JPH09303897A - 極低温冷凍装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱交換器およびヒートステーションの熱交換
能力の変化に応じてＪ-Ｔ回路の流量や流速をきめ細か
に制御する。 【解決手段】 周波数パターン格納部５６には、Ｊ-Ｔ
リターン圧が低圧保護スイッチ動作圧より低下せず、且
つ、各Ｊ-Ｔ熱交換器４３,４６,４９やヒートステーシ
ョン４５,４８における熱交換能力が最大に発揮できる
ように設定された周波数パターンが格納される。タイマ
５７は、クールダウン開始からの経過時間を計時する。
圧縮機回転制御部５５は、クールダウン運転時には、タ
イマ５７からの計時信号に基づいて周波数パターン格納
部５６から読み出した回転制御周波数に従って、高段圧
縮機４０の回転数を制御してＪ-Ｔ回路３２の流量を制
御する。こうして、Ｊ-Ｔ熱交換器およびヒートステー
ションの熱交換能力の変化に応じてきめ細かくＪ-Ｔ回
路３２の流量制御を行ってクールダウン時間を大幅に短
縮する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ヘリウム等を用
いて極低温を得る極低温冷凍装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ヘリウムを用いた極低温冷凍装置とし
て、図４に示すようなものがある(特開昭６１−２３５
６５０号公報)。このヘリウム冷凍装置は、予冷冷凍回
路１とジュールトムソン回路(以下、Ｊ-Ｔ回路と略称す
る)２とによって概略構成されている。

【０００３】上記予冷冷凍回路１は、予冷用のヘリウム
ガスを圧縮する予冷用圧縮機３,油分離器４,吸着器５,
膨張機６およびサージボトル７を順次冷媒ガス管で接続
して構成されている。一方、Ｊ-Ｔ回路２は、低段圧縮
機８,油分離器９,高段圧縮機１０,油分離器１１,吸着器
１２,第１ジュールトムソン熱交換器(以下、Ｊ-Ｔ熱交
換器と略称する)１３,吸着器１４,第１ヒートステーシ
ョン１５,第２Ｊ-Ｔ熱交換器１６,吸着器１７,第２ヒー
トステーション１８,第３Ｊ-Ｔ熱交換器１９,吸着器２
０,ジュールトムソン弁(以下、Ｊ-Ｔ弁と略称する)２
１,冷却機２２,第３Ｊ-Ｔ熱交換器１９,第２Ｊ-Ｔ熱交
換器１６および第１Ｊ-Ｔ熱交換器１３を順次冷媒ガス
管で連通して構成されている。

【０００４】上記Ｊ-Ｔ回路２における高圧冷媒ガス管
２３と低圧冷媒ガス管２４との間には、絞り機構として
作用するキャピラリチューブ２５と開閉弁として機能す
る電動弁２６とが直列に介設されたバイパス回路２７が
付設されている。

【０００５】上記構成のヘリウム冷凍装置は、運転開始
から定常運転に至るクールダウン運転に際しては、バイ
パス回路２７の電動弁２６が開放される。その際に、Ｊ
-Ｔ弁２１の開度が定常運転レベル(例えば、４.２Ｋレ
ベル)の開度に絞られてその開度に保たれている。その
ために、高段圧縮機１０から吐出されたヘリウムガスの
大部分がバイパス回路２７を通って低段圧縮機８に吸入
され、Ｊ-Ｔ弁２１を通過するヘリウムガスは残りの一
部となる。

【０００６】こうしてクールダウン運転が実行される
と、高段圧縮機１０からの高圧ヘリウムガスは、第１,
第２ヒートステーション１５,１８で冷却され、第１〜
第３Ｊ-Ｔ熱交換器１３,１６,１９およびＪ-Ｔ弁２１前
のヘリウムガス温度も徐々に低下する。こうして、ヘリ
ウムガス温度が低下すると当然ヘリウムガスの密度が大
きくなり、Ｊ-Ｔ弁２１を通過するヘリウムガス量が徐
々に増加し、逆にバイパス回路２７のバイパス量が減少
する。そして、Ｊ-Ｔ弁２１後のヘリウム温度が定常運
転レベルである４.２Ｋに近づくと、バイパス回路２７
の電動弁２６が閉鎖される。以後は、上記高段圧縮機１
０からのヘリウムガスの総てがＪ-Ｔ弁２１を通過して
４.２Ｋのヘリウム液化温度が得られるのである。

【０００７】こうして、運転開始時のヘリウム容積循環
量の増加に起因するＪ-Ｔ弁２１のマニュアル開度調整
の必要性を排除している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のヘリウム冷凍機においては、バイパス回路２７のバ
イパス量を電動弁２６によって単にオン/オフ制御して
いるだけである。したがって、第１〜第３Ｊ-Ｔ熱交換
器１３,１６,１９および第１,第２ヒートステーション
１５,１８の熱交換能力の変化に応じてＪ-Ｔ弁２１の流
量や流速をきめ細かに制御できないという問題がある。

【０００９】そこで、この発明の目的は、熱交換器およ
びヒートステーションの熱交換能力の変化に応じてＪ-
Ｔ回路の流量や流速をきめ細かに制御できる極低温冷凍
装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、Ｊ-Ｔ回路とこのＪ-Ｔ回路
を流れる冷媒ガスを冷却する予冷冷凍回路とを有する極
低温冷凍装置において、上記Ｊ-Ｔ回路における圧縮機
へのリターン圧が所定圧以下に低下しないように,且つ,
上記Ｊ-Ｔ回路を構成する熱交換器およびヒートステー
ションの熱交換能力が最大に引き出されるように設定さ
れた,上記圧縮機の回転制御周波数の変化パターンを格
納した周波数パターン格納部と、上記周波数パターン格
納部に格納された周波数パターンに基づいて,上記圧縮
機の回転数を制御する圧縮機回転制御部を備えたことを
特徴としている。

【００１１】上記構成によれば、周波数パターン格納部
に格納された周波数パターンに基づいて、Ｊ-Ｔ回路に
おける圧縮機の回転数が、上記圧縮機へのリターン圧が
所定圧以下に低下しないように、且つ、上記Ｊ-Ｔ回路
を構成する熱交換器およびヒートステーションにおける
熱交換能力が最大に引き出されるように制御される。こ
うして、上記熱交換およびヒートステーションの熱交換
能力の変化に応じて上記Ｊ-Ｔ回路の流量や流速が最適
に制御される。

【００１２】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
かかる発明の極低温冷凍装置において、クールダウン運
転開始後の経過時間を計時して計時信号を出力する計時
部を備えると共に、上記周波数パターン格納部に格納さ
れる周波数パターンはクールダウン運転時における経過
時間に対する回転制御周波数の変化パターンであり、上
記圧縮機回転制御部は、上記計時部からの計時信号に基
づいて、上記周波数パターンを参照して求めた回転制御
周波数に従って、クールダウン運転時における上記圧縮
機の回転数を制御するようになっていることを特徴とし
ている。

【００１３】上記構成によれば、クールダウン運転開始
後の経過時間に基づいて、上記Ｊ-Ｔ回路における圧縮
機へのリターン圧が所定圧以下に低下しないように、且
つ、上記Ｊ-Ｔ回路を構成する熱交換器およびヒートス
テーションにおける熱交換能力が最大に引き出されるよ
うに、クールダウン運転時における上記圧縮機の回転数
が自動的に制御される。

【００１４】また、請求項３に係る発明は、請求項１に
かかる発明の極低温冷凍装置において、上記Ｊ-Ｔ回路
の低圧側圧力を検出する圧力センサと、上記ヒートステ
ーションの温度を検出する温度センサを備えると共に、
上記周波数パターン格納部に格納される周波数パターン
は,クールダウン運転時における上記Ｊ-Ｔ回路の低圧側
圧力と上記ヒートステーションの温度とに対する回転制
御周波数の変化パターンであり、上記圧縮機回転制御部
は、上記圧力センサの検出結果と上記温度センサの検出
結果に基づいて上記周波数パターンを参照して求めた回
転制御周波数に従って、クールダウン運転時における上
記圧縮機の回転数を制御するようになっていることを特
徴としている。

【００１５】上記構成によれば、クールダウン運転時に
おけるＪ-Ｔ回路の低圧側圧力とヒートステーションの
温度とに基づいて、上記Ｊ-Ｔ回路における圧縮機への
リターン圧が所定圧以下に低下しないように、且つ、上
記Ｊ-Ｔ回路を構成する熱交換器及びヒートステーショ
ンにおける熱交換能力が最大に引き出されるように、ク
ールダウン運転時の上記圧縮機の回転数が自動的に制御
される。

【００１６】また、請求項４に係る発明は、請求項１に
かかる発明の極低温冷凍装置において、上記周波数パタ
ーン格納部に格納される周波数パターンは、定常冷凍運
転時の回転制御周波数よりも大きな回転制御周波数のパ
ターンであることを特徴としている。

【００１７】上記構成によれば、定常冷凍運転時の回転
制御周波数よりも大きな回転制御周波数で上記圧縮機の
回転数が制御されて、定常冷凍運転時の冷凍能力よりも
高い冷凍能力が得られる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図１は本実施の形態の極低温
冷凍装置における回路および制御系を示す図である。本
極低温冷凍装置は、図４に示すヘリウム冷凍装置と同様
に、予冷冷凍回路３１およびＪ-Ｔ回路３２で構成され
ている。予冷冷凍回路３１を構成する予冷用圧縮機３
３,油分離器３４,吸着器３５,膨張機３６およびサージ
ボトル３７は、図４に示すヘリウム冷凍装置における予
冷冷凍回路１を構成する予冷用圧縮機３,油分離器４,吸
着器５,膨張機６およびサージボトル７と同様に接続さ
れて同様に機能する。

【００１９】また、上記Ｊ-Ｔ回路３２を構成する低段
圧縮機３８,油分離器３９,高段圧縮機４０,油分離器４
１,吸着器４２,第１〜第３Ｊ-Ｔ熱交換器４３・４６・４
９,吸着器４４・４７・５０,第１・第２ヒートステーショ
ン４５・４８,Ｊ-Ｔ弁５１および冷却機５２は、図４に
示すヘリウム冷凍装置におけるＪ-Ｔ回路２を構成する
低段圧縮機８,油分離器９,高段圧縮機１０,油分離器１
１,吸着器１２,第１〜第３Ｊ-Ｔ熱交換器１３・１６・１
９,吸着器１４・１７・２０,第１・第２ヒートステーショ
ン１５・１８,Ｊ-Ｔ弁２１および冷却機２２と同様に接
続されて同様に機能する。

【００２０】尚、本実施の形態における極低温冷凍装置
においては、Ｊ-Ｔ回路３２における高圧冷媒ガス管５
３と低圧冷媒ガス管５４との間には、図４に示すような
絞りと開閉弁とが直列に介設されたバイパス回路は付設
されていない。すなわち、本実施の形態では、上記バイ
パス回路を用いることなくＪ-Ｔ弁５１を通過するヘリ
ウムガス量を制御するのである。

【００２１】周波数パターン格納部５６には、上記クー
ルダウン運転時に高段圧縮機４０の回転数を周波数制御
する際の周波数パターン、および、定常冷凍運転時に
低,高段圧縮機３８,４０の回転数を周波数制御する際の
周波数パターンが格納されている。タイマ５７は、クー
ルダウン運転が開始されてからの経過時間を計時して計
時信号を圧縮機回転制御部５５に送出する。圧縮機回転
制御部５５は、インバータ(図示せず)を有して、タイマ
５７からの計時信号に応じて周波数パターン格納部５６
から高段圧縮機４０の回転制御周波数を読み出す。そし
て、この回転制御周波数に応じて高段圧縮機４０の回転
数を制御することによって、クールダウン時におけるＪ
-Ｔ回路３２の流量を制御するのである。

【００２２】上記Ｊ-Ｔ弁５１を通過するヘリウムガス
量は、運転開始直後(Ｊ-Ｔ弁５１後のヘリウム温度≒３
００Ｋ)から定常冷凍運転(Ｊ-Ｔ弁５１後のヘリウム温
度≒４Ｋ)に到るクールダウン運転時においてはＪ-Ｔ弁
５１前のヘリウムガス温度に左右される。したがって、
ヘリウム容積循環量が定常冷凍運転時の６０〜１００倍
にもなる運転開始直後においてはＪ-Ｔ弁５１通過ガス
量を少なくして、Ｊ-Ｔ弁５１における圧力損失が大き
くなってＪ-Ｔリターン圧が極端に低下しないようにす
る必要がある。また、上記クールダウン運転時には、Ｊ
-Ｔ回路３２の流量を減少させてヘリウムガスの流速を
落とし、第１〜第３Ｊ-Ｔ熱交換器４３,４６,４９や第
１,第２ヒートステーション４５,４８における熱交換を
促進させるようにすれば、クールダウン時間を短縮でき
る。

【００２３】そして、上記第２ヒートステーション４８
におけるヘリウムガス温度が１０Ｋ(定常運転温度が４
Ｋの場合)になった際には、上記Ｊ-Ｔ回路３２の流量が
定常冷凍運転時における規定流量になって定常冷凍運転
時の熱交換能力が得られるように、Ｊ-Ｔ弁５１通過ガ
ス量を増加する必要がある。

【００２４】そこで、上記周波数パターン格納部５６に
は、図２に示すようなクールダウン運転時における高段
圧縮機４０の回転数制御用の周波数パターンを格納して
おくのである。この周波数パターンは、予め、Ｊ-Ｔ弁
５１の開度を定常運転レベル時の開度に設定してクール
ダウン運転を行った場合に測定されたＪ-Ｔ回路３２の
低圧側圧力と第２ヒートステーション４８の温度の時間
変化に応じて、Ｊ-Ｔリターン圧が低圧保護スイッチの
設定圧より低下しないように、且つ、各Ｊ-Ｔ熱交換器
４３,４６,４９やヒートステーション４５,４８におけ
る熱交換能力を最大に引き出せるように設定されてい
る。

【００２５】尚、図２における期間(Ａ)は、上記第２ヒ
ートステーション４８が冷却されて温度が所定温度(例
えば定常運転温度が４Ｋの場合には１０Ｋ)に至るまで
の期間であり、Ｊ-Ｔ回路３２の流量を減少させてヘリ
ウムガスの流速を落とし、第１〜第３Ｊ-Ｔ熱交換器４
３,４６,４９における熱交換を促進させる期間である。
また、期間(Ｂ)は、上記Ｊ-Ｔ回路３２の流量を定常冷
凍運転時における規定のガス量にして、定常冷凍運転時
の能力(４Ｋ能力)を得る期間である。また、期間(Ｃ)
は、必要に応じて設けられる期間であり、定常冷凍運転
時の能力(４Ｋ能力)以上の能力を得る期間である。

【００２６】尚、図２においては、説明を簡単にするた
めに、クールダウン運転期間を期間(Ａ)および期間(Ｂ)
の２つの期間に分けているが、Ｊ-Ｔ回路３２の低圧側
圧力や第２ヒートステーション４８の温度の時間変化に
応じて、さらに細かく３つ以上の期間に分割しても差し
支えない。

【００２７】図２に示す周波数パターンは、各期間毎に
段階的に高段圧縮機４０の回転制御周波数を設定してい
るが、図３に示すように、直線的にあるいは曲線的に設
定すれば、更にきめ細かくＪ-Ｔ弁５１のガス量を制御
することが可能となる。

【００２８】このように、本実施の形態においては、上
記クールダウン時における高段圧縮機４０の回転制御周
波数を、Ｊ-Ｔリターン圧が極端に低下しないように、
そして、各Ｊ-Ｔ熱交換器４３,４６,４９やヒートステ
ーション４５,４８における熱交換能力を最大に引き出
せるように設定されて周波数パターン格納部５６に格納
された周波数パターンに応じて制御するようにしてい
る。したがっで、Ｊ-Ｔ弁５１の開度制御や上記バイパ
ス回路によるＪ-Ｔ回路３２の高圧側から低圧側へのバ
イパスを行うことなく、クールダウン運転時の流量制御
を自動的に行うことができる。また、各Ｊ-Ｔ熱交換器
４３,４６,４９や各ヒートステーション４５,４８にお
ける熱交換能力が最大に発揮されて、クールダウン時間
が大幅に短縮される。

【００２９】また、図２に示す周波数パターンにおける
期間(Ｃ)のように、定常冷凍運転時のガス流量以上の流
量を得る期間を設定することによって、例えば、５０Ｈ
ｚにおいて定常冷凍能力が４Ｋ能力である極低温冷凍機
を用いて、定常冷凍能力以上の能力を引き出すことがで
きる。

【００３０】尚、上記実施の形態においては、上記周波
数パターン格納部５６に格納する周波数パターンは、高
段圧縮機４０の回転制御周波数の時間に応じたパターン
である。しかしながら、この発明はこれに限定されるも
のではく、Ｊ-Ｔ回路３２の低圧側圧力と第２ヒートス
テーション４８の温度とに応じた高段圧縮機４０の回転
制御周波数をテーブル化したものであってもよい。但
し、この場合には、例えば、上記低段圧縮機３８の吸入
口にヘリウムガス圧を検出する圧力センサ５８を設ける
一方、第２ヒートステーション４８には温度センサ５９
を設けて、圧縮機回転制御部５５は、上記圧力センサ５
８からのＪ-Ｔ回路３２の低圧側圧力と上記温度センサ
５９からの第２ヒートステーション４８温度とに基づい
て、周波数パターン格納部５５に格納された上記テーブ
ルを引いて回転制御周波数を得るようにする必要があ
る。

【００３１】また、この発明の極低温冷凍装置の回路構
成は、図１に示す回路構成に限定されるものではなく、
例えば、Ｊ-Ｔ回路は圧縮機は１段であっても何等差し
支えない。

【００３２】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明の極低温冷凍装置は、Ｊ-Ｔ回路における圧縮機
へのリターン圧が所定圧以下に低下しないように、且
つ、上記Ｊ-Ｔ回路を構成する熱交換器およびヒートス
テーションにおける熱交換能力が最大に引き出されるよ
うに設定されて、周波数パターン格納部に格納された上
記圧縮機の回転制御周波数の変化パターンに基づいて、
圧縮機回転制御部によって上記圧縮機の回転数を制御す
るようにしたので、上記熱交換器およびヒートステーシ
ョンの熱交換能力の変化に応じて、上記Ｊ-Ｔ回路の流
量や流速を最適に制御できる。

【００３３】また、請求項２に係る発明の極低温冷凍装
置における周波数パターン格納部には、クールダウン運
転時における経過時間に対する回転制御周波数の変化パ
ターンを格納し、圧縮機回転制御部は、計時部からの計
時信号に基づいて、上記周波数パターンを参照して求め
た回転制御周波数に従って上記圧縮機におけるクールダ
ウン運転時の回転数を制御するので、上記経過時間に基
づいて、上記Ｊ-Ｔ回路における圧縮機へのリターン圧
が所定圧以下に低下しないように、且つ、上記Ｊ-Ｔ回
路を構成する熱交換器及びヒートステーションにおける
熱交換能力が最大に引き出されるように、クールダウン
運転時の上記圧縮機の回転数を自動的に制御できる。す
なわち、この発明によれば、上記熱交換器およびヒート
ステーションの熱交換能力の変化に応じて、クールダウ
ン運転時におけるＪ-Ｔ回路の流量や流速をきめ細かに
制御できる。

【００３４】また、請求項３に係る発明の極低温冷凍装
置における周波数パターン格納部には、クールダウン運
転時における上記Ｊ-Ｔ回路の低圧側圧力と上記ヒート
ステーションの温度とに対する回転制御周波数の変化パ
ターンを格納し、圧縮機回転制御部は、圧力センサの検
出結果と温度センサの検出結果とに基づいて、上記周波
数パターンを参照して求めた回転制御周波数に従って上
記圧縮機におけるクールダウン運転時の回転数を制御す
るので、上記Ｊ-Ｔ回路の低圧側圧力と上記ヒートステ
ーションの温度とに基づいて、上記Ｊ-Ｔ回路における
圧縮機へのリターン圧が所定圧以下に低下しないよう
に、且つ、上記Ｊ-Ｔ回路を構成する熱交換器及びヒー
トステーションにおける熱交換能力が最大に引き出され
るように、クールダウン運転時の上記圧縮機の回転数を
自動的に制御できる。すなわち、この発明によれば、上
記熱交換器およびヒートステーションの熱交換能力の変
化に応じて、クールダウン運転時におけるＪ-Ｔ回路の
流量や流速をきめ細かに制御できる。

【００３５】また、請求項４に係る発明の極低温冷凍装
置における周波数パターン格納部には、定常冷凍運転時
の回転制御周波数よりも大きな回転制御周波数のパター
ンが格納されているので、定常冷凍運転時の回転制御周
波数よりも大きな回転制御周波数で上記圧縮機の回転数
を制御できる。したがって、この発明によれば、定常冷
凍運転時の冷凍能力よりも高い冷凍能力を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の極低温冷凍装置における回路および
制御系を示す図である。

【図２】図１における周波数パターン格納部に格納され
る周波数パターンの一例を示す図である。

【図３】図２とは異なる周波数パターンを示す図であ
る。

【図４】従来のヘリウム冷凍装置の回路図である。

【符号の説明】

３１…予冷冷凍回路、 ３２…Ｊ-Ｔ回
路、３３…予冷用圧縮機、 ３６…膨張
機、３８…低段圧縮機、 ４０…高段圧
縮機、４３,４６,４９…Ｊ-Ｔ熱交換器、 ４５,４８
…ヒートステーション、５１…Ｊ-Ｔ弁、
５２…冷却機、５３…高圧冷媒ガス管、
５４…低圧冷媒ガス管、５５…圧縮機回転制御
部、 ５６…周波数パターン格納部、５７…タ
イマ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ジュールトムソン回路(３２)と、このジ
   ュールトムソン回路(３２)を流れる冷媒ガスを冷却する
   予冷冷凍回路(３１)とを有する極低温冷凍装置におい
   て、 上記ジュールトムソン回路(３２)における圧縮機(３８
   または４０)へのリターン圧が所定圧以下に低下しない
   ように、且つ、上記ジュールトムソン回路(３２)を構成
   する熱交換器(４３,４６,４９)及びヒートステーション
   (４５,４８)の熱交換能力が最大に引き出されるように
   設定された、上記圧縮機(３８または４０)の回転制御周
   波数の変化パターンを格納した周波数パターン格納部
   (５６)と、 上記周波数パターン格納部(５６)に格納された周波数パ
   ターンに基づいて、上記圧縮機(３８または４０)の回転
   数を制御する圧縮機回転制御部(５５)を備えたことを特
   徴とする極低温冷凍装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の極低温冷凍装置におい
   て、 クールダウン運転開始後の経過時間を計時して計時信号
   を出力する計時部(５７)を備えると共に、 上記周波数パターン格納部(５６)に格納される周波数パ
   ターンは、クールダウン運転時における経過時間に対す
   る回転制御周波数の変化パターンであり、 上記圧縮機回転制御部(５５)は、上記計時部(５７)から
   の計時信号に基づいて上記周波数パターンを参照して求
   めた回転制御周波数に従って、クールダウン運転時にお
   ける上記圧縮機(３８または４０)の回転数を制御するよ
   うになっていることを特徴とする極低温冷凍装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の極低温冷凍装置におい
   て、 上記ジュールトムソン回路(３２)の低圧側の圧力を検出
   する圧力センサ(５８)と、 上記ヒートステーション(４８)の温度を検出する温度セ
   ンサ(５９)を備えると共に、 上記周波数パターン格納部（５６)に格納される周波数
   パターンは、クールダウン運転時における上記ジュール
   トムソン回路(３２)の低圧側圧力と上記ヒートステーシ
   ョン(４８)の温度とに対する回転制御周波数の変化パタ
   ーンであり、 上記圧縮機回転制御部(５５)は、上記圧力センサ(５８)
   の検出結果と上記温度センサ(５９)の検出結果とに基づ
   いて上記周波数パターンを参照して求めた回転制御周波
   数に従って、クールダウン運転時における上記圧縮機
   (３８または４０)の回転数を制御するようになっている
   ことを特徴とする極低温冷凍装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の極低温冷凍装置におい
   て、 上記周波数パターン格納部(５６)に格納される周波数パ
   ターンは、定常冷凍運転時の回転制御周波数より大きな
   回転制御周波数のパターンであることを特徴とする極低
   温冷凍装置。