JPH09283031A - ガス放電型表示パネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高コントラストの表示パネルを製造歩留まりよ
く得る。 【解決手段】基材の表に、放電空間をなす第１の凹部を
複数形成し、裏に、第１の凹部の底に達する深さの第２
の凹部を複数形成して、隔壁基板とする。第１および第
２の凹部の延伸方向を、パネルの積層方向にそって同一
平面に投影したとき直交するようにすることが望まし
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イなどのガス放電型表示パネルに係り、特に、高コント
ラストの表示を行うことができ、かつ、寿命の長い、交
流駆動型のガス放電型表示パネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイなどのガス放電型
表示パネルを用いた表示装置は、自己発光により表示を
行うため、視野角が広く、表示が見やすい。また、薄型
のものが作成できることや大画面を実現できるなどの特
徴をもっており、情報端末機器の表示装置や高品位テレ
ビジョン受像器への応用が期待されている。

【０００３】プラズマディスプレイは、直流駆動型と交
流駆動型に大別される。このうち交流駆動型のプラズマ
ディスプレイは、電極を覆っている誘電体層のメモリー
作用のため輝度が高く、近年では、保護層の形成などに
よって、実用に耐える寿命が得られるようになった。

【０００４】図７に、実用化されたプラズマディスプレ
イパネルの構造を示す部分斜視図を示す。このガス放電
型カラー表示パネルは、互いに対向して配置された背面
基板９２および前面基板９１を備える。背面基板９２
は、前面基板９１との間隙を一定に保つためのバリアリ
ブ９３ａを備え、前面基板９１と背面基板９２とは、こ
のバリアリブ９３ａを介して接続されている。なお、図
７は、図を見やすくするために、前面基板９１と背面基
板９２のバリアリブ９３ａとを分離して図示した。

【０００５】前面基板９１は前面ガラス板９４ａ上に表
示電極（透明電極）９５、バス電極９６、誘電体層９７
ａ、およびＭｇＯ膜（保護膜）９８ａが形成された構造
となっている。背面基板９２は背面ガラス板９４ｂ上に
アドレス電極９９、バリアリブ９３ａ、および蛍光体層
９１４が形成された構造となっている。そして、前面基
板９１と背面基板９２とを、それぞれ電極の形成された
面が対向するように、互いに平行に配置してはりあわせ
ることにより、前面基板９１と背面基板９２の間に放電
空間９３ｆを形成している。なお、表示電極９５とアド
レス電極９９とは、放電空間９３ｆを介して直交するよ
うにする。

【０００６】このガス放電型表示パネルの断面図を、図
８（ａ）〜（ｃ）および図９に示す。図８（ａ）はアド
レス電極９９に平行で、基板９１，９２表面に垂直な平
面で本実施例の表示パネルの一部を切断した場合の断面
図である。また、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡの位置
での断面図であり、その切断面は、アドレス電極９９に
垂直で、基板９１，９２表面に垂直な平面である。図８
（ｃ）は、図８（ａ）のＢの位置での断面図であり、そ
の切断面は、アドレス電極９に垂直で、基板９１，９２
表面に垂直な平面である。なお、図８（ａ）〜（ｃ）で
は、図を見やすくするために、断面のみを図示し、画面
奥に見えるであろう構成の図示は省略した。また、図８
（ａ）においてＣで示した平面での断面図を、図９に示
す。

【０００７】図８（ｂ）、図８（ｃ）に示すように、両
基板９１，９２との間は、透明電極９５ａ，９５ｂの組
ごとに、放電セル（表示セルともいう）が形成され、両
基板９１，９２とバリアリブ９３ａとにより放電空間９
３ｆが形成される。この放電セルの内部には、蛍光体膜
９１４が形成されている。また、セル内の空間９３ｆに
は放電ガスが封入されている。この従来の表示パネルで
は、図９に示すように、バリアリブ９３ａは平行な棒状
をしており、横（または縦）に連続したセルの放電空間
９３ｆは、バリアリブ９３ａによって隔てられていな
い。

【０００８】この前面基板９１の電極９５，９６と、背
面基板９２に形成されたアドレス電極９９との間に交流
電圧を印加すると、前面基板９１、背面基板９２および
バリアリブ９３ａにより形成される各セル内９３ｆに補
助放電が発生する。この補助放電を利用して、各セルご
とに前面基板９１に形成されている平行した電極９５
ａ，９６ａと電極９５ｂ，９６ｂとの間に交流電圧を印
加すると、主放電が発生する。この主放電により生じる
紫外線は、セル内部に塗布されている螢光体９１４を発
光させる。この表示パネルの表示は、前面基板９１を通
して観察されるこの蛍光体９１４からの光によるもので
ある。

【０００９】ここで示したガス放電型表示装置の従来例
は、フラットパネル・ディスプレイ１９９４（日経マイ
クロデバイス編、１９９３年）の第１９８頁〜第２０１
頁に記載されている。

【００１０】このようなガス放電型カラー表示パネルの
従来の製造方法として、つぎに説明するような方法が知
られている。

【００１１】まず、一対の透明な基板を用意する。ガス
放電型カラー表示パネルに用いる基板としては、一般
に、歪点が約４５０℃のソーダガラス（ソーダライムガ
ラス）板が使用される。

【００１２】このガラス基板の一方（背面基板）に、厚
膜印刷法により電極用ペーストを所定パターンになるよ
うに印刷し、ペーストを１００〜１５０℃で乾燥させた
後、５００〜６００℃で焼成する。つぎに、画素となる
放電セルを形成するため、この背面基板の電極パターン
を形成した面に、厚膜印刷法によりバリアリブ形成用の
ペーストを所定パターンになるように印刷し、１００〜
１５０℃で乾燥させる。これにより、背面基板にマトリ
クス状に配列された多数のセルが形成される。なお、バ
リアリブは、十分な放電空間を確保するために、厚い膜
厚（例えば１６０〜２００μｍ）が必要とされ、１回の
厚膜印刷ではこの膜厚を得ることができない。そこで、
このバリアリブ形成用ペーストの印刷及び乾燥は、複数
回行われる。このバリアリブにより形成されたセルの内
部に、厚膜印刷法により赤、青および緑の蛍光体用ペー
ストを所定のパターンで印刷し、１００〜１５０℃で乾
燥した後、５００〜６００℃で焼成する。これにより、
放電セルが形成された背面基板が得られる。

【００１３】他方のガラス基板（前面基板用ガラス板）
には、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明な
導電体の蒸着膜を形成し、これをパターン化して、セル
の列に対して平行な２電極がセル毎に設けられるよう
に、互いに平行な多数の電極パターンを形成する。つぎ
に、この電極の抵抗を下げるため、パターンの各電極部
にバス電極を形成する。この電極を形成した面に、厚膜
印刷法により誘電体用ペーストを所定パターンになるよ
うに印刷し、１００〜１５０℃で乾燥させた後、５００
〜６００℃で焼成する。さらに、得られた誘電体膜表面
に、ＥＢ（Electron Beam）蒸着法によりＭｇＯ膜を形
成する。これにより、透明電極が形成された前面基板が
得られる。

【００１４】つぎに、前面基板と背面基板とを、前面基
板のＭｇＯ膜を形成した面と背面基板のセルを形成した
面を対向させて位置合わせし、両基板の縁部分をシール
用鉛ガラスで覆って、約４５０℃で加熱し、両基板間の
シールを行った後、両基板およびシール部で囲まれる空
隙内の空気を排気管から排気し、この排気管を介してこ
の空隙内に放電ガスを入れる。最後に、排気管の焼きち
ぎり（チップオフ）を行い、放電ガスを封止する。以上
により、ガス放電型カラー表示パネルが作成される。

【００１５】なお、上述の説明では、背面基板にバリア
リブを形成したが、表示パネルの設計によっては、バリ
アリブが前面基板に形成されたり、前面基板および背面
基板の双方に形成される場合がある。また、電極やＭｇ
Ｏ膜を厚膜印刷法により形成する場合もある。

【００１６】いずれにしても、このような従来の表示パ
ネル製造方法は、バリアリブ、電極及び蛍光体等を厚膜
印刷法により形成するため、比較的容易に表示パネルを
作製できるという利点を有している。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
技術によるガス放電型カラー表示パネルは、補助放電及
び主放電が同一放電空間で行なわれる。従って、主放電
が起きていないところでも補助放電による発光が生じ、
充分なコントラストが得られないという問題がある。十
分なコントラストが得られない場合、フルカラー化に十
分な階調を表現するためには、複雑な駆動方法により高
速の時分割制御を行なわなくてはならない。

【００１８】そこで、このような交流駆動型プラズマデ
ィスプレイの更なる高コントラスト化・長寿命化を発現
させる手段の一つとして、例えば、特願平7―２55698号
では、前面基板と背面基板との間に隔壁を有する隔壁基
板を挟みこみ、この隔壁によって、放電空間を、表示の
ための放電を発生させる前面基板側の空間と、背面基板
側の空間とに分離し、表示電極とアドレス電極との間の
放電を隔壁基板に設けた開口部を通して行うということ
が提案されている。

【００１９】図６に、この場合の断面図を示す。図６
（a）は、アドレス電極１０に平行な断面を、図６（b）
はアドレス電極１０に垂直な、図６（a）に示したA-B間
の断面を、図６（c）はアドレス電極１０に垂直な図６
（a）に示したC-D間の断面を、それぞれ示している。

【００２０】このガス放電型表示装置では、前面基板１
に設けられた表示電極６およびバス電極７と背面基板２
に設けたアドレス電極１０との間に交流電圧を印加し、
隔壁１３に設けられた開口部１４と、主放電空間１０
０、背面基板側の放電空間２００とを介してアドレス放
電を発生させ、所定の放電セルに主放電を発生させる。
この主放電で発生する紫外線により蛍光体１２を発光さ
せ、表示を行っている。

【００２１】この構成により、表示セルのアドレス時に
行う、表示電極６およびバス電極７とアドレス電極１０
との間の放電において、アドレス電極１０がカソードと
して働く場合に紫外線が強く発生する場所は、隔壁１３
に設けた開口部１４の内側となる。この場所には蛍光体
が存在せず、また主放電空間１００側に存在するに蛍光
体１２は隔壁１３によって発生した紫外線から遮蔽され
るため、アドレス時の蛍光体１２による余分な発光が抑
制され、高コントラストが達成される。また、表示電極
６およびバス電極７とアドレス電極１０との間で発生す
る放電の電圧降下が隔壁１３に設けた開口部１４で大き
くなるため、イオン衝撃による蛍光体１２のダメージを
抑制でき、蛍光体１２の寿命を長くすることができる。

【００２２】また隔壁基板３は前面基板１や背面基板２
とは関係なく製造できるので、バリアリブ１１および１
５の製造歩留まり低下や開口部１４の製造歩留まり低下
に伴う、前面基板１や背面基板２の損失をなくすことが
でき、ガス放電型表示装置の製造歩留まりを高くできる
効果もある。

【００２３】しかし、この表示パネルでは、開口部１４
と、主放電空間１００と背面基板側放電空間２００を形
成するために、開口部１４形成と、バリアリブ１１形成
と、バリアリブ１５形成という３段階の工程が必要であ
る。また、開口部１４とバリアリブ１１およびバリアリ
ブ１５の位置関係が所定のものから大きく逸脱した場
合、隔壁基板３に欠陥が生じてしまうため、開口部１４
とバリアリブ１１とバリアリブ１５の形成位置を精度よ
く制御しなければならない。これらは、隔壁基板３の製
造効率を低下させ、隔壁基板３の製造コストを高くして
しまう原因となっている。

【００２４】また、開口部１４の厚みの分だけ表示電極
６およびバス電極７とアドレス電極１０の間隔が大きく
なり、アドレス放電時に表示電極６およびバス電極７と
アドレス電極１０との間で必要な放電電圧を増大させて
しまう。これは本表示装置作動時の消費電力を増加させ
るだけでなく、アドレス放電を制御するＬＳＩの製造コ
ストを押し上げる原因にもなっている。

【００２５】そこで、本発明は、表示電極を設けた前面
基板とアドレス電極を設けた背面基板との間に隔壁基板
を挟み込んだ上、さらに、隔壁構造と隔壁基板製造法と
を改善して、製造歩留まりよく製造できる、高いコント
ラストの表示が可能なガス放電型表示パネルと、その製
造方法とを提供することを目的とする。

【００２６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、主放電用電極を備える前面基板と、補
助放電用電極を備える背面基板と、上記前面基板と上記
隔壁基板との間隙を、前面基板側の空間と背面基板側の
空間とに分離する隔壁基板と、上記前面基板側の空間を
複数の主放電空間に分画する前面基板側バリアリブと、
上記背面基板側の空間を複数の補助放電空間に分画する
背面基板側バリアリブと、上記主放電空間の内壁に形成
された蛍光体層とを備え、上記隔壁基板は、上記主放電
空間と上記補助放電空間との連通のための開口部を有す
るガス放電型表示パネルが提供される。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の表示パネルでは、前面基
板側バリアリブが、同一方向に延伸された複数の帯状部
材からなり、背面基板側バリアリブが、同一方向に延伸
された複数の帯状部材からなる場合には、前面基板側バ
リアリブの延伸方向と、上記背面基板側バリアリブの延
伸方向とを、パネルの積層方向にそって同一平面に投影
したとき交叉するようにする。

【００２８】また、前面基板側バリアリブおよび上記背
面基板側バリアリブのうちのいずれか一方が、格子状部
材からなり、他方が、第１の方向に延伸された複数の帯
状部材からなるようにしてもよい。この場合、格子状部
材は、第２の方向に延伸された、帯状の、隔壁基板表面
に第１の間隔で配置された複数の縦部材と、第２の方向
と交叉する第３の方向に伸びた、隔壁基板表面に第１の
間隔より短い間隔で配置された、上記縦部材の間を接続
する複数の横部材とにより構成され、第１の方向と第２
の方向とは、パネルの積層方向にそって同一平面に投影
したとき交叉する。なお、前面基板側バリアリブを格子
状部材とし、背面基板側バリアリブが帯状部材とするこ
とが望ましい。

【００２９】さらに、前面基板側バリアリブおよび上記
背面基板側バリアリブの両方が格子状部材の場合、格子
状部材は、第１の方向に延伸された、帯状の、隔壁基板
表面に第１の間隔で配置された複数の縦部材と、第１の
方向と交叉する第２の方向に延伸された、隔壁基板表面
に上記第１の間隔より短い間隔で配置された、帯状部材
の間を接続する複数の横部材とにより構成され、前面基
板側バリアリブの第１の方向と、背面基板側バリアリブ
の第２の方向とは、パネルの積層方向にそって同一平面
に投影したとき交叉する。

【００３０】なお、隔壁基板の開口部は、前面基板側上
から見て、主放電空間と補助放電空間とが重なる位置に
設けられていることが望ましい。

【００３１】また、本発明では、主放電用電極を備える
前面基板を形成する前面基板形成工程と、補助放電用電
極を備える背面基板を形成する背面基板形成工程と、前
面基板と隔壁基板との間隙を、前面基板側の空間と背面
基板側の空間とに分離する隔壁基板とを形成する隔壁基
板形成工程と、背面基板、隔壁基板、および前面基板
を、この順で積層し、積層体側面を封止材で固定する組
み立て工程とを備えるガス放電型表示パネルの製造方法
が提供される。

【００３２】本発明の製造方法における隔壁基板形成工
程は、基材の表裏のうち一方の面に、放電空間をなす第
１の凹部を複数形成する工程と、他方の面に、第１の凹
部の底に達する深さの第２の凹部を、複数形成する工程
と、第１の凹部および第２の凹部のいずれか一方の内壁
に、蛍光体層を形成する工程とを備える。

【００３３】このようにすれば、主放電空間と補助放電
空間との底部の位置を重ねることにより、特に開口部を
形成する工程を設けなくても、開口部を設けることがで
きる。また、このようにして開口部を形成すると、開口
部周囲の隔壁基板の厚みを非常に薄くできるため、隔壁
の絶縁材料による減衰が少なくでき、アドレス時に前面
基板に形成した表示電極およびバス電極と背面基板に形
成したアドレス電極との間の放電電圧を減少させること
ができる。

【００３４】このようにする場合、第１の凹部を、同一
間隔で設けられ、第１の方向に伸びた、あらかじめ定め
られた深さの第１の溝とし、第２の凹部を、同一間隔で
設けられ、第２の方向に伸びた、上記第１の溝の底部に
達する深さの第２の溝とし、第１の方向と、第２の方向
とが、パネルの積層方向にそって同一平面に投影したと
き交叉することが望ましい。このようにすれば、前面基
板側上から見て、主放電空間と補助放電空間とが重なる
位置に、開口部があくことになるため、開口部の位置合
わせを特に行う必要がないため、隔壁基板の製造効率を
向上させることが可能となる。

【００３５】また、第１の凹部および第２の凹部のいず
れかまたは両方を、縦横に一定間隔で配置した凹部とし
てもよい。このような凹部を形成すると、隔壁基板に
は、格子状のバリアリブが形成されることになる。この
場合も、第１の凹部の延びる方向と、第２の凹部の延び
る方向とがパネルの積層方向にそって同一平面に投影し
たとき交叉することが望ましい。前面基板側上から見
て、主放電空間と補助放電空間とが重なる位置に、開口
部があくことになるからである。

【００３６】

【実施例】

＜実施例１＞本発明の第１の実施例を、図１および図２
により説明する。図１は本発明を適用したガス放電型表
示装置の隔壁基板を示した説明図である。図１の（a）
は隔壁基板の前面基板側の面を、図１（b）は隔壁基板
の背面基板側の面を示したものである。図２は本発明を
適用したガス放電型表示装置の隔壁基板を断面図で示し
たものである。図２の（a）はアドレス電極に平行な断
面を、図２（b）はアドレス電極に垂直な、図２（a）に
示したA-B断面を、図２（C）はアドレス電極に垂直な、
図２（a）に示したC-D断面を示している。

【００３７】これらの図において、１は前面基板を、２
は背面基板を、３は隔壁基板を、４は前面ガラス基板
を、５は背面ガラス基板を、６と６ａは透明導電材料か
らなる表示電極を、７と７ａは表示電極の一部と重なる
ように設けられたバス電極を、８は誘電体層を、９はＭ
ｇＯからなる保護層を、１０と１０ａはアドレス電極
を、１１は主放電空間を限定するバリアリブを、１２は
蛍光体を、１３は主放電空間と背面基板側放電空間（補
助放電空間）とを分離する隔壁を、１４は隔壁１３に設
けられた開口部を、１５は背面基板側放電空間を限定す
るバリアリブを、１００は表示のための主放電を発生さ
せるための主放電空間を、２００は背面基板側放電空間
を示す。

【００３８】以下、本実施例における表示パネルの製造
工程について説明する。まず、前面基板１の製造方法に
ついて説明する。 （１）前面ガラス基板４（ソーダライムガラス板）を、
中性洗剤等を用いて洗浄する。

【００３９】（２）洗浄した前面ガラス基板４上にスパ
ッタリング法や電子線蒸着法などの成膜手法により酸化
スズ（ＳｎＯ₂）膜やＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ
Ｏｘｉｄｅ）膜などの透明導電膜を形成する。次いで周
知のフォトエッチング法によって透明伝導膜の加工を行
い、表示電極６、６ａとして働く電極パターンを形成す
る。表示電極のパターン寸法は製造する放電セルの大き
さに合わせて定めればよい。

【００４０】（３）表示電極６、６ａを形成した前面ガ
ラス基板４上に、スパッタリング法や電子線蒸着法など
の成膜手法を用いてクロム（Ｃｒ）膜で銅（Ｃｕ）膜を
サンドイッチしたＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜を形成する。
次いで、周知のフォトエッチング法を用いてＣｒ／Ｃｕ
／Ｃｒ積層膜の加工を行い、表示電極６、６ａの一部に
重なるように電極パターンを形成し、バス電極７、７ａ
とする。Ｃｕ膜の膜厚とバス電極のパターン寸法はバス
電極に要求される抵抗値などによって定めればよい。

【００４１】（４）表示電極パターンとバス電極パター
ンを形成した前面ガラス基板４の所定の場所にアルミニ
ウム（Ａｌ）、シリコン（Ｓｉ）、酸素（Ｏ）を主成分
とする加水分解型コーティング剤（アルコキシドなど）
をブレード法やスプレー法等のようによって塗布し、１
００〜４００℃の温度で１〜６０分間加熱することによ
り０．００５〜０．０３ｍｍの誘電体層８を形成する。

【００４２】（５）スパッタリング法や電子線蒸着法等
の成膜手法を用いてＭｇＯを所定の場所に成膜し、保護
膜９とする。

【００４３】以上の工程により、前面基板１が得られ
た。なお、本実施例では、Ａｌ、Ｓｉ、Ｏを主成分とす
る加水分解型コーティング剤として、トリ（ｎ−ブトキ
シ）アルミニウムと、テトラ（ｎ−ブチル）シリケート
とを、ＡｌおよびＳｉの酸化物に換算したとき３７：６
３の重量比で含むｎ−ブタノール溶液を、常温で加水分
解して得られたゲルを用いた。

【００４４】次に背面基板２の製造工程について説明す
る。 （１）背面ガラス基板５（ソーダライムガラス）を、中
性洗剤等を用いて洗浄する。

【００４５】（２）洗浄した背面ガラス基板５上にスパ
ッタリング法や電子線蒸着等の成膜手法によりＣｒ膜で
Ｃｕ膜をサンドイッチしたＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜を形
成する。次いで、周知のフォトエッチング法を用いてＣ
ｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜を加工し、アドレス電極１０、１
０ａとする電極パターンを形成する。Ｃｕ膜の膜厚とア
ドレス電極のパターン寸法はアドレス電極に要求される
抵抗値によって定めればよい。

【００４６】（３）アドレス電極を形成した背面ガラス
基板５の所定の場所にＡｌ、Ｓｉ、Ｏを主成分とする加
水分解型コーティング剤をブレード法やスプレー法等の
ようによって塗布し、１００〜４００℃の温度で１〜６
０分間加熱することにより０．００５〜０．０３ｍｍの
誘電体層８を形成する。

【００４７】（４）スパッタリング法や電子線蒸着法等
の成膜手法を用いてＭｇＯを所定の場所に成膜し、保護
膜９とする。

【００４８】以上の工程により、背面基板２が完成し
た。なお、背面基板２には、パネル組立後に行う排気と
ガス導入のためにチップ管（図示せず）を取り付けた。

【００４９】次に隔壁基板３の製造工程を図３に従って
説明する。 （１）隔壁用ガラス板３０として、図３（ａ）に示すホ
ウ珪酸ガラス板（またはセラミックスからなる板材）を
用意し、中性洗剤などを用いて洗浄する。

【００５０】（２）隔壁用ガラス板３０上に感光性フィ
ルム３１を形成し、周知の露光、現像、水洗、乾燥を行
うことにより主放電空間を形成するための所定のフィル
ムパターンを形成する（図３（ｂ））。次いで、サンド
ブラスト法を用いて加工を行い、隔壁用ガラス板３０に
主放電空間１００を分離するバリアリブ１１を形成する
（図３（ｃ））。この場合、主放電空間１００の深さが
おおよそ所定の値となるようにブラスト条件を調整す
る。

【００５１】（３）隔壁用ガラス板３０の主放電空間１
００を設けた面の反対側の面に感光性フィルムを形成
し、周知の露光、現像、水洗、乾燥を行うことにより、
背面基板側放電空間を形成するための所定のパターンを
形成する（図３（ｄ））。この際、背面基板側放電空間
２００を形成するためのパターンの延伸方向は、主放電
空間１００の延伸方向と互いにほぼ直交させる。

【００５２】次いで、サンドブラスト法を用いて加工を
行い、背面基板側放電空間２００を分離するバリアリブ
１５を形成する（図３（ｅ））。この場合、背面基板側
放電空間２００の深さがおおよそ所定の値となるように
ブラスト条件を調整する。

【００５３】以上の工程により、主放電空間１００と背
面基板側放電空間２００とを分離する隔壁１３と、主放
電空間１００と背面基板側放電空間２００とを接続する
開口部１４が形成され、同時に、開口部１４が形成され
る。開口部１４の寸法と形状と位置と個数の制御は、主
放電空間１００と背面基板側放電空間２００の寸法と方
向と位置と個数を制御することでおこなう。

【００５４】なお、本実施例では、背面基板側放電空間
２００の形成より先に主放電空間１００を形成している
が、この順序を逆転させても差し支えないし、また、可
能であるならば主放電空間１００と背面基板側放電空間
２００を同時に形成しても差し支えない。

【００５５】また、本実施例では、隔壁基板３の凹部の
形成（すなわち、バリアリブ１１およびバリアリブ１５
の削り出し）にサンドブラスト法を用いているが、エッ
チング法など、他の方法を用いてもさしつかえない。た
だし、サンドブラスト法やエッチング法などは、位置精
度がよく、また、開口部１４の形成がバリアリブの形成
と同時に行われるため、本発明に適している。

【００５６】また、本実施例では、隔壁基板をガラス板
やセラミックス板などの電気的絶縁性板材を用いて形成
したが、表面を絶縁材料で被覆した金属板などの導電性
材料を用いても差し支えない。この場合には、隔壁基板
の機械的強度が大きくなり、製造歩留まりの向上などが
期待される。

【００５７】以上のようにして得られた基板１〜３を位
置合わせし、その周囲を、封止材（フリットガラス）を
ディスペンサで塗布して覆った後、３００℃〜４００℃
で熱処理して封止材３３を固定する。これにより、精度
良く表示パネルの組み立てを行うことができた。

【００５８】最後に、チップ管（図示せず）を介してセ
ル内部の空気を抜いて真空にし、Ｈｅ−５％Ｘｅ混合ガ
スを、セル内部の気圧が３００Ｔｏｒｒ〜５００Ｔｏｒ
ｒ（３９．９ｋＰａ〜６６．５ｋＰａ）になるまで導入
した後、局部加熱により、チップ管を加熱し、チップオ
フを行って、ガス放電型カラー表示パネルを得た。

【００５９】この表示パネルでは、背面基板２に形成さ
れた、各セル位置で交叉する２つの電極１０に交流電圧
を印加することにより、補助放電空間２００内に補助放
電を発生させる。この補助放電の影響は、導通経路１４
を通して波及し、主放電空間１００内の放電を容易にす
る。この状態で、前面基板１に形成された平行な２つの
電極間６および７と６ａと７ａとに交流電圧を印加する
と、主放電が発生する。この主放電により生じる紫外線
は、螢光体１２を発光させる。その光は、前面基板１の
ガラス板４および透明電極６，６ａを透して外部に照射
されるため、外部からセルの発色が観察されることにな
る。なお、本実施例の表示パネルでは、補助放電の発光
は、隔壁１３で遮光され、主放電による発光のみが観察
されることになるため、主放電の発生したセルと、主放
電の発生していないセルとの間に、充分なコントラスト
（１００：１以上）を得ることができた。

【００６０】なお、本実施例では、バス電極７，７ａと
補助放電用電極１０の材料としてＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層
膜を用いているが、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎ
ｉ、Ｗ、Ｍｏ、あるいはこれらの金属の合金、またはこ
れらの金属あるいは合金の積層膜を用いてもさしつかえ
ない。また、バス電極７，７ａと補助放電用電極１０を
構成する材料の形成方法は、厚膜印刷法や、スパッタリ
ング法、真空蒸着法（電子線蒸着法、抵抗加熱蒸着
法）、あるいは、めっき法（無電解めっき法、電解めっ
き法）などから、適宜選択することができる。透明電極
６，６ａを構成する材料も、ＩＴＯに限定されるもので
はなく、酸化スズなど、十分な導電性を有する透明な材
料であればよい。また、その形成方法としても、スパッ
タリング法、真空蒸着法（電子線蒸着法、抵抗加熱蒸着
法）、化学気相反応法、あるいはゾル−ゲル法など、適
宜選択してさしつかえない。

【００６１】誘電体層８の形成方法にも特に制限はな
く、スパッタリング法、化学気相反応法、ゾル−ゲル
法、厚膜印刷法など適宜選択してさしつかえない。ま
た、本実施例では保護層９としてＭｇＯを用いている
が、スパッタリング率が低く、２次電子放出能が高い材
料であれば良く、ＭｇＯのほか、ＣａＯやＳｒＯ、ある
いは、これらの混合物を用いても良い。

【００６２】さらに、本実施例では、放電ガスとしてＨ
ｅとＸｅの混合気体を用いているが、これらに限定され
るものではなく、例えばＮｅとＸｅの混合気体など、放
電により蛍光体を発光させるのに必要や放射線を発生さ
せるものであればよい。また、本実施例では基板１，２
の基材としてソーダガラス板４，５を用いたが、他の基
材を用いてもよい。ただし、前面基板１の基材として
は、透明な材料を用いる。

【００６３】本実施例の隔壁基板製造方法によれば、隔
壁基板に開口部を設けるという工程を省略することが可
能となる。また、主放電空間１００と背面基板側放電空
間２００の寸法と位置を制御することで、開口部の寸法
と位置の制御を行うことができる。このため、隔壁基板
の製造効率を向上させる効果がある。また、主放電空間
１００と背面基板側放電空間２００は交差位置において
互いに食い込んでおり、開口部の厚みを非常に薄くでき
るため、アドレス時に表示電極およびバス電極とアドレ
ス電極との間で必要な放電電圧を減少させる効果があ
る。

【００６４】＜実施例２＞本発明の第２の実施例を、図
４および図５により説明する。図４は本発明を適用した
ガス放電型表示装置の隔壁基板を示した説明図である。
図４（a）は隔壁基板の前面基板側の面を、図４（b）は
隔壁基板の背面基板側の面を示したものである。図５は
本発明を適用したガス放電型表示装置の隔壁基板を断面
図で示したものである。図５（a）はアドレス電極に平
行な断面を、図５（b）はアドレス電極に垂直な、同図
（a）に示したA-B断面を、図５（C）はアドレス電極に
垂直な、図５（a）に示したC-D断面を、それぞれ示して
いる。

【００６５】図４と図５からわかるように、第１の実施
例と第２の実施例の相違点は、表示のための放電を発生
させる主放電空間１００が格子状に形成されたバリアリ
ブ１１によって表示セル毎に分離されている点にある。
これ以外の構成や製造方法は、第１の実施例とおなじで
ある。本実施例においても、実施例１と同様に、高コン
トラストの表示が可能なパネルを、安定して容易に得る
ことができた。

【００６６】本実施例では、開口部１４は格子状セルの
ほぼ中央に形成されているが、主放電空間１００と背面
基板側放電空間２００の寸法と方向と位置と個数を制御
することにより、異なった位置や形状や個数に形成して
も差し支えない。また、本実施例では、前面基板側のバ
リアリブ１１のみが格子状になっているが、この代わり
に、背面基板側のバリアリブ１５を格子状にしてもよ
い。また、前面基板側および背面基板側の両方のバリア
リブ１１，１５を格子状にしてもよい。なお、両方のバ
リアリブ１１，１５を格子状にする場合には、組み立て
工程において、チップ管を介してセル内部の空気を抜い
て真空にする代わりに、真空雰囲気中で組み立てを行え
ばよい。

【００６７】

【発明の効果】本発明によれば、前面基板側空間と背面
基板側空間とを接続する開口部がこれら空間の交差する
箇所に形成できるため、隔壁基板に開口部のみを設ける
という工程を省略することが可能となる。また、これら
空間の寸法と位置を制御することで、開口部の寸法と位
置の制御を行うことができる。このため、隔壁基板の製
造効率を向上させる効果がある。

【００６８】また、これら空間の交差位置における開口
部の厚みを非常に薄くできるため、隔壁の絶縁材料によ
る減衰が少なくでき、アドレス時に前面基板に形成した
表示電極およびバス電極と背面基板に形成したアドレス
電極との間の放電電圧を減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例１の表示パネルにおける隔壁基板の構
造を示す部分外観図である。

【図２】 実施例１の表示パネルの構造を示す部分断面
図である。

【図３】 実施例１における隔壁基板の製造工程を示す
工程フロー図である。

【図４】 実施例２の表示パネルにおける隔壁基板の構
造を示す部分外観図である。

【図５】 実施例２の表示パネルの構造を示す部分断面
図である。

【図６】 隔壁基板を有するガス放電型表示パネルの構
造例を示す部分断面図である。

【図７】 従来技術によるガス放電型表示パネルの部分
斜視図である。

【図８】 従来技術によるガス放電型表示パネルの構造
を示す部分断面図である。

【図９】 従来技術によるガス放電型表示パネルのバリ
アリブの構造を示す部分断面図である。

【符号の説明】

１…前面基板、２…背面基板、３…隔壁基板、４…前面
ガラス基板、５…背面ガラス基板、６、６ａ…表示電極
（透明電極）、７、７ａ…バス電極、８…誘電体層、９
…保護膜（ＭｇＯ）、１０、１０ａ…アドレス電極、１
１…主放電空間を限定するバリアリブ、１２…蛍光体
層、１３…主放電空間と背面基板側放電空間とを分離す
る隔壁、１４…隔壁１３に設けられた開口部、１５…背
面基板側放電空間バリアリブ、３０…隔壁用ガラス板、
３１…感光性フィルム、１００…主放電空間、２００…
背面基板側放電空間。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 槌田 誠一 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 高井 輝男 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像情報メディア事業部 内 (72)発明者 雨宮 恭子 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 坂上 志之 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 庄子 房次 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 重明 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像情報メディア事業部 内 (72)発明者 柳原 直人 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像情報メディア事業部 内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】主放電用電極を備える前面基板と、 補助放電用電極を備える背面基板と、 上記前面基板と上記隔壁基板との間隙を、前面基板側の
   空間と背面基板側の空間とに分離する隔壁基板と、 上記前面基板側の空間を複数の主放電空間に分画する前
   面基板側バリアリブと、 上記背面基板側の空間を複数の補助放電空間に分画する
   背面基板側バリアリブと、 上記主放電空間の内壁に形成された蛍光体層とを備え、 上記隔壁基板は、上記主放電空間と上記補助放電空間と
   の連通のための開口部を有し、 上記前面基板側バリアリブは、同一方向に延伸された複
   数の帯状部材からなり、 上記背面基板側バリアリブは、同一方向に延伸された複
   数の帯状部材からなり、 上記前面基板側バリアリブの延伸方向と、上記背面基板
   側バリアリブの延伸方向とは、パネルの積層方向にそっ
   て同一平面に投影したとき交叉することを特徴とするガ
   ス放電型表示パネル。
2. 【請求項２】主放電用電極を備える前面基板と、 補助放電用電極を備える背面基板と、 上記前面基板と上記隔壁基板との間隙を、前面基板側の
   空間と背面基板側の空間とに分離する隔壁基板と、 上記前面基板側の空間を複数の主放電空間に分画する前
   面基板側バリアリブと、 上記背面基板側の空間を複数の補助放電空間に分画する
   背面基板側バリアリブと、 上記主放電空間の内壁に形成された蛍光体層とを備え、 上記隔壁基板は、上記主放電空間と上記補助放電空間と
   の連通のための開口部を有し、 上記前面基板側バリアリブおよび上記背面基板側バリア
   リブのうちのいずれか一方は、格子状部材からなり、他
   方は、第１の方向に延伸された複数の帯状部材からな
   り、 上記格子状部材は、 第２の方向に延伸された、帯状の、隔壁基板表面に第１
   の間隔で配置された複数の縦部材と、 上記第２の方向と交叉する第３の方向に伸びた、隔壁基
   板表面に上記第１の間隔より短い間隔で配置された、上
   記縦部材の間を接続する複数の横部材とにより構成さ
   れ、 上記第１の方向と上記第２の方向とは、パネルの積層方
   向にそって同一平面に投影したとき交叉することを特徴
   とするガス放電型表示パネル。
3. 【請求項３】請求項２において、 上記前面基板側バリアリブが格子状部材からなり、 上記背面基板側バリアリブが帯状部材からなることを特
   徴とするガス放電型表示パネル。
4. 【請求項４】主放電用電極を備える前面基板と、 補助放電用電極を備える背面基板と、 上記前面基板と上記隔壁基板との間隙を、前面基板側の
   空間と背面基板側の空間とに分離する隔壁基板と、 上記前面基板側の空間を複数の主放電空間に分画する前
   面基板側バリアリブと、 上記背面基板側の空間を複数の補助放電空間に分画する
   背面基板側バリアリブと、 上記主放電空間の内壁に形成された蛍光体層とを備え、 上記隔壁基板は、上記主放電空間と上記補助放電空間と
   の連通のための開口部を有し、 上記前面基板側バリアリブおよび上記背面基板側バリア
   リブは、それぞれ、格子状部材からなり、 上記格子状部材は、 上記第１の方向に延伸された、帯状の、隔壁基板表面に
   第１の間隔で配置された複数の縦部材と、 上記第１の方向と交叉する第２の方向に延伸された、隔
   壁基板表面に上記第１の間隔より短い間隔で配置され
   た、上記帯状部材の間を接続する複数の横部材とにより
   構成され、 上記前面基板側バリアリブの第１の方向と、上記背面基
   板側バリアリブの上記第２の方向とは、パネルの積層方
   向にそって同一平面に投影したとき交叉することを特徴
   とするガス放電型表示パネル。
5. 【請求項５】請求項１〜４において、 上記隔壁基板は、 上記前面基板側上から見て、上記主放電空間と上記補助
   放電空間とが重なる位置に、上記開口部を有することを
   特徴とするガス放電型表示パネル。
6. 【請求項６】主放電用電極を備える前面基板を形成する
   前面基板形成工程と、 補助放電用電極を備える背面基板を形成する背面基板形
   成工程と、 上記前面基板と上記隔壁基板との間隙を、前面基板側の
   空間と背面基板側の空間とに分離する隔壁基板とを形成
   する隔壁基板形成工程と、 上記背面基板、上記隔壁基板、上記前面基板を、この順
   で積層し、積層体側面を封止材で固定する組み立て工程
   とを備え、 上記隔壁基板形成工程は、 基材の表裏のうち一方の面に、放電空間をなす第１の凹
   部を複数形成する工程と、 上記基材の他方の面に、上記第１の凹部の底に達する深
   さの第２の凹部を、複数形成する工程と、 上記第１の凹部および上記第２の凹部のいずれか一方の
   内壁に、蛍光体層を形成する工程とを備えることを特徴
   とするガス放電型表示パネルの製造方法。
7. 【請求項７】請求項６において、 上記第１の凹部は、同一間隔で設けられ、第１の方向に
   伸びた、あらかじめ定められた深さの第１の溝であり、 上記第２の凹部は、同一間隔で設けられ、第２の方向に
   伸びた、上記第１の溝の底部に達する深さの第２の溝で
   あり、 上記第１の方向と、上記第２の方向とは、パネルの積層
   方向にそって同一平面に投影したとき交叉することを特
   徴とするガス放電型表示パネルの製造方法。