JPH0929155A - 塗布ノズル及びこの塗布ノズルを備えた塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 所定幅で塗布液を塗布するノズルに付着した
塗布液を確実に除去する。 【構成】 ノズル４には塗布液の注入路５が形成され、
この注入路５はノズル４内部のマニホールド６につなが
り、またマニホールド６から下方に所定幅の塗布液吐出
通路７が形成され、この塗布液吐出通路７を挟んで前後
に２本のガス噴出通路８，９が設けられている。これら
ガス噴出通路８，９はその延長線が塗布液吐出通路７の
延長線と交わるように傾斜している。ガス噴出通路８，
９にはバルブ１０を介してガス源からのガスが供給さ
れ、またガス噴出通路８，９にはバルブ１１を介して洗
浄液の供給源が接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハやガラス
基板等の板状被処理物表面に塗布液を塗布するためのノ
ズルと、このノズルを採用した塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハやガラス基板等の板状被
処理物表面にレジスト液等を塗布するには、従来からス
ピンナー上に被処理物を載置し、スピンナーによって被
処理物を回転させることで発生する遠心力で被処理物の
中心部に滴下した塗布液を外方に向けて拡散せしめるよ
うにしている。

【０００３】上述したスピンナーによる塗布は、被処理
物表面に残る塗布液が僅かであり、殆どが飛散してしま
うので無駄があり、また被処理物表面の端部まで塗布液
が塗布されてしまい、これが異物発生の原因となるの
で、塗布後の洗浄によって端部の塗布液を除去しなけれ
ばならない。

【０００４】そこで、スピンナー塗布の代わりにノズル
自体に所定幅の塗布液吐出通路を開口せしめ、ノズルを
移動することで被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布す
ることが考えられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、ノズ
ル自体に所定幅の塗布液吐出通路を開口せしめれば、塗
布液の無駄なく、しかも被処理物の端部を残すような塗
布方法も可能となる。しかしながら、ノズルの塗布液吐
出口の付近には塗布液が付着して乾燥し、これが剥離し
て被処理物表面に落下すると歩留まり低下の原因とな
る。特に、塗布液の吐出通路が所定幅で開口している場
合には、塗布液が付着する部分もそれだけ拡大するの
で、確実にしかも効率よく付着した塗布液を除去しなけ
ればならない。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記要望を解決すべく本
発明をなしたものであり、本発明に係る塗布ノズルは、
所定幅の塗布液吐出通路が開口し、この塗布液吐出通路
を挟んで２本のガス噴出通路が設けられ、これらガス噴
出通路はその延長線が塗布液吐出通路の延長線と交わる
ように傾斜し、更にガス噴出通路は切換え弁によって洗
浄液噴出通路となるようにした。

【０００７】また、本発明に係る塗布装置は上記の塗布
ノズルを組み込むとともに、ノズル洗浄の際に洗浄液反
射板がノズル直下に移動してくる構造とした。

【０００８】

【作用】２本のガス噴出通路の延長線が塗布液吐出通路
の延長線と交わるように傾斜しているので、塗布液吐出
通路から吐出した塗布液は広がることなく所定幅で板上
被処理物表面に塗布され、また切換え弁を操作してガス
噴出通路を洗浄液噴出通路とし、洗浄液を噴出して塗布
液吐出通路の開口部の周りに付着した塗布液を除去す
る。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る塗布ノズルを採
用した塗布装置の全体図、図２は同塗布ノズルの拡大断
面図であり、半導体ウェーハやガラス基板等の板状被処
理物Ｗを固定する載置台１の一側にレール２が設けら
れ、このレール２に直交するアーム３が往復動可能に設
けられ、このアーム３に沿ってノズル４が往復動可能に
設けられている。

【００１０】ノズル４には塗布液の注入路５が形成さ
れ、この注入路５はノズル４内部のマニホールド６につ
ながり、またマニホールド６から下方に塗布液Ｑの吐出
通路７が形成され、この塗布液Ｑの吐出通路７は図２の
紙面垂直方向に所定の長さを有している。

【００１１】また塗布液吐出通路７を挟んで前後に２本
のガス噴出通路８，９が設けられている。これらガス噴
出通路８，９はその延長線が塗布液Ｑの吐出通路７の延
長線と交わるように傾斜している。

【００１２】而して、ガス噴出通路８，９にはバルブ１
０を備えた配管１２及びチューブ８ａ，９ａを介してガ
ス源からの窒素ガス等の不活性ガスや空気などが供給さ
れ、ガス噴出通路８，９からエアを噴出することで、塗
布液吐出通路７から吐出される塗布液Ｑは絞られてカー
テン状に板状被処理物Ｗ上に塗布される。このとき、塗
布液Ｑの吐出圧は０．６〜１．０ｋｇ／ｃｍ²であり、
ガスの噴出圧はその約３倍である。

【００１３】一方、配管１２にはバルブ１１を備えた分
岐管１３が接続され、この分岐管１３は洗浄液の供給源
に接続されている。即ち、塗布後に洗浄を行う場合に
は、バルブ１０を閉、バルブ１１を開としてガス噴出通
路８，９を洗浄液噴出通路として塗布液吐出通路７の開
口部の周りに付着した塗布液を除去する。このとき洗浄
液噴出通路は必ずしも２本使用する必要はなく１本で洗
浄を行ってもよい。

【００１４】図３は別実施例を示す図であり、この実施
例にあっては洗浄の際にノズルの直下に移動してくる洗
浄液反射板１４を備えている。この洗浄液反射板１４は
ノズル或いは塗布装置本体のいずれに取り付けてもよ
い。またノズルの直下への移動は回動或いは直線動のい
ずれでもよい。

【００１５】このように、洗浄液反射板１４を設けるこ
とで、塗布液Ｑの吐出通路７の開口とガス噴出通路８，
９の開口とが離れている場合でも効果的に洗浄すること
ができる。

【００１６】

【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る塗布
ノズルは、所定幅の塗布液吐出通路を挟んで塗布液を絞
り込む傾斜した２本のガス噴出通路を設け、これらガス
噴出通路を上流側の切換え弁によって洗浄液噴出通路と
なるようにしたので、特別な洗浄装置を用いることな
く、ガス噴出通路から洗浄液を噴出して塗布液吐出通路
の開口部の廻りに付着した塗布液を除去することができ
る。

【００１７】また、ノズル洗浄の際には、洗浄液反射板
がノズル直下に移動してくるか、またはノズルが洗浄液
反射板上に移動するようにすれば、塗布液吐出通路の開
口と洗浄液噴出通路となるガス噴出通路の開口とが離れ
ている場合であっても、確実に洗浄することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る塗布ノズルを採用した塗布装置の
全体図

【図２】同塗布ノズルの拡大断面図

【図３】洗浄液反射板を備えた別実施例を示す図

【符号の説明】

４…ノズル、５…塗布液の注入路、６…マニホールド、
７…塗布液吐出通路、８，９…ガス噴出通路、１０，１
１…バルブ、１４…洗浄液反射板、Ｑ…塗布液、Ｗ…板
状被処理物。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状被処理物表面に所定幅で塗布液を塗
   布するノズルであって、このノズルには所定幅の塗布液
   吐出通路が開口し、この塗布液吐出通路を挟んで２本の
   ガス噴出通路が設けられ、これらガス噴出通路はその延
   長線が塗布液吐出通路の延長線と交わるように傾斜し、
   更にガス噴出通路は切換え弁によって洗浄液噴出通路と
   なることを特徴とする塗布ノズル。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の塗布ノズルを備えた塗
   布装置であって、この塗布装置はノズル洗浄の際にノズ
   ル直下に移動してくる洗浄液反射板を備えていることを
   特徴とする塗布装置。