JPH09288041A - 偏心測定装置 - Google Patents
偏心測定装置Info
- Publication number
- JPH09288041A JPH09288041A JP10046396A JP10046396A JPH09288041A JP H09288041 A JPH09288041 A JP H09288041A JP 10046396 A JP10046396 A JP 10046396A JP 10046396 A JP10046396 A JP 10046396A JP H09288041 A JPH09288041 A JP H09288041A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- lens holder
- holder
- tilt
- drive mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
検レンズの速やかな偏心測定が可能な偏心測定装置を提
供する。 【解決手段】 レンズホルダ2と、このレンズホルダ2
を回転させる駆動機構と、レンズホルダ2の回転軸5a
に対する水平方向のあおりを調整するあおり調整機構4
と、レンズホルダ2を回転軸5aに対して水平方向に移
動しその中心軸を回転軸5aに一致させる移動機構3と
を備え、あおり調整機構4によるあおり調整及び移動機
構3による移動調整によりレンズホルダ2により保持し
た被検レンズ1のレンズホルダ2側のレンズ面1bの曲
率中心を回転軸5a上に位置させる位置調整手段と、駆
動機構により被検レンズ1を保持したレンズホルダ2を
回転させた状態で、この被検レンズ1のレンズホルダ2
側のレンズ面1bとは反対側のレンズ面1aの曲率中心
の位置を測定して当該レンズ面1bの曲率中心の偏心量
を求める偏心測定部6とを有する。
Description
量を測定する偏心測定装置に関するものである。
す。従来の偏心測定装置は、被検レンズ保持用のレンズ
ホルダ52と、このレンズホルダ52を回転駆動する駆
動機構を構成するスピンドル53と、このスピンドル5
3の回転軸53aに対する被検レンズ51の偏心量を測
定する偏心測定部54とから構成されている。また、レ
ンズホルダ52の中心軸は回転軸53aに対して同軸加
工している。
ズホルダ52により支持し、回転させて被検レンズ51
のレンズホルダ52とは反対側のレンズ面51aの曲率
中心を偏心測定部54により測定する。また、被検レン
ズ51のレンズホルダ側のレンズ面51bの曲率中心
は、理論的に常に回転軸53aの軸線上にある。このよ
うにして、被検レンズ51の光軸を検出し、被検レンズ
51の外形の振れや、非球面軸の傾き等の基準軸とする
ことができる。
偏心測定装置では、レンズホルダ52をスピンドル53
の回転軸53aに対して同軸加工している。この為、被
検レンズ51の形状等に応じたレンズホルダ52の交換
の際、レンズホルダ52の交換後にこの新しいレンズホ
ルダ52の中心軸を回転軸53aに対して同軸加工する
か、又は、スピンドル53ごと交換しなければならない
という課題があった。
されたものであり、交換したレンズホルダの中心軸を回
転軸に対して同軸加工する必要が無く、また、駆動機構
ごとの交換も不要で、交換したレンズホルダの中心軸を
回転軸に対して直ちに同軸として速やかな偏心測定が可
能な偏心測定装置を提供することを目的とするものであ
る。
る偏心測定装置は、被検レンズ保持用のレンズホルダ
と、このレンズホルダを回転させる駆動機構と、前記レ
ンズホルダの前記駆動機構の回転軸に対する水平方向の
あおりを調整するあおり調整機構と、前記レンズホルダ
を前記駆動機構の回転軸に対して水平方向に移動し前記
レンズホルダの中心軸を前記駆動機構の回転軸に一致さ
せる移動機構とを備え、前記あおり調整機構による前記
レンズホルダのあおり調整及び前記移動機構による前記
レンズホルダの移動調整により前記レンズホルダにより
保持した被検レンズのレンズホルダ側のレンズ面の曲率
中心を前記回転軸上に位置させる位置調整手段と、前記
駆動機構により被検レンズを保持したレンズホルダを回
転させた状態で、この被検レンズのレンズホルダ側のレ
ンズ面とは反対側のレンズ面の曲率中心の位置を測定し
て当該レンズ面の曲率中心の偏心量を求める偏心測定部
とを有することを特徴とするものである。
は、被検レンズ保持用のレンズホルダと、このレンズホ
ルダを回転させる駆動機構と、前記レンズホルダの前記
駆動機構の回転軸に対する水平方向のあおりを平行平面
盤を用いて調整するあおり調整機構と、前記レンズホル
ダ上に置く基準球を用いてこのレンズホルダ前記駆動機
構の回転軸に対して水平方向に移動し前記レンズホルダ
の中心軸を前記駆動機構の回転軸に一致させる移動機構
とを備え、前記あおり調整機構による前記レンズホルダ
のあおり調整及び前記移動機構による前記レンズホルダ
の移動調整により前記レンズホルダにより保持した被検
レンズのレンズホルダ側のレンズ面の曲率中心を前記回
転軸上に位置させる位置調整手段と、前記駆動機構によ
り被検レンズを保持したレンズホルダを回転させた状態
で、この被検レンズのレンズホルダ側のレンズ面とは反
対側のレンズ面の曲率中心の位置を測定して当該レンズ
面の曲率中心の偏心量を求める偏心測定部と、を有する
ことを特徴とするものである。
は、請求項1又は2記載の発明に係る偏心測定装置にお
ける前記レンズホルダ上の被検レンズは、前記レンズホ
ルダ、あおり調整機構、移動機構及び駆動機構を貫いて
設けた貫通孔に連結される真空吸着手段の吸着力により
前記レンズホルダ上に保持されることを特徴とするもの
である。
述する。図1に示す偏心測定装置は、被検レンズ1のレ
ンズ面1bを受けるレンズホルダ2と、このレンズホル
ダ2を水平方向(矢印X又はY方向)に移動する移動機
構3及びレンズホルダ2を矢印α方向又は矢印β方向に
あおり調整(傾き調整)するあおり調整機構4とからな
る位置調整手段と、前記レンズホルダ2を回転駆動する
駆動機構を構成するスピンドル5と、前記レンズホルダ
2の上方に配置され、前記スピンドル5の回転軸5aに
対する被検レンズ1の偏心量を測定する偏心測定部6と
を有している。
て、前記レンズホルダ2を交換した際には、新たなレン
ズホルダ2の上面に図1には図示しない平行平面盤を配
置し、前記偏心測定部6を使用してレンズホルダ2の上
面が前記スピンドル5の回転軸5aに対して垂直になる
状態になるように(レンズホルダ2の上面が水平になる
ように)前記あおり調整機構4で調整する。
い基準球により形成される基準球面を置き、前記偏心測
定部6を使用してレンズホルダ2の中心軸がスピンドル
5の回転軸5aに一致する状態となるように前記移動機
構3によりレンズホルダ2の水平方向の位置を調整す
る。
持することで、被検レンズ1のレンズホルダ2側のレン
ズ面1bの曲率中心は理論的に常に前記回転軸5aの軸
線上にあることになる。そして、スピンドル5を回転さ
せて、被検レンズ1のレンズホルダ2とは反対側のレン
ズ面1aの曲率中心を前記偏心測定部6により測定す
る。このようにして、被検レンズ1の光軸を検出し、被
検レンズ1の外形の振れや、非球面軸の傾き等の基準軸
とするものである。
施の形態1について説明する。図2は本発明の実施の形
態1の偏心測定装置の概略斜視図を示し、図3は被検レ
ンズ1をレンズホルダ2に載せた状態の平面図を示し、
図4は図3におけるAOB断面及び偏心測定部6を示
し、図5は図3におけるCOD断面を示し、図6は図3
におけるCOD断面であって、レンズホルダ2に平行平
面盤26を載せた状態の断面を示し、図7はレンズホル
ダ2に基準球27を載せた状態の断面を示すものであ
る。
被検レンズ1の球面を受けるレンズホルダ2と、このレ
ンズホルダ2を水平方向に移動する移動機構3を構成す
る丸アリ8と、この丸アリ8を水平方向に移動可能に保
持し前記レンズホルダ2をあおり調整するあおり調整機
構4と、前記レンズホルダ2を回転駆動する駆動機構を
構成するスピンドル5と、前記レンズホルダ2の上方に
配置され、前記スピンドル5の回転軸5aに対する被検
レンズ1の偏心量を測定する偏心測定部6とを有してい
る。前記移動機構3及びあおり調整機構4により位置調
整手段を構成している。
り調整機構4を構成するあおり板11の中央部に設けた
凹部に水平方向に移動可能な状態で置かれており、図2
に示すX,Y方向で各々シフト摘み9と圧縮バネ10と
に挟持された状態で保持されている。また、あおり板1
1は、スピンドル5に対してボールジョイント12と、
2個のあおり摘み14とにより取り付けられている。ま
た、あおり摘み14とスピンドル5との間には、図5に
示すように、圧縮バネ13が配置されている。
レーザ光を射出する半導体レーザ18を備え、この半導
体レーザ18からのレーザ光をコリメータレンズ19を
介して平行光とし、偏光プリズム20に入射する。偏光
プリズム20を経た透過光は、1/4波長板21を経て
第1の集光レンズ22の焦点位置に集光するようになっ
ており、被検レンズ1における被検面1aの曲率中心を
第1の集光レンズ22の焦点位置に設定すれば、被検面
1aに入射した前記透過光はこの被検面1aで反射さ
れ、再び偏光プリズム20に入射する。そして、偏光プ
リズム20に入射した光束は、偏光プリズム20の偏光
面で反射され、偏光プリズム20の側方に配置した第2
の集光レンズ23に入射する。
は、拡大レンズ24により拡大され、この拡大レンズ2
4からの出射光は、拡大像の中心位置を検出するための
光位置検出素子25上に集光される。
を説明する。前記レンズホルダ2を交換した際には、図
6に示すように、新たなレンズホルダ2上に平行平面盤
26を置き、前記スピンドル5を図6に示す矢印方向に
回転駆動しても、偏心測定部6の光位置検出素子25に
より検出される点像の位置が動か無くなるように、2個
のあおり摘み14を操作してあおり板11を調整する。
被検レンズ1を保持する部分がスピンドル5の回転軸5
aに対して直交する状態となる。
上から平行平面盤26を外し、その代りに基準球面を形
成する基準球27を置く。このとき、基準球27の球心
27aは、理論的にレンズホルダ2の中心軸2a上にあ
る。そして、スピンドル5を図7に示す矢印方向に回転
駆動したときに、偏心測定部6の光位置検出素子25に
より検出される点像の位置が動か無くなるように、前記
2個のシフト摘み9を操作して丸アリ8の水平方向
(X,Y方向)の位置を調整する。これにより、レンズ
ホルダ2の中心軸2aと、スピンドル5の回転軸5aと
が一致する。
より保持すると、被検レンズ1のレンズホルダ2側のレ
ンズ面1bの曲率中心は、理論的に常にスピンドル5の
回転軸5a上に設定される。次に、スピンドル5を回転
駆動して、被検レンズ1のレンズホルダ2側とは反対側
のレンズ面1aの偏心量を偏心測定部6の光位置検出素
子25上に結像された点像の移動量から求める。
平方向の移動とあおりを丸アリ8とあおり板11との2
要素で行っているので回転軸方向にコンパクトな構造と
することができることである。
態2について説明する。尚、図8は、図3のCOD断面
を示すものであり、また、図8に示す実施の形態2の偏
心測定装置において、図5に示す実施の形態1の偏心測
定装置の各要素と同一の機能を有するものには同一の符
号で示している。
は、レンズホルダ2、丸アリ8、あおり板ll、スピン
ドル5の中央位置を各々貫通する空気が流通可能な貫通
孔17を設けるとともに、前記あおり板llの下側端部
の外周とスピンドル5におけるあおり板llの下側端部
を支持する部分との間に、空気漏れ防止用のOリング1
5を配置したことが特徴である。
被検レンズ1をレンズホルダ2上に置き、図示しない真
空発生器の吸引パイプを前記貫通孔17に連結して真空
吸着することで被検レンズ1をレンズホルダ2上に保持
して測定するものである。この他の作用は実施の形態1
の偏心測定装置の場合と同様である。
検レンズ1を真空吸着により保持するので、被検レンズ
がレンズホルダ2に対し位置ずれすることが無くなり、
精度良く測定できることである。この他の効果は実施の
形態1の偏心測定装置の場合と同様である。
ば、交換したレンズホルダの中心軸を回転軸に対して同
軸加工する必要が無く、また、駆動機構ごとの交換も不
要で、交換したレンズホルダの中心軸を回転軸に対して
直ちに同軸とし、速やかに被検査レンズの偏心量を測定
することができる偏心測定装置を提供することができ
る。
載の発明と同様、交換したレンズホルダの中心軸を回転
軸に対して同軸加工する必要が無く、また、駆動機構ご
との交換も不要で、交換したレンズホルダの中心軸を回
転軸に対して直ちに同軸とし、速やかに被検査レンズの
偏心量を測定することができる偏心測定装置を提供する
ことができる。
より保持するので、被検レンズがレンズホルダ2に対し
位置ずれすることが無くなり、被検査レンズの偏心量を
精度良く測定できることができる偏心測定装置を提供す
ることができる。
視図である。
図である。
図である。
図である。
3におけるAOB断面を示す図である。
面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 被検レンズ保持用のレンズホルダと、 このレンズホルダを回転させる駆動機構と、 前記レンズホルダの前記駆動機構の回転軸に対する水平
方向のあおりを調整するあおり調整機構と、前記レンズ
ホルダを前記駆動機構の回転軸に対して水平方向に移動
し前記レンズホルダの中心軸を前記駆動機構の回転軸に
一致させる移動機構とを備え、前記あおり調整機構によ
る前記レンズホルダのあおり調整及び前記移動機構によ
る前記レンズホルダの移動調整により前記レンズホルダ
により保持した被検レンズのレンズホルダ側のレンズ面
の曲率中心を前記回転軸上に位置させる位置調整手段
と、 前記駆動機構により被検レンズを保持したレンズホルダ
を回転させた状態で、この被検レンズのレンズホルダ側
のレンズ面とは反対側のレンズ面の曲率中心の位置を測
定して当該レンズ面の曲率中心の偏心量を求める偏心測
定部と、 を有することを特徴とする偏心測定装置。 - 【請求項2】 被検レンズ保持用のレンズホルダと、 このレンズホルダを回転させる駆動機構と、 前記レンズホルダの前記駆動機構の回転軸に対する水平
方向のあおりを平行平面盤を用いて調整するあおり調整
機構と、前記レンズホルダ上に置く基準球を用いてこの
レンズホルダ前記駆動機構の回転軸に対して水平方向に
移動し前記レンズホルダの中心軸を前記駆動機構の回転
軸に一致させる移動機構とを備え、前記あおり調整機構
による前記レンズホルダのあおり調整及び前記移動機構
による前記レンズホルダの移動調整により前記レンズホ
ルダにより保持した被検レンズのレンズホルダ側のレン
ズ面の曲率中心を前記回転軸上に位置させる位置調整手
段と、 前記駆動機構により被検レンズを保持したレンズホルダ
を回転させた状態で、この被検レンズのレンズホルダ側
のレンズ面とは反対側のレンズ面の曲率中心の位置を測
定して当該レンズ面の曲率中心の偏心量を求める偏心測
定部と、 を有することを特徴とする偏心測定装置。 - 【請求項3】 前記レンズホルダ上の被検レンズは、前
記レンズホルダ、あおり調整機構、移動機構及び駆動機
構を貫いて設けた貫通孔に連結される真空吸着手段の吸
着力により前記レンズホルダ上に保持されることを特徴
とする請求項1又は2記載の偏心測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10046396A JP3597302B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10046396A JP3597302B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 偏心測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09288041A true JPH09288041A (ja) | 1997-11-04 |
JP3597302B2 JP3597302B2 (ja) | 2004-12-08 |
Family
ID=14274611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10046396A Expired - Fee Related JP3597302B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 偏心測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3597302B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006003112A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏芯測定装置、偏芯測定方法、レンズ用金型、および撮像モジュール |
JP2006242680A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Olympus Corp | 偏心測定装置及び偏心測定方法 |
JP2011058872A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Konica Minolta Opto Inc | オートコリメータを用いた光学素子の偏心調整方法及び偏心測定方法、並びにレンズ加工方法 |
WO2012001929A1 (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-05 | パナソニック株式会社 | 波面収差測定装置及び波面収差測定方法 |
JP2012032169A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Hoya Corp | レンズ位置調整機構 |
CN107505122A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-22 | 浙江舜宇光学有限公司 | 光学检测设备 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1987348B (zh) * | 2005-12-23 | 2010-04-14 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 偏心检测装置 |
-
1996
- 1996-04-22 JP JP10046396A patent/JP3597302B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006003112A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏芯測定装置、偏芯測定方法、レンズ用金型、および撮像モジュール |
JP2006242680A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Olympus Corp | 偏心測定装置及び偏心測定方法 |
JP2011058872A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Konica Minolta Opto Inc | オートコリメータを用いた光学素子の偏心調整方法及び偏心測定方法、並びにレンズ加工方法 |
WO2012001929A1 (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-05 | パナソニック株式会社 | 波面収差測定装置及び波面収差測定方法 |
JP2012032169A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Hoya Corp | レンズ位置調整機構 |
CN107505122A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-22 | 浙江舜宇光学有限公司 | 光学检测设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3597302B2 (ja) | 2004-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI228817B (en) | Chip scale marker and method of calibrating marking position | |
CN101019058A (zh) | 带焦点位置控制机构的观察装置 | |
JPH09288041A (ja) | 偏心測定装置 | |
JP4370064B2 (ja) | レンズの心取り装置 | |
JPH0593868A (ja) | 共焦点を有するタンデムスキヤニング反射光を用いた顕微鏡 | |
JP2735104B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置及び測定方法 | |
JP4718208B2 (ja) | 偏心測定方法 | |
JP3345149B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置および心取り装置 | |
US6407864B1 (en) | Automated system for testing two dimensional detector arrays and optical systems using sequential filters | |
JP2005055202A (ja) | 偏芯測定装置、レンズ取付方法およびレンズ偏芯検査方法 | |
JP3372322B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置および非球面レンズ偏心測定方法 | |
JP2002162551A (ja) | 光学ユニット | |
JPH11211611A (ja) | 偏心測定装置 | |
JP2002164592A (ja) | 非平面鏡の調整方法および装置 | |
KR0120646Y1 (ko) | 광축 조정용 오토콜리메이터 장치 | |
JP2004219251A (ja) | 表面性状測定器及び表面性状測定器用治具並びに調整方法 | |
JP2002162546A (ja) | 基準光生成装置およびその調整方法 | |
JPH09269277A (ja) | レンズの偏心計測装置 | |
JPH09210845A (ja) | 非球面レンズの偏心測定方法及び偏心測定装置 | |
JP3333245B2 (ja) | レンズ心取機およびレンズ心取り方法 | |
JPH03276049A (ja) | 光学式表面検査機の光学ヘッド | |
JP2006284411A (ja) | レンズホルダの調整方法、位置調整用治具及び偏心測定装置 | |
JPH0812126B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置 | |
KR910007629Y1 (ko) | 렌즈 초점거리 측정장치 | |
JP2011143509A (ja) | 心出し装置および心出し方法ならびに心取り機および心取り方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040525 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040817 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20040908 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100917 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120917 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130917 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |