JP2002162546A - 基準光生成装置およびその調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】常用のレーザ光を基準レーザ光として使用し、
光学部品の測定等を高精度かつ容易に行うことを可能に
する。 【解決手段】基準光ユニット１０は、基準レーザ光Ｌを
導出するレーザ発振器１２が組み込まれるレーザ光ユニ
ット１４と、前記レーザ光ユニット１４を支持筒１６に
対して光軸回りに回転させる回転機構１８と、前記レー
ザ光ユニット１４から導出される前記基準レーザ光Ｌの
光軸を前記基準光ユニット１０の回転中心に一致させる
ための光中心調整機構２０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品の測定等
に使用される基準光を生成するための基準光生成装置お
よびその調整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、レーザ光を利用したレーザ光学機
器として、例えば、レーザ加工装置やレーザ測定装置等
が採用されている。この種のレーザ光学機器では、レー
ザ光を所定の照射位置に導くために、レンズ系や反射鏡
等の他種類の光学部品が組み込まれている。さらに、反
射鏡は、平面鏡、放物面鏡および楕円面鏡等の種々の形
態を有している。

【０００３】従って、レーザ光学機器を組み立てる際に
は、各種光学部品のレイアウト調整や焦点測定等のアラ
イメント調整を精度よく行うことが望まれている。高品
質なレーザ加工作業や高精度なレーザ測定作業を確実に
実施するためである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】一般的に、上記のアラ
イメント調整作業を行う際には、Ｈｅ−Ｎｅレーザが用
いられており、これから照射されるレーザ光が光学部品
のレイアウト調整や焦点測定の基準光として利用されて
いる。しかしながら、この種のレーザ光には中心（光
芯）が存在しないため、前記レーザ光の絶対位置が容易
に得られないという問題がある。

【０００５】さらに、レーザ光には、発振構造によって
縦モード位相や横モード位相等が存在し、明確な形状が
存在していない。しかも、レーザ光の機械軸に対する平
行度が得られず、平行度を出すためにこのレーザ光の径
を大径にする必要がある。これにより、基準光として要
求される細くかつ平行で直線的なレーザ光を、確実に得
ることができないという問題が指摘されている。

【０００６】本発明はこの種の問題を解決するものであ
り、レーザ光を正確に芯出しすることにより常用のレー
ザ光を基準レーザ光として使用し、光学部品の測定等を
高精度かつ容易に行うことが可能な基準光生成装置およ
びその調整方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る基準光生成
装置およびその調整方法では、まず、基準光ユニットを
構成し、レーザ発振器が組み込まれたレーザ光ユニット
が、回転機構を介して基台に対して光軸回りに回転され
ると、このレーザ発振器から導出される基準レーザ光が
移動して、その照射位置で光像が回転する。そこで、光
中心調整機構を介してレーザ光ユニットの取り付け状態
を調整することにより、基準レーザ光の光軸が基準光ユ
ニットの回転中心と一致し、この回転中心が光芯（光
軸）および機械軸芯に一致する。これにより、細径かつ
平行で直線的な所望の基準光としての基準レーザ光を確
実に得ることが可能になる。

【０００８】また、基準光ユニットを光軸方向に交差す
る上下方向および／または左右方向に進退させることに
より、この基準光ユニットの調整作業が、簡単な構成で
容易に遂行可能になる。しかも、基準光ユニットを光軸
方向に交差する方向に傾動固定可能な傾動機構を備えて
いる。従って、基準光ユニットの調整作業が、一層簡単
かつ正確に行われる。

【０００９】さらに、基準光ユニットの光軸を調整する
ための光軸ユニットが設けられており、この光軸ユニッ
トを構成する第１および第２ピンホール板には、それぞ
れ孔部が形成されている。そこで、基準レーザ光を第１
および第２ピンホール板に照射して、前記基準レーザ光
がそれぞれの孔部を通過するようにレーザ光ユニットの
角度位置が調整される。これにより、基準光ユニットの
光軸合わせ作業が、簡単かつ高精度に遂行される。

【００１０】さらにまた、基準光ユニットから照射され
る基準レーザ光の光軸位置を検出するための光軸検出ユ
ニットを備えており、この光軸検出ユニットを介して基
準レーザ光の光軸位置が自動的かつ高精度に検出され
る。

【００１１】また、レーザ光ユニットは、基準レーザ光
のビーム径を拡大させるためのビーム径拡大手段を着脱
可能に備えている。従って、放物面鏡や楕円面鏡等の焦
点位置を精度よく検出することが可能になる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態に係る
基準光生成装置を構成する基準光ユニット１０の斜視図
であり、図２は、前記基準光ユニット１０の側面図であ
り、図３は、前記基準光ユニット１０の平面図である。

【００１３】基準光ユニット１０は、種々の光学部品の
測定等に使用される基準レーザ光Ｌを照射する機能を有
しており、Ｈｅ−Ｎｅレーザ等のレーザ発振器１２が組
み込まれるレーザ光ユニット１４と、前記レーザ光ユニ
ット１４を支持筒（基台）１６に対して光軸回りに回転
させる回転機構１８と、前記レーザ光ユニット１４から
導出される前記基準レーザ光Ｌの光軸を前記基準光ユニ
ット１０の回転中心に一致させるための光中心調整機構
２０とを備える。

【００１４】基準光ユニット１０は、測定ベース２２上
に固定されるユニットベース２４を備え、このユニット
ベース２４に左右スライド機構２６および上下スライド
機構２８を介して支持筒１６が装着される。左右スライ
ド機構２６は、ユニットベース２４上に光軸方向（矢印
Ａ方向）に直交する矢印Ｂ方向に延在して設けられるガ
イドレール３０を有するとともに、このガイドレール３
０に矢印Ｂ方向に進退自在なスライドベース３２が配置
される。ユニットベース２４上に水平方向に向かって第
１マイクロメータ３４が固定され、この第１マイクロメ
ータ３４のロッド３６がスライドベース３２に固定され
る。

【００１５】スライドベース３２上にコラム３８が設け
られ、このコラム３８の内面側には、上下スライド機構
２８を構成する一対のガイドレール４０が鉛直方向に向
かって固定される。支持筒１６の両側部には、ガイドレ
ール４０に係合して昇降自在な一対のガイド部４２が設
けられるとともに、コラム３８の一端側上部には鉛直下
方向に向かって第２マイクロメータ４４が装着される。
第２マイクロメータ４４から下方に突出するロッド４６
が支持筒１６に固定される。

【００１６】支持筒１６内には、回転機構１８を構成す
る一対のベアリング４８を介して回転筒体５０が回転自
在に支持されており、この回転筒体５０内にレーザ発振
器１２が収容される。レーザ発振器１２の両端に保持部
材５２が装着され、この保持部材５２の小径部５４が回
転筒体５０内に挿入される。

【００１７】光中心調整機構２０は、回転筒体５０の両
端縁部に等角度間隔ずつ離間してねじ込まれるそれぞれ
３つの調整ねじ５６を備え、前記調整ねじ５６の先端が
保持部材５２の小径部５４に当接することにより、レー
ザ発振器１２の光軸が傾動調整される。

【００１８】図２および図３に示すように、基準光ユニ
ット１０には、この基準光ユニット１０を光軸方向（矢
印Ａ方向）に交差する方向（矢印Ｂ方向）に傾動固定可
能な傾動機構５８を備える。この傾動機構５８は、測定
ベース２２に設けられるノックピン６０ａ、６０ｂを備
え、前記ノックピン６０ａがユニットベース２４の矢印
Ａ方向先端側に形成された孔部６２に嵌合する一方、前
記ノックピン６０ｂは、前記ユニットベース２４の矢印
Ａ方向後端側に設けられた３つの孔部６４ａ、６４ｂお
よび６４ｃに選択的に嵌合する。

【００１９】図２に示すように、レーザ光ユニット１４
の先端側には、基準レーザ光Ｌのビーム径を拡大させる
ためのビーム径拡大手段６６が着脱自在に設けられる。
このビーム径拡大手段６６は、例えば、直径０．８ｍｍ
程度の基準レーザ光Ｌを直径２５ｍｍの平行光（コリメ
ート光）に変換するものであり、多種類のピンホールア
センブリとフォーカシングレンズとを組み合わせたフィ
ルタユニット６８と、ビームエキスパンダ用レンズセッ
トを含むレンズユニット６９とを備えている。

【００２０】図４は、基準光ユニット１０の光軸を調整
するための光軸ユニット７０の斜視図であり、図５は、
前記光軸ユニット７０の側面図である。

【００２１】光軸ユニット７０は、測定ベース２２に固
定されるユニットベース７２を備え、このユニットベー
ス７２上に第１および第２ピンホール板７４、７６が所
定間隔離間して装着される。第１ピンホール板７４は、
ユニットベース７２上に固定された第１支持板７８に支
持されており、この第１ピンホール板７４の中央部に
は、所定の直径を有する第１細孔８０が形成されてい
る。

【００２２】第１ピンホール板７４には、第１細孔８０
を光軸（矢印Ａ方向）に交差する左右方向（矢印Ｂ方
向）および上下方向（矢印Ｃ方向）に位置調整するため
の第１細孔位置調整機構８２が設けられる。第１細孔位
置調整機構８２は、水平方向に配置されて第１ピンホー
ル板７４を左右方向に進退させるための第１調整ねじ８
４と、鉛直方向に配置されて前記第１ピンホール板７４
を上下方向に位置調整するための第２調整ねじ８６とを
備える。

【００２３】第２ピンホール板７６は、第１ピンホール
板７４と同様に第２支持板８８上に支持されるととも
に、この第２ピンホール板７６の中央部には、所定の直
径を有する第２細孔９０が形成されている。第２ピンホ
ール板７６には、第２細孔位置調整機構９２が設けられ
ている。この第２細孔位置調整機構９２は前記第１細孔
位置調整機構８２と同様に構成されており、同一の構成
要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省
略する。

【００２４】第１および第２ピンホール板７４、７６
は、基準レーザ光Ｌのように直径が０．８ｍｍ程度の、
所謂、ポイント光を調整するために用いられるものであ
り、例えば、直径が２５ｍｍ程度のコリメート光である
コリメート基準レーザ光Ｌ０を調整するためには、図６
に示す第１および第２ピンホール板９４ａ、９４ｂが、
前記第１および第２ピンホール板７４、７６と交換して
使用される。この第１および第２ピンホール板９４ａ、
９４ｂは、中心に細孔９６ａ、９６ｂを設けるととも
に、この細孔９６ａ、９６ｂを中心にして所定の直径を
有する円周上にそれぞれ４つの細孔９８ａ、９８ｂを設
けている。

【００２５】なお、第１および第２ピンホール板７４、
７６は、第１および第２細孔位置調整機構８２、９２を
介して上下左右に位置調整可能に構成されているが、こ
の第１および第２ピンホール板７４、７６を第１および
第２支持板７８、８８に一体的に設けてもよく、第１お
よび第２ピンホール板９６ａ、９６ｂも同様である。

【００２６】図７は、基準光ユニット１０から照射され
る基準レーザ光Ｌの光軸位置、具体的には光点位置を検
出するための光軸検出ユニット１００の斜視説明図であ
り、図８は、前記光軸検出ユニット１００の側面図であ
る。

【００２７】光軸検出ユニット１００は、測定ベース２
２上に固定されるユニットベース１０２を備え、このユ
ニットベース１０２上には、第１スライドベース１０４
が進退機構１０５を介して光軸方向（矢印Ａ方向）に進
退自在に配置される。第１スライドベース１０４の側方
には、進退機構１０５を構成しユニットベース１０２に
支持された第１スライドつまみ１０６の端部が固定され
ており、この第１スライドつまみ１０６を回転させるこ
とによって前記第１スライドベース１０４が矢印Ａ方向
に進退可能である。

【００２８】第１スライドベース１０４上には、回転機
構１０８を構成する回転ベース１１０が設けられ、この
回転ベース１１０は、回転つまみ１１２を操作すること
によって基準レーザ光Ｌの光軸に交差するＺ軸（鉛直
軸）回りに回転自在である。回転ベース１１０上には、
第２スライドベース１１４が矢印Ａ方向に進退自在に配
置される。第２スライドベース１１４には、第２スライ
ドつまみ１１６の端部が連結され、この第２スライドつ
まみ１１６が回転されることによって矢印Ａ方向に微小
距離だけ進退自在である。

【００２９】第２スライドベース１１４上に光軸位置検
出センサ１１８が装着され、この光軸位置検出センサ１
１８には、モニタ１２２が接続されている（図９参
照）。モニタ１２２には、後述するように、光軸位置検
出センサ１１８の光点測定面１２０に導入される基準レ
ーザ光Ｌの位置が可視像として表示される。

【００３０】次に、このように構成される基準光生成装
置の動作について、本発明の第１の実施形態に係る調整
方法との関連で以下に説明する。

【００３１】まず、基準光ユニット１０から導出される
基準レーザ光Ｌの光芯調整が行われる。図１０に示すよ
うに、基準光ユニット１０の光軸上には、この基準光ユ
ニット１０に近接する第１測定位置に対応して光軸検出
ユニット１００が配置される。そこで、基準光ユニット
１０から基準レーザ光Ｌが導出されると、この基準レー
ザ光Ｌが光軸検出ユニット１００を構成する光点測定面
１２０に照射される。このため、図９に示すように、光
軸位置検出センサ１１８に電気的に接続されているモニ
タ１２２には、基準レーザ光Ｌの第１の光軸位置（中心
位置）Ｐ１が表示される。

【００３２】この状態で、レーザ光ユニット１４が回転
機構１８を構成するベアリング４８を介して支持筒１６
に対し回転される。レーザ光ユニット１４が光軸回りに
回転する際にモニタ１２２に表示される光軸位置Ｐ１が
移動すると、左右スライド機構２６、上下スライド機構
２８および光中心調整機構２０が選択的に操作される。

【００３３】具体的には、左右スライド機構２６を構成
する第１マイクロメータ３４が回転され、ロッド３６が
矢印Ｂ方向に進退することにより、このロッド３６に固
定されているスライドベース３２がガイドレール３０に
沿って矢印Ｂ方向に進退する。一方、上下スライド機構
２８を構成する第２マイクロメータ４４が回転される
と、ロッド４６を介して支持筒１６が上下方向（矢印Ｃ
方向）に移動する。さらに、光中心調整機構２０を構成
する調整ねじ５６が調整されることにより、保持部材５
２を介してレーザ光ユニット１４が回転筒体５０に対し
て傾動する。

【００３４】このように、左右スライド機構２６、上下
スライド機構２８および光中心調整機構２０が調整され
ることにより、レーザ光ユニット１４が光軸回りに回転
する際にモニタ１２２に表示される光軸位置Ｐ１が、Ｘ
軸およびＹ軸に対して動かないようにする。これによ
り、基準光ユニット１０の回転中心が、基準レーザ光Ｌ
の光軸と一致することになる。

【００３５】次に、光軸検出ユニット１００が、基準レ
ーザ光Ｌの光軸に沿って第１測定位置から距離Ｈ１だけ
後方に離間する第２測定位置に配置される（図１０中、
二点鎖線参照）。この状態で、基準光ユニット１０から
基準レーザ光Ｌが照射されると、この基準レーザ光Ｌが
光軸検出ユニット１００に導入される。この光軸検出ユ
ニット１００では、光点測定面１２０に基準レーザ光Ｌ
が導入されることにより、モニタ１２２上に第２の光軸
位置Ｐ２が表示される（図９参照）。

【００３６】そして、レーザ光ユニット１４が回転さ
れ、モニタ１２２に表示される第２の光軸位置Ｐ２のず
れが、Ｘ軸およびＹ軸に対して動かないように、光中心
調整機構２０による調整が行われる。その際、第１およ
び第２の光軸位置Ｐ１、Ｐ２がＸ軸およびＹ軸に対して
動かないように表示されていることを確認する。

【００３７】次いで、光軸検出ユニット１００が、再
度、第１測定位置に配置され、上記と同様に、レーザ光
ユニット１４が光軸回りに回転する際に光軸位置Ｐ１が
動かないように調整されているかを確認する。この結
果、ずれ量が大きければ、上記の手順を繰り返すことに
より、基準レーザ光Ｌの光軸が基準光ユニット１０の回
転中心に一致し、光軸調整作業が高精度に遂行されるこ
とになる。

【００３８】これにより、基準光ユニット１０は、光軸
および光芯位置が高精度に設定された基準レーザ光Ｌを
照射することができ、この基準レーザ光Ｌを用いて種々
の光学部品の各種測定作業が高精度に遂行されるという
効果が得られる。

【００３９】次に、本発明の第２の実施形態に係る調整
方法を以下に説明する。

【００４０】図１１に示すように、基準光ユニット１０
の光軸上には、機械や壁等の測定部位１３０が配置され
ており、第１の実施形態と同様に、基準光ユニット１０
から基準レーザ光Ｌが導出されるとともに、レーザ光ユ
ニット１４が支持筒１６に対して回転される。そして、
測定部位１３０に照射される基準レーザ光Ｌの光点の移
動が、Ｘ軸およびＹ軸に対して動かないように光中心調
整機構２０が調整される。なお、測定部位１３０に代替
して、光軸検出ユニット１００を用いてもよい。

【００４１】そこで、図１２に示すように、基準光ユニ
ット１０の光軸上に、光軸ユニット７０が配置される。
この基準光ユニット１０から基準レーザ光Ｌが導出され
ると、この基準レーザ光Ｌは、光軸ユニット７０の第１
および第２ピンホール板７４、７６に形成された第１お
よび第２細孔８０、９０を透過して光軸検出ユニット１
００を構成する光点測定面１２０に照射される。光軸ユ
ニット７０では、第１および第２ピンホール板７４、７
６が光軸に沿って所定の間隔で離間しており、基準レー
ザ光Ｌがその光軸に一致する場合にのみ、第１および第
２細孔８０、９０を透過して光点測定面１２０に照射さ
れる。

【００４２】従って、基準レーザ光Ｌが光軸上からずれ
ている際には、第１ピンホール板７４および／または第
２ピンホール板７６により阻止されて、光点測定面１２
０にはこの基準レーザ光Ｌが僅かに照射され、あるいは
全く照射されないことになる。そして、左右スライド機
構２６および上下スライド機構２８が操作され、光点測
定面１２０に照射される基準レーザ光Ｌのビーム強度を
モニタする。このビーム強度が最大となる位置で左右ス
ライド機構２６および上下スライド機構２８による調整
が終了し、これによって基準レーザ光Ｌが光軸上に一致
することになる。なお、光軸検出ユニット１００に代替
して、測定部位１３０を用いてもよい。

【００４３】また、図２に示すように、レーザ光ユニッ
ト１４にビーム径拡大手段６６が装着され、コリメート
基準レーザ光Ｌ０が導出される際には、このコリメート
基準レーザ光Ｌ０の光軸調整を行う必要がある。その
際、光軸ユニット７０では、第１および第２ピンホール
板７４、７６に代替して、第１および第２ピンホール板
９４ａ、９４ｂを装着し、上記の第２の実施形態と同様
の手順で行う。

【００４４】具体的には、まず、手前側に配置されてい
る第１ピンホール板９４ａの所定の範囲内にコリメート
基準レーザ光Ｌ０が入るように、基準光ユニット１０の
左右スライド機構２６および上下スライド機構２８が操
作される。そして、手前側の第１ピンホール板９４ａを
透過したコリメート基準レーザ光Ｌ０が、後方側に配置
されている第２ピンホール板９４ｂを透過するように、
基準光ユニット１０の左右スライド機構２６および上下
スライド機構２８が操作される。

【００４５】これにより、第１および第２ピンホール板
９４ａ、９４ｂの細孔９６ａ、９６ｂ、９８ａおよび９
８ｂを透過して光軸検出ユニット１００の光点測定面１
２０に照射されるコリメート基準レーザ光Ｌ０のビーム
強度が最大になるように、基準光ユニット１０の調整作
業を行えばよい。

【００４６】次に、このように基準レーザ光Ｌの光芯が
機械的軸芯に一致するように調整された基準光ユニット
１０と、光軸ユニット７０とを用いて、光学部品を調整
する方法について説明する。

【００４７】図１３は、位置調整ユニット１４０の斜視
説明図であり、図１４は、前記位置調整ユニット１４０
の側面説明図である。この位置調整ユニット１４０は、
反射鏡（放物面鏡および楕円面鏡を含む）１４２を一体
的にレーザ加工装置やレーザ測定装置等に実装するとと
もに、予め前記反射鏡１４２の位置および角度を調整す
る機能を有している。

【００４８】位置調整ユニット１４０は、測定ベース２
２上に載置されるユニットベース１４４を備え、このユ
ニットベース１４４上に支持ブロック１４６が設けられ
る。支持ブロック１４６上には、第１つまみ１４８を介
して水平方向に角度調整可能な第１傾斜部材１５０が設
けられる。第１傾斜部材１５０には、第２つまみ１５２
を介して鉛直方向に傾動自在な第２傾斜部材１５４が支
持され、この第２傾斜部材１５４に反射鏡１４２が装着
されている。

【００４９】図１５に示すように、基準光ユニット１０
の光軸Ｓ１上に反射鏡１４２を組み込んだ位置調整ユニ
ット１４０が配置されるとともに、この反射鏡１４２に
よる反射光Ｌａの光軸Ｓ２上に光軸ユニット７０が配置
されている。そして、基準光ユニット１０から基準レー
ザ光Ｌが導出されると、この基準レーザ光Ｌは、光軸Ｓ
１に沿って反射鏡１４２に照射される。この反射鏡１４
２が所定の位置に正確に位置決めされていると、前記反
射鏡１４２からの反射光Ｌａは、光軸Ｓ２上に配置され
ている光軸ユニット７０の第１および第２ピンホール板
７４、７６に形成された第１および第２細孔８０、９０
を透過して測定部位１３０に照射される。

【００５０】ここで、光軸ユニット７０では、第１およ
び第２ピンホール板７４、７６が光軸Ｓ２に沿って所定
の間隔で離間しており、反射鏡１４２からの反射光Ｌａ
がこの光軸Ｓ２に一致する場合にのみ、前記反射光Ｌａ
が第１および第２細孔８０、９０を透過して測定部位１
３０に照射される。従って、反射鏡１４２が、図１５
中、二点鎖線で示すように、所望の位置からずれている
際には、第１ピンホール板７４および／または第２ピン
ホール板７６に阻止されて反射光Ｌａが測定部位１３０
に照射されることはない。

【００５１】そこで、位置調整ユニット１４０を構成す
る第１および第２つまみ１４８、１５２が選択的に操作
され、第１および第２傾斜部材１５０、１５４を介して
反射鏡１４２の位置調整が行われる。そして、反射鏡１
４２で反射された反射光Ｌａが、第１および第２ピンホ
ール板７４、７６を透過して測定部位１３０に照射され
る位置で、前記反射鏡１４２の位置合わせが高精度かつ
確実になされることになる。

【００５２】特に、第１および第２の実施形態では、基
準光ユニット１０から導出される基準レーザ光Ｌの光芯
が機械的軸芯に一致するように高精度に調整されるとと
もに、光軸Ｓ２上で所定の間隔だけ離間して配置される
第１および第２ピンホール板７４、７６を備えている。
これにより、反射鏡１４２の光軸合わせが、簡単な構成
で高精度かつ効率的に遂行されるという効果が得られ
る。

【００５３】

【発明の効果】本発明に係る基準光生成装置およびその
調整方法では、基準レーザ光を導出するレーザ発振器が
組み込まれるレーザ光ユニットが、基台に対して光軸回
りに回転されるとともに、前記基準レーザ光の光軸を基
準光ユニットの回転中心に一致させる光中心調整機構が
設けられている。このため、簡単な構成および工程で、
基準レーザ光の軸芯を高精度に調整することができ、該
基準レーザ光を使用して光学部品の測定等が高精度に遂
行される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る基準光生成装置を構成
する基準光ユニットの斜視図である。

【図２】前記基準光ユニットの側面図である。

【図３】前記基準光ユニットの平面図である。

【図４】前記基準光生成装置を構成する光軸ユニットの
斜視図である。

【図５】前記光軸ユニットの側面図である。

【図６】ピンホール板が装着された光軸ユニットの斜視
図である。

【図７】前記基準光生成装置を構成する光軸検出ユニッ
トの斜視説明図である。

【図８】前記光軸検出ユニットの側面説明図である。

【図９】前記光軸検出ユニットを構成するモニタの表示
画面の説明図である。

【図１０】本発明の第１の実施形態に係る調整方法の説
明図である。

【図１１】本発明の第２の実施形態に係る調整方法の説
明図である。

【図１２】前記第２の実施形態に係る調整方法の説明図
である。

【図１３】位置調整ユニットの斜視説明図である。

【図１４】前記位置調整ユニットの側面図である。

【図１５】前記位置調整ユニットの調整方法の説明図で
ある。

【符号の説明】

１０…基準光ユニット １２…レーザ発振
器 １４…レーザ光ユニット １６…支持筒 １８…回転機構 ２０…光中心調整
機構 ２２…測定ベース ２４…ユニットベ
ース ２６…左右スライド機構 ２８…上下スライ
ド機構 ５０…回転筒体 ５６…調整ねじ ５８…傾動機構 ６０ａ、６０ｂ…
ノックピン ６６…ビーム径拡大手段 ７０…光軸ユニッ
ト ７２…ユニットベース ７４、７６、９４ａ、９４ｂ…ピンホール板 ８０、９０、９６ａ、９６ｂ、９８ａ、９８ｂ…細孔 ８２、９２…細孔位置調整機構 １００…光軸検出ユニット １０２…ユニット
ベース １０５…進退機構 １１８…光軸位置
検出センサ １２０…光点測定面 １２２…モニタ １３０…測定部位 １４０…位置調整
ユニット １４２…反射鏡 Ｌ…基準レーザ光 Ｌ０…コリメート基準レーザ光

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H043 AB03 AB06 AB07 AB11 AB14 AB22 AB32 AC01 AD02 AD17 AD20 5F072 AA01 JJ20 KK30 YY20

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光学部品の測定等に使用される基準光を生
   成するための基準光生成装置であって、 前記光学部品に基準レーザ光を照射する基準光ユニット
   を備え、 前記基準光ユニットは、前記基準レーザ光を導出するレ
   ーザ発振器が組み込まれるレーザ光ユニットと、 前記レーザ光ユニットを基台に対して光軸回りに回転さ
   せる回転機構と、 前記レーザ光ユニットから導出される前記基準レーザ光
   の光軸を前記基準光ユニットの回転中心に一致させる光
   中心調整機構と、 を備えることを特徴とする基準光生成装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の装置において、前記基準光
   ユニットを前記光軸方向に交差する上下方向および／ま
   たは左右方向に進退させるスライド機構を備えることを
   特徴とする基準光生成装置。
3. 【請求項３】請求項１または２記載の装置において、前
   記基準光ユニットを前記光軸方向に交差する方向に傾動
   固定可能な傾動機構を備えることを特徴とする基準光生
   成装置。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載の装
   置において、前記基準光ユニットの光軸を調整するため
   の光軸ユニットを備え、 前記光軸ユニットは、それぞれ孔部が形成されるととも
   に、互いに所定間隔離間して配置される第１および第２
   ピンホール板を備えることを特徴とする基準光生成装
   置。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載の装
   置において、前記基準光ユニットから照射される前記基
   準レーザ光の光軸位置を検出するための光軸検出ユニッ
   トを備えることを特徴とする基準光生成装置。
6. 【請求項６】請求項１記載の装置において、前記レーザ
   光ユニットは、前記基準レーザ光のビーム径を拡大させ
   るためのビーム径拡大手段を着脱可能に備えることを特
   徴とする基準光生成装置。
7. 【請求項７】光学部品の測定等に使用される基準光を生
   成するための基準光生成装置の調整方法であって、 基準光ユニットの光軸上に第１の位置に対応して光軸検
   出ユニットを配置し、前記基準光ユニットを構成するレ
   ーザ光ユニットに組み込まれたレーザ発振器から基準レ
   ーザ光を導出するとともに、前記レーザ光ユニットを回
   転させて前記基準レーザ光の光軸位置を検出し、該レー
   ザ光ユニットの調整を行う工程と、 前記基準光ユニットの光軸上に前記第１の位置とは異な
   る第２の位置に対応して前記光軸検出ユニットを配置
   し、前記基準レーザ光を導出するとともに、前記レーザ
   光ユニットを回転させて前記基準レーザ光の光軸位置を
   検出し、該レーザ光ユニットの調整を行う工程と、 を有することを特徴とする基準光生成装置の調整方法。
8. 【請求項８】光学部品の測定等に使用される基準光を生
   成するための基準光生成装置の調整方法であって、 基準光ユニットを構成しレーザ発振器が組み込まれたレ
   ーザ光ユニットを回転させ、前記レーザ光ユニットから
   導出される基準レーザ光の光軸を前記基準光ユニットの
   回転中心に一致させる工程と、 前記基準レーザ光を、互いに所定間隔離間して配置され
   る第１および第２ピンホール板に照射し、該基準レーザ
   光が前記第１および第２ピンホール板に設けられたそれ
   ぞれの孔部を通過するように、前記レーザ光ユニットの
   角度位置を調整する工程と、 を有することを特徴とする基準光生成装置の調整方法。