JPH09282457A - パターン検査装置における画面表示方法 - Google Patents
パターン検査装置における画面表示方法Info
- Publication number
- JPH09282457A JPH09282457A JP8096582A JP9658296A JPH09282457A JP H09282457 A JPH09282457 A JP H09282457A JP 8096582 A JP8096582 A JP 8096582A JP 9658296 A JP9658296 A JP 9658296A JP H09282457 A JPH09282457 A JP H09282457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- pattern
- screen
- area
- defective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 不良パターンの位置を即座に認識できる画面
表示方法を提供する。 【解決手段】 ディスプレイ装置の画面１上には、グリ
ーンシート上に形成された独立したパターン群であるＡ
個のピースに応じてＡ個の検査範囲２が設定される。ま
た、検査範囲を所定の大きさに分割したＢ個の分割領域
３が検査範囲ごとに設定される。パターン検査装置は、
ある分割領域を良と判定した場合、これに対応する画面
１上の領域３を緑色で表示し、不良と判定した場合、対
応する領域３を赤色で表示する。こうして、パターンの
良・不良を判定した結果を領域３ごとに色分けして表示
することにより、シート上における不良ピースの位置
と、このピース内における不良位置とが画面１に表示さ
れる。
表示方法を提供する。 【解決手段】 ディスプレイ装置の画面１上には、グリ
ーンシート上に形成された独立したパターン群であるＡ
個のピースに応じてＡ個の検査範囲２が設定される。ま
た、検査範囲を所定の大きさに分割したＢ個の分割領域
３が検査範囲ごとに設定される。パターン検査装置は、
ある分割領域を良と判定した場合、これに対応する画面
１上の領域３を緑色で表示し、不良と判定した場合、対
応する領域３を赤色で表示する。こうして、パターンの
良・不良を判定した結果を領域３ごとに色分けして表示
することにより、シート上における不良ピースの位置
と、このピース内における不良位置とが画面１に表示さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、グリーンシート等
の基材上に形成されたパターンを検査するパターン検査
装置に係り、特に検査結果を表示する際の画面表示方法
に関するものである。
の基材上に形成されたパターンを検査するパターン検査
装置に係り、特に検査結果を表示する際の画面表示方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＩＣ、ＬＳＩの多ピン化要求
に適した実装技術として、ＰＧＡ（Pin Grid Array）が
知られている。ＰＧＡは、チップを付けるパッケージの
ベースとしてセラミック基板を用い、リード線の取り出
し位置まで配線を行っている。このセラミック基板を作
るために、アルミナ粉末を液状のバインダで練り合わせ
てシート状にしたグリーンシートと呼ばれるものが使用
され、このグリーンシート上に高融点の金属を含むペー
ストがスクリーン印刷される。そして、このようなシー
トを必要枚数積み重ねて焼成することにより、グリーン
シートを焼結させると共にペーストを金属化させる、い
わゆる同時焼成が行われる。
に適した実装技術として、ＰＧＡ（Pin Grid Array）が
知られている。ＰＧＡは、チップを付けるパッケージの
ベースとしてセラミック基板を用い、リード線の取り出
し位置まで配線を行っている。このセラミック基板を作
るために、アルミナ粉末を液状のバインダで練り合わせ
てシート状にしたグリーンシートと呼ばれるものが使用
され、このグリーンシート上に高融点の金属を含むペー
ストがスクリーン印刷される。そして、このようなシー
トを必要枚数積み重ねて焼成することにより、グリーン
シートを焼結させると共にペーストを金属化させる、い
わゆる同時焼成が行われる。
【０００３】このようなグリーンシートでは、パターン
が印刷された後に、顕微鏡を用いて人間により目視でパ
ターンの検査が行われる。ところが、微細なパターンを
目視で検査するには、熟練を要すると共に、目を酷使す
るという問題点があった。そこで、目視検査に代わるも
のとして、フィルムキャリア（ＴＡＢテープ）に形成さ
れたパターンをＴＶカメラで撮像して自動的に検査する
パターン検査装置が提案されている（例えば、特開平６
−３４１９６０号公報）。このパターン検査装置は、パ
ターンの良・不良を判定する機能、不良を検出したこと
を表示する機能、不良パターンをフィルムキャリアより
打ち抜く機能等を有していた。
が印刷された後に、顕微鏡を用いて人間により目視でパ
ターンの検査が行われる。ところが、微細なパターンを
目視で検査するには、熟練を要すると共に、目を酷使す
るという問題点があった。そこで、目視検査に代わるも
のとして、フィルムキャリア（ＴＡＢテープ）に形成さ
れたパターンをＴＶカメラで撮像して自動的に検査する
パターン検査装置が提案されている（例えば、特開平６
−３４１９６０号公報）。このパターン検査装置は、パ
ターンの良・不良を判定する機能、不良を検出したこと
を表示する機能、不良パターンをフィルムキャリアより
打ち抜く機能等を有していた。
【０００４】ところが、このようなパターン検査装置を
グリーンシートに印刷されたパターンの検査に利用しよ
うとすると、検出した不良パターンの位置を表示する機
能がなく、通常グリーンシート上に同じパターン（これ
らをピースと呼ぶ）が複数印刷されている等の理由か
ら、不良パターンがグリーンシート上のどのピースにあ
って、そのピース内のどこにあるかを即座に特定するこ
とができないという問題が生じる。
グリーンシートに印刷されたパターンの検査に利用しよ
うとすると、検出した不良パターンの位置を表示する機
能がなく、通常グリーンシート上に同じパターン（これ
らをピースと呼ぶ）が複数印刷されている等の理由か
ら、不良パターンがグリーンシート上のどのピースにあ
って、そのピース内のどこにあるかを即座に特定するこ
とができないという問題が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来のパ
ターン検査装置では、検出した不良パターンの位置を即
座に知ることができないという問題点があった。本発明
は、上記課題を解決するためになされたもので、不良パ
ターンの位置を即座に認識することができる画面表示方
法を提供することを目的とする。
ターン検査装置では、検出した不良パターンの位置を即
座に知ることができないという問題点があった。本発明
は、上記課題を解決するためになされたもので、不良パ
ターンの位置を即座に認識することができる画面表示方
法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、基材上に形成
された独立したパターン群となるＡ個のピースに応じて
ディスプレイ装置の画面上にＡ個の検査範囲を設定し、
この検査範囲を所定の大きさに分割したＢ個の分割領域
を検査範囲ごとに設定し、分割領域ごとにパターンの良
・不良を判定した結果をディスプレイ装置の画面上で分
割領域ごとに色分けして表示するようにしたものであ
る。このようにパターンの良・不良を判定した結果を分
割領域ごとに色分けして表示することにより、基材上に
おける不良ピースの位置とピース内における不良位置と
を容易に知ることができる。
された独立したパターン群となるＡ個のピースに応じて
ディスプレイ装置の画面上にＡ個の検査範囲を設定し、
この検査範囲を所定の大きさに分割したＢ個の分割領域
を検査範囲ごとに設定し、分割領域ごとにパターンの良
・不良を判定した結果をディスプレイ装置の画面上で分
割領域ごとに色分けして表示するようにしたものであ
る。このようにパターンの良・不良を判定した結果を分
割領域ごとに色分けして表示することにより、基材上に
おける不良ピースの位置とピース内における不良位置と
を容易に知ることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
となるパターン検査装置のブロック図、図２はパターン
検査装置の検査結果表示画面の様子を示す図である。図
１において、１１はグリーンシート、１２はグリーンシ
ート１１上に形成された独立したパターン群となるピー
ス、１３はグリーンシート１１を載せるＸ−Ｙテーブ
ル、１４はグリーンシート１１を撮像するラインセンサ
カメラ、１５はカメラ１４から出力された画像信号をデ
ィジタル化するＡ／Ｄ変換器である。
となるパターン検査装置のブロック図、図２はパターン
検査装置の検査結果表示画面の様子を示す図である。図
１において、１１はグリーンシート、１２はグリーンシ
ート１１上に形成された独立したパターン群となるピー
ス、１３はグリーンシート１１を載せるＸ−Ｙテーブ
ル、１４はグリーンシート１１を撮像するラインセンサ
カメラ、１５はカメラ１４から出力された画像信号をデ
ィジタル化するＡ／Ｄ変換器である。
【０００８】また、１６はＡ／Ｄ変換器１５から出力さ
れたディジタル画像を記憶する画像メモリ、１７はパタ
ーンの良・不良を判定する検査ユニット、１８は装置全
体を制御するホストコンピュータ、１９は検査結果を表
示するためのカラーディスプレイ装置、２０は後述する
検査範囲の設定などの各種計測条件の設定を行うための
キーボードである。図２において、１はカラーディスプ
レイ装置１９に映し出された検査結果表示画面、２はピ
ース１２に応じて設定される検査範囲、３は検査範囲２
を所定の大きさに分割した分割領域である。
れたディジタル画像を記憶する画像メモリ、１７はパタ
ーンの良・不良を判定する検査ユニット、１８は装置全
体を制御するホストコンピュータ、１９は検査結果を表
示するためのカラーディスプレイ装置、２０は後述する
検査範囲の設定などの各種計測条件の設定を行うための
キーボードである。図２において、１はカラーディスプ
レイ装置１９に映し出された検査結果表示画面、２はピ
ース１２に応じて設定される検査範囲、３は検査範囲２
を所定の大きさに分割した分割領域である。
【０００９】次に、このようなパターン検査装置の動作
を説明する。グリーンシート１１上には、横Ｎ個×縦Ｍ
個（Ｎ、Ｍは１以上の整数）のマトリクス状に配置され
たＡ個のピース１２が形成される。通常、ピース１２
は、同一パターンであり、１ピースが例えばＩＣ１個に
相当する。
を説明する。グリーンシート１１上には、横Ｎ個×縦Ｍ
個（Ｎ、Ｍは１以上の整数）のマトリクス状に配置され
たＡ個のピース１２が形成される。通常、ピース１２
は、同一パターンであり、１ピースが例えばＩＣ１個に
相当する。
【００１０】ホストコンピュータ１８には、ピース１２
の横の個数Ｎ、縦の個数Ｍ、ピース１２の間隔などグリ
ーンシート１１上におけるピース１２の位置と、ピース
１２内における検査範囲とが予め登録されている。この
とき、１ピース全体を検査範囲としてもよいし、その一
部を検査範囲としてもよい。
の横の個数Ｎ、縦の個数Ｍ、ピース１２の間隔などグリ
ーンシート１１上におけるピース１２の位置と、ピース
１２内における検査範囲とが予め登録されている。この
とき、１ピース全体を検査範囲としてもよいし、その一
部を検査範囲としてもよい。
【００１１】ラインセンサカメラ１４によって取り込ま
れる画像のサイズは、Ｘ方向が例えば４０９６画素であ
る。そして、ホストコンピュータ１８の制御によってＸ
−Ｙテーブル１３をＹ方向に移動させながら、カメラ１
４が画像取り込みを行うことにより、Ｙ方向の画像のサ
イズは例えば８１９２画素となる。
れる画像のサイズは、Ｘ方向が例えば４０９６画素であ
る。そして、ホストコンピュータ１８の制御によってＸ
−Ｙテーブル１３をＹ方向に移動させながら、カメラ１
４が画像取り込みを行うことにより、Ｙ方向の画像のサ
イズは例えば８１９２画素となる。
【００１２】こうして、カメラ１４によって撮像された
横４０９６画素×縦８１９２画素の濃淡画像は、Ａ／Ｄ
変換器１５によって８ビットの画像データに変換され、
画像メモリ１６に格納される。画像メモリ１６は、ホス
トコンピュータ１８に設定された登録内容に従って、記
憶した画像のうち上記検査範囲内を横５１２画素×縦４
８０画素の大きさの分割領域に分ける。これにより、検
査範囲は、横ｎ個×縦ｍ個（ｎ、ｍは１以上の整数）の
マトリクス状に配置されたＢ個の分割領域に分割され
る。そして、画像メモリ１６は、この分割領域ごとに画
像データを検査ユニット１７に転送する。
横４０９６画素×縦８１９２画素の濃淡画像は、Ａ／Ｄ
変換器１５によって８ビットの画像データに変換され、
画像メモリ１６に格納される。画像メモリ１６は、ホス
トコンピュータ１８に設定された登録内容に従って、記
憶した画像のうち上記検査範囲内を横５１２画素×縦４
８０画素の大きさの分割領域に分ける。これにより、検
査範囲は、横ｎ個×縦ｍ個（ｎ、ｍは１以上の整数）の
マトリクス状に配置されたＢ個の分割領域に分割され
る。そして、画像メモリ１６は、この分割領域ごとに画
像データを検査ユニット１７に転送する。
【００１３】次に、検査ユニット１７は、例えば４つの
分割領域を同時に処理できる機能を有し、画像メモリ１
６から並列に送出される４分割領域の画像データを同時
に検査する。各分割領域は、予め登録されている基準と
なるマスタパターンの対応する領域と比較されることに
より、パターンの太り、細り、断線あるいは短絡などが
検査される。そして、この検査結果がホストコンピュー
タ１８へ送出される。
分割領域を同時に処理できる機能を有し、画像メモリ１
６から並列に送出される４分割領域の画像データを同時
に検査する。各分割領域は、予め登録されている基準と
なるマスタパターンの対応する領域と比較されることに
より、パターンの太り、細り、断線あるいは短絡などが
検査される。そして、この検査結果がホストコンピュー
タ１８へ送出される。
【００１４】このような４分割領域ごとの検査を繰り返
すことにより、全分割領域の検査が終了する。なお、１
度の画像取り込みで検査できる範囲は限られているの
で、対象となるグリーンシート１１が大きい場合は、Ｘ
−Ｙテーブル１３をＸ又はＹ方向に適宜動かして全ピー
スを検査すればよい。こうして、Ｘ−Ｙテーブル１３上
に載置されたグリーンシート１１の検査が終了する。
すことにより、全分割領域の検査が終了する。なお、１
度の画像取り込みで検査できる範囲は限られているの
で、対象となるグリーンシート１１が大きい場合は、Ｘ
−Ｙテーブル１３をＸ又はＹ方向に適宜動かして全ピー
スを検査すればよい。こうして、Ｘ−Ｙテーブル１３上
に載置されたグリーンシート１１の検査が終了する。
【００１５】次いで、ホストコンピュータ１８は、検査
結果を図２のようにカラーディスプレイ装置１９に表示
する。ディスプレイ装置の画面１上では、ホストコンピ
ュータ１８の登録内容に応じて横Ｎ個×縦Ｍ個の検査範
囲２が設定され、検査範囲２内には横ｎ個×縦ｍ個の分
割領域３が設定されている。
結果を図２のようにカラーディスプレイ装置１９に表示
する。ディスプレイ装置の画面１上では、ホストコンピ
ュータ１８の登録内容に応じて横Ｎ個×縦Ｍ個の検査範
囲２が設定され、検査範囲２内には横ｎ個×縦ｍ個の分
割領域３が設定されている。
【００１６】そして、ホストコンピュータ１８は、ある
分割領域が検査ユニット１７によって「良」と判定され
た場合、これに対応する画面１上の分割領域３を緑色
（図２では白）で表示し、「不良」と判定された場合、
対応する分割領域３を赤色（図２では斜線）で表示す
る。こうして、パターンの良・不良を判定した結果を分
割領域ごとに色分けして表示することにより、グリーン
シート１１上における不良ピースの位置と、このピース
内における不良位置とが画面１に表示される。
分割領域が検査ユニット１７によって「良」と判定され
た場合、これに対応する画面１上の分割領域３を緑色
（図２では白）で表示し、「不良」と判定された場合、
対応する分割領域３を赤色（図２では斜線）で表示す
る。こうして、パターンの良・不良を判定した結果を分
割領域ごとに色分けして表示することにより、グリーン
シート１１上における不良ピースの位置と、このピース
内における不良位置とが画面１に表示される。
【００１７】なお、本実施の形態では、グリーンシート
１１上に印刷されたパターンを例にとって説明したが、
これに限るものではなく、フィルムキャリア等の他の基
材上に形成されたパターンであってもよいことは言うま
でもない。
１１上に印刷されたパターンを例にとって説明したが、
これに限るものではなく、フィルムキャリア等の他の基
材上に形成されたパターンであってもよいことは言うま
でもない。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、ディスプレイ装置の画
面上にピースに応じた検査範囲と検査範囲を分割した分
割領域とを設定し、パターンの良・不良を判定した結果
を分割領域ごとに色分けして表示することにより、検査
対象となる基材及びピースと画面上の検査結果とが１対
１で対応するため、検査結果が非常に見やすくなり、基
材上における不良ピースの位置とピース内における不良
位置とを容易に知ることができる。
面上にピースに応じた検査範囲と検査範囲を分割した分
割領域とを設定し、パターンの良・不良を判定した結果
を分割領域ごとに色分けして表示することにより、検査
対象となる基材及びピースと画面上の検査結果とが１対
１で対応するため、検査結果が非常に見やすくなり、基
材上における不良ピースの位置とピース内における不良
位置とを容易に知ることができる。
【図１】 本発明の第１の実施の形態となるパターン検
査装置のブロック図である。
査装置のブロック図である。
【図２】 パターン検査装置の検査結果表示画面の様子
を示す図である。
を示す図である。
１…検査結果表示画面、２…検査範囲、３…分割領域、
１１…グリーンシート、１２…ピース、１３…Ｘ−Ｙテ
ーブル、１４…ラインセンサカメラ、１５…Ａ／Ｄ変換
器、１６…画像メモリ、１７…検査ユニット、１８…ホ
ストコンピュータ、１９…カラーディスプレイ装置、２
０…キーボード。
１１…グリーンシート、１２…ピース、１３…Ｘ−Ｙテ
ーブル、１４…ラインセンサカメラ、１５…Ａ／Ｄ変換
器、１６…画像メモリ、１７…検査ユニット、１８…ホ
ストコンピュータ、１９…カラーディスプレイ装置、２
０…キーボード。
Claims (1)
- 【請求項１】 基材上に形成されたパターンをカメラで
撮像して自動的に検査するパターン検査装置において、 前記基材上に形成された独立したパターン群となるＡ個
のピースに応じてディスプレイ装置の画面上にＡ個の検
査範囲を設定し、 この検査範囲を所定の大きさに分割したＢ個の分割領域
を検査範囲ごとに設定し、 分割領域ごとにパターンの良・不良を判定した結果を前
記ディスプレイ装置の画面上で分割領域ごとに色分けし
て表示することを特徴とする画面表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8096582A JPH09282457A (ja) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | パターン検査装置における画面表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8096582A JPH09282457A (ja) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | パターン検査装置における画面表示方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09282457A true JPH09282457A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14168948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8096582A Pending JPH09282457A (ja) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | パターン検査装置における画面表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09282457A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003004791A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Hioki Ee Corp | ポジションデータの生成方法 |
| CN115090540A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-23 | 江西合力泰科技有限公司 | 一种液晶显示屏全显图像检测方法及系统 |
-
1996
- 1996-04-18 JP JP8096582A patent/JPH09282457A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003004791A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Hioki Ee Corp | ポジションデータの生成方法 |
| JP4723124B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2011-07-13 | 日置電機株式会社 | ポジションデータの生成方法 |
| CN115090540A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-23 | 江西合力泰科技有限公司 | 一种液晶显示屏全显图像检测方法及系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02231510A (ja) | 基板検査装置 | |
| JPH09282457A (ja) | パターン検査装置における画面表示方法 | |
| JPH10312461A (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置 | |
| JPH06258047A (ja) | バンプ検査用データの教示方法 | |
| JP2000004079A (ja) | はんだ検査装置 | |
| JPH06341960A (ja) | パタ−ンの画像処理方法およびその装置 | |
| EP0370527A1 (en) | Method of and apparatus for inspecting substrate | |
| JPH1031730A (ja) | キャリブレーション方法 | |
| JP2001024321A (ja) | 検査データ作成方法 | |
| JPH05256791A (ja) | 基板の欠陥検査装置 | |
| JP3441299B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JP3306422B2 (ja) | 電子部品の位置ズレ検査方法 | |
| JP3363103B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2939582B2 (ja) | パターンの位置合わせ方法 | |
| US6088109A (en) | System for detecting the presence of deposited metals on soldering points of an integrated circuit board substrate | |
| JP3447538B2 (ja) | パターン検査方法 | |
| JPH10307917A (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置 | |
| JP3480643B2 (ja) | パターンの検査方法 | |
| JP3581040B2 (ja) | 配線パターン検査方法 | |
| JPH10141930A (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置 | |
| JP2942343B2 (ja) | プリント配線基板の検査装置 | |
| JPH1089933A (ja) | 基板の検査方法及び基板検査装置及びｌｓｉ実装基板の製造方法 | |
| JPS61243304A (ja) | 実装基板の外観検査方式 | |
| JP3057830U (ja) | 集積回路基板はんだ点の金属メッキの検出装置 | |
| JP2000304704A (ja) | 配線板の検査方法及びその方法に用いる検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040427 |