JP3140681B2 - 動釣合い調整装置 - Google Patents
動釣合い調整装置Info
- Publication number
- JP3140681B2 JP3140681B2 JP12694396A JP12694396A JP3140681B2 JP 3140681 B2 JP3140681 B2 JP 3140681B2 JP 12694396 A JP12694396 A JP 12694396A JP 12694396 A JP12694396 A JP 12694396A JP 3140681 B2 JP3140681 B2 JP 3140681B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic balance
- measuring
- rotary table
- adjusted
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Of Balance (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はモータ等の回転駆動
源を用いた回転駆動構造体における動釣合いを計測し、
かつその釣合いバランスを調整することが可能な動釣合
い調整装置に関し、特に釣合いの計測、調整を自動的に
行い得るようにした動釣合い調整装置に関する。
源を用いた回転駆動構造体における動釣合いを計測し、
かつその釣合いバランスを調整することが可能な動釣合
い調整装置に関し、特に釣合いの計測、調整を自動的に
行い得るようにした動釣合い調整装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年における高速印刷を可能にしたレー
ザプリンタでは、レーザビームを感光体に走査して所要
の画像パターンを得ているが、この走査を行うためにレ
ーザスキャンユニットが設けられる。このレーザスキャ
ンユニットは、多角形ミラーであるポリゴンミラーをモ
ータによって高速回転させる構成であり、前記した画像
パターンを高精度に形成するためには、ポリゴンミラー
の回転速度が一定の速度で安定に回転駆動される必要が
ある。ポリゴンミラーが安定に回転駆動されるために
は、回転時における回転軸方向およびこれと垂直な面方
向に不均衡な振動が生じることがないように、その動釣
合いがとれていることが要求される。このため、レーザ
スキャンユニットの製造工程では、レーザスキャンユニ
ットの回転駆動機構であるポリゴンミラーおよびモータ
からなるレーザスキャンモータの動釣合いを計測し、そ
の釣合いがとれていない場合にはこれを調整する必要が
ある。
ザプリンタでは、レーザビームを感光体に走査して所要
の画像パターンを得ているが、この走査を行うためにレ
ーザスキャンユニットが設けられる。このレーザスキャ
ンユニットは、多角形ミラーであるポリゴンミラーをモ
ータによって高速回転させる構成であり、前記した画像
パターンを高精度に形成するためには、ポリゴンミラー
の回転速度が一定の速度で安定に回転駆動される必要が
ある。ポリゴンミラーが安定に回転駆動されるために
は、回転時における回転軸方向およびこれと垂直な面方
向に不均衡な振動が生じることがないように、その動釣
合いがとれていることが要求される。このため、レーザ
スキャンユニットの製造工程では、レーザスキャンユニ
ットの回転駆動機構であるポリゴンミラーおよびモータ
からなるレーザスキャンモータの動釣合いを計測し、そ
の釣合いがとれていない場合にはこれを調整する必要が
ある。
【0003】従来から行われているレーザスキャンモー
タにおけるポリゴンミラーやモータの動釣合いの計測
は、レーザスキャンモータを少なくとも三次元方向に弾
性支持した上で、レーザスキャンモータを駆動してモー
タおよびポリゴンミラーを回転させ、そのときにレーザ
スキャンモータに生じる各次元方向の振動を測定し、得
られた測定値を処理することで動釣合いが計測される。
タにおけるポリゴンミラーやモータの動釣合いの計測
は、レーザスキャンモータを少なくとも三次元方向に弾
性支持した上で、レーザスキャンモータを駆動してモー
タおよびポリゴンミラーを回転させ、そのときにレーザ
スキャンモータに生じる各次元方向の振動を測定し、得
られた測定値を処理することで動釣合いが計測される。
【0004】また、計測された動釣合いに基づいて、レ
ーザスキャンモータの動釣合いを調整する場合には、例
えば、回転される部分であるポリゴンミラーの不釣合い
部分と正反対の箇所に、微小重りを付加する方法がとら
れている。この重りとしては、例えば硬化性の塗料や樹
脂等をポリゴンミラーの反射面以外の部分に滴着させる
ことで行われる。この場合、ポリゴンミラーに正確に重
りを着けるための方法として、作業者が肉眼で観察しな
から行なう方法がとられている。また、重りを着けた後
にこれを乾燥、硬化させてその定着を図っている。
ーザスキャンモータの動釣合いを調整する場合には、例
えば、回転される部分であるポリゴンミラーの不釣合い
部分と正反対の箇所に、微小重りを付加する方法がとら
れている。この重りとしては、例えば硬化性の塗料や樹
脂等をポリゴンミラーの反射面以外の部分に滴着させる
ことで行われる。この場合、ポリゴンミラーに正確に重
りを着けるための方法として、作業者が肉眼で観察しな
から行なう方法がとられている。また、重りを着けた後
にこれを乾燥、硬化させてその定着を図っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このような動釣合いの
調整を行う場合、従来では動釣合い計測機構と調整機構
とがそれぞれ独立した構成とされており、個々のレーザ
スキャンモータを手操作にて1つずつ動釣合い計測機構
にセットし、ここで動釣合いの計測を行い、その後に調
整機構において釣合いの調整を行う方式が取られてい
た。このため、動釣合いの調整を行うためには、作業者
による手作業が必要であり、かつ処理効率が悪いという
問題がある。この処理効率を上げるためには複数台の調
整装置が必要であり、さらにこれらの装置を操作するた
めの作業者が必要であり、自動化を実現する上での障害
になっている。
調整を行う場合、従来では動釣合い計測機構と調整機構
とがそれぞれ独立した構成とされており、個々のレーザ
スキャンモータを手操作にて1つずつ動釣合い計測機構
にセットし、ここで動釣合いの計測を行い、その後に調
整機構において釣合いの調整を行う方式が取られてい
た。このため、動釣合いの調整を行うためには、作業者
による手作業が必要であり、かつ処理効率が悪いという
問題がある。この処理効率を上げるためには複数台の調
整装置が必要であり、さらにこれらの装置を操作するた
めの作業者が必要であり、自動化を実現する上での障害
になっている。
【0006】また、動釣合いを計測する際にはレーザス
キャンモータをフローティング状態、すなわち装置固定
部に対して弾性的に支持された状態とすることで外部か
らの振動を遮断して高精度の計測が実現できるが、これ
ではレーザスキャンモータの位置が固定されないため、
計測の前後においてレーザスキャンモータの動釣合いの
計測を行うための配線接続等の処理を行うことが難しい
ものとなる。
キャンモータをフローティング状態、すなわち装置固定
部に対して弾性的に支持された状態とすることで外部か
らの振動を遮断して高精度の計測が実現できるが、これ
ではレーザスキャンモータの位置が固定されないため、
計測の前後においてレーザスキャンモータの動釣合いの
計測を行うための配線接続等の処理を行うことが難しい
ものとなる。
【0007】本発明の目的は、動釣合い調整の自動化を
可能とし、かつ調整作業効率を改善した動釣合い調整装
置を提供することにある。
可能とし、かつ調整作業効率を改善した動釣合い調整装
置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の動釣合い調整装
置は、動釣合いを調整しようとする被調整体を搭載して
回転駆動可能な回転テーブルと、この回転テーブルの回
転位置のそれぞれ異なる位置に配置されて回転テーブル
への前記被調整体の搭載、被調整体に対する動釣合いの
計測、動釣合いの調整、および動釣合いの確認、回転テ
ーブルからの被調整体の降載を行う複数のステーション
とで構成されており、回転テーブルに搭載した被調整体
を回転テーブルの回動により各ステーションに対して順
次移動させながら動釣合いの調整を行うことを特徴とす
る。
置は、動釣合いを調整しようとする被調整体を搭載して
回転駆動可能な回転テーブルと、この回転テーブルの回
転位置のそれぞれ異なる位置に配置されて回転テーブル
への前記被調整体の搭載、被調整体に対する動釣合いの
計測、動釣合いの調整、および動釣合いの確認、回転テ
ーブルからの被調整体の降載を行う複数のステーション
とで構成されており、回転テーブルに搭載した被調整体
を回転テーブルの回動により各ステーションに対して順
次移動させながら動釣合いの調整を行うことを特徴とす
る。
【0009】本発明の好ましい形態としては、回転テー
ブルの周囲に8つのステーションが形成され、第1のス
テーションは被調整体を回転テーブルに搭載するローダ
部、第2のステーションは被調整体の動釣合いを計測す
る計測部、第3のステーションは計測された動釣合いに
基づいて被調整体の一部に重りを付着して釣合いを調整
する第1調整部、第4のステーションは付着した重りを
定着させる第1定着部、第5のステーションは前記計測
された動釣合いに基づいて被調整体の他の部位に重りを
付着して釣合いを調整する第2調整部、第6のステーシ
ョンは付着した重りを定着させる第2定着部、第7のス
テーションは調整処理が完了された被調整体の動釣合い
を確認する確認部、第8のステーションは動釣合い調整
が完了された被調整体を回転テーブルから降載させるア
ンローダ部として構成される。
ブルの周囲に8つのステーションが形成され、第1のス
テーションは被調整体を回転テーブルに搭載するローダ
部、第2のステーションは被調整体の動釣合いを計測す
る計測部、第3のステーションは計測された動釣合いに
基づいて被調整体の一部に重りを付着して釣合いを調整
する第1調整部、第4のステーションは付着した重りを
定着させる第1定着部、第5のステーションは前記計測
された動釣合いに基づいて被調整体の他の部位に重りを
付着して釣合いを調整する第2調整部、第6のステーシ
ョンは付着した重りを定着させる第2定着部、第7のス
テーションは調整処理が完了された被調整体の動釣合い
を確認する確認部、第8のステーションは動釣合い調整
が完了された被調整体を回転テーブルから降載させるア
ンローダ部として構成される。
【0010】ここで、本発明においては、次の構成を備
えることが好ましい。回転テーブルは、前記複数のステ
ーションに対応する円周方向に等配された複数箇所にそ
れぞれ被調整体を搭載し、かつこの被調整体が前記複数
のステーションに対応する円周位置にそれぞれ回転位置
されるように間欠的に回転される。回転テーブル上には
被調整体を一体的に保持した状態で搭載可能な測定台
と、この測定台を前記回転テーブル上に弾性的に支持す
るための弾性支持体とが設けられ、かつ前記測定台には
前記被調整体の動釣合いを計測する際に測定台に生じる
加速度を検出するための加速度計が設けられる。回転テ
ーブルは、前記複数のステーションに対応する数の単位
テーブルを円周方向に配列した構成とされ、各単位テー
ブル上に測定台が搭載される。この測定台は、前記回転
テーブルの円周方向に等配された前記複数の箇所のそれ
ぞれにおいて弾性支持される。例えば、測定台は略矩形
をした板部材として形成され、その四隅部が回転テーブ
ルに固定支持された弾性支持体上に載置された状態で弾
性支持される。また、加速度計は、測定台の一方向に生
じる加速度を計測する第1加速度計と、これと垂直な方
向に生じる加速度を計測する第2加速度計とで構成され
る。
えることが好ましい。回転テーブルは、前記複数のステ
ーションに対応する円周方向に等配された複数箇所にそ
れぞれ被調整体を搭載し、かつこの被調整体が前記複数
のステーションに対応する円周位置にそれぞれ回転位置
されるように間欠的に回転される。回転テーブル上には
被調整体を一体的に保持した状態で搭載可能な測定台
と、この測定台を前記回転テーブル上に弾性的に支持す
るための弾性支持体とが設けられ、かつ前記測定台には
前記被調整体の動釣合いを計測する際に測定台に生じる
加速度を検出するための加速度計が設けられる。回転テ
ーブルは、前記複数のステーションに対応する数の単位
テーブルを円周方向に配列した構成とされ、各単位テー
ブル上に測定台が搭載される。この測定台は、前記回転
テーブルの円周方向に等配された前記複数の箇所のそれ
ぞれにおいて弾性支持される。例えば、測定台は略矩形
をした板部材として形成され、その四隅部が回転テーブ
ルに固定支持された弾性支持体上に載置された状態で弾
性支持される。また、加速度計は、測定台の一方向に生
じる加速度を計測する第1加速度計と、これと垂直な方
向に生じる加速度を計測する第2加速度計とで構成され
る。
【0011】また、本発明においては、測定台を前記弾
性支持体により支持されている位置よりも上方に持ち上
げ、かつその位置に固定的に支持するための昇降機構が
設けられる。この昇降機構は、回転テーブルの下側に配
置され、ピストンロッドが上下移動されるシリンダ手段
と、このピストンロッドの先端部に固定される昇降板と
この昇降板に立設された位置決めピンと位置規制ピンと
で構成され、ピストンロッドの上動に伴って昇降板と共
に各ピンが上動されたときに、位置決めピンはその上端
部が測定台に設けられた位置決め穴に嵌入されて測定台
の平面方向の位置を決定し、位置規制ピンはその上端面
が測定台の下面に当接されて測定台の上下方向の位置を
決定するように構成される。さらに、回転テーブルに
は、昇降機構の位置決めピン及び位置規制ピンに対応す
る位置にそれぞれピン挿通穴が開設され、各ピンを上下
に挿通可能に構成される。
性支持体により支持されている位置よりも上方に持ち上
げ、かつその位置に固定的に支持するための昇降機構が
設けられる。この昇降機構は、回転テーブルの下側に配
置され、ピストンロッドが上下移動されるシリンダ手段
と、このピストンロッドの先端部に固定される昇降板と
この昇降板に立設された位置決めピンと位置規制ピンと
で構成され、ピストンロッドの上動に伴って昇降板と共
に各ピンが上動されたときに、位置決めピンはその上端
部が測定台に設けられた位置決め穴に嵌入されて測定台
の平面方向の位置を決定し、位置規制ピンはその上端面
が測定台の下面に当接されて測定台の上下方向の位置を
決定するように構成される。さらに、回転テーブルに
は、昇降機構の位置決めピン及び位置規制ピンに対応す
る位置にそれぞれピン挿通穴が開設され、各ピンを上下
に挿通可能に構成される。
【0012】本発明は特に、被調整体として、ポリゴン
ミラーと、これを回転駆動するためのモータ部とを一体
的に構成したレーザスキャンモータであり、前記モータ
部を回転駆動したときの動釣合いを計測し、釣合いをと
るための重りの付着とその定着を行う装置として構成さ
れることが好ましい。
ミラーと、これを回転駆動するためのモータ部とを一体
的に構成したレーザスキャンモータであり、前記モータ
部を回転駆動したときの動釣合いを計測し、釣合いをと
るための重りの付着とその定着を行う装置として構成さ
れることが好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。図1,図2,図3は本発明を
レーザスキャンモータの動釣合いを調整するための調整
装置に適用した実施形態の全体構成を示す正面図、右側
面図、背面図である。また、図4はその平面図である。
枠構体として構成されているベースフレーム1上には回
転テーブル2が水平状態に支持されており、前記ベース
フレーム1内に設置された回転駆動機構3によって図4
の時計方向に間欠的に回転駆動される。この回転テーブ
ル2は後述するように8個の単位テーブル201が円周
方向に等配された構成であり、この回転テーブル2に対
する前記ベースフレーム1上には、その円周8箇所に等
分される位置に後述するように第1から第8までの各ス
テーションST1〜ST8が設けられており、回転テー
ブル2はこれら8つのステーションに対して各単位テー
ブル201が回転位置されるように間欠回転駆動され
る。
図面を参照して説明する。図1,図2,図3は本発明を
レーザスキャンモータの動釣合いを調整するための調整
装置に適用した実施形態の全体構成を示す正面図、右側
面図、背面図である。また、図4はその平面図である。
枠構体として構成されているベースフレーム1上には回
転テーブル2が水平状態に支持されており、前記ベース
フレーム1内に設置された回転駆動機構3によって図4
の時計方向に間欠的に回転駆動される。この回転テーブ
ル2は後述するように8個の単位テーブル201が円周
方向に等配された構成であり、この回転テーブル2に対
する前記ベースフレーム1上には、その円周8箇所に等
分される位置に後述するように第1から第8までの各ス
テーションST1〜ST8が設けられており、回転テー
ブル2はこれら8つのステーションに対して各単位テー
ブル201が回転位置されるように間欠回転駆動され
る。
【0014】この8つのステーションST1〜ST8
は、動釣合いが計測、調整される被調整体としてのレー
ザスキャンモータ4に対して、搬送部8から回転テーブ
ル2に移載するためのローダ部(第1ステーション)S
T1、移載されたレーザスキャンモータ4の動釣合いを
計測する計測部(第2ステーション)ST2、計測され
たレーザスキャンモータの一部に調整重りとしての樹脂
を滴着させるための第1調整部(第3ステーション)S
T3、着けられた重りを紫外光により硬化させて定着さ
せる第1定着部(第4ステーション)ST4、前記レー
ザスキャンモータ4の他の一部に調整重り用樹脂を滴着
させるための第2調整部(第5ステーション)ST5、
これを紫外光により硬化させて定着する第2定着部(第
6ステーション)ST6、以上の工程の後に動釣合いの
調整が適正であるか否かを確認するための確認部(第7
ステーション)ST7、調整が完了されたレーザスキャ
ンモータ4を搬送部8にまで移載するアンローダ部(第
8ステーション)ST8とで構成される。
は、動釣合いが計測、調整される被調整体としてのレー
ザスキャンモータ4に対して、搬送部8から回転テーブ
ル2に移載するためのローダ部(第1ステーション)S
T1、移載されたレーザスキャンモータ4の動釣合いを
計測する計測部(第2ステーション)ST2、計測され
たレーザスキャンモータの一部に調整重りとしての樹脂
を滴着させるための第1調整部(第3ステーション)S
T3、着けられた重りを紫外光により硬化させて定着さ
せる第1定着部(第4ステーション)ST4、前記レー
ザスキャンモータ4の他の一部に調整重り用樹脂を滴着
させるための第2調整部(第5ステーション)ST5、
これを紫外光により硬化させて定着する第2定着部(第
6ステーション)ST6、以上の工程の後に動釣合いの
調整が適正であるか否かを確認するための確認部(第7
ステーション)ST7、調整が完了されたレーザスキャ
ンモータ4を搬送部8にまで移載するアンローダ部(第
8ステーション)ST8とで構成される。
【0015】また、前記回転テーブル2に隣接する位置
の前記ベースプレート1上には、外部の搬送手段(図示
せず)から前記回転テーブル近傍位置にまで延設されて
レーザスキャンモータ4を往復搬送するための搬送部8
が設けられ、この搬送部8には前記レーザスキャンモー
タ4を搬送部8と前記ローダ部ST1およびアンローダ
部ST8との間で1個ずつ移載させるための搬送ロボッ
ト801が設けられる。前記搬送部8は、延設されたレ
ール802上をシャトル803が往復移動される構成と
され、このシャトル803によって釣合い調整が行われ
るレーザスキャンモータ4、あるいは釣合い調整が行わ
れたレーザスキャンモータ4がレール上802で搬送さ
れる。また、搬送ロボット801については、詳細な説
明は省略するが、前記ベースフレーム1上で水平回転さ
れる回転機構804と、この回転機構804に設けられ
て上下、左右の任意に移動されるアーム805と、この
アーム805の先端部に設けられてレーザスキャンモー
タ4を握持可能なフィンガ806とで構成され、後述す
る制御回路14によりその駆動が制御される。なお、図
1〜図3に符号15で示すものは、調整作業が行われて
いる状況を赤、青等の色光で表示するための表示灯であ
る。
の前記ベースプレート1上には、外部の搬送手段(図示
せず)から前記回転テーブル近傍位置にまで延設されて
レーザスキャンモータ4を往復搬送するための搬送部8
が設けられ、この搬送部8には前記レーザスキャンモー
タ4を搬送部8と前記ローダ部ST1およびアンローダ
部ST8との間で1個ずつ移載させるための搬送ロボッ
ト801が設けられる。前記搬送部8は、延設されたレ
ール802上をシャトル803が往復移動される構成と
され、このシャトル803によって釣合い調整が行われ
るレーザスキャンモータ4、あるいは釣合い調整が行わ
れたレーザスキャンモータ4がレール上802で搬送さ
れる。また、搬送ロボット801については、詳細な説
明は省略するが、前記ベースフレーム1上で水平回転さ
れる回転機構804と、この回転機構804に設けられ
て上下、左右の任意に移動されるアーム805と、この
アーム805の先端部に設けられてレーザスキャンモー
タ4を握持可能なフィンガ806とで構成され、後述す
る制御回路14によりその駆動が制御される。なお、図
1〜図3に符号15で示すものは、調整作業が行われて
いる状況を赤、青等の色光で表示するための表示灯であ
る。
【0016】ここで、前記した調整装置の機能について
その概略を説明する。図5は、前記した8つのステーシ
ョンST1〜ST8の各部で行われる動釣合いの計測、
調整を概念的に示す図である。また、図6は各部にわた
る動釣合いの調整工程の概略を示すフローチャートであ
る。回転テーブル2上には弾性の測定台支持体203に
より測定台5がフローティング状態に支持されており、
ローダ部ST1においてこの測定台5上にレーザスキャ
ンモータ4が搭載された後、計測部ST2においてレー
ザスキャンモータ4に通電を行い、ポリゴンミラー40
6を回転駆動する。また、測定台5には水平方向(X方
向、Y方向)および垂直方向の測定台5の振動を計測す
るための加速度計507,508が付設されており、ポ
リゴンミラー406が回転駆動されたときに発生される
振動をそれぞれ計測する。さらに、前記測定台5にはポ
リゴンミラー406の回転数を検出するフォトセンサ5
10が設けられる。そして、これら計測された振動と回
転数とに基づいて制御回路14としてのコンピュータに
おいて演算を行い、レーザスキャンモータ4の動釣合い
を計測し、かつ必要とされる重りを付着する位置や量が
計算される。
その概略を説明する。図5は、前記した8つのステーシ
ョンST1〜ST8の各部で行われる動釣合いの計測、
調整を概念的に示す図である。また、図6は各部にわた
る動釣合いの調整工程の概略を示すフローチャートであ
る。回転テーブル2上には弾性の測定台支持体203に
より測定台5がフローティング状態に支持されており、
ローダ部ST1においてこの測定台5上にレーザスキャ
ンモータ4が搭載された後、計測部ST2においてレー
ザスキャンモータ4に通電を行い、ポリゴンミラー40
6を回転駆動する。また、測定台5には水平方向(X方
向、Y方向)および垂直方向の測定台5の振動を計測す
るための加速度計507,508が付設されており、ポ
リゴンミラー406が回転駆動されたときに発生される
振動をそれぞれ計測する。さらに、前記測定台5にはポ
リゴンミラー406の回転数を検出するフォトセンサ5
10が設けられる。そして、これら計測された振動と回
転数とに基づいて制御回路14としてのコンピュータに
おいて演算を行い、レーザスキャンモータ4の動釣合い
を計測し、かつ必要とされる重りを付着する位置や量が
計算される。
【0017】次いで、第1調整部ST3では、2つのボ
ールネジ機構に支持されたディスペンサ11を有してお
り、一方のボールネジ機構1101で樹脂シリンダ11
06を前後移動させ、他方のボールネジ機構1107で
樹脂シリンダ1106内の紫外線硬化性の樹脂を吐出さ
せ、ポリゴンミラー406の表面に樹脂を滴着させ、ポ
リゴンミラーの動釣合いを変化させる。このとき、計測
部において計算された重りの量や位置に基づいて、ポリ
ゴンミラー406を位置決めモータ機構12によって回
転させ、その計算された位置をディスペンサ11に対向
位置させた上で所要量の樹脂が滴下される。また、第1
定着部ST4では、紫外線ランプ1301から出射され
る紫外線を光ファイバ1302によりポリゴンミラー4
06上にまで導き、滴下された樹脂に紫外線を照射して
硬化させ、定着させる。
ールネジ機構に支持されたディスペンサ11を有してお
り、一方のボールネジ機構1101で樹脂シリンダ11
06を前後移動させ、他方のボールネジ機構1107で
樹脂シリンダ1106内の紫外線硬化性の樹脂を吐出さ
せ、ポリゴンミラー406の表面に樹脂を滴着させ、ポ
リゴンミラーの動釣合いを変化させる。このとき、計測
部において計算された重りの量や位置に基づいて、ポリ
ゴンミラー406を位置決めモータ機構12によって回
転させ、その計算された位置をディスペンサ11に対向
位置させた上で所要量の樹脂が滴下される。また、第1
定着部ST4では、紫外線ランプ1301から出射され
る紫外線を光ファイバ1302によりポリゴンミラー4
06上にまで導き、滴下された樹脂に紫外線を照射して
硬化させ、定着させる。
【0018】第2調整部ST5、第2定着部ST6もそ
れぞれ同様である。ただし、同図に鎖線で示すディスペ
ンサ11Aによって滴着する樹脂は、ポリゴンミラー4
06の動釣合いの反対側となるロータ405の表面上に
行われる。さらに、確認部ST7は、計測部と同様であ
り、レーザスキャンモータ4を回転駆動して測定台5で
の加速度を計測することで、動釣合いが適正に調整され
ているか否かが確認される。
れぞれ同様である。ただし、同図に鎖線で示すディスペ
ンサ11Aによって滴着する樹脂は、ポリゴンミラー4
06の動釣合いの反対側となるロータ405の表面上に
行われる。さらに、確認部ST7は、計測部と同様であ
り、レーザスキャンモータ4を回転駆動して測定台5で
の加速度を計測することで、動釣合いが適正に調整され
ているか否かが確認される。
【0019】そして、動釣合いが正しく調整されたレー
ザスキャンモータ4は、アンローダ部ST8において搬
送ロボット801により搬送部に搬出される。調整が適
正でないレーザスキャンモータ4は回転テーブル2に搭
載されたまま、再び前記した工程が繰り返される。な
お、動釣合いの調整は、前記したようにポリゴンミラー
の上面側と、このボリゴンミラーを回転駆動するための
後述するロータの上面側とに重りを着ける二面バランス
調整の他に、いずれか一方の面にのみ重りを着ける一面
バランス調整を行うこともあり、この場合には第1定着
部ST4の工程が終了した後に、第2調整部ST5と第
2定着部ST6での工程を素通りさせて確認部ST7へ
の工程に移行されることになる。
ザスキャンモータ4は、アンローダ部ST8において搬
送ロボット801により搬送部に搬出される。調整が適
正でないレーザスキャンモータ4は回転テーブル2に搭
載されたまま、再び前記した工程が繰り返される。な
お、動釣合いの調整は、前記したようにポリゴンミラー
の上面側と、このボリゴンミラーを回転駆動するための
後述するロータの上面側とに重りを着ける二面バランス
調整の他に、いずれか一方の面にのみ重りを着ける一面
バランス調整を行うこともあり、この場合には第1定着
部ST4の工程が終了した後に、第2調整部ST5と第
2定着部ST6での工程を素通りさせて確認部ST7へ
の工程に移行されることになる。
【0020】ここで、本発明装置において調整が行われ
る前記したレーザスキャンモータについて説明する。図
7(a),(b)にその平面図と断面図を示すように、
レーザスギャンユニット4は、モータベース401上に
回路基板402が配置され、この回路基板402を貫通
するように回転軸403がベアリング404により軸転
可能に軸支されている。この回転軸403の先端部には
マグネットで構成されるロータ405とポリゴンミラー
406とが軸方向に並んで軸装され、押えバネ407に
より回転軸403に固定される。また、これと反対側の
回転軸403の基端部には回転軸403にスラスト力を
付勢するための予圧バネ408とバネ押え板409が固
定されている。そして、前記回路基板402には前記ロ
ータ405に対向してコイル410が固定支持されてお
り、このコイル410と前記ロータ405とで回転駆動
力を発生させるモータ部が構成され、このモータ部によ
って前記回転軸403を回転させ、ポリゴンミラー40
6を回転駆動させる。また、前記回路基板402には前
記コイル410に通電する電流を制御するためのIC
(集積回路)411が搭載されるとともに、その表面の
一部にはこのICに電気接続される複数のコンタクト4
13が配列されている。このコンタクト413には、後
述するようにレーザスキャンモータ4を回転駆動させる
ための図外の駆動回路が電気接続される。さらに、前記
モータベース401と回路基板402には同じ位置に位
置決め穴414が設けられており、後述する測定台5に
立設される位置決めピン506が挿通される。
る前記したレーザスキャンモータについて説明する。図
7(a),(b)にその平面図と断面図を示すように、
レーザスギャンユニット4は、モータベース401上に
回路基板402が配置され、この回路基板402を貫通
するように回転軸403がベアリング404により軸転
可能に軸支されている。この回転軸403の先端部には
マグネットで構成されるロータ405とポリゴンミラー
406とが軸方向に並んで軸装され、押えバネ407に
より回転軸403に固定される。また、これと反対側の
回転軸403の基端部には回転軸403にスラスト力を
付勢するための予圧バネ408とバネ押え板409が固
定されている。そして、前記回路基板402には前記ロ
ータ405に対向してコイル410が固定支持されてお
り、このコイル410と前記ロータ405とで回転駆動
力を発生させるモータ部が構成され、このモータ部によ
って前記回転軸403を回転させ、ポリゴンミラー40
6を回転駆動させる。また、前記回路基板402には前
記コイル410に通電する電流を制御するためのIC
(集積回路)411が搭載されるとともに、その表面の
一部にはこのICに電気接続される複数のコンタクト4
13が配列されている。このコンタクト413には、後
述するようにレーザスキャンモータ4を回転駆動させる
ための図外の駆動回路が電気接続される。さらに、前記
モータベース401と回路基板402には同じ位置に位
置決め穴414が設けられており、後述する測定台5に
立設される位置決めピン506が挿通される。
【0021】前記回転テーブル2は、図8に平面図を示
すように、台形に近い形状をした板部材で形成された8
枚の単位テーブル201で構成されており、各単位テー
ブル201は前記回転駆動機構3によって水平回転され
る回転テーブル2の中心回転板202の周縁に沿って等
しく配置され、それぞれの短辺部が前記中心回転板20
2に固定され、これと共に一体的に回動される。前記単
位テーブル201は、図9に拡大平面図を示すように、
上面の四隅位置にそれぞれ弾性材からなる測定台支持体
203が固定されており、これらの支持体203により
後述する測定台5の四隅を支承し、測定台を単位テーブ
ル201上に水平に弾性支持することができる。ここで
は、支持体203を構成する弾性材として内部に多数の
気泡を形成したゴムスポンジを用いており、その上面に
は測定台の角部を受け入れるための角溝204が形成さ
れ、また底面には支持片205が接着され、この支持片
205を回転テーブル2にネジ止めすることでその固定
を行っている。
すように、台形に近い形状をした板部材で形成された8
枚の単位テーブル201で構成されており、各単位テー
ブル201は前記回転駆動機構3によって水平回転され
る回転テーブル2の中心回転板202の周縁に沿って等
しく配置され、それぞれの短辺部が前記中心回転板20
2に固定され、これと共に一体的に回動される。前記単
位テーブル201は、図9に拡大平面図を示すように、
上面の四隅位置にそれぞれ弾性材からなる測定台支持体
203が固定されており、これらの支持体203により
後述する測定台5の四隅を支承し、測定台を単位テーブ
ル201上に水平に弾性支持することができる。ここで
は、支持体203を構成する弾性材として内部に多数の
気泡を形成したゴムスポンジを用いており、その上面に
は測定台の角部を受け入れるための角溝204が形成さ
れ、また底面には支持片205が接着され、この支持片
205を回転テーブル2にネジ止めすることでその固定
を行っている。
【0022】また、支持される測定台5の直下に相当す
る領域には、後述する昇降機構6の位置決めピン、高さ
規制ピンが上下に挿通されるための6個のピン挿通穴2
06が開口されている。さらに支持される測定台の側縁
に相当する位置には、測定台に対して柔軟なコード21
9により電気配線された接点板207が固定されてお
り、この接点板207の表面には4個のセンサ用接点2
08と2個の加速度計用接点209が形成されている。
また、前記回転テーブル2上には、前記接点板207に
隣接してロック機構210が設けられている。このロッ
ク機構210は、水平方向に移動可能に支持されたロッ
クピン211と、このロックピン211を測定台側に移
動させるためのレバー212と、このレバー212を退
避位置に付勢するためのバネ213とを備えており、後
述するロックシリンダによりレバー212をバネ213
力に抗して回動させることで、ロックピン211を測定
台方向に向けて移動させ、後述するように測定台に設け
たロック孔に嵌入されることができる。
る領域には、後述する昇降機構6の位置決めピン、高さ
規制ピンが上下に挿通されるための6個のピン挿通穴2
06が開口されている。さらに支持される測定台の側縁
に相当する位置には、測定台に対して柔軟なコード21
9により電気配線された接点板207が固定されてお
り、この接点板207の表面には4個のセンサ用接点2
08と2個の加速度計用接点209が形成されている。
また、前記回転テーブル2上には、前記接点板207に
隣接してロック機構210が設けられている。このロッ
ク機構210は、水平方向に移動可能に支持されたロッ
クピン211と、このロックピン211を測定台側に移
動させるためのレバー212と、このレバー212を退
避位置に付勢するためのバネ213とを備えており、後
述するロックシリンダによりレバー212をバネ213
力に抗して回動させることで、ロックピン211を測定
台方向に向けて移動させ、後述するように測定台に設け
たロック孔に嵌入されることができる。
【0023】前記したレーザスキャンモータ4を搭載す
る測定台5は、図10(a),(b),(c)にその平
面図、一部を破断した正面図、右側面図をそれぞれ示す
ように、回転テーブル2の測定台支持体203により四
隅が支持されて回転テーブル2上で略水平にかつ弾性的
に支持される矩形の板部材で構成される。この測定台5
には前記回転テーブル2のピン挿通穴206を下方から
上方に向けて貫通された後述する昇降機構の位置決めピ
ンの先端に嵌合されるブッシュ501を有する位置決め
穴502が開設される。また、測定台5の略中央には円
形の凹部503が形成され、この凹部503の内底面に
は円環状の永久磁石504を固定円板505により支持
している。この凹部503は、前記レーザスキャンモー
タ4の回転軸403の基端部を受け入れることができ、
その状態ではこの回転軸403の基端部に取着されてい
るバネ押え板409を永久磁石504によって磁着し、
レーザスキャンモータ4を測定台5上に固定的に支持さ
せる。また、この凹部503から離れた位置の測定台5
の表面には位置決めピン506が立設されており、レー
ザスキャンモータ4に開設された前記位置決め穴414
に嵌入され、レーザスキャンモータ4が測定台5上で回
転方向に移動されることを防止する。
る測定台5は、図10(a),(b),(c)にその平
面図、一部を破断した正面図、右側面図をそれぞれ示す
ように、回転テーブル2の測定台支持体203により四
隅が支持されて回転テーブル2上で略水平にかつ弾性的
に支持される矩形の板部材で構成される。この測定台5
には前記回転テーブル2のピン挿通穴206を下方から
上方に向けて貫通された後述する昇降機構の位置決めピ
ンの先端に嵌合されるブッシュ501を有する位置決め
穴502が開設される。また、測定台5の略中央には円
形の凹部503が形成され、この凹部503の内底面に
は円環状の永久磁石504を固定円板505により支持
している。この凹部503は、前記レーザスキャンモー
タ4の回転軸403の基端部を受け入れることができ、
その状態ではこの回転軸403の基端部に取着されてい
るバネ押え板409を永久磁石504によって磁着し、
レーザスキャンモータ4を測定台5上に固定的に支持さ
せる。また、この凹部503から離れた位置の測定台5
の表面には位置決めピン506が立設されており、レー
ザスキャンモータ4に開設された前記位置決め穴414
に嵌入され、レーザスキャンモータ4が測定台5上で回
転方向に移動されることを防止する。
【0024】さらに、測定台5には、測定台5に生じる
水平方向の加速度と、垂直方向に生じる加速度をそれぞ
れ測定するための加速度計507,508が固定支持さ
れている。さらに、前記凹部503に隣接する位置の測
定台5の表面には、センサ基板509が立設されてお
り、ここに反射型のフォトセンサ510が支持される。
このフォトセンサ510は、測定台5に搭載されるレー
ザスキャンモータ4のロータ405の周側面に対向する
ようにその支持位置が特定されており、ロータ405の
周側面の円周一部に形成されているマーク412を光学
的に検出し、この検出結果からロータ405の回転数や
回転位置等の回転状態を検出する。
水平方向の加速度と、垂直方向に生じる加速度をそれぞ
れ測定するための加速度計507,508が固定支持さ
れている。さらに、前記凹部503に隣接する位置の測
定台5の表面には、センサ基板509が立設されてお
り、ここに反射型のフォトセンサ510が支持される。
このフォトセンサ510は、測定台5に搭載されるレー
ザスキャンモータ4のロータ405の周側面に対向する
ようにその支持位置が特定されており、ロータ405の
周側面の円周一部に形成されているマーク412を光学
的に検出し、この検出結果からロータ405の回転数や
回転位置等の回転状態を検出する。
【0025】また、測定台5の他の一部には、強磁性体
で形成されたロック片511がネジにより固定される。
このロック片511には測定台5の側面方向に向けてロ
ック孔512が開設されており、測定台5が前記回転テ
ーブル2上に支持されたときには回転テーブル2の前記
ロックピン211に対向位置される。そして、このロッ
クピン211がバネ213の弾性力に抗して突出動作さ
れたときに、ロックピン211の先端がロック孔512
に嵌入され、測定台5を回転テーブル2に対して一体的
に固定させる。また、このロック片511の一部は測定
台5の表面に露呈されて磁着部513として構成されて
おり、かつその両側には一対の小ピン514が立設され
ており、後述するコンタクトピン取付台が磁着部513
に磁力で吸着されたときにコンタクトピン取付台の位置
決めを行う。
で形成されたロック片511がネジにより固定される。
このロック片511には測定台5の側面方向に向けてロ
ック孔512が開設されており、測定台5が前記回転テ
ーブル2上に支持されたときには回転テーブル2の前記
ロックピン211に対向位置される。そして、このロッ
クピン211がバネ213の弾性力に抗して突出動作さ
れたときに、ロックピン211の先端がロック孔512
に嵌入され、測定台5を回転テーブル2に対して一体的
に固定させる。また、このロック片511の一部は測定
台5の表面に露呈されて磁着部513として構成されて
おり、かつその両側には一対の小ピン514が立設され
ており、後述するコンタクトピン取付台が磁着部513
に磁力で吸着されたときにコンタクトピン取付台の位置
決めを行う。
【0026】ここで、前記測定台5を単位テーブル20
1、すなわち回転テーブル2に対して一体化させ、或い
は回転テーブル2上でフローティング支持状態とさせる
ことを切り替えるための昇降機構6を説明する。図11
はその下降時の状態を示す正面図、図12は上昇時の状
態を示す正面図であり、前記ベースフレーム1の下部に
は、ピストンロッド602を上下移動させるエアシリン
ダ601が固定され、このピストンロッド602に水平
配置した昇降板603が固定される。この昇降板603
には、回転テーブル2に開設したピン挿通穴206を挿
通される4本の位置規制ピン604と2本の位置決めピ
ン605が立設されている。前記位置決めピン605の
上端部は、前記測定台5の位置決め穴502のブッシュ
501内に嵌入し得るように細くされ、かつ位置規制ピ
ン604よりも測定台5の厚さ分だけ上方に長く形成さ
れている。また、位置規制ピン604の上端面は測定台
5の下面を支承するように平坦化されている。なお、前
記昇降板603は、上下に対向配置されるベースプレー
ト608とアッパープレート609とを連結するガイド
ポスト607により案内されて上下移動される。
1、すなわち回転テーブル2に対して一体化させ、或い
は回転テーブル2上でフローティング支持状態とさせる
ことを切り替えるための昇降機構6を説明する。図11
はその下降時の状態を示す正面図、図12は上昇時の状
態を示す正面図であり、前記ベースフレーム1の下部に
は、ピストンロッド602を上下移動させるエアシリン
ダ601が固定され、このピストンロッド602に水平
配置した昇降板603が固定される。この昇降板603
には、回転テーブル2に開設したピン挿通穴206を挿
通される4本の位置規制ピン604と2本の位置決めピ
ン605が立設されている。前記位置決めピン605の
上端部は、前記測定台5の位置決め穴502のブッシュ
501内に嵌入し得るように細くされ、かつ位置規制ピ
ン604よりも測定台5の厚さ分だけ上方に長く形成さ
れている。また、位置規制ピン604の上端面は測定台
5の下面を支承するように平坦化されている。なお、前
記昇降板603は、上下に対向配置されるベースプレー
ト608とアッパープレート609とを連結するガイド
ポスト607により案内されて上下移動される。
【0027】この昇降機構6では、エアシリンダ601
によりピストンロッド602が上昇されると、これと一
体に昇降板603が上昇され、昇降板603に立設した
位置規制ピン604と位置決めピン605が上昇され
る。そして、これらのピンは回転テーブル2に設けられ
ているピン挿通穴206を下方から上方に挿通され、位
置決めピン605の上端部が測定台5の位置決め穴50
2のブッシュ501に嵌入して測定台5の平面方向の位
置決めを行う。また、位置規制ピン604の先端面は測
定台5の下面に当接されて測定台5を支承し、この位置
規制ピン604の上昇によって測定台5を回転テーブル
2上の所定の高さ位置、すなわち測定台5が通常におい
て測定台支持体203により支持されている高さ位置よ
りも高い位置に持ち上げてその位置を固定させる。な
お、この昇降板603の上限位置はピストンロッド60
2の先端が、ベースフレーム1の一部に設けられたスト
ッパ606に当接することで規制される。
によりピストンロッド602が上昇されると、これと一
体に昇降板603が上昇され、昇降板603に立設した
位置規制ピン604と位置決めピン605が上昇され
る。そして、これらのピンは回転テーブル2に設けられ
ているピン挿通穴206を下方から上方に挿通され、位
置決めピン605の上端部が測定台5の位置決め穴50
2のブッシュ501に嵌入して測定台5の平面方向の位
置決めを行う。また、位置規制ピン604の先端面は測
定台5の下面に当接されて測定台5を支承し、この位置
規制ピン604の上昇によって測定台5を回転テーブル
2上の所定の高さ位置、すなわち測定台5が通常におい
て測定台支持体203により支持されている高さ位置よ
りも高い位置に持ち上げてその位置を固定させる。な
お、この昇降板603の上限位置はピストンロッド60
2の先端が、ベースフレーム1の一部に設けられたスト
ッパ606に当接することで規制される。
【0028】また、前記第2ステーションST2、第7
ステーションST7、および第8ステーションST8に
おける前記ベースフレーム1の下部には、図13に正面
図を示すように、前記回転テーブル2に設けられたロッ
ク機構210を駆動するためのロック駆動機構7が設け
られる。このロック駆動機構7は、エアシリンダ701
が上方に向けて支柱により支持されており、このエアシ
リンダ701が駆動されてプランジャ702が上方に向
け突出されたときには、回転テーブル2に設けたロック
機構210のレバー212を上方に押圧することでロッ
クピン211を測定台5のロック孔512に嵌入させる
動作を行う。このロック動作により、後述するコンタク
トピン取付台を測定台5から持ち上げる際やレーザスキ
ャンモータ4を測定台5から持ち上げる際に、回転テー
ブル2上の測定台5が回転テーブル2から持ち上げられ
ないようにすることが可能となる。
ステーションST7、および第8ステーションST8に
おける前記ベースフレーム1の下部には、図13に正面
図を示すように、前記回転テーブル2に設けられたロッ
ク機構210を駆動するためのロック駆動機構7が設け
られる。このロック駆動機構7は、エアシリンダ701
が上方に向けて支柱により支持されており、このエアシ
リンダ701が駆動されてプランジャ702が上方に向
け突出されたときには、回転テーブル2に設けたロック
機構210のレバー212を上方に押圧することでロッ
クピン211を測定台5のロック孔512に嵌入させる
動作を行う。このロック動作により、後述するコンタク
トピン取付台を測定台5から持ち上げる際やレーザスキ
ャンモータ4を測定台5から持ち上げる際に、回転テー
ブル2上の測定台5が回転テーブル2から持ち上げられ
ないようにすることが可能となる。
【0029】次に、前記した各ステーションに構成され
た各部の詳細を個々に説明する。 (第1ステーション:ローダ部)ローダ部ST1では、
図14にフローチャートを示すように、回転テーブル2
上に載置されている測定台5上に、搬送ロボット801
により調整が行われるレーザスキャンモータ4が搭載さ
れる。このレーザスキャンモータ4は、搬送部8におい
て、図外の外部供給源からレール802上を移動される
シャトル803によって搬送ロボット801の位置にま
で搬送された上で、搬送ロボット801のフィンガ80
6に握持され、アーム805と回転機構804との関連
された動作によって行われる。
た各部の詳細を個々に説明する。 (第1ステーション:ローダ部)ローダ部ST1では、
図14にフローチャートを示すように、回転テーブル2
上に載置されている測定台5上に、搬送ロボット801
により調整が行われるレーザスキャンモータ4が搭載さ
れる。このレーザスキャンモータ4は、搬送部8におい
て、図外の外部供給源からレール802上を移動される
シャトル803によって搬送ロボット801の位置にま
で搬送された上で、搬送ロボット801のフィンガ80
6に握持され、アーム805と回転機構804との関連
された動作によって行われる。
【0030】このとき、測定台5を回転テーブル2の上
に安定に保持するために、前記昇降機構6のエアシリン
ダ601が駆動され、昇降板603が上昇される。これ
により、4本の位置規制ピン604と2本の位置決めピ
ン605が上昇され、前記したように2本の位置決めピ
ン605の上端部が測定台5の位置決め穴502に侵入
されてその平面位置が規制される。また、これと同時に
4本の位置規制ピン604の上端面が測定台5の下面に
当接されて、これを持ち上げるため、測定台5はこれら
位置規制ピン604によってその下面が支承され、安定
かつ強固な状態で保持される。この状態で前記搬送ロボ
ット801がレーザスキャンモータ4を測定台の上にま
で搬送し、測定台5の上に載置する。この状態は図15
(a),(b)の平面図と正面図に示す通りであり、搬
送ロボット801がレーザスキャンモータ4を高精度に
位置管理していることにより、レーザスキャンモータ4
はモータベース401の下方に突出された部分が測定台
5の凹部503に嵌入され、円環状の永久磁石504が
ロータ405に設けられたバネ押え板409を磁着す
る。なお、この測定台5は回転テーブル2上に搭載され
ており、その状態を図16の平面図に示す。
に安定に保持するために、前記昇降機構6のエアシリン
ダ601が駆動され、昇降板603が上昇される。これ
により、4本の位置規制ピン604と2本の位置決めピ
ン605が上昇され、前記したように2本の位置決めピ
ン605の上端部が測定台5の位置決め穴502に侵入
されてその平面位置が規制される。また、これと同時に
4本の位置規制ピン604の上端面が測定台5の下面に
当接されて、これを持ち上げるため、測定台5はこれら
位置規制ピン604によってその下面が支承され、安定
かつ強固な状態で保持される。この状態で前記搬送ロボ
ット801がレーザスキャンモータ4を測定台の上にま
で搬送し、測定台5の上に載置する。この状態は図15
(a),(b)の平面図と正面図に示す通りであり、搬
送ロボット801がレーザスキャンモータ4を高精度に
位置管理していることにより、レーザスキャンモータ4
はモータベース401の下方に突出された部分が測定台
5の凹部503に嵌入され、円環状の永久磁石504が
ロータ405に設けられたバネ押え板409を磁着す
る。なお、この測定台5は回転テーブル2上に搭載され
ており、その状態を図16の平面図に示す。
【0031】(第2ステーション:計測部)動釣合いの
計測部ST2では、図17(a),(b)に正面図と側
面図を示すように、回転テーブル2の上方領域に2つの
通電機構9が設けられる。第1の通電機構は回転テーブ
ル2上の領域において前記ベースフレーム1上に構築さ
れたアッパーフレーム101に下方に向けられて支持さ
れたエアシリンダ901と、このエアシリンダ901の
下端から突出動作されるピストンロッド902の先端に
固定された接点構体903とで構成される。この接点構
体903は絶縁性の支持体906に4本の固定接点ピン
904と、2本の伸縮接点ピン905とが下方に向けて
突出支持されており、これらは前記制御回路14に電気
接続されている。そして、これらの固定接点ピン904
と伸縮接点ピン905は、前記エアシリンダ901の動
作により支持体906が下方に移動されたときに、それ
ぞれ回転テーブル2に設けられている接点板207の4
個のセンサ用接点208と2個の加速度計用接点209
にそれぞれ接触し、相互に電気接続される。
計測部ST2では、図17(a),(b)に正面図と側
面図を示すように、回転テーブル2の上方領域に2つの
通電機構9が設けられる。第1の通電機構は回転テーブ
ル2上の領域において前記ベースフレーム1上に構築さ
れたアッパーフレーム101に下方に向けられて支持さ
れたエアシリンダ901と、このエアシリンダ901の
下端から突出動作されるピストンロッド902の先端に
固定された接点構体903とで構成される。この接点構
体903は絶縁性の支持体906に4本の固定接点ピン
904と、2本の伸縮接点ピン905とが下方に向けて
突出支持されており、これらは前記制御回路14に電気
接続されている。そして、これらの固定接点ピン904
と伸縮接点ピン905は、前記エアシリンダ901の動
作により支持体906が下方に移動されたときに、それ
ぞれ回転テーブル2に設けられている接点板207の4
個のセンサ用接点208と2個の加速度計用接点209
にそれぞれ接触し、相互に電気接続される。
【0032】なお、前記伸縮接点ピン905は、図18
に示すように、一対の筒状の絶縁筒907によって絶縁
支持された同心構造の内接触子908と外接触子909
とで構成され、内接触子908は絶縁筒907の内部に
軸方向に移動可能に内装され、同じく絶縁筒907の内
部に弾装された小径コイルスプリング910によりその
突出方向に付勢される。また、外接触子909は絶縁筒
907と一体に形成されており、その外周面には取付ス
リーブ911が嵌挿され、外接触子909に設けたスト
ッパ912によりその脱落が防止されるとともに、外接
触子909の外周部に嵌装した大径コイルスプリング9
13により外接触子909に対して相対的に軸移動可能
とされている。したがって、この取付スリーブ911を
前記支持体906に固定支持させれば、支持体906に
対して外接触子909が大径コイルスプリング913の
弾性力によって先端方向に突出するように付勢され、さ
らにこの外接触子913に対して内接触子908が小径
コイルスプリング910によって突出方向に付勢され、
これらの付勢力によって外接触子909と内接触子90
8のそれぞれが同時に前記接点板207の加速度計用接
点209に電気接続されることになる。
に示すように、一対の筒状の絶縁筒907によって絶縁
支持された同心構造の内接触子908と外接触子909
とで構成され、内接触子908は絶縁筒907の内部に
軸方向に移動可能に内装され、同じく絶縁筒907の内
部に弾装された小径コイルスプリング910によりその
突出方向に付勢される。また、外接触子909は絶縁筒
907と一体に形成されており、その外周面には取付ス
リーブ911が嵌挿され、外接触子909に設けたスト
ッパ912によりその脱落が防止されるとともに、外接
触子909の外周部に嵌装した大径コイルスプリング9
13により外接触子909に対して相対的に軸移動可能
とされている。したがって、この取付スリーブ911を
前記支持体906に固定支持させれば、支持体906に
対して外接触子909が大径コイルスプリング913の
弾性力によって先端方向に突出するように付勢され、さ
らにこの外接触子913に対して内接触子908が小径
コイルスプリング910によって突出方向に付勢され、
これらの付勢力によって外接触子909と内接触子90
8のそれぞれが同時に前記接点板207の加速度計用接
点209に電気接続されることになる。
【0033】また、前記接点板207は前記した通りで
あるが、図19にその断面構造を示すように絶縁性の基
板214に4個の面接触接点構造のセンサ用接点208
と、2個の筒状接触接点構造の加速度計用接点209が
形成されている。前記絶縁性の基板214は枠状のスペ
ーサ215で周辺部が補強されており、前記回転テーブ
ル2の表面一部にネジ等により固定される。ここで、前
記加速度計用接点209は、絶縁筒216を挟んで内接
点217と外接点218が同軸に設けられており、前記
伸縮接点ピン905の内接触子908と外接触子909
がそれぞれ接触して電気接続される。そして、前記セン
サ用接点208は柔軟なコード219により測定台5の
フォトセンサ510に電気接続され、同じく加速度計用
接点209は柔軟な同軸コード220により測定台5の
2つの加速度計507,508にそれぞれ電気接続され
る。
あるが、図19にその断面構造を示すように絶縁性の基
板214に4個の面接触接点構造のセンサ用接点208
と、2個の筒状接触接点構造の加速度計用接点209が
形成されている。前記絶縁性の基板214は枠状のスペ
ーサ215で周辺部が補強されており、前記回転テーブ
ル2の表面一部にネジ等により固定される。ここで、前
記加速度計用接点209は、絶縁筒216を挟んで内接
点217と外接点218が同軸に設けられており、前記
伸縮接点ピン905の内接触子908と外接触子909
がそれぞれ接触して電気接続される。そして、前記セン
サ用接点208は柔軟なコード219により測定台5の
フォトセンサ510に電気接続され、同じく加速度計用
接点209は柔軟な同軸コード220により測定台5の
2つの加速度計507,508にそれぞれ電気接続され
る。
【0034】また、図20(a),(b)に正面図と側
面図を示すように、前記通電機構9の第2の通電機構と
して、前記エアシリンダ901と並列に別のエアシリン
ダ914がアッパフレーム101に支持されており、下
方に向けられたピストンロッド915の下端部には電気
信号に基づいて開閉動作される一対のジョー917を備
えるチャック916が設けられており、このチャック9
16には、コンタクトピン取付台918が挟持される。
このコンタクトピン取付台918は、図21(a),
(b)の正面図と側面図のように、下面に永久磁石91
9を有する逆L字型の絶縁体920を有しており、この
絶縁体920には複数本のコンタクトピン921が下方
に向けて突出支持されている。また、絶縁体920の下
面の両側部には、前記測定台5のロック片511の両側
に立設された小ピン514が嵌合される嵌合孔922が
あけられている。前記コンタクトピン921はその上端
において図外のコードにより前記レーザスキャンモータ
4を回転駆動させるための駆動回路(図示せず)に電気
接続されている。そして、このコンタクトピン取付台9
18は、ピストンロッド915が下降されたときに、そ
の下面の永久磁石919が測定台5のロック片511に
磁力で吸着し、かつ2つの嵌合孔922がそれぞれ小ピ
ン514に嵌合されることで、測定台5上に固定的に立
設される。そして、図22(a),(b)のように、チ
ャック916を開動作させ、ピストンロッド915を上
昇させると、図23(a),(b),(c)に平面図、
正面図、左側面図を示すように、絶縁体920は測定台
5の上面に立設された状態が保持され、かつこの立設さ
れた状態では各コンタクトピン921がレーザスキャン
モータ4の回路基板402に設けられているコンタクト
413にそれぞれ接触し、相互に電気接続が行われる。
面図を示すように、前記通電機構9の第2の通電機構と
して、前記エアシリンダ901と並列に別のエアシリン
ダ914がアッパフレーム101に支持されており、下
方に向けられたピストンロッド915の下端部には電気
信号に基づいて開閉動作される一対のジョー917を備
えるチャック916が設けられており、このチャック9
16には、コンタクトピン取付台918が挟持される。
このコンタクトピン取付台918は、図21(a),
(b)の正面図と側面図のように、下面に永久磁石91
9を有する逆L字型の絶縁体920を有しており、この
絶縁体920には複数本のコンタクトピン921が下方
に向けて突出支持されている。また、絶縁体920の下
面の両側部には、前記測定台5のロック片511の両側
に立設された小ピン514が嵌合される嵌合孔922が
あけられている。前記コンタクトピン921はその上端
において図外のコードにより前記レーザスキャンモータ
4を回転駆動させるための駆動回路(図示せず)に電気
接続されている。そして、このコンタクトピン取付台9
18は、ピストンロッド915が下降されたときに、そ
の下面の永久磁石919が測定台5のロック片511に
磁力で吸着し、かつ2つの嵌合孔922がそれぞれ小ピ
ン514に嵌合されることで、測定台5上に固定的に立
設される。そして、図22(a),(b)のように、チ
ャック916を開動作させ、ピストンロッド915を上
昇させると、図23(a),(b),(c)に平面図、
正面図、左側面図を示すように、絶縁体920は測定台
5の上面に立設された状態が保持され、かつこの立設さ
れた状態では各コンタクトピン921がレーザスキャン
モータ4の回路基板402に設けられているコンタクト
413にそれぞれ接触し、相互に電気接続が行われる。
【0035】また、この計測部ST2では、図4に示さ
れているように、回転テーブル2に臨むベースフレーム
1にエアブレーキ10が配置される。このエアブレーキ
10は、レーザスキャンモータ4のポリゴンミラー40
6の側面に対して、しかもその回転中心に対してポリゴ
ンミラーの回転方向に偏心させた位置にその先端を向け
たノズル1001を有しており、このノズル1001か
ら圧縮空気を吐出してポリゴンミラー406の側面に吹
きつけるように構成される。このエアブレーキ10は、
レーザスキャンモータ4の動釣合いを計測した後に、モ
ータ部への電源供給を停止した後にも慣性によって回転
されるポリゴンミラー406の回転にブレーキをかけ、
ポリゴンミラー406及びロータ405を短時間で回転
停止させることが可能となる。
れているように、回転テーブル2に臨むベースフレーム
1にエアブレーキ10が配置される。このエアブレーキ
10は、レーザスキャンモータ4のポリゴンミラー40
6の側面に対して、しかもその回転中心に対してポリゴ
ンミラーの回転方向に偏心させた位置にその先端を向け
たノズル1001を有しており、このノズル1001か
ら圧縮空気を吐出してポリゴンミラー406の側面に吹
きつけるように構成される。このエアブレーキ10は、
レーザスキャンモータ4の動釣合いを計測した後に、モ
ータ部への電源供給を停止した後にも慣性によって回転
されるポリゴンミラー406の回転にブレーキをかけ、
ポリゴンミラー406及びロータ405を短時間で回転
停止させることが可能となる。
【0036】この計測部ST2での動作は、図24にフ
ローチャートを示すように、レーザスキャンモータ4を
搭載した測定台5が回転テーブル2と共に第2ステーシ
ョン位置に回転位置されると、昇降機構6が上昇し、ロ
ーダ部ST1の場合と同様に測定台5を測定台支持体2
03の上方に持ち上げて安定支持させる。ついで、第1
通電機構のエアシリンダ901が下降動作され、下降さ
れた接点構体903が回転テーブル2の接点板207に
接触され、センサ用接点208と加速度計用接点209
にそれぞれ固定、伸縮の各接点ピン904,905が接
触され、測定台5のフォトセンサ510と加速度計50
7,508がそれぞれ外部の制御回路14に電気接続さ
れる。また、同時に第2通電機構のエアシリンダ914
が下降動作され、コンタクトピン取付台918が測定台
5のロック片511に磁着される。エアシリンダ914
のジョー917を開閉するチャック916を開き、エア
シリンダ914を上昇させる。コンタクトピン取付台9
18に設けたコンタクトピン921がレーザスキャンモ
ータ4のコンタクト413に接触され、モータ部を構成
するコイル410が制御回路14に電気接続される。し
かる上で、昇降装置6が下降すると、測定台5はレーザ
スキャンモータ4と共に回転テーブル2の測定台支持体
203のみによって支持されるため、回転テーブル2上
で水平および垂直方向に比較的に自由に移動可能な、い
わゆるフローティング状態に支持される。
ローチャートを示すように、レーザスキャンモータ4を
搭載した測定台5が回転テーブル2と共に第2ステーシ
ョン位置に回転位置されると、昇降機構6が上昇し、ロ
ーダ部ST1の場合と同様に測定台5を測定台支持体2
03の上方に持ち上げて安定支持させる。ついで、第1
通電機構のエアシリンダ901が下降動作され、下降さ
れた接点構体903が回転テーブル2の接点板207に
接触され、センサ用接点208と加速度計用接点209
にそれぞれ固定、伸縮の各接点ピン904,905が接
触され、測定台5のフォトセンサ510と加速度計50
7,508がそれぞれ外部の制御回路14に電気接続さ
れる。また、同時に第2通電機構のエアシリンダ914
が下降動作され、コンタクトピン取付台918が測定台
5のロック片511に磁着される。エアシリンダ914
のジョー917を開閉するチャック916を開き、エア
シリンダ914を上昇させる。コンタクトピン取付台9
18に設けたコンタクトピン921がレーザスキャンモ
ータ4のコンタクト413に接触され、モータ部を構成
するコイル410が制御回路14に電気接続される。し
かる上で、昇降装置6が下降すると、測定台5はレーザ
スキャンモータ4と共に回転テーブル2の測定台支持体
203のみによって支持されるため、回転テーブル2上
で水平および垂直方向に比較的に自由に移動可能な、い
わゆるフローティング状態に支持される。
【0037】次いで、コンタクトピン921からレーザ
スキャンモータ4に駆動電流を供給すると、レーザスキ
ャンモータ4のモータ部が回転を開始し、ポリゴンミラ
ー406とロータ405が回転される。そして、所要の
回転速度で所定時間の回転を行い、そのときにレーザス
キャンモータ4に生じる垂直方向、水平方向の加速度は
そのままレーザスキャンモータ4を一体に支持している
測定台5に生じるため、これを測定台5に設けた加速度
計507,508により計測する。これらの加速度計の
計測出力は、接点板207の2個の加速度計用接点20
9により外部の制御回路 に出力される。また、その際
のポリゴンミラー406の回転速度は、反射型フォトセ
ンサ510がロータ405の周面一部に設けられている
マーク412を光学的に検出し、この検出出力を接点板
207の4個のセンサ用接点208により外部の制御回
路14に出力し、制御回路14においてマーク412の
検出回数をカウントすることにより行われる。そして、
制御回路14内のコンピュータでは、垂直、水平の加速
度と、その際の回転速度からレーザスキャンモータ4に
おける動釣合いの不釣合い状態を計測し、さらにこれか
らこの不釣合いを修正するために、ポリゴンミラー40
6あるいはロータ405のいずれの位置にどの程度の重
量の樹脂を釣合い調整用の重りとして滴着すればよいの
かを計算する。
スキャンモータ4に駆動電流を供給すると、レーザスキ
ャンモータ4のモータ部が回転を開始し、ポリゴンミラ
ー406とロータ405が回転される。そして、所要の
回転速度で所定時間の回転を行い、そのときにレーザス
キャンモータ4に生じる垂直方向、水平方向の加速度は
そのままレーザスキャンモータ4を一体に支持している
測定台5に生じるため、これを測定台5に設けた加速度
計507,508により計測する。これらの加速度計の
計測出力は、接点板207の2個の加速度計用接点20
9により外部の制御回路 に出力される。また、その際
のポリゴンミラー406の回転速度は、反射型フォトセ
ンサ510がロータ405の周面一部に設けられている
マーク412を光学的に検出し、この検出出力を接点板
207の4個のセンサ用接点208により外部の制御回
路14に出力し、制御回路14においてマーク412の
検出回数をカウントすることにより行われる。そして、
制御回路14内のコンピュータでは、垂直、水平の加速
度と、その際の回転速度からレーザスキャンモータ4に
おける動釣合いの不釣合い状態を計測し、さらにこれか
らこの不釣合いを修正するために、ポリゴンミラー40
6あるいはロータ405のいずれの位置にどの程度の重
量の樹脂を釣合い調整用の重りとして滴着すればよいの
かを計算する。
【0038】その後、再び昇降機構6が上昇し、再び測
定台5を安定に保持させる。そして、エアブレーキ10
により圧縮空気をポリゴンミラー406の周面に吹きつ
け、ポリゴンミラー406の回転を短時間で停止させ
る。そして、前記エアシリンダ901を上昇させて接点
構体903を上方に持ち上げ、接点板207から取り外
す。同時にエアシリンダ914が下降し、チャック91
6を閉じ、コンタクトピン取付台918をはさみ、エア
シリンダ914を上昇させてコンタクトピン取付台91
8を上方に持ち上げ、コンタクト413から取り外す。
このとき、図25の状態からロック駆動機構7のエアシ
リンダ701が動作され、プランジャ702が上昇され
てロック機構210のレバー212をバネ213力に抗
して図示反時計方向に回動させ、ロックピン211を測
定台5のロック孔512に嵌入させる。これにより、コ
ンタクトピン取付台918の永久磁石919によってコ
ンタクトピン取付台918と共に測定台5が一体的に上
方向に持ち上げられることが防止される。その後、ロッ
ク駆動機構7が図25の状態に復帰され、かつ昇降機構
6が下降されることで測定台5は測定台支持体203に
よって支持される状態となり、計測前の状態に戻され
る。
定台5を安定に保持させる。そして、エアブレーキ10
により圧縮空気をポリゴンミラー406の周面に吹きつ
け、ポリゴンミラー406の回転を短時間で停止させ
る。そして、前記エアシリンダ901を上昇させて接点
構体903を上方に持ち上げ、接点板207から取り外
す。同時にエアシリンダ914が下降し、チャック91
6を閉じ、コンタクトピン取付台918をはさみ、エア
シリンダ914を上昇させてコンタクトピン取付台91
8を上方に持ち上げ、コンタクト413から取り外す。
このとき、図25の状態からロック駆動機構7のエアシ
リンダ701が動作され、プランジャ702が上昇され
てロック機構210のレバー212をバネ213力に抗
して図示反時計方向に回動させ、ロックピン211を測
定台5のロック孔512に嵌入させる。これにより、コ
ンタクトピン取付台918の永久磁石919によってコ
ンタクトピン取付台918と共に測定台5が一体的に上
方向に持ち上げられることが防止される。その後、ロッ
ク駆動機構7が図25の状態に復帰され、かつ昇降機構
6が下降されることで測定台5は測定台支持体203に
よって支持される状態となり、計測前の状態に戻され
る。
【0039】(第3ステーション:第1調整部)第1調
整部ST3には、樹脂をレーザスキャンモータに対して
滴着してその釣合いを調整するためのディスペンサ11
が設けられる。このディスペンサ11は、図5に示した
概略図と図26の正面図を参照すると、前記アッパーフ
レーム101に斜め下方を向けて第1のボールネジ機構
1101が支持されており、モータ1102の回転軸に
連結された第1ボールネジ1103が軸転されることに
より、この第1ボールネジ1103に螺合されている第
1ナット1104が軸方向に移動され、この第1ナット
1104と一体のシリンダ支持板1105が移動され
る。このシリンダ支持板1105には、樹脂シリンダ1
106と、第2ボールネジ機構1107が搭載されてお
り、モータ1108の回転軸に連結された第2ボールネ
ジ1109が軸転されることにより、この第2ボールネ
ジ1109に螺合されている第2ナット1110が軸方
向に移動され、この第2ナット1110と一体の樹脂ピ
ストン1111が移動され、樹脂シリンダ1106内の
紫外線硬化性の樹脂をノズルから吐出させ、回転テーブ
ル2上の測定台5に搭載されているレーザスキャンモー
タ4のポリゴンミラー406の上面に滴下させる。
整部ST3には、樹脂をレーザスキャンモータに対して
滴着してその釣合いを調整するためのディスペンサ11
が設けられる。このディスペンサ11は、図5に示した
概略図と図26の正面図を参照すると、前記アッパーフ
レーム101に斜め下方を向けて第1のボールネジ機構
1101が支持されており、モータ1102の回転軸に
連結された第1ボールネジ1103が軸転されることに
より、この第1ボールネジ1103に螺合されている第
1ナット1104が軸方向に移動され、この第1ナット
1104と一体のシリンダ支持板1105が移動され
る。このシリンダ支持板1105には、樹脂シリンダ1
106と、第2ボールネジ機構1107が搭載されてお
り、モータ1108の回転軸に連結された第2ボールネ
ジ1109が軸転されることにより、この第2ボールネ
ジ1109に螺合されている第2ナット1110が軸方
向に移動され、この第2ナット1110と一体の樹脂ピ
ストン1111が移動され、樹脂シリンダ1106内の
紫外線硬化性の樹脂をノズルから吐出させ、回転テーブ
ル2上の測定台5に搭載されているレーザスキャンモー
タ4のポリゴンミラー406の上面に滴下させる。
【0040】一方、アッパーフレーム101のレーザス
キャンモータ4の上方位置には、図27と図28にその
詳細構成を示すような位置決めモータ機構12が配置さ
れる。この位置決めモータ機構12は、エアシリンダ1
201で構成される昇降部1202によりモータ支持部
1203が昇降可能に構成されており、このモータ支持
部1203には回転軸を下方に向けたステップモータ1
204が支持される。このステップモータ1204の回
転軸には駆動側プーリ1205が取着され、タイミング
ベルト1206が巻き掛けられている。このタイミング
ベルト1206は、他方ではレーザスキャンモータ4の
ポリゴンミラー406の回転軸403の直上に配置され
た回転部の回転軸1207の上端部に取着された従動側
プーリ1208にも巻き掛けられており、前記ステップ
モータ1204の回転によりこの回転軸1207が間欠
的に回転駆動されるように構成される。この回転軸12
07はベアリング1209により前記昇降部1202に
垂直方向に軸支持されており、その下端部にはストッパ
1210が固定されるとともに軸方向に移動可能な筒状
の当接部1211が嵌装され、これらストッパ1210
と当接部1211との間に介挿したスプリング1212
により当接部1211を下方に付勢している。この当接
部1211には環状の弾性体1213が固着されてお
り、前記レーザスキャンモータ4のポリゴンミラー40
6の上面に上方から弾接されるように構成されている。
キャンモータ4の上方位置には、図27と図28にその
詳細構成を示すような位置決めモータ機構12が配置さ
れる。この位置決めモータ機構12は、エアシリンダ1
201で構成される昇降部1202によりモータ支持部
1203が昇降可能に構成されており、このモータ支持
部1203には回転軸を下方に向けたステップモータ1
204が支持される。このステップモータ1204の回
転軸には駆動側プーリ1205が取着され、タイミング
ベルト1206が巻き掛けられている。このタイミング
ベルト1206は、他方ではレーザスキャンモータ4の
ポリゴンミラー406の回転軸403の直上に配置され
た回転部の回転軸1207の上端部に取着された従動側
プーリ1208にも巻き掛けられており、前記ステップ
モータ1204の回転によりこの回転軸1207が間欠
的に回転駆動されるように構成される。この回転軸12
07はベアリング1209により前記昇降部1202に
垂直方向に軸支持されており、その下端部にはストッパ
1210が固定されるとともに軸方向に移動可能な筒状
の当接部1211が嵌装され、これらストッパ1210
と当接部1211との間に介挿したスプリング1212
により当接部1211を下方に付勢している。この当接
部1211には環状の弾性体1213が固着されてお
り、前記レーザスキャンモータ4のポリゴンミラー40
6の上面に上方から弾接されるように構成されている。
【0041】さらに、前記モータ支持部1203には下
方向に向けてアーム1214が突出されており、このア
ーム1214の下端部にはセンサコンタクト絶縁台12
15が支持されており、このセンサコンタクト絶縁台1
215には4本のセンサコンタクトピン1216が下方
に向けて突出されている。このセンサコンタクトピン1
216は、前記計測部ST2に設けられている通電機構
9の4本の固定接点ピン904と同じ配列とされてお
り、下降されたときには前記回転テーブル2に設けられ
た接点板207のセンサ用接点208に接触されること
が可能である。
方向に向けてアーム1214が突出されており、このア
ーム1214の下端部にはセンサコンタクト絶縁台12
15が支持されており、このセンサコンタクト絶縁台1
215には4本のセンサコンタクトピン1216が下方
に向けて突出されている。このセンサコンタクトピン1
216は、前記計測部ST2に設けられている通電機構
9の4本の固定接点ピン904と同じ配列とされてお
り、下降されたときには前記回転テーブル2に設けられ
た接点板207のセンサ用接点208に接触されること
が可能である。
【0042】この第1調整部ST3においては、図29
にフローチャートを示すように、計測部ST2において
動釣合いが計測されたレーザスキャンモータ4が回転テ
ーブル2の回転に伴って移動されてくると、前記各部の
場合と同様に昇降機構6が上昇し、測定台5を安定状態
に保持する。すると、位置決めモータ機構12のエアシ
リンダ1201が動作されてモータ支持部1203が下
降される。これにより、回転軸1207の下端部に嵌装
されている当接部1211の環状弾性体1213がポリ
ゴンミラー406の上面に弾接され、さらにスプリング
1212の付勢力によって環状弾性体1213と当接部
1211との摩擦的な結合により回転軸1207とポリ
ゴンミラー406とが回転方向に一体化される。また、
これと同時にセンサコンタクト絶縁台1215のセンサ
コンタクトピン1216が接点板207のセンサ用接点
208に電気接続され、測定台5のフォトセンサ510
に電気接続される。
にフローチャートを示すように、計測部ST2において
動釣合いが計測されたレーザスキャンモータ4が回転テ
ーブル2の回転に伴って移動されてくると、前記各部の
場合と同様に昇降機構6が上昇し、測定台5を安定状態
に保持する。すると、位置決めモータ機構12のエアシ
リンダ1201が動作されてモータ支持部1203が下
降される。これにより、回転軸1207の下端部に嵌装
されている当接部1211の環状弾性体1213がポリ
ゴンミラー406の上面に弾接され、さらにスプリング
1212の付勢力によって環状弾性体1213と当接部
1211との摩擦的な結合により回転軸1207とポリ
ゴンミラー406とが回転方向に一体化される。また、
これと同時にセンサコンタクト絶縁台1215のセンサ
コンタクトピン1216が接点板207のセンサ用接点
208に電気接続され、測定台5のフォトセンサ510
に電気接続される。
【0043】そして、この状態で制御回路からのパルス
信号がステップモータ1204に供給され、ステップモ
ータ1204が回転駆動されると、駆動側プーリ120
5、タイミングベルト1206、従動側プーリ1208
を介して回転力が回転軸1207に伝達され、これによ
りポリゴンミラー406が強制的に小角度単位で回転駆
動されることになる。また、このポリゴンミラー406
の回転に伴い、フォトセンサ510でロータ405の周
面に設けられているマーク412を検出することで、ポ
リゴンミラー406の回転位置を検出する。これによ
り、制御回路は計測部ST2での計測の結果に基づいて
算出されたポリゴンミラー406の円周一部が所定の位
置、すなわちディスペンサ11に対向する位置に位置設
定する制御を行い、この制御によりポリゴンミラー40
6はその回転位置に固定される。
信号がステップモータ1204に供給され、ステップモ
ータ1204が回転駆動されると、駆動側プーリ120
5、タイミングベルト1206、従動側プーリ1208
を介して回転力が回転軸1207に伝達され、これによ
りポリゴンミラー406が強制的に小角度単位で回転駆
動されることになる。また、このポリゴンミラー406
の回転に伴い、フォトセンサ510でロータ405の周
面に設けられているマーク412を検出することで、ポ
リゴンミラー406の回転位置を検出する。これによ
り、制御回路は計測部ST2での計測の結果に基づいて
算出されたポリゴンミラー406の円周一部が所定の位
置、すなわちディスペンサ11に対向する位置に位置設
定する制御を行い、この制御によりポリゴンミラー40
6はその回転位置に固定される。
【0044】このように、ポリゴンミラー406の回転
位置が設定されると、ディスペンサ11のモータ110
2が回転駆動され、これと一体に軸転される第1ボール
ネジ1103によりシリンダ支持板1105が移動さ
れ、樹脂シリンダ1106のノズルが前記ポリゴンミラ
ー406の上面に対向位置される。そして、モータ11
08の回転により第2ボールネジ1109が軸転される
ことにより樹脂ピストン1111が移動され、樹脂シリ
ンダ1106内の樹脂をノズルから吐出させ、前記ポリ
ゴンミラー406上面に滴下させる。これにより、ポリ
ゴンミラー406は、その上面の円周一部に釣合いをと
るための重りとしての樹脂が付着される。
位置が設定されると、ディスペンサ11のモータ110
2が回転駆動され、これと一体に軸転される第1ボール
ネジ1103によりシリンダ支持板1105が移動さ
れ、樹脂シリンダ1106のノズルが前記ポリゴンミラ
ー406の上面に対向位置される。そして、モータ11
08の回転により第2ボールネジ1109が軸転される
ことにより樹脂ピストン1111が移動され、樹脂シリ
ンダ1106内の樹脂をノズルから吐出させ、前記ポリ
ゴンミラー406上面に滴下させる。これにより、ポリ
ゴンミラー406は、その上面の円周一部に釣合いをと
るための重りとしての樹脂が付着される。
【0045】(第4ステーション:第1定着部)第1定
着部ST4は、図5に概略構成を示したように、紫外線
照射部13が設けられており、この紫外線照射部13に
は、紫外線ランプ1301と、この紫外線ランプ130
1に一端が光学的に接続された光ファイバ1302を有
しており、この光ファイバ1302の他端を測定台5の
上方のアッパフレーム101に固定し、その光軸をポリ
ゴンミラー406の上面に対向位置させた構成とされて
いる。この光ファイバ1302の他端には必要に応じて
レンズ光学系が設けられ、さらに光ファイバ1302の
他端に対向して遮光板1304を含む遮光機構1303
が設けられる。そして、紫外線ランプ1301を点灯し
たときに、発光された紫外線は光ファイバ1302の一
端部から他端部にまて伝送され、この他端部から出射さ
れてポリゴンミラー406の上面に照射されるようにな
っている。
着部ST4は、図5に概略構成を示したように、紫外線
照射部13が設けられており、この紫外線照射部13に
は、紫外線ランプ1301と、この紫外線ランプ130
1に一端が光学的に接続された光ファイバ1302を有
しており、この光ファイバ1302の他端を測定台5の
上方のアッパフレーム101に固定し、その光軸をポリ
ゴンミラー406の上面に対向位置させた構成とされて
いる。この光ファイバ1302の他端には必要に応じて
レンズ光学系が設けられ、さらに光ファイバ1302の
他端に対向して遮光板1304を含む遮光機構1303
が設けられる。そして、紫外線ランプ1301を点灯し
たときに、発光された紫外線は光ファイバ1302の一
端部から他端部にまて伝送され、この他端部から出射さ
れてポリゴンミラー406の上面に照射されるようにな
っている。
【0046】この第1定着部ST4では、図30にその
フローチャートを示すように、第1調整部ST3におい
て樹脂が滴下されたレーザスキャンモータ4が回転テー
ブル2の回転に伴って移動されてくると、昇降機構6が
上昇し、測定台5を安定状態に保持する。そして、これ
と同期して紫外線ランプ1301が点灯され、かつ遮光
機構1303が下降されて遮光板1304が光ファイバ
1302の他端部位置から退避されるため、光ファイバ
1302の他端が開放され、光ファイバ1302の他端
から出射される紫外線を樹脂に照射する。これにより、
樹脂は硬化され、ポリゴンミラー406の釣合い重りと
して定着される。その後、遮光機構1303は上昇して
光フファイバ1302からの紫外線が他の領域に照射さ
れることを防止し、かつ紫外線ランプ1301を消灯す
る。なお、この遮光機構1303を備えている場合に
は、紫外線ランプ1301は常時点灯させておいてもよ
い。また、遮光機構を備えることなく、紫外線ランプ1
301を照射のタイミングに合わせて点灯、消灯させる
ようにしてもよい。
フローチャートを示すように、第1調整部ST3におい
て樹脂が滴下されたレーザスキャンモータ4が回転テー
ブル2の回転に伴って移動されてくると、昇降機構6が
上昇し、測定台5を安定状態に保持する。そして、これ
と同期して紫外線ランプ1301が点灯され、かつ遮光
機構1303が下降されて遮光板1304が光ファイバ
1302の他端部位置から退避されるため、光ファイバ
1302の他端が開放され、光ファイバ1302の他端
から出射される紫外線を樹脂に照射する。これにより、
樹脂は硬化され、ポリゴンミラー406の釣合い重りと
して定着される。その後、遮光機構1303は上昇して
光フファイバ1302からの紫外線が他の領域に照射さ
れることを防止し、かつ紫外線ランプ1301を消灯す
る。なお、この遮光機構1303を備えている場合に
は、紫外線ランプ1301は常時点灯させておいてもよ
い。また、遮光機構を備えることなく、紫外線ランプ1
301を照射のタイミングに合わせて点灯、消灯させる
ようにしてもよい。
【0047】(第5ステーション:第2調整部)第2調
整部ST5は、第1調整部ST3と殆ど同じ構成である
ので、詳細な説明は省略する。ただし、この第2調整部
ST5では、ディスペンサ11のノズルをレーザスキャ
ンモータ4に対向位置させるべく樹脂シリンダ1106
を下降させたときに、そのノズルがポリゴンミラー40
6の下側のロータ405の上面に対向位置されるように
構成されている。そして、釣合いを修正すべくノズルか
ら紫外線硬化樹脂を滴下したときには、ロータ405の
上面の円周一部に樹脂を付着させる。これにより、第1
調整部ST3においてポリゴンミラー406の上面部に
付着された樹脂に対して、反対方向の釣合いを取ること
が可能となる。
整部ST5は、第1調整部ST3と殆ど同じ構成である
ので、詳細な説明は省略する。ただし、この第2調整部
ST5では、ディスペンサ11のノズルをレーザスキャ
ンモータ4に対向位置させるべく樹脂シリンダ1106
を下降させたときに、そのノズルがポリゴンミラー40
6の下側のロータ405の上面に対向位置されるように
構成されている。そして、釣合いを修正すべくノズルか
ら紫外線硬化樹脂を滴下したときには、ロータ405の
上面の円周一部に樹脂を付着させる。これにより、第1
調整部ST3においてポリゴンミラー406の上面部に
付着された樹脂に対して、反対方向の釣合いを取ること
が可能となる。
【0048】(第6ステーション:第2定着部)第2定
着部ST6は、第1定着部ST4と同じであり、ただ
し、ここでは第2調整部ST5においてロータ405の
上面に付着された紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射
して硬化させ、これを定着させる。
着部ST6は、第1定着部ST4と同じであり、ただ
し、ここでは第2調整部ST5においてロータ405の
上面に付着された紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射
して硬化させ、これを定着させる。
【0049】なお、前記した第1調整部ST3は、計測
部ST2での計測結果に基づき、ポリゴンミラー406
の上面に重りを付着することが要求された場合にのみ動
作される。同様に第2調整部ST5は計測部ST2での
計測結果にもとづき、ロータ405の上面に重りを付着
することが要求された場合にのみ動作される。また、前
記した第1調整部ST3と第1定着部ST4の処理、あ
るいは第2調整部ST5と第2定着部ST6における処
理は、それぞれ組を成して行われるものであり、第1調
整部ST3での処理が行われる場合には第1定着部ST
4の処理が行われ、同様に第2調整部ST5での処理が
行われる場合には第2定着部ST6の処理が行われる。
部ST2での計測結果に基づき、ポリゴンミラー406
の上面に重りを付着することが要求された場合にのみ動
作される。同様に第2調整部ST5は計測部ST2での
計測結果にもとづき、ロータ405の上面に重りを付着
することが要求された場合にのみ動作される。また、前
記した第1調整部ST3と第1定着部ST4の処理、あ
るいは第2調整部ST5と第2定着部ST6における処
理は、それぞれ組を成して行われるものであり、第1調
整部ST3での処理が行われる場合には第1定着部ST
4の処理が行われ、同様に第2調整部ST5での処理が
行われる場合には第2定着部ST6の処理が行われる。
【0050】(第7ステーション:確認部)確認部ST
7は前記計測部ST2と同じ構成であり、その詳細な説
明は省略する。この確認部ST7では、図31にそのフ
ローチャートを示すように、第1調整部ST3、第1定
着部ST4、第2調整部ST5、第2定着部ST6にお
いて釣合い調整が行われたレーザスキャンモータ4を回
転駆動させ、測定台5に設けられているフォトセンサ5
10により回転速度が計測され、かつ加速度計507,
508によって加速度が計測されることで、その釣合い
が計測される。そして、制御回路14では、この計測の
結果からレーザスキャンモータ4の釣合いが所定の許容
範囲にあるか否かを判定する。この判定結果により次に
述べるアンローダ部ST8での動作を制御する。
7は前記計測部ST2と同じ構成であり、その詳細な説
明は省略する。この確認部ST7では、図31にそのフ
ローチャートを示すように、第1調整部ST3、第1定
着部ST4、第2調整部ST5、第2定着部ST6にお
いて釣合い調整が行われたレーザスキャンモータ4を回
転駆動させ、測定台5に設けられているフォトセンサ5
10により回転速度が計測され、かつ加速度計507,
508によって加速度が計測されることで、その釣合い
が計測される。そして、制御回路14では、この計測の
結果からレーザスキャンモータ4の釣合いが所定の許容
範囲にあるか否かを判定する。この判定結果により次に
述べるアンローダ部ST8での動作を制御する。
【0051】(第8ステーション:アンローダ部)アン
ローダ部ST8では、図32にそのフロチャートを示す
ように、確認部ST7での判定結果から、レーザスキャ
ンモータ4の釣合いが許容の範囲内にある場合には、搬
送ロボット801により測定台5からレーザスキャンモ
ータ4を持ち上げ、搬送部8のシャトル803に移載
し、搬出を行う。このレーザスキャンモータ4を測定台
5から持ち上げる際には、昇降機構6を上昇させて測定
台5を安定支持した上で、エアシリンダ701によりロ
ック駆動機構7を動作させて測定台5をロック機構21
0により固定状態とする。そして、搬送ロボット801
によりレーザスキャンモータ4を握持し、これを上方に
引き上げる。これにより、レーザスキャンモータ4は、
測定台5の凹部503内の円環状の永久磁石504の磁
力に打ち勝って測定台5の上方に持ち上げられ、搬送部
8への移載が可能となる。
ローダ部ST8では、図32にそのフロチャートを示す
ように、確認部ST7での判定結果から、レーザスキャ
ンモータ4の釣合いが許容の範囲内にある場合には、搬
送ロボット801により測定台5からレーザスキャンモ
ータ4を持ち上げ、搬送部8のシャトル803に移載
し、搬出を行う。このレーザスキャンモータ4を測定台
5から持ち上げる際には、昇降機構6を上昇させて測定
台5を安定支持した上で、エアシリンダ701によりロ
ック駆動機構7を動作させて測定台5をロック機構21
0により固定状態とする。そして、搬送ロボット801
によりレーザスキャンモータ4を握持し、これを上方に
引き上げる。これにより、レーザスキャンモータ4は、
測定台5の凹部503内の円環状の永久磁石504の磁
力に打ち勝って測定台5の上方に持ち上げられ、搬送部
8への移載が可能となる。
【0052】一方、確認部ST7での判定結果から、レ
ーザスキャンモータ4の釣合いが許容範囲にない場合に
は、再度の釣合い調整が行われる。この場合には、アン
ローダ部ST8では前記した搬送ロボット801による
レーザスキャンモータ4の持ち上げ動作は行われず、レ
ーザスキャンモータ4は測定台5および回転テーブル2
に搭載されたままの状態となる。したがって、その状態
のまま、回転テーブル2の回転動作によって再びローダ
部ST1にまで移動され、さらに計測部ST2に向けて
移動され、前記した一連の釣合い調整の処理が再度行わ
れることになる。このとき、ローダ部ST1には搬送部
8からの新たなレーザスキャンモータが移載されないこ
とは言うまでもない。
ーザスキャンモータ4の釣合いが許容範囲にない場合に
は、再度の釣合い調整が行われる。この場合には、アン
ローダ部ST8では前記した搬送ロボット801による
レーザスキャンモータ4の持ち上げ動作は行われず、レ
ーザスキャンモータ4は測定台5および回転テーブル2
に搭載されたままの状態となる。したがって、その状態
のまま、回転テーブル2の回転動作によって再びローダ
部ST1にまで移動され、さらに計測部ST2に向けて
移動され、前記した一連の釣合い調整の処理が再度行わ
れることになる。このとき、ローダ部ST1には搬送部
8からの新たなレーザスキャンモータが移載されないこ
とは言うまでもない。
【0053】以上の工程により、レーザスキャンモータ
の動釣合いを自動的に計測し、かつその釣合いの調整が
実現される。したがって、図示およびその説明は省略し
たが、この本発明の調整装置に対してレーザスキャンモ
ータを収容したマガジンと、このマガジン内のレーザス
キャンモータを搬送部のシャトルに対して搭載あるいは
降載する機構を付設すれば、マガジンから搬送部に対し
てレーザスキャンモータを供給することと、調整後のレ
ーザスキャンモータをマガジンに収容することも自動化
することができ、レーザスキャンモータの動釣合いを完
全に自動化することが可能となる。これにより、手作業
による調整が全く不要となり、迅速かつ高品質の動釣合
いの調整が実現できる。
の動釣合いを自動的に計測し、かつその釣合いの調整が
実現される。したがって、図示およびその説明は省略し
たが、この本発明の調整装置に対してレーザスキャンモ
ータを収容したマガジンと、このマガジン内のレーザス
キャンモータを搬送部のシャトルに対して搭載あるいは
降載する機構を付設すれば、マガジンから搬送部に対し
てレーザスキャンモータを供給することと、調整後のレ
ーザスキャンモータをマガジンに収容することも自動化
することができ、レーザスキャンモータの動釣合いを完
全に自動化することが可能となる。これにより、手作業
による調整が全く不要となり、迅速かつ高品質の動釣合
いの調整が実現できる。
【0054】また、レーザスキャンモータを、測定台に
設けた永久磁石の磁力によって吸着支持させることによ
り、複雑な機構を設けることなくレーザスキャンモータ
の支持が可能となり、測定台の重量を軽減し、レーザス
キャンモータの動釣合いを測定台の重量の影響が少ない
状態で計測でき、その計測精度を高いものにできる。ま
た、この場合、測定台に設けた凹部にレーザスキャンモ
ータの一部を侵入させた状態で保持させるため、測定台
に対するレーザスキャンモータの位置決めが自動的に行
われ、複数のレーザスキャンモータの全てを同じ条件で
計測、確認することができ、調整歩留りを高いものにで
きる。さらに、このレーザスキャンモータを測定台から
降載する際には、ロック機構により測定台を固定状態に
保持するため、永久磁石の吸着力に抗して確実にその降
載が可能となる。
設けた永久磁石の磁力によって吸着支持させることによ
り、複雑な機構を設けることなくレーザスキャンモータ
の支持が可能となり、測定台の重量を軽減し、レーザス
キャンモータの動釣合いを測定台の重量の影響が少ない
状態で計測でき、その計測精度を高いものにできる。ま
た、この場合、測定台に設けた凹部にレーザスキャンモ
ータの一部を侵入させた状態で保持させるため、測定台
に対するレーザスキャンモータの位置決めが自動的に行
われ、複数のレーザスキャンモータの全てを同じ条件で
計測、確認することができ、調整歩留りを高いものにで
きる。さらに、このレーザスキャンモータを測定台から
降載する際には、ロック機構により測定台を固定状態に
保持するため、永久磁石の吸着力に抗して確実にその降
載が可能となる。
【0055】そして、この動釣合いの計測時および確認
時には、レーザスキャンモータは測定台に一体的に搭載
されており、かつこの測定台は基板としての回転テーブ
ル上に弾性の支持体によってフローティング状態に支持
されるため、レーザスキャンモータにおける不釣合いに
よってその回転動作時に生じる振動を測定台の振動とし
て、加速度計によって計測することが可能となり、かつ
その一方で弾性の支持体によって外部振動が遮断される
ため、動釣合いの計測時に外部振動の影響を受けること
はない。特に、測定台には、振動を検出するための加速
度計と、回転数を検出するためのフォトセンサとが設け
られているため、測定台には単に電気的な接続を行うの
みでよく各ステーションにおける自動化作業の簡易化
と、迅速化を図り、結果として計測及び確認作業の高速
化が可能となる。また、この電気的な接続時には、接点
ピンやコンタクトピンを押圧力により接触し、あるいは
磁力により吸着した状態で接触させるので、その着脱を
容易に行うことができ、回転テーブルの回転移動に対し
ても迅速な電気的な接続動作が可能となる。
時には、レーザスキャンモータは測定台に一体的に搭載
されており、かつこの測定台は基板としての回転テーブ
ル上に弾性の支持体によってフローティング状態に支持
されるため、レーザスキャンモータにおける不釣合いに
よってその回転動作時に生じる振動を測定台の振動とし
て、加速度計によって計測することが可能となり、かつ
その一方で弾性の支持体によって外部振動が遮断される
ため、動釣合いの計測時に外部振動の影響を受けること
はない。特に、測定台には、振動を検出するための加速
度計と、回転数を検出するためのフォトセンサとが設け
られているため、測定台には単に電気的な接続を行うの
みでよく各ステーションにおける自動化作業の簡易化
と、迅速化を図り、結果として計測及び確認作業の高速
化が可能となる。また、この電気的な接続時には、接点
ピンやコンタクトピンを押圧力により接触し、あるいは
磁力により吸着した状態で接触させるので、その着脱を
容易に行うことができ、回転テーブルの回転移動に対し
ても迅速な電気的な接続動作が可能となる。
【0056】また、動釣合いの調整時には、ディスペン
サによってポリゴンミラーやロータに対して紫外線硬化
性の樹脂を滴着し、これを紫外線照射して硬化させるこ
とで釣合いバランス用の重りを作製しているため、微小
な重量の重りを高精度に作製して動釣合いの調整が実現
できため、高精度の動釣合いの調整が可能となる。この
とき、ポリゴンミラーやロータは位置決めモータ機構に
より回転させ、かつ同時にフォトセンサによりその回転
位置を検出するために、高精度の位置決めができ、調整
の高精度化を助長することが可能となる。
サによってポリゴンミラーやロータに対して紫外線硬化
性の樹脂を滴着し、これを紫外線照射して硬化させるこ
とで釣合いバランス用の重りを作製しているため、微小
な重量の重りを高精度に作製して動釣合いの調整が実現
できため、高精度の動釣合いの調整が可能となる。この
とき、ポリゴンミラーやロータは位置決めモータ機構に
より回転させ、かつ同時にフォトセンサによりその回転
位置を検出するために、高精度の位置決めができ、調整
の高精度化を助長することが可能となる。
【0057】さらに、ローダ時やアンローダ時のように
レーザスキャンモータを測定台に対して着脱する際や、
計測、調整、確認等のように測定台に対して電気接続を
行うような際には、測定台を弾性の支持体によるフロー
ティング状態の支持から昇降機構によりその上方位置に
固定的に、しかも所定の位置に保持しているため、これ
らの作業を安定に、かつ確実に行うことが可能となり、
作業効率を改善することができる。
レーザスキャンモータを測定台に対して着脱する際や、
計測、調整、確認等のように測定台に対して電気接続を
行うような際には、測定台を弾性の支持体によるフロー
ティング状態の支持から昇降機構によりその上方位置に
固定的に、しかも所定の位置に保持しているため、これ
らの作業を安定に、かつ確実に行うことが可能となり、
作業効率を改善することができる。
【0058】なお、前記実施形態では、動釣合いの被調
整体としてレーザスキャンモータの例を示したが、本発
明の動釣合い調整装置は、他の用途の駆動源として用い
られるモータを組込んだ各種ユニットの動釣合いについ
ても同様に調整を行うことができる。
整体としてレーザスキャンモータの例を示したが、本発
明の動釣合い調整装置は、他の用途の駆動源として用い
られるモータを組込んだ各種ユニットの動釣合いについ
ても同様に調整を行うことができる。
【0059】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、動釣合い
を調整しようとする被調整体を回転テーブル上に搭載
し、かつこの回転テーブルの回転位置のそれぞれ異なる
位置には、回転テーブルへの被調整体の搭載、被調整体
に対する動釣合いの計測、動釣合いの調整、および釣合
いの確認、回転テーブルからの被調整体の降載を行う複
数のステーションが配置され、回転テーブルの回動によ
り被調整体を各ステーションに対して順次移動させなが
ら動釣合いの調整を行うことができるので、動釣合いの
計測、調整を全自動的に行うことができ、調整作業効率
を高め、かつ調整品質の安定化、高品質化を図ることが
できる。
を調整しようとする被調整体を回転テーブル上に搭載
し、かつこの回転テーブルの回転位置のそれぞれ異なる
位置には、回転テーブルへの被調整体の搭載、被調整体
に対する動釣合いの計測、動釣合いの調整、および釣合
いの確認、回転テーブルからの被調整体の降載を行う複
数のステーションが配置され、回転テーブルの回動によ
り被調整体を各ステーションに対して順次移動させなが
ら動釣合いの調整を行うことができるので、動釣合いの
計測、調整を全自動的に行うことができ、調整作業効率
を高め、かつ調整品質の安定化、高品質化を図ることが
できる。
【0060】また、回転テーブル上には被調整体を一体
的に保持した状態で搭載可能な測定台を設け、この測定
台を弾性の支持体により回転テーブル上に支持し、この
測定台に生じる加速度を加速度計により計測して動釣合
いの計測を行うため、外部振動を遮断した状態で、動釣
合いを高精度に計測でき、調整の高精度化を助長するこ
とができる。
的に保持した状態で搭載可能な測定台を設け、この測定
台を弾性の支持体により回転テーブル上に支持し、この
測定台に生じる加速度を加速度計により計測して動釣合
いの計測を行うため、外部振動を遮断した状態で、動釣
合いを高精度に計測でき、調整の高精度化を助長するこ
とができる。
【0061】さらに、測定台を前記弾性支持体により支
持されている位置よりも上方に持ち上げ、かつその位置
に固定的に支持するための昇降機構が設けられるので、
測定台を安定にかつ固定的に所定の位置に保持すること
ができ、測定台に対する被調整体の搭載や降載、測定台
に対する電気的な接続やその他の作業を安定、かつ確実
に行うことができ、調整作業の高効率化と、調整精度の
高精度化を助長することができる。
持されている位置よりも上方に持ち上げ、かつその位置
に固定的に支持するための昇降機構が設けられるので、
測定台を安定にかつ固定的に所定の位置に保持すること
ができ、測定台に対する被調整体の搭載や降載、測定台
に対する電気的な接続やその他の作業を安定、かつ確実
に行うことができ、調整作業の高効率化と、調整精度の
高精度化を助長することができる。
【図1】本発明の動釣合い調整装置の全体構成の正面図
である。
である。
【図2】図1の右側面図である。
【図3】図1の背面図である。
【図4】図1の平面図である。
【図5】本発明装置の機能を説明するための概略図であ
る。
る。
【図6】本発明装置の概略動作を説明するためのフロー
チャートである。
チャートである。
【図7】レーザスキャンモータの平面図と断面図であ
る。
る。
【図8】回転テーブルの全体構成の平面図である。
【図9】回転テーブルを構成する単位テーブルの拡大平
面図である。
面図である。
【図10】測定台の平面図、正面図、右側面図である。
【図11】昇降機構の下降状態を示す正面図である。
【図12】昇降機構の上昇状態を示す正面図である。
【図13】ロック機構と回転テーブルとの関係を示す正
面図である。
面図である。
【図14】ローダ部の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図15】レーザスキャンモータを測定台に搭載した状
態の平面図と正面図である。
態の平面図と正面図である。
【図16】回転テーブル上に測定台を搭載した状態の平
面図である。
面図である。
【図17】第1通電機構の正面図と側面図である。
【図18】伸縮接点ピンの断面図である。
【図19】接点板の断面図である。
【図20】第2通電機構の正面図と側面図である。
【図21】コンタクトピン取付台の正面図と側面図であ
る。
る。
【図22】第2通電機構の動作を説明するための正面図
と側面図である。
と側面図である。
【図23】コンタクトピン取付台の取付状態の平面図、
正面図、側面図である。
正面図、側面図である。
【図24】計測部の動作を示すフローチャートである。
【図25】ロック機構の動作を示す拡大図である。
【図26】ディスペンサを含む第1修正部の正面図であ
る。
る。
【図27】修正モータ機構の正面図である。
【図28】修正モータ機構の側面図である。
【図29】第1修正部の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図30】第1定着部の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図31】確認部の動作を示すフローチャートである。
【図32】アンローダ部の動作を示すフローチャートで
ある。
ある。
1 ベースフレーム 2 回転テーブル 3 回転駆動機構 4 レーザスキャンモータ 5 測定台 6 昇降機構 7 ロック駆動機構 8 搬送部 9 通電機構 10 エアブレーキ 11,11A ディスペンサ 12 位置決めモータ機構 13 紫外線照射部 14 制御回路 15 表示灯
Claims (12)
- 【請求項1】 動釣合いを調整しようとする被調整体を
搭載して回転駆動可能な回転テーブルと、この回転テー
ブルの回転位置のそれぞれ異なる位置に配置されて前記
回転テーブルへの前記被調整体の搭載、被調整体に対す
る動釣合いの計測、動釣合いの調整、および動釣合いの
確認、回転テーブルからの被調整体の降載を行う複数の
ステーションとで構成され、前記回転テーブルに搭載し
た被調整体を回転テーブルの回動により各ステーション
に対して順次移動させながら動釣合いの調整を行うこと
を特徴とする動釣合い調整装置。 - 【請求項2】 回転テーブルの周囲に8つのステーショ
ンが形成され、第1のステーションは被調整体を回転テ
ーブルに搭載するローダ部、第2のステーションは被調
整体の動釣合いを計測する計測部、第3のステーション
は計測された動釣合いに基づいて被調整体の一部に重り
を付着して釣合いを調整する第1調整部、第4のステー
ションは付着した重りを定着させる第1定着部、第5の
ステーションは前記計測された動釣合いに基づいて被調
整体の他の部位に重りを付着して釣合いを調整する第2
調整部、第6のステーションは付着した重りを定着させ
る第2定着部、第7のステーションは調整処理が完了さ
れた被調整体の動釣合いを確認する確認部、第8のステ
ーションは動釣合い調整が完了された被調整体を回転テ
ーブルから降載させるアンローダ部である請求項1の動
釣合い調整装置。 - 【請求項3】 回転テーブルは、前記複数のステーショ
ンに対応する円周方向に等配された複数箇所にそれぞれ
被調整体を搭載し、かつこの被調整体が前記複数のステ
ーションに対応する円周位置にそれぞれ回転位置される
ように間欠的に回転される請求項1または2の動釣合い
調整装置。 - 【請求項4】 回転テーブル上には被調整体を一体的に
保持した状態で搭載可能な測定台と、この測定台を前記
回転テーブル上に弾性的に支持するための弾性支持体と
が設けられ、かつ前記測定台には前記被調整体の動釣合
いを計測する際に測定台に生じる加速度を検出するため
の加速度計が設けられてなる請求項3の動釣合い調整装
置。 - 【請求項5】 回転テーブルは、前記複数のステーショ
ンに対応する数の単位テーブルを円周方向に配列した構
成とされ、各単位テーブル上に測定台が搭載されてなる
請求項4の動釣合い調整装置。 - 【請求項6】 測定台は、前記回転テーブルの円周方向
に等配された前記複数の箇所のそれぞれにおいて弾性支
持されてなる請求項4または5の動釣合い調整装置。 - 【請求項7】 測定台は略矩形をした板部材として形成
され、その四隅部が回転テーブルに固定支持された弾性
支持体上に載置された状態で弾性支持される請求項6の
動釣合い調整装置。 - 【請求項8】 加速度計は、測定台の一方向に生じる加
速度を計測する第1加速度計と、これと垂直な方向に生
じる加速度を計測する第2加速度計とで構成される請求
項4ないし7のいずれかの動釣合い調整装置。 - 【請求項9】 測定台を前記弾性支持体により支持され
ている位置よりも上方に持ち上げ、かつその位置に固定
的に支持するための昇降機構が設けられる請求項7また
は8の動釣合い調整装置。 - 【請求項10】 昇降機構は、前記回転テーブルの下側
に配置され、ピストンロッドが上下移動されるシリンダ
手段と、前記ピストンロッドの先端部に固定される昇降
板とこの昇降板に立設された位置決めピンと位置規制ピ
ンとで構成され、前記ピストンロッドの上動に伴って昇
降板と共に前記各ピンが上動されたときに、前記位置決
めピンはその上端部が測定台に設けられた位置決め穴に
嵌入されて測定台の平面方向の位置を決定し、前記位置
規制ピンはその上端面が測定台の下面に当接されて測定
台の上下方向の位置を決定するように構成される請求項
9の動釣合い調整装置。 - 【請求項11】 回転テーブルには、前記昇降機構の位
置決めピン及び位置規制ピンに対応する位置にそれぞれ
ピン挿通穴が開設され、前記各ピンを上下に挿通可能に
構成される請求項10の動釣合い調整装置。 - 【請求項12】 被調整体が、ポリゴンミラーと、これ
を回転駆動するためのモータ部とを一体的に構成したレ
ーザスキャンモータであり、前記モータ部を回転駆動し
たときの動釣合いを計測し、釣合いをとるための重りの
付着とその定着を行う装置として構成される請求項1な
いし11のいずれかの動釣合い調整装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12694396A JP3140681B2 (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 動釣合い調整装置 |
US08/861,035 US5992232A (en) | 1996-05-22 | 1997-05-21 | Dynamic balance adjusting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12694396A JP3140681B2 (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 動釣合い調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09311089A JPH09311089A (ja) | 1997-12-02 |
JP3140681B2 true JP3140681B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=14947743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12694396A Expired - Fee Related JP3140681B2 (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 動釣合い調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3140681B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106441705B (zh) * | 2016-08-31 | 2018-10-19 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种转台在线转动惯量测试方法 |
CN108318181A (zh) * | 2018-02-02 | 2018-07-24 | 哈尔滨理工大学 | 一种可以测量工件动平衡的模拟实验转台 |
-
1996
- 1996-05-22 JP JP12694396A patent/JP3140681B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09311089A (ja) | 1997-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105721859B (zh) | 一种影像模组的调芯设备及其应用方法 | |
JP3164960B2 (ja) | ステージ装置 | |
US5992232A (en) | Dynamic balance adjusting apparatus | |
CN209218193U (zh) | 一种高清摄像头自动调焦组装设备 | |
JP2006330210A (ja) | レンズの心出し方法及び装置 | |
US20040253380A1 (en) | Substrate processing system, coating apparatus, and coating method | |
JP3140682B2 (ja) | 動釣り合い調整装置 | |
KR101578859B1 (ko) | 터치 스크린 디스플레이 조립체의 접합 장치 | |
JP3222766B2 (ja) | 動釣り合い調整装置 | |
KR101135487B1 (ko) | 카메라모듈 검사 및 초점 조정 장치 | |
JP3140681B2 (ja) | 動釣合い調整装置 | |
JP3222767B2 (ja) | 動釣り合い調整装置 | |
JP3283184B2 (ja) | 動釣り合い調整装置 | |
KR20100052403A (ko) | 프록시미티 노광 장치, 그 마스크 반송 방법 및 패널 기판의 제조 방법 | |
US20040160609A1 (en) | Surface inspecting apparatus | |
JPS61167802A (ja) | 電子部品の姿勢変更が可能な電子部品装着システム | |
KR100562587B1 (ko) | 패널 공급장치 | |
CN219356736U (zh) | 一种自动校准设备 | |
CN219084778U (zh) | 一种用于电路板印刷缺陷的视觉检测机 | |
JPH10209034A (ja) | ステージ装置および露光装置 | |
CN221280945U (zh) | 超薄玻璃检测机构 | |
CN221885076U (zh) | 一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台 | |
JP2001124543A (ja) | 薄板材の平坦度測定方法および装置 | |
JP5537063B2 (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のギャップ制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JPH10301076A (ja) | 液晶パネルの点灯試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |