JPH09293434A - 真空バルブ - Google Patents
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- JPH09293434A JPH09293434A JP10716996A JP10716996A JPH09293434A JP H09293434 A JPH09293434 A JP H09293434A JP 10716996 A JP10716996 A JP 10716996A JP 10716996 A JP10716996 A JP 10716996A JP H09293434 A JPH09293434 A JP H09293434A
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- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/10—Welded housings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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- H—ELECTRICITY
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- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66207—Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
- H01H2033/66215—Details relating to the soldering or brazing of vacuum switch housings
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- H—ELECTRICITY
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- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
- H01H2033/66276—Details relating to the mounting of screens in vacuum switches
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造コストおよび工期がかかり、信頼性が低
下する。 【解決手段】 接合部を、端板１５と、片持ちシールド
２０の一端側を外方に折曲して形成され端板１５より小
なる径を有する外方折曲縁２０ａと、この外方折曲縁２
０ａより小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封
着部材２１の他端側を内方に折曲して形成される内方折
曲縁２１ａとが順次積重されるとともに、端板１５、外
方折曲縁２０ａおよび内方折曲縁２１ａは各積重面間に
配置されるろう材の溶融により接合されるように構成す
る。
下する。 【解決手段】 接合部を、端板１５と、片持ちシールド
２０の一端側を外方に折曲して形成され端板１５より小
なる径を有する外方折曲縁２０ａと、この外方折曲縁２
０ａより小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封
着部材２１の他端側を内方に折曲して形成される内方折
曲縁２１ａとが順次積重されるとともに、端板１５、外
方折曲縁２０ａおよび内方折曲縁２１ａは各積重面間に
配置されるろう材の溶融により接合されるように構成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空バルブに係
り、特に一端が端板に支持され両電極を囲繞するように
配設される片持ちシールドの支持構造に関するものであ
る。
り、特に一端が端板に支持され両電極を囲繞するように
配設される片持ちシールドの支持構造に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図７は例えば特公昭５３−３２８７０号
公報に示された従来の真空バルブの構成を示す断面図で
ある。図において、１は例えばアルミナセラミック等の
高絶縁部材でなり円筒状に形成された絶縁容器、２、３
はこの絶縁容器１の両端に例えば銀ろう等のろう材でろ
う付けされた端板で、それぞれ中央部に挿入穴２ａ、３
ａが形成されている。４は端板２の挿入穴２ａを貫通し
て挿入され、端板２に気密に接合される固定電極棒であ
る。
公報に示された従来の真空バルブの構成を示す断面図で
ある。図において、１は例えばアルミナセラミック等の
高絶縁部材でなり円筒状に形成された絶縁容器、２、３
はこの絶縁容器１の両端に例えば銀ろう等のろう材でろ
う付けされた端板で、それぞれ中央部に挿入穴２ａ、３
ａが形成されている。４は端板２の挿入穴２ａを貫通し
て挿入され、端板２に気密に接合される固定電極棒であ
る。
【０００３】５は端板３の挿入穴３ａを貫通して挿入さ
れ、ベローズ６を介して端板３に気密に接合される可動
電極棒、７、８は固定電極棒４および可動電極棒５の先
端にそれぞれ対向して固着される一対の電極、９は端板
３に一端が支持され他端側で両電極７、８を囲繞するよ
うに配設される片持ちシールドである。そして、上記絶
縁容器１、両端板２、３およびベローズ６で密閉容器１
０を構成している。
れ、ベローズ６を介して端板３に気密に接合される可動
電極棒、７、８は固定電極棒４および可動電極棒５の先
端にそれぞれ対向して固着される一対の電極、９は端板
３に一端が支持され他端側で両電極７、８を囲繞するよ
うに配設される片持ちシールドである。そして、上記絶
縁容器１、両端板２、３およびベローズ６で密閉容器１
０を構成している。
【０００４】次に、上記のように構成される従来の真空
バルブの製造方法について説明する。まず、組立として
は部分組立が行われ、端板２、固定電極棒４および電極
７からなる固定側部分組立品、および端板３、可動電極
棒５および電極８からなる可動側部分組立品が、非酸化
雰囲気中でろう付けにより組み立てられる。このように
して部分ろう付け組立が完了すると、例えばろう材の溶
け不足、ろう材のはじき、ろうまわり不足等の目視検査
が全数にわたって実施され信頼性の向上が図られる。
バルブの製造方法について説明する。まず、組立として
は部分組立が行われ、端板２、固定電極棒４および電極
７からなる固定側部分組立品、および端板３、可動電極
棒５および電極８からなる可動側部分組立品が、非酸化
雰囲気中でろう付けにより組み立てられる。このように
して部分ろう付け組立が完了すると、例えばろう材の溶
け不足、ろう材のはじき、ろうまわり不足等の目視検査
が全数にわたって実施され信頼性の向上が図られる。
【０００５】次いで可動側部分組立品の板端３の上面
に、片持ちシールド９の一端がろう付けにより固着され
る。そして、真空バルブの最終封止組立は、固定側部分
組立品の端板２および可動側部分組立品の端板３と絶縁
容器１の両端面との間にろう材を挟み、真空炉内で４０
０℃〜６００℃の高温でベーキングして脱ガスを十分に
行った後、ろう付け温度に昇温してろう材を溶融して気
密封じを行い、最終封止ろう付け部の検査を実施して真
空バルブは完了する。
に、片持ちシールド９の一端がろう付けにより固着され
る。そして、真空バルブの最終封止組立は、固定側部分
組立品の端板２および可動側部分組立品の端板３と絶縁
容器１の両端面との間にろう材を挟み、真空炉内で４０
０℃〜６００℃の高温でベーキングして脱ガスを十分に
行った後、ろう付け温度に昇温してろう材を溶融して気
密封じを行い、最終封止ろう付け部の検査を実施して真
空バルブは完了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブは以
上のように構成、製造されているので、ろう付け箇所の
目視検査の必要上、部分組立工程、片持ちシールドのろ
う付け工程、最終封止組立工程の三つのろう付け工程が
必要となり、製造コストおよび工期がかかるという問題
点があった。又、片持ちシールドのろう付け工程を無く
し、部分組立工程で同時に片持ちシールド９をろう付け
すると、片持ちシールド９の内側のろう付け箇所の目視
検査ができなくなるため、リークテストを行う必要が生
じ、このリークテストも作業に手間がかかり、ろう流れ
が十分に確認できないために信頼性が低下するという問
題点があった。
上のように構成、製造されているので、ろう付け箇所の
目視検査の必要上、部分組立工程、片持ちシールドのろ
う付け工程、最終封止組立工程の三つのろう付け工程が
必要となり、製造コストおよび工期がかかるという問題
点があった。又、片持ちシールドのろう付け工程を無く
し、部分組立工程で同時に片持ちシールド９をろう付け
すると、片持ちシールド９の内側のろう付け箇所の目視
検査ができなくなるため、リークテストを行う必要が生
じ、このリークテストも作業に手間がかかり、ろう流れ
が十分に確認できないために信頼性が低下するという問
題点があった。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、片持ちシールドのろう付け状態
を目視できる構造とし、最終組立工程で片持ちシールド
のろう付けができるようにすることにより、製造コスト
の低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることが可
能な真空バルブを提供することを目的とするものであ
る。
ためになされたもので、片持ちシールドのろう付け状態
を目視できる構造とし、最終組立工程で片持ちシールド
のろう付けができるようにすることにより、製造コスト
の低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることが可
能な真空バルブを提供することを目的とするものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る真空バルブは、円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の
両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で
形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極
と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端
板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシ
ールドとを備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシ
ールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部
が密閉容器の外部に露出するように構成したものであ
る。
る真空バルブは、円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の
両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で
形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極
と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端
板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシ
ールドとを備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシ
ールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部
が密閉容器の外部に露出するように構成したものであ
る。
【０００９】又、この発明の請求項２に係る真空バルブ
は、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシー
ルドの一端側を外方に折曲して形成され端板より小なる
径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径
を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を
内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重され
るとともに、端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積
重面間に配置されるろう材の溶融により接合されるよう
に構成したものである。
は、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシー
ルドの一端側を外方に折曲して形成され端板より小なる
径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径
を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を
内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重され
るとともに、端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積
重面間に配置されるろう材の溶融により接合されるよう
に構成したものである。
【００１０】又、この発明の請求項３に係る真空バルブ
は、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシー
ルドの一端側を外方に折曲して形成され、外周部に端板
の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１
の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出
して形成される第２の係止部とを有し端板に積重される
外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が第１
の係止部に嵌合されるとともに他端面が第２の係止部に
係止される封着部材とが順次嵌合されるとともに、端板
と外方折曲縁との積重面間および第１の係止部と封着部
材との嵌合面間に配置されるろう材の溶融により接合さ
れるように構成したものである。
は、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシー
ルドの一端側を外方に折曲して形成され、外周部に端板
の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１
の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出
して形成される第２の係止部とを有し端板に積重される
外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が第１
の係止部に嵌合されるとともに他端面が第２の係止部に
係止される封着部材とが順次嵌合されるとともに、端板
と外方折曲縁との積重面間および第１の係止部と封着部
材との嵌合面間に配置されるろう材の溶融により接合さ
れるように構成したものである。
【００１１】又、この発明の請求項４に係る真空バルブ
は、請求項１において、接合部を、端板の表面に外周に
沿って形成された段部と、この段部の内周面に嵌合され
る片持ちシールドの一端側を外方に折曲して端板より大
なる径に形成され外周端部に上方に突出して絶縁容器に
接合される封止部を有する外方折曲縁とが積重されると
ともに、段部と外方折曲縁との積重面間に配置されるろ
う材の溶融により接合されるように構成したものであ
る。
は、請求項１において、接合部を、端板の表面に外周に
沿って形成された段部と、この段部の内周面に嵌合され
る片持ちシールドの一端側を外方に折曲して端板より大
なる径に形成され外周端部に上方に突出して絶縁容器に
接合される封止部を有する外方折曲縁とが積重されると
ともに、段部と外方折曲縁との積重面間に配置されるろ
う材の溶融により接合されるように構成したものであ
る。
【００１２】又、この発明の請求項５に係る真空バルブ
は、請求項１において、接合部を、外縁部に所定の大き
さの穴が形成された端板と、片持ちシールドの一端側を
外方に折曲して形成された外方折曲縁とを積重すること
により穴を閉塞するとともに、端板と外方折曲縁との積
重面間に配置されるろう材の溶融により接合されるよう
に構成したものである。
は、請求項１において、接合部を、外縁部に所定の大き
さの穴が形成された端板と、片持ちシールドの一端側を
外方に折曲して形成された外方折曲縁とを積重すること
により穴を閉塞するとともに、端板と外方折曲縁との積
重面間に配置されるろう材の溶融により接合されるよう
に構成したものである。
【００１３】又、この発明の請求項６に係る真空バルブ
は、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシー
ルドの一端側を外方に折曲して端板と同じ径に形成され
端板と積重される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接
合された封止部材の他端側に端板および外方折曲縁の外
周に嵌合可能に形成された段部で支持するとともに、端
板と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融
により接合されるように構成したものである。
は、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシー
ルドの一端側を外方に折曲して端板と同じ径に形成され
端板と積重される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接
合された封止部材の他端側に端板および外方折曲縁の外
周に嵌合可能に形成された段部で支持するとともに、端
板と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融
により接合されるように構成したものである。
【００１４】
実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１における
真空バルブの構成を示す断面図、図２は図１における真
空バルブの部分組立状態を示す分解図である。図におい
て、１１は例えばアルミナセラミック等の高絶縁部材で
なり円筒状に形成された絶縁容器、１２はこの絶縁容器
１１の一端側を閉塞するように、例えば銀ろう等のろう
材１３でろう付けされた第１の端板で、中央部に挿入穴
１２ａが形成され、熱膨張係数がアルミナセラミックに
近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金またはＦｅ−Ｎｉ合金、熱膨
張係数は大きく異なるが塑性変形することにより残留応
力が小さくなるＣｕ−Ｎｉ合金等の材料が使用されてい
る。
真空バルブの構成を示す断面図、図２は図１における真
空バルブの部分組立状態を示す分解図である。図におい
て、１１は例えばアルミナセラミック等の高絶縁部材で
なり円筒状に形成された絶縁容器、１２はこの絶縁容器
１１の一端側を閉塞するように、例えば銀ろう等のろう
材１３でろう付けされた第１の端板で、中央部に挿入穴
１２ａが形成され、熱膨張係数がアルミナセラミックに
近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金またはＦｅ−Ｎｉ合金、熱膨
張係数は大きく異なるが塑性変形することにより残留応
力が小さくなるＣｕ−Ｎｉ合金等の材料が使用されてい
る。
【００１５】１４は第１の端板１２の挿入穴１２ａを貫
通して挿入され、第１の端板１２に気密に接合される固
定電極棒、１５は外周端に突出部１５ａ、中央部に挿入
穴１５ｂがそれぞれ形成された第２の端板、１６はこの
第２の端板１５の挿入穴１５ｂを貫通して挿入される可
動電極棒、１７は一端が第２の端板１５の挿入穴１５ｂ
の内周部、他端が可動電極棒１６にそれぞれ気密に接合
されるベローズ、１８、１９は固定電極棒１４および可
動電極棒１６の先端にそれぞれ対向して固着される一対
の電極である。
通して挿入され、第１の端板１２に気密に接合される固
定電極棒、１５は外周端に突出部１５ａ、中央部に挿入
穴１５ｂがそれぞれ形成された第２の端板、１６はこの
第２の端板１５の挿入穴１５ｂを貫通して挿入される可
動電極棒、１７は一端が第２の端板１５の挿入穴１５ｂ
の内周部、他端が可動電極棒１６にそれぞれ気密に接合
されるベローズ、１８、１９は固定電極棒１４および可
動電極棒１６の先端にそれぞれ対向して固着される一対
の電極である。
【００１６】２０は一端側に外方に折曲して形成され第
２の端板１５に、突出部１５ａと嵌合するように積重さ
れた外方折曲縁２０ａを有し、他端側に形成される筒状
部２０ｂで両電極１８、１９を囲繞するように配設され
る片持ちシールドで、外方折曲縁２０ａと第２の端板１
５との積重面間に配置されるろう材１３の溶融により接
合される。２１は片持ちシールド２０の外方折曲縁２０
ａより小なる径の筒状に形成された一端が絶縁容器１１
の他端側に接合され、他端側に内方に折曲して形成され
外方折曲縁２０ａに積重される内方折曲縁を有する封着
部材で、第１の端板１２と同様な金属材料が使用され外
方折曲縁２０ａと内方折曲縁２１ａとの積重面間に配置
されるろう材１３の溶融により接合される。そして、上
記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、１５、ベ
ローズ１７および封着部材２１で密閉容器２２を構成し
ている。
２の端板１５に、突出部１５ａと嵌合するように積重さ
れた外方折曲縁２０ａを有し、他端側に形成される筒状
部２０ｂで両電極１８、１９を囲繞するように配設され
る片持ちシールドで、外方折曲縁２０ａと第２の端板１
５との積重面間に配置されるろう材１３の溶融により接
合される。２１は片持ちシールド２０の外方折曲縁２０
ａより小なる径の筒状に形成された一端が絶縁容器１１
の他端側に接合され、他端側に内方に折曲して形成され
外方折曲縁２０ａに積重される内方折曲縁を有する封着
部材で、第１の端板１２と同様な金属材料が使用され外
方折曲縁２０ａと内方折曲縁２１ａとの積重面間に配置
されるろう材１３の溶融により接合される。そして、上
記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、１５、ベ
ローズ１７および封着部材２１で密閉容器２２を構成し
ている。
【００１７】次に、上記のように構成される実施の形態
１における真空バルブの製造方法について図２に基づい
て説明する。まず、従来の場合と同様に部分組立が行わ
れ、第１の端板１２、固定電極棒１４および電極１８か
らなる固定側部分組立品２３、および第２の端板１５、
可動電極棒１６、ベローズ１７および電極１９からなる
可動側部分組立品２４が非酸化雰囲気中でろう付けによ
り組み立てられる。次いで、可動側部分組立品２４の第
２の端板１５上に、片持ちシールド２０、封着部材２
１、絶縁容器１１の順に積重し、上方から固定側部分組
立品２３の第１の端板１２を覆い、各部材間にはろう材
１３をそれぞれ配置した後、真空炉内で４００℃〜６０
０℃の高温でベーキングして脱ガスを十分に行い、その
後、ろう付け温度に昇温してろう材１３を溶融すること
により気密封止を行い、最終封止ろう付け部の検査を実
施して真空バルブは完成する。
１における真空バルブの製造方法について図２に基づい
て説明する。まず、従来の場合と同様に部分組立が行わ
れ、第１の端板１２、固定電極棒１４および電極１８か
らなる固定側部分組立品２３、および第２の端板１５、
可動電極棒１６、ベローズ１７および電極１９からなる
可動側部分組立品２４が非酸化雰囲気中でろう付けによ
り組み立てられる。次いで、可動側部分組立品２４の第
２の端板１５上に、片持ちシールド２０、封着部材２
１、絶縁容器１１の順に積重し、上方から固定側部分組
立品２３の第１の端板１２を覆い、各部材間にはろう材
１３をそれぞれ配置した後、真空炉内で４００℃〜６０
０℃の高温でベーキングして脱ガスを十分に行い、その
後、ろう付け温度に昇温してろう材１３を溶融すること
により気密封止を行い、最終封止ろう付け部の検査を実
施して真空バルブは完成する。
【００１８】このように上記実施の形態１によれば、積
重して接合される封着部材２１の内方折曲縁２１ａ、片
持ちシールド２０の外方折曲縁２０ａおよび第２の端板
１５の順に、各外径を段々大きく形成しているので、各
積重面間に配置されるろう材１３が溶融して外周側に漏
出される状態を密閉容器２２の外部から目視できるよう
になるため、片持ちシールド２０のろう付け工程を最終
封止組立工程と同時に行って、部分組立工程との二つの
工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工
期の短縮および信頼性の向上を図ることができる。
重して接合される封着部材２１の内方折曲縁２１ａ、片
持ちシールド２０の外方折曲縁２０ａおよび第２の端板
１５の順に、各外径を段々大きく形成しているので、各
積重面間に配置されるろう材１３が溶融して外周側に漏
出される状態を密閉容器２２の外部から目視できるよう
になるため、片持ちシールド２０のろう付け工程を最終
封止組立工程と同時に行って、部分組立工程との二つの
工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工
期の短縮および信頼性の向上を図ることができる。
【００１９】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、図１に示す実施の形態１におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。２５は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴２５ａが形成された第２の端板、２
６は一端側に外方に折曲して形成される外方折曲縁２６
ａ、この外方折曲縁２６ａの外周部に第２の端板２６の
外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の
係止部２６ｂ、この第１の係止部２６ｂの下端から外方
に突出して形成される第２の係止部２６ｃを有し、他端
側に形成される筒状部２６ｄで両電極１８、１９を囲繞
するように配設される片持ちシールドである。
態２における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、図１に示す実施の形態１におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。２５は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴２５ａが形成された第２の端板、２
６は一端側に外方に折曲して形成される外方折曲縁２６
ａ、この外方折曲縁２６ａの外周部に第２の端板２６の
外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の
係止部２６ｂ、この第１の係止部２６ｂの下端から外方
に突出して形成される第２の係止部２６ｃを有し、他端
側に形成される筒状部２６ｄで両電極１８、１９を囲繞
するように配設される片持ちシールドである。
【００２０】２７は一端が絶縁容器１１に接合され、他
端側が片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂに嵌合
して第３の係止部２６ｃに係止される封着部材で、第２
の端板２５と片持ちシールド２６の外方折曲縁２６ａと
の積重面間、および第１の係止部２６ｂと封着部材２７
との嵌合面間にはろう材（図示せず）がそれぞれ配置さ
れ、溶融されることにより各部材間は接合される。そし
て、上記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、２
５、ベローズ１７および封着部材２７で密閉容器２８を
構成している。
端側が片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂに嵌合
して第３の係止部２６ｃに係止される封着部材で、第２
の端板２５と片持ちシールド２６の外方折曲縁２６ａと
の積重面間、および第１の係止部２６ｂと封着部材２７
との嵌合面間にはろう材（図示せず）がそれぞれ配置さ
れ、溶融されることにより各部材間は接合される。そし
て、上記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、２
５、ベローズ１７および封着部材２７で密閉容器２８を
構成している。
【００２１】このように上記実施の形態２によれば、第
２の端板２５の外周に片持ちシールド２６の第１の係止
部２６ｂを嵌合させるとともに、封着部材２７の他端側
を片持ちシールド２６の第２の係止部２６ｃで係止さ
せ、各嵌合面および係止面の端部が密閉容器２８の外部
に露出するようにしているので、第２の端板２５と片持
ちシールド２６の外方折曲縁２６ａとの積重面間に配置
されるろう材の溶融は上記嵌合面の端部からの漏出状態
で、又、片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂと封
着部材２７との嵌合面間に配置されるろう材の溶融は上
記係止面の端部からの漏出状態で目視できるようになる
ため、上記実施の形態１の場合と同様に、片持ちシール
ド２６のろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、
部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能とな
り、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上
を図ることができる。
２の端板２５の外周に片持ちシールド２６の第１の係止
部２６ｂを嵌合させるとともに、封着部材２７の他端側
を片持ちシールド２６の第２の係止部２６ｃで係止さ
せ、各嵌合面および係止面の端部が密閉容器２８の外部
に露出するようにしているので、第２の端板２５と片持
ちシールド２６の外方折曲縁２６ａとの積重面間に配置
されるろう材の溶融は上記嵌合面の端部からの漏出状態
で、又、片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂと封
着部材２７との嵌合面間に配置されるろう材の溶融は上
記係止面の端部からの漏出状態で目視できるようになる
ため、上記実施の形態１の場合と同様に、片持ちシール
ド２６のろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、
部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能とな
り、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上
を図ることができる。
【００２２】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、上記各実施の形態１、２におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴２９ａが、また、外周部に段部２９
ｂがそれぞれ形成された第２の端板である。
態３における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、上記各実施の形態１、２におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴２９ａが、また、外周部に段部２９
ｂがそれぞれ形成された第２の端板である。
【００２３】３０は一端側に両電極１８、１９を囲繞す
るように配設され第２の端板２９の段部２９ｂの内周面
に嵌合される筒状部３０ａが、また、他端側にはこの筒
状部３０ａの下端側から外方に折曲して第２の端板２９
の段部２９ｂの上面に積重され第２の端板２９より大な
る径に形成された外方折曲縁３０ｂ、およびこの外方折
曲縁３０ｂの外周端部から上方に突出して絶縁容器１１
に接合される封着部３０ｃがそれぞれ形成された片持ち
シールドで、第２の端板２９の段部２９ｂと片持ちシー
ルド３０の外方折曲縁３０ｂとの間に配置されるろう材
の溶融により第２の端板２９に接合される。そして、上
記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、２９、ベ
ローズ１７、片持ちシールド３０の外方折曲縁３０ｂ、
封止部３０ｃで密閉容器３１を構成している。
るように配設され第２の端板２９の段部２９ｂの内周面
に嵌合される筒状部３０ａが、また、他端側にはこの筒
状部３０ａの下端側から外方に折曲して第２の端板２９
の段部２９ｂの上面に積重され第２の端板２９より大な
る径に形成された外方折曲縁３０ｂ、およびこの外方折
曲縁３０ｂの外周端部から上方に突出して絶縁容器１１
に接合される封着部３０ｃがそれぞれ形成された片持ち
シールドで、第２の端板２９の段部２９ｂと片持ちシー
ルド３０の外方折曲縁３０ｂとの間に配置されるろう材
の溶融により第２の端板２９に接合される。そして、上
記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、２９、ベ
ローズ１７、片持ちシールド３０の外方折曲縁３０ｂ、
封止部３０ｃで密閉容器３１を構成している。
【００２４】このように上記実施の形態３によれば、積
重される第２の端板２９より片持ちシールド３０の外方
折曲縁３０ｂを大なる径に形成して、積重面の端部が密
閉容器３１の外部に露出するようにしているので、積重
面間に配置されるろう材の溶融は、積重面の端部からの
漏出状態で目視できるようになるため、上記各実施の形
態１、２の場合と同様に、片持ちシールド３０のろう付
け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程と
の二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの
低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることがで
き、又、部品数および気密封止箇所が減るため組立性が
向上する。
重される第２の端板２９より片持ちシールド３０の外方
折曲縁３０ｂを大なる径に形成して、積重面の端部が密
閉容器３１の外部に露出するようにしているので、積重
面間に配置されるろう材の溶融は、積重面の端部からの
漏出状態で目視できるようになるため、上記各実施の形
態１、２の場合と同様に、片持ちシールド３０のろう付
け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程と
の二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの
低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることがで
き、又、部品数および気密封止箇所が減るため組立性が
向上する。
【００２５】実施の形態４．図５はこの発明の実施の形
態４における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、上記各実施の形態１〜３におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。３２は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴３２ａが、また、外縁部には所定の
大きさの穴３２ｂおよび上方に突出して絶縁容器１１に
接合される封着部３２ｃがそれぞれ形成された第２の端
板である。
態４における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、上記各実施の形態１〜３におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。３２は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴３２ａが、また、外縁部には所定の
大きさの穴３２ｂおよび上方に突出して絶縁容器１１に
接合される封着部３２ｃがそれぞれ形成された第２の端
板である。
【００２６】３３は一端側に両電極１８、１９を囲繞す
るように配設された筒状部３３ａが、また、他端側には
この筒状部３３ａの下端から外方に折曲して第２の端板
３２の上面に積重され封止部３２ｃと嵌合される外方折
曲縁３３ｂがそれぞれ形成された片持ちシールドで、積
重面間に配置されるろう材の溶融により第２の端板３２
に接合される。そして、上記絶縁容器１１、第１および
第２の端板１２、３２、ベローズ１７で密閉容器３４を
構成している。
るように配設された筒状部３３ａが、また、他端側には
この筒状部３３ａの下端から外方に折曲して第２の端板
３２の上面に積重され封止部３２ｃと嵌合される外方折
曲縁３３ｂがそれぞれ形成された片持ちシールドで、積
重面間に配置されるろう材の溶融により第２の端板３２
に接合される。そして、上記絶縁容器１１、第１および
第２の端板１２、３２、ベローズ１７で密閉容器３４を
構成している。
【００２７】このように上記実施の形態４によれば、片
持ちシールド３３の外方折曲縁３３ｂが積重される第２
の端板３２に穴３２ｂを形成して、積重面の一部が密閉
容器３４の外部に露出するようにしているので、積重面
間に配置されるろう材の溶融は、積重面の端部からの漏
出状態で目視できるようになるため、上記実施の形態３
の場合と同様に、片持ちシールド３２のろう付け工程を
最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの
工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工
期の短縮および信頼性の向上を図ることができるととも
に、部品数および気密封止箇所を減少させて組立性の向
上を図ることが可能になる。
持ちシールド３３の外方折曲縁３３ｂが積重される第２
の端板３２に穴３２ｂを形成して、積重面の一部が密閉
容器３４の外部に露出するようにしているので、積重面
間に配置されるろう材の溶融は、積重面の端部からの漏
出状態で目視できるようになるため、上記実施の形態３
の場合と同様に、片持ちシールド３２のろう付け工程を
最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの
工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工
期の短縮および信頼性の向上を図ることができるととも
に、部品数および気密封止箇所を減少させて組立性の向
上を図ることが可能になる。
【００２８】実施の形態５．図６はこの発明の実施の形
態５における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、上記各実施の形態１〜４におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。３５は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴３５ａが、また、外周部には上方に
突出して絶縁容器１１と接合される封着部３５ｂがそれ
ぞれ形成された第２の端板、３６は中央部に固定電極棒
１４が貫通して接合される挿入穴３６ａが形成された第
１の端板である。
態５における真空バルブの構成を示す断面図である。図
において、上記各実施の形態１〜４におけるものと同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。３５は中央
部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７
が接合される挿入穴３５ａが、また、外周部には上方に
突出して絶縁容器１１と接合される封着部３５ｂがそれ
ぞれ形成された第２の端板、３６は中央部に固定電極棒
１４が貫通して接合される挿入穴３６ａが形成された第
１の端板である。
【００２９】３７は一端側に外方に折曲して第１の端板
３６と同じ径に形成され、第１の端板３６に積重される
外方折曲縁３７ａが、また、他端側には両電極１８、１
９を囲繞するように配置される筒状部３７ｂがそれぞれ
形成された片持ちシールド、３８は下端が絶縁容器１１
に接合され、上端に第１の端板３６および片持ちシール
ド３７の外方折曲縁３７ａの各外周部と嵌合して支持す
る段部３８ａが形成された封着部材で、第１の端板３６
と外方折曲縁３７ａとの積重面間に配置されたろう材の
溶融により接合される。そして、上記絶縁容器１１、ベ
ローズ１７、第１および第２の端板３６、３５、封着部
材３８で密閉容器３９を構成している。
３６と同じ径に形成され、第１の端板３６に積重される
外方折曲縁３７ａが、また、他端側には両電極１８、１
９を囲繞するように配置される筒状部３７ｂがそれぞれ
形成された片持ちシールド、３８は下端が絶縁容器１１
に接合され、上端に第１の端板３６および片持ちシール
ド３７の外方折曲縁３７ａの各外周部と嵌合して支持す
る段部３８ａが形成された封着部材で、第１の端板３６
と外方折曲縁３７ａとの積重面間に配置されたろう材の
溶融により接合される。そして、上記絶縁容器１１、ベ
ローズ１７、第１および第２の端板３６、３５、封着部
材３８で密閉容器３９を構成している。
【００３０】このように上記実施の形態５によれば、ろ
う材が配置される第１の端板３６および片持ちシールド
３７の外方折曲縁３７ａの積重面間と、これら第１の端
板３６および外方折曲縁３７ａの各外周と封着部材３８
の段部３８ａとの嵌合面間とを連通させて、嵌合面の端
部が密閉容器３９の外部に露出するようにしているの
で、積重面間に配置されるろう材の溶融は、嵌合面の端
部からの漏出状態で目視できるようになるため、上記実
施の形態４の場合と同様に、片持ちシールド３３のろう
付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程
との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コスト
の低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることがで
きるとともに、気密封止箇所を減少させて組立性の向上
を図ることが可能になる。
う材が配置される第１の端板３６および片持ちシールド
３７の外方折曲縁３７ａの積重面間と、これら第１の端
板３６および外方折曲縁３７ａの各外周と封着部材３８
の段部３８ａとの嵌合面間とを連通させて、嵌合面の端
部が密閉容器３９の外部に露出するようにしているの
で、積重面間に配置されるろう材の溶融は、嵌合面の端
部からの漏出状態で目視できるようになるため、上記実
施の形態４の場合と同様に、片持ちシールド３３のろう
付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程
との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コスト
の低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることがで
きるとともに、気密封止箇所を減少させて組立性の向上
を図ることが可能になる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１によ
れば、円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞
する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される
密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら
両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちの
いずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを
備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシールドとの
接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が密閉容器
の外部に露出するように構成したので、製造コストの低
減、工期の短縮および信頼性の向上が可能な真空バルブ
を提供することができる。
れば、円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞
する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される
密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら
両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちの
いずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを
備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシールドとの
接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が密閉容器
の外部に露出するように構成したので、製造コストの低
減、工期の短縮および信頼性の向上が可能な真空バルブ
を提供することができる。
【００３２】又、この発明の請求項２によれば、請求項
１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端
側を外方に折曲して形成され端板より小なる径を有する
外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端
が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲
して形成される内方折曲縁とが順次積重されるととも
に、端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に
配置されるろう材の溶融により接合されるように構成し
たので、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の
向上が可能な真空バルブを提供することができる。
１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端
側を外方に折曲して形成され端板より小なる径を有する
外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端
が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲
して形成される内方折曲縁とが順次積重されるととも
に、端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に
配置されるろう材の溶融により接合されるように構成し
たので、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の
向上が可能な真空バルブを提供することができる。
【００３３】又、この発明の請求項３によれば、請求項
１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端
側を外方に折曲して形成され、外周部に端板の外周と嵌
合するように下方に折曲して形成される第１の係止部お
よびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成さ
れる第２の係止部とを有し端板に積重される外方折曲縁
と、一端が絶縁容器に接合され他端側が第１の係止部に
嵌合されるとともに他端面が第２の係止部に係止される
封着部材とが順次嵌合されるとともに、端板と外方折曲
縁との積重面間および第１の係止部と封着部材との嵌合
面間に配置されるろう材の溶融により接合されるように
構成したので、製造コストの低減、工期の短縮および信
頼性の向上が可能な真空バルブを提供することができ
る。
１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端
側を外方に折曲して形成され、外周部に端板の外周と嵌
合するように下方に折曲して形成される第１の係止部お
よびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成さ
れる第２の係止部とを有し端板に積重される外方折曲縁
と、一端が絶縁容器に接合され他端側が第１の係止部に
嵌合されるとともに他端面が第２の係止部に係止される
封着部材とが順次嵌合されるとともに、端板と外方折曲
縁との積重面間および第１の係止部と封着部材との嵌合
面間に配置されるろう材の溶融により接合されるように
構成したので、製造コストの低減、工期の短縮および信
頼性の向上が可能な真空バルブを提供することができ
る。
【００３４】又、この発明の請求項４によれば、請求項
１において、接合部を、端板の表面に外周に沿って形成
された段部と、この段部の内周面に嵌合される片持ちシ
ールドの一端側を外方に折曲して端板より大なる径に形
成され外周端部に上方に突出して絶縁容器に接合される
封止部を有する外方折曲縁とが積重されるとともに、段
部と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融
により接合されるように構成したので、製造コストの低
減、工期の短縮および信頼性の向上が可能であることは
勿論のこと、組立性の向上が可能な真空バルブを提供す
ることができる。
１において、接合部を、端板の表面に外周に沿って形成
された段部と、この段部の内周面に嵌合される片持ちシ
ールドの一端側を外方に折曲して端板より大なる径に形
成され外周端部に上方に突出して絶縁容器に接合される
封止部を有する外方折曲縁とが積重されるとともに、段
部と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融
により接合されるように構成したので、製造コストの低
減、工期の短縮および信頼性の向上が可能であることは
勿論のこと、組立性の向上が可能な真空バルブを提供す
ることができる。
【００３５】又、この発明の請求項５によれば、請求項
１において、接合部を、外縁部に所定の大きさの穴が形
成された端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲
して形成された外方折曲縁とを積重することにより穴を
閉塞するとともに、端板と外方折曲縁との積重面間に配
置されるろう材の溶融により接合されるように構成した
ので、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向
上が可能であることは勿論のこと、組立性の向上が可能
な真空バルブを提供することができる。
１において、接合部を、外縁部に所定の大きさの穴が形
成された端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲
して形成された外方折曲縁とを積重することにより穴を
閉塞するとともに、端板と外方折曲縁との積重面間に配
置されるろう材の溶融により接合されるように構成した
ので、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向
上が可能であることは勿論のこと、組立性の向上が可能
な真空バルブを提供することができる。
【００３６】又、この発明の請求項６によれば、請求項
１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端
側を外方に折曲して端板と同じ径に形成され端板と積重
される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接合された封
止部材の他端側に端板および外方折曲縁の外周に嵌合可
能に形成された段部で支持するとともに、端板と外方折
曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融により接合
されるように構成したので、製造コストの低減、工期の
短縮および信頼性の向上が可能であることは勿論のこ
と、組立性の向上が可能な真空バルブを提供することが
できる。
１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端
側を外方に折曲して端板と同じ径に形成され端板と積重
される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接合された封
止部材の他端側に端板および外方折曲縁の外周に嵌合可
能に形成された段部で支持するとともに、端板と外方折
曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融により接合
されるように構成したので、製造コストの低減、工期の
短縮および信頼性の向上が可能であることは勿論のこ
と、組立性の向上が可能な真空バルブを提供することが
できる。
【図１】 この発明の実施の形態１における真空バルブ
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図２】 図１における真空バルブの部分組立状態を示
す分解図である。
す分解図である。
【図３】 この発明の実施の形態２における真空バルブ
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図４】 この発明の実施の形態３における真空バルブ
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図５】 この発明の実施の形態４における真空バルブ
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図６】 この発明の実施の形態５における真空バルブ
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図７】 従来の真空バルブの構成を示す断面図であ
る。
る。
１１ 絶縁容器、１２，３６ 第１の端板、１３ ろう
材、１５，２５，２９，３２，３５ 第２の端板、１
８，１９ 電極、２０，２６，３０，３３，３７ 片持
ちシールド、２０ａ，２６ａ，３０ｂ，３３ｂ，３７ａ
外方折曲縁、２１，２７，３８ 封着部材、２１ａ
内方折曲縁、２２，２８，３１，３４，３９ 密閉容
器、２３ 固定側部分組立品、２４ 可動側部分組立
品、２６ｂ 第１の係止部、２６ｃ 第２の係止部、２
９ａ，３８ｂ 段部、３０ａ，３３ａ，３７ｂ 筒状
部、３０ｃ，３２ｃ 封着部。
材、１５，２５，２９，３２，３５ 第２の端板、１
８，１９ 電極、２０，２６，３０，３３，３７ 片持
ちシールド、２０ａ，２６ａ，３０ｂ，３３ｂ，３７ａ
外方折曲縁、２１，２７，３８ 封着部材、２１ａ
内方折曲縁、２２，２８，３１，３４，３９ 密閉容
器、２３ 固定側部分組立品、２４ 可動側部分組立
品、２６ｂ 第１の係止部、２６ｃ 第２の係止部、２
９ａ，３８ｂ 段部、３０ａ，３３ａ，３７ｂ 筒状
部、３０ｃ，３２ｃ 封着部。
Claims (6)
- 【請求項１】 円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両
端を閉塞する一対の端板と、上記絶縁容器および両端板
で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電
極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上
記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片
持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、上記端板
と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう
材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように構成
されていることを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項２】 接合部は、端板と、片持ちシールドの一
端側を外方に折曲して形成され上記端板より小なる径を
有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有
し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方
に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重されると
ともに、上記端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積
重面間に配置されるろう材の溶融により接合されている
ことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。 - 【請求項３】 接合部は、端板と、片持ちシールドの一
端側を外方に折曲して形成され、外周部に上記端板の外
周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係
止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出して
形成される第２の係止部とを有し上記端板に積重される
外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が上記
第１の係止部に嵌合されるとともに他端面が上記第２の
係止部に係止される封着部材とが順次嵌合されるととも
に、上記端板と外方折曲縁との積重面間および上記第１
の係止部と封着部材との嵌合面間に配置されるろう材の
溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記
載の真空バルブ。 - 【請求項４】 接合部は、端板の表面に外周に沿って形
成された段部と、この段部の内周面に嵌合される片持ち
シールドの一端側を外方に折曲して上記端板より大なる
径に形成され外周端部に上方に突出して絶縁容器に接合
される封止部を有する外方折曲縁とが積重されるととも
に、上記段部と外方折曲縁との積重面間に配置されるろ
う材の溶融により接合されていることを特徴とする請求
項１記載の真空バルブ。 - 【請求項５】 接合部は、外縁部に所定の大きさの穴が
形成された端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折
曲して形成された外方折曲縁とを積重することにより上
記穴を閉塞するとともに、上記端板と外方折曲縁との積
重面間に配置されるろう材の溶融により接合されている
ことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。 - 【請求項６】 接合部は、端板と、片持ちシールドの一
端側を外方に折曲して上記端板と同じ径に形成され上記
端板と積重される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接
合された封止部材の他端側に上記端板および外方折曲縁
の外周に嵌合可能に形成された段部で支持するととも
に、上記端板と外方折曲縁との積重面間に配置されるろ
う材の溶融により接合されていることを特徴とする請求
項１記載の真空バルブ。
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