JPH09291360A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH09291360A JPH09291360A JP10250996A JP10250996A JPH09291360A JP H09291360 A JPH09291360 A JP H09291360A JP 10250996 A JP10250996 A JP 10250996A JP 10250996 A JP10250996 A JP 10250996A JP H09291360 A JPH09291360 A JP H09291360A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- substrate transfer
- substrate
- pinions
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 正確に搬送、停止、位置決めできる基板搬送
装置をえる。 【解決手段】 長手に沿い複数の室を持つように両端お
よび内部がゲート手段で区画された真空容器、同真空容
器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラック
を持つ基板搬送台車、真空容器の内外に長手方向に複数
設けられ少くとも１つがラックと噛合うように配置され
たステッピングモータ駆動式のピニオン、同ピニオンを
少くとも２つづつ同期駆動する同期駆動手段を設ける。
装置をえる。 【解決手段】 長手に沿い複数の室を持つように両端お
よび内部がゲート手段で区画された真空容器、同真空容
器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラック
を持つ基板搬送台車、真空容器の内外に長手方向に複数
設けられ少くとも１つがラックと噛合うように配置され
たステッピングモータ駆動式のピニオン、同ピニオンを
少くとも２つづつ同期駆動する同期駆動手段を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｐ−ＣＶＤ装置等
で使用される基板搬送装置に関する。
で使用される基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５に従来のＰ−ＣＶＤ装置用の同期方
式の基板搬送装置を示す。真空容器１内に長手方向に室
ａ〜ｃが配置されるよう区画用のゲート弁２ａ，２ｂが
設けられている。真空容器１の下部には長手方向にピニ
オン７が配置され、その軸は磁気シール１０を介して外
部にでている。また真空容器１内にはピニオン７と噛合
うラックを側部に持った基板搬送台車１３が配置されて
いる。
式の基板搬送装置を示す。真空容器１内に長手方向に室
ａ〜ｃが配置されるよう区画用のゲート弁２ａ，２ｂが
設けられている。真空容器１の下部には長手方向にピニ
オン７が配置され、その軸は磁気シール１０を介して外
部にでている。また真空容器１内にはピニオン７と噛合
うラックを側部に持った基板搬送台車１３が配置されて
いる。
【０００３】各ピニオン７の外部の軸はタイミングベル
ト０９で一列につながれている。またピニオン７の１つ
の外部の軸はモータ０４に連結されている。図中０５は
モータ駆動装置である。
ト０９で一列につながれている。またピニオン７の１つ
の外部の軸はモータ０４に連結されている。図中０５は
モータ駆動装置である。
【０００４】以上において、処理工程に応じて、モータ
駆動装置０５によりモータ０４が所定のパターンで駆動
される。そしてピニオン７、ラック８を介して基板搬送
台車１３が各室に工程に応じて移動、停止する。
駆動装置０５によりモータ０４が所定のパターンで駆動
される。そしてピニオン７、ラック８を介して基板搬送
台車１３が各室に工程に応じて移動、停止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置は次のよ
うな問題点があった。 （ａ）機械的な停止調整装置であるため、高精度に停止
位置を決めることは困難である。 （ｂ）タイミングベルトを通すための空間も必要にな
り、長時間の連続運転ではベルトの損傷によるずれが発
生する。 （ｃ）またタイミングベルトは消耗しやすく、長期間使
用の信頼性に不安がある。
うな問題点があった。 （ａ）機械的な停止調整装置であるため、高精度に停止
位置を決めることは困難である。 （ｂ）タイミングベルトを通すための空間も必要にな
り、長時間の連続運転ではベルトの損傷によるずれが発
生する。 （ｃ）またタイミングベルトは消耗しやすく、長期間使
用の信頼性に不安がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため次の手段を講ずる。 （１）長手に沿い複数の室を持つように両端および内部
がゲート手段で区画された真空容器と、同真空容器の内
外を長手方向に移動可能に配置され側面にラックを持つ
基板搬送台車と、上記真空容器の内外に長手方向に複数
設けられ少くとも１つが上記ラックと噛合うように配置
されたステッピングモータ駆動式のピニオンと、同ピニ
オンを少くとも２つづつ同期駆動する同期駆動手段とを
設ける。
するため次の手段を講ずる。 （１）長手に沿い複数の室を持つように両端および内部
がゲート手段で区画された真空容器と、同真空容器の内
外を長手方向に移動可能に配置され側面にラックを持つ
基板搬送台車と、上記真空容器の内外に長手方向に複数
設けられ少くとも１つが上記ラックと噛合うように配置
されたステッピングモータ駆動式のピニオンと、同ピニ
オンを少くとも２つづつ同期駆動する同期駆動手段とを
設ける。
【０００７】以上において、同期駆動手段が所定のパタ
ーンで作動すると、同期駆動手段につながったステッピ
ングモータは同期的に回転しピニオンが回る。したがっ
てピニオンと噛合ったラック、すなわち基板搬送台車が
所定のパターンで移動、停止する。
ーンで作動すると、同期駆動手段につながったステッピ
ングモータは同期的に回転しピニオンが回る。したがっ
てピニオンと噛合ったラック、すなわち基板搬送台車が
所定のパターンで移動、停止する。
【０００８】このようにして、工程に対応した基板搬送
台車の移動、停止、その位置決めが正確に行える。 （２）上記（１）の基板搬送装置において、真空容器内
を３室とし、各室にピニオンを前後に配置するとともに
前部の室の前方および後部の室の後方にもピニオンを配
置し、かつ同期駆動手段を二つ設け一つは上記中央の室
の前部から前の各ピニオンを駆動するとともに他の一つ
は上記中央の室の後部から後の各ピニオンを駆動し、か
つ基板搬送台車も対応して２台設ける。
台車の移動、停止、その位置決めが正確に行える。 （２）上記（１）の基板搬送装置において、真空容器内
を３室とし、各室にピニオンを前後に配置するとともに
前部の室の前方および後部の室の後方にもピニオンを配
置し、かつ同期駆動手段を二つ設け一つは上記中央の室
の前部から前の各ピニオンを駆動するとともに他の一つ
は上記中央の室の後部から後の各ピニオンを駆動し、か
つ基板搬送台車も対応して２台設ける。
【０００９】以上において前部の同期駆動手段が所定の
パターンで作動すると、同期駆動手段につながれた前部
のピニオンが回る。したがって噛合った前部のラック、
すなわち前部の基板搬送台車が所定のパターンで移動、
停止する。このようにして、中央の室から前部におい
て、工程に対応した基板搬送台車の移動、停止、その位
置決めが正確に行える。後部についても同様である。 （３）上記（２）の基板搬送装置において、真空容器の
中央の室に基板の積替え手段を設ける。
パターンで作動すると、同期駆動手段につながれた前部
のピニオンが回る。したがって噛合った前部のラック、
すなわち前部の基板搬送台車が所定のパターンで移動、
停止する。このようにして、中央の室から前部におい
て、工程に対応した基板搬送台車の移動、停止、その位
置決めが正確に行える。後部についても同様である。 （３）上記（２）の基板搬送装置において、真空容器の
中央の室に基板の積替え手段を設ける。
【００１０】以上において、各同期駆動手段が所定パタ
ーンで作動する。例えば、前部の同期駆動手段は、基板
搬送台車を外部から前部の室、次に中央の室、再び前部
の室から外部へと所定のパターンで移動、停止させるよ
うに作動する。
ーンで作動する。例えば、前部の同期駆動手段は、基板
搬送台車を外部から前部の室、次に中央の室、再び前部
の室から外部へと所定のパターンで移動、停止させるよ
うに作動する。
【００１１】一方、後部の同期駆動手段は前記とは所定
時間遅らせて、外部から後部室、次に中央の室、再び後
部の室から外部へと所定のパターンで移動、停止させる
ように作動する。すなわち、中央の室での処理工程後、
基板が前部の基板搬送台車から後部の基板搬送台車に積
替え手段で積替えられ、搬出されるようなパターンで作
動する。
時間遅らせて、外部から後部室、次に中央の室、再び後
部の室から外部へと所定のパターンで移動、停止させる
ように作動する。すなわち、中央の室での処理工程後、
基板が前部の基板搬送台車から後部の基板搬送台車に積
替え手段で積替えられ、搬出されるようなパターンで作
動する。
【００１２】このようにして、工程に対応して、各基板
搬送台車は、移動、停止と、その位置決めが正確に行わ
れる。
搬送台車は、移動、停止と、その位置決めが正確に行わ
れる。
【００１３】
（１）本発明の実施の第１形態を図１により説明する。
なお、従来例で説明した部分は、同一の番号をつけ説明
を省略し、この発明に関する部分を主体に説明する。
なお、従来例で説明した部分は、同一の番号をつけ説明
を省略し、この発明に関する部分を主体に説明する。
【００１４】各ピニオン７の外部の軸にはそれぞれステ
ッピングモータ４が連結される。また各ステッピングモ
ータ４にはそれぞれモータ駆動装置５の出力がつながれ
ている。さらに各モータ駆動装置５にはパルス発振器６
の出力がつながれている。
ッピングモータ４が連結される。また各ステッピングモ
ータ４にはそれぞれモータ駆動装置５の出力がつながれ
ている。さらに各モータ駆動装置５にはパルス発振器６
の出力がつながれている。
【００１５】ここでパルス発振器６とモータ駆動装置５
が同期駆動手段である。
が同期駆動手段である。
【００１６】以上においてパルス発振器６は工程に応じ
たパターンのパルスを発信する。各モータ駆動装置５は
この信号を受けて、それぞれのステッピングモータ４を
駆動する。
たパターンのパルスを発信する。各モータ駆動装置５は
この信号を受けて、それぞれのステッピングモータ４を
駆動する。
【００１７】したがってステッピングモータ５は同期的
に回転しピニオン７が回る。ピニオン７と噛合ったラッ
ク８、すなわち基板搬送台車１３が所定のパターンで移
動、停止する。なお各ピニオン７は同期して回っている
ので、近づいてきたラック８と円滑に噛合うことができ
る。
に回転しピニオン７が回る。ピニオン７と噛合ったラッ
ク８、すなわち基板搬送台車１３が所定のパターンで移
動、停止する。なお各ピニオン７は同期して回っている
ので、近づいてきたラック８と円滑に噛合うことができ
る。
【００１８】このようにして、工程に対応した基板搬送
台車１３の移動、停止、その位置決めが正確に行える。
なお、停止位置はステッピングモータ５のステップ幅レ
ベルで調節できる。 （２）本発明の実施の第２形態を図２〜図３により説明
する。真空容器１内はロードロック室ａ、成膜室ｂ、ア
ンロード室ｃとなるようゲート弁２ａ〜２ｄで区画され
る。
台車１３の移動、停止、その位置決めが正確に行える。
なお、停止位置はステッピングモータ５のステップ幅レ
ベルで調節できる。 （２）本発明の実施の第２形態を図２〜図３により説明
する。真空容器１内はロードロック室ａ、成膜室ｂ、ア
ンロード室ｃとなるようゲート弁２ａ〜２ｄで区画され
る。
【００１９】ピニオン７ａと７ｂがロードロック室ａの
前方と、アンロード室ｃの後方にそれぞれ配置される。
また各室ａ〜ｃ内に２個づつ配置される。ここで７ａは
中央の室ｂの前部のピニオンから前方のピニオンで、７
ｂは後部のピニオンから後方のピニオンである。
前方と、アンロード室ｃの後方にそれぞれ配置される。
また各室ａ〜ｃ内に２個づつ配置される。ここで７ａは
中央の室ｂの前部のピニオンから前方のピニオンで、７
ｂは後部のピニオンから後方のピニオンである。
【００２０】パルス発信器６ａの出力は、それぞれのモ
ータ駆動装置５ａを介してステッピングモータ４ａへ送
られる。またパルス発信器６ｂの出力は、それぞれのモ
ータ駆動装置５ｂを介してステッピングモータ４ｂへ送
られる。
ータ駆動装置５ａを介してステッピングモータ４ａへ送
られる。またパルス発信器６ｂの出力は、それぞれのモ
ータ駆動装置５ｂを介してステッピングモータ４ｂへ送
られる。
【００２１】また、前部と後部にそれぞれ、基板搬送台
車１３ａ，１３ｂが配置される。さらに中央の成膜室に
は基板の積替え手段を持つ成膜装置がある（図示省
略）。
車１３ａ，１３ｂが配置される。さらに中央の成膜室に
は基板の積替え手段を持つ成膜装置がある（図示省
略）。
【００２２】以上において、各パルス発信器６ａ，６ｂ
は工程に対応した所定パターンで作動する。前部のパル
ス発信器６ａは、基板搬送台車１３ａを外部から前部の
室ａ、次に中央の室ｂ、再び前部の室ａから外部へと所
定のパターンで移動、停止させるように作動する。
は工程に対応した所定パターンで作動する。前部のパル
ス発信器６ａは、基板搬送台車１３ａを外部から前部の
室ａ、次に中央の室ｂ、再び前部の室ａから外部へと所
定のパターンで移動、停止させるように作動する。
【００２３】後部についてもほぼ同様である。
【００２４】このようにして、工程に対応して、各基板
搬送台車は、移動、停止と、その位置決めが正確に行わ
れる。
搬送台車は、移動、停止と、その位置決めが正確に行わ
れる。
【００２５】以下１つの処理工程の例を具体的に説明す
る。
る。
【００２６】図３（ａ）はロードロック室ａにガラス基
板１１を載せた搬送台車１２ａが停止した状態で、真空
にしつつあるときであり、ゲート弁２ａと、ゲート弁２
ｂは閉じられている。また、アンロード室ｃには成膜さ
れたガラス基板１１を載せた搬送台車１３ｂが停止し、
真空を破壊しつつあるときであり、ゲート弁２ｄは開か
れつつある。
板１１を載せた搬送台車１２ａが停止した状態で、真空
にしつつあるときであり、ゲート弁２ａと、ゲート弁２
ｂは閉じられている。また、アンロード室ｃには成膜さ
れたガラス基板１１を載せた搬送台車１３ｂが停止し、
真空を破壊しつつあるときであり、ゲート弁２ｄは開か
れつつある。
【００２７】図３（ｂ），（ｃ）ではロードロック室ａ
が真空となったとき、ゲート弁２ｂを開け、搬送台車１
２ａを成膜室ｂに入れ、ガラス基板１１を成膜装置に渡
し、またロードロック室ａに戻る。一方、アンローダ室
ｃは常圧となったら、搬送台車１３ｂはアンローダ側へ
移動し前工程で成膜されたガラス基板１１を下し、から
の状態でアンロード室ｂへ戻ってくる。また、成膜室ａ
ではゲート弁２ｂは閉じられて、ガラス基板１１に成膜
をしつつある。
が真空となったとき、ゲート弁２ｂを開け、搬送台車１
２ａを成膜室ｂに入れ、ガラス基板１１を成膜装置に渡
し、またロードロック室ａに戻る。一方、アンローダ室
ｃは常圧となったら、搬送台車１３ｂはアンローダ側へ
移動し前工程で成膜されたガラス基板１１を下し、から
の状態でアンロード室ｂへ戻ってくる。また、成膜室ａ
ではゲート弁２ｂは閉じられて、ガラス基板１１に成膜
をしつつある。
【００２８】図３（ｄ）では、ロードロック室ａの真空
が破壊されたら、搬送台車１２ａはローダ側へ出て、新
しいガラス基板１１を載せている。一方、成膜室ｂにて
成膜されたガラス基板１１は、アンロード室ｃに待機し
ていた搬送台車１３ｂが移動してきて、ガラス基板１１
を搭載する。その後は、図３（ａ）の状態となり、順次
これを繰返すことにて、ガラス基板１１はローダ、ロー
ドロック室、更に成膜室に入り、成膜後、アンロード室
を経てアンローダ側へと正確に移動、停止することがで
きる。
が破壊されたら、搬送台車１２ａはローダ側へ出て、新
しいガラス基板１１を載せている。一方、成膜室ｂにて
成膜されたガラス基板１１は、アンロード室ｃに待機し
ていた搬送台車１３ｂが移動してきて、ガラス基板１１
を搭載する。その後は、図３（ａ）の状態となり、順次
これを繰返すことにて、ガラス基板１１はローダ、ロー
ドロック室、更に成膜室に入り、成膜後、アンロード室
を経てアンローダ側へと正確に移動、停止することがで
きる。
【００２９】なお、上記ではピニオン４ａ，４ｂを一方
側に配置したが、図４に示すように前部のピニオン４ａ
は一方側、後部のピニオン４ｂは他方側に配置するよう
にしてもよい。
側に配置したが、図４に示すように前部のピニオン４ａ
は一方側、後部のピニオン４ｂは他方側に配置するよう
にしてもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれば
同期駆動手段で各ステッピングモータが同期して所定の
パターンで駆動、停止されるので、基板搬送台車は、正
確に移動、停止される。またピニオンはステッピングモ
ータ駆動であるため長寿命化、信頼性の向上が図れる。
同期駆動手段で各ステッピングモータが同期して所定の
パターンで駆動、停止されるので、基板搬送台車は、正
確に移動、停止される。またピニオンはステッピングモ
ータ駆動であるため長寿命化、信頼性の向上が図れる。
【図１】本発明の実施の第１形態の構成部分断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施の第２形態の構成の部分断面図で
ある。
ある。
【図３】同第２形態の作用説明図である。
【図４】同第２形態の説明図である。
【図５】従来例の部分断面図である。
【符号の説明】 １ 真空容器 ２ａ〜２ｄ ゲート弁 ４，４ａ，４ｂ ステッピングモータ ５，５ａ，５ｂ モータ駆動装置 ６，６ａ，６ｂ パルス発振器 ７，７ａ，７ｂ ピニオン ８ ラック １０ 磁気シール １１ ガラス基板 １３，１３ａ，１３ｂ 基板搬送台車
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/56 Ｃ２３Ｃ 14/56 Ｇ
Claims (3)
- 【請求項１】 長手に沿い複数の室を持つように両端お
よび内部がゲート手段で区画された真空容器と、同真空
容器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラッ
クを持つ基板搬送台車と、上記真空容器の内外に長手方
向に複数設けられ少くとも１つが上記ラックと噛合うよ
うに配置されたステッピングモータ駆動式のピニオン
と、同ピニオンを少くとも２つづつ同期駆動する同期駆
動手段とを備えてなることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の基板搬送装置において、
真空容器内を３室とし、各室にピニオンを前後に配置す
るとともに前部の室の前方および後部の室の後方にもピ
ニオンを配置し、かつ同期駆動手段を二つ設け一つは上
記中央の室の前部から前の各ピニオンを駆動するととも
に他の一つは上記中央の室の後部から後の各ピニオンを
駆動し、かつ基板搬送台車も対応して２台設けたことを
特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の基板搬送装置において、
真空容器の中央の室に基板の積替え手段を設けたことを
特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10250996A JP3540504B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10250996A JP3540504B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09291360A true JPH09291360A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3540504B2 JP3540504B2 (ja) | 2004-07-07 |
Family
ID=14329366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10250996A Expired - Fee Related JP3540504B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3540504B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100945431B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2010-03-05 | 한국원자력연구원 | 다층기판홀더를 이용한 양산형 박막증착장치 |
| KR100945429B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2010-03-05 | 한국원자력연구원 | 대량의 기판 장착 및 탈착 시스템을 이용한 양산형박막증착 장치 |
| WO2010067591A1 (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-17 | キヤノンアネルバ株式会社 | ラック・アンド・ピニオン機構、真空処理装置、ラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法、駆動制御プログラム及び記録媒体 |
| US8083912B2 (en) | 2005-09-24 | 2011-12-27 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg. | Substrate carrier |
| JP2012131585A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Canon Anelva Corp | 搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 |
| JP2012158805A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Ihi Corp | アレイアンテナ式プラズマｃｖｄ装置 |
-
1996
- 1996-04-24 JP JP10250996A patent/JP3540504B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8083912B2 (en) | 2005-09-24 | 2011-12-27 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg. | Substrate carrier |
| KR100945431B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2010-03-05 | 한국원자력연구원 | 다층기판홀더를 이용한 양산형 박막증착장치 |
| KR100945429B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2010-03-05 | 한국원자력연구원 | 대량의 기판 장착 및 탈착 시스템을 이용한 양산형박막증착 장치 |
| WO2010067591A1 (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-17 | キヤノンアネルバ株式会社 | ラック・アンド・ピニオン機構、真空処理装置、ラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法、駆動制御プログラム及び記録媒体 |
| CN102245934A (zh) * | 2008-12-09 | 2011-11-16 | 佳能安内华股份有限公司 | 齿条-小齿轮机构、真空处理装置、齿条-小齿轮机构的驱动控制方法、驱动控制程序及记录介质 |
| JP5249351B2 (ja) * | 2008-12-09 | 2013-07-31 | キヤノンアネルバ株式会社 | ラック・アンド・ピニオン機構、真空処理装置、ラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法、駆動制御プログラム及び記録媒体 |
| JP2013177975A (ja) * | 2008-12-09 | 2013-09-09 | Canon Anelva Corp | ラック・アンド・ピニオン機構及び真空処理装置 |
| JP2012131585A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Canon Anelva Corp | 搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 |
| JP2012158805A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Ihi Corp | アレイアンテナ式プラズマｃｖｄ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3540504B2 (ja) | 2004-07-07 |
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