KR100246907B1

KR100246907B1 - 진공 밸브

Info

Publication number: KR100246907B1
Application number: KR1019970014803A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 이토다니
Original assignee: 다니구찌 이찌로오; 미쓰비시덴키가부시키가이샤; 기타오카 다카시
Priority date: 1996-04-26
Filing date: 1997-04-21
Publication date: 2000-03-15
Also published as: JPH09293434A; CN1169018A; CN1065980C; DE19715198A1; JP3235961B2; KR970071882A; DE19715198B4

Abstract

진공 밸브의 제조에 있어서, 제조코스트 및 공기를 단축하지 못해 현재까지 신뢰성이 저하했었다.

접합부를 단판(15)과, 한편잡기실드(20)의 일단측을 바깥쪽으로 구부려서 형성딘 단판(15)보다 작은 직경을 갖는 외측 절곡단(20a)와 이 외측절곡단(20a)보다 작은 직경을 갖고 일단이 절연용기에 접합된 봉착부재(21)의 타단측을 안족으로 구부려서 형성된 내측절곡단(21a)이 순차로 적층되는 동시에 단판(15), 외측절곡단(20a) 및 내측절곡단(21a)은 각 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융에 의해 접합되도록 구성된다.

Description

진공 밸브

제1도는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도.

제2도는 제1도에서의 진공 밸브의 부분 조립상태를 표시하는 분해도.

제3도는 본 발명의 실시의 형태 2에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도.

제4도는 본 발명의 실시의 형태 3에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도.

제5도는 본 발명의 실시의 형태 4에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도.

제6도는 본 발명의 실시의 형태 5에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도.

제7도는 종래의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 절연용기 12, 36 : 제1의 단판

13 : 납땜재료 15, 25, 29, 32, 35 : 제2의 단판

18, 19 : 전극

20, 26, 30, 33, 37 : 한편잡기실드

20a, 26a, 30b, 33b, 37a : 외측 절곡단

21, 27, 38 : 부착부재 21a : 내측절곡단

22, 28, 31, 34, 39 : 밀폐용기 23 : 고정측 부분조립품

24 : 가동측 부분조립품 26b : 제1의 걸어맞춤부

26c : 제2의 걸어맞춤부 29a, 38b : 단부

30a, 33a, 37b : 통상부 30c, 32c : 봉착부

[발명의 목적]

진공 밸브의 제조에 있어 공정의 복잡성과 제조코스트의 상승 및 공기의 지연등의 문제점을 해결하는데 목적이 있다.

[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술]

본 발명은 진공 밸브에 관한 것으로, 특히 1단이 단판에 지지되어 양전극을 둘러싸도록 배치된 한편잡기실드의 지지구조에 관한 것이다.

제7도는 예를 들어 일본국 특공소 53-32870호 공보에 표시된 종래의 진공밸브의 구성을 표시하는 단면도이다.

도면에서, 1은 예를들어 알루미나세라믹등의 고절연부재로 되어 있고, 원통상으로 형성된 절연용기, 2, 3은 절연용기(1)의 양단에 예를 들어 은납과 같은 납땜재료로 용접된 단판으로 각각 중앙부에 삽입구멍(2a), (3a)이 형성되어 있다.

4는 단판(2)의 삽입공(2a)에 관통해서 삽입되고, 단판(2)에 밀착되어 접합되는 고정전극봉이다.

5는 단판(3)의 삽입공(3a)에 관통해서 삽입되고, 벨로즈(6)를 통해서 단판(3)에 밀착되게 접합되는 가동전극봉, 7, 8은 고정전극봉(4) 및 가동전극봉(5)의 선단에 각각 대향해서 고착되는 한쌍의 전극, 9는 단판(3)에 일단이 지지되고 타단측에서 양전극(7), (8)을 둘러싸도록 배치되는 한편잡기실드이다.

그리고, 상기 절연용기(1), 양단판(2), (3) 및 벨로즈(6)로 밀폐용기(10)를 구성하고 있다.

다음 상기와 같이 구성되는 종래의 진공 밸브의 제조방법에 대해 설명한다.

우선, 조립으로는 부분조립이 시행되고 단판(2), 고정전극봉(4) 및 전극(7)으로 되는 고정측 부분조립품 및 단판(3), 가동전극봉(5) 및 전극(8)으로 되는 가동측 부분조립품이 비산화분위기중에서 납땜에 의해 조립된다.

이렇게 해서 부분 납땜조립이 완료되면, 예를 들어 납땜재료의 용해부족, 납땜재료의 튀어나감이나 둘레에의 접차부족등의 눈검사가 전체적으로 실시되어 신뢰성 향상이 도모된다.

계속해 가동측 부분조립품의 단판(3)의 상면에 한편잡기실드(9)의 일단이 납땜에 의해 고착된다.

그리고, 진공 밸브의 최종 봉함조립은, 고정측 부품조립품의 단판(2) 및 가동측 부분조립품의 단판(3)과 절연용기(1)의 양단면사이에 납땜재료를 끼고 진공로내에서 400~600℃의 고온에서 베이킹해서 탈가스를 충분히 한후, 납땜온도로 승온시켜 납땜재료를 용융해서 밀봉시켜 최종 봉합납땜부의 검사를 실시해서 진공 밸브는 완료된다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

종래의 진공 밸브는 이상과 같이 구성 제조되어 있으므로, 납땜개소의 눈검사의 필요상, 부분조립공정 한편잡기실드의 납땜공정, 최종 봉합조립공정의 세 개의 납땜공정이 필요해지고, 높은 제조코스트 및 공기가 길다는 문제점이 있었다.

또, 한편잡기실드의 납땜공정을 없애고, 부분조립공정에서 동시에 한편잡기실드(9)를 납땜하면 한편잡기실드(9)의 내측의 납땜개소의 육안검사가 불가능해지기 때문에 리크테스트를 할 필요가 생기고, 이 리크테스트도 작업에 시간과 노력이 소요되며 납땜의 흐름이 충분히 확인될 수 없기 때문에, 신뢰성이 저하한다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 된 것으로, 한편잡기실드의 납땜상태를 볼 수 있는 구조로 하고, 최종 조립공정에서 한편잡기실드의 납땜이 되도록 함으로써 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상을 도모할 수 있는 진공 밸브를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명의 청구항 1에 관한 진공 밸브는, 원통상의 절연용기와 이 절연용기의 양단을 폐쇄하는 한쌍의 단판과, 절연용기 및 양단판으로 형성되는 밀폐용기내에 수납되어 접리가능한 한쌍의 전극과, 이들 양전극을 둘러싸도록 배치되어 1단이 양단판중의 어느 한쪽에 납땜 접합된 한편잡기실드를 구비한 진공 밸브에서 단판과 한편잡기실드의 접합부는 용융해서 누출되는 납땜재료의 누출부가 밀폐용기의 외부에 노출하도록 구성한 것이다.

또, 본 발명의 청구항 2에 관한 진공 밸브는, 청구항 1에서, 접합부를 단판과, 한편잡기실드의 1단측을 바깥쪽으로 구부려서 형성하고, 단판보다 작은 직경을 갖는 외측 절곡단과, 이 외측절곡단보다 작은 직경을 갖고 일단이 절연용기에 접합된 봉착부재의 타단측을 안쪽으로 구부려서 형성되는 내측 절곡단이 순차로 적층되는 동시에, 단판 외측 절곡단 및 내측 절곡단은 각 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융에 의해 접합되도록 구성한 것이다.

또, 본 발명의 청구항 3에 관한 진공 밸브는, 청구항 1에 있어서 접합부를 단판과, 한편잡기실드의 1단측을 바깥쪽으로 구부려서 형성하고, 외주부에 단판의 외주와 끼워맞추도록 아래쪽으로 구부려서 구성되는 제1의 걸어맞춤부 및 이 제1의 걸어맞춤부의 하단으로부터 바깥쪽으로 돌출해서 형성되는 제2의 걸어맞춤부를 갖고 단판에 적층되는 외측 절곡단과 일단이 절연용기에 접합되고 타단측이 제1의 걸어맞춤부에 끼워맞추어지는 동시에 타단면이 제2의 걸어맞춤부에 걸리는 봉착부재가 순차로 끼워 맞추어지는 동시에 단판과 외측 절곡단의 적층면간 및 제1의 걸어맞춤부와 봉착부재의 끼워맞춤면간에 배치되는 납땜재료의 용융에 의해 접합되도록 구성한 것이다.

[발명의 구성 및 작용]

[실시의 형태 1]

제1도는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도, 제2도는 제1도에서의 진공 밸브의 부분조립상태를 표시하는 분해도이다.

도면에서, 11은 예를 들어 알루미나세라믹등의 고절연부재로 되고, 원통상으로 형성된 절연용기, 12는 이 절연용기(11)의 일단측을 폐쇄하도록, 예를 들어 은납땜등의 납땜재료(13)로 납땜된 제1의 단판으로, 중앙부에 삽입공(12a)이 형성되고, 열팽창계수가 알루미나세라믹에 가까운 Fe-Ni-Co 합금또는 Fe-Ni 합금, 열팽창계수는 크게 다르나 소성변형함으로써 잔류응력이 작아지는 Cu-Ni 합금등의 재료가 사용되고 있다.

14는 제1의 단판(端板)(12)의 삽입공(12a)을 관통하여 삽입되고, 제1의 단판(12)에 밀착되어 접합되는 고정전극봉, 15는 외주단에 돌출부(15a), 중앙부에 삽입공(15b)이 각각 형성된 제2의 단판, 16은 제2의 단판(15)의 삽입공(15b)를 관통해서 삽입되는 가동전극봉, 17은 1단이 제2의 단판(15)의 삽입공(15b)의 내주부 타단이 가동전극봉(16)에 각각 밀착되게 접합되는 벨로즈, 18, 19는 고정전극봉(14) 및 가동전극봉(16)의 선단에 각각 대향해서 고착되는 한쌍의 전극이다.

20은 1단측에 바깥쪽으로 구부려서 형성되는 제2의 단판(15)에 돌출부(15a)와 끼워맞도록 적층된 외측 절곡단(20a)을 갖고, 타단측에 형성되는 통상부(20b)에서 양전극(18), (19)을 둘러싸도록 배치된 한편잡기실드로, 외측절곡단(20a)과 제2의 단판(15)과의 적층면간에 배치되는 납땜재료(13)의 용융에 의해 접합된다.

21은 한족잡기실드(20)의 외측절곡단(20a)보다 작은 직경의 통상으로 형성된 1단이 절연용기(11)의 타단측에 접합되고, 타단측에 내측으로 구부려서 형성되고, 외측절곡단(20a)에 적층되는 내측절곡단을 갖는 봉착부재로, 제1의 단판(12)과 같은 금속재료가 사용되고, 외측절곡단(20a)과 내측절곡단(21a)의 적층면간에 배치되는 납땜재료(13)의 용융에 의해 접합된다.

그리고, 상기 절연용기(11), 제1 및 제2의 단판(12), (15), 벨로즈(17) 및 봉착부재(21)로 밀폐용기(22)를 구성하고 있다.

다음에 상기와 같이 구성되는 실시의 형태 1에서의 진공 밸브의 제조방법에 대해서 제2도에 따라 설명한다.

우선 종래의 경우와 같이 부분조립이 되고, 제1의 단판(12), 고정전극봉(14) 및 전극(18)으로 되는 고정측 부분조립품(23) 및 제2의 단판(15), 가공전극봉(16), 벨로즈(17) 및 전극(19)으로 되는 가동측 부분조립품(24)이 비산화분위기중에서 납땜에 의해 조립된다.

계속해서, 가동측 부분조립품(24)의 제2의 단판(15)상에 한편잡기실드(20), 봉착부재(21), 절연용기(1)의 순으로 적층하고, 위쪽으로부터 고정측 부분조립품(23)의 제1의 단판(12)을 덮고, 각 부재간에는 납땜재료(13)를 각각 배치한 후, 진공로안에서 400~600℃의 고온으로 베이킹해서 탈가스를 충분히 하고, 그 후 납땜온도로 승온해서 납댐재료(13)를 용융함으로써 기밀봉함을 하고, 최종 봉함납땜부의 검사를 실시해서 진공 밸브를 완성한다.

이와같이 상기 실시의 형태 1에 의하면 적층해서 접합된 봉착부재(21)의 내측절곡단(21a), 한편잡기실드(20)의 외측절곡단(20a) 및 제2의 단판(15)의 순으로 각 외경을 점차 크게 형성하고 있으므로, 각 적층면간에 비치되는 납땜재료(13)가 용융해서 외주측으로 누출되는 상태를 밀폐용기(22)의 외부로부터 볼 수 있도록 되기 때문에 한편잡기실드(20)의 납땜공정을 최종 봉합조립공정과 동시에 시행해서 부분조립공정과의 2개의 공정으로 완료할 수 있게 되어, 제조코스트의 저감과 공기의 단축 및 신뢰성 향상을 기할 수가 있다.

[실시의 형태 2]

제3도는 본 발명의 실시의 형태 2에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도이다.

도면에서 제1도에 표시한 실시의 형태 1에서의 것과 같은 부분으로 동일부호를 붙여서 설명을 생략한다.

25는 중앙부에 가동전극봉(16)이 관통해서 삽입되고, 벨로즈(17)가 접합되는 삽입공(25a)이 형성된 제2의 단판, 26은 1단측에 바깥쪽으로 구부려서 형성된 외측절곡단(26a), 이 외측절곡단(26a)의 외주부에 제2의 단판(26)의 외주와 끼워맞추도록 아래쪽으로 구부려서 형성되는 제1의 걸어맞춤부(26b), 이 제1의 걸어맞춤부(26b)의 하단으로부터 바깥쪽으로 돌출해서 형성되는 제2의 걸어맞춤부(26c)를 갖고, 타단측에 형성되는 통상부(26d)에서 양전극(18), (19)을 둘러싸도록 배치되는 한편잡기실드이다.

27은 1단이 절연용기(11)에 접합되고, 타단측이 한편잡기실드(26)의 제1의 걸어맞춤부(26)에 끼워맞춰서 제3의 걸어맞춤부(26c)에 걸려있는 봉착부재로, 제2의 단판(25)과 한편잡기실드(26)의 외측절곡단(26a)과의 적층면간 및 제1의 걸어맞춤부(26b)와 봉착부재(27)의 끼워맞춤면간에는 납땜재료(도시않음)가 각각 배치되고, 용융됨으로써 각 부재간을 접합된다.

그리고, 상기 절연용기(11), 제1 및 제2의 단판(12), (25) 벨로즈(17)및 봉착부재(27)로 밀폐용기(28)를 구성하고 있다.

이와같이 상기 실시의 형태 2에 의하면, 제2의 단판(25)의 외주에 한편잡기실드(26)의 제1의 걸어맞춤부(26b)를 끼워맞추는 동시에 봉착부재(27)의 타단측을 한편잡기실드(26)의 제2의 걸어맞춤부(26c)에서 걸어주고, 각 끼워맞추는 면 및 걸림면의 단부가 밀폐용기(28)의 외부에 노출하도록 하였으므로 제2의 단판(25)과 한편잡기실드(26)의 외측절곡단(26)과의 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융은 상기 끼워맞추는 면의 단부로부터의 누출상태로, 또 한편잡기실드(26)의 제1의 걸어맞춤부(26b)와 봉착부재(27)와의 끼워맞추는 면간에 배치되는 납땜재료의 용융은 상기 걸림면의 단부로부터의 누출상태에서 볼 수 있기 때문에 상기 실시의 형태 1의 경우와 같이 한편잡기실드(26)의 납땜공정을 최종 봉합조립과 동시에 시행하여 부분조립공정과의 2개의 공정으로 완료할 수 있게 되어 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있다.

[실시의 형태 3]

제4도는 본 발명의 실시의 형태 3에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도이다.

도면에서, 상기 각 실시의 형태 1, 2에서의 것과 같은 부분은 동일부호를 붙여서 설명을 생략한다.

29는 중앙부에 가동적극봉(16)이 관통해서 삽입되고 벨로즈(17)가 접합되는 삽입공(29a)이, 또 외주부에 단부(29b)가 각각 형성된 제2의 단판이다.

30은 1단측에 양전극(18), (91)을 둘러싸도록 배치되고, 제2의 단판(29)의 단부(29b)의 내주면에 끼워맞춰지는 통상부(30a)가, 또 타단측에는 이 통상부(30a)의 하단측으로부터 바깥쪽으로 구부려서 제2의 단판(29)의 단부(29b)의 상면에 적층되고, 제2의 단판(29)보다 큰 직경으로 형성된 외측절곡단(30b) 및 이 외측절곡단(39b)의 외주단부로부터 위쪽으로 돌출해서 절연용기(11)에 접합되는 봉착부(30c)가 각각 형성된 한편잡기실드로, 제2의 단판(29)의 단부(29b)와 한편잡기실드(30)의 외측절곡단(30b)사이에 배치되는 납땜재료의 용융에 의해 제2의 단판(29)에 접합된다.

그리고 상기 절연용기(11) 및 제1 및 제2의 단판(12), (29) 벨로즈(17), 한편잡기실드(30)의 외측절곡단(30b), 봉합부(30c)로 밀폐용기(31)를 구성하고 있다.

이와같이 상기 실시의 형태 3에 의하면 적층되는 제2의 단판(29)보다 한편잡기실드(30)의 외측절곡단(30b)를 큰 직경으로 형성해서 적층면의 단부가 밀폐용기(31)의 외부로 노출되도록 하고 있으므로 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융은 적층면의 단부로부터의 누출상태로 볼 수 있기 때문에, 상기 각 실시의 형태 1, 2의 경우와 같이 한편잡기실드(30)의 납땜공정을 최종 봉합조립과 동시에 시행해서 부분조립공정과의 2개의 공정으로 완료시킬 수가 있어, 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있고, 또 부품수 및 기밀봉함개소가 감소되기 때문에 조립성이 향상된다.

[실시의 형태 4]

제5도는 본 발명의 실시의 형태 4에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도이다.

도면에서, 상기 각 실시의 형태 1~3에서의 것과 같은 부분은 같은 부호를 붙여서 설명을 생략한다.

32는 중앙부에 가동전극봉(18)이 관통해서 삽입되고, 벨로즈(17)가 접합되는 삽입공(32a)이, 또 외주부에는 소정의 크기의 구멍(32b) 및 위쪽으로 돌출해서 절연용기(11)에 접합되는 봉착부(32c)가 각각 형성된 제2의 단판이다.

33은 1단측에 양전극(18), (19)을 둘러싸도록 배치된 통상부(33a)가 또 타단측에는 이 통상부(33a)의 하단으로부터 바깥쪽으로 구부려서 제2의 단판(32)의 상면에 적층되는 봉함부(32c)와 끼워맞춰지는 외측절곡단(33b)이 각각 형성된 한편잡기실드로, 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융에 의해 제2의 단판(32)에 접합된다.

그리고, 상기 절연용기(11), 제1 및 제2의 단판(12), (32), 벨로즈(17)로 밀폐용기(34)를 구성하고 있다.

이와같이 상기 실시의 형태 4에 의하면, 한편잡기실드(33)의 외측절곡단(33b)이 적층되는 제2의 단판(32)에 구멍(32b)을 형성하여 적층면의 일부가 밀폐용기(34)의 외부에 노출하도록 하였으므로, 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융은, 적층면의 단부로부터의 누출상태로 눈으로 볼 수 있도록 되기 때문에 상기 실시의 형태 3의 경우와 같이 한편잡기실드(32)의 납땜공정을 최종봉함조립과 동시에 시행해서, 부분 조립과정과의 2개의 공정으로 완료시킬 수 있으며, 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있는 동시에 부품수 및 기밀봉함개소를 감소시켜서 조립성의 향상을 도모할 수가 있다.

[실시의 형태 5]

제6도는 본 발명의 실시의 형태 5에서의 진공 밸브의 구성을 표시하는 단면도이다.

도면에서, 상기 각 실시의 형태 1~4에서의 것과 같은 부분은 동일부호를 붙여서 설명을 생략한다.

35는 중앙부에 가동전극봉(16)이 관통해서 삽입되는 벨로즈(17)가 접합되는 삽입공(35a)이, 또 외주부에는 위쪽으로 돌출해서 절연용기(11)와 접합되는 봉착부(35b)가 각각 형성된 제2의 단판, 36은 중앙부에 고정전극봉(14)이 관통해서 접합되는 삽입공(36a)이 형성된 제1의 단판이다.

37은 1단측에 바깥쪽으로 구부려서 제1의 단판(36)과 같은 직경으로 형성되고, 제1의 단판(36)에 적층되는 외측절곡단(37a)이, 또 타단측에는 양전극(18), (19)을 둘러싸도록 배치되는 통상부(37b)가 각각 형성된 한편잡기실드, 38은 하단이 절연용기(11)에 접합되고, 상단에 제1의 단판(36)및 한편잡기실드(37)의 외측절곡단(37a)의 각 외주부와 끼워맞춰져서 지지하는 단부(38a)가 형성된 봉착부재로, 제1의 단판(36)과 외측절곡단(37a)과의 적층면간에 배치된 납땜재료의 용융에 의해 접합된다.

그리고, 상기 절연용기(11), 벨로즈(17), 제1 및 제2의 단판(36),(35), 봉착부재(38)로 밀폐용기(39)를 구성하고 있다.

이와같이 상기 실시의 형태 5에 의하면, 납땜재료가 배치되는 제1의 단판(36) 및 한편잡기실드(37)의 외측절곡단(37a)의 적층면간과 이들 제1의 단판(36) 및 외측절곡단(37a)의 각 외주와 봉착부재(38)의 단부(38a)와의 끼워맞추는 면간을 연통시켜서 끼워맞추는 면의 단부가 밀폐용기(39)의 외부에 노출하도록 하고 있으므로, 적층면간에 배치되는 납땜재료의 용융은 끼워맞추는 면의 단부로부터의 누출상태로 눈으로 볼 수 있기 때문에, 상기 실시의 형태 4의 경우와 같이 한편잡기실드(33)의 납땜공정을 최종 봉합조립과 동시에 시행해서 부분조립공정과의 2개의 공정으로 완료시킬 수가 있고, 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있는 동시에 기밀봉함개소를 감소시켜서 조립성의 향상을 도모할 수가 있다.

[발명의 효과]

이상과 같이 본 발명의 청구항 1에 의하면, 원통상의 절연용기와, 이 절연용기의 양단을 폐쇄하는 한쌍의 단판과 절연용기 및 양단판으로 형성되는 밀폐용기내에서 수납되어 접리가능한 한쌍의 전극과, 이들 양전극을 둘러싸도록 배치하고, 일단이 양단판중의 어느 하나에 납땜되어 접합된 한편잡기실드를 구비한 진공 밸브에 있어서, 단판과 한편잡기실드의 접합부는 용융해서 누출되는 납땜재료의 누출부가 밀폐용기의 외부에 노출하도록 구성하였으므로, 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상이 가능한 진공밸브를 제공할 수가 있다.

또, 본 발명의 청구항 2에 의하면, 청구항 1에 있어서, 접합부를 단판과 한편잡기실드의 1단측을 바깥족으로 구부려서 형성하고, 단판보다 작은 직경을 갖는 외측절곡단과, 이 외측절곡단보다 작은 직경을 갖고 1단이 절연용기에 접합된 봉합부재의 타단측을 안쪽으로 구부려서 형성하는 내부절곡단이 순차적으로 적층되는 동시에 단판, 외측절곡단 및 내측절곡단은 각 적층면간에 비치되는 납땜재료의 용융에 의해 접합되도록 구성하였으므로, 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상이 가능한 진공 밸브를 제공할 수가 있다.

또, 본 발명의 청구항 3에 의하면, 청구항 1에서, 접합부를 단판과 한편 잡기실드의 1단측을 바깥쪽으로 구부려서 형성하고 외주부에 단판의 외주와 끼워맞춰지도록 아래쪽으로 구부려서 형성되는 제1의 걸어맞춤부 및 이 제1의 걸어맞춤부의 하단으로부터 바깥쪽으로 돌출해서 형성되는 제2의 걸어맞춤부를 갖고 단판에 적층되는 외측절곡단과, 1단이 절연용기에 접합되고 타단측이 제1의 걸어맞춤부에 끼워맞춰지는 동시에 타단면이 제2의 걸어맞춤부에 걸리는 봉착부재가 순차 끼워맞춰지는 동시에 단판과 외측절곡단과의 적층면간 및 제1의 걸어맞춤부와 봉착부재와의 끼워맞추는 면간에 배치되는 납땜재료의 용융에 의해 접합되도록 구성하였으므로, 제조코스트의 저감, 공기의 단축 및 신뢰성의 향상이 가능한 진공 밸브를 제공할수가 있다.

Claims

원통상의 절연용기(11)와, 이 절연용기(11)의 양단을 폐쇄하는 한쌍의 단판(端板)(12), (15)과, 상기 절연용기(11) 및 양단판(12), (15)으로 형성되는 밀폐용기(22)내에 수납된 접리가능한 한쌍의 전극(18), (19)과, 이들 양전극(18), (19)을 둘러싸도록 배치하고, 1단이 상기 양단판(12), (15)중의 어느 한쪽에 납땜되어 접합된 한편잡기 실드(20)를 구비한 진공 밸브에 있어서, 상기 단판(15)과 한편잡기 실드(20)의 접합부는 용융해서 누출하는 납땜재료(13)의 누출부가 상기 밀폐용기(22)의 외부에 노출하도록 구성돼 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제1항에 있어서, 접합부는 단판(15)과 한편잡기실드(20)의 1단측을 바깥쪽으로 구부려서 형성하고, 상기 단판(15)보다 작은 직경을 갖는 외측절곡단(20a)과 이 외측절곡단(20a)보다 작은 직경을 갖고 1단이 절연용기(11)에 접합된 봉착부재(21)의 타단측을 안쪽으로 구부려서 형성되는 내측절곡단(21a)이 순차적으로 적층되는 동시에, 상기 단판(15), 외측절곡단(20a) 및 내측절곡단(21a)은 각 적층면간에 배치되는 납땜재료(13)의 용융에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제1항에 있어서, 접합부는, 단판(25)과 한편잡기실드(26)의 1단측을 바깥쪽으로 구부려서 형성하고, 외주부에 상기 단판(15)의 외주와 끼워맞추도록 아래쪽으로 구부려서 형성되는 제1의 걸어맞춤부(26b) 및 이 제1의 걸어맞춤부(26b)의 하단으로부터 돌출해서 형성되는 제2의 걸어맞춤부(26c)를 갖고, 상기 단판(25)에 적층되는 외측절곡단(26a)과 1단이 절연용기(11)에 접합되고 타단측이 상기 제1의 걸어맞춤부(26b)에 끼워맞춰지는 동시에 타단면이 상기 제2의 걸어맞춤부(26c)에 걸리는 봉착부재(27)가 순차로 끼워맞춰지는 동시에 상기 단판(25)과 외측절곡단(26a)과의 중첩면간 및 상기 제1의 걸어맞춤부(26b)와 봉착부재(27)의 끼워맞추는 면간에 배치되는 납땜재료(13)의 용융에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.