーザスキャンモータであり、そのモータ
の軸端部が測定台の凹部に進入されて磁着されることに
よりレーザスキャンモータを測定台に一体的に搭載支持
する構成とされる。

【００１３】また、本発明においては、測定台には、被
調整体を磁石の磁力に抗して測定台から取り外す際に測
定台を固定状態とするためのロック機構が設けられるこ
とが好ましい。このロック機構は、例えば、測定台の側
面に開設されたロック穴と、回転テーブルに設けられて
前記ロック穴に嵌入されるロックピン構体で構成され、
ロックピン構体がロック穴に嵌入されたときに測定台を
回転テーブルに対して固定支持させる構成とされる。さ
らに、本発明においては、測定台を前記弾性支持体によ
り支持されている位置よりも上方に持ち上げ、かつその
位置に固定的に支持するための昇降機構が設けられ、こ
の昇降機構によって持ち上げられた位置でロックピンが
測定台のロック穴に嵌入可能とされる構成とすることが
好ましい。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。図１，図２，図３は本発明を
レーザスキャンモータの動釣合いを調整するための調整
装置に適用した実施形態の全体構成を示す正面図、右側
面図、背面図である。また、図４はその平面図である。
枠構体として構成されているベースフレーム１上には回
転テーブル２が水平状態に支持されており、前記ベース
フレーム１内に設置された回転駆動機構３によって図４
の時計方向に間欠的に回転駆動される。この回転テーブ
ル２は後述するように８個の単位テーブル２０１が円周
方向に等配された構成であり、この回転テーブル２に対
する前記ベースフレーム１上には、その円周８箇所に等
分される位置に後述するように第１から第８までの各ス
テーションＳＴ１〜ＳＴ８が設けられており、回転テー
ブル２はこれら８つのステーションに対して各単位テー
ブル２０１が回転位置されるように間欠回転駆動され
る。

【００１５】この８つのステーションＳＴ１〜ＳＴ８
は、動釣合いが計測、調整される被調整体としてのレー
ザスキャンモータ４に対して、搬送部８から回転テーブ
ル２に移載するためのローダ部（第１ステーション）Ｓ
Ｔ１、移載されたレーザスキャンモータ４の動釣合いを
計測する計測部（第２ステーション）ＳＴ２、計測され
たレーザスキャンモータの一部に調整重りとしての樹脂
を滴着させるための第１調整部（第３ステーション）Ｓ
Ｔ３、着けられた重りを紫外光により硬化させて定着さ
せる第１定着部（第４ステーション）ＳＴ４、前記レー
ザスキャンモータ４の他の一部に調整重り用樹脂を滴着
させるための第２調整部（第５ステーション）ＳＴ５、
これを紫外光により硬化させて定着する第２定着部（第
６ステーション）ＳＴ６、以上の工程の後に動釣合いの
調整が適正であるか否かを確認するための確認部（第７
ステーション）ＳＴ７、調整が完了されたレーザスキャ
ンモータ４を搬送部８にまで移載するアンローダ部（第
８ステーション）ＳＴ８とで構成される。

【００１６】また、前記回転テーブル２に隣接する位置
の前記ベースプレート１上には、外部の搬送手段（図示
せず）から前記回転テーブル近傍位置にまで延設されて
レーザスキャンモータ４を往復搬送するための搬送部８
が設けられ、この搬送部８には前記レーザスキャンモー
タ４を搬送部８と前記ローダ部ＳＴ１およびアンローダ
部ＳＴ８との間で１個ずつ移載させるための搬送ロボッ
ト８０１が設けられる。前記搬送部８は、延設されたレ
ール８０２上をシャトル８０３が往復移動される構成と
され、このシャトル８０３によって釣合い調整が行われ
るレーザスキャンモータ４、あるいは釣合い調整が行わ
れたレーザスキャンモータ４がレール上８０２で搬送さ
れる。また、搬送ロボット８０１については、詳細な説
明は省略するが、前記ベースフレーム１上で水平回転さ
れる回転機構８０４と、この回転機構８０４に設けられ
て上下、左右の任意に移動されるアーム８０５と、この
アーム８０５の先端部に設けられてレーザスキャンモー
タ４を握持可能なフィンガ８０６とで構成され、後述す
る制御回路１４によりその駆動が制御される。なお、図
１〜図３に符号１５で示すものは、調整作業が行われて
いる状況を赤、青等の色光で表示するための表示灯であ
る。

【００１７】ここで、前記した調整装置の機能について
その概略を説明する。図５は、前記した８つのステーシ
ョンＳＴ１〜ＳＴ８の各部で行われる動釣合いの計測、
調整を概念的に示す図である。また、図６は各部にわた
る動釣合いの調整工程の概略を示すフローチャートであ
る。回転テーブル２上には弾性の測定台支持体２０３に
より測定台５がフローティング状態に支持されており、
ローダ部ＳＴ１においてこの測定台５上にレーザスキャ
ンモータ４が搭載された後、計測部ＳＴ２においてレー
ザスキャンモータ４に通電を行い、ポリゴンミラー４０
６を回転駆動する。また、測定台５には水平方向（Ｘ方
向、Ｙ方向）および垂直方向の測定台５の振動を計測す
るための加速度計５０７，５０８が付設されており、ポ
リゴンミラー４０６が回転駆動されたときに発生される
振動をそれぞれ計測する。さらに、前記測定台５にはポ
リゴンミラー４０６の回転数を検出するフォトセンサ５
１０が設けられる。そして、これら計測された振動と回
転数とに基づいて制御回路１４としてのコンピュータに
おいて演算を行い、レーザスキャンモータ４の動釣合い
を計測し、かつ必要とされる重りを付着する位置や量が
計算される。

【００１８】次いで、第１調整部ＳＴ３では、２つのボ
ールネジ機構に支持されたディスペンサ１１を有してお
り、一方のボールネジ機構１１０１で樹脂シリンダ１１
０６を前後移動させ、他方のボールネジ機構１１０７で
樹脂シリンダ１１０６内の紫外線硬化性の樹脂を吐出さ
せ、ポリゴンミラー４０６の表面に樹脂を滴着させ、ポ
リゴンミラーの動釣合いを変化させる。このとき、計測
部において計算された重りの量や位置に基づいて、ポリ
ゴンミラー４０６を位置決めモータ機構１２によって回
転させ、その計算された位置をディスペンサ１１に対向
位置させた上で所要量の樹脂が滴下される。また、第１
定着部ＳＴ４では、紫外線ランプ１３０１から出射され
る紫外線を光ファイバ１３０２によりポリゴンミラー４
０６上にまで導き、滴下された樹脂に紫外線を照射して
硬化させ、定着させる。

【００１９】第２調整部ＳＴ５、第２定着部ＳＴ６もそ
れぞれ同様である。ただし、同図に鎖線で示すディスペ
ンサ１１Ａによって滴着する樹脂は、ポリゴンミラー４
０６の動釣合いの反対側となるロータ４０５の表面上に
行われる。さらに、確認部ＳＴ７は、計測部と同様であ
り、レーザスキャンモータ４を回転駆動して測定台５で
の加速度を計測することで、動釣合いが適正に調整され
ているか否かが確認される。

【００２０】そして、動釣合いが正しく調整されたレー
ザスキャンモータ４は、アンローダ部ＳＴ８において搬
送ロボット８０１により搬送部に搬出される。調整が適
正でないレーザスキャンモータ４は回転テーブル２に搭
載されたまま、再び前記した工程が繰り返される。な
お、動釣合いの調整は、前記したようにポリゴンミラー
の上面側と、このボリゴンミラーを回転駆動するための
後述するロータの上面側とに重りを着ける二面バランス
調整の他に、いずれか一方の面にのみ重りを着ける一面
バランス調整を行うこともあり、この場合には第１定着
部ＳＴ４の工程が終了した後に、第２調整部ＳＴ５と第
２定着部ＳＴ６での工程を素通りさせて確認部ＳＴ７へ
の工程に移行されることになる。

【００２１】ここで、本発明装置において調整が行われ
る前記したレーザスキャンモータについて説明する。図
７（ａ），（ｂ）にその平面図と断面図を示すように、
レーザスギャンユニット４は、モータベース４０１上に
回路基板４０２が配置され、この回路基板４０２を貫通
するように回転軸４０３がベアリング４０４により軸転
可能に軸支されている。この回転軸４０３の先端部には
マグネットで構成されるロータ４０５とポリゴンミラー
４０６とが軸方向に並んで軸装され、押えバネ４０７に
より回転軸４０３に固定される。また、これと反対側の
回転軸４０３の基端部には回転軸４０３にスラスト力を
付勢するための予圧バネ４０８とバネ押え板４０９が固
定されている。そして、前記回路基板４０２には前記ロ
ータ４０５に対向してコイル４１０が固定支持されてお
り、このコイル４１０と前記ロータ４０５とで回転駆動
力を発生させるモータ部が構成され、このモータ部によ
って前記回転軸４０３を回転させ、ポリゴンミラー４０
６を回転駆動させる。また、前記回路基板４０２には前
記コイル４１０に通電する電流を制御するためのＩＣ
（集積回路）４１１が搭載されるとともに、その表面の
一部にはこのＩＣに電気接続される複数のコンタクト４
１３が配列されている。このコンタクト４１３には、後
述するようにレーザスキャンモータ４を回転駆動させる
ための図外の駆動回路が電気接続される。さらに、前記
モータベース４０１と回路基板４０２には同じ位置に位
置決め穴４１４が設けられており、後述する測定台５に
立設される位置決めピン５０６が挿通される。

【００２２】前記回転テーブル２は、図８に平面図を示
すように、台形に近い形状をした板部材で形成された８
枚の単位テーブル２０１で構成されており、各単位テー
ブル２０１は前記回転駆動機構３によって水平回転され
る回転テーブル２の中心回転板２０２の周縁に沿って等
しく配置され、それぞれの短辺部が前記中心回転板２０
２に固定され、これと共に一体的に回動される。前記単
位テーブル２０１は、図９に拡大平面図を示すように、
上面の四隅位置にそれぞれ弾性材からなる測定台支持体
２０３が固定されており、これらの支持体２０３により
後述する測定台５の四隅を支承し、測定台を単位テーブ
ル２０１上に水平に弾性支持することができる。ここで
は、支持体２０３を構成する弾性材として内部に多数の
気泡を形成したゴムスポンジを用いており、その上面に
は測定台の角部を受け入れるための角溝２０４が形成さ
れ、また底面には支持片２０５が接着され、この支持片
２０５を回転テーブル２にネジ止めすることでその固定
を行っている。

【００２３】また、支持される測定台５の直下に相当す
る領域には、後述する昇降機構６の位置決めピン、高さ
規制ピンが上下に挿通されるための６個のピン挿通穴２
０６が開口されている。さらに支持される測定台の側縁
に相当する位置には、測定台に対して柔軟なコード２１
９により電気配線された接点板２０７が固定されてお
り、この接点板２０７の表面には４個のセンサ用接点２
０８と２個の加速度計用接点２０９が形成されている。
また、前記回転テーブル２上には、前記接点板２０７に
隣接してロック機構２１０が設けられている。このロッ
ク機構２１０は、水平方向に移動可能に支持されたロッ
クピン２１１と、このロックピン２１１を測定台側に移
動させるためのレバー２１２と、このレバー２１２を退
避位置に付勢するためのバネ２１３とを備えており、後
述するロックシリンダによりレバー２１２をバネ２１３
力に抗して回動させることで、ロックピン２１１を測定
台方向に向けて移動させ、後述するように測定台に設け
たロック孔に嵌入されることができる。

【００２４】前記したレーザスキャンモータ４を搭載す
る測定台５は、図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）にその平
面図、一部を破断した正面図、右側面図をそれぞれ示す
ように、回転テーブル２の測定台支持体２０３により四
隅が支持されて回転テーブル２上で略水平にかつ弾性的
に支持される矩形の板部材で構成される。この測定台５
には前記回転テーブル２のピン挿通穴２０６を下方から
上方に向けて貫通された後述する昇降機構の位置決めピ
ンの先端に嵌合されるブッシュ５０１を有する位置決め
穴５０２が開設される。また、測定台５の略中央には円
形の凹部５０３が形成され、この凹部５０３の内底面に
は円環状の永久磁石５０４を固定円板５０５により支持
している。この凹部５０３は、前記レーザスキャンモー
タ４の回転軸４０３の基端部を受け入れることができ、
その状態ではこの回転軸４０３の基端部に取着されてい
るバネ押え板４０９を永久磁石５０４によって磁着し、
レーザスキャンモータ４を測定台５上に固定的に支持さ
せる。また、この凹部５０３から離れた位置の測定台５
の表面には位置決めピン５０６が立設されており、レー
ザスキャンモータ４に開設された前記位置決め穴４１４
に嵌入され、レーザスキャンモータ４が測定台５上で回
転方向に移動されることを防止する。

【００２５】さらに、測定台５には、測定台５に生じる
水平方向の加速度と、垂直方向に生じる加速度をそれぞ
れ測定するための加速度計５０７，５０８が固定支持さ
れている。さらに、前記凹部５０３に隣接する位置の測
定台５の表面には、センサ基板５０９が立設されてお
り、ここに反射型のフォトセンサ５１０が支持される。
このフォトセンサ５１０は、測定台５に搭載されるレー
ザスキャンモータ４のロータ４０５の周側面に対向する
ようにその支持位置が特定されており、ロータ４０５の
周側面の円周一部に形成されているマーク４１２を光学
的に検出し、この検出結果からロータ４０５の回転数や
回転位置等の回転状態を検出する。

【００２６】また、測定台５の他の一部には、強磁性体
で形成されたロック片５１１がネジにより固定される。
このロック片５１１には測定台５の側面方向に向けてロ
ック孔５１２が開設されており、測定台５が前記回転テ
ーブル２上に支持されたときには回転テーブル２の前記
ロックピン２１１に対向位置される。そして、このロッ
クピン２１１がバネ２１３の弾性力に抗して突出動作さ
れたときに、ロックピン２１１の先端がロック孔５１２
に嵌入され、測定台５を回転テーブル２に対して一体的
に固定させる。また、このロック片５１１の一部は測定
台５の表面に露呈されて磁着部５１３として構成されて
おり、かつその両側には一対の小ピン５１４が立設され
ており、後述するコンタクトピン取付台が磁着部５１３
に磁力で吸着されたときにコンタクトピン取付台の位置
決めを行う。

【００２７】ここで、前記測定台５を単位テーブル２０
１、すなわち回転テーブル２に対して一体化させ、或い
は回転テーブル２上でフローティング支持状態とさせる
ことを切り替えるための昇降機構６を説明する。図１１
はその下降時の状態を示す正面図、図１２は上昇時の状
態を示す正面図であり、前記ベースフレーム１の下部に
は、ピストンロッド６０２を上下移動させるエアシリン
ダ６０１が固定され、このピストンロッド６０２に水平
配置した昇降板６０３が固定される。この昇降板６０３
には、回転テーブル２に開設したピン挿通穴２０６を挿
通される４本の位置規制ピン６０４と２本の位置決めピ
ン６０５が立設されている。前記位置決めピン６０５の
上端部は、前記測定台５の位置決め穴５０２のブッシュ
５０１内に嵌入し得るように細くされ、かつ位置規制ピ
ン６０４よりも測定台５の厚さ分だけ上方に長く形成さ
れている。また、位置規制ピン６０４の上端面は測定台
５の下面を支承するように平坦化されている。なお、前
記昇降板６０３は、上下に対向配置されるベースプレー
ト６０８とアッパープレート６０９とを連結するガイド
ポスト６０７により案内されて上下移動される。

【００２８】この昇降機構６では、エアシリンダ６０１
によりピストンロッド６０２が上昇されると、これと一
体に昇降板６０３が上昇され、昇降板６０３に立設した
位置規制ピン６０４と位置決めピン６０５が上昇され
る。そして、これらのピンは回転テーブル２に設けられ
ているピン挿通穴２０６を下方から上方に挿通され、位
置決めピン６０５の上端部が測定台５の位置決め穴５０
２のブッシュ５０１に嵌入して測定台５の平面方向の位
置決めを行う。また、位置規制ピン６０４の先端面は測
定台５の下面に当接されて測定台５を支承し、この位置
規制ピン６０４の上昇によって測定台５を回転テーブル
２上の所定の高さ位置、すなわち測定台５が通常におい
て測定台支持体２０３により支持されている高さ位置よ
りも高い位置に持ち上げてその位置を固定させる。な
お、この昇降板６０３の上限位置はピストンロッド６０
２の先端が、ベースフレーム１の一部に設けられたスト
ッパ６０６に当接することで規制される。

【００２９】また、前記第２ステーションＳＴ２、第７
ステーションＳＴ７、および第８ステーションＳＴ８に
おける前記ベースフレーム１の下部には、図１３に正面
図を示すように、前記回転テーブル２に設けられたロッ
ク機構２１０を駆動するためのロック駆動機構７が設け
られる。このロック駆動機構７は、エアシリンダ７０１
が上方に向けて支柱により支持されており、このエアシ
リンダ７０１が駆動されてプランジャ７０２が上方に向
け突出されたときには、回転テーブル２に設けたロック
機構２１０のレバー２１２を上方に押圧することでロッ
クピン２１１を測定台５のロック孔５１２に嵌入させる
動作を行う。このロック動作により、後述するコンタク
トピン取付台を測定台５から持ち上げる際やレーザスキ
ャンモータ４を測定台５から持ち上げる際に、回転テー
ブル２上の測定台５が回転テーブル２から持ち上げられ
ないようにすることが可能となる。

【００３０】次に、前記した各ステーションに構成され
た各部の詳細を個々に説明する。（第１ステーション：ローダ部）ローダ部ＳＴ１では、
図１４にフローチャートを示すように、回転テーブル２
上に載置されている測定台５上に、搬送ロボット８０１
により調整が行われるレーザスキャンモータ４が搭載さ
れる。このレーザスキャンモータ４は、搬送部８におい
て、図外の外部供給源からレール８０２上を移動される
シャトル８０３によって搬送ロボット８０１の位置にま
で搬送された上で、搬送ロボット８０１のフィンガ８０
６に握持され、アーム８０５と回転機構８０４との関連
された動作によって行われる。

【００３１】このとき、測定台５を回転テーブル２の上
に安定に保持するために、前記昇降機構６のエアシリン
ダ６０１が駆動され、昇降板６０３が上昇される。これ
により、４本の位置規制ピン６０４と２本の位置決めピ
ン６０５が上昇され、前記したように２本の位置決めピ
ン６０５の上端部が測定台５の位置決め穴５０２に侵入
されてその平面位置が規制される。また、これと同時に
４本の位置規制ピン６０４の上端面が測定台５の下面に
当接されて、これを持ち上げるため、測定台５はこれら
位置規制ピン６０４によってその下面が支承され、安定
かつ強固な状態で保持される。この状態で前記搬送ロボ
ット８０１がレーザスキャンモータ４を測定台の上にま
で搬送し、測定台５の上に載置する。この状態は図１５
（ａ），（ｂ）の平面図と正面図に示す通りであり、搬
送ロボット８０１がレーザスキャンモータ４を高精度に
位置管理していることにより、レーザスキャンモータ４
はモータベース４０１の下方に突出された部分が測定台
５の凹部５０３に嵌入され、円環状の永久磁石５０４が
ロータ４０５に設けられたバネ押え板４０９を磁着す
る。なお、この測定台５は回転テーブル２上に搭載され
ており、その状態を図１６の平面図に示す。

【００３２】（第２ステーション：計測部）動釣合いの
計測部ＳＴ２では、図１７（ａ），（ｂ）に正面図と側
面図を示すように、回転テーブル２の上方領域に２つの
通電機構９が設けられる。第１の通電機構は回転テーブ
ル２上の領域において前記ベースフレーム１上に構築さ
れたアッパーフレーム１０１に下方に向けられて支持さ
れたエアシリンダ９０１と、このエアシリンダ９０１の
下端から突出動作されるピストンロッド９０２の先端に
固定された接点構体９０３とで構成される。この接点構
体９０３は絶縁性の支持体９０６に４本の固定接点ピン
９０４と、２本の伸縮接点ピン９０５とが下方に向けて
突出支持されており、これらは前記制御回路１４に電気
接続されている。そして、これらの固定接点ピン９０４
と伸縮接点ピン９０５は、前記エアシリンダ９０１の動
作により支持体９０６が下方に移動されたときに、それ
ぞれ回転テーブル２に設けられている接点板２０７の４
個のセンサ用接点２０８と２個の加速度計用接点２０９
にそれぞれ接触し、相互に電気接続される。

【００３３】なお、前記伸縮接点ピン９０５は、図１８
に示すように、一対の筒状の絶縁筒９０７によって絶縁
支持された同心構造の内接触子９０８と外接触子９０９
とで構成され、内接触子９０８は絶縁筒９０７の内部に
軸方向に移動可能に内装され、同じく絶縁筒９０７の内
部に弾装された小径コイルスプリング９１０によりその
突出方向に付勢される。また、外接触子９０９は絶縁筒
９０７と一体に形成されており、その外周面には取付ス
リーブ９１１が嵌挿され、外接触子９０９に設けたスト
ッパ９１２によりその脱落が防止されるとともに、外接
触子９０９の外周部に嵌装した大径コイルスプリング９
１３により外接触子９０９に対して相対的に軸移動可能
とされている。したがって、この取付スリーブ９１１を
前記支持体９０６に固定支持させれば、支持体９０６に
対して外接触子９０９が大径コイルスプリング９１３の
弾性力によって先端方向に突出するように付勢され、さ
らにこの外接触子９１３に対して内接触子９０８が小径
コイルスプリング９１０によって突出方向に付勢され、
これらの付勢力によって外接触子９０９と内接触子９０
８のそれぞれが同時に前記接点板２０７の加速度計用接
点２０９に電気接続されることになる。

【００３４】また、前記接点板２０７は前記した通りで
あるが、図１９にその断面構造を示すように絶縁性の基
板２１４に４個の面接触接点構造のセンサ用接点２０８
と、２個の筒状接触接点構造の加速度計用接点２０９が
形成されている。前記絶縁性の基板２１４は枠状のスペ
ーサ２１５で周辺部が補強されており、前記回転テーブ
ル２の表面一部にネジ等により固定される。ここで、前
記加速度計用接点２０９は、絶縁筒２１６を挟んで内接
点２１７と外接点２１８が同軸に設けられており、前記
伸縮接点ピン９０５の内接触子９０８と外接触子９０９
がそれぞれ接触して電気接続される。そして、前記セン
サ用接点２０８は柔軟なコード２１９により測定台５の
フォトセンサ５１０に電気接続され、同じく加速度計用
接点２０９は柔軟な同軸コード２２０により測定台５の
２つの加速度計５０７，５０８にそれぞれ電気接続され
る。

【００３５】また、図２０（ａ），（ｂ）に正面図と側
面図を示すように、前記通電機構９の第２の通電機構と
して、前記エアシリンダ９０１と並列に別のエアシリン
ダ９１４がアッパフレーム１０１に支持されており、下
方に向けられたピストンロッド９１５の下端部には電気
信号に基づいて開閉動作される一対のジョー９１７を備
えるチャック９１６が設けられており、このチャック９
１６には、コンタクトピン取付台９１８が挟持される。
このコンタクトピン取付台９１８は、図２１（ａ），
（ｂ）の正面図と側面図のように、下面に永久磁石９１
９を有する逆Ｌ字型の絶縁体９２０を有しており、この
絶縁体９２０には複数本のコンタクトピン９２１が下方
に向けて突出支持されている。また、絶縁体９２０の下
面の両側部には、前記測定台５のロック片５１１の両側
に立設された小ピン５１４が嵌合される嵌合孔９２２が
あけられている。前記コンタクトピン９２１はその上端
において図外のコードにより前記レーザスキャンモータ
４を回転駆動させるための駆動回路（図示せず）に電気
接続されている。そして、このコンタクトピン取付台９
１８は、ピストンロッド９１５が下降されたときに、そ
の下面の永久磁石９１９が測定台５のロック片５１１に
磁力で吸着し、かつ２つの嵌合孔９２２がそれぞれ小ピ
ン５１４に嵌合されることで、測定台５上に固定的に立
設される。そして、図２２（ａ），（ｂ）のように、チ
ャック９１６を開動作させ、ピストンロッド９１５を上
昇させると、図２３（ａ），（ｂ），（ｃ）に平面図、
正面図、左側面図を示すように、絶縁体９２０は測定台
５の上面に立設された状態が保持され、かつこの立設さ
れた状態では各コンタクトピン９２１がレーザスキャン
モータ４の回路基板４０２に設けられているコンタクト
４１３にそれぞれ接触し、相互に電気接続が行われる。

【００３６】また、この計測部ＳＴ２では、図４に示さ
れているように、回転テーブル２に臨むベースフレーム
１にエアブレーキ１０が配置される。このエアブレーキ
１０は、レーザスキャンモータ４のポリゴンミラー４０
６の側面に対して、しかもその回転中心に対してポリゴ
ンミラーの回転方向に偏心させた位置にその先端を向け
たノズル１００１を有しており、このノズル１００１か
ら圧縮空気を吐出してポリゴンミラー４０６の側面に吹
きつけるように構成される。このエアブレーキ１０は、
レーザスキャンモータ４の動釣合いを計測した後に、モ
ータ部への電源供給を停止した後にも慣性によって回転
されるポリゴンミラー４０６の回転にブレーキをかけ、
ポリゴンミラー４０６及びロータ４０５を短時間で回転
停止させることが可能となる。

【００３７】この計測部ＳＴ２での動作は、図２４にフ
ローチャートを示すように、レーザスキャンモータ４を
搭載した測定台５が回転テーブル２と共に第２ステーシ
ョン位置に回転位置されると、昇降機構６が上昇し、ロ
ーダ部ＳＴ１の場合と同様に測定台５を測定台支持体２
０３の上方に持ち上げて安定支持させる。ついで、第１
通電機構のエアシリンダ９０１が下降動作され、下降さ
れた接点構体９０３が回転テーブル２の接点板２０７に
接触され、センサ用接点２０８と加速度計用接点２０９
にそれぞれ固定、伸縮の各接点ピン９０４，９０５が接
触され、測定台５のフォトセンサ５１０と加速度計５０
７，５０８がそれぞれ外部の制御回路１４に電気接続さ
れる。また、同時に第２通電機構のエアシリンダ９１４
が下降動作され、コンタクトピン取付台９１８が測定台
５のロック片５１１に磁着される。エアシリンダ９１４
のジョー９１７を開閉するチャック９１６を開き、エア
シリンダ９１４を上昇させる。コンタクトピン取付台９
１８に設けたコンタクトピン９２１がレーザスキャンモ
ータ４のコンタクト４１３に接触され、モータ部を構成
するコイル４１０が制御回路１４に電気接続される。し
かる上で、昇降装置６が下降すると、測定台５はレーザ
スキャンモータ４と共に回転テーブル２の測定台支持体
２０３のみによって支持されるため、回転テーブル２上
で水平および垂直方向に比較的に自由に移動可能な、い
わゆるフローティング状態に支持される。

【００３８】次いで、コンタクトピン９２１からレーザ
スキャンモータ４に駆動電流を供給すると、レーザスキ
ャンモータ４のモータ部が回転を開始し、ポリゴンミラ
ー４０６とロータ４０５が回転される。そして、所要の
回転速度で所定時間の回転を行い、そのときにレーザス
キャンモータ４に生じる垂直方向、水平方向の加速度は
そのままレーザスキャンモータ４を一体に支持している
測定台５に生じるため、これを測定台５に設けた加速度
計５０７，５０８により計測する。これらの加速度計の
計測出力は、接点板２０７の２個の加速度計用接点２０
９により外部の制御回路に出力される。また、その際
のポリゴンミラー４０６の回転速度は、反射型フォトセ
ンサ５１０がロータ４０５の周面一部に設けられている
マーク４１２を光学的に検出し、この検出出力を接点板
２０７の４個のセンサ用接点２０８により外部の制御回
路１４に出力し、制御回路１４においてマーク４１２の
検出回数をカウントすることにより行われる。そして、
制御回路１４内のコンピュータでは、垂直、水平の加速
度と、その際の回転速度からレーザスキャンモータ４に
おける動釣合いの不釣合い状態を計測し、さらにこれか
らこの不釣合いを修正するために、ポリゴンミラー４０
６あるいはロータ４０５のいずれの位置にどの程度の重
量の樹脂を釣合い調整用の重りとして滴着すればよいの
かを計算する。

【００３９】その後、再び昇降機構６が上昇し、再び測
定台５を安定に保持させる。そして、エアブレーキ１０
により圧縮空気をポリゴンミラー４０６の周面に吹きつ
け、ポリゴンミラー４０６の回転を短時間で停止させ
る。そして、前記エアシリンダ９０１を上昇させて接点
構体９０３を上方に持ち上げ、接点板２０７から取り外
す。同時にエアシリンダ９１４が下降し、チャック９１
６を閉じ、コンタクトピン取付台９１８をはさみ、エア
シリンダ９１４を上昇させてコンタクトピン取付台９１
８を上方に持ち上げ、コンタクト４１３から取り外す。
このとき、図２５の状態からロック駆動機構７のエアシ
リンダ７０１が動作され、プランジャ７０２が上昇され
てロック機構２１０のレバー２１２をバネ２１３力に抗
して図示反時計方向に回動させ、ロックピン２１１を測
定台５のロック孔５１２に嵌入させる。これにより、コ
ンタクトピン取付台９１８の永久磁石９１９によってコ
ンタクトピン取付台９１８と共に測定台５が一体的に上
方向に持ち上げられることが防止される。その後、ロッ
ク駆動機構７が図２５の状態に復帰され、かつ昇降機構
６が下降されることで測定台５は測定台支持体２０３に
よって支持される状態となり、計測前の状態に戻され
る。

【００４０】（第３ステーション：第１調整部）第１調
整部ＳＴ３には、樹脂をレーザスキャンモータに対して
滴着してその釣合いを調整するためのディスペンサ１１
が設けられる。このディスペンサ１１は、図５に示した
概略図と図２６の正面図を参照すると、前記アッパーフ
レーム１０１に斜め下方を向けて第１のボールネジ機構
１１０１が支持されており、モータ１１０２の回転軸に
連結された第１ボールネジ１１０３が軸転されることに
より、この第１ボールネジ１１０３に螺合されている第
１ナット１１０４が軸方向に移動され、この第１ナット
１１０４と一体のシリンダ支持板１１０５が移動され
る。このシリンダ支持板１１０５には、樹脂シリンダ１
１０６と、第２ボールネジ機構１１０７が搭載されてお
り、モータ１１０８の回転軸に連結された第２ボールネ
ジ１１０９が軸転されることにより、この第２ボールネ
ジ１１０９に螺合されている第２ナット１１１０が軸方
向に移動され、この第２ナット１１１０と一体の樹脂ピ
ストン１１１１が移動され、樹脂シリンダ１１０６内の
紫外線硬化性の樹脂をノズルから吐出させ、回転テーブ
ル２上の測定台５に搭載されているレーザスキャンモー
タ４のポリゴンミラー４０６の上面に滴下させる。

【００４１】一方、アッパーフレーム１０１のレーザス
キャンモータ４の上方位置には、図２７と図２８にその
詳細構成を示すような位置決めモータ機構１２が配置さ
れる。この位置決めモータ機構１２は、エアシリンダ１
２０１で構成される昇降部１２０２によりモータ支持部
１２０３が昇降可能に構成されており、このモータ支持
部１２０３には回転軸を下方に向けたステップモータ１
２０４が支持される。このステップモータ１２０４の回
転軸には駆動側プーリ１２０５が取着され、タイミング
ベルト１２０６が巻き掛けられている。このタイミング
ベルト１２０６は、他方ではレーザスキャンモータ４の
ポリゴンミラー４０６の回転軸４０３の直上に配置され
た回転部の回転軸１２０７の上端部に取着された従動側
プーリ１２０８にも巻き掛けられており、前記ステップ
モータ１２０４の回転によりこの回転軸１２０７が間欠
的に回転駆動されるように構成される。この回転軸１２
０７はベアリング１２０９により前記昇降部１２０２に
垂直方向に軸支持されており、その下端部にはストッパ
１２１０が固定されるとともに軸方向に移動可能な筒状
の当接部１２１１が嵌装され、これらストッパ１２１０
と当接部１２１１との間に介挿したスプリング１２１２
により当接部１２１１を下方に付勢している。この当接
部１２１１には環状の弾性体１２１３が固着されてお
り、前記レーザスキャンモータ４のポリゴンミラー４０
６の上面に上方から弾接されるように構成されている。

【００４２】さらに、前記モータ支持部１２０３には下
方向に向けてアーム１２１４が突出されており、このア
ーム１２１４の下端部にはセンサコンタクト絶縁台１２
１５が支持されており、このセンサコンタクト絶縁台１
２１５には４本のセンサコンタクトピン１２１６が下方
に向けて突出されている。このセンサコンタクトピン１
２１６は、前記計測部ＳＴ２に設けられている通電機構
９の４本の固定接点ピン９０４と同じ配列とされてお
り、下降されたときには前記回転テーブル２に設けられ
た接点板２０７のセンサ用接点２０８に接触されること
が可能である。

【００４３】この第１調整部ＳＴ３においては、図２９
にフローチャートを示すように、計測部ＳＴ２において
動釣合いが計測されたレーザスキャンモータ４が回転テ
ーブル２の回転に伴って移動されてくると、前記各部の
場合と同様に昇降機構６が上昇し、測定台５を安定状態
に保持する。すると、位置決めモータ機構１２のエアシ
リンダ１２０１が動作されてモータ支持部１２０３が下
降される。これにより、回転軸１２０７の下端部に嵌装
されている当接部１２１１の環状弾性体１２１３がポリ
ゴンミラー４０６の上面に弾接され、さらにスプリング
１２１２の付勢力によって環状弾性体１２１３と当接部
１２１１との摩擦的な結合により回転軸１２０７とポリ
ゴンミラー４０６とが回転方向に一体化される。また、
これと同時にセンサコンタクト絶縁台１２１５のセンサ
コンタクトピン１２１６が接点板２０７のセンサ用接点
２０８に電気接続され、測定台５のフォトセンサ５１０
に電気接続される。

【００４４】そして、この状態で制御回路からのパルス
信号がステップモータ１２０４に供給され、ステップモ
ータ１２０４が回転駆動されると、駆動側プーリ１２０
５、タイミングベルト１２０６、従動側プーリ１２０８
を介して回転力が回転軸１２０７に伝達され、これによ
りポリゴンミラー４０６が強制的に小角度単位で回転駆
動されることになる。また、このポリゴンミラー４０６
の回転に伴い、フォトセンサ５１０でロータ４０５の周
面に設けられているマーク４１２を検出することで、ポ
リゴンミラー４０６の回転位置を検出する。これによ
り、制御回路は計測部ＳＴ２での計測の結果に基づいて
算出されたポリゴンミラー４０６の円周一部が所定の位
置、すなわちディスペンサ１１に対向する位置に位置設
定する制御を行い、この制御によりポリゴンミラー４０
６はその回転位置に固定される。

【００４５】このように、ポリゴンミラー４０６の回転
位置が設定されると、ディスペンサ１１のモータ１１０
２が回転駆動され、これと一体に軸転される第１ボール
ネジ１１０３によりシリンダ支持板１１０５が移動さ
れ、樹脂シリンダ１１０６のノズルが前記ポリゴンミラ
ー４０６の上面に対向位置される。そして、モータ１１
０８の回転により第２ボールネジ１１０９が軸転される
ことにより樹脂ピストン１１１１が移動され、樹脂シリ
ンダ１１０６内の樹脂をノズルから吐出させ、前記ポリ
ゴンミラー４０６上面に滴下させる。これにより、ポリ
ゴンミラー４０６は、その上面の円周一部に釣合いをと
るための重りとしての樹脂が付着される。

【００４６】（第４ステーション：第１定着部）第１定
着部ＳＴ４は、図５に概略構成を示したように、紫外線
照射部１３が設けられており、この紫外線照射部１３に
は、紫外線ランプ１３０１と、この紫外線ランプ１３０
１に一端が光学的に接続された光ファイバ１３０２を有
しており、この光ファイバ１３０２の他端を測定台５の
上方のアッパフレーム１０１に固定し、その光軸をポリ
ゴンミラー４０６の上面に対向位置させた構成とされて
いる。この光ファイバ１３０２の他端には必要に応じて
レンズ光学系が設けられ、さらに光ファイバ１３０２の
他端に対向して遮光板１３０４を含む遮光機構１３０３
が設けられる。そして、紫外線ランプ１３０１を点灯し
たときに、発光された紫外線は光ファイバ１３０２の一
端部から他端部にまて伝送され、この他端部から出射さ
れてポリゴンミラー４０６の上面に照射されるようにな
っている。

【００４７】この第１定着部ＳＴ４では、図３０にその
フローチャートを示すように、第１調整部ＳＴ３におい
て樹脂が滴下されたレーザスキャンモータ４が回転テー
ブル２の回転に伴って移動されてくると、昇降機構６が
上昇し、測定台５を安定状態に保持する。そして、これ
と同期して紫外線ランプ１３０１が点灯され、かつ遮光
機構１３０３が下降されて遮光板１３０４が光ファイバ
１３０２の他端部位置から退避されるため、光ファイバ
１３０２の他端が開放され、光ファイバ１３０２の他端
から出射される紫外線を樹脂に照射する。これにより、
樹脂は硬化され、ポリゴンミラー４０６の釣合い重りと
して定着される。その後、遮光機構１３０３は上昇して
光フファイバ１３０２からの紫外線が他の領域に照射さ
れることを防止し、かつ紫外線ランプ１３０１を消灯す
る。なお、この遮光機構１３０３を備えている場合に
は、紫外線ランプ１３０１は常時点灯させておいてもよ
い。また、遮光機構を備えることなく、紫外線ランプ１
３０１を照射のタイミングに合わせて点灯、消灯させる
ようにしてもよい。

【００４８】（第５ステーション：第２調整部）第２調
整部ＳＴ５は、第１調整部ＳＴ３と殆ど同じ構成である
ので、詳細な説明は省略する。ただし、この第２調整部
ＳＴ５では、ディスペンサ１１のノズルをレーザスキャ
ンモータ４に対向位置させるべく樹脂シリンダ１１０６
を下降させたときに、そのノズルがポリゴンミラー４０
６の下側のロータ４０５の上面に対向位置されるように
構成されている。そして、釣合いを修正すべくノズルか
ら紫外線硬化樹脂を滴下したときには、ロータ４０５の
上面の円周一部に樹脂を付着させる。これにより、第１
調整部ＳＴ３においてポリゴンミラー４０６の上面部に
付着された樹脂に対して、反対方向の釣合いを取ること
が可能となる。

【００４９】（第６ステーション：第２定着部）第２定
着部ＳＴ６は、第１定着部ＳＴ４と同じであり、ただ
し、ここでは第２調整部ＳＴ５においてロータ４０５の
上面に付着された紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射
して硬化させ、これを定着させる。

【００５０】なお、前記した第１調整部ＳＴ３は、計測
部ＳＴ２での計測結果に基づき、ポリゴンミラー４０６
の上面に重りを付着することが要求された場合にのみ動
作される。同様に第２調整部ＳＴ５は計測部ＳＴ２での
計測結果にもとづき、ロータ４０５の上面に重りを付着
することが要求された場合にのみ動作される。また、前
記した第１調整部ＳＴ３と第１定着部ＳＴ４の処理、あ
るいは第２調整部ＳＴ５と第２定着部ＳＴ６における処
理は、それぞれ組を成して行われるものであり、第１調
整部ＳＴ３での処理が行われる場合には第１定着部ＳＴ
４の処理が行われ、同様に第２調整部ＳＴ５での処理が
行われる場合には第２定着部ＳＴ６の処理が行われる。

【００５１】（第７ステーション：確認部）確認部ＳＴ
７は前記計測部ＳＴ２と同じ構成であり、その詳細な説
明は省略する。この確認部ＳＴ７では、図３１にそのフ
ローチャートを示すように、第１調整部ＳＴ３、第１定
着部ＳＴ４、第２調整部ＳＴ５、第２定着部ＳＴ６にお
いて釣合い調整が行われたレーザスキャンモータ４を回
転駆動させ、測定台５に設けられているフォトセンサ５
１０により回転速度が計測され、かつ加速度計５０７，
５０８によって加速度が計測されることで、その釣合い
が計測される。そして、制御回路１４では、この計測の
結果からレーザスキャンモータ４の釣合いが所定の許容
範囲にあるか否かを判定する。この判定結果により次に
述べるアンローダ部ＳＴ８での動作を制御する。

【００５２】（第８ステーション：アンローダ部）アン
ローダ部ＳＴ８では、図３２にそのフロチャートを示す
ように、確認部ＳＴ７での判定結果から、レーザスキャ
ンモータ４の釣合いが許容の範囲内にある場合には、搬
送ロボット８０１により測定台５からレーザスキャンモ
ータ４を持ち上げ、搬送部８のシャトル８０３に移載
し、搬出を行う。このレーザスキャンモータ４を測定台
５から持ち上げる際には、昇降機構６を上昇させて測定
台５を安定支持した上で、エアシリンダ７０１によりロ
ック駆動機構７を動作させて測定台５をロック機構２１
０により固定状態とする。そして、搬送ロボット８０１
によりレーザスキャンモータ４を握持し、これを上方に
引き上げる。これにより、レーザスキャンモータ４は、
測定台５の凹部５０３内の円環状の永久磁石５０４の磁
力に打ち勝って測定台５の上方に持ち上げられ、搬送部
８への移載が可能となる。

【００５３】一方、確認部ＳＴ７での判定結果から、レ
ーザスキャンモータ４の釣合いが許容範囲にない場合に
は、再度の釣合い調整が行われる。この場合には、アン
ローダ部ＳＴ８では前記した搬送ロボット８０１による
レーザスキャンモータ４の持ち上げ動作は行われず、レ
ーザスキャンモータ４は測定台５および回転テーブル２
に搭載されたままの状態となる。したがって、その状態
のまま、回転テーブル２の回転動作によって再びローダ
部ＳＴ１にまで移動され、さらに計測部ＳＴ２に向けて
移動され、前記した一連の釣合い調整の処理が再度行わ
れることになる。このとき、ローダ部ＳＴ１には搬送部
８からの新たなレーザスキャンモータが移載されないこ
とは言うまでもない。

【００５４】以上の工程により、レーザスキャンモータ
の動釣合いを自動的に計測し、かつその釣合いの調整が
実現される。したがって、図示およびその説明は省略し
たが、この本発明の調整装置に対してレーザスキャンモ
ータを収容したマガジンと、このマガジン内のレーザス
キャンモータを搬送部のシャトルに対して搭載あるいは
降載する機構を付設すれば、マガジンから搬送部に対し
てレーザスキャンモータを供給することと、調整後のレ
ーザスキャンモータをマガジンに収容することも自動化
することができ、レーザスキャンモータの動釣合いを完
全に自動化することが可能となる。これにより、手作業
による調整が全く不要となり、迅速かつ高品質の動釣合
いの調整が実現できる。

【００５５】また、レーザスキャンモータを、測定台に
設けた永久磁石の磁力によって吸着支持させることによ
り、複雑な機構を設けることなくレーザスキャンモータ
の支持が可能となり、測定台の重量を軽減し、レーザス
キャンモータの動釣合いを測定台の重量の影響が少ない
状態で計測でき、その計測精度を高いものにできる。ま
た、この場合、測定台に設けた凹部にレーザスキャンモ
ータの一部を侵入させた状態で保持させるため、測定台
に対するレーザスキャンモータの位置決めが自動的に行
われ、複数のレーザスキャンモータの全てを同じ条件で
計測、確認することができ、調整歩留りを高いものにで
きる。さらに、このレーザスキャンモータを測定台から
降載する際には、ロック機構により測定台を固定状態に
保持するため、永久磁石の吸着力に抗して確実にその降
載が可能となる。

【００５６】そして、この動釣合いの計測時および確認
時には、レーザスキャンモータは測定台に一体的に搭載
されており、かつこの測定台は基板としての回転テーブ
ル上に弾性の支持体によってフローティング状態に支持
されるため、レーザスキャンモータにおける不釣合いに
よってその回転動作時に生じる振動を測定台の振動とし
て、加速度計によって計測することが可能となり、かつ
その一方で弾性の支持体によって外部振動が遮断される
ため、動釣合いの計測時に外部振動の影響を受けること
はない。特に、測定台には、振動を検出するための加速
度計と、回転数を検出するためのフォトセンサとが設け
られているため、測定台には単に電気的な接続を行うの
みでよく各ステーションにおける自動化作業の簡易化
と、迅速化を図り、結果として計測及び確認作業の高速
化が可能となる。また、この電気的な接続時には、接点
ピンやコンタクトピンを押圧力により接触し、あるいは
磁力により吸着した状態で接触させるので、その断接を
容易に行うことができ、回転テーブルの回転移動に対し
ても迅速な電気的な接続動作が可能となる。

【００５７】また、動釣合いの調整時には、ディスペン
サによってポリゴンミラーやロータに対して紫外線硬化
性の樹脂を滴着し、これを紫外線照射して硬化させるこ
とで釣合いバランス用の重りを作製しているため、微小
な重量の重りを高精度に作製して動釣合いの調整が実現
できため、高精度の動釣合いの調整が可能となる。この
とき、ポリゴンミラーやロータは位置決めモータ機構に
より回転させ、かつ同時にフォトセンサによりその回転
位置を検出するために、高精度の位置決めができ、調整
の高精度化を助長することが可能となる。

【００５８】さらに、ローダ時やアンローダ時のように
レーザスキャンモータを測定台に対して着脱する際や、
計測、調整、確認等のように測定台に対して電気接続を
行うような際には、測定台を弾性の支持体によるフロー
ティング状態の支持から昇降機構によりその上方位置に
固定的に、しかも所定の位置に保持しているため、これ
らの作業を安定に、かつ確実に行うことが可能となり、
作業効率を改善することができる。

【００５９】なお、前記実施形態では、動釣合いの被調
体としてレーザスキャンモータの例を示したが、本発明
の動釣合い調整装置は、他の用途の駆動源として用いら
れるモータを組込んだ各種ユニットの動釣合いについて
も同様に調整を行うことができる。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、動釣合い
を調整しようとする被調整体を回転テーブル上に搭載す
る際に、回転テーブル側に設けた磁石の磁力を利用して
いるため、被調整体を単に回転テーブル上に載置するだ
けで被調整体を回転テーブルに固定支持させることがで
きる。これにより、被調整体の搭載作業を簡略化すると
ともに、被調整体を固定支持するための機構が簡略化で
き、これらの機構部品による回転テーブルの重量増加が
抑制でき、回転テーブルの円滑な回転駆動を可能とす
る。

【００６１】また、回転テーブル上には被調整体を一体
的に保持した状態で搭載可能な測定台を設け、この測定
台を弾性の支持体により回転テーブル上に支持し、この
測定台に生じる加速度を加速度計により計測して動釣合
いの計測を行うため、外部振動を遮断した状態で、動釣
合いを高精度に計測でき、調整の高精度化を助長するこ
とができる。この場合でも、測定台には磁石を配設し、
被調整体はこの磁石の磁力を利用して測定台に固定支持
するため、測定台では被調整体を固定支持するための構
成部品による重量の増加が少なく、被調整体の動釣合い
を高精度に計測することが可能となる。

【００６２】この場合、測定台に設けた凹部に被調整体
の一部を侵入させた状態で保持させることにより、測定
台に対する被調整体の位置決めを自動的に行なうことが
でき、その搭載作業をさらに容易に行うことができる。
また、複数の被調整体をそれぞれ同じ条件で計測、確認
することができ、調整歩留りを高いものにできる。

【００６３】さらに、測定台を前記弾性支持体により支
持されている位置よりも上方に持ち上げ、かつその位置
にロックするための昇降機構とロック機構が設けられる
ので、被調整体の搭載、降載時に測定台を安定にかつ固
定的に所定の位置に保持することができ、測定台に対す
る被調整体の搭載や降載、特に磁石の磁力に抗して被調
整体を測定台から取り外すことが可能となり、被調整体
の搭載、降載を確実に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の動釣合い調整装置の全体構成の正面図
である。

【図２】図１の右側面図である。

【図３】図１の背面図である。

【図４】図１の平面図である。

【図５】本発明装置の機能を説明するための概略図であ
る。

【図６】本発明装置の概略動作を説明するためのフロー
チャートである。

【図７】レーザスキャンモータの平面図と断面図であ
る。

【図８】回転テーブルの全体構成の平面図である。

【図９】回転テーブルを構成する単位テーブルの拡大平
面図である。

【図１０】測定台の平面図、正面図、右側面図である。

【図１１】昇降機構の下降状態を示す正面図である。

【図１２】昇降機構の上昇状態を示す正面図である。

【図１３】ロック機構と回転テーブルとの関係を示す正
面図である。

【図１４】ローダ部の動作を示すフローチャートであ
る。

【図１５】レーザスキャンモータを測定台に搭載した状
態の平面図と正面図である。

【図１６】回転テーブル上に測定台を搭載した状態の平
面図である。

【図１７】第１通電機構の正面図と側面図である。

【図１８】伸縮接点ピンの断面図である。

【図１９】接点板の断面図である。

【図２０】第２通電機構の正面図と側面図である。

【図２１】コンタクトピン取付台の正面図と側面図であ
る。

【図２２】第２通電機構の動作を説明するための正面図
と側面図である。

【図２３】コンタクトピン取付台の取付状態の平面図、
正面図、側面図である。

【図２４】計測部の動作を示すフローチャートである。

【図２５】ロック機構の動作を示す拡大図である。

【図２６】ディスペンサを含む第１調整部の正面図であ
る。

【図２７】修正モータ機構の正面図である。

【図２８】修正モータ機構の側面図である。

【図２９】第１調整部の動作を示すフローチャートであ
る。

【図３０】第１定着部の動作を示すフローチャートであ
る。

【図３１】確認部の動作を示すフローチャートである。

【図３２】アンローダ部の動作を示すフローチャートで
ある。

【符号の説明】

１ベースフレーム２回転テーブル３回転駆動機構４レーザスキャンモータ５測定台６昇降機構７ロック駆動機構８搬送部９通電機構１０エアブレーキ１１，１１Ａディスペンサ１２位置決めモータ機構１３紫外線照射部１４制御回路１５表示灯２１０ロック機構２１１ロックピン４０９バネ押え板５０３凹部５０４永久磁石５１２ロック孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】動釣合いを調整しようとする被調整体を
搭載して回転駆動可能な回転テーブルと、この回転テー
ブルの回転位置のそれぞれ異なる位置に配置されて前記
回転テーブルへの前記被調整体の搭載、被調整体に対す
る動釣合いの計測、動釣合いの調整、および動釣合いの
確認、回転テーブルからの被調整体の降載を行う複数の
ステーションとで構成され、前記回転テーブルに搭載し
た被調整体を回転テーブルの回動により各ステーション
に対して順次移動させながら動釣合いの調整を行う動釣
合い調整装置において、前記被調整体は前記回転テーブ
ル上に磁石の吸着力により搭載支持されることを特徴と
する動釣合い調整装置。
【請求項２】回転テーブル上には被調整体を一体的に
保持した状態で搭載可能な測定台が弾性支持体により支
持され、この測定台に磁石が設けられ、被調整体はこの
磁石の磁力により測定台に搭載支持される請求項１の動
釣合い調整装置。
【請求項３】測定台には、被調整体の一部を受け入れ
る凹部が形成され、この凹部の内面に沿って磁石が固定
され、被調整体には前記凹部に進入される凸部が設けら
れ、かつこの凸部が磁性体で形成されてなる請求項２の
動釣合い調整装置。
【請求項４】被調整体が、ポリゴンミラーと、これを
回転駆動するためのモータとを一体的に構成したレーザ
スキャンモータであり、前記モータの軸端部が測定台の
凹部に進入されて磁着されることによりレーザスキャン
モータを測定台に一体的に搭載支持する請求項３の動釣
合い調整装置。
【請求項５】モータの軸端部に磁性体からなる円形の
押え板が設けられ、凹部はこの押え板を内装可能な径寸
法の円形凹部として構成され、この円形凹部の底面に環
状の永久磁石が固定されてなる請求項４の動釣合い調整
装置。
【請求項６】測定台には被調整体の動釣合いを計測す
る際に測定台に生じる加速度を検出するための加速度計
と、被調整体の回転数を検出するためのセンサとが設け
られてなる請求項４または５の動釣合い調整装置。
【請求項７】測定台には、被調整体を磁石の磁力に抗
して測定台から取り外す際に測定台を固定状態とするた
めのロック機構が設けられる請求項２ないし５のいずれ
かの動釣合い調整装置。
【請求項８】ロック機構は、測定台の側面に開設され
たロック穴と、回転テーブルに設けられて前記ロック穴
に嵌入されるロックピン構体で構成され、ロックピン構
体がロック穴に嵌入されたときに測定台を回転テーブル
に対して固定支持させる請求項７の動釣合い調整装置。
【請求項９】ロックピン構体は、回転テーブルに支持
されてロック穴に対向位置され、ロック穴に対して進入
可能なロックピンと、このロックピンを前記ロック穴に
対して後退方向に付勢するバネ手段と、前記ロックピン
にその一端部か係合されて前記回転テーブルに揺動可能
に支持されたレバーと、前記回転テーブルの下方に位置
されて前記レバーの他端部に係合してレバーを揺動させ
るプランジャ機構とで構成され、プランジャ機構により
レバーを動作させたときに、ロックピンをバネ力に抗し
て前進させてロック穴に嵌入させる請求項８の動釣合い
調整装置。
【請求項１０】測定台を前記弾性支持体により支持さ
れている位置よりも上方に持ち上げ、かつその位置に固
定的に支持するための昇降機構が設けられ、この昇降機
構によって持ち上げられた位置で前記ロック構体のロッ
クピンが測定台のロック穴に嵌入可能とされる請求項７
ないし９のいずれかの動釣合い調整装置。
【請求項１１】昇降機構は、前記回転テーブルの下側
に配置され、ピストンロッドが上下移動されるシリンダ
手段と、前記ピストンロッドの先端部に固定される昇降
板とこの昇降板に立設された位置決めピンと位置規制ピ
ンとで構成され、前記ピストンロッドの上動に伴って昇
降板と共に前記各ピンが上動されたときに、前記位置決
めピンはその上端部が測定台に設けられた位置決め穴に
嵌入されて測定台の平面方向の位置を決定し、前記位置
規制ピンはその上端面が測定台の下面に当接されて測定
台の上下方向の位置を決定し、ロック穴にロックピンが
嵌入される位置に位置決めするように構成される請求項
１０の動釣合い調整装置。
【請求項１２】回転テーブルの周囲に８つのステーシ
ョンが形成され、第１のステーションは被調整体を回転
テーブルに搭載するローダ部、第２のステーションは被
調整体の動釣合いを計測する計測部、第３のステーショ
ンは計測された動釣合いに基づいて被調整体の一部に重
りを付着して釣合いを調整する第１修正部、第４のステ
ーションは付着した重りを定着させる第１定着部、第５
のステーションは前記計測された動釣合いに基づいて被
調整体の他の部位に重りを付着して釣合いを調整する第
２修正部、第６のステーションは付着した重りを定着さ
せる第２定着部、第７のステーションは調整処理が完了
された被調整体の動釣合いを確認する確認部、第８のス
テーションは動釣合い調整が完了された被調整体を回転
テーブルから降載させるアンローダ部であり、少なくと
も前記第８のステーションにロック機構が設けられる請
求項７ないし１１のいずれかの動釣合い調整装置。