KR20090034576A - 구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템 - Google Patents

구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20090034576A
KR20090034576A KR1020070099885A KR20070099885A KR20090034576A KR 20090034576 A KR20090034576 A KR 20090034576A KR 1020070099885 A KR1020070099885 A KR 1020070099885A KR 20070099885 A KR20070099885 A KR 20070099885A KR 20090034576 A KR20090034576 A KR 20090034576A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
interferometer
lens
aspherical lens
interference fringe
aspherical
Prior art date
Application number
KR1020070099885A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101379677B1 (ko
Inventor
수지 요네야마
정용호
Original Assignee
삼성테크윈 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성테크윈 주식회사 filed Critical 삼성테크윈 주식회사
Priority to KR1020070099885A priority Critical patent/KR101379677B1/ko
Publication of KR20090034576A publication Critical patent/KR20090034576A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101379677B1 publication Critical patent/KR101379677B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0271—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by using interferometric methods
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G01N2021/9583—Lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정 시스템에 있어서, 상기 편심 측정 시스템은, 서로 대향 배치되고 구면파를 발생하는 제1간섭계 및 제2간섭계;와, 상기 제1간섭계 및 제2간섭계 사이에 배치되고, 상기 비구면렌즈에 접촉하여 상기 비구면렌즈를 보관유지하는 부분을 가지며, 상기 부분에 직교하는 회전축 주위로 회전 가능하게 하는 렌즈 홀더;를 포함하고, 상기 제1간섭계, 제2간섭계의 광축 및 상기 렌즈 홀더의 회전축은 일직선상에 배치되고, 상기 제1간섭계, 제2간섭계 및 렌즈 홀더는 상기 광축 및 회전축 상을 움직일 수 있도록 구성되며, 상기 비구면렌즈의 제1피검면 및 제2피검면에 의해 형성된 간섭무늬를 해석함으로써 상기 비구면렌즈의 편심량을 측정하는 편심 측정 시스템을 제공한다.

Description

구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정 시스템{Eccentricity measurement for aspheric lens using the interferometer producing spherical wave}
본 발명은 비구면렌즈의 편심 측정 시스템 및 그 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구면파 발생 간섭계를 이용하여 비구면렌즈의 편심량을 범용적으로 측정할 수 있는 편심 측정 시스템에 관한 것이다.
카메라, 캠코드 등과 같은 결상 광학기기에 사용되는 구면렌즈는 렌즈의 중심부로 입사한 빛이 한 곳에 맺지 못하고 상이 흐려지는 구면수차(球面收差)가 발생한다. 이를 보완하기 위하여, 렌즈의 구면을 비구면(非球面)으로 만들어 해상력을 향상시킨 비구면렌즈가 널리 사용된다. 비구면렌즈의 제조과정에서 발생하는 편심은 렌즈가 장착되는 광학기기에 영향을 때문에, 비구면렌즈의 편심량을 측정하는 다양한 방법이 시도되고 있다.
이와 관련하여 도 1을 참조하면, 일본공개특허 제2001-165807에는 비구면렌즈(L) 양쪽에 널(null) 렌즈를 배치하고 피검렌즈의 일 면을 기준으로 원칼라(one color) 상태로 이동시킬 때의 양을 측정해서 이를 피검렌즈의 편심량으로 해석한 다. 이때 피검렌즈를 180도 회전하여 다시 측정함으로써 간섭계에 의한 편심의 영향을 제거할 수 있다. 그러나 이 장치는 널 렌즈를 이용하여 편심량을 측정하여야 하기 때문에 비구면렌즈의 형상에 따른 전용의 널 렌즈를 사용해야 하고, 피검렌즈를 회전해서 평가하므로 기구적 오차에 의한 영향을 배제할 수가 없다.
한편, 도 2를 참조하면, 일본공개특허 제1998-002714호에는 피검렌즈의 회전없이 비구면렌즈의 편심량을 측정하는 방법을 제공하고 있으나, 렌즈의 비구면에 입사하는 전용의 파면발생 광학계를 사용하기 때문에 측정이 용이하지 않는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점 및 그 밖의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 비구면렌즈의 편심량 측정에 범용적으로 사용될 수 있는 편심 측정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정 시스템에 있어서, 상기 편심 측정 시스템은, 서로 대향 배치되고 구면파를 발생하는 제1간섭계 및 제2간섭계;와, 상기 제1간섭계 및 제2간섭계 사이에 배치되고, 상기 비구면렌즈에 접촉하여 상기 비구면렌즈를 보관유지하는 부분을 가지며, 상기 부분에 직교하는 회전축 주위로 회전 가능하게 하는 렌즈 홀더;를 포함하고, 상기 제1간섭계, 제2간섭계의 광축 및 상기 렌즈 홀더의 회전축은 일직선상에 배치되고, 상기 제1간섭계, 제2간섭계 및 렌즈 홀더는 상기 광축 및 회전축 상을 움직일 수 있도록 구성되며, 상기 비구면렌즈의 제1피검면 및 제2피검면에 의해 형성된 간섭무늬를 해석함으로써 상기 비구면렌즈의 편심량을 측정하는 편심 측정 시스템을 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 렌즈 홀더에 유지보관된 비구면렌즈의 외경 떨림을 측정하는 장치를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 간섭무늬 해석은, 상기 광축 방향으로 간섭무늬를 주사하는 프린지 스캔(fringe scan) 방법으로 수행될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제1간섭계 및 제2간섭계 중 적어도 하나는 입사 구면파와 반사파의 간섭 시 형성되는 간섭무늬를 계측 및 형상화하여 표시하는 간섭무늬 표시장치를 더 포함할 수 있다.
상기와 같은 편심 측정 시스템에 의하면, 비구면렌즈의 편심량을 측정하기 위하여 종래와 같이 비구면렌즈마다 별도의 전용 간섭계가 필요한 비구면파 발생 간섭계를 사용하지 않고, 일반적이고 범용적으로 사용되는 구면파 발생 간섭계를 사용하여 간단하게 비구면렌즈의 편심량을 측정할 수 있다.
또한, 상기와 같은 편심 측정 시스템에 의하면, 외경 떨림 측정장치를 구비함으로써 비구면렌즈의 외경 떨림에 의해 유발되는 비구면렌즈의 편심량의 영향을 측정할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편심 측정 시스템을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 아래에 예시된 실시예는 본 발명에 관한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 충분히 설명하기 위해 제공되는 것으로서, 이 실시예에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한 도면에 도시된 각 구성요소의 크기는 설명의 편의상 과장될 수 있다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편심 측정 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
상기 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 편심 측정 시스템은 비구면렌즈(110)의 편심량을 측정하기 위한, 제1간섭계(120), 렌즈 홀더(130), 제2간섭 계(140), 및 외경 흔들림 측정장치(150) 등을 구비한다.
먼저, 제1간섭계(120)의 광축과 제2간섭계(140)의 광축 및 렌즈 홀더(130)의 회전축이 일직선상에 배치되도록 시스템을 구성한다. 이하, 제1간섭계(120)의 광축, 제2간섭계(140)의 광축 및 렌즈 홀더(130)의 회전축을 일치시킨 축을 기준축(S)이라 한다.
제1간섭계(120)는 렌즈 홀더(130)에 안착된 비구면렌즈(110)의 제1피검면(110a)을 향하여 구면파를 입사시킨다. 여기서 제1간섭계(120)는 구면파를 생성하기만 한다면, 피조 간섭계를 비롯한 어떠한 광학구성장치로 구성되어도 무방하다.
렌즈 홀더(130)는 비구면렌즈(110)의 일 부분에 접촉하여 이동중에도 비구면렌즈(110)가 흔들리지 않도록 비구면렌즈(110)에 안정적으로 유지할 수 있어야 한다. 이를 위하여 상기 도면에 자세히 도시되지는 않았지만, 렌즈 홀더(130)는 렌즈를 진공흡착할 수 있는 장치로 이루어질 수 있다. 또한, 렌즈 홀더(130)는 기준축(S)을 중심으로 회전할 수도 있는데, 전술한 바와 같이 렌즈 홀더(130)의 회전축은 기준축(S)에 일치되도록 배치된다.
제1피검면(110a)에 입사된 구면파는 제1피검면(110a)에서 반사되어 입사 경로를 역행하며 진행하는 반사파와 간섭을 일으킨다. 이때, 도면에는 도시되지 않았지만 제1간섭계(120)는 입사 구면파와 반사파의 간섭 시 형성되는 간섭무늬를 해석하는 간섭무늬 해석 프로그램에 연결되고, 간섭무늬를 영상화하여 디스플레이하는 간섭무늬 표시장치(미도시)를 더 구비할 수 있다.
사용자는 형성된 간섭무늬를 참작하여, 제1피검면(110a)의 회전대칭축의 위치를 렌즈 홀더(130)를 이용하여 광축 방향, 즉 기준축(S) 상에서 이동시키거나, 제1피검면(110a)의 회전대칭축을 기준축(S)에 대하여 좌우방향으로 이동시킴으로써, 제1피검면(110a)이 비구면렌즈(110)의 편심 측정의 기준면이 되도록 간섭무늬의 중앙 부분을 원칼라(one color)로 조정한다. 도 4는 제1피검면(110a)에서의 간섭무늬가 원칼라(A)로 조정된 상태가 간섭무늬 표시장치에 디스플레이된 예를 도시하고 있다.
제1피검면(110a)의 간섭무늬를 원칼라(A)로 조정하여 편심 측정의 기준면이 되도록 설정한 후, 제2간섭계(140)는 제1피검면(110a)의 반대측에 위치한 비구면렌즈(110)의 제2피검면(110b)에 제1간섭계(120)와 동일한 구면파를 입사한다. 여기서 제2간섭계(140)는 제1간섭계(120)와 마찬가지로 구면파를 생성하기만 한다면, 피조 간섭계를 비롯한 어떠한 광학구성장치로 구성되어도 무방하다.
제2피검면(110b)에 입사된 구면파는 제2피검면(110b)에서 반사되어 입사경로를 역행하며 진행하는 반사파와 간섭을 일으킨다. 이때, 제2구면간섭계(140)는 선명한 간섭무늬를 얻기 위하여 기준축(S) 상을 이동할 수 있다.
이때, 도면에는 도시되지 않았지만 제2간섭계(140)는 입사 구면파와 반사파의 간섭 시 형성되는 간섭무늬를 해석하는 간섭무늬 해석 프로그램에 연결되고, 간섭무늬를 영상화하여 디스플레이하는 간섭무늬 표시장치(미도시)를 더 구비할 수 있다.
제1간섭계(120)와 제2간섭계(140)에 사용되는 간섭무늬 해석 프로그램은 통 상 사용되는 간섭무늬 해석 프로그램을 사용할 수 있으며, 본 실시예에서는 ZYGO사의 GPI-XP HR을 사용하여 관측하였다. 상기 해석 프로그램은 제1간섭계(120)와 제2간섭계(140)에 번갈아 사용하여도 무방하지만, 그 좌표는 일치시키는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 간섭무늬 해석 프로그램은 해석 면적을 자유롭게 조절할 수 있다. 이러한 간섭무늬의 해석 면은 기준축(S)에 일치하도록 하고, 간섭무늬가 가장 넓은 범위에서 얻을 수 있는 상태에서 영역을 해석한다. 이때 간섭무늬의 해석은 회전대칭인 비구면항인 0차항(평행이동)과 1차항(기울기)을 해석한다.
한편, 간섭무늬 해석 프로그램은 간섭무늬를 얻는데 피검면(110)에 틸트(tilt)를 부여하는 방법을 사용하지 않고, 기준면을 광축 방향으로 이동하는 프린지 스캔(fringe scan) 방법을 사용한다. 이때 가능한 많은 수의 간섭무늬 프린지를 측정할 수 있도록 한다.
본 실시예의 경우 제1간섭계(120) 및 제2간섭계(140)의 광축과 렌즈 홀더(150)의 회전축이 일직선상에 배치되고 이것이 측정의 기준축(S)이 되기 때문에 각 부분을 움직이는 동안에도 이 기준축(S)은 고정밀로 유지되어야 한다. 이를 위해 간섭무늬 해석 시, 간섭무늬에 틸트(tilt)를 부여하는 방법은 간섭계가 피검면(110)에 틸트(tilt)를 부여할 수 있기 때문에 기준축(S)을 유지하기에 바람직하지 않다. 따라서 본 실시예에서는 광축 상으로 움직여 간섭무늬를 주사하는 프린지 스캔(fringe scan) 방법이 바람직하다.
사용자는 간섭무늬 표시장치에 디스플레이되는 간섭무늬를 참작하여, 제1피 검면(110a)에 대한 제2피검면(110b)의 편심량을 계측할 수 있도록, 제2간섭계(140)의 위치를 광축 상으로 이동시켜 간섭무늬의 패턴이 선명하게 나오도록 조정한다. 물론 선명하게 관측되는 간섭무늬의 영역은 본 실시예에 도시된 것과 달리, 구면파의 NA와 검사렌즈의 곡률반경, 또는 간섭계의 정밀도에 따라 달라질 수 있다.
도 5는 제2피검면(110b)의 간섭무늬의 패턴이 제2간섭계(140)의 간섭무늬 표시장치에 디스플레이된 예를 도시하고 있다.
상기 도면을 참조하면, 간섭무늬의 중앙부분이 오른쪽(X방향)으로 치우친 것을 알 수 있다. 이로써, 제1피검면(110a)에 대한 제2피검면(110b)의 중심이 X방향으로 디센터(decenter)된 것을 알 수 있다.
물론 상기 도면의 간섭무늬 표시장치는, 간섭무늬의 형상을 통해서 비구면렌즈(110)가 일 방향으로 디센터(decenter)되어 있음을 간단하게 나타내고 있으나, 경우에 따라서는 비구면렌즈(110)의 간섭무늬를 해석하여 디센터(decenter) 및 틸트(tilt)를 비롯한 각종 광학 팩터(factor)들을 계산하는데 일반적으로 사용되는 간섭무늬해석 프로그램을 사용하여, 비구면렌즈(110)의 디센터(decenter) 뿐만 아니라 틸트(tilt)값 등을 검출하여 알려줄 수도 있다.
외경 떨림 측정장치(150)는 렌즈 홀더(130)에 일부 면이 접촉되어 유지되는 비구면렌즈(110)가 회전축을 중심으로 회전할 때, 비구면렌즈(110)의 외경 떨림을 측정한다. 다시 말해, 외경 떨림 측정장치(150)는 비구면렌즈(110)를 심취(centering)하는 과정에서 발생하는 비구면렌즈(110)의 광학적 중심축과 기계적 중심축의 어긋남, 즉 비구면렌즈(110)의 외경에 대한 중심축과 비구면렌즈(110)의 비구면축의 어긋남을 측정한다.
전술한 예와 같이, 비구면렌즈(110)의 회전대칭축을 비구면렌즈(110)의 편심량을 측정하기 위한 기준으로 설정한 경우에는, 제1간섭계(120)로 얻을 수 있는 제1피검면(110a)의 간섭무늬에 편심 성분이 없도록 렌즈 홀더(130)를 조정하여 원칼라를 만들고, 제2피검면(110b)의 틸트(tilt), 디센터(decenter) 및 렌즈의 외경 떨림을 측정하여 비구면렌즈(110)의 편심량을 측정할 수 있다.
한편, 전술한 예와 달리, 비구면렌즈(110)의 일면 및 그 외경을 비구면렌즈(110)의 편심량을 측정하기 위한 기준으로 설정한 경우에는, 렌즈 홀더(130)에 안착된 비구면렌즈(110)의 외경 떨림이 0이 되도록 조정한 후, 각 피검면의 틸트와 디센터를 각각 측정하여 비구면렌즈(110)의 편심량을 측정할 수 있다.
또한, 본 발명에서와 비구면렌즈의 편심 측정 시스템이 외경 떨림 측정장치(150)를 구비함으로써, 렌즈 외경에 기준을 잡을 수 있기 때문에 종래의 양면 비구면의 3차원 형상 측정에서는 할 수 없었던 편면비구면의 편심 측정이 가능하다. 다시 말해, 종래의 3차원 형상 측정에 의한 방법이나 비구면간섭계를 채용하는 방법에서는 비구면의 회전대칭축을 기준으로 하면 다른 일방의 구면측에 틸트(tilt)와 디센터(decenter)를 분리할 수 없고, 반대로 구면측은 외경 진동을 모르면 기준이 결정되지 않기 때문이다.
따라서 본 발명에 따른 편심 측정 시스템은 편면 비구면렌즈와 양면 비구면렌즈 그 어느 쪽도 측정 가능한 장점이 있다. 또한, 비록 도 3에는 본 실시예에 따른 외경 떨림 측정장치(150)로 다이얼 게이지가 도시되어 있으나, 본 발명은 상기 도면에 한정되지않음은 물론이다.
도 6 및 도 7은 본 실시예에서 사용된 제르니크 다항식(Zernike ploynomial)을 이용한 간섭무늬 해석 프로그램을 이용하여 측정한, 제1피검면(110a)에 대한 제2피검면(110b)의 다양한 팩터(factor)들에 대한 예시를 도시하고 있다.
도 6a는 상기 프로그램이 검출한 제르니크 다항식의 여러 계수들을 도시하고 있고, 도 6b는 이들 계수로부터 계산된 틸트(tilt)를 포함한 자이델 수차를 도시하고 있다. 도 7은 제1피검면에 대한 제2피검면의 틸트(tilt)를 형상화한 도면으로, 이 틸트(tilt)량은 하기 수학식(1)에 의해 계산될 수 있으며, 틸트(tilt) 방향은 하기 수학식(2)에 의해 계산될 수 있다.
Figure 112007071376612-PAT00001
Figure 112007071376612-PAT00002
한편, 상기 도면들에 도시된 간섭무늬 해석 프로그램의 응용예는, 본 실시예의 편심 측정 시스템이 적용된 하나의 예시일 뿐, 본 발명이 여기에 한정되지 않음은 물론이다.
이와 같이 상술한 편심 측정 시스템에 의하면, 비구면렌즈의 편심량을 측정하기 위하여 종래와 같이 비구면렌즈마다 별도의 전용 간섭계가 필요한 비구면파 발생 간섭계를 사용하지 않고, 일반적이고 범용적으로 사용되는 구면파 발생 간섭 계를 사용하여 간단하게 비구면렌즈의 편심량을 측정할 수 있다.
또한, 상기와 같은 편심 측정 시스템에 의하면, 외경 떨림 측정장치를 구비함으로써 비구면렌즈의 외경 떨림에 의해 유발되는 비구면렌즈의 편심량의 영향을 측정할 수 있다.
한편, 전술한 도면에 도시된 편심 측정 시스템은 지면과 기준축의 방향이 평행한 수평형 타입의 편심 측정 시스템이 도시되어 있다. 그러나 본 발명은 여기에 한정되지 않으며 기준축의 방향이 지면의 방향에 수직인 수직형 타입의 편심 측정 시스템에 적용될 수 있음은 물론이다. 또한, 비구면렌즈의 형상도 전술한 도면에 도시된 형상에 한정될 수 없으며 다양한 형상의 비구면렌즈에 적용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 검을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1 및 도 2는 종래 편심 측정 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편심 측정 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 비구면렌즈의 제1피검면의 간섭무늬가 원칼라로 조정된 상태가 제1간섭계의 간섭무늬 표시장치에 디스플레이된 예를 도시하고 있다.
도 5는 비구면렌즈의 제2피검면의 간섭무늬 패턴이 제2간섭계의 간섭무늬 표시장치에 디스플레이된 예를 도시하고 있다.
도 6 및 도 7은 간섭무늬 해석 프로그램을 사용하여 측정한 비구면렌즈의 광학적 팩터(factor)들에 대한 예를 도시하고 있다.

Claims (4)

  1. 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정 시스템에 있어서,
    상기 편심 측정 시스템은, 서로 대향 배치되고 구면파를 발생하는 제1간섭계 및 제2간섭계;와, 상기 제1간섭계 및 제2간섭계 사이에 배치되고, 상기 비구면렌즈에 접촉하여 상기 비구면렌즈를 보관유지하는 부분을 가지며, 상기 부분에 직교하는 회전축 주위로 회전 가능하게 하는 렌즈 홀더;를 포함하고,
    상기 제1간섭계, 제2간섭계의 광축 및 상기 렌즈 홀더의 회전축은 일직선상에 배치되고, 상기 제1간섭계, 제2간섭계 및 렌즈 홀더는 상기 광축 및 회전축 상을 움직일 수 있도록 구성되며, 상기 비구면렌즈의 제1피검면 및 제2피검면에 의해 형성된 간섭무늬를 해석함으로써 상기 비구면렌즈의 편심량을 측정하는 편심 측정 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈 홀더에 유지보관된 비구면렌즈의 외경 떨림을 측정하는 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편심 측정 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 간섭무늬 해석은, 상기 광축 방향으로 간섭무늬를 주사하는 프린지 스캔(fringe scan) 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 편심 측정 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1간섭계 및 제2간섭계 중 적어도 하나는 입사 구면파와 반사파의 간섭 시 형성되는 간섭무늬를 계측 및 형상화하여 표시하는 간섭무늬 표시장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편심 측정 시스템.
KR1020070099885A 2007-10-04 2007-10-04 구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템 KR101379677B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070099885A KR101379677B1 (ko) 2007-10-04 2007-10-04 구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070099885A KR101379677B1 (ko) 2007-10-04 2007-10-04 구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090034576A true KR20090034576A (ko) 2009-04-08
KR101379677B1 KR101379677B1 (ko) 2014-04-01

Family

ID=40760430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070099885A KR101379677B1 (ko) 2007-10-04 2007-10-04 구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101379677B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102944194A (zh) * 2012-11-21 2013-02-27 中国科学院光电技术研究所 一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105510002B (zh) * 2015-12-21 2017-12-26 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 透射球面波镜头拟合光轴的确定方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08233513A (ja) * 1995-02-24 1996-09-13 Nikon Corp 干渉システム
JPH08233688A (ja) * 1995-02-24 1996-09-13 Nikon Corp 偏心測定装置
KR19990003025A (ko) * 1997-06-24 1999-01-15 이형도 비구면 렌즈의 편심량 측정장치
JPH11166881A (ja) * 1997-12-03 1999-06-22 Canon Inc 偏心測定方法及び偏心測定装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102944194A (zh) * 2012-11-21 2013-02-27 中国科学院光电技术研究所 一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法
CN102944194B (zh) * 2012-11-21 2015-04-01 中国科学院光电技术研究所 一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101379677B1 (ko) 2014-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH102714A (ja) 測定方法及び装置
US10145757B2 (en) Measuring ophthalmic lens using a prism with phase shifting mirror and a fluid in reference arm
KR20110106823A (ko) 비구면체 측정 방법 및 장치
JP2002071513A (ja) 液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計および液浸系顕微鏡対物レンズの評価方法
JP5517097B2 (ja) 屈折率測定装置及び屈折率測定方法
JPH02161332A (ja) 曲率半径測定装置及び方法
KR101379677B1 (ko) 구면파 발생 간섭계를 이용한 비구면렌즈의 편심 측정시스템
TWI553291B (zh) 利用條紋投影量測透明物體的系統
JP2005201703A (ja) 干渉測定方法及び干渉測定システム
JP4311952B2 (ja) ３次元座標測定方法
JPH07190734A (ja) 円周面形状測定方法
EP1384044B1 (en) Reducing coherent artifacts in an interferometer
JP3702733B2 (ja) 光学検査装置のアライメント方法およびその機構
JP5904896B2 (ja) レンズ検査装置およびレンズ検査方法
JP3599921B2 (ja) 屈折率分布の測定方法及び装置
KR100280006B1 (ko) 렌즈특성 검사장치
JP2005024505A (ja) 偏心測定装置
JP2014202589A (ja) 面間隔測定装置
JP2012002607A (ja) 円錐面測定装置
JP2002005619A (ja) 干渉測定方法、装置及びその方法またはその装置により測定された物
JP2000275005A (ja) 波面形状測定方法
JPH1114498A (ja) 光学系、測定方法及び装置
JPH0669799U (ja) レンズメータ
Li et al. An optical microform calibration system for ball-shaped hardness indenters
JP2006090950A (ja) 被検面傾斜測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee