JPH09304222A - 非球面レンズの偏心測定装置 - Google Patents
非球面レンズの偏心測定装置Info
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- JPH09304222A JPH09304222A JP11635896A JP11635896A JPH09304222A JP H09304222 A JPH09304222 A JP H09304222A JP 11635896 A JP11635896 A JP 11635896A JP 11635896 A JP11635896 A JP 11635896A JP H09304222 A JPH09304222 A JP H09304222A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】両面非球面レンズの偏心を測定することができ
る非球面レンズの偏心測定装置を提供する。 【解決手段】被検レンズ２保持用のレンズ受け部を有す
ると共に回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材
３と、回転レンズ支持部材３の回転軸４に対する被検レ
ンズ２の非球面の近軸曲率中心の偏心量を検出するため
の近軸偏心測定部５と、回転軸４に対するレンズ上面２
ａ1 における非球面軸の傾き角を検出するための上面側
非球面軸測定部７と、回転軸４の回転角を検出するため
の回転角測定部９と、近軸偏心測定部５、上面側非球面
軸測定部７および回転角測定部９の各々の測定値を演算
する演算部２１とを備えた非球面レンズの偏心測定装置
において、回転軸４に対するレンズ下面２ａ2 における
非球面軸の傾き角を検出するための下面側非球面軸測定
部８を設け、下面側非球面軸測定部８の測定値を演算す
るように演算部２１に接続した。
る非球面レンズの偏心測定装置を提供する。 【解決手段】被検レンズ２保持用のレンズ受け部を有す
ると共に回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材
３と、回転レンズ支持部材３の回転軸４に対する被検レ
ンズ２の非球面の近軸曲率中心の偏心量を検出するため
の近軸偏心測定部５と、回転軸４に対するレンズ上面２
ａ1 における非球面軸の傾き角を検出するための上面側
非球面軸測定部７と、回転軸４の回転角を検出するため
の回転角測定部９と、近軸偏心測定部５、上面側非球面
軸測定部７および回転角測定部９の各々の測定値を演算
する演算部２１とを備えた非球面レンズの偏心測定装置
において、回転軸４に対するレンズ下面２ａ2 における
非球面軸の傾き角を検出するための下面側非球面軸測定
部８を設け、下面側非球面軸測定部８の測定値を演算す
るように演算部２１に接続した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非球面レンズの非
球面軸の傾き等を測定するための非球面レンズの偏心測
定装置に関する。
球面軸の傾き等を測定するための非球面レンズの偏心測
定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】非球面レンズの製造にあたり、この製造
されたレンズが所定の設計値通りに製造されたか否か検
査する必要がある。このような非球面レンズの検査を行
うための非球面レンズの偏心測定装置として、特開平３
−１１５９４４号公報所載の技術が開示されている。こ
の技術を図１０により説明する。
されたレンズが所定の設計値通りに製造されたか否か検
査する必要がある。このような非球面レンズの検査を行
うための非球面レンズの偏心測定装置として、特開平３
−１１５９４４号公報所載の技術が開示されている。こ
の技術を図１０により説明する。
【０００３】図１０において、非球面レンズの偏心測定
装置１０１は、被検レンズ１０２を保持するレンズ受け
部１０３ａを有すると共に回転駆動自在に構成された回
転レンズ支持部材１０３と、被検レンズ１０２の非球面
の近軸曲率中心１０２ｃの回転軸１０４に対する偏心量
を検出するための近軸偏心測定部１０５と、レンズ受け
部１０３ａ側とは反対側のレンズ面における非球面軸の
回転軸１０４に対する傾き角を検出するための上面側非
球面軸測定部１０７と、回転軸１０４を含む面に対して
直交する検出軸を有し、回転軸１０４に対する被検レン
ズ１０２の外径１０２ｄの振れ量を検出するための外径
振れ測定部１１０と、回転軸１０４の回転角を検出する
ための回転角測定部１０９と、近軸偏心測定部１０５、
上面側非球面軸測定部１０７、回転角測定部１０９およ
び外径振れ測定部１１０の各々の測定値を演算する演算
部１２１とから構成されている。
装置１０１は、被検レンズ１０２を保持するレンズ受け
部１０３ａを有すると共に回転駆動自在に構成された回
転レンズ支持部材１０３と、被検レンズ１０２の非球面
の近軸曲率中心１０２ｃの回転軸１０４に対する偏心量
を検出するための近軸偏心測定部１０５と、レンズ受け
部１０３ａ側とは反対側のレンズ面における非球面軸の
回転軸１０４に対する傾き角を検出するための上面側非
球面軸測定部１０７と、回転軸１０４を含む面に対して
直交する検出軸を有し、回転軸１０４に対する被検レン
ズ１０２の外径１０２ｄの振れ量を検出するための外径
振れ測定部１１０と、回転軸１０４の回転角を検出する
ための回転角測定部１０９と、近軸偏心測定部１０５、
上面側非球面軸測定部１０７、回転角測定部１０９およ
び外径振れ測定部１１０の各々の測定値を演算する演算
部１２１とから構成されている。
【０００４】回転レンズ支持部材１０３に支持された第
１面１０２ａが非球面、第２面１０２ｂが球面の被検レ
ンズ１０２に近軸偏心測定部１０５により被検レンズ１
０２の第１面１０２ａの近軸曲率中心１０２ｃに集光す
るように光を投射し、第１面１０２ａの反射光により回
転軸１０４に対する近軸曲率中心１０２ｃの偏心量δ 1
が０となるように被検レンズ１０２の位置を調節する。
ここで、上面側非球面軸測定部１０７により回転軸１０
４に対する第１面１０２ａの非球面軸１０６の傾き角度
ε1AS を、外径振れ測定部１１０により回転軸１０４に
対するレンズ外径１０２ｄの振れ量２δ′をそれぞれ測
定する。
１面１０２ａが非球面、第２面１０２ｂが球面の被検レ
ンズ１０２に近軸偏心測定部１０５により被検レンズ１
０２の第１面１０２ａの近軸曲率中心１０２ｃに集光す
るように光を投射し、第１面１０２ａの反射光により回
転軸１０４に対する近軸曲率中心１０２ｃの偏心量δ 1
が０となるように被検レンズ１０２の位置を調節する。
ここで、上面側非球面軸測定部１０７により回転軸１０
４に対する第１面１０２ａの非球面軸１０６の傾き角度
ε1AS を、外径振れ測定部１１０により回転軸１０４に
対するレンズ外径１０２ｄの振れ量２δ′をそれぞれ測
定する。
【０００５】非球面軸１０６の傾き方向θ1 および外径
１０２ｄの振れ方向θ2 （いづれも図示省略）は、回転
角測定部１０９により求める。非球面軸１０６の傾き角
度ε 1AS 、レンズ外径１０２ｄの振れ量２δ′、非球面
軸１０６の傾き方向θ1 、レンズ外径１０２ｄの振れ方
向θ2 により、演算部１２１にて、幾何学的に非球面軸
１０６のレンズ外径１０２ｄの中心軸１０４′に対する
横ずれ量δを算出することができる。
１０２ｄの振れ方向θ2 （いづれも図示省略）は、回転
角測定部１０９により求める。非球面軸１０６の傾き角
度ε 1AS 、レンズ外径１０２ｄの振れ量２δ′、非球面
軸１０６の傾き方向θ1 、レンズ外径１０２ｄの振れ方
向θ2 により、演算部１２１にて、幾何学的に非球面軸
１０６のレンズ外径１０２ｄの中心軸１０４′に対する
横ずれ量δを算出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術によれ
ば、第１面が非球面、第２面が球面からなる非球面レン
ズの偏心を測定する際、第２面の曲率中心および第１面
の近軸曲率中心を回転軸上に一致させれば、回転軸に対
する第１面の非球面軸の傾きおよび外径振れ量を測定す
ることができる。しかし、第１面、第２面の両面が非球
面からなる非球面レンズの偏心を測定する際には、第１
面、第２面の双方の非球面軸の傾きを測定する必要があ
る。
ば、第１面が非球面、第２面が球面からなる非球面レン
ズの偏心を測定する際、第２面の曲率中心および第１面
の近軸曲率中心を回転軸上に一致させれば、回転軸に対
する第１面の非球面軸の傾きおよび外径振れ量を測定す
ることができる。しかし、第１面、第２面の両面が非球
面からなる非球面レンズの偏心を測定する際には、第１
面、第２面の双方の非球面軸の傾きを測定する必要があ
る。
【０００７】しかるに、上記従来技術では、第２面の非
球面軸の傾きを検出することができないため、両面非球
面レンズの偏心を測定できないという問題点があった。
また、非球面軸の傾きは、高倍率のレンズを用いて検出
するため、画面が暗くなり、検出精度が低下し、とく
に、第２面の非球面軸の検出は被検レンズの裏面に相当
するため検出精度の低下は顕著であった。
球面軸の傾きを検出することができないため、両面非球
面レンズの偏心を測定できないという問題点があった。
また、非球面軸の傾きは、高倍率のレンズを用いて検出
するため、画面が暗くなり、検出精度が低下し、とく
に、第２面の非球面軸の検出は被検レンズの裏面に相当
するため検出精度の低下は顕著であった。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、請求項１または２に係る発明の課題は、両
面非球面レンズの偏心を測定することができる非球面レ
ンズの偏心測定装置を提供することである。請求項２に
係る発明の課題は、上記課題に加え、高倍率の非球面軸
の検出に対しても、画面の暗さによる検出精度の低下を
回避できる非球面レンズの偏心測定装置を提供すること
である。
れたもので、請求項１または２に係る発明の課題は、両
面非球面レンズの偏心を測定することができる非球面レ
ンズの偏心測定装置を提供することである。請求項２に
係る発明の課題は、上記課題に加え、高倍率の非球面軸
の検出に対しても、画面の暗さによる検出精度の低下を
回避できる非球面レンズの偏心測定装置を提供すること
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１または２に係る発明は、被検レンズ保持用
のレンズ受け部を有すると共に回転駆動自在に構成され
た回転レンズ支持部材と、該回転レンズ支持部材の回転
軸に対する被検レンズの非球面の近軸曲率中心の偏心量
を検出するための近軸偏心測定部と、前記回転軸に対す
るレンズ上面における非球面軸の傾き角を検出するため
の上面側非球面軸測定部と、前記回転軸の回転角を検出
するための回転角測定部と、前記近軸偏心測定部、上面
側非球面軸測定部および回転角測定部の各々の測定値を
演算する演算部とを備えた非球面レンズの偏心測定装置
において、前記回転軸に対するレンズ下面における非球
面軸の傾き角を検出するための下面側非球面軸測定部を
設け、該下面側非球面軸測定部の測定値を演算するよう
に前記演算部に接続したことを特徴とする。請求項２に
係る発明は、上記手段に加え、前記上面側非球面軸測定
部および下面側非球面軸測定部には、落射型照明装置を
内蔵せしめたことを特徴とする。
に、請求項１または２に係る発明は、被検レンズ保持用
のレンズ受け部を有すると共に回転駆動自在に構成され
た回転レンズ支持部材と、該回転レンズ支持部材の回転
軸に対する被検レンズの非球面の近軸曲率中心の偏心量
を検出するための近軸偏心測定部と、前記回転軸に対す
るレンズ上面における非球面軸の傾き角を検出するため
の上面側非球面軸測定部と、前記回転軸の回転角を検出
するための回転角測定部と、前記近軸偏心測定部、上面
側非球面軸測定部および回転角測定部の各々の測定値を
演算する演算部とを備えた非球面レンズの偏心測定装置
において、前記回転軸に対するレンズ下面における非球
面軸の傾き角を検出するための下面側非球面軸測定部を
設け、該下面側非球面軸測定部の測定値を演算するよう
に前記演算部に接続したことを特徴とする。請求項２に
係る発明は、上記手段に加え、前記上面側非球面軸測定
部および下面側非球面軸測定部には、落射型照明装置を
内蔵せしめたことを特徴とする。
【００１０】請求項１または２に係る発明の作用では、
回転軸に対するレンズ下面における非球面軸の傾き角を
検出するための下面側非球面軸測定部を設け、該下面側
非球面軸測定部の測定値を演算するように前記演算部に
接続したので、下面側非球面軸の振れ量を測定し、これ
を０になるように調心して、他の測定部の測定値を演算
することにより、下面側非球面軸を基準とする上面側非
球面軸の横ズレ量および傾き量が算出される。請求項２
に係る発明の作用では、上記作用に加え、上面側非球面
軸測定部および下面側非球面軸測定部に、落射型照明装
置を内蔵せしめたので、非球面軸の振れ量を明るい視野
のもとで、高精度に測定することができる。
回転軸に対するレンズ下面における非球面軸の傾き角を
検出するための下面側非球面軸測定部を設け、該下面側
非球面軸測定部の測定値を演算するように前記演算部に
接続したので、下面側非球面軸の振れ量を測定し、これ
を０になるように調心して、他の測定部の測定値を演算
することにより、下面側非球面軸を基準とする上面側非
球面軸の横ズレ量および傾き量が算出される。請求項２
に係る発明の作用では、上記作用に加え、上面側非球面
軸測定部および下面側非球面軸測定部に、落射型照明装
置を内蔵せしめたので、非球面軸の振れ量を明るい視野
のもとで、高精度に測定することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態１】図１〜図８は発明の実施の形態
１を示し、図１は非球面レンズの偏心測定装置の概略構
成図、図２は調心前の被検レンズの保持状態を示す図、
図３は調心後の被検レンズの保持状態を示す図、図４は
近軸偏心測定部での被検レンズの上面近軸曲率中心のＯ
1 ′の位置を示す図、図５は測定値のｘｙｚ座標系を示
す図、図６はｘｙ座標系における被検レンズの上面の曲
率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面との交点Ｐ1 の位
置を示す図、図７はｘｚ座標系における被検レンズの上
面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面との交点Ｐ
1 の位置を示す図、図８はｙｚ座標系における被検レン
ズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面との
交点Ｐ1 の位置を示す図である。
１を示し、図１は非球面レンズの偏心測定装置の概略構
成図、図２は調心前の被検レンズの保持状態を示す図、
図３は調心後の被検レンズの保持状態を示す図、図４は
近軸偏心測定部での被検レンズの上面近軸曲率中心のＯ
1 ′の位置を示す図、図５は測定値のｘｙｚ座標系を示
す図、図６はｘｙ座標系における被検レンズの上面の曲
率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面との交点Ｐ1 の位
置を示す図、図７はｘｚ座標系における被検レンズの上
面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面との交点Ｐ
1 の位置を示す図、図８はｙｚ座標系における被検レン
ズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面との
交点Ｐ1 の位置を示す図である。
【００１２】図１において、非球面レンズの偏心測定装
置１は、主に、被検レンズ２を回動自在に保持する回転
レンズ支持部材３と、回転レンズ支持部材３の回転軸４
に対する被検レンズ２の非球面の近軸曲率中心の偏心量
を検出するための近軸偏心測定部５と、回転軸４に対す
るレンズ上面２ａ1 における非球面軸の傾き角を検出す
るための上面側非球面軸測定部７と、回転軸４に対する
レンズ下面２ａ2 における非球面軸の傾き角を検出する
ための下面側非球面軸測定部８と、回転軸４の回転角を
検出するための回転角測定部９と、近軸偏心測定部５、
上面側非球面軸測定部７、下面側非球面軸測定部８およ
び回転角測定部９の各々の測定値を演算する演算部２１
とにより構成されている。
置１は、主に、被検レンズ２を回動自在に保持する回転
レンズ支持部材３と、回転レンズ支持部材３の回転軸４
に対する被検レンズ２の非球面の近軸曲率中心の偏心量
を検出するための近軸偏心測定部５と、回転軸４に対す
るレンズ上面２ａ1 における非球面軸の傾き角を検出す
るための上面側非球面軸測定部７と、回転軸４に対する
レンズ下面２ａ2 における非球面軸の傾き角を検出する
ための下面側非球面軸測定部８と、回転軸４の回転角を
検出するための回転角測定部９と、近軸偏心測定部５、
上面側非球面軸測定部７、下面側非球面軸測定部８およ
び回転角測定部９の各々の測定値を演算する演算部２１
とにより構成されている。
【００１３】回転レンズ支持部材３は、架台３１の上面
３１ａの中央に回動自在に配設され、その上面には、両
面が凸の非球面形状からなる被検レンズ２が装着されて
いる。回転レンズ支持部材３の下方には、被検レンズ２
の上面側非球面軸の水平方向の回転角を測定する回転角
測定部９が、回転レンズ支持部材３の回転軸４と同軸に
配設されている。本発明の実施の形態１においては、両
面凸の非球面形状からなる被検レンズ２について説明を
するが、両面もしくは片面が凹の非球面または球面の被
検レンズであっても同様に適用できることはいうまでも
ない。
３１ａの中央に回動自在に配設され、その上面には、両
面が凸の非球面形状からなる被検レンズ２が装着されて
いる。回転レンズ支持部材３の下方には、被検レンズ２
の上面側非球面軸の水平方向の回転角を測定する回転角
測定部９が、回転レンズ支持部材３の回転軸４と同軸に
配設されている。本発明の実施の形態１においては、両
面凸の非球面形状からなる被検レンズ２について説明を
するが、両面もしくは片面が凹の非球面または球面の被
検レンズであっても同様に適用できることはいうまでも
ない。
【００１４】架台３１の上面３１ａには、柱３２が立設
され、柱３２の上面３２ａには、ＸＹステージ１２が、
水平な２方向（矢印Ａ方向と紙面に垂直な矢印Ｂ方向）
に移動自在に配設されている。ＸＹステージ１２上に
は、近軸偏心測定部５が、その光学軸を回転レンズ支持
部材３の回転軸４に一致させることができるように搭載
されている。図３に示すように、この近軸偏心測定部５
は、被検レンズ２の上面２ａ1 の近軸曲率中心Ｏ1 に集
光するような光を投射し、上面２ａ1 における反射光を
図示を省略した内部の撮像素子にて捉え、上面２ａ1 の
近軸曲率中心Ｏ1の位置を測定することができる。
され、柱３２の上面３２ａには、ＸＹステージ１２が、
水平な２方向（矢印Ａ方向と紙面に垂直な矢印Ｂ方向）
に移動自在に配設されている。ＸＹステージ１２上に
は、近軸偏心測定部５が、その光学軸を回転レンズ支持
部材３の回転軸４に一致させることができるように搭載
されている。図３に示すように、この近軸偏心測定部５
は、被検レンズ２の上面２ａ1 の近軸曲率中心Ｏ1 に集
光するような光を投射し、上面２ａ1 における反射光を
図示を省略した内部の撮像素子にて捉え、上面２ａ1 の
近軸曲率中心Ｏ1の位置を測定することができる。
【００１５】図１に示すように、柱３２の正面垂直面３
２ｂには、移動ステージ１４、回転ステージ１５および
移動ステージ１３が順次重ねて配設され、移動ステージ
１３上には、被検レンズ２の上面２ａ1 の非球面軸の傾
きを測定する上面側非球面測定部７が搭載されている。
上面側非球面測定部７には、被検レンズ２の測定時に同
軸落射で視野を明るくするための落射型照明装置からな
る測定照明部１１Ａが内蔵されている。上面側非球面軸
測定部７は移動ステージ１３により矢印Ｄ方向に、移動
ステージ１４により矢印Ａ方向に移動自在かつ固定可能
となっている。さらに、上面側非球面軸測定部７は回転
ステージ１５の溝１５ａ、ガイド１５ｂにより矢印Ｃ方
向に回動自在かつ固定可能となっている。
２ｂには、移動ステージ１４、回転ステージ１５および
移動ステージ１３が順次重ねて配設され、移動ステージ
１３上には、被検レンズ２の上面２ａ1 の非球面軸の傾
きを測定する上面側非球面測定部７が搭載されている。
上面側非球面測定部７には、被検レンズ２の測定時に同
軸落射で視野を明るくするための落射型照明装置からな
る測定照明部１１Ａが内蔵されている。上面側非球面軸
測定部７は移動ステージ１３により矢印Ｄ方向に、移動
ステージ１４により矢印Ａ方向に移動自在かつ固定可能
となっている。さらに、上面側非球面軸測定部７は回転
ステージ１５の溝１５ａ、ガイド１５ｂにより矢印Ｃ方
向に回動自在かつ固定可能となっている。
【００１６】図３に示すように、被検レンズ２の上面２
ａ1 の非球面軸６Ａを中心とする同心上の輪帯状マーク
２ｅ1 に対し、移動ステージ１３、１４および回転ステ
ージ１５により、上面側非球面軸測定部７を矢印Ａ，
Ｄ，Ｃ方向に移動させることにより、輪帯状マーク２ｅ
1 を観察するための最適位置にセットすることができ
る。なお、上面側非球面軸測定部７は、輪帯状マーク２
ｅ1 を観察するための光学系と撮像素子とを備え、輪帯
状マーク２ｅ1 の観察像から、輪帯状マーク２ｅ1の回
転に伴う変位量２Δ1 を検出する。輪帯状マーク２ｅ1
は、非球面軸６Ａを中心としているため、輪帯状マーク
２ｅ1 の回転に伴う変位量２Δ1 から非球面軸６Ａの横
ズレ量Δ1 を算出することができる。
ａ1 の非球面軸６Ａを中心とする同心上の輪帯状マーク
２ｅ1 に対し、移動ステージ１３、１４および回転ステ
ージ１５により、上面側非球面軸測定部７を矢印Ａ，
Ｄ，Ｃ方向に移動させることにより、輪帯状マーク２ｅ
1 を観察するための最適位置にセットすることができ
る。なお、上面側非球面軸測定部７は、輪帯状マーク２
ｅ1 を観察するための光学系と撮像素子とを備え、輪帯
状マーク２ｅ1 の観察像から、輪帯状マーク２ｅ1の回
転に伴う変位量２Δ1 を検出する。輪帯状マーク２ｅ1
は、非球面軸６Ａを中心としているため、輪帯状マーク
２ｅ1 の回転に伴う変位量２Δ1 から非球面軸６Ａの横
ズレ量Δ1 を算出することができる。
【００１７】図１に示すように、架台３１の回転レンズ
支持部材３の左方には、上面側非球面軸測定部７と同様
の構成で、移動ステージ１７、回転ステージ１８および
移動ステージ１６が順次重ねて配設され、回転ステージ
１８上には、被検レンズ２の下面２ａ2 の非球面軸の傾
きを測定する下面側非球面測定部８が搭載されている。
下面側非球面測定部８には、被検レンズ２の測定時に同
軸落射で視野を明るくするための落射型照明装置からな
る測定照明部１１Ｂが内蔵されている。下面側非球面軸
測定部８は移動ステージ１６により矢印Ｄ′方向に、移
動ステージ１７より矢印Ａ方向に移動自在かつ固定可能
となっている。さらに、下面側非球面軸測定部８は回転
ステージ１８の溝１８ａ、ガイド１８ｂにより矢印Ｃ′
方向に回動自在かつ固定可能となっている。
支持部材３の左方には、上面側非球面軸測定部７と同様
の構成で、移動ステージ１７、回転ステージ１８および
移動ステージ１６が順次重ねて配設され、回転ステージ
１８上には、被検レンズ２の下面２ａ2 の非球面軸の傾
きを測定する下面側非球面測定部８が搭載されている。
下面側非球面測定部８には、被検レンズ２の測定時に同
軸落射で視野を明るくするための落射型照明装置からな
る測定照明部１１Ｂが内蔵されている。下面側非球面軸
測定部８は移動ステージ１６により矢印Ｄ′方向に、移
動ステージ１７より矢印Ａ方向に移動自在かつ固定可能
となっている。さらに、下面側非球面軸測定部８は回転
ステージ１８の溝１８ａ、ガイド１８ｂにより矢印Ｃ′
方向に回動自在かつ固定可能となっている。
【００１８】図２に示すように、被検レンズ２の下面２
ａ2 の非球面軸６Ｂを中心とする同心上の輪帯状マーク
２ｅ2 に対し、移動ステージ１６、１７および回転ステ
ージ１８により、下面側非球面軸測定部８を矢印Ｄ′，
Ａ，Ｃ′方向（図１参照）に移動させることにより、輪
帯状マーク２ｅ1 を観察するための最適位置にセットす
ることができる。なお、下面側非球面軸測定部８は、輪
帯状マーク２ｅ2 を観察するための光学系と撮像素子と
を備え、輪帯状マーク２ｅ2 の観察像から、輪帯状マー
ク２ｅ2 の回転に伴う変位量２Δ2 を検出する。輪帯状
マーク２ｅ2 は、非球面軸６Ｂを中心としているため、
輪帯状マーク２ｅ2 の回転に伴う変位量２Δ2 から非球
面軸６Ｂの横ズレ量Δ2 を算出することができる。
ａ2 の非球面軸６Ｂを中心とする同心上の輪帯状マーク
２ｅ2 に対し、移動ステージ１６、１７および回転ステ
ージ１８により、下面側非球面軸測定部８を矢印Ｄ′，
Ａ，Ｃ′方向（図１参照）に移動させることにより、輪
帯状マーク２ｅ1 を観察するための最適位置にセットす
ることができる。なお、下面側非球面軸測定部８は、輪
帯状マーク２ｅ2 を観察するための光学系と撮像素子と
を備え、輪帯状マーク２ｅ2 の観察像から、輪帯状マー
ク２ｅ2 の回転に伴う変位量２Δ2 を検出する。輪帯状
マーク２ｅ2 は、非球面軸６Ｂを中心としているため、
輪帯状マーク２ｅ2 の回転に伴う変位量２Δ2 から非球
面軸６Ｂの横ズレ量Δ2 を算出することができる。
【００１９】図１に示すように、演算部２１は、近軸偏
心測定部５、上面側非球面軸測定部７、下面側非球面軸
測定部８および回転角測定部９と接続され、これらの出
力値から非球面軸の横ズレ量δと傾き角εASを求めるよ
うに構成されている。
心測定部５、上面側非球面軸測定部７、下面側非球面軸
測定部８および回転角測定部９と接続され、これらの出
力値から非球面軸の横ズレ量δと傾き角εASを求めるよ
うに構成されている。
【００２０】つぎに、本発明の実施の形態１の非球面レ
ンズの偏心測定装置１の作用について説明する。まず、
図２に示すように、被検レンズ２を回転レンズ支持部材
３の上面に装着する。被検レンズ２の下面２ａ2 を回転
レンズ支持部材３の円筒エッジ３ａで受けることによ
り、被検レンズ２の下面２ａ2 の近軸曲率中心Ｏ2 は、
回転レンズ支持部材３の回転軸４上に合致する。図示を
省略した駆動装置により、回転軸４を回転中心として、
被検レンズ２を矢印Ｅ方向に回転させる。このとき、下
面側非球面軸測定部８により、被検レンズ２の下面２ａ
2 に設けられた輪帯状マーク２ｅ2 を観察し、被検レン
ズ２の回転に伴う輪帯状マーク２ｅ2 の振れ量２Δ2 を
測定する。このとき、輪帯状マーク２ｅ2 の観察は、高
倍率で行うため、通常は視野が暗くなってしまうが、輪
帯状マーク２ｅ2 は測定照明部１１Ｂにより照明されて
いるため、視野が暗くなることなく観察を行うことがで
き、輪帯状マーク２ｅ2 の振れ量２Δ2 を精度よく測定
することができる。
ンズの偏心測定装置１の作用について説明する。まず、
図２に示すように、被検レンズ２を回転レンズ支持部材
３の上面に装着する。被検レンズ２の下面２ａ2 を回転
レンズ支持部材３の円筒エッジ３ａで受けることによ
り、被検レンズ２の下面２ａ2 の近軸曲率中心Ｏ2 は、
回転レンズ支持部材３の回転軸４上に合致する。図示を
省略した駆動装置により、回転軸４を回転中心として、
被検レンズ２を矢印Ｅ方向に回転させる。このとき、下
面側非球面軸測定部８により、被検レンズ２の下面２ａ
2 に設けられた輪帯状マーク２ｅ2 を観察し、被検レン
ズ２の回転に伴う輪帯状マーク２ｅ2 の振れ量２Δ2 を
測定する。このとき、輪帯状マーク２ｅ2 の観察は、高
倍率で行うため、通常は視野が暗くなってしまうが、輪
帯状マーク２ｅ2 は測定照明部１１Ｂにより照明されて
いるため、視野が暗くなることなく観察を行うことがで
き、輪帯状マーク２ｅ2 の振れ量２Δ2 を精度よく測定
することができる。
【００２１】この状態で、回転レンズ支持部材３上で被
検レンズ２を接触させたまま滑らせて移動させ、回転軸
４に対する輪帯状マーク２ｅ2 の振れ量２Δ2 が０にな
るように調心する。図３に示すように、輪帯状マーク２
ｅ2 は、被検レンズ２の下面２ａ2 の非球面軸６Ｂに対
して同心円に形成されているため、上記調心作業により
被検レンズ２の下面２ａ2 の非球面軸６Ｂは、回転レン
ズ支持部材３の回転軸４に合致し、Δ2 ＝０となる。
検レンズ２を接触させたまま滑らせて移動させ、回転軸
４に対する輪帯状マーク２ｅ2 の振れ量２Δ2 が０にな
るように調心する。図３に示すように、輪帯状マーク２
ｅ2 は、被検レンズ２の下面２ａ2 の非球面軸６Ｂに対
して同心円に形成されているため、上記調心作業により
被検レンズ２の下面２ａ2 の非球面軸６Ｂは、回転レン
ズ支持部材３の回転軸４に合致し、Δ2 ＝０となる。
【００２２】つぎに、図３に示すように、近軸偏心測定
部５で、被検レンズ２の上面２ａ1の近軸曲率中心Ｏ1
に集光するような光を投射し、再び、回転軸４を回転中
心として、被検レンズ２を矢印Ｅ方向に回転させ、反射
光の像Ｏ1 ′を観察する。被検レンズ２の上面２ａ1 の
近軸曲率中心Ｏ1 が回転軸４上にあれば、反射光の像Ｏ
1 ′は回転しないが、図４に示すように回転軸４上にな
い場合には、回転軸４からの距離に応じた半径で回転す
るため、上面２ａ1 の近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４から
の距離δ1 を測定する。
部５で、被検レンズ２の上面２ａ1の近軸曲率中心Ｏ1
に集光するような光を投射し、再び、回転軸４を回転中
心として、被検レンズ２を矢印Ｅ方向に回転させ、反射
光の像Ｏ1 ′を観察する。被検レンズ２の上面２ａ1 の
近軸曲率中心Ｏ1 が回転軸４上にあれば、反射光の像Ｏ
1 ′は回転しないが、図４に示すように回転軸４上にな
い場合には、回転軸４からの距離に応じた半径で回転す
るため、上面２ａ1 の近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４から
の距離δ1 を測定する。
【００２３】また、上記作業と同時に上面側非球面軸測
定部７により、被検レンズ２の回転に伴う輪帯状マーク
２ｅ1 の振れ量２Δ1 を検出する。このとき、下面２ａ
2 の輪帯状マーク２ｅ2 の観察と同様に、高倍率で行う
ため、通常は視野が暗くなるが、輪帯状マーク２ｅ1 も
測定照明部１１Ａにより照明されているため、視野が暗
くなることなく観察を行うことができ、輪帯状マーク２
ｅ1 の振れ量２Δ1 を精度よく測定することができる。
輪帯状マーク２ｅ1 は、被検レンズ２の上面２ａ1 の非
球面軸６Ａに対して同心円に形成されているため、輪帯
状マーク２ｅ1の振れ量２Δ1 を測定することにより、
被検レンズ２の上面２ａ1 と非球面軸６Ａとの交点Ｐ1
と回転軸４との距離Δ1 を測定することができる。
定部７により、被検レンズ２の回転に伴う輪帯状マーク
２ｅ1 の振れ量２Δ1 を検出する。このとき、下面２ａ
2 の輪帯状マーク２ｅ2 の観察と同様に、高倍率で行う
ため、通常は視野が暗くなるが、輪帯状マーク２ｅ1 も
測定照明部１１Ａにより照明されているため、視野が暗
くなることなく観察を行うことができ、輪帯状マーク２
ｅ1 の振れ量２Δ1 を精度よく測定することができる。
輪帯状マーク２ｅ1 は、被検レンズ２の上面２ａ1 の非
球面軸６Ａに対して同心円に形成されているため、輪帯
状マーク２ｅ1の振れ量２Δ1 を測定することにより、
被検レンズ２の上面２ａ1 と非球面軸６Ａとの交点Ｐ1
と回転軸４との距離Δ1 を測定することができる。
【００２４】また、交点Ｐ1 の回転軸４からの距離
Δ1 、および近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離δ
1 の検出と同時に回転角測定部９により、図６に示すよ
うに、被検レンズ2 の回転に伴う交点Ｐ1 の回転角θ1
（すなわち、図５に示す座標系のｘ−ｙ座標系におい
て、上面２ａ1 とその非球面軸６Ａとの交点Ｐ1 をと
り、その交点Ｐ1 と座標系の原点とを結ぶ直線とｘ軸と
のなす角）と、近軸曲率中心Ｏ 1 の回転角θ2 （すなわ
ち、ｘ−ｙ座標系において、上面２ａ1 の近軸曲率中心
Ｏ1 と座標系の原点とを結ぶ直線とｘ軸とのなす角）と
を測定する。
Δ1 、および近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離δ
1 の検出と同時に回転角測定部９により、図６に示すよ
うに、被検レンズ2 の回転に伴う交点Ｐ1 の回転角θ1
（すなわち、図５に示す座標系のｘ−ｙ座標系におい
て、上面２ａ1 とその非球面軸６Ａとの交点Ｐ1 をと
り、その交点Ｐ1 と座標系の原点とを結ぶ直線とｘ軸と
のなす角）と、近軸曲率中心Ｏ 1 の回転角θ2 （すなわ
ち、ｘ−ｙ座標系において、上面２ａ1 の近軸曲率中心
Ｏ1 と座標系の原点とを結ぶ直線とｘ軸とのなす角）と
を測定する。
【００２５】演算部２１により、交点Ｐ1 の回転軸４か
らの距離Δ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離
δ1 、交点Ｐ1 の回転角θ1 および近軸曲率中心Ｏ1 の
回転角θ2 を演算するが、交点Ｐ1 の回転軸４からの距
離Δ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離δ1 、
交点Ｐ1 の回転角θ1 および近軸曲率中心Ｏ1 の回転角
θ2 は３次元的な関係をもつため、図５に示したよう
に、右手系でｘ，ｙ，ｚの座標系（ｘ，ｙ，ｚの各軸
は、互いに直交しており、かつ、ｚ軸は回転軸４と一致
している）をとると、ある回転角θ1 、θ2 において、
ｘ−ｚ平面、ｙ−ｚ平面、ｘ−ｙ平面のそれぞれで、近
軸曲率中心Ｏ1 、交点Ｐ1 、交点Ｐ1 の回転軸４からの
距離Δ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離
δ1 、交点Ｐ1 の回転角θ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転
角θ2 、上面２ａ1 の近軸曲率半径Ｒ1 （すなわちＰ1
とＯ1 との距離）の関係は、ｘ−ｚ平面では図７のよう
に、ｙ−ｚ平面では図８のように、ｘ−ｙ平面では図６
のように表示される。
らの距離Δ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離
δ1 、交点Ｐ1 の回転角θ1 および近軸曲率中心Ｏ1 の
回転角θ2 を演算するが、交点Ｐ1 の回転軸４からの距
離Δ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離δ1 、
交点Ｐ1 の回転角θ1 および近軸曲率中心Ｏ1 の回転角
θ2 は３次元的な関係をもつため、図５に示したよう
に、右手系でｘ，ｙ，ｚの座標系（ｘ，ｙ，ｚの各軸
は、互いに直交しており、かつ、ｚ軸は回転軸４と一致
している）をとると、ある回転角θ1 、θ2 において、
ｘ−ｚ平面、ｙ−ｚ平面、ｘ−ｙ平面のそれぞれで、近
軸曲率中心Ｏ1 、交点Ｐ1 、交点Ｐ1 の回転軸４からの
距離Δ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転軸４からの距離
δ1 、交点Ｐ1 の回転角θ1 、近軸曲率中心Ｏ1 の回転
角θ2 、上面２ａ1 の近軸曲率半径Ｒ1 （すなわちＰ1
とＯ1 との距離）の関係は、ｘ−ｚ平面では図７のよう
に、ｙ−ｚ平面では図８のように、ｘ−ｙ平面では図６
のように表示される。
【００２６】よって、回転軸４に対する被検レンズ２の
表面２ａ1 の非球面軸６Ａの横ズレ量δ1AS 、傾き量ε
1ASx、ε1ASyは、幾何学的に算出することができ、図７
から（１）式により傾き量ε1ASxが算出され、基準軸た
る回転軸４に対するｘ方向の角度が求められる。また、
図８から（２）式により傾き量ε1ASyが算出され、基準
軸たる回転軸４に対するｙ方向の角度が求められる。さ
らに、図６から（３）式により、横ズレ量δ1AS が算出
され、基準軸たる回転軸４に対する横ズレ量が求められ
る。 ε1ASx＝ｓｉｎ-1（（δ1ASx＋δ1x）／Ｒ1 ）・・・（１） ε1ASy＝ｓｉｎ-1（（δ1ASy−δ1y）／Ｒ1 ）・・・（２） δ1AS ＝（δ1ASx 2 ＋δ1ASy 2 ）1/2 ・・・・・・・（３）
表面２ａ1 の非球面軸６Ａの横ズレ量δ1AS 、傾き量ε
1ASx、ε1ASyは、幾何学的に算出することができ、図７
から（１）式により傾き量ε1ASxが算出され、基準軸た
る回転軸４に対するｘ方向の角度が求められる。また、
図８から（２）式により傾き量ε1ASyが算出され、基準
軸たる回転軸４に対するｙ方向の角度が求められる。さ
らに、図６から（３）式により、横ズレ量δ1AS が算出
され、基準軸たる回転軸４に対する横ズレ量が求められ
る。 ε1ASx＝ｓｉｎ-1（（δ1ASx＋δ1x）／Ｒ1 ）・・・（１） ε1ASy＝ｓｉｎ-1（（δ1ASy−δ1y）／Ｒ1 ）・・・（２） δ1AS ＝（δ1ASx 2 ＋δ1ASy 2 ）1/2 ・・・・・・・（３）
【００２７】本発明の実施の形態１によれば、コンパク
トな構成で、両面非球面レンズの偏心を測定することが
できる。また、上面側非球面軸測定部および下面側非球
面軸測定部に同軸落射で視野を明るくする落射照明装置
を内蔵しているので、高倍率で正確な測定をすることが
できる。
トな構成で、両面非球面レンズの偏心を測定することが
できる。また、上面側非球面軸測定部および下面側非球
面軸測定部に同軸落射で視野を明るくする落射照明装置
を内蔵しているので、高倍率で正確な測定をすることが
できる。
【００２８】
【発明の実施の形態２】図９は発明の実施の形態２を示
し、非球面レンズの偏心測定装置の概略構成図である。
本発明の実施の形態２の非球面レンズの偏心測定装置１
Ａは、発明の実施の形態１の非球面レンズの偏心測定装
置の測定照明部１１Ａ、１１Ｂを変更したものであり、
同一の部材には同一の符号を付し、共通部分の図と説明
を省略する。
し、非球面レンズの偏心測定装置の概略構成図である。
本発明の実施の形態２の非球面レンズの偏心測定装置１
Ａは、発明の実施の形態１の非球面レンズの偏心測定装
置の測定照明部１１Ａ、１１Ｂを変更したものであり、
同一の部材には同一の符号を付し、共通部分の図と説明
を省略する。
【００２９】図９において、移動ステージ１３上の上面
側非球面軸測定部７Ａは、発明の実施の形態１の上面側
非球面軸測定部７に内蔵した落射型照明装置からなる測
定照明部１１Ａに替えて、ファイバ照明部２２Ａを上面
側非球面軸測定部７Ａに付設している。ファイバ照明部
２２Ａは、図示を省略した光源からの光を、光ファイバ
束からなる先端部２２Ａａに透過させて、被検レンズ２
の上面２ａ1 に設けられた輪帯状マーク２ｅ1 に照射す
る。先端部２２Ａａは、照明方向を自由に変更できるよ
うに構成されており、たとえば、照明光の反射が直接、
上面側非球面軸測定部７Ａに入射し、非球面軸６Ａの測
定に悪影響を与える場合には、照明の向きを変更するこ
とができる。
側非球面軸測定部７Ａは、発明の実施の形態１の上面側
非球面軸測定部７に内蔵した落射型照明装置からなる測
定照明部１１Ａに替えて、ファイバ照明部２２Ａを上面
側非球面軸測定部７Ａに付設している。ファイバ照明部
２２Ａは、図示を省略した光源からの光を、光ファイバ
束からなる先端部２２Ａａに透過させて、被検レンズ２
の上面２ａ1 に設けられた輪帯状マーク２ｅ1 に照射す
る。先端部２２Ａａは、照明方向を自由に変更できるよ
うに構成されており、たとえば、照明光の反射が直接、
上面側非球面軸測定部７Ａに入射し、非球面軸６Ａの測
定に悪影響を与える場合には、照明の向きを変更するこ
とができる。
【００３０】また、回転ステージ１８上の下面側非球面
軸測定部８Ａは、発明の実施の形態１の下面側非球面軸
測定部８に内蔵した落射型照明装置からなる測定照明部
１１Ｂに替えて、ファイバ照明部２２Ｂを下面側非球面
軸測定部８Ａに付設している。ファイバ照明部２２Ｂ
は、図示を省略した光源からの光を、光ファイバ束から
なる先端部２２Ｂａに透過させて、被検レンズ２の下面
２ａ2 に設けられた輪帯状マーク２ｅ2 に照射する。先
端部２２Ｂａの構成・作用はファイバ照明部２２Ａの先
端部２２Ａａと同様のため、説明を省略する。
軸測定部８Ａは、発明の実施の形態１の下面側非球面軸
測定部８に内蔵した落射型照明装置からなる測定照明部
１１Ｂに替えて、ファイバ照明部２２Ｂを下面側非球面
軸測定部８Ａに付設している。ファイバ照明部２２Ｂ
は、図示を省略した光源からの光を、光ファイバ束から
なる先端部２２Ｂａに透過させて、被検レンズ２の下面
２ａ2 に設けられた輪帯状マーク２ｅ2 に照射する。先
端部２２Ｂａの構成・作用はファイバ照明部２２Ａの先
端部２２Ａａと同様のため、説明を省略する。
【００３１】本発明の実施の形態２によれば、コンパク
トな構成で、両面非球面レンズの偏心を測定することが
できる。また、ファイバ照明部の先端部は、照明方向を
自由に変更ができるため、照明光の反射等が非球面軸の
測定に悪影響を与える場合には、照明の向きを変更する
など、測定条件に応じて照明の状態を変更することがで
きる。
トな構成で、両面非球面レンズの偏心を測定することが
できる。また、ファイバ照明部の先端部は、照明方向を
自由に変更ができるため、照明光の反射等が非球面軸の
測定に悪影響を与える場合には、照明の向きを変更する
など、測定条件に応じて照明の状態を変更することがで
きる。
【００３２】
【発明の効果】請求項１または２に係る発明によれば、
下面側非球面軸の振れ量を測定し、これを０になるよう
に調心して、他の測定部の測定値を演算することによ
り、下面側非球面軸を基準とする上面非球面軸の横ズレ
量および傾き量が算出されるので、コンパクトな構成
で、両面非球面レンズの偏心を測定することができる。
請求項２に係る発明によれば、上記効果に加え、非球面
軸の振れ量を明るい視野のもとで、高精度に測定できる
ので、高倍率の非球面軸の検出を行うことができる。
下面側非球面軸の振れ量を測定し、これを０になるよう
に調心して、他の測定部の測定値を演算することによ
り、下面側非球面軸を基準とする上面非球面軸の横ズレ
量および傾き量が算出されるので、コンパクトな構成
で、両面非球面レンズの偏心を測定することができる。
請求項２に係る発明によれば、上記効果に加え、非球面
軸の振れ量を明るい視野のもとで、高精度に測定できる
ので、高倍率の非球面軸の検出を行うことができる。
【図１】発明の実施の形態１の非球面レンズの偏心測定
装置の概略構成図である。
装置の概略構成図である。
【図２】発明の実施の形態１の調心前の被検レンズの保
持状態を示す図である。
持状態を示す図である。
【図３】発明の実施の形態１の調心後の被検レンズの保
持状態を示す図である。
持状態を示す図である。
【図４】発明の実施の形態１の近軸偏心測定部での被検
レンズの上面近軸曲率中心のＯ 1 ′の位置を示す図であ
る。
レンズの上面近軸曲率中心のＯ 1 ′の位置を示す図であ
る。
【図５】発明の実施の形態１の測定値のｘｙｚ座標系を
示す図である。
示す図である。
【図６】発明の実施の形態１のｘｙ座標系における被検
レンズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面
との交点Ｐ1 の位置を示す図である。
レンズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面
との交点Ｐ1 の位置を示す図である。
【図７】発明の実施の形態１のｘｚ座標系における被検
レンズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面
との交点Ｐ1 の位置を示す図である。
レンズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面
との交点Ｐ1 の位置を示す図である。
【図８】発明の実施の形態１のｙｚ座標系における被検
レンズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面
との交点Ｐ1 の位置を示す図である。
レンズの上面の曲率中心Ｏ1 および上面非球面軸と上面
との交点Ｐ1 の位置を示す図である。
【図９】発明の実施の形態２の非球面レンズの偏心測定
装置の概略構成図である。
装置の概略構成図である。
【図１０】従来技術の非球面レンズの偏心測定装置の概
念図である。
念図である。
２ 被検レンズ ２ａ1 上面 ２ａ2 下面 ３ 回転レンズ支持部材 ４ 回転軸 ５ 近軸偏心測定部 ７ 上面側非球面軸測定部 ８ 下面側非球面軸測定部 ９ 回転角測定部 ２１ 演算部
Claims (2)
- 【請求項１】 被検レンズ保持用のレンズ受け部を有す
ると共に回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材
と、該回転レンズ支持部材の回転軸に対する被検レンズ
の非球面の近軸曲率中心の偏心量を検出するための近軸
偏心測定部と、前記回転軸に対するレンズ上面における
非球面軸の傾き角を検出するための上面側非球面軸測定
部と、前記回転軸の回転角を検出するための回転角測定
部と、前記近軸偏心測定部、上面側非球面軸測定部およ
び回転角測定部の各々の測定値を演算する演算部とを備
えた非球面レンズの偏心測定装置において、 前記回転軸に対するレンズ下面における非球面軸の傾き
角を検出するための下面側非球面軸測定部を設け、該下
面側非球面軸測定部の測定値を演算するように前記演算
部に接続したことを特徴とする非球面レンズの偏心測定
装置。 - 【請求項２】 前記上面側非球面軸測定部および下面側
非球面軸測定部には、落射型照明装置を内蔵せしめたこ
とを特徴とする請求項１記載の非球面レンズの偏心測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11635896A JPH09304222A (ja) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11635896A JPH09304222A (ja) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304222A true JPH09304222A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14684990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11635896A Withdrawn JPH09304222A (ja) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | 非球面レンズの偏心測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304222A (ja) |
-
1996
- 1996-05-10 JP JP11635896A patent/JPH09304222A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |