JPH092874A - 炭化した芳香族ポリイミドフィルム積層体の製造方法 - Google Patents
炭化した芳香族ポリイミドフィルム積層体の製造方法Info
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- JPH092874A JPH092874A JP7189692A JP18969295A JPH092874A JP H092874 A JPH092874 A JP H092874A JP 7189692 A JP7189692 A JP 7189692A JP 18969295 A JP18969295 A JP 18969295A JP H092874 A JPH092874 A JP H092874A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 固相炭素化の際にき裂など構造欠陥の発生を
抑えて歩留り良く、しかも低いコストで芳香族ポリイミ
ド樹脂フィルムの積層、炭化乃至は黒鉛化を達成できる
など、工業的に有利に炭化した芳香族ポリイミド樹脂フ
ィルム積層体を製造する方法を提供する。 【構成】 複数枚の芳香族ポリイミドフィルムを重ねて
押えながら該ポリイミドフィルムの熱分解開始温度以下
で熱処理してフィルム同志を接着、積層せしめた後、こ
の積層体を非酸化性雰囲気中で前記熱分解開始温度以上
に昇温して熱処理することを特徴とする炭化した芳香族
ポリイミド樹脂フィルム積層体の製造方法。
抑えて歩留り良く、しかも低いコストで芳香族ポリイミ
ド樹脂フィルムの積層、炭化乃至は黒鉛化を達成できる
など、工業的に有利に炭化した芳香族ポリイミド樹脂フ
ィルム積層体を製造する方法を提供する。 【構成】 複数枚の芳香族ポリイミドフィルムを重ねて
押えながら該ポリイミドフィルムの熱分解開始温度以下
で熱処理してフィルム同志を接着、積層せしめた後、こ
の積層体を非酸化性雰囲気中で前記熱分解開始温度以上
に昇温して熱処理することを特徴とする炭化した芳香族
ポリイミド樹脂フィルム積層体の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシート状乃至は塊状の炭
化した芳香族ポリイミドフィルム積層体を収率良く、簡
便且つ工業的に有利に製造する方法に関する。
化した芳香族ポリイミドフィルム積層体を収率良く、簡
便且つ工業的に有利に製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】塊状の黒鉛材料はコークスとバインター
ピッチとを用いた等方性あるいは異方性黒鉛材料が大量
生産され、またシート状黒鉛材料の製造は天然黒鉛を酸
処理して黒鉛層間化合物を生成させ、これを熱処理して
膨張黒鉛に変え、次いで圧延するプロセスを用いて工業
的に実施されている。更に、非晶質の炭素材料として被
覆材あるいはシート状のガラス状炭素の産業的利用が拡
大しつつある。
ピッチとを用いた等方性あるいは異方性黒鉛材料が大量
生産され、またシート状黒鉛材料の製造は天然黒鉛を酸
処理して黒鉛層間化合物を生成させ、これを熱処理して
膨張黒鉛に変え、次いで圧延するプロセスを用いて工業
的に実施されている。更に、非晶質の炭素材料として被
覆材あるいはシート状のガラス状炭素の産業的利用が拡
大しつつある。
【０００３】しかしながら、これらの炭素材料は比較的
煩雑なプロセスを経て合成され、あるいは機械加工が困
難であったり、加工の歩留りが悪いといった工業的に不
利な面を有している。
煩雑なプロセスを経て合成され、あるいは機械加工が困
難であったり、加工の歩留りが悪いといった工業的に不
利な面を有している。
【０００４】そこで、新しい炭素材料の製造方法とし
て、芳香族ポリイミドフィルムなど非晶質の熱可塑性、
耐熱性樹脂のフィルムを、必要に応じて積層させ、固相
炭素化によりシート状乃至は塊状に加工する技術が注目
を集めている。これによれば、煩雑なプロセスを経ずに
所望の形状の炭素材料を簡便に得ることができる。
て、芳香族ポリイミドフィルムなど非晶質の熱可塑性、
耐熱性樹脂のフィルムを、必要に応じて積層させ、固相
炭素化によりシート状乃至は塊状に加工する技術が注目
を集めている。これによれば、煩雑なプロセスを経ずに
所望の形状の炭素材料を簡便に得ることができる。
【０００５】芳香族ポリイミドフィルムを炭化乃至は黒
鉛化する方法については、これ迄様々な学術文献及び特
許文献が公表されている。
鉛化する方法については、これ迄様々な学術文献及び特
許文献が公表されている。
【０００６】稲垣ら、Ｃａｒｂｏｎ２７巻２号、２５３
−２５７頁（１９８９年）、稲垣ら、Ｃａｒｂｏｎ２９
巻８号、１２３９−１２４３頁（１９９１年）、菱山
ら、Ｃａｒｂｏｎ３０巻３号、３３３−３３７号（１９
９２年）、村上ら、Ｃａｒｂｏｎ３０巻２号、２５５−
２６２頁（１９９２年）には様々な構造の芳香族ポリイ
ミドフィルム（単葉）の炭化、黒鉛化の挙動、物理的・
化学的性質に関する研究成果が発表されている。
−２５７頁（１９８９年）、稲垣ら、Ｃａｒｂｏｎ２９
巻８号、１２３９−１２４３頁（１９９１年）、菱山
ら、Ｃａｒｂｏｎ３０巻３号、３３３−３３７号（１９
９２年）、村上ら、Ｃａｒｂｏｎ３０巻２号、２５５−
２６２頁（１９９２年）には様々な構造の芳香族ポリイ
ミドフィルム（単葉）の炭化、黒鉛化の挙動、物理的・
化学的性質に関する研究成果が発表されている。
【０００７】特開昭６１−２７５１１７号、同６３−２
５６５０８号各公報には、芳香族ポリイミドフィルム
（単葉）を、収縮を抑えながら炭化する方法が記載され
ている。
５６５０８号各公報には、芳香族ポリイミドフィルム
（単葉）を、収縮を抑えながら炭化する方法が記載され
ている。
【０００８】特開平１−２０３２０８号、同２−１２０
２１８号各公報には、芳香族ポリイミドフィルムを積層
して炭化させ、あるいは炭化して積層させ、更には黒鉛
化させる方法が記載されている。
２１８号各公報には、芳香族ポリイミドフィルムを積層
して炭化させ、あるいは炭化して積層させ、更には黒鉛
化させる方法が記載されている。
【０００９】同様に、特開昭６４−５６３６４号、特開
平２−８３２０８号、同３−７５２１１号、同３−１５
０２１６号、同３−２７９２０７号、同４−２１５０８
号各公報には、様々な工夫により芳香族ポリイミド樹脂
フィルムを積層、炭化乃至は黒鉛化する方法が記載され
ている。
平２−８３２０８号、同３−７５２１１号、同３−１５
０２１６号、同３−２７９２０７号、同４−２１５０８
号各公報には、様々な工夫により芳香族ポリイミド樹脂
フィルムを積層、炭化乃至は黒鉛化する方法が記載され
ている。
【００１０】
【発明の解決すべき問題点】本発明は、上述の従来の芳
香族ポリイミドフィルムの積層、炭化乃至は黒鉛化方法
とは異なる新規な方法を提供するために成されたもので
あり、固相炭素化の際にき裂など構造欠陥の発生を抑え
て歩留り良く、しかも低いコストで芳香族ポリイミド樹
脂フィルムの積層、炭化乃至は黒鉛化を達成できるな
ど、工業的に有利に炭化した芳香族ポリイミド樹脂フィ
ルム積層体を製造する方法を提供するものである。
香族ポリイミドフィルムの積層、炭化乃至は黒鉛化方法
とは異なる新規な方法を提供するために成されたもので
あり、固相炭素化の際にき裂など構造欠陥の発生を抑え
て歩留り良く、しかも低いコストで芳香族ポリイミド樹
脂フィルムの積層、炭化乃至は黒鉛化を達成できるな
ど、工業的に有利に炭化した芳香族ポリイミド樹脂フィ
ルム積層体を製造する方法を提供するものである。
【００１１】
【問題点を解決する手段】本発明は、複数枚の芳香族ポ
リイミドフィルムを重ねて押えながら該ポリイミドフィ
ルムの熱分解開始温度以下で熱処理してフィルム同志を
接着、積層せしめた後、この積層体を非酸化性雰囲気中
で前記熱分解開始温度以上に昇温して熱処理することを
特徴とする炭化した芳香族ポリイミド樹脂フィルム積層
体の製造方法である。
リイミドフィルムを重ねて押えながら該ポリイミドフィ
ルムの熱分解開始温度以下で熱処理してフィルム同志を
接着、積層せしめた後、この積層体を非酸化性雰囲気中
で前記熱分解開始温度以上に昇温して熱処理することを
特徴とする炭化した芳香族ポリイミド樹脂フィルム積層
体の製造方法である。
【００１２】
【発明の構成及び作用の説明】本発明の本質部分は、予
め芳香族ポリイミドフィルムを熱分解開始温度以下の低
温で接着して積層体とし、然る後に炭化乃至は黒鉛化熱
処理することにあり、従来技術ではこの熱分解開始温度
以下での予備接着により積層体の製造歩留りが良くなる
という知見が得られていなかった。
め芳香族ポリイミドフィルムを熱分解開始温度以下の低
温で接着して積層体とし、然る後に炭化乃至は黒鉛化熱
処理することにあり、従来技術ではこの熱分解開始温度
以下での予備接着により積層体の製造歩留りが良くなる
という知見が得られていなかった。
【００１３】しかも、比較的低温で予備接着を行い、そ
の後の熱処理には通常の加熱炉を用いることができるた
め、設備、エネルギー消費、時間消費、工程管理の観点
から見て工業的に有利な生産を行うことができる。
の後の熱処理には通常の加熱炉を用いることができるた
め、設備、エネルギー消費、時間消費、工程管理の観点
から見て工業的に有利な生産を行うことができる。
【００１４】更に、熱分解開始温度以上への昇温過程を
選択することにより、ヘテロ原子の残存した半導体状、
炭化が完了したガラス状、あるいは黒鉛結晶が十分に発
達した黒鉛状など広範な炭素材料を所望の形状で得るこ
とができる。
選択することにより、ヘテロ原子の残存した半導体状、
炭化が完了したガラス状、あるいは黒鉛結晶が十分に発
達した黒鉛状など広範な炭素材料を所望の形状で得るこ
とができる。
【００１５】本発明で使用する前記芳香族ポリイミドフ
ィルムは、従来公知のもので良く、例えばポリ（ピロメ
リト酸イミド）［例えば東レ・デュポン（株）製商品名
カプトン、三菱化学（株）製商品名ノバックス、鐘淵化
学工業（株）製商品名アピカル、日東電工（株）製商品
名ニトミッドＵ−フィルムＮなど］、ポリビフェニル系
イミド［例えば宇部興産（株）製商品名ユーピレックス
−Ｒ、日東電工（株）製商品名ニトミッドＵ−フィルム
Ｕ及びＴなど］、ポリケトンイミド［例えば三井東圧化
学（株）製ＬＡＲＫ−ＴＰＩなど］、ポリパラバン酸
［例えば東燃石油化学（株）製］などがある。
ィルムは、従来公知のもので良く、例えばポリ（ピロメ
リト酸イミド）［例えば東レ・デュポン（株）製商品名
カプトン、三菱化学（株）製商品名ノバックス、鐘淵化
学工業（株）製商品名アピカル、日東電工（株）製商品
名ニトミッドＵ−フィルムＮなど］、ポリビフェニル系
イミド［例えば宇部興産（株）製商品名ユーピレックス
−Ｒ、日東電工（株）製商品名ニトミッドＵ−フィルム
Ｕ及びＴなど］、ポリケトンイミド［例えば三井東圧化
学（株）製ＬＡＲＫ−ＴＰＩなど］、ポリパラバン酸
［例えば東燃石油化学（株）製］などがある。
【００１６】本発明方法においては、先ず、所定形状の
上記芳香族ポリイミドフィルムを複数枚重ね合せて、例
えば低温型ホット・プレスを用い、前記ポリイミドフィ
ルムの熱分解開始温度以下で加熱、加圧する。加圧力
は、数ｋｇ／ｃｍ２程度の弱い圧力でも良く、フィルム
の表面同志が平坦に接触した状態で十分である。
上記芳香族ポリイミドフィルムを複数枚重ね合せて、例
えば低温型ホット・プレスを用い、前記ポリイミドフィ
ルムの熱分解開始温度以下で加熱、加圧する。加圧力
は、数ｋｇ／ｃｍ２程度の弱い圧力でも良く、フィルム
の表面同志が平坦に接触した状態で十分である。
【００１７】この熱処理により、前記芳香族ポリイミド
フィルム同志が、少なくとも容易にはく離しない程度に
接合される。この接着現象については、上記従来技術に
記載した文献には全く示されておらず、従ってこの温度
領域を選択して積層を行うという技術思想も存在してい
なかった。前記接着のメカニズムは必ずしも明らかでな
いが、ポリイミド樹脂のイミド結合部分の分極による静
電的結合（ファン・デル・ワールス結合）などに起因し
たものであると推察される。この接着現象は、接着理論
で言われる接着開始点であるガラス転移温度より低い温
度でも認められる。
フィルム同志が、少なくとも容易にはく離しない程度に
接合される。この接着現象については、上記従来技術に
記載した文献には全く示されておらず、従ってこの温度
領域を選択して積層を行うという技術思想も存在してい
なかった。前記接着のメカニズムは必ずしも明らかでな
いが、ポリイミド樹脂のイミド結合部分の分極による静
電的結合（ファン・デル・ワールス結合）などに起因し
たものであると推察される。この接着現象は、接着理論
で言われる接着開始点であるガラス転移温度より低い温
度でも認められる。
【００１８】本発明方法においては、かくして得られた
積層体を次いで熱分解開始温度以上に昇温して熱処理す
る。この熱処理の態様は本発明の本質部分を成すもので
はなく、最終製品に求める炭素質物質の組成、組織に応
じて自在に変えることができ、処理条件によって、未炭
化品、炭化品、黒鉛化品などを選択して製造することが
できる。熱分解開始温度以上への昇温により、イミド結
合の開裂によって、一酸化炭素、二酸化炭素、メタン、
水素、窒素などの各種気体が遊離し、芳香族環が縮合多
環化し、炭素前駆体構造が形成される。従って、これら
の気体の遊離状況に応じて、ある程度ヘテロ原子が残存
した状態から、炭化が完了しガラス状の炭素となった状
態、更には黒鉛結晶構造の発達した状態にまで組成、組
織を制御して積層体を形成することができる。
積層体を次いで熱分解開始温度以上に昇温して熱処理す
る。この熱処理の態様は本発明の本質部分を成すもので
はなく、最終製品に求める炭素質物質の組成、組織に応
じて自在に変えることができ、処理条件によって、未炭
化品、炭化品、黒鉛化品などを選択して製造することが
できる。熱分解開始温度以上への昇温により、イミド結
合の開裂によって、一酸化炭素、二酸化炭素、メタン、
水素、窒素などの各種気体が遊離し、芳香族環が縮合多
環化し、炭素前駆体構造が形成される。従って、これら
の気体の遊離状況に応じて、ある程度ヘテロ原子が残存
した状態から、炭化が完了しガラス状の炭素となった状
態、更には黒鉛結晶構造の発達した状態にまで組成、組
織を制御して積層体を形成することができる。
【００１９】最終製品は、厚み数十ミクロンから数ミリ
メートルのシート状から数センチメートルの塊状に及ぶ
様々な厚み、形状で得られ、更に必要に応じて機械加工
して各種用途に利用することができる。
メートルのシート状から数センチメートルの塊状に及ぶ
様々な厚み、形状で得られ、更に必要に応じて機械加工
して各種用途に利用することができる。
【００２０】
実施例１ 東レ・デュポン（株）製ポリイミドフィルム、商品名カ
プトン１００Ｈ（厚み２５μｍ、ガラス転移温度４６０
℃、熱分解開始温度約５００℃）を一辺が１０ｃｍの正
方形に切断し、これを２５枚重ね合わせ黒鉛板に挟んで
ホットプレス機に装着し、２０ｋｇ／ｃｍ２の圧力下、
１０℃／時の速度で４５０℃まで昇温し、１時間保持し
た。冷却後、ホットプレス機から取り出したところ、き
裂や層間はく離のない、フィルム同志が強固に接着した
積層体が得られた。次いで、この積層体を黒鉛板に挟
み、黒鉛ボックス内に装入し、黒鉛の詰粉を充填し蓋を
閉めて密閉した後、通常の加熱炉内で４００℃／時の昇
温速度で９００℃まで加熱し、１時間保持した。冷却
後、炉から取り出したところ、積層の乱れやフィルム同
志のはく離のない、炭化がほぼ完了した、厚み０．５ｍ
ｍの積層体が得られた。
プトン１００Ｈ（厚み２５μｍ、ガラス転移温度４６０
℃、熱分解開始温度約５００℃）を一辺が１０ｃｍの正
方形に切断し、これを２５枚重ね合わせ黒鉛板に挟んで
ホットプレス機に装着し、２０ｋｇ／ｃｍ２の圧力下、
１０℃／時の速度で４５０℃まで昇温し、１時間保持し
た。冷却後、ホットプレス機から取り出したところ、き
裂や層間はく離のない、フィルム同志が強固に接着した
積層体が得られた。次いで、この積層体を黒鉛板に挟
み、黒鉛ボックス内に装入し、黒鉛の詰粉を充填し蓋を
閉めて密閉した後、通常の加熱炉内で４００℃／時の昇
温速度で９００℃まで加熱し、１時間保持した。冷却
後、炉から取り出したところ、積層の乱れやフィルム同
志のはく離のない、炭化がほぼ完了した、厚み０．５ｍ
ｍの積層体が得られた。
【００２１】実施例２ 実施例１で得られた積層体を、更に同様に１５００℃ま
で加熱したところ、積層の乱れやき裂のない、Ｘ線学的
に非晶質のガラス状炭素が得られた。
で加熱したところ、積層の乱れやき裂のない、Ｘ線学的
に非晶質のガラス状炭素が得られた。
【００２２】実施例３ 実施例１で得られた積層体を、更に同様に黒鉛炉にて２
８００℃まで加熱したところ、１１５学振法に従ってＸ
線回折の００２回折線から求めた平均面間隔が０．３３
５４ナノメートル、ｃ軸方向の結晶子の厚みが１０００
オングストローム以上の、ほぼ完全に黒鉛化した製品が
得られた。
８００℃まで加熱したところ、１１５学振法に従ってＸ
線回折の００２回折線から求めた平均面間隔が０．３３
５４ナノメートル、ｃ軸方向の結晶子の厚みが１０００
オングストローム以上の、ほぼ完全に黒鉛化した製品が
得られた。
【００２３】実施例４ ホット・プレスによる加熱温度を４５０℃に変えた以外
は実施例１乃至３と同様にして、同様に良好なガラス状
炭素、黒鉛製品を得た。
は実施例１乃至３と同様にして、同様に良好なガラス状
炭素、黒鉛製品を得た。
【００２４】比較例１ ホット・プレスによる加熱温度を６００℃に変えたとこ
ろ、積層体にき裂が発生し、その後のガラス状炭素、黒
鉛製品の製造が不可能となった。また更に、ポリイミド
フィルムの熱分解開始温度を挟んだ温度にて同様の実験
を繰り返した結果、熱分解開始温度以下での予備接着に
より高い製品歩留りでガラス状炭素あるいは黒鉛製品が
得られることが分った。
ろ、積層体にき裂が発生し、その後のガラス状炭素、黒
鉛製品の製造が不可能となった。また更に、ポリイミド
フィルムの熱分解開始温度を挟んだ温度にて同様の実験
を繰り返した結果、熱分解開始温度以下での予備接着に
より高い製品歩留りでガラス状炭素あるいは黒鉛製品が
得られることが分った。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、固相炭素化の際にき裂
など構造欠陥の発生を抑えて歩留り良く、しかも低いコ
ストで芳香族ポリイミド樹脂フィルムの積層、炭化乃至
は黒鉛化を達成できるなど、工業的に有利に炭化した芳
香族ポリイミド樹脂フィルム積層体を製造することがで
きる。
など構造欠陥の発生を抑えて歩留り良く、しかも低いコ
ストで芳香族ポリイミド樹脂フィルムの積層、炭化乃至
は黒鉛化を達成できるなど、工業的に有利に炭化した芳
香族ポリイミド樹脂フィルム積層体を製造することがで
きる。
【００２６】しかも、比較的低温で予備接着を行い、そ
の後の熱処理には通常の加熱炉を用いることができるた
め、設備、エネルギー消費、時間消費、工程管理の観点
から見て工業的に有利な生産を行うことができる。
の後の熱処理には通常の加熱炉を用いることができるた
め、設備、エネルギー消費、時間消費、工程管理の観点
から見て工業的に有利な生産を行うことができる。
【００２７】更に、熱分解開始温度以上への昇温過程を
選択することにより、ヘテロ原子の残存した半導体状、
炭化が完了したガラス状、あるいは黒鉛結晶が十分に発
達した黒鉛状など広範な炭素材料を所望の形状で得るこ
とができる。
選択することにより、ヘテロ原子の残存した半導体状、
炭化が完了したガラス状、あるいは黒鉛結晶が十分に発
達した黒鉛状など広範な炭素材料を所望の形状で得るこ
とができる。
【手続補正書】
【提出日】平成７年６月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】 本発明で使用する前記芳香族ポリイミド
フィルムは、従来公知のもので良く、例えばポリ（ピロ
メリト酸イミド）［例えば東レ・デュポン（株）製商品
名カプトン、三菱化学（株）製商品名ノバックス、鐘淵
化学工業（株）製商品名アピカル、日東電工（株）製商
品名ニトミッドＵ−フィルムＮなど］、ポリビフェニル
系イミド［例えば宇部興産（株）製商品名ユーピレック
ス−Ｒ、日東電工（株）製商品名ニトミッドＵ−フィル
ムＵ及びＴなど］、ポリケトンイミド［例えば三井東圧
化学（株）製ＬＡＲＣ−ＴＰＩなど］、ポリパラバン酸
［例えば東燃石油化学（株）製］などがある。
フィルムは、従来公知のもので良く、例えばポリ（ピロ
メリト酸イミド）［例えば東レ・デュポン（株）製商品
名カプトン、三菱化学（株）製商品名ノバックス、鐘淵
化学工業（株）製商品名アピカル、日東電工（株）製商
品名ニトミッドＵ−フィルムＮなど］、ポリビフェニル
系イミド［例えば宇部興産（株）製商品名ユーピレック
ス−Ｒ、日東電工（株）製商品名ニトミッドＵ−フィル
ムＵ及びＴなど］、ポリケトンイミド［例えば三井東圧
化学（株）製ＬＡＲＣ−ＴＰＩなど］、ポリパラバン酸
［例えば東燃石油化学（株）製］などがある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】 実施例３ 実施例１で得られた積層体を、更に同様に黒鉛炉にて２
８００℃まで加熱したところ、いわゆる学振法に従って
Ｘ線回折の００２回折線から求めた平均面間隔が０．３
３５４ナノメートル、ｃ軸方向の結晶子の厚みが１００
ナノメートル以上の、ほぼ完全に黒鉛化した製品が得ら
れた。
８００℃まで加熱したところ、いわゆる学振法に従って
Ｘ線回折の００２回折線から求めた平均面間隔が０．３
３５４ナノメートル、ｃ軸方向の結晶子の厚みが１００
ナノメートル以上の、ほぼ完全に黒鉛化した製品が得ら
れた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】 実施例４ ホット・プレスによる加熱温度を４００℃に変えた以外
は実施例１乃至３と同様にして、同様に良好なガラス状
炭素、黒鉛製品を得た。
は実施例１乃至３と同様にして、同様に良好なガラス状
炭素、黒鉛製品を得た。
Claims (1)
- 【請求項１】 複数枚の芳香族ポリイミドフィルムを重
ねて押えながら該ポリイミドフィルムの熱分解開始温度
以下で熱処理してフィルム同志を接着、積層せしめた
後、この積層体を非酸化性雰囲気中で前記熱分解開始温
度以上に昇温して熱処理することを特徴とする炭化した
芳香族ポリイミドフィルム積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18969295A JP3749286B2 (ja) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | 炭化した芳香族ポリイミドフィルム積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18969295A JP3749286B2 (ja) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | 炭化した芳香族ポリイミドフィルム積層体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH092874A true JPH092874A (ja) | 1997-01-07 |
| JP3749286B2 JP3749286B2 (ja) | 2006-02-22 |
Family
ID=16245596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18969295A Expired - Lifetime JP3749286B2 (ja) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | 炭化した芳香族ポリイミドフィルム積層体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3749286B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002064368A1 (fr) * | 2001-02-09 | 2002-08-22 | Amt Laboratory Co.,Ltd. | Film stratifie polyimide |
| JP2017001901A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 株式会社デンソー | 炭化物接合体及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-06-21 JP JP18969295A patent/JP3749286B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002064368A1 (fr) * | 2001-02-09 | 2002-08-22 | Amt Laboratory Co.,Ltd. | Film stratifie polyimide |
| JP2017001901A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 株式会社デンソー | 炭化物接合体及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3749286B2 (ja) | 2006-02-22 |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A521 | Written amendment |
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| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081209 Year of fee payment: 3 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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