JP5249351B2 - ラック・アンド・ピニオン機構、真空処理装置、ラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法、駆動制御プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
上記ピニオンギヤの位相差分を検出する手段と、
上記検出手段が検出した上記ピニオンギヤの位相差分を記憶する記憶部を有し、上記現工程のピニオンギヤの位相差分に基づいて、上記次工程のピニオンギヤの位相差分を制御する制御装置と、
を備えていることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構である。
駆動源に連結され、上記ラックギヤに順次噛合して上記載置台を移動させる複数のピニオンギヤと、
上記ピニオンギヤの位相角を検出する手段と、
上記検出手段により検出された上記ピニオンギヤの位相角を記憶する記憶部を有する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、上記載置台の搬送中に上記駆動源を制御して、上記ラックギヤに噛合している上記ピニオンギヤを設定搬送速度よりも低速で一方向へ回転させて、上記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、上記検出手段が検出した上記一方向へ回転した上記ピニオンギヤの第1の位相角を記憶し、
上記ピニオンギヤを上記低速で上記一方向と逆方向へ回転させて、上記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、上記検出手段が検出した上記逆方向へ回転した上記ピニオンギヤの第2の位相角を記憶し、
上記第1の位相角から前記第2の位相角までの回動角の1/2の角度を算出して、該1/2の角度へ上記ピニオンギヤを回転させることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構である。
〈真空処理装置〉
図1は、複数の真空室を備えた真空処理装置の一実施形態を模式的に示す平面図である。図2は、図1中の矢印で示す搬送方向から真空処理室10を観た状態を模式的に示す側面図である。
次に、図2を参照して、上記キャリア搬送機構としてのラック・アンド・ピニオン機構について説明する。
次に、図3及び図4を参照して、上記ラック・アンド・ピニオン機構の作用と共に、第1の実施形態のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法について説明する。図3は、第1の実施形態のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法を示すフローチャートである。図4は、第1の実施形態のラックギヤとピニオンギヤとの噛合関係を示す模式図である。
次に、図5及び図6を参照して、第2の実施形態のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法について説明する。図5は、第2の実施形態のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法を示すフローチャートである。図6は、第2の実施形態のラックギヤとピニオンギヤとの噛合関係を示す模式図である。なお、真空処理装置及びラック・アンド・ピニオン機構の構成については、第1の実施形態と共通であるので、説明を省略する。
次に、図7及び図8を参照して、第3の実施形態のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法について説明する。図7は、第3の実施形態のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法を示すフローチャートである。図8は、第3の実施形態のラックギヤとピニオンギヤとの噛合関係を示す模式図である。なお、真空処理装置及びラック・アンド・ピニオン機構の構成については、第1の実施形態と共通であるので、説明を省略する。
3a、3b 基板
4a、4b 基板トレイ
7 搬送軌道
10 真空処理室
13 駆動源(サーボモータ)
15 ピニオン駆動装置
16 ラックギヤ
17 ピニオンギヤ
20 キャリア(載置台)
23 サーボアンプ
24 モーターコントローラ
25 制御装置
26 CPU
27 記憶部
Claims (21)
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、これらピニオンギヤのうち、少なくとも2つが同期して回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、前記ラックギヤを現工程のピニオンギヤから次工程のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構であって、
前記ピニオンギヤの位相差分を検出する検出手段と、
前記検出手段が検出した前記ピニオンギヤの位相差分を記憶する記憶部を有し、前記現工程のピニオンギヤの位相差分に基づいて、前記次工程のピニオンギヤの位相差分を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記現工程のピニオンギヤに基準点を決定して記憶し、
前記現工程のピニオンギヤが前記ラックギヤと噛合開始した時から噛合終了時までに、前記基準点から回転した回転角度を求め、
前記現工程のピニオンギヤの1歯数角として、(360度÷ピニオンギヤの歯数)を算出し、
前記回転角度を前記1歯数角で割って余り角を算出し、
前記余り角が前記1歯数角の1/2より大きい場合は、前記次工程のピニオンギヤを前記基準点から(1歯数角−余り角)分を進行方向に回動させ、
一方、前記余り角が前記1歯数角の1/2より小さい場合は、前記次工程のピニオンギヤを前記基準点から前記余り角分を進行方向と逆方向に回転させることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構。 - 前記余り角が前記1歯数角の1/2と同一の場合は、制御を終了することを特徴とする請求項1に記載のラック・アンド・ピニオン機構。
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、これらピニオンギヤのうち、少なくとも2つが同期して回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、前記ラックギヤを現工程のピニオンギヤから次工程のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構であって、
前記ピニオンギヤの位相差分を検出する検出手段と、
前記検出手段が検出した前記ピニオンギヤの位相差分を記憶する記憶部を有し、前記現工程のピニオンギヤの位相差分に基づいて、前記次工程のピニオンギヤの位相差分を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記現工程のピニオンギヤと前記次工程のピニオンギヤとの距離L、前記ラックギヤの歯ピッチp及び前記次工程のピニオンギヤの歯数から、位相差分を算出して前記記憶部に記憶し、
前記位相差分に基づいて、前記次工程のピニオンギヤを進行方向へ回転させることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構。 - 前記ラックギヤの歯ピッチpには、設置環境の雰囲気温度に対応する熱膨張係数より算出した膨張分が加算されることを特徴とする請求項3に記載のラック・アンド・ピニオン機構。
- 前記被搬送物が基板であって、前記載置台の搬送機構として請求項1から4のいずれか1項に記載のラック・アンド・ピニオン機構を備え、
搬送軌道に沿って複数の真空室が接続され、各真空室にそれぞれ前記ピニオンギヤが設けられていることを特徴とする真空処理装置。 - 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、これらピニオンギヤのうち、少なくとも2つが同期して回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、前記ラックギヤを現工程のピニオンギヤから次工程のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法において、
前記現工程のピニオンギヤに基準点を決定して記憶するステップと、
前記現工程のピニオンギヤが前記ラックギヤと噛合開始した時から噛合終了時までに、前記基準点から回転した回転角度を求めるステップと、
前記現工程のピニオンギヤの1歯数角として、(360度÷ピニオンギヤの歯数)を算出するステップと、
前記回転角度を前記1歯数角で割って余り角を算出するステップと、
前記余り角が前記1歯数角の1/2より大きい場合は、前記次工程のピニオンギヤを前記基準点から(1歯数角−余り角)分を進行方向に回動させるステップと、
一方、前記余り角が前記1歯数角の1/2より小さい場合は、前記次工程のピニオンギヤを前記基準点から前記余り角分を進行方向と逆方向に回転させるステップと、
を有することを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法。 - 前記余り角が前記1歯数角の1/2と同一の場合は、制御を終了することを特徴とする請求項6に記載のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法。
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、これらピニオンギヤのうち、少なくとも2つが同期して回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、前記ラックギヤを現工程のピニオンギヤから次工程のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法において、
前記現工程のピニオンギヤと前記次工程のピニオンギヤとの距離L、前記ラックギヤの歯ピッチp及び前記次工程のピニオンギヤの歯数から、位相差分を算出して記憶するステップと、
前記位相差分に基づいて、前記次工程のピニオンギヤを進行方向へ回転させるステップと、
を有することを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法。 - 前記ラックギヤの歯ピッチpには、設置環境の雰囲気温度に対応する熱膨張係数より算出した膨張分を加算することを特徴とする請求項8に記載のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法。
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、これらピニオンギヤのうち、少なくとも2つが同期して回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、前記ラックギヤを現工程のピニオンギヤから次工程のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御プログラムにおいて、
前記現工程のピニオンギヤに基準点を決定して記憶するステップと、
前記現工程のピニオンギヤが前記ラックギヤと噛合開始した時から噛合終了時までに、前記基準点から回転した回転角度を求めるステップと、
前記現工程のピニオンギヤの1歯数角として、(360度÷ピニオンギヤの歯数)を算出するステップと、
前記回転角度を前記1歯数角で割って余り角を算出するステップと、
前記余り角が前記1歯数角の1/2より大きい場合は、前記次工程のピニオンギヤを前記基準点から(1歯数角−余り角)分を進行方向に回動させるステップと、
一方、前記余り角が前記1歯数角の1/2より小さい場合は、前記次工程のピニオンギヤを前記基準点から前記余り角分を進行方向と逆方向に回転させるステップと、
を前記ラック・アンド・ピニオン機構を制御する制御装置に実行させることを特徴とする駆動制御プログラム。 - 前記余り角が前記1歯数角の1/2と同一の場合は、制御を終了することを特徴とする請求項10に記載の駆動制御プログラム。
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、これらピニオンギヤのうち、少なくとも2つが同期して回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、前記ラックギヤを現工程のピニオンギヤから次工程のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御プログラムにおいて、
前記現工程のピニオンギヤと前記次工程のピニオンギヤとの距離L、前記ラックギヤの歯ピッチp及び前記次工程のピニオンギヤの歯数から、位相差分を算出して記憶するステップと、
前記位相差分に基づいて、前記次工程のピニオンギヤを進行方向へ回転させるステップと、
を前記ラック・アンド・ピニオン機構を制御する制御装置に実行させることを特徴とする駆動制御プログラム。 - 前記ラックギヤの歯ピッチpには、設置環境の雰囲気温度に対応する熱膨張係数より算出した膨張分を加算することを特徴とする請求項12に記載の駆動制御プログラム。
- 請求項10から13のいずれか1項に記載の駆動制御プログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、
駆動源に連結され、前記ラックギヤに順次噛合して前記載置台を移動させる複数のピニオンギヤと、
前記ピニオンギヤの位相角を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記ピニオンギヤの位相角を記憶する記憶部を有する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記載置台の搬送中に前記駆動源を制御して、前記ラックギヤに噛合している前記ピニオンギヤを設定搬送速度よりも低速で一方向へ回転させて、前記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、前記検出手段が検出した前記一方向へ回転した前記ピニオンギヤの第1の位相角を記憶し、
前記ピニオンギヤを前記低速で前記一方向と逆方向へ回転させて、前記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、前記検出手段が検出した前記逆方向へ回転した前記ピニオンギヤの第2の位相角を記憶し、
前記第1の位相角から前記第2の位相角までの回動角の1/2の角度を算出して、該1/2の角度へ前記ピニオンギヤを回転させることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構。 - 前記ラックギヤは前記設定搬送速度よりも低速で前記ピニオンギヤへと導入され、前記ラックギヤを固定して前記制御装置による制御を行うことを特徴とする請求項15に記載のラック・アンド・ピニオン機構。
- 前記被搬送物が基板であって、前記載置台の搬送機構として請求項15または16に記載のラック・アンド・ピニオン機構を備え、
前記搬送軌道に沿って複数の真空室が接続され、各真空室にそれぞれ前記ピニオンギヤが設けられていることを特徴とする真空処理装置。 - 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに順次噛合して前記載置台を移動させる複数のピニオンギヤと、からなるラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法であって、
前記載置台の搬送中に、前記ラックギヤに噛合している前記ピニオンギヤを設定搬送速度よりも低速で一方向へ回転させるステップと、
前記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、前記一方向へ回転した前記ピニオンギヤの第1の位相角を記憶するステップと、
前記ピニオンギヤを前記低速で前記一方向と逆方向へ回転させるステップと、
前記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、前記逆方向へ回転した前記ピニオンギヤの第2の位相角を記憶するステップと、
前記第1の位相角から前記第2の位相角までの回動角の1/2の角度を算出して、該1/2の角度へ前記ピニオンギヤを回転させるステップと、
を有することを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法。 - 前記ラックギヤは前記設定搬送速度よりも低速で前記ピニオンギヤへと導入され、前記ラックギヤを固定して制御を行うことを特徴とする請求項18に記載のラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法。
- 被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定されたラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに順次噛合して前記載置台を移動させる複数のピニオンギヤと、からなるラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御プログラムであって、
前記載置台の搬送中に、前記ラックギヤに噛合している前記ピニオンギヤを設定搬送速度よりも低速で一方向へ回転させるステップと、
前記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、前記一方向へ回転した前記ピニオンギヤの第1の位相角を記憶するステップと、
前記ピニオンギヤを前記低速で前記一方向と逆方向へ回転させるステップと、
前記駆動源のトルク値が指定トルク以上となったときに、前記逆方向へ回転した前記ピニオンギヤの第2の位相角を記憶するステップと、
前記第1の位相角から前記第2の位相角までの回動角の1/2の角度を算出して、該1/2の角度へ前記ピニオンギヤを回転させるステップと、
をラック・アンド・ピニオン機構を制御する制御装置に実行させることを特徴とする駆動制御プログラム。 - 請求項20に記載の駆動制御プログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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